TWI806357B

TWI806357B - 影像測試系統及影像測試方法

Info

Publication number: TWI806357B
Application number: TW111101573A
Authority: TW
Inventors: 蔡秉諺; 鄭光哲
Original assignee: 京元電子股份有限公司
Priority date: 2022-01-14
Filing date: 2022-01-14
Publication date: 2023-06-21
Also published as: TW202328700A

Abstract

本發明係提供一種影像測試系統，包括至少一影像擷取卡及至少一影像資料分析單元。至少一影像擷取卡包括一處理單元以及與處理單元電性連接的一串列通訊介面。處理單元對至少一待測物輸出的一測試訊號進行解碼，以取得一影像資料。至少一影像資料分析單元根據影像資料產生一校正指令。串列通訊介面接收校正指令，並將校正指令傳送至至少一待測物。

Description

影像測試系統及影像測試方法

本發明關於一種測試系統及測試方法，特別是一種影像測試系統及影像測試方法。

自動測試設備(automatic test equipment,ATE)可針對具備影像輸出功能的待測物進行測試，以確認待測物的影像輸出功能是否正常，其中待測物可例如是晶片。現有的影像測試機制如下，ATE的一工作站提供一測試向量(testing pattern)，ATE的一測試頭將測試向量轉換為控制指令參數，並將控制指令參數施加至待測物。待測物根據控制指令參數輸出含有影像資料的測試訊號。影像分析裝置分析影像資料，並根據影像資料的缺陷產生一校正訊號，之後再將校正訊號回傳至工作站。工作站根據校正訊號調整測試向量，進而使控制指令參數更新，藉此調整待測物輸出的影像資料，使缺陷被校正。

然而，上述影像測試機制在必須對多個待測物進行測試時會有缺點。由於工作站一次僅能提供一個測試向量，而每個待測物所輸出的影像資料中的缺陷不一定相同，因此工作站必須在前一個待測物的校正完成後，才能再提供下一個待測物的校正所需的測試向量。在此條件下，當待測物的數量龐大時，這種影像測試機制就必須耗費大量的時間，造成測試效率低落。此外，影像分析裝置與工作站之間若存在較長的傳輸路徑，校正訊號亦可能因為傳輸時的損耗而失真，進而導致工作站調整的測試向量有誤。

有鑑於此，本發明提供一種影像測試系統及影像測試方法，以解決現有技術的問題。

本發明的一目的是提供一種影像測試系統，包含至少一影像擷取卡及至少一影像資料分析單元。至少一影像擷取卡包含一處理單元及一串列通訊介面(serial communication interface)。處理單元對至少一待測物輸出的一測試訊號進行解碼，以取得一影像資料。串列通訊介面與處理單元電性連接。至少一影像資料分析單元根據影像資料產生一校正指令。其中，串列通訊介面接收校正指令，並將校正指令傳送至待測物。

本發明的另一目的是提供一種影像測試方法，透過一影像測試系統執行，其中影像測試系統包含至少一影像擷取卡及至少一影像資料分析單元，且至少一影像擷取卡包含一處理單元以及與處理單元電性連接的一串列通訊介面。影像測試方法包含步驟：藉由處理單元對至少一待測物輸出的一測試訊號進行解碼，以取得一影像資料；藉由至少一影像資料分析單元，根據影像資料產生一校正指令；藉由串列通訊介面將校正指令傳送至待測物。

1:影像測試系統

10:工作站

20:測試頭

21:通訊介面卡

22、22-1~22-N:電子集成卡

30、30-1~30-N:探針卡

31:探針

40、40-1~40-N:影像擷取卡

41:輸入介面

411:訊號接收端

412:轉換電路

42:處理單元

43:串列通訊介面

431:串列通訊電路

432:串列通訊匯流排

44:傳輸介面

50、50-1~50-N:影像資料分析單元

60、60-1~60-N:待測物

61:接腳

70、70-1~70-N:影像處理裝置

S0:測試向量

S1:控制指令參數

S2、S2-1~S2-N:測試訊號

S3、S3-1~S3-N:影像資料

S4、S4-1~S4-N:校正指令

S1~S8:步驟

圖1是本發明一實施例的影像測試系統的基本架構示意圖。

圖2是本發明一實施例的影像測試方法的主要步驟流程圖。

圖3是本發明另一實施例的影像測試系統的架構示意圖。

圖4是本發明第一實施例的影像擷取卡的細部架構示意圖。

圖5是本發明第二實施例的影像擷取卡的細部架構示意圖。

圖6是本發明第三實施例的影像擷取卡的細部架構示意圖。

圖7是本發明第四實施例的影像擷取卡的細部架構示意圖。

以下將透過多個實施例說明本發明的影像測試系統及影像測試方法的實施態樣及運作原理。本發明所屬技術領域中具有通常知識者，透過上述實施例可理解本發明的特徵及功效，而可基於本發明的精神，進行組合、修飾、置換或轉用。

應注意的是，在本文中，除了特別指明者之外，「一」元件不限於單一的該元件，還可指一或更多的該元件。

此外，本揭露中關於“當…”或“…時”等描述表示”當下、之前或之後”等態樣，而不限定為同時發生之情形，在此先行敘明。本揭露中關於“設置於…上”等類似描述係表示兩元件的對應位置關係，並不限定兩元件之間是否有所接觸，除非特別有限定，在此先行敘明。再者，本揭露記載多個功效時，若在功效之間使用“或”一詞，係表示功效可獨立存在，但不排除多個功效可同時存在。

本文中所使用的序數例如“第一”、“第二”等之用詞，是用於修飾請求元件，其本身並不意含及代表該請求元件有任何之前的序數，也不代表某一請求元件與另一請求元件的順序、或是製造方法上的順序，該些序數的使用僅用來使具有某命名的一請求元件得以和另一具有相同命名的請求元件能作出清楚區分。

此外，說明書及權利要求中例如「連接」或「耦接」一詞不僅指與另一元件直接連接，也可指與另一元件間接連接或電性連接。另外，電性連接表示兩者之間可互相傳送電性訊號，並且包含直接連接、間接連接或二元件間以無線電信號交流的態樣。

此外，說明書及權利要求中，「約」、「大約」、「實質上」、「大致上」之用語通常表示在一值與一給定值的差距在該給定值的10%內，或5%內，、或3%之內、，或2%之內、，或1%之內、，或0.5%之內的範圍。在此給定的數量為大約的數量，亦即在沒有特定說明「約」、「大約」、「實質上」、「大致上」的情況下，仍可隱含「約」、「大約」、「實質上」、「大致上」之含義。此外，用語「範圍為第一數值至第二數值」、「範圍介於第一數值至第二數值之間」表示所述範圍包含第一數值、第二數值以及它們之間的其它數值。

此外，各元件可以適合的方式來實現成單一電路或一積體電路，且可包括一或多個主動元件，例如，電晶體或邏輯閘，或一或多個被動元件，例如，電阻、電容、或電感，但不限於此。各元件可以適合的方式來彼此連接，例如，分別配合輸入信號及輸出信號，使用一或多條線路來形成串聯或並聯。此外，各元件可允許輸入信號及輸出信號依序或並列進出。上述組態皆是依照實際應用而定。

此外，本揭露所揭示的不同實施例的技術特徵可結合形成另一實施例。

此外，在本文中，「系統」、「設備」、「裝置」、「模組」、或「單元」等用語，可以是指一電子元件或由多個電子元件所組成的一數位電路、一類比電路、或其他更廣義電路，且除了特別指明者之外，它們不必然有位階或層級關係。

請同時參考圖1及圖2，其中圖1是本發明一實施例的影像測試系統1的基本架構示意圖，圖2是本發明一實施例的影像測試方法的主要步驟流程圖，其中影像測試方法可由影像測試系統1執行。

影像測試系統1用於測試一待測物60，其中待測物60可例如是晶片、晶圓或其它需要進行電性測試的半導體元件，且不限於此。在一實施例中，待測物60可例如是影像感測器(Image Sensor)或影像輸出器的晶片，舉例來說，當待測物60為一影像感測器的晶片時，待測物60輸出的一測試訊號可包含影像感測器拍攝到的影像資料，又假如待測物60為一顯示器的處理晶片，則待測物60輸出的測試訊號可含有顯示器正在播放的影像，且不限於此。

如圖1所示，影像測試系統1包含一工作站10、一測試頭20、一探針卡30、一影像擷取卡40及一影像資料分析單元50。工作站10與測試頭20電性連接。測試頭20與探針卡30電性連接。探針卡30與影像擷取卡40電性連接。影像擷取卡40與影像資料分析單元50電性連接。探針卡30可用於與待測物60接觸，進而對待測物60進行電性測試。影像資料分析單元50可設置於一影像處理裝置70中，其中影像處理裝置70可例如是與影像測試系統1連接的一電腦(或其它具備計算功能的電子裝置)，或者影像資料分析單元50亦可直接設置於影像擷取卡40之中(可參考圖7實施例)。本發明不限於此。

工作站10用於提供一測試向量(testing pattern)S0至測試頭20。在一實施例中，工作站10可為一電腦(或其它具備計算功能的電子裝置)，而使用者可透過工作站10輸入指令至測試頭20，例如使用者可藉由工作站10調整測試頭20的設定或調整測試向量的內容等，且不限於此。

測試頭20可包含一通訊介面卡(communication card)21及一電子集成卡(pin electronic card，PE card)22。通訊介面卡21與電子集成卡22電性連接。在一實施例中，通訊介面卡21用於接收測試向量S0，電子集成卡22用於將測試向量S0轉換為待測物60適用的控制指令參數S1，並透過探針卡30將控制指令參數S1傳送至待測物60。在一實施例中，通訊介面卡21與工作站10之間可透過一纜線(cable)進行資料傳輸，但不限於此。此外，在一實施例中，測試頭20可包含一測試載板(load board)(圖未顯示)，其中通訊介面卡21及電子集成卡22更多介面卡可設置於測試載板上。另外，測試載板上亦可設置更多介面卡，例如裝置電源供應卡(device power supply card，DPS card)、序列測試卡(sequence card，SEQ card)等，且不限於此。在一實施例中，探針卡30可與測試載板電性連接，但不限於此。在一實施例中，影像擷取卡40亦可設置於測試載板上，但不限於此。在一實施例中，探針卡30可置換為針測基板(圖未顯示)，針測基板具有複數個針測座(socket)以容置多個半導體元件，針測基板與測試載板電性連接，用以測試封裝完成的半導體元件，如封裝完成之影像感測器(image sensor)或影像輸出器之半導體元件，但不限於此。在一實施例中，測試載板之一側可分別設置多個針測座(socket)與上述之介面卡，包含通訊介面卡21及電子集成卡22等，此實施例亦可應用本發明之影像測試系統，以測試封裝完成的半導體元件，但不限於此。此外，上述探針卡30置換為針測基板及針測基板設置有針測座等的態樣，為一般測試架構，故不在此贅述。

探針卡30可包含複數個探針31。探針31用於與待測物60接觸，以傳送電性訊號至待測物60，例如探針31可將來自電子集成卡22的控制指令參數S1傳送至待測物60。在一實施例中，工作站10、測試頭20及探針卡30可視為一ATE的一部分。

待測物60可包含複數個接腳(pin)61。接腳61用於與探針31接觸，以接收控制指令參數S1。在一實施例中，待測物60可根據控制指令參數S1輸出一測試訊號S2，其中測試訊號S2可包含未經解碼的一影像資料S3。此外，待測物60亦可經由接腳61及探針31而將測試訊號S2傳送回探針卡31。在一實施例中，接收控制指令參數S1的接腳61與傳送測試訊號S2的接腳61為不同接腳，但不限於此。

影像擷取卡40可包含一輸入介面41、一處理單元42、一串列通訊介面43及一傳輸介面44。輸入介面41可包含一訊號接收端411及一轉換電路412，其中訊號接收端411可包含複數腳位，用於接收測試訊號S2，其中測試訊號S2可經由探針卡30或測試載板而傳送至影像擷取卡40；為方便說明，以下皆以測試訊號S2經由探針卡30傳送至影像擷取卡40的態樣進行說明。轉換電路412用於將測試訊號S2的格式轉換為處理單元42能夠讀取的格式。處理單元42用於對測試訊號S2進行解碼，以從測試訊號S2中取得影像資料S3，並將影像資料S3透過傳輸介面44而傳送至影像資料分析單元50。串列通訊介面43可與處理單元42電性連接。在一實施例中，影像擷取卡40可為行動產業處理器介面(mobile industry processor interface，MIPI)之影像擷取卡，測試訊號S2可例如是MIPI協定的資料格式訊號，其中MIPI協定可例如是C型實體層(C-Physical，C-PHY)或D型實體層(D-Physical，D-PHY)，且不限於此。此外，串列通訊介面43可包含一串列通訊電路431及一串列通訊匯流排432。

影像資料分析單元50可對影像資料S3進行分析，以找出影像資料S3之中的缺陷，其中缺陷可例如是影像中某一像素發生失真的情況，或者是影像中某一像素為壞點(defective pixel)的情況，且不限於此。在一實施例中，影像資料分析單元50可將影像資料S3與一預設影像進行比對，當比對結果不如預期時，即表示目前的影像資料S3需要進行校正，反之則無需校正，但在其它實施例中，資料分析單元50亦可使用其它方式判斷影像資料S3是否需要校正。此外，影像資料分析單元50可根據影像資料S3的缺陷產生校正指令S4，其中校正指令S4用於補償影像資料S3的缺陷，例如待測物60可根據校正指令S4調整輸出的測試訊號S2中的影像資料S3，使影像資料S3能夠符合預設影像，但不限於此。另外，影像資料分析單元50可將校正指令S4回傳至影像擷取卡40，並由影像擷取卡40及探針卡30或測試載板(圖未顯示)將校正指令S4回傳至待測物60。在一實施例中，影像資料分析單元50可例如是影像處理裝置70或影像擷取卡40內部的一軟體、韌體或電子電路，且不限於此。

當影像擷取卡40接收校正指令S4後，處理單元42可控制串列通訊介面43將校正指令S4傳送至待測物60，但不限於此。例如，串列通訊介面43可將校正指令S4傳送至探針卡30或測試載板(圖未顯示)，校正指令S4再經由探針卡30的探針31而輸入至待測物60，藉此調整待測物60輸出的測試訊號S2及影像資料 S3。為方便說明，以下皆以串列通訊介面43將校正指令S4傳送至探針卡30的態樣進行說明。

如圖2所示，藉由前述的元件，影像測試系統1可執行一影像測試方法。影像測試方法的步驟如下：

步驟S1：工作站10提供測試向量S0。

步驟S2：測試頭20的通訊介面卡21接收測試向量S0，電子集成卡22將測試向量S0轉換為待測物60適用的控制指令參數S1。

步驟S3：電子集成卡22透過探針卡30將控制指令參數S1輸入至待測物60。其中，控制指令參數S1可經由探針卡30的探針31及待測物60的接腳61而輸入至待測物60內部。

步驟S4：待測物60根據控制指令參數S1輸出測試訊號S2。其中，測試訊號S2可經由探針31回傳至探針卡30。

步驟S5：影像擷取卡40的輸入介面41取得測試訊號S2(例如透過探針卡30取得測試訊號S2)，影像擷取卡40的處理單元42對測試訊號S2進行解碼，以取得測試訊號S2中的影像資料S3。其中，輸入介面41的接收端411接收來自探針卡30的測試訊號S2，轉換電路412將測試訊號S2轉換為處理單元42能夠讀取的格式。

步驟S6：影像處理單元50取得影像資料S3，並根據影像資料S3產生校正指令S4。

步驟S7：串列通訊介面43取得校正指令S4。

步驟S8：串列通訊介面43的串列通訊電路431將校正指令S4轉換為串列通訊格式，串列通訊匯流排432將校正指令S4傳送至待測物60，進而使待測物60輸出的測試訊號S2中的影像資料S3被校正。其中，串列通訊匯流排432可將校正指令S4傳送至探針卡30，再透過探針卡30將校正指令S4回傳至待測物60。

藉此，影像資料分析單元50的校正指令S4可經由影像擷取卡40及探針卡30而直接輸入至待測物60，無須再透過工作站10調整測試向量S0。此外，本發明的設計可使多個待測物60同時進行各自的校正，因此可節省大量時間。

接著將說明本發明應用於測試多個待測物60的情形。

圖3是本發明另一實施例的影像測試系統1的架構示意圖，並請同時參考圖1及圖2。

如圖3所示，影像測試系統1包含一工作站10、一測試頭20、一探針卡30、N個影像擷取卡(40-1~40-N)及N個影像資料分析單元(50-1~50-N)，並用於對N個待測物(60-1~60-N)進行影像測試，其中N為大於1的正整數。測試頭20包含具備一通訊介面卡21及N個電子集成卡(22-1~22-N)。上述各元件的細節可適用圖1至圖2實施例的說明。

其中，N個電子集成卡(22-1~22-N)可包含一第一電子集成卡22-1及一第二電子集成卡22-2。探針卡30具有複數個探針所組成的探針組(31-1~31-N)，其中探針組(31-1~31-N)包含一第一探針組(31-1)與一第二探針組(31-2)。複數個影像擷取卡40可包含一第一影像擷取卡40-1及一第二影像擷取卡40-2。複數個影像資料分析單元50可包含一第一影像資料分析單元50-1及一第二影像資料分析單元50-2。上述元件的連接方式如圖3中的配置。

接著以第一待測物60-1及第二待測物60-2的測試流程說明本實施例的運作方式。

工作站10提供測試向量S0至測試頭20，通訊介面卡21將測試向量S0傳送至各電子集成卡(22-1~22-N)。

第一電子集成卡22-1將測試向量S0轉換成控制指令參數S1，並傳送至探針卡30之第一探針組31-1。第二電子集成卡22-2將測試向量S0轉換成控制指令參數S1，並傳送至探針卡30之第二探針組31-2。

探針卡30之第一探針組31-1將控制指令參數S1輸入至第一待測物60-1，而第一待測物60-1根據控制指令參數S1輸出一第一測試訊號S2-1至探針卡30之第一探針組31-1。探針卡30之第二探針組31-2將控制指令參數S1輸入至第二待測物60-2，而第二待測物60-2根據控制指令參數S1輸出一第二測試訊號S2-2至探針卡30之第二探針組31-2。

第一影像擷取卡40-1的輸入介面41取得來自第一探針組31-1的第一測試訊號S2-1，且第一影像擷取卡40-1的處理單元42對第一測試訊號S2-1進行解碼而取得一第一影像資料S3-1，並將第一影像資料S3-1傳送至第一影像資料分析單元50-1。第二影像擷取卡40-2的輸入介面41取得來自第二探針組31-2的第二測試訊號S2-2，且第二影像擷取卡40-2的處理單元42對第二測試訊號S2-2進行解碼而取得一第二影像資料S3-2，並將第二影像資料S3-2傳送至第二影像資料分析單元50-2。

第一影像資料分析單元50-1根據第一影像資料S3-1產生一第一校正指令S4-1，並經由第一影像擷取卡40-1的串列通訊介面43及第一探針組31-1，將第一校正指令S4-1回傳至第一待測物60-1。第二影像資料分析單元50-2根據第二影像資料S3-2產生一第二校正指令S4-2，並經由第二影像擷取卡40-2的串列通訊介面43及第二探針組31-2，將第二校正指令S4-2回傳至第二待測物60-2。

由於第一校正指令S4-1及第二校正指令S4-2可分別透過第一影像擷取卡40-1的串列通訊介面43及第二影像擷取卡40-2的串列通訊介面43而傳送至第一待測物60-1及第二待測物60-2，第一待測物60-1及第二待測物60-2的校正可同步地進行，或者兩者的校正期間可至少部分重疊。

同理亦可推知，當待測物60的數量更多時(例如大於2個)，影像測試系統1的運作方式，例如第N探針組31-N的運作方式可藉由第一探針組30-1及第二探針組30-2的運作方式而推知。因此，本發明可同時對N個待測物60進行校正，相較於必須先透過工作站10依序針對各待測物所需的校正而調整測試向量的現有技術，本發明可節省大量的時間。此外，本發明影像資料分析單元50亦可不與工作站10連接，因此可節省傳輸線的使用，且可減少因傳輸路徑長而造成校正訊號失真的機率。

本發明的影像擷取卡40可具備不同實施態樣，以下將進行說明。

圖4是本發明第一實施例的影像擷取卡40的細部架構示意圖，並請同時參考圖1至圖3。

如圖4所示，在本實施例中，處理單元42的類型可包含電場可程式化邏輯閘陣列晶片(field programmable gate array，FPGA)或客製化調節晶片(例如特殊應用積體電路(application specific integrated circuit，ASIC)，且不限於此。此外，影像資料分析單元50設置於影像擷取卡40外部的影像處理裝置70中。

在本實施例的運作下，測試訊號S2經處理單元42解碼後，藉由傳輸介面44將影像資料S3傳送至影像處理裝置70，並藉由傳輸介面44接收影像處理裝置70回傳的校正指令S4，接著處理單元42再將校正指令S4提供給串列通訊介面43。

圖5是本發明第二實施例的影像擷取卡40的細部架構示意圖，並請同時參考圖1至圖4。

如圖5所示，在本實施例中，影像擷取卡40還包含一另一處理單元422。另一處理單元422可與處理單元42及傳輸介面44電性連接，且另一處理單元422設置於處理單元42及傳輸介面44之間。其中，處理單元42的類型可例如是ASIC，另一處理單元422的類型可例如是FPGA，但不限於此。此外，影像資料分析單元50設置於影像擷取卡40外部的影像處理裝置70中。其中，處理單元42(例如ASIC)對測試訊號S2進行解碼以取得影像資料S3，另一處理單元422(例如FPGA)將影像資料S3轉換為傳輸介面44適用的格式，再藉由傳輸介面44將影像資料S3傳送至影像處理裝置70。另一處理單元422(例如FPGA)藉由傳輸介面44接收影像處理裝置70回傳的校正指令S4，以及將校正指令S4提供給串列通訊介面43。

本實施例可適用於當處理單元42的類型為不具備資料轉換功能的ASIC的情況下，例如當處理單元42(例如ASIC)取得影像資料S3後，另一處理單元422(例如FPGA)可將影像資料S3轉換為傳輸介面44所適用的格式。本發明不限於此。

圖6是本發明第三實施例的影像擷取卡40的細部架構示意圖，並請同時參考圖1至圖5。

如圖6所示，在本實施例中，影像擷取卡40還包含一另一處理單元422。處理單元42與另一處理單元422各自與傳輸介面44電性連接。處理單元42的類型可包含FPGA或ASIC，且不限於此。另一處理單元422的類型可包含FPGA或ASIC，且不限於此。此外，影像資料分析單元50設置於與影像擷取卡40外部的影像處理裝置70中。其中，處理單元42對測試訊號S2進行解碼以取得影像資料 S3，並藉由傳輸介面44將影像資料S3傳送至影像處理裝置70。另一處理單元422藉由傳輸介面44接收影像處理裝置70回傳的校正指令S4，以及將校正指令S4提供給串列通訊介面43。本實施例透過分別單一的處理單元42、422，同時進行解碼及控制回傳校正指令(S4)的路徑，除了可縮短測試訊號S2解碼的處理時間，提高測試效率外，亦可避免校正訊號(S4)在傳輸時的損耗而失真，而導致測試向量有誤。

圖7是本發明第四實施例的影像擷取卡40的細部架構示意圖，並請同時參考圖1至圖6。

如圖7所示，在本實施例中，處理單元42的類型可包含FPGA或ASIC，且不限於此。此外，影像資料分析單元50設置於處理單元42中，例如在一實施例中，影像資料分析單元50可例如是一軟體或韌體，處理單元42(例如FPGA或ASIC)執行該軟體或韌體後，可實現分析影像資料S3及產生校正指令S4的功能，又在另一實施例中，影像資料分析單元50可例如是處理單元42(例如FPGA或ASIC)的電子電路的至少一部份。本發明不限於此。其中，處理單元42對測試訊號S2進行解碼以取得影像資料S3，並藉由影像資料分析單元50直接對影像資料S3進行分析，以產生校正指令S4。之後，處理單元42將校正指令S4提供給串列通訊介面43。由此可知，本實施例的影像擷取卡40即可具備產生校正指令S4的功能，可大幅度縮短影像資料S3的分析與回傳校正指令S4的處理速度。

須注意的是，本實施例的機制亦可與圖5實施例及圖6實施例整合，例如在圖5實施例的另一處理單元422中設置影像資料分析單元50，或者在圖6實施例的處理單元42或另一處理單元422中設置影像資料分析單元50。本發明不限於此。

此外，圖4實施例至圖7實施例的影像擷取卡40亦可適用於圖3實施例的影像測試系統1中。

藉此，本發明提供了影像測試系統及影像測試方法，可提升待測物的校正效率。此外，本發明亦可減少校正指令因為傳輸路徑而發生損耗的機率。因此，本發明可解決現有技術的問題。

上述實施例僅係為了方便說明而舉例而已，本發明所主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準，而非僅限於上述實施例。

1:影像測試系統

10:工作站

20:測試頭

21:通訊介面卡

22-1~22-N:電子集成卡

30-1~30-N:探針卡

31:探針

40-1~40-N:影像擷取卡

41:輸入介面

42:處理單元

43:串列通訊介面

50-1~50-N:影像資料分析單元

60-1~60-N:待測物

61:接腳

S0:測試向量

S1:控制指令參數

S2-1~S2-N:測試訊號

S3-1~S3-N:影像資料

S4-1~S4-N:校正指令

Claims

一種影像測試系統，包含：至少一影像擷取卡(40)，包含一處理單元(42)及一串列通訊介面(serial communication interface)(43)，其中該處理單元(42)對至少一待測物(60)輸出的一測試訊號(S2)進行解碼，以取得一影像資料(S3)，該串列通訊介面(43)與該處理單元(42)電性連接；以及至少一影像資料分析單元(50)，根據該影像資料(S3)的缺陷產生一校正指令(S4)；其中，該串列通訊介面(43)接收該校正指令(S4)，並將該校正指令(S4)傳送至該至少一待測物(60)。
如請求項1所述的影像測試系統，其中該處理單元(42)的類型包含電場可程式化邏輯閘陣列晶片(field programmable gate array，FPGA)或特殊應用積體電路(application specific integrated circuit，ASIC)。
如請求項1所述的影像測試系統，其中該至少一影像資料分析單元(50)設置於一影像處理裝置(70)之中，該影像處理裝置(70)與該至少一影像擷取卡(40)電性連接。
如請求項1所述的影像測試系統，其中該至少一影像資料分析單元(50)設置於該處理單元(42)之中。
如請求項1所述的影像測試系統，其中該串列通訊介面(43)包含一串列通訊電路(431)及一串列通訊匯流排(432)，該串列通訊電路(431)將該校正指令 (S4)轉換為串列通訊格式，該串列通訊匯流排(432)將該校正指令(S4)傳送至該至少一待測物(60)。
如請求項1所述的影像測試系統，其中該至少一待測物(60)包含一第一待測物(60-1)及一第二待測物(60-2)，該至少一影像擷取卡(40)包含一第一影像擷取卡(40-1)及一第二影像擷取卡(40-2)，該至少一影像資料分析單元(50)包含一第一影像資料分析單元(50-1)及一第二影像資料分析單元(50-2)，且該第一影像資料分析單元(50-1)根據該第一待測物(60-1)輸出的一第一測試訊號(S2-1)之中的一第一影像資料(S3-1)產生一第一校正指令(S4-1)，該第一影像擷取卡(40-1)將該第一校正指令(S4-1)傳送至該第一待測物(60-1)，該第二影像資料分析單元(50-2)根據該第二待測物(60-2)輸出的一第二測試訊號(S2-2)之中的一第二影像資料(S3-2)產生一第二校正指令(S4-2)，該第二影像擷取卡(40-2)將該第二校正指令(S4-2)傳送至該第二待測物(60-2)。
一種影像測試方法，透過一影像測試系統(1)執行，該影像測試系統(1)包含至少一影像擷取卡(40)及至少一影像資料分析單元(50)，且該至少一影像擷取卡(40)包含一處理單元(42)以及與該處理單元(42)電性連接的一串列通訊介面(43)，其中該方法包含步驟：藉由該處理單元(42)對至少一待測物(60)輸出的一測試訊號(S2)進行解碼，以取得一影像資料(S3)；藉由該至少一影像資料分析單元(50)，根據該影像資料(S3)的缺陷產生一校正指令(S4)；以及藉由該串列通訊介面(43)將該校正指令(S4)傳送至該至少一待測物(60)。
如請求項7所述的影像測試方法，其中該處理單元(42)的類型包含FPGA或ASIC。
如請求項7所述的影像測試方法，其中該至少一影像資料分析單元(50)設置於一影像處理裝置(70)之中，其中該影像處理裝置(70)與該至少一影像擷取卡(40)電性連接。
如請求項7所述的影像測試方法，其中該至少一影像資料分析單元(50)設置於該處理單元(42)之中。
如請求項7所述的影像測試方法，其中該串列通訊介面(43)包含一串列通訊電路(431)及一串列通訊匯流排(432)，且該方法包含步驟：藉由該串列通訊電路(431)將該校正指令(S4)轉換為串列通訊格式；以及藉由該串列通訊匯流排(432)將該校正指令(S4)傳送至該至少一待測物(60)。
如請求項7所述的影像測試方法，其中該至少一待測物(60)包含一第一待測物(60-1)及一第二待測物(60-2)，該至少一影像擷取卡(40)包含一第一影像擷取卡(40-1)及一第二影像擷取卡(40-2)，該至少一影像資料分析單元(50)包含一第一影像資料分析單元(50-1)及一第二影像資料分析單元(50-2)，其中該方法包含步驟：藉由該第一影像資料分析單元(50-1)，根據該第一待測物(60-1)輸出的一第一測試訊號(S2-1)之中的一第一影像資料(S3-1)產生一第一校正指令(S4-1)；藉由該第二影像資料分析單元(50-2)，根據該第二待測物(60-2)輸出的一第二測試訊號(S2-2)之中的一第二影像資料(S3-2)產生一第二校正指令(S4-2)；藉由該第一影像擷取卡(40-1)，將該第一校正指令(S4-1)傳送至該第一待測物(60-1)；以及藉由該第二影像擷取卡(40-2)，將該第二校正指令(S4-2)傳送至該第二待測物(60-2)。