TWI795070B - 波紋管泵 - Google Patents

Abstract

本發明涉及一種波紋管泵。本發明的一實施例的波紋管泵，使用於半導體工藝，包括：主體，在內部形成有抽吸並供應藥液的一對泵室，並且具有壓縮並供應流進所述泵室的藥液的一對波紋管；蓋，分別以螺紋結合組裝於所述主體兩側，以堵住所述泵室的開放的部分以進行封閉；及控制主體，結合於組裝所述蓋的所述主體的一側面，並且控制向所述主體內部供應壓縮空氣；在所述蓋壓入並且結合組裝於所述主體的壓入式肋條，將向外側凸出壓入的所述前端圓周面的面加工部面加工成與所述主體的一側面相對應，所述控制主體的至少一部分可緊貼接觸於所述面加工部。

Description

波紋管泵

本發明涉及波紋管泵。

通常，波紋管泵利用於半導體製造設備，例如，在半導體製造裝置的IC或者液晶的表面清洗等各種處理中使用的藥液迴圈輸送等。

這種波紋管泵可包括：構成外形的主體；一對波紋管，設置在所述主體，加壓並排放藥液；移動軸，若通過供應壓縮空氣交替移動所述波紋管，則實現膨脹/收縮；壓縮板，分別配置在所述一對波紋管。

此時，在所述主體的內部形成設置所述波紋管的一對泵室，為了封閉所述泵室，在主體的兩側分別緊固蓋。所述蓋通過螺紋結合組裝在主體的兩側，與所述主體組裝的前端圓周面可被壓入並且組裝于形成在主體兩側面的壓入槽。

如此，在蓋組裝於主體之後使用的過程中，存在蓋以 拆卸方向旋轉的問題。即，由於蓋通過螺紋結合組裝於主體，因此因為在波紋管泵的驅動中產生的振動等而以組裝方向的反方向旋轉，進而出現與主體的組裝被拆卸或者鬆懈的問題。

本發明提供一種具有可防止在波紋管泵的主體組裝的蓋以拆卸方向旋轉的結構的波紋管泵。

本發明的一實施例的波紋管泵使用於半導體工藝，包括：主體，在內部形成有抽吸並供應藥液的一對泵室，並且具有壓縮並供應流進所述泵室的藥液的一對波紋管；蓋，具有螺紋結合於所述主體兩側的螺紋結合部，並且堵住所述泵室的開放的部分以進行封閉；及控制主體，結合於組裝所述蓋的所述主體的一側面，並且控制向所述主體內部供應壓縮空氣；配置在所述螺紋結合部前端的壓入式肋條在組裝過程中壓入並結合於所述主體，將在壓入的所述壓入式肋條中向外側凸出的部分面加工，以與所述主體的一側面相對應，進而形成面加工部；所述控制主體的至少一部分可緊貼接觸於所述面加工部。

在所述控制主體的兩側面可凸出配置與所述面加工部緊貼接觸的止動件。

所述蓋形成為圓筒形狀，而所述主體的兩側面可形成與所述蓋的直徑相對應的大小。

在所述主體的兩側面沿著圓周方向形成壓入所述壓入式肋條的壓入槽，在所述主體的兩側面中位於上端角落、下端角落及側端角落的所述壓入槽可向外側開口。

將位於形成在所述側端角落的壓入槽的所述壓入式肋條中向外側凸出的部分面加工，可形成所述面加工部。

位於形成在所述上端角落及下端角落的壓入槽的所述壓入式肋條中，向外側凸出的部分可位元於形成在所述主體的板壓入槽上。

在所述控制主體的一側面可具有鎖定部，所述鎖定部滑動結合于形成在所述主體的鎖定槽。

在所述主體的上面及下面分別結合上部板及下部板，所述下部板在所述控制主體滑動結合於所述鎖定槽之後可結合於所述主體的下麵。

本發明可防止在本發明的一實施例的波紋管泵的主體組裝的蓋以拆卸方向旋轉。從而，在波紋管泵的驅動中也可保持堅固的組裝狀態，因此可提高產品的可靠性。

10:主體

11:移動軸

12:鎖定槽

14:上部板

16:下部板

18:主體螺紋結合部

20:第一泵室

22:第二泵室

24:第一供應室

26:第二供應室

28:止回閥

30:第一波紋管

32:第二波紋管

40:第一活塞

42:第二活塞

44:第一活塞殼

46:第二活塞殼

50:蓋

51:螺紋結合部

52:壓入式肋條

54:壓入槽

56:板壓入槽

60:面加工部

70:控制主體

72:止動件

74:鎖定部

80:藥液流進部

82:藥液排放部

[圖1]是本發明的一實施例的波紋管泵的立體圖。

[圖2]是示出在本發明的一實施例的波紋管泵分離蓋 的立體圖。

[圖3]是示出在圖1的波紋管泵分離控制主體的立體圖。

[圖4]是沿著圖1的I-I線的剖面圖。

[圖5]是沿著圖1的II-II線的剖面圖。

對於本發明可進行各種改變，並且可具有各種實施例，而且將特定實施例示例於附圖並進行詳細說明。然而，這並不是要將本發明限定於特定實施形態，而是應該理解為包括本發明的思想及技術範圍內的所有改變、同等物乃至代替物。在本發明的說明中，若判斷對於相關公知技術的具體說明可使本發明的要點不清楚的情況下，省略該詳細說明。

第一、第二等的用語可用於說明各種構件，但是所述構成不限於所述用語。所述用語只以將一構件從另一構件區分的目的使用。

在本申請中使用的用語只是為了說明特定實施例而使用的，並沒有要限定本發明的意圖。對於單數的表述，除非在文章有明確表述，否則包括複數的表述。在本申請中，對於“包括”或者“具有”等的用語應該理解為是要指定在說明書上記載的特徵、數位、步驟、動作、構件、零部件或者這些的組合的存在，並不提前排除一個或者一個以上的其他特徵或者數位、步驟、動作、構件、零部件或者 這些的組合的存在或者附加可能性。

另外，在說明書全文中，說明“連接”時，這不只意味著兩個以上的構件直接連接，還可意味著兩個以上的構件通過其他構件間接連接、除了物理性連接的以外的電連接、或者根據位置或者功能使用不同名稱但是形成一體的。

以下，參照附圖，詳細說明本發明的波紋管泵的一實施例，在參照附圖進行說明時，對於相同或者相對應的構件賦予相同的附圖標記，並且省略重複的說明。

圖1是本發明的一實施例的波紋管泵的立體圖；圖2是示出在本發明的一實施例的波紋管泵分離蓋的立體圖；圖3是示出在圖1的波紋管泵分離控制主體的立體圖；圖4是沿著圖1的I-I線的剖面圖；圖5是沿著圖1的II-II線的剖面圖。

如圖所示，本發明的一實施例的波紋管泵可包括：主體10，在內部形成抽吸並供應藥液的一對泵室20、22，並且具有壓縮並供應流進所述泵室20、22的藥液的一對波紋管30、32；蓋50，具有螺紋結合於所述主體10兩側的螺紋結合部51，並且堵住所述泵室20、22的開放的部分以進行封閉；及控制主體70，結合於組裝所述蓋50的所述主體10的一側面，並且控制向所述主體10的內部供應壓縮空氣。

主體10形成波紋管泵的整體外觀，大致形成直角六面體形狀，並且一側面可形成曲面。在主體10的內部形成第一泵室20、第二泵室22、第一供應室24及第二供應室26並 且正交配置，以將藥液的移動距離最小化。例如，如圖4所示，泵室20、22配置在主體10的內部左側及右側；如圖5所示，供應室24、26可與泵室20、22正交地配置在前方及後方。

參照圖4，在第一泵室20及第二泵室22分別具有第一波紋管30及第二波紋管32。在第一波紋管30及第二波紋管32的前端具有第一壓縮板34及第二壓縮板36，以加壓並送出流進泵室20、22的藥液。然後，第一波紋管30及第二波紋管32的後端固定在蓋50。

重新參照圖1至圖3，在主體10的一側面形成鎖定槽12。鎖定槽12作為滑動結合以下待說明的控制主體70的鎖定部74的部分，從主體10的一側面下端向上方延伸預定高度而成。

在主體10的上面及下面分別結合上部板14及下部板16。在本實施例中，下部板16在控制主體70結合於主體10的一側面的狀態下結合於主體10的下面，進而除了主體10的下面以外，還覆蓋控制主體70的下面，因此可堅固的保持控制主體70的結合。

另一方面，在主體10的兩側分別結合堵塞並封閉泵室20、22的開放的部分的蓋50。蓋50中與主體10相互面對的面凹陷以形成預定的空間，並且蓋50大致形成為圓筒形狀。在本實施例中，蓋50具有螺紋結合部51，所述螺紋結合部51用於螺紋結合於主體10兩側的前端部。螺紋結合部51與配置在主體10的兩側外周面的主體螺紋結合部18螺紋 結合。

然後，在螺紋結合部51的前端具有壓入式肋條52，所述壓入式肋條52在螺紋結合蓋50時壓入並結合於主體10。壓入式肋條52插入的同時壓入沿著圓周方向形成在主體10兩側的環形狀的壓入槽54(參照圖2)。即，主體10和蓋50基本上是通過螺紋結合部51螺紋結合於主體螺紋結合部18來相互結合，而且壓入式肋條52壓入並結合於壓入槽54，進而可使蓋50的結合更加堅固。

在本實施例中，主體10的兩側面與形成為圓筒形狀的蓋50的直徑相對應，因此在主體10的兩側面中在上端角落、下端角落及側端角落形成的壓入槽54向外側開口。在圖1中，主體10的兩側面中左側端形成為曲面，因此雖然壓入槽54未向外側開口，但是形成在剩餘三個角落的壓入槽54可向外側開口。

此時，將在位於形成在側端角落的壓入槽54的壓入式肋條52中向外側凸出的部分面加工。由於壓入槽54是加工主體10的兩側面中的角落而成的，因此向外側開口，在壓入式肋條52壓入的過程中可向開口的方向凸出。由於壓入式肋條52是用合成樹脂製成的，因此在加壓於壓入槽54的過程中可向外側凸出並變形一部分。

在壓入式肋條52中，如上所述，面加工從在側端角落形成的壓入槽54凸出的部分，位於上端角落及下端角落的壓入式肋條52的凸出的部分可位元於形成在主體10的板壓入槽56。雖未在本附圖中具體示出壓入式肋條52的凸出的 部分，但是在壓入槽54凸出的部分可位元於與壓入槽54相對應形成的板壓入槽56上。

如圖3所示，壓入式肋條52從螺紋結合部51的前端延伸，以具有比螺紋結合部51的厚度更薄的厚度。

另一方面，在蓋50螺紋結合於主體10之後因為在波紋管泵的驅動中產生的振動等而以組裝方向的反方向旋轉，進而可拆卸或者鬆卸與主體10的組裝。將壓入式肋條52中向外側凸出的部分面加工，以使壓入式肋條52與主體10的一側面相對應，進而如圖3形成了面加工部60。

如上所述，壓入式肋條52在結合蓋50的過程中是被壓入的部分，而且蓋50通常用合成樹脂材料製成，因此在壓入過程中壓入式肋條52可向外側凸出，即比主體10的一側面更加凸出。若面加工如此凸出的壓入式肋條52，以與主體10的一側面一致，則可如圖3平滑形成，以與主體10的一側面具有同一平面。

若在該狀態下控制主體70結合於主體10的一側面，則控制主體70的至少一部分可緊貼接觸於面加工部60。在圖1示出了在控制主體70的兩側面凸出配置的止動件72緊貼接觸於面加工部60，但是不限於此，而是使控制主體70的至少一部分緊貼接觸於面加工部60即可。例如，若控制主體70的兩側面比圖1更加向兩側延伸凸出，則自然可與面加工部60緊貼接觸。

如上所述，若控制主體70的至少一部分緊貼接觸於面加工部60，則限制螺紋結合於主體10的蓋50以組裝方向的 反方向旋轉，因此可從根本上防止蓋50的組裝被拆卸或者鬆懈。即，在本實施例中，適當面加工在蓋50通過壓入向外側凸出的壓入式肋條52，利用與結合控制主體70的面之間的接觸，防止蓋50以拆卸組裝的方向旋轉。

參照圖4及圖5，在主體10的內部移動軸11設置在中心。移動軸11以主體10的左右方向往返移動，兩側端部延伸至泵室20、22與各個波紋管30、32連接。

第一活塞40及第二活塞42分別組裝於第一活塞殼44及第二活塞殼46。第一活塞殼44及第二活塞殼46位於第一波紋管30及第二波紋管32內側，分別由頭部和身體部構成。對於活塞40、42，若注入壓縮空氣，則移動活塞殼44、46，以輔助波紋管30、32交替收縮/膨脹。

另一方面，止回閥28設置在供應室24、26的同時位於供應室24、26上部及下部以交替做動作，同時阻止或者開放藥液移動，以使藥液交替供應於泵室20、22，並且可排放波紋管30、32抽吸的藥液。

在主體10的一側面下部具有向供應室24、26流進藥液的藥液流進部80，在上面具有與泵室20、22連接的藥液排放部82。

以上，參照特定的實施例說明瞭本發明的特徵，在該技術領域中具有普通知識的人員可理解為在不超出在請求項的範圍記載的本發明的思想及領域的範圍內可對本發明的進行各種修改和更改。

10:主體 14:上部板 16:下部板 50:蓋 56:板壓入槽 70:控制主體 72:止動件

Claims (8)

1. 一種波紋管泵，使用於半導體工藝，包括：主體，在內部形成有抽吸並供應藥液的一對泵室，並且具有壓縮並供應流進所述泵室的藥液的一對波紋管；蓋，具有螺紋結合於所述主體兩側的螺紋結合部，並且堵住所述泵室的開放的部分以進行封閉；及控制主體，結合於組裝所述蓋的所述主體的一側面，並且控制向所述主體內部供應壓縮空氣；配置在所述螺紋結合部前端的壓入式肋條在組裝過程中壓入並結合於所述主體，將在壓入的所述壓入式肋條中向外側凸出的部分面加工，以與所述主體的一側面相對應，進而形成面加工部；所述控制主體的至少一部分緊貼接觸於所述面加工部。
2. 根據請求項1所述的波紋管泵，其特徵在於，在所述控制主體的兩側面凸出配置與所述面加工部緊貼接觸的止動件。
3. 根據請求項1所述的波紋管泵，其特徵在於，所述蓋形成為圓筒形狀，而所述主體的兩側面形成與所述蓋的直徑相對應的大小。
4. 根據請求項3所述的波紋管泵，其特徵在 於，在所述主體的兩側面沿著圓周方向形成壓入所述壓入式肋條的壓入槽，在所述主體的兩側面中位於上端角落、下端角落及側端角落的所述壓入槽向外側開口。
5. 根據請求項4所述的波紋管泵，其特徵在於，將位於形成在所述側端角落的壓入槽的所述壓入式肋條中向外側凸出的部分面加工，以形成所述面加工部。
6. 根據請求項4所述的波紋管泵，其特徵在於，位於形成在所述上端角落及下端角落的壓入槽的所述壓入式肋條中，向外側凸出的部分位元於形成在所述主體的板壓入槽上。
7. 根據請求項1所述的波紋管泵，其特徵在於，在所述控制主體的一側面具有鎖定部，所述鎖定部滑動結合于形成在所述主體的鎖定槽。
8. 根據請求項7所述的波紋管泵，其特徵在於，在所述主體的上面及下面分別結合上部板及下部板，所述下部板在所述控制主體滑動結合於所述鎖定槽之後結合於所述主體的下面。

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