TWI774146B - 冷卻水循環系統一體式副産物捕集裝置 - Google Patents
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Abstract
本發明涉及一種冷卻水循環系統一體式副産物捕集裝置，可以在使用冷卻水的低溫氛圍下對製造製程中産生的各種副産物進行有效地捕集的同時，在未建立用於冷卻水供給的基礎設施的地方，也可以不受制約而自由地設置。
Description
本發明涉及一種半導體或半導體類似産品的製造設備，尤其涉及一種冷卻水循環系統一體式副産物捕集裝置，可以在使用冷卻水的低溫氛圍下對製造製程中産生的各種副産物進行有效地捕集的同時，在未建立用於冷卻水供給的基礎設施的地方，也可以不受制約而自由地設置。
通常，半導體製造製程大致包括前製程（製造製程）和後製程（組裝製程），所謂的前製程就是指在各種處理室（Chamber）內將薄膜蒸鍍在晶片（Wafer）上，反復地進行將蒸鍍的薄膜有選擇地蝕刻的過程，從而加工特定的圖案，由此，這就是所謂的製造半導體芯片（Chip）的製程，所謂的後製程是指將在上述前製程中製造的芯片逐個分離後，與引綫框架結合並組裝成完成品的製程。
此時，在所述晶片上蒸鍍薄膜，或對在晶片上蒸鍍的薄膜進行蝕刻的製程在處理室內使用矽烷（Silane）、砷化氫（Arsine）及氯化硼等有害氣體和氫氣等的製程氣體並在高溫下進行，在進行所述製程期間處理室內部産生大量含有各種易燃性氣體和腐蝕性异物及有毒成分的有害氣體等。
因此，在半導體製造設備中，在使得處理室處於真空狀態的真空泵的後端設置有洗滌器（Scrubber），其在將從處理室內排出的廢氣淨化後向大氣排出。
但是，問題在於，從處理室排出的廢氣與大氣接觸，或周圍的溫度低的話會固化並變爲粉末，所述粉末固著在排氣綫並使得排氣壓力上升的同時，流入真空泵的情况下會引發真空泵的故障，導致廢氣逆流並使得處理室內的晶片被污染。
由此，爲了解决如上所述的問題，如圖1所示，在處理室10和真空泵30之間設置有粉末捕集裝置，其使得從處理室10中排出的廢氣凝結成粉末狀態。換句話說，設置有捕集管70，其以從連接處理室10和真空泵30的泵送管道60分支的形態，用於將在處理室10中産生的副産物捕集爲粉末形態。由此，在處理室10內部蒸鍍薄膜或蝕刻時産生的未反應氣體向具有比處理室10相對低的溫度氛圍的泵送管道60側流入的同時，固化爲粉末90後，堆積在從泵送管道60分支並設置的捕集管70。
但是，過去通過捕集管70對製造製程中産生的副産物進行捕集的方式，缺點在於，副産物氣體轉換爲粉末而捕集到捕集管70所需的時間很長，捕集管70的空間很狹小，從而經常更換捕集管70。
爲了解决像這樣的過去捕集管70的問題，韓國登記專利第0564272號（2006.03.20）的“半導體副産物捕集裝置”中，通過在殼體的內壁面設置冷卻管路而營造低溫氛圍，從而可更加迅速地對副産物氣體進行固化並捕集。
但是，這種設置有冷卻管路的副産物捕集裝置的情况，缺點在於，只有在已經建立用於通過冷卻管路供給低溫的製冷劑或冷卻水的基礎設施的地方才可以使用。
先行技術文獻
專利文獻
韓國登記專利公報第0564272號（2006.03.20）
由此，本發明是爲了解决如上所述的現有各種問題而提出的，本發明的目的在於，提供一種冷卻水循環系統一體式副産物捕集裝置，可以在使用冷卻水的低溫氛圍下對製造製程中産生的各種副産物進行有效地捕集的同時，在未建立用於供給冷卻水的基礎設施的地方，也可以不受制約而自由地設置。
爲了實現如上所述的目的，根據本發明的技術思想的副産物捕集裝置，其可對製造半導體或半導體類似産品的製造製程中産生的副産物進行捕集，副産物捕集裝置的技術構成上的特徵在於，包括：副産物捕集模塊，其通過分別配備於第一殼體的上部和下部的流入管和流出管與供副産物氣體流動的管道串聯連接，從而從副産物氣體中捕集副産物；冷卻水供給模塊，其配備有冷卻水箱和冷卻水泵，通過冷卻管將冷卻水供給至副産物捕集模塊並回收。
在此，特徵在於，副産物捕集模塊的第一殼體和冷卻水供給模塊的第二殼體結合爲一體。
此外，特徵在於，冷卻水供給模塊還包括熱交換部件，其設置在相對於副産物捕集模塊的冷卻水供給側，對冷卻水進行冷卻，熱交換部件包括：熱電板，其配置有多個熱電元件，多個熱電元件配置爲在平面上以吸熱面和發熱面分別朝向一側和另一側的形式排列的狀態；冷卻水箱，其以面對面的形式附著於熱電板的吸熱面，冷卻水在供給至副産物捕集模塊之前經過冷卻水箱。
此外，特徵在於，熱交換部件中，熱電板形成爲四邊形形狀，冷卻水箱形成爲扁平的長方體形狀，以便能够以與熱電板對應的形式相面對，熱交換部件以垂直地竪立的節約空間的形態設置於冷卻水供給模塊第二殼體的內壁附近。
此外，特徵在於，熱交換部件還包括以面對面的形式附著於熱電板的發熱面的熱交換箱，使得從外部供給的製程冷卻水（Process Cooling Water）經過熱交換箱的同時，順暢地實現熱電元件的熱排出。
此外，特徵在於，熱交換部件中，熱電板形成爲四邊形形狀，熱交換箱形成爲扁平的長方體形狀，以便能够以與熱電板對應的形式相面對，熱交換部件以垂直地竪立的節約空間的形態設置於冷卻水供給模塊第二殼體的內壁附近。
此外，特徵在於，副産物捕集模塊的流入管法蘭配備有沿周圍方向形成的內部流路，向熱交換箱供給的製程冷卻水中一部分分支後，經過形成於捕集模塊的流入管法蘭的內部流路。
此外，特徵在於，副産物捕集模塊的第一殼體上面由可開關的上部蓋構成，在上部蓋的內部形成有流通孔，從而引導與上部蓋的下側表面接觸的副産物氣體的蒸鍍，所述流通孔使得向流入管法蘭供給的製程冷卻水中一部分分支流入後循環排出。
此外，特徵在於，流通孔以上部蓋的流入管爲中心到上部蓋的邊緣爲止形成爲較廣的寬度。
此外，特徵在於，還包括：水槽，其設置於冷卻水供給模塊的第二殼體下側，將從第二殼體內部漏出的冷卻水聚到一處並進行收集；泄露感知傳感器，其設置於水槽的底面並對漏出的冷卻水進行感知，即使通過較少的漏水量也能感知到冷卻水的漏水。
此外，特徵在於，副産物捕集模塊包括：第一殼體，其上部和下部配備有流入管和流出管，所述流入管和流出管與供副産物氣體流動的管道相連接；過濾部件，其在第一殼體的內部設置爲上端部和流入管的下端部連通的狀態，下端部是封閉的，但是通過側面允許副産物氣體的流動的同時，對包含在副産物氣體中的副産物粒子的一部分進行過濾；上部蒸鍍板及下部蒸鍍板，其在上下隔開的位置以橫穿第一殼體內部的形式設置，接觸經過過濾部件後流入的副産物氣體的同時，對副産物進行蒸鍍；上部冷卻管及下部冷卻管，其分別設置於上部蒸鍍板及下部蒸鍍板的內部，使得從冷卻水供給模塊供給的冷卻水經過。
此外，特徵在於，在下部蒸鍍板的兩側端部分別形成有穿過孔，副産物蒸鍍在下部蒸鍍板整體，即使在副産物氣體的流動不順暢的狀態下，副産物氣體也可直接通過穿過孔並到達流出管。
此外，特徵在於，上部蒸鍍板及下部蒸鍍板由作爲具有網狀的板的金屬網（metal lath）構成，以便反應副産物氣體通過的同時進行表面接觸。
根據本發明的副産物捕集裝置自身配備有冷卻水循環系統，可以在使用冷卻水的低溫氛圍下對製造製程中産生的各種副産物進行有效地捕集的同時，在未建立用於供給冷卻水的基礎設施的地方，也可以不受制約而自由地設置。
此外，本發明儘管自身配備有冷卻水循環系統，但仍可通過緊凑的結構進行空間集約化設置。
參照附圖對根據本發明的實施例的副産物捕集裝置進行詳細地說明。本發明可進行多種變更並具有各種各樣的形態，將特定實施例在圖中例示並欲在本文進行詳細地說明。但是，這並不是要將本發明限定於特定的公開形態，應理解爲將包括在本發明的思想及技術範圍內的所有變更、均等物乃至代替物都包括在內。說明各附圖的同時，對於類似的構成要素使用了類似的參照標號。就附圖而言，爲了確保本發明的明確性而比實際放大了結構物的尺寸並示出，或爲了理解概略構成而比實際縮小了結構物的尺寸並示出。
此外，第一及第二等術語可在說明多種構成要素時使用，但所述構成要素不受所述術語的限制。所述術語僅僅作爲將一個構成要素與其他的構成要素區別開來的目的而使用。例如，在不脫離本發明的權利範圍的同時，第一構成要素可被命名爲第二構成要素，類似地，第二構成要素也可被命名爲第一構成要素。另外，如果沒有其他的定義，在此使用的包括技術術語或科學術語在內的所有術語具有和在本發明所屬的技術領域內具備一般知識的人員通常理解的含義相同的含義。和通常使用的字典中所定義的含義相同的術語應解釋爲，具有與相關技術的文脉上具備的含義相一致的含義，如果本申請中沒有明確地定義，則不應以上地或過度地解釋爲形式性的含義。
＜實施例＞
圖2是根據本發明的實施例的副産物捕集裝置的立體圖，圖3是用於說明根據本發明的實施例的副産物捕集裝置的構成的部分切開圖，圖4是圖3的正面圖，圖5是用於說明根據本發明的實施例的副産物捕集裝置中的冷卻水循環系統的構成圖。
如圖所示，根據本發明的實施例的副産物捕集裝置是通過將副産物捕集模塊100a和冷卻水供給模塊100b結合爲一體而形成的，副産物捕集模塊100a可使用冷卻水有效地捕集副産物，冷卻水供給模塊100b用於將冷卻水供給至副産物捕集模塊100a。如圖5所示，根據這樣的本發明的實施例的副産物捕集裝置自身同時包括冷卻水循環系統和製程冷卻水半循環系統，通過這樣的構成可以有效地捕集包含在副産物氣體中的副産物的同時，在未建立用於供給冷卻水的基礎設施的地方，也可以不受制約而自由地設置，其中，冷卻水循環系統以使得冷卻水循環的形式構成，製程冷卻水半循環系統可有效地使用從外部供給的製程冷卻水（Process Cooling Water）。
以下，以所述各構成要素爲中心，對根據本發明的實施例的副産物捕集裝置進行詳細地說明。
首先，副産物捕集模塊100a包括第一殼體110a、過濾部件120、上部蒸鍍板130a及下部蒸鍍板130b、上部冷卻管140a及下部冷卻管140b。
第一殼體110a在上部和下部配備有與副産物氣體流動的管道連接的流入管111a和流出管111b，與冷卻水供給模塊100b的第二殼體110b結合爲一體。流入管111a以貫通第一殼體110a的上面的形態設置，與過濾部件120的上端部連通。流出管111b以貫通第一殼體110a的下面的形態設置，其上端部在第一殼體110a的內部從下面向上側凸出。如此，優點在於，流出管111b在從第一殼體110a的下面以凸出的形態形成，如果形成有坎，則即使大量副産物累積在第一殼體110a的下面，也可以以防止通過流出管111b輕易地向外部流出的形式阻斷。
第一殼體110a的上面由可開關的上部蓋112構成，如圖3所示，在上部蓋112的內部形成有流通孔112b，所述流通孔112b使得向流入管法蘭111c供給的製程冷卻水中一部分通過第一分支管分支而流入後循環排出，流通孔112b被與其對應的蓋板112a覆蓋。流通孔112b以上部蓋112的流入管111a爲中心到上部蓋112的邊緣爲止形成爲較廣的寬度，從而使得充分量的製程冷卻水流入流通孔112b。如此，如果在第一殼體110a的上部蓋112較寬地配備有用於使得製程冷卻水停留的流通孔112b，則有利於在第一殼體110a內部空間營造低溫氛圍，並可引導與上部蓋112的下側表面接觸的副産物氣體的蒸鍍。
過濾部件120在第一殼體110a的內部設置爲上端部和流入管111a的下端部連通的狀態，下端部是封閉的，但是通過側面容許副産物氣體的流動。爲此，過濾部件120可以在側面配備有多個穿孔或可以是由網狀的金屬網（metal lath）或除霧器（demister）材料形成的管道形狀的中空部件或圓筒形狀的實心部件。在此，爲了和流入管111a連通，過濾部件120適宜爲圓管型或圓筒形，但並非在形態上受限制，當然可根據需要由更多樣的形態的部件構成。
如此，過濾部件120的下端部是封閉的，但是通過側面容許副産物氣體的流動，如果以這種形式構成，則副産物氣體通過流入管111a流入後通過過濾部件120，在經過這樣的過程的同時，首先過濾相對粗大的副産物粒子。此時，副産物氣體通過過濾部件120的同時，通過側面較廣地擴展並分散，流速也變緩，同時引導更大量的副産物蒸鍍在上部蒸鍍板130a及下部蒸鍍板130b。像這樣的副産物的蒸鍍主要在上部蒸鍍板130a及下部蒸鍍板130b實現，但也在過濾部件120的側面實現。
上部蒸鍍板130a及下部蒸鍍板130b在互相上下隔開的位置以橫穿第一殼體110a內部的形式設置。優選地，上部蒸鍍板130a及下部蒸鍍板130b由經穿孔處理的穿孔板或作爲具有網狀的板的金屬網（metal lath）構成，以便容許副産物氣體的流動的同時，也可對包含在副産物氣體中的副産物進行有效地蒸鍍。
上部冷卻管140a及下部冷卻管140b以之字形設置於上部蒸鍍板130a和下部蒸鍍板130b的內部，使得從冷卻水供給模塊100b供給的冷卻水經過上部蒸鍍板130a及下部蒸鍍板130b。如果設置這樣的上部冷卻管140a及下部冷卻管140b，則與副産物氣體接觸的上部蒸鍍板130a及下部蒸鍍板130b以更低的溫度冷卻的同時，可以將副産物氣體訊速地固化並蒸鍍。在此，如圖3所示，在下部蒸鍍板130b的兩側端部分別形成有穿過孔141。由此，在下部蒸鍍板130b整體上厚厚地蒸鍍副産物，即使在副産物氣體的流動不順暢的狀態下，副産物氣體也可通過穿過孔141並到達流出管111b。
另外，冷卻水供給模塊100b起到將冷卻水供給至副産物捕集模塊100a的上部冷卻管140a及下部冷卻管140b的作用，包括第二殼體110b、熱交換部件、冷卻水箱160、冷卻水泵170。以下對這些構成要素進行更詳細地說明。
優選地，第二殼體110b與副産物捕集模塊100a的第一殼體110a結合爲一體，內部空間通過設置於中間的內壁110c分割爲第一腔室和第二腔室。在位於圖上左側的第一腔室設置有熱交換部件和冷卻水箱160、冷卻水泵170，所述熱交換部件包括冷卻箱150a、熱交換箱150b及熱電板150c，在位於圖上右側的第二腔室設置有控制器和電子部件，控制器用於對以冷卻水泵170爲首的各種操作部件進行控制和監控。
在第二殼體110b的下側還包括：水槽115，其將從第二殼體110b內部漏出的冷卻水聚到一處並進行收集；泄露感知傳感器116，其設置於水槽115的底面並對漏出的冷卻水進行感知。由此，即使通過較少的漏水量也能容易感知到在第二殼體110b內部從與冷卻水箱160、冷卻水泵170、熱交換部件的連接部位等漏出的冷卻水。由此，如果冷卻水泄漏，則可以迅速地採取措施。
熱交換部件設置在相對於副産物捕集模塊100a的冷卻水供給側，起到對冷卻水進行冷卻的作用。爲此，熱交換部件包括：熱電板150c，其配置有多個熱電元件，多個熱電元件配置爲在平面上以吸熱面和發熱面分別朝向一側和另一側的形式排列的狀態；冷卻箱150a，其以面對面的形式附著於熱電板150c的吸熱面。並且，優選地，在此還追加包括熱交換箱150b，其以面對面的形式附著於熱電板150c的發熱面。
根據這樣的構成，冷卻水經過位於熱電板150c的吸熱面的冷卻箱150a的同時，以接近0℃的溫度冷卻後，通過副産物捕集模塊100a的上部冷卻管140a及下部冷卻管140b經過上部蒸鍍板130a及下部蒸鍍板130b並流動的同時，對副産物氣體進行冷卻，如此使用的冷卻水進行如下循環：通過冷卻水箱160回收，再次經過冷卻箱150a迅速地冷卻後，供給至副産物捕集模塊100a。此時，熱交換箱150b接收從外部供給的製程冷卻水（Process Cooling Water）並使其經過的同時，幫助順暢地實現熱電元件的熱排出。
分別以面對面的形式設置於熱電板150c的吸熱面和發熱面的冷卻箱150a和熱交換箱150b均形成爲扁平的長方體形狀，從而使得熱交換部件整體形成扁平的形狀。由此，將熱交換部件以垂直地竪立的形態設置於冷卻水供給模塊100b的第二殼體110b內壁附近，從而可以節約設置空間。仔細觀察形成於第二殼體110b內的左側第一腔室的各部件的配置形態，熱交換部件以幾乎緊貼於內壁附近的形態垂直地竪立，冷卻水箱160形成爲上下略長的長方體形狀，避開熱交換部件並竪立在第一腔室的剩餘空間中一側角落附近。並且，冷卻水泵170設置於在第一腔室中設置冷卻水箱160後剩餘的前側空間，從而可對空間進行最大程度的使用。
在此，將向熱交換箱150b供給的製程冷卻水中一部分分支，並使其經過形成於捕集模塊100a的流入管法蘭111c的內部流路。爲此，副産物捕集模塊100a的流入管法蘭111c包括沿周圍方向形成的內部流路。如此，如果製程冷卻水中一部分以經過形成於流入管法蘭111c的內部流路的形式構成，則可有效地防止嵌入於流入管法蘭111c和移送副産物氣體的管道的法蘭之間的密封圈因高達400～500℃的高溫副産物氣體而變形及損傷的問題。
並且，如上所述，通過第一分支管113a將供給至流入管法蘭111c的製程冷卻水中一部分分支，使其流入第一殼體110a的上部蓋112的流通孔112b。由此，在第一殼體110a內部引導低溫氛圍的同時，可引導與上部蓋112的下側表面接觸的副産物氣體的蒸鍍。經過流入管法蘭111c的內部流路和上部蓋112的流通孔112c的製程冷卻水通過第二分支管113b合流後向外部排出。
如此，根據本發明的實施例的副産物捕集裝置自身同時包括冷卻水循環系統和製程冷卻水半循環系統，其中，冷卻水循環系統以使得冷卻水循環的形式構成，製程冷卻水半循環系統可有效地使用從外部供給的製程冷卻水（Process Cooling Water），通過圖5一眼即可把握這樣的循環體系。
換句話說，冷卻水循環系統的情况，通過冷卻水泵170從冷卻水箱160泵送的冷卻水經過熱交換部件的冷卻箱150a冷卻後，經過副産物捕集模塊100a的上部冷卻管140a及下部冷卻管140b的同時，引導對高溫的副産物氣體進行冷卻並使其迅速地固化後，回收至冷卻水箱160，反復這樣的過程。在此，優選地，在相對於副産物捕集模塊100a的冷卻水供給側還設置有流量控制閥150d和溫度傳感器150e，從而可調節冷卻水的供給量，測定冷卻水的供給溫度。
製程冷卻水半循環系統的情况，從外部供給的製程冷卻水首先經過熱交換部件的熱交換箱150b的同時，吸收熱電板150c放出的熱，從而幫助在熱電板150c的吸熱面順暢地實現對於冷卻水的冷卻。其次，一部分製程冷卻水分支後，經過第一殼體110a的流入管法蘭111c的內部流路和上部蓋112的流通孔112b，從而防止密封圈的變形及損傷，同時起到幫助副産物捕集的作用。如此分支後經過熱交換部件的熱交換箱150b、流入管法蘭111c及上部蓋112的製程冷卻水聚集並再次向外部排出。
以上，對本發明的優選實施例進行了說明，但是本發明可以使用多樣的變化和變更及均等物。本發明可以將實施例適當地變形並相同地應用是毋庸置疑的。因此，上述記載內容不限定通過下面權利要求書的界限而確定的本發明的範圍。
以上所述僅為本發明較佳可行實施例而已，舉凡應用本發明說明書及申請專利範圍所爲之等效變化，理應包含在本發明之專利範圍內。
［習用］
10:處理室
30:真空泵
60:泵送管道
70:捕集管
90:粉末
［本發明］
100a:副産物捕集模塊
100b:冷卻水供給模塊
110a:第一殼體
110b:第二殼體
110c:內壁
111a:流入管
111b:流出管
111c:流入管法蘭
112:上部蓋
112a:蓋板
112b:流通孔
112c:流通孔
113a:第一分支管
113b:第二分支管
115:水槽
116:泄露感知傳感器
120:過濾部件
130a:上部蒸鍍板
130b:下部蒸鍍板
140a:上部冷卻管
140b:下部冷卻管
141:穿過孔
150a:冷卻箱
150b:熱交換箱
150c:熱電板
150d:流量控制閥
150e:溫度傳感器
160:冷卻水箱
170:冷卻水泵
圖1是用於說明根據現有技術的粉末捕集裝置的參照圖。
圖2是根據本發明的實施例的副産物捕集裝置的立體圖。
圖3是用於說明根據本發明的實施例的副産物捕集裝置的構成的部分剖視圖。
圖4是圖3的正面圖。
圖5是用於說明根據本發明的實施例的副産物捕集裝置中的冷卻水循環系統的構成圖。
110a:第一殼體
110b:第二殼體
110a:第一殼體
110b:第二殼體
110c:內壁
111a:流入管
111b:流出管
111c:流入管法蘭
112:上部蓋
112a:蓋板
112b:流通孔
113a:第一分支管
113b:第二分支管
115:水槽
120:過濾部件
130a:上部蒸鍍板
130b:下部蒸鍍板
140a:上部冷卻管
140b:下部冷卻管
141:穿過孔
150a:冷卻箱
150b:熱交換箱
150c:熱電板
170:冷卻水泵
Claims (10)
- 一種副產物捕集裝置，其可對製造半導體或半導體類似產品的製造製程中產生的副產物進行捕集，所述副產物捕集裝置的特徵在於，包括：副產物捕集模塊，其通過分別配備於第一殼體的上部和下部的流入管和流出管與供副產物氣體流動的管道串聯連接，從而從副產物氣體中捕集副產物；冷卻水供給模塊，其配備有冷卻水箱和冷卻水泵，通過冷卻管將冷卻水供給至副產物捕集模塊並回收；其中冷卻水供給模塊還包括熱交換部件，其設置在相對於副產物捕集模塊的冷卻水供給側，對冷卻水進行冷卻，熱交換部件包括：熱電板，其配置有多個熱電元件，多個熱電元件配置為在平面上以吸熱面和發熱面分別朝向一側和另一側的形式排列的狀態；冷卻箱，其以面對面的形式附著於熱電板的吸熱面，冷卻水在供給至副產物捕集模塊之前經過冷卻箱；熱交換部件還包括以面對面的形式附著於熱電板的發熱面的熱交換箱，使得從外部供給的製程冷卻水經過熱交換箱的同時，順暢地實現熱電元件的熱排出；副產物捕集模塊的流入管法蘭配備有沿周圍方向形成的內部流路，向熱交換箱供給的製程冷卻水中一部分分支後，經過形成於捕集模塊的流入管法蘭的內部流路。
- 如請求項1所述之副產物捕集裝置，其特徵在於，副產物捕集模塊的第一殼體和冷卻水供給模塊的第二殼體結合為一體。
- 如請求項1所述之副產物捕集裝置，其特徵在於，熱交換部件中，熱電板形成為四邊形形狀，冷卻箱形成為扁平的長方體形 狀，以便能够以與熱電板對應的形式相面對，熱交換部件以垂直地竪立的節約空間的形態設置於冷卻水供給模塊第二殼體的內壁附近。
- 如請求項1所述之副產物捕集裝置，其特徵在於，熱交換部件中，熱電板形成為四邊形形狀，熱交換箱形成為扁平的長方體形狀，以便能够以與熱電板對應的形式相面對，熱交換部件以垂直地竪立的節約空間的形態設置於冷卻水供給模塊第二殼體的內壁附近。
- 如請求項1所述之副產物捕集裝置，其特徵在於，副產物捕集模塊的第一殼體上面由可開關的上部蓋構成，在上部蓋的內部形成有流通孔，從而引導與上部蓋的下側表面接觸的副產物氣體的蒸鍍，所述流通孔使得向流入管法蘭供給的製程冷卻水中一部分分支流入後循環排出。
- 如請求項5所述之副產物捕集裝置，其特徵在於，流通孔以上部蓋的流入管為中心到上部蓋的邊緣為止形成為較廣的寬度。
- 如請求項1所述之副產物捕集裝置，其特徵在於，還包括：水槽，其設置於冷卻水供給模塊的第二殼體下側，將從第二殼體內部漏出的冷卻水聚到一處並進行收集；泄露感知傳感器，其設置於水槽的底面並對漏出的冷卻水進行感知，即使通過較少的漏水量也能感知到冷卻水的漏水。
- 如請求項1所述之副產物捕集裝置，其特徵在於，副產物捕集模塊包括：第一殼體，其上部和下部配備有流入管和流出管，所述流入管和流出管與供副產物氣體流動的管道相連接； 過濾部件，其在第一殼體的內部設置為上端部和流入管的下端部連通的狀態，下端部是封閉的，但是通過側面容許副產物氣體的流動的同時，對包含在副產物氣體中的副產物粒子的一部分進行過濾；上部蒸鍍板及下部蒸鍍板，其在上下隔開的位置以橫穿第一殼體內部的形式設置，接觸通過過濾部件而流入的副產物氣體的同時，對副產物進行蒸鍍；上部冷卻管及下部冷卻管，其分別設置於上部蒸鍍板及下部蒸鍍板的內部，使得從冷卻水供給模塊供給的冷卻水經過。
- 如請求項8所述之副產物捕集裝置，其特徵在於，在下部蒸鍍板的兩側端部分別形成有穿過孔，副產物蒸鍍在下部蒸鍍板整體上，即使在副產物氣體的流動不順暢的狀態下，副產物氣體也可直接通過穿過孔並到達流出管。
- 如請求項8所述之副產物捕集裝置，其特徵在於，上部蒸鍍板及下部蒸鍍板由作為具有網狀的板的金屬網構成，以便反應副產物氣體通過的同時進行表面接觸。
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