TWI785978B - 金屬表面處理液回收利用系統及其操作方法 - Google Patents

Abstract

本發明涉及一種金屬表面處理液回收利用系統及其操作方法，所述回 收利用系統包括依次連接的處理液收集槽、預處理裝置、奈米過濾裝置、真空蒸餾裝置和濃縮液回收槽，所述奈米過濾裝置包括進水槽、一級奈米過濾膜組和二級奈米過濾膜組，所述處理液收集槽中的處理液通過預處理裝置過濾掉固體懸浮物後進入進水槽內，所述進水槽中的廢水進入一級奈米過濾膜組過濾後形成一級濃廢液和一級滲透液，一級滲透液進入二級奈米過濾膜組再次過濾後形成二級濃廢液和二級滲透液，二級滲透液進入真空蒸餾裝置被進一步蒸發濃縮形成蒸餾水和高濃度含酸的濃縮液；本發明將奈米過濾裝置和真空蒸餾裝置相結合，得到高濃度的含酸濃縮液進行回收利用，符合資源利用的最大化。

Description

金屬表面處理液回收利用系統及其操作方法

本發明涉及廢液處理，具體涉及一種金屬表面處理液回收利用系統及其操作方法。

在金屬表面處理生產過程中，常使用各種強酸(如磷酸、硫酸、硝酸等)，對金屬表面進行酸洗、溶蝕、拋光等工藝處理，當酸液中的金屬達到一定的濃度後，因處理效果達不到工藝要求，酸液就需要重新配製和更換。在這個過程中，產生了大量的含廢酸液，由此帶來兩個問題：

一、處理高濃度的含酸廢液，需要消耗大量的堿液進行中和處理或委託有資質單位外運處理，增加成本。

二、大量有價值的酸被浪費，如磷酸。

因此急需一種新的廢液處理工藝能夠克服上述缺陷。

為了克服上述缺陷，本發明提供一種金屬表面處理液回收利用系統，該系統將奈米過濾裝置和真空蒸餾裝置相結合，奈米過濾裝置首先將金屬離子和酸液分離，分離出來的含酸滲透液再通過真空蒸餾裝置濃縮得到高濃度的含酸濃縮液進行回收利用，符合資源利用的最大化。

本發明為了解決其技術問題所採用的技術方案是：一種金屬表面處理液回收利用系統，包括依次連接的處理液收集槽、預處理裝置、奈米過濾裝置、真空蒸餾裝置和濃縮液回收槽，所述奈米過濾裝置包括進水槽、一級奈米過濾膜組和二級奈米過濾膜組，所述處理液收集槽中的處理液通過預處理裝置過濾掉固體懸浮物後進入進水槽內，所述進水槽中的廢水進入一級奈米過濾膜組過濾後形成一級濃廢液和一級滲透液，一級滲透液進入二級奈米過濾膜組再次過濾後形成二級濃廢液和二級滲透液，含有高濃度金屬離子的一級濃廢液和二級濃廢液進入廢水池處理，二級滲透液進入真空蒸餾裝置被進一步蒸發濃縮形成蒸餾水和高濃度含酸的濃縮液，所述濃縮液進入濃縮液回收槽中待迴圈利用，而蒸餾水進入儲水池待迴圈利用。

優選地，所述進水槽中的廢水通過一級高壓泵和一級進料管泵入一級奈米過濾膜組中，所述一級滲透液通過一級滲透液出水管排出後再通過二級高壓泵和二級進料管泵入二級奈米過濾膜組中，所述一級濃廢液通過一級濃廢液出水管排出，且該一級濃廢液出水管上設有一級壓力錶和一級調壓閥，所述二級濃廢液通過二級濃廢液出水管排出，且該二級濃廢液出水管上設有二級壓力錶和二級調壓閥，所述二級滲透液通過二級滲透液出水管排出至真空蒸餾裝置。

優選地，所述一級奈米過濾膜組和二級奈米過濾膜組中採用的奈米過濾膜為耐高壓、耐濃酸且能截留二價及二價以上金屬離子的奈米過濾膜。

優選地，所述預處理裝置中的過濾介質為石英砂、活性炭和無煙煤中的至少一種，該預處理裝置用於過濾處理液中粒徑大於1μm的固體懸浮物。

優選地，所述真空蒸餾裝置包括蒸發罐、冷凝器和緩衝槽，所述蒸發罐與真空泵相連接，該蒸發罐內部設有加熱管、底部設有加熱夾套，該蒸發罐外部設有廢液入口、濃縮液出口、蒸汽入口、蒸汽水出口和水汽出口，所 述冷凝器外部設有水汽入口、蒸餾水出口、冷卻水入口和冷卻水出口，二級滲透液通過廢液入口進入蒸發罐內，加熱蒸汽通過蒸汽入口進入加熱管和夾套對外部的廢液進行加熱，被換熱後的蒸汽變成水經過蒸汽水出口流出蒸發罐，廢水中被加熱後的水汽經過水汽出口進入冷凝器中，被濃縮後的廢水濃縮液通過濃縮液出口排入濃縮液回收槽，水汽在冷凝器中被冷卻水冷凝後通過蒸餾水出口排入緩衝槽，蒸餾水在緩衝槽中穩定後通過排液泵泵出回收利用。

本發明還提供了一種金屬表面處理液回收利用系統的操作方法，包括如下步驟：步驟一：金屬表面處理液使用後流入處理液收集槽內，處理液收集槽中高金屬離子濃度的含酸廢水通過管路進入預處理裝置中過濾掉粒徑大於1μm的固體懸浮物後，進入奈米過濾裝置的進水槽中；步驟二：一級高壓泵將進水槽中的廢液泵入一級奈米過濾膜組，調節一級調壓閥使一級奈米過濾膜組的滲透壓維持在4.5MPa~5.5MPa之間，一級奈米過濾膜組在該壓力下將二價及二價以上的金屬離子截留在一級濃廢液中，而通過一級奈米過濾膜組的一級滲透液排出至二級奈米過濾膜組；步驟三：二級高壓泵將一級滲透液泵入二級奈米過濾模組中，調節二級調壓閥使二級奈米過濾膜組的滲透壓維持在5.0MPa~6.0MPa之間，二級奈米過濾膜組在該壓力下將二價及二價以上的金屬離子進一步截留在二級濃廢液中，而通過二級奈米過濾膜組的二級滲透液排出至真空蒸餾裝置；步驟四：含微量金屬離子的二級滲透液在真空蒸餾裝置中被進一步蒸發濃縮，真空蒸餾裝置在真空度為80KPa~90KPa的條件下，將二級滲透液中水分在溫度為40℃~50℃下蒸發分離，當廢液中的酸濃度升高至預設濃度後真空蒸餾裝置停止運行，含微量金屬離子且含高濃度酸的濃縮液排出蒸發罐並收集於濃縮液回收槽中以被再利用，同時蒸發的水回收作為工業水使用。

本發明的有益效果是：

1、本系統主要包括預處理裝置、奈米過濾裝置和真空蒸餾裝置，高金屬離子的含酸廢液首先經預處理裝置，過濾掉粒徑大於1μm的固體懸浮物後，再進入奈米過濾裝置，利用奈米過濾膜分離技術將含酸廢液中二價及多價金屬離子有效截留；去除雜質後的含酸廢液進一步經真空蒸餾裝置蒸發濃縮，當酸濃度達到85%以上後，可以直接回用。因此利用本系統處理含酸廢液，可有效分離含酸廢液中的雜質及金屬離子，同時對酸液進行蒸發提濃，實現含酸廢液去雜濃縮再利用，符合資源利用的最大化。

2、本系統中採用的奈米過濾裝置，是利用奈米過濾膜分離技術分離淨化含酸廢液中的雜質特別是可以截留金屬離子的功能；奈米過濾膜是20世紀80年代發明的新型分離膜，是介於超濾膜和反滲透膜之間的、根據吸附擴散原理以壓力驅差為驅動力的膜，是一種加壓膜分離技術，即在一定的壓力下，使小分子溶質和溶劑穿過一定孔徑的特製的薄膜，而使大分子溶質不能透過，留在膜的一邊；本發明中奈米過濾膜除了對大分子溶質截留外，還對二價及二價以上金屬離子有較高的截留率，本系統中奈米過濾裝置為二級奈米過濾，以單級奈米過濾膜組串聯方式連接，一級奈米過濾膜組金屬離子截留率可達75%~80%，二級奈米過濾膜組截留率可達85%~90%，因此採用二級串聯式奈米過濾膜元件可以將二價及二價以上金屬離子與酸分離，使得濃縮後的酸液中金屬離子含量符合處理液的標準，確保酸液可以直接回收利用。

3、本系統中採用的真空蒸餾裝置，是在高真空條件下(-80KPa~-90KPa)進行的連續蒸餾過程，酸液中水分在低溫下(40℃~50℃)被蒸發分離，可有效提高酸的濃度，同時由於操作溫度遠低於物質常壓下的沸點溫度，且加熱時間非常短，不會對酸液本身造成破壞，從而實現了酸液的回收再利用。

100:奈米過濾裝置

110:進水槽

120:一級奈米過濾膜組

121:一級高壓泵

122:一級進料管

123:一級濃廢液出水管

124:一級壓力錶

125:一級調壓閥

126:一級滲透液出水管

130:二級奈米過濾膜組

131:二級高壓泵

132:二級進料管

133:二級濃廢液出水管

134:二級壓力錶

135:二級調壓閥

136:二級滲透液出水管

200:真空蒸餾裝置

210:蒸發罐

211:加熱管

212:夾套

213:廢液入口

214:濃縮液出口

215:蒸汽入口

216:蒸汽水出口

217:計量器

220:冷凝器

221:篩檢程式

222:水汽入口

223:蒸餾水出口

224:冷卻水入口

225:冷卻水出口

230:計量罐

231:自動閥

240:緩衝槽

250:真空泵

260:排液泵

300:處理液收集槽

400:預處理裝置

500:濃縮液回收槽

圖1為本發明的工藝流程圖；圖2為本發明中奈米過濾裝置的結構示意圖；圖3為本發明中真空蒸餾裝置的結構示意圖。

下面將結合本發明實施例，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本發明保護的範圍。

需要說明的是，本申請的說明書和權利請求書及上述附圖中的術語“第一”、“第二”等是用於區別類似的物件，而不必用於描述特定的順序或先後次序。應該理解這樣使用的資料在適當情況下可以互換，以使這裡描述的本申請的實施方式例如能夠以除了在這裡圖示或描述的那些以外的順序實施。此外，術語“包括”和“具有”以及他們的任何變形，意圖在於覆蓋不排他的包含，例如，包含了一系列步驟或單元的過程、方法、系統、產品或設備不必限於清楚地列出的那些步驟或單元，而是可包括沒有清楚地列出的或對於這些過程、方法、產品或設備固有的其它步驟或單元。

為了便於描述，在這裡可以使用空間相對術語，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用來描述如在圖中所示的一個器件或特徵與其他器件或特徵的空間位置關係。應當理解的是，空間相對術語旨在包含除了器件在圖中所描述的方位之外的在使用或操作中的 不同方位。例如，如果附圖中的器件被倒置，則描述為“在其他器件或構造上方”或“在其他器件或構造之上”的器件之後將被定位為“在其他器件或構造下方”或“在其他器件或構造之下”。因而，示例性術語“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”兩種方位。該器件也可以其他不同方式定位(旋轉90度或處於其他方位)，並且對這裡所使用的空間相對描述作出相應解釋。

實施例：如圖1-3所示，一種金屬表面處理液回收利用系統，包括依次連接的處理液收集槽300、預處理裝置400、奈米過濾裝置100、真空蒸餾裝置200和濃縮液回收槽500，所述奈米過濾裝置100包括進水槽110、一級奈米過濾膜組120和二級奈米過濾膜組130，所述處理液收集槽300中的處理液通過預處理裝置400過濾掉固體懸浮物後進入進水槽110內，所述進水槽110中的廢水進入一級奈米過濾膜組120過濾後形成一級濃廢液和一級滲透液，一級滲透液進入二級奈米過濾膜組130再次過濾後形成二級濃廢液和二級滲透液，含有高濃度金屬離子的一級濃廢液和二級濃廢液進入廢水池處理，二級滲透液進入真空蒸餾裝置200被進一步蒸發濃縮形成蒸餾水和高濃度含酸的濃縮液，所述濃縮液進入濃縮液回收槽500中待迴圈利用，而蒸餾水進入儲水池待迴圈利用。本系統主要針對金屬離子含量較高的金屬表面含酸處理液的回收利用，在傳統回收系統中僅將廢液中的酸和水分離，對於酸液中金屬離子則無法分離，而如果酸液中的金屬離子超過一定含量時則無法使用，如採用傳統的回收系統濃縮後的酸液中依然含有高濃度的金屬離子，因此無法直接使用。

本發明中採用奈米過濾膜將酸和金屬離子先分離後，再通過真空蒸餾裝置將廢液中的酸濃縮，得到的濃縮液可直接用於金屬表面處理，如酸洗、溶蝕、拋光等工藝中。因此本系統將奈米過濾裝置和真空蒸餾裝置相結合，奈米過濾裝置首先將金屬離子和酸液分離，僅得到了少量高濃度金屬離子的廢濃 液即奈米過濾裝置的截留液需要進一步處理外，奈米過濾裝置的滲透液通過真空蒸餾裝置得到的水和濃縮液皆可以回收利用，符合資源利用的最大化。

如圖2所示，所述進水槽110中的廢水通過一級高壓泵121和一級進料管122泵入一級奈米過濾膜組120中，所述一級滲透液通過一級滲透液出水管126排出後再通過二級高壓泵131和二級進料管132泵入二級奈米過濾膜組130中，所述一級濃廢液通過一級濃廢液出水管123排出，且該一級濃廢液出水管123上設有一級壓力錶124和一級調壓閥125，所述二級濃廢液通過二級濃廢液出水管133排出，且該二級濃廢液出水管133上設有二級壓力錶134和二級調壓閥135，所述二級滲透液通過二級滲透液出水管136排出至真空蒸餾裝置200。壓力錶用於顯示壓力，一級調壓閥125用於控制一級奈米過濾膜組產生滲透液和濃廢液的比例，同樣，二級調壓閥135用於控制二級奈米過濾膜組產生滲透液和濃廢液的比例；奈米過濾膜是20世紀80年代發明的新型分離膜，是介於超濾膜和反滲透膜之間的、根據吸附擴散原理以壓力驅差為驅動力的膜，是一種加壓膜分離技術，即在一定的壓力下，使小分子溶質和溶劑穿過一定孔徑的特製的薄膜，而使大分子溶質不能透過，留在膜的一邊。奈米過濾膜在應用中，對二價及多價金屬離子有較高的截留率，本系統中奈米過濾裝置為二級奈米過濾，以單級奈米過濾膜組串聯方式連接，一級奈米過濾膜組金屬離子截留率可達75%~80%，二級奈米過濾膜組截留率可達85%~90%，從而使得絕大多數的金屬離子被截留在少量的一級和二級濃廢液中，而滲透液中含有微量的金屬離子可滿足拋光液等使用需求。

所述一級奈米過濾膜組120和二級奈米過濾膜組130中採用的奈米過濾膜為耐高壓、耐濃酸且能截留二價及二價以上金屬離子的奈米過濾膜。本發明中奈米過濾膜除了對大分子溶質截留外，還對二價及二價以上金屬離子有 較高的截留率，因此可以將二價及二價以上金屬離子與酸分離，使得濃縮後的酸液中金屬離子含量符合處理液的標準，確保酸液可以直接回收利用。

所述預處理裝置400中的過濾介質為石英砂、活性炭和無煙煤中的至少一種，該預處理裝置400用於過濾處理液中粒徑大於1μm的固體懸浮物。

如圖3所示，所述真空蒸餾裝置200包括蒸發罐210、冷凝器220和緩衝槽240，所述蒸發罐210與真空泵250相連接，該蒸發罐210內部設有加熱管211、底部設有加熱夾套212，該蒸發罐210外部設有廢液入口213、濃縮液出口214、蒸汽入口215、蒸汽水出口216和水汽出口，所述冷凝器220外部設有水汽入口222、蒸餾水出口223、冷卻水入口224和冷卻水出口225，二級滲透液通過廢液入口213進入蒸發罐210內，加熱蒸汽通過蒸汽入口215進入加熱管211和夾套212對外部的廢液進行加熱，被換熱後的蒸汽變成水經過蒸汽水出口流出蒸發罐210，廢水中被加熱後的水汽經過水汽出口進入冷凝器220中，被濃縮後的廢水濃縮液通過濃縮液出口214排入濃縮液回收槽500，水汽在冷凝器220中被冷卻水冷凝後通過蒸餾水出口排入緩衝槽240，蒸餾水在緩衝槽240中穩定後通過排液泵260泵出回收利用。所述蒸發罐的水汽出口與冷凝器的水汽入口222之間的管路上設有篩檢程式221用於過濾水汽中的雜質，所述蒸發罐中的廢液入口213處設有計量器217用於記錄入水量，所述冷凝器220與緩衝槽240之間還設有計量罐230，所述計量罐230與緩衝槽240之間安裝自動閥231；所述真空整理裝置是在高真空條件下(-80KPa~-90KPa)進行的連續蒸餾過程，酸液中水分在低溫下(40℃~50℃)被蒸發分離，可有效提高酸的濃度，同時由於操作溫度遠低於物質常壓下的沸點溫度，且加熱時間非常短，不會對酸液本身造成破壞。

本發明金屬表面處理液回收利用系統的操作過程：包括如下步驟： 步驟一：金屬表面處理液使用後流入處理液收集槽300內，處理液收集槽中高金屬離子濃度的含酸廢水通過管路進入預處理裝置400中過濾掉粒徑大於1μm的固體懸浮物後，進入奈米過濾裝置的進水槽110中；步驟二：一級高壓泵121將進水槽110中的廢液泵入一級奈米過濾膜組120，調節一級調壓閥125使一級奈米過濾膜組120的滲透壓維持在4.5MPa~5.5MPa之間，一級奈米過濾膜組120在該壓力下將二價及二價以上的金屬離子截留在一級濃廢液中，而通過一級奈米過濾膜組120的一級滲透液排出至二級奈米過濾膜組130；步驟三：二級高壓泵131將一級滲透液泵入二級奈米過濾模組130中，調節二級調壓閥135使二級奈米過濾膜組130的滲透壓維持在5.0MPa~6.0MPa之間，二級奈米過濾膜組130在該壓力下將二價及二價以上的金屬離子進一步截留在二級濃廢液中，而通過二級奈米過濾膜組130的二級滲透液排出至真空蒸餾裝置200；步驟四：含微量金屬離子的二級滲透液在真空蒸餾裝置200中被進一步蒸發濃縮，真空蒸餾裝置200在真空度為80KPa~90KPa的條件下，將二級滲透液中水分在溫度為40℃~50℃下蒸發分離，當廢液中的酸濃度升高至預設濃度後真空蒸餾裝置停止運行，含微量金屬離子且含高濃度酸的濃縮液排出蒸發罐並收集於濃縮液回收槽500中以被再利用，同時蒸發的水回收作為工業水使用。最後得到的濃縮液酸的品質百分數可達85%以上，而金屬離子如鋁離子含量極低，符合金屬表面處理劑的使用需求；本發明中通過二級串聯奈米過濾奈米過濾膜組可以去除掉85-90%的金屬離子，通過真空蒸餾裝置將酸濃度提高至85%以上而達到使用需求，同時水也可以被回收利用。

應當指出，對於本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬於本發明的保護範圍。因此，本發明專利的保護範圍應以所附請求項為准。

100:奈米過濾裝置

200:真空蒸餾裝置

300:處理液收集槽

400:預處理裝置

500:濃縮液回收槽

Claims (5)

1. 一種金屬表面處理液回收利用系統，包括依次連接的處理液收集槽(300)、預處理裝置(400)、奈米過濾裝置(100)、真空蒸餾裝置(200)和濃縮液回收槽(500)，所述奈米過濾裝置(100)包括進水槽(110)、一級奈米過濾膜組(120)和二級奈米過濾膜組(130)，所述處理液收集槽(300)中的處理液通過預處理裝置(400)過濾掉固體懸浮物後進入進水槽(110)內，所述進水槽(110)中的廢水進入一級奈米過濾膜組(120)過濾後形成一級濃廢液和一級滲透液，一級滲透液進入二級奈米過濾膜組(130)再次過濾後形成二級濃廢液和二級滲透液，含有高濃度金屬離子的一級濃廢液和二級濃廢液進入廢水池處理，二級滲透液進入真空蒸餾裝置(200)被進一步蒸發濃縮形成蒸餾水和高濃度含酸的濃縮液，所述濃縮液進入濃縮液回收槽(500)中待迴圈利用，而蒸餾水進入儲水池待迴圈利用；其中：所述進水槽(110)中的廢水通過一級高壓泵(121)和一級進料管(122)泵入一級奈米過濾膜組(120)中，所述一級滲透液通過一級滲透液出水管(126)排出後再通過二級高壓泵(131)和二級進料管(132)泵入二級奈米過濾膜組(130)中，所述一級濃廢液通過一級濃廢液出水管(123)排出，且該一級濃廢液出水管(123)上設有一級壓力錶(124)和一級調壓閥(125)，所述二級濃廢液通過二級濃廢液出水管(133)排出，且該二級濃廢液出水管(133)上設有二級壓力錶(134)和二級調壓閥(135)，所述二級滲透液通過二級滲透液出水管(136)排出至真空蒸餾裝置(200)。
2. 根據請求項1所述的金屬表面處理液回收利用系統，其中：所述一級奈米過濾膜組(120)和二級奈米過濾膜組(130)中採用的奈米過濾膜為耐高壓、耐濃酸且能截留二價及二價以上金屬離子的奈米過濾膜。
3. 根據請求項1所述的金屬表面處理液回收利用系統，其中：所述預處理裝置(400)中的過濾介質為石英砂、活性炭和無煙煤中的至少一種，該預處理裝置(400)用於過濾處理液中粒徑大於1μm的固體懸浮物。
4. 根據請求項1所述的金屬表面處理液回收利用系統，其中：所述真空蒸餾裝置(200)包括蒸發罐(210)、冷凝器(220)和緩衝槽(240)，所述蒸發罐(210)與真空泵(250)相連接，該蒸發罐(210)內部設有加熱管(211)、底部設有加熱夾套(212)，該蒸發罐(210)外部設有廢液入口(213)、濃縮液出口(214)、蒸汽入口(215)、蒸汽水出口(216)和水汽出口，所述冷凝器(220)外部設有水汽入口(222)、蒸餾水出口(223)、冷卻水入口(224)和冷卻水出口(225)，二級滲透液通過廢液入口(213)進入蒸發罐(210)內，加熱蒸汽通過蒸汽入口(215)進入加熱管(211)和夾套(212)對外部的廢液進行加熱，被換熱後的蒸汽變成水經過蒸汽水出口流出蒸發罐(210)，廢水中被加熱後的水汽經過水汽出口進入冷凝器(220)中，被濃縮後的廢水濃縮液通過濃縮液出口(214)排入濃縮液回收槽(500)，水汽在冷凝器(220)中被冷卻水冷凝後通過蒸餾水出口排入緩衝槽(240)，蒸餾水在緩衝槽(240)中穩定後通過排液泵(260)泵出回收利用。
5. 一種如請求項1-4中任一項所述的金屬表面處理液回收利用系統的操作方法，包括如下步驟：步驟一：金屬表面處理液使用後流入處理液收集槽(300)內，處理液收集槽中高金屬離子濃度的含酸廢水通過管路進入預處理裝置(400)中過濾掉粒徑大於1μm的固體懸浮物後，進入奈米過濾裝置的進水槽(110)中；步驟二：一級高壓泵(121)將進水槽(110)中的廢液泵入一級奈米過濾膜組(120)，調節一級調壓閥(125)使一級奈米過濾膜組(120)的滲透壓維持在4.5MPa~5.5MPa之間，一級奈米過濾膜組(120)在該壓力下將二價及二價以 上的金屬離子截留在一級濃廢液中，而通過一級奈米過濾膜組(120)的一級滲透液排出至二級奈米過濾膜組(130)；步驟三：二級高壓泵(131)將一級滲透液泵入二級奈米過濾模組(130)中，調節二級調壓閥(135)使二級奈米過濾膜組(130)的滲透壓維持在5.0MPa~6.0MPa之間，二級奈米過濾膜組(130)在該壓力下將二價及二價以上的金屬離子進一步截留在二級濃廢液中，而通過二級奈米過濾膜組(130)的二級滲透液排出至真空蒸餾裝置(200)；步驟四：含微量金屬離子的二級滲透液在真空蒸餾裝置(200)中被進一步蒸發濃縮，真空蒸餾裝置(200)在真空度為80KPa~90KPa的條件下，將二級滲透液中水分在溫度為40℃~50℃下蒸發分離，當廢液中的酸濃度升高至預設濃度後真空蒸餾裝置停止運行，含微量金屬離子且含高濃度酸的濃縮液排出蒸發罐並收集於濃縮液回收槽(500)中以被再利用，同時蒸發的水回收作為工業水使用。

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