TWI704026B - 一種變軌跡懸空物支撐機構及粗微動台 - Google Patents

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Abstract

一種變軌跡懸空物支撐機構，包括線夾、滑動伸縮桿和架體連接塊；該滑動伸縮桿的兩端分別與該線夾和該架體連接塊鉸接，形成可轉動連接；該線夾夾設於變軌跡懸空物的重心處，該架體連接塊固定安裝在一機架上。本發明具有結構簡單、支撐力大且節省水平方向空間等優點。同時，提供包括該變軌跡懸空物支撐機構的粗微動台。

Description

一種變軌跡懸空物支撐機構及粗微動台
本發明有關於微電子輔助裝備領域，特別有關於一種變軌跡懸空物支撐機構及粗微動台。
隨著我國工業水準的不斷提高，在精細加工領域的要求也越來越高，在精細加工領域的設備，往往需要配備能高速度、高精度運動的裝置，即粗微動模組，與之配套有大量電氣線纜以及水、氣路管線，用以支援粗微動模組中的大量電機、感測器、冷卻板和氣動等元件功能的實現。因而需要在有限空間內對特定運動軌跡的大量線纜提供穩定的支撐，使之在高速、高頻的運動過程中，始終穩定快速的跟隨粗微動台(或者粗微動線纜台)運動。
但目前並沒有此類支撐結構，導致U型線纜，即變軌跡懸空物在極限位置出現大面積懸空的狀態。因此亟待開發一種裝置使線纜不會與底部框架干涉摩擦，從而保證粗微動模組的正常工作。
然而，由於變軌跡懸空物隨粗微動模組的運動通常在平面內做直線、曲線等多種運動，因此支撐結構的受力點位置不確定，這給支撐結構的開發帶來極大的困難。
針對現有技術存在的上述不足，本發明提供一種變軌 跡懸空物支撐機構，旨在解決現有的U型線纜在隨粗微動模組運動時得不到有力支撐的技術問題；同時，提供包括該變軌跡懸空物支撐機構的粗微動台。
為了實現上述目的，本發明採用的技術方案如下：一種變軌跡懸空物支撐機構，包括線夾、滑動伸縮桿和架體連接塊；該滑動伸縮桿的兩端分別與該線夾和該架體連接塊鉸接，形成可轉動連接；該線夾夾設於變軌跡懸空物上，該架體連接塊用於固定安裝在一機架上。
為了更加穩定地支撐變軌跡懸空物，該線夾較佳夾設於變軌跡懸空物的重心處。
進一步，該滑動伸縮桿包括桿身和兩個鉸鏈介面塊，兩個鉸鏈介面塊分別固定在該桿身的兩端，該鉸鏈介面塊上開設有一個垂直方向的連接通孔，各該連接通孔分別用於與該線夾和該架體連接塊鉸接。
更進一步，該桿身包括N個線性導軌、N-1個導軌連接塊和兩個端部連接塊；N個線性導軌和N-1個導軌連接塊沿直線交替排列以定義出一桿身方向，每個導軌連接塊的兩端分別與相鄰的該線性導軌形成滑動連接，以使每個線性導軌能夠沿桿身方向往復運動；每個端部連接塊的一端與鄰近的一個靠近該桿身端部的該線性導軌連接；該鉸鏈介面塊與該端部連接塊的另一端連接，以形成直線形的桿身；其中N為
Figure 107143045-A0101-12-0002-8
2的整數。
更進一步，線性導軌為抽拉式線性導軌，導軌連接塊上開設有相互平行且貫通的兩個卡槽，分別用於與相鄰的兩個抽拉式線性導軌卡接，並用於在該桿身收縮時將抽拉式線性導軌容納到 導軌連接塊內；端部連接塊上開設有一端開口一端封閉的卡槽，該端部連接塊的開口一端與靠近該桿身端部的一個抽拉式線性導軌連接，該端部連接塊的封閉一端與該鉸鏈介面塊連接。
更進一步，該抽拉式線性導軌為三段抽拉式線性導軌。
更進一步，線性導軌為交叉滾柱導軌，該交叉滾柱導軌包括兩個滑臂，一個滑臂作為導軌上臂，另一個滑臂作為導軌下臂；相鄰兩個導軌連接塊中的一個與該交叉滾柱導軌的該導軌上臂的自由端固定連接，另一個與該交叉滾柱導軌的該導軌下臂的自由端固定連接。
再進一步，在該交叉滾柱導軌與該導軌連接塊的連接處設置有緩衝器；在該交叉滾柱導軌與該端部連接塊的連接處也設置有緩衝器。
再進一步，該緩衝器為阻尼器。
再進一步，該桿身包括一個線性導軌和兩個端部連接塊；該線性導軌和該端部連接塊呈直線型排列；該線性導軌的兩端分別與一個該端部連接塊連接，以形成直線形的桿身。
進一步，該變軌跡懸空物為U型線纜，該滑動伸縮桿的該桿身的長度按如下方式確定：S1：以該U型線纜的固定端的固定點為零點，記為O點，以該O點與該滑動伸縮桿和該架體連接塊的鉸接點的連線為Y軸正方向，以該U型線纜的移動端在水平面上的投影區間為第一象限，建立平面直角座標系，該O點的座標為(0，0)；該滑動伸縮桿和該架體連接塊的鉸接點在該平面直角座標系上的投影為E點，該滑 動伸縮桿與該線夾的鉸接點在該平面直角座標系上的投影為A點，以該U型線纜回轉半圓的圓心在該平面直角座標系上的投影為B點，該B點在該Y軸上的投影為C點；S2：以兩根固定長度的桿件鉸接而成的連桿機構代替該滑動伸縮桿，該連桿機構的鉸接點在該S1建立的該平面直角座標系上的投影為D點；S3：建立如下參數方程式：R*θ+(y-Rsin(θ))=L/2
Rcos(θ)+X=R
其中：R為該U型線纜的回轉半徑；θ為AC段的弧度；(X，Y)為該A點的座標，該A點即為該U型線纜的重心處；L為該U型線纜的懸空段總長度；S4：根據實際工況調整該S3中建立方式的參數，隨著參數θ由0到π的連續變化，模擬該A點於圓周和/或直線運動情況下的軌跡；S5：根據該S4的模擬結果，獲取線段AE的極大值和極小值；其中，該線段AE的極大值為該滑動伸縮桿拉伸時的最大長度，該線段AE的極小值為該滑動伸縮桿收縮時的最小長度；S6：根據該S5得到的該滑動伸縮桿拉伸時的最大長度和收縮時的最小長度以確定該滑動伸縮桿的桿身的長度。
一種粗微動台，包括機架、粗微動模組、變軌跡懸空物支撐機構、U型線纜和控制器，該U型線纜的一端與該控制器連接，另一端與該粗微動模組連接且隨該粗微動模組運動；其特徵在於，該變軌跡懸空物支撐機構的兩端分別與該U型線纜和該機架連 接，該變軌跡懸空物支撐機構為上述任一所述的變軌跡懸空物支撐機構。
與現有的技術相比，本發明具有如下有益效果：
1、本發明採用伸縮支撐桿作為核心支撐部件，可以最大程度地節省水平方向空間。
2、本發明易於加工，維護成本低，可在不同工況條件下使用。
3、本發明結構簡單，且佔用最小的水平方向空間，沒有相對複雜的連桿長度調整過程。
1:鉸鏈介面塊
4:緩衝器
11:連接通孔
21:線性導軌
22:導軌連接塊
23:端部連接塊
31:導軌上臂
32:導軌下臂
51:運動模組磁鋼矩陣
52:粗微動模組
53:U型線纜
54:U型線纜運動端
55:U型線纜支架
56:U型線纜固定端
圖1為實施例2的滑動伸縮桿拉伸狀態結構示意圖；圖2為實施例2的滑動伸縮桿收縮狀態結構示意圖；圖3為實施例3的滑動伸縮桿的桿身拉伸狀態結構示意圖；圖4為實施例3的滑動伸縮桿的桿身收縮狀態結構示意圖；圖5為實施例1的工況示意圖；圖6為實施例1的參數方式示意圖；圖7為實施例1連桿機構在某一特定位置可節省的水平方向佔用空間面積的示意圖。
一種變軌跡懸空物支撐機構，如圖1-4所示，包括線夾、滑動伸縮桿和架體連接塊；該滑動伸縮桿的兩端分別與該線夾和該架體連接塊鉸接，形成可轉動連接；該線夾夾設於變軌跡懸空物的重心處，該架體連接塊固定安裝在加工設備的機架上。
作為優化，該滑動伸縮桿包括桿身和鉸鏈介面塊1， 兩個鉸鏈介面塊1分別固定在該桿身的兩端，該鉸鏈介面塊1上開設有一個垂直方向(即垂直於該桿身和該鉸鏈介面塊相連所在的平面)的連接通孔11，用於與線夾或架體連接塊鉸接。
該鉸鏈介面塊1遠離該桿身的一端呈圓弧形，這樣可以避免突出的稜角損傷變軌跡懸空物。
該架體連接塊上開設有一個與連接通孔11相匹配的鉸接通孔，用於與之連接。該架體連接塊焊接、鉚接或螺栓連接在該加工設備的機架上。
作為優化，該桿身包括N個線性導軌21、N-1個導軌連接塊22和兩個端部連接塊23；線性導軌21、導軌連接塊22和端部連接塊23呈直線型排列，N-1個導軌連接塊22間隔設置在N個線性導軌21之間(即，N個線性導軌21和N-1個導軌連接塊22沿直線交替排列以定義出一桿身方向)，導軌連接塊22的兩端分別與相鄰的線性導軌21形成滑動連接，以使該線性導軌能夠沿桿身方向往復運動；兩個端部連接塊23(的一端)分別與一個靠近桿身端部的線性導軌21的靠近該桿身端部的一端連接；鉸鏈介面塊1與端部連接塊23的另一端(即，距離桿身端部最近的端面)連接，以形成直線形的桿身；其中N為
Figure 107143045-A0101-12-0006-9
1的整數。
作為進一步優化，該線性導軌21為抽拉式線性導軌，該導軌連接塊22上開設有相互平行且貫通的兩個卡槽，分別用於與相鄰的兩個抽拉式線性導軌卡接，用於在收縮時將抽拉式線性導軌容納到導軌連接塊22內來減少佔用的水平方向空間；該端部連接塊23上開設有一端開口和一端封閉的卡槽，開口的一端與靠近桿身端部的一個抽拉式線性導軌連接，封閉的一端與鉸鏈介面 塊1連接。
作為更進一步優化，該抽拉式線性導軌21為三段抽拉式線性導軌。
作為優化，該線性導軌21為交叉滾柱導軌，該交叉滾柱導軌包括兩個滑臂，一個滑臂作為導軌上臂31，另一個滑臂作為導軌下臂32；相鄰兩個導軌連接塊22一個與該交叉滾柱導軌的導軌上臂31的自由端固定連接，另一個與該交叉滾柱導軌的導軌下臂32的自由端固定連接。
作為進一步優化，在該交叉滾柱導軌與該導軌連接塊22的連接處設置有緩衝器4，以消除在收縮時的跳動；在該交叉滾柱導軌與端部連接塊23的連接處也設置有緩衝器4。
作為更進一步優化，該緩衝器4為TUBUS阻尼器。
作為優化，該桿身包括一個線性導軌21和兩個端部連接塊23；該線性導軌21和端部連接塊23呈直線型排列；該線性導軌21的兩端分別與一個端部連接塊23連接，以形成直線形的桿身。
其中，該變軌跡懸空物為U型線纜，該桿身的長度按如下方法確定，包括以下步驟：S1：以U型線纜的固定端的固定點為零點即O點，以O點與該滑動伸縮桿和該架體連接塊的鉸接點的連線為Y軸正方向，以U型線纜的移動端在水平面上的投影區間為第一象限，建立平面直角座標系，O點的座標為(0，0)；該滑動伸縮桿和該架體連接塊的鉸接點在該平面直角座標系上的投影為E點，該滑動伸縮桿與該線夾的鉸接點在該平面直角座標系上的投影為A點，以U型線纜回 轉半圓的圓心在該平面直角座標系上的投影為B點，B點在Y軸上的投影為C點。
S2：以兩根固定長度的桿件鉸接而成的連桿機構代替該滑動伸縮桿，其鉸接點在S1建立的平面直角座標系上的投影為D點。
S3：建立如下參數方程式：R*θ+(y-Rsin(θ))=L/2 ①
Rcos(θ)+X=R ②
其中：R為U型線纜的回轉半徑；θ為AC段的弧度；(X，Y)為A點座標，A點即為U型線纜的重心處；L為U型線纜的懸空段總長度。
S4：根據實際工況調整S3中建立方式的參數，隨著參數θ由0到π的連續變化，模擬A點於圓周和/或直線運動情況下的軌跡。例如，在Solidworks草圖繪製中根據參數方程式繪製軌跡功能，實現U型線夾運動軌跡模擬，如圖6所示點畫線為線纜(變軌跡懸空物)支撐點實際運動軌跡。
S5：根據S4的模擬結果，獲取線段AE的極大值和極小值；其中，線段AE的極大值為滑動伸縮桿拉伸時的最大長度，線段AE的極小值為滑動伸縮桿收縮時的最小長度。
S6：根據S5得到的滑動伸縮桿拉伸時的最大長度和收縮時的最小長度確定該滑動伸縮桿的桿身的長度。其較S2中的連桿機構在某一特定位置可節省的水平方向佔用空間面積的示意圖如圖7所示。
一種粗微動台，包括機架、粗微動模組、變軌跡懸空 物支撐機構、U型線纜和控制器，該U型線纜的一端與該控制器連接，另一端與粗微動模組連接且隨其運動；該變軌跡懸空物支撐機構的兩端分別與該U型線纜和機架連接，該變軌跡懸空物支撐機構為上述任一變軌跡懸空物支撐機構。
下面結合具體實施例對本發明作進一步詳細說明。
[實施例1]
在實際生產中，微電子精加工設備通常包括以下裝置(如圖5所示)：運動模組磁鋼矩陣：粗微動台在上面做高速、高精度運動，所有線纜部分位於磁鋼矩陣下方(圖中未標出)。
粗微動模組：在水平方向上四處運動。
U型線纜：U型線纜的運動端在Y方向上全程主動跟隨粗微動模組運動。
U型線纜支架：一端固定在底部框架上，左端線夾固定在整個懸空線纜中間處(線纜重心位置)。因此左端線夾在U型線纜的整個行程中，首先處於靜止不動狀態，然後做圓周和垂直方向(延紙面向上)合成運動，最後再向右做直線運動。
在以上工況下，設計本發明的變軌跡懸空物支撐機構，即用該滑動伸縮桿替代連桿機構，其桿身的長度按如下方法確定：S1：以U型線纜的固定端的固定點為零點即O點，以O點與滑動伸縮桿和架體連接塊的鉸接點的連線為Y軸正方向，以U型線纜的移動端在水平面上的投影區間為第一象限，建立平面直角座 標系，O點的座標為(0，0)；該滑動伸縮桿和該架體連接塊的鉸接點在該平面直角座標系上的投影為E點，該滑動伸縮桿與該線夾的鉸接點在該平面直角座標系上的投影為A點，以U型線纜回轉半圓的圓心在該平面直角座標系上的投影為B點，B點在Y軸上的投影為C點。
S2：以兩根固定長度的桿件鉸接而成的連桿機構代替該滑動伸縮桿，其鉸接點在S1建立的平面直角座標系上的投影為D點。
S3：建立如下參數方程式：R*θ+(y-Rsin(θ))=L/2 ①
Rcos(θ)+X=R ②
其中：R為U型線纜的回轉半徑；θ為AC段的弧度；(X，Y)為A點座標，A點即為U型線纜的重心處；L為U型線纜的懸空段總長度。
S4：根據實際工況調整S3中建立方式的參數，隨著參數θ由0到π的連續變化，模擬A點於圓周和/或直線運動情況下的軌跡。例如，在Solidworks草圖繪製中根據參數方程式繪製軌跡功能，實現U型線夾運動軌跡模擬，如圖6所示點畫線為線纜(變軌跡懸空物)支撐點實際運動軌跡。
S5：根據S4的模擬結果，獲取線段AE的極大值和極小值；其中，線段AE的極大值為滑動伸縮桿拉伸時的最大長度，線段AE的極小值為滑動伸縮桿收縮時的最小長度。
S6：根據S5得到的滑動伸縮桿拉伸時的最大長度和收縮時的最小長度確定該滑動伸縮桿的桿身的長度。滑動伸縮桿可 以直接選用市場上提供的線性滑軌、交叉滾柱導軌、鋼球導軌等即可滿足設計需求。此種情況直接選用合適導軌充當可伸縮連桿結構即可。
相比之前的更佳簡潔，在運動模擬過程中需要考慮的干涉因素極少。是目前情況下可使用的變軌跡運動線纜或者重物支撐結構中佔用水平方向空間最少的結構。其較S2中的連桿機構在某一特定位置可節省的水平方向佔用空間面積的示意圖如圖7所示。
[實施例2]
根據實施例1的模擬結果，針對負載較大但對線纜或者重物的支撐允許一定程度的輕微跳動(因為多段線性滑軌在不同滑軌段間變換時會有一定程度的跳動)，同時考慮降低成本和不佔用垂直方向空間時設計。
本實施例的桿身採用三段抽拉式線性滑軌，長度100mm，行程100mm。(如果有必要可以繼續按此方式將線性導軌21串聯起來，在本身長度不變的前提下，繼續增加行程)。
其拉伸狀態如圖1所示，其收縮狀態如圖2所示。
[實施例3]
根據實施例1的模擬結果，要求滿足在不加長導軌本身長度的前提下加長導軌行程的，且消除跳動，此外中間段導軌連接件及相關結構可無限增加，每增加一段該結構即加長一端滑軌長度(增加連桿可伸長行程，且總體長度不變)。
本實施例的主體思想與實施例2相似，都是設計連接結構，將多個線性導軌21串聯成一體，從而實現連桿長度有限的情況下，較長的滑軌行程。
本實施例中採用交叉滾柱導軌，使2個相鄰的導軌連接塊22分別連接一個滑臂(相鄰兩個導軌連接塊22一個與該交叉滾柱導軌的導軌上臂31的自由端固定連接，另一個與該交叉滾柱導軌的導軌下臂32的自由端固定連接)，在連接塊末端有小型阻尼器，用來吸收多段導軌互相切換行程時，部分滑軌到達行程極限所發生的撞擊而產生的跳動(如圖3、4所示)。
此種結構負載更大，精度更高，配合合適的小型緩衝器可以做到無跳動滑軌轉接。但當所需要的行程遠大於滑塊本身長度時可能要多段導軌組合，此時垂直方向空間可能佔用較大。
本實例的方案可靈活多變的選擇各種合適的導軌，此處選擇的是THK的交叉滾柱直線導軌，該導軌能承受4個方向負載且負載極大、精度較高、重量輕。
緩衝器4可靈活多變的選擇各種合適的緩衝器，此處可選擇ACE小型TUBUS阻尼器，該款阻尼器簡單敏捷，動態性能極佳，在行程大於6毫米後才會有反彈行程能量產生。
此外，還可以重新設計或定製交叉滾柱導軌或者鋼球道軌，將合適的小型緩衝器內置於直線導軌中，然後再將這種特製導軌組合起來，這樣可以在行程不變的前提下，大大減少連桿機構的總長。也可選擇導軌長度和行程都更長的導軌進行組合，從而減少組合導軌的導軌數量，降低整個機構垂直方向尺寸。
本發明的上述實施例僅僅是為說明本發明所作的舉 例，而並非是對本發明的實施方式的限定。對於所屬領域的普通技術人員來說，在上述說明的基礎上還可以做出其他不同形式的變化和變動。這裡無法對所有的實施方式予以窮舉。凡是屬於本發明的技術方案所引申出的顯而易見的變化或變動仍處於本發明的保護範圍之列。
1‧‧‧鉸鏈介面塊
11‧‧‧連接通孔
21‧‧‧線性導軌
22‧‧‧導軌連接塊
23‧‧‧端部連接塊

Claims (10)

  1. 一種變軌跡懸空物支撐機構，其包括一線夾、一滑動伸縮桿和一架體連接塊；該滑動伸縮桿的兩端分別與該線夾和該架體連接塊鉸接，形成可轉動連接；該線夾夾設於一變軌跡懸空物上，該架體連接塊用於固定安裝在一機架上，其中，該滑動伸縮桿包括一桿身，該桿身包括N個線性導軌和N-1個導軌連接塊；該N個線性導軌和該N-1個導軌連接塊沿直線交替排列以定義出一桿身方向，該N-1個導軌連接塊的每個的兩端分別與相鄰的該N個線性導軌形成滑動連接，以使該N個線性導軌的每個能夠沿該桿身方向往復運動；其中N為
    Figure 107143045-A0305-02-0016-7
    2的整數。
  2. 如請求項1之變軌跡懸空物支撐機構，其中，該滑動伸縮桿還包括兩個鉸鏈介面塊，該兩個鉸鏈介面塊分別固定在該桿身的兩端，該兩個鉸鏈介面塊上開設有垂直方向的多個連接通孔，該多個連接通孔分別用於與該線夾和該架體連接塊鉸接。
  3. 如請求項2之變軌跡懸空物支撐機構，其中，該桿身還包括兩個端部連接塊；該兩個端部連接塊的每個的一端與鄰近的一個靠近該桿身的端部的該N個線性導軌連接；該兩個鉸鏈介面塊與該兩個端部連接塊的另一端連接，以形成直線形的該桿身。
  4. 如請求項3之變軌跡懸空物支撐機構，其中，該N個線性導軌為一抽拉式線性導軌，該N-1個導軌連接塊上開設有相互平行且貫通的兩個卡槽，分別用於與相鄰的兩個該抽拉式線性導軌卡接，並用於在該桿身收縮時將該抽拉式線性導軌容納到該N-1個導軌連接塊內；該兩個端部連接塊上開設有一端開口和一端封閉的卡槽，該兩個端部連接塊的開口一端與靠近該桿身的端部的一個該抽拉 式線性導軌連接，該兩個端部連接塊的封閉一端與該兩個鉸鏈介面塊連接。
  5. 如請求項4之變軌跡懸空物支撐機構，其中，該抽拉式線性導軌為三段抽拉式線性導軌。
  6. 如請求項3之變軌跡懸空物支撐機構，其中，該N個線性導軌為一交叉滾柱導軌，該交叉滾柱導軌包括兩個滑臂，該兩個滑臂的一個作為一導軌上臂，該兩個滑臂的另一個作為一導軌下臂；相鄰兩個該N-1個導軌連接塊中的一個與該交叉滾柱導軌的該導軌上臂的自由端固定連接，而另一個與該交叉滾柱導軌的該導軌下臂的自由端固定連接。
  7. 如請求項6之變軌跡懸空物支撐機構，其中，在該交叉滾柱導軌與該N-1個導軌連接塊的連接處設置有一緩衝器；在該交叉滾柱導軌與該兩個端部連接塊的連接處也設置有一緩衝器。
  8. 如請求項7之變軌跡懸空物支撐機構，其中，該緩衝器為一阻尼器。
  9. 如請求項1之變軌跡懸空物支撐機構，其中，該變軌跡懸空物為一U型線纜，該滑動伸縮桿的該桿身的長度按如下方式確定：S1：以該U型線纜的固定端的固定點為零點，記為O點，以該O點與該滑動伸縮桿和該架體連接塊的鉸接點的連線為Y軸正方向，以該U型線纜的移動端在水平面上的投影區間為第一象限，建立一平面直角座標系，該O點的座標為(0，0)；該滑動伸縮桿和該架體連接塊的鉸接點在該平面直角座標系上的投影為E點，該滑動伸縮桿與該線夾的鉸接點在該平面直角座標系上的投影為A點，以該U型線纜回轉半圓的圓心在該平面直角座標系上的投影為 B點，該B點在該Y軸上的投影為C點；S2：以兩根固定長度的桿件鉸接而成的一連桿機構代替該滑動伸縮桿，該連桿機構的鉸接點在S1建立的該平面直角座標系上的投影為D點；S3：建立如下參數方程式：R*θ+(y-Rsin(θ))=L/2 Rcos(θ)+X=R其中：R為該U型線纜的回轉半徑；θ為AC段的弧度；(X，Y)為該A點的座標，該A點即為該U型線纜的重心處；L為該U型線纜的懸空段總長度；S4：根據實際工況調整S3中建立方式的參數，隨著參數θ由0到π的連續變化，模擬該A點於圓周和/或直線運動情況下的軌跡；S5：根據S4的模擬結果，獲取一線段AE的極大值和極小值；其中，該線段AE的極大值為該滑動伸縮桿拉伸時的最大長度，該線段AE的極小值為該滑動伸縮桿收縮時的最小長度；S6：根據S5得到的該滑動伸縮桿拉伸時的最大長度和收縮時的最小長度確定該滑動伸縮桿的該桿身的長度。
  10. 一種粗微動台，包括一機架、一粗微動模組、一變軌跡懸空物支撐機構、一U型線纜和一控制器，該U型線纜的一端與該控制器連接，而另一端與該粗微動模組連接且隨該粗微動模組運動，其特徵在於：該變軌跡懸空物支撐機構的兩端分別與該U型線纜和該機架連接，該變軌跡懸空物支撐機構為請求項1至9中任一項之變軌跡懸空物支撐機構。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201045960Y (zh) * 2006-10-18 2008-04-16 罗志坚 伸缩式三节导轨
TW201122774A (en) * 2009-12-23 2011-07-01 Aten Int Co Ltd KVM switch and the supporting structure thereof
CN202489551U (zh) * 2012-03-26 2012-10-17 广东星徽精密制造股份有限公司 一种侧板抽屉滑轨
TW201320926A (zh) * 2011-11-18 2013-06-01 Chong-Yao Chen 抽拉同步裝置及其導齒條與滑軌單元
CN103969959A (zh) * 2013-01-25 2014-08-06 上海微电子装备有限公司 立式线缆支撑装置
CN204493461U (zh) * 2015-01-15 2015-07-22 东莞市鹰蜕机电设备有限公司 一种交叉滚柱直线导轨副

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4462565A (en) * 1983-01-17 1984-07-31 Lockheed Corporation Erectable and retractable support for rolling conductor track
CN102866587B (zh) * 2011-07-08 2014-12-17 上海微电子装备有限公司 工件台
CN203655897U (zh) * 2013-12-13 2014-06-18 吴逸群 多功能滑轨结构
CN106933056B (zh) * 2015-12-31 2019-03-12 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种线缆支撑机构及线缆台

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201045960Y (zh) * 2006-10-18 2008-04-16 罗志坚 伸缩式三节导轨
TW201122774A (en) * 2009-12-23 2011-07-01 Aten Int Co Ltd KVM switch and the supporting structure thereof
TW201320926A (zh) * 2011-11-18 2013-06-01 Chong-Yao Chen 抽拉同步裝置及其導齒條與滑軌單元
CN202489551U (zh) * 2012-03-26 2012-10-17 广东星徽精密制造股份有限公司 一种侧板抽屉滑轨
CN103969959A (zh) * 2013-01-25 2014-08-06 上海微电子装备有限公司 立式线缆支撑装置
CN204493461U (zh) * 2015-01-15 2015-07-22 东莞市鹰蜕机电设备有限公司 一种交叉滚柱直线导轨副

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