TWI695165B - 畫像處理方法及缺陷檢查方法 - Google Patents

Abstract

[課題]在從被檢查物之攝像畫像而篩選出檢查對象區域時，減輕對於作業者所產生之對於熟練度有所要求的判斷等之負擔，並且能夠簡單地設定臨限值而容易地選擇出檢查對象區域。 　　[解決手段]畫像處理方法，係具備有：差分算出工程，係將具備有相對於基準直線而成為線對稱的第1以及第2區域之單色之原畫像，藉由基準直線來分割成第1以及第2區域，並針對在第1以及第2區域內而被配置在相對於基準直線而為線對稱的位置處之2個的原像素之各對(pair)，來算出成為2個的原像素之像素值之差分之差分像素值。畫像處理方法，係更進而具備有：差分畫像產生工程，係為配置具備有差分像素值之差分像素並產生差分畫像之差分畫像產生工程，並將具有使用第1區域內之第1位置之原像素和第2區域內之第2位置之原像素之間之對所算出的差分像素值之差分像素，配置在差分畫像之第1以及第2位置處而產生差分畫像。

Description

畫像處理方法及缺陷檢查方法

本發明，係有關於使用藉由攝像裝置來對於被檢查物之表面進行攝像所得到的攝像畫像而選擇出應對於被檢查物之表面進行缺陷檢查的檢查對象區域之畫像處理方法、以及使用有此之缺陷檢查方法，特別是有關於對於具有線對稱性之被檢查物而能夠並不依存於缺陷之種類地來高精確度且容易地選擇出檢查對象區域之畫像處理方法、以及使用有此之缺陷檢查方法。

係廣泛進行有使用藉由攝像裝置來對於被檢查物之表面進行攝像所得到的攝像畫像而對於被檢查物之表面檢查缺陷之有無的缺陷檢查。申請人，係已申請有將被稱作碎裂之線狀缺陷檢測出來的缺陷檢查方法(專利文獻1)。 　　在被檢查物之表面上，除了上述碎裂以外，亦存在有裂痕、缺角、凹痕、標記錯誤等之各種的缺陷。在檢測出該些之缺陷時，係使用有對於數位化後之攝像畫像進行數位處理的畫像處理演算法(畫像處理方法)。 　　作為對於被檢查物進行攝像之攝像裝置，係使用搭載有如同CCD(Charged-coupled devices)或者是CMOS (Complementary metal-oxide-semiconductor)一般之攝像元件的攝像機。若是在攝像時從被檢查物所發出之光被輸入至此些之攝像元件中，則光的強弱係被轉換為電性訊號的強弱並被數位化，並且作為數位畫像而被記錄。 (1)數位畫像 　　於此，針對數位畫像作說明。將構成畫像之最小要素稱作像素，數位畫像係由被作2維配列之像素所成。各像素，係個別作為顏色資訊而具備有將0和1作了組合的以2進位法所表現之數值，此數值係代表從被檢查物所發出之光的強度和被檢查物之表面的顏色。將各像素所具有的數值稱作像素值，畫像，例如係被區分成彩色畫像、灰階畫像等之種類。 　　在彩色畫像中，1個的像素之顏色，係依據作為構成該像素之成分的R(紅)、G(綠)、B(藍)之3原色之成分比例而被決定。故而，當在彩色畫像中而表現1個的像素之像素值時，多係使用將RGB要素分別以8位元來作表現的24位元(＝8位元×3色)。 　　相對於彩色畫像，係將以白黑之濃淡來作表現的畫像稱作灰階畫像。灰階畫像，係將1個的像素之像素值以8位元來作表現，而並不包含顏色資訊，僅包含有亮度資訊。暗的像素，係具有低(小)的像素值，亮的像素，係具有高(大)的像素值。將此種明暗的階段之數量，稱作階調。依存於被分配至1個的像素處之資訊量，階調係改變。於此，將資訊量之單位稱作位元數，若是位元數越大，則階調係變得越大。具體而言，當將位元數設為n時之階調數，係成為2ⁿ 。例如，上述灰階畫像，由於位元數係為8位元，因此階調數係成為2⁸ ＝256。而，由於階調數係為256，因此，在灰階畫像中之像素值的最小值，係為對應於漆黑之0，最大值，係為對應於純白之255。 　　又，在彩色畫像中，多係將顏色分解為上述之R(紅)、G(綠)、B(藍)之3原色，並針對各者之顏色而將亮度以相同之階調數來作表現。此事，係等同於從彩色畫像來產生3個的灰階畫像、亦即是產生單色畫像。若是將上述之灰階畫像之階調數256(8位元)對於RGB之各色作適用，則如同上述一般，彩色畫像，其位元數係成為8位元×3色＝24位元。於此情況之階調數係成為2²⁴ ＝16777216，藉由此階調數，係能夠將所有的顏色作為數位畫像來表現。將彩色畫像以24位元來作了表現的顏色，在以人類的眼睛來作觀察時，係能夠感受到極為自然的顏色。因此，係將以24位元來作表現的彩色畫像，稱作全彩畫像。 　　從彩色畫像來產生單色畫像之方法，係並不被限定於上述一般之將彩色畫像分解為R(紅)、G(綠)、B(藍)之3原色並產生3個的單色畫像之方法。除此之外，亦存在有從彩色畫像來產生1個的單色畫像之方法。作為其之其中一例，係存在有使用作為電視之播放規格而被周知的NTSC訊號之方法。作為在得到NTSC訊號之前置階段中所使用的色差訊號，係存在有YIQ訊號，但是，此YIQ訊號之Y成分，係為亮度值。現在，考慮對於身為彩色畫像之訊號(亦即是R訊號、G訊號、B訊號)之各者的像素值之E_R 、E_G 、E_B 而乘算上係數並產生作為新的像素值之亮度值Y。此時，係以會成為最為接近以人類之眼睛所觀察到的亮度之方式，來適用使用有NTSC係數之加權平均，此事係為周知。具體而言，係進行Y＝0.299E_R ＋0.687E_G ＋0.114E_B 之演算，而產生亮度值Y。 　　另外，在如同上述一般地而檢測出畫像之缺陷時，係使用有對於數位化後之攝像畫像進行數位處理的畫像處理演算法。此所謂使用畫像處理演算法一事，即是對於上述像素值而進行演算。而，藉由對於演算方法作特別設計，係能夠基於演算結果來選擇出存在於畫像中的成為缺陷檢查的對象之區域。以具備有此種選擇作用的方式來對於演算方法作了特別設計的畫像處理演算法，係作為先前技術而被廣泛使用。 (2)先前技術之畫像處理演算法 　　針對先前技術之畫像處理演算法，使用圖32～圖37來作說明。另外，在以下之說明中，係將成為進行表面之缺陷檢查的對象之被檢查物，主要稱作工件。又，係將存在於上述畫像中的成為缺陷檢查的對象之區域，稱作檢查對象區域。並且，係將並不會成為缺陷檢查的對象之區域、亦即是檢查對象區域以外之區域，記載為除外區域。 　　在進行工件表面之缺陷檢查時，係使用攝像裝置而對於工件進行攝像並得到攝像畫像，並對於該攝像畫像而適用畫像處理演算法。於此，所得到的攝像畫像，假設係為灰階畫像。攝像方法，當工件係為例如6面體一般之立體形狀的情況時，係將工件載置於水平地作了設置的台上，並使用配置在與工件之各面相對向的位置處之攝像裝置，來對於各面進行攝像。又，當工件係為由紙或是形成為薄板狀之木材或者是樹脂所成之平面形狀的情況時，係將工件載置於水平地作了設置的台上，並使用配置在台之上側處的攝像裝置來對於工件之上面進行攝像。 　　另外，在以下之說明中，為了簡單化，係將圖面中之工件的形狀、在工件表面上所被標記之印記、存在於工件表面上之缺陷之形狀等，使用圓、橢圓、長方形、正方形等之單純的圖形來作為示意圖而作展示。 　　圖32(a)，係為使用攝像裝置來對於身為良品之工件(良品工件)WG1的其中一面進行攝像所得到的良品畫像PG1，並被攝像有背景B1以及工件WG1。工件WG1係具備有長方形之外形，於其之表面上係被標記有圓形之印記MG1。工件WG1之對角線的交點與印記MG1的中心位置係大略相互一致。 　　圖33(a)，係為使用攝像裝置來對於在表面上具有缺陷的工件、亦即是不良之工件(不良工件)WD1的其中一面進行攝像所得到的不良畫像PD1。良品畫像PG1與不良畫像PD1之間之差異，係在於在不良畫像PD1之工件WD1內為存在有缺陷D1，並且在印記MD1內係存在有缺陷D2。 　　於此，圖32(a)之良品畫像PG1以及圖33(a)之不良畫像PD1，係均為灰階之數位畫像。而，若是在良品畫像PG1以及不良畫像PD1中對於各區域之顏色以目視來作比較，則係成為如同下述一般。不論是良品畫像PG1或者是不良畫像PD1，均同樣的，背景B1係為黑，工件WG1以及WD1係為濃灰，印記MG1以及MD1係為白。又，在不良畫像PD1中，工件WD1之缺陷D1係為淡灰，印記MD1上之缺陷D2亦係為淡灰。但是，就算同樣的為淡灰，相較於缺陷D1，缺陷D2係為較濃。 　　此些之比較，係為作業者對於圖33(a)之不良畫像PD1進行了目視後的結果，實際的不良畫像PD1，係如同上述一般地作為數位畫像而被記錄在攝像裝置內。針對該被記錄了的數位畫像，若是將上述各區域之像素值的大小關係使用區域之名稱來以不等式作表現，則係成為 背景B1＜工件WD1＜缺陷D2＜缺陷D1＜印記MD1 (1) 。於此，上述各區域均係為藉由複數之像素而構成。而，構成同一區域之複數之像素所具備的像素值，係個別具有相異之值。但是，在以下之說明中，為了簡單說明，假設構成同一區域之複數之像素係全部具備有相同之像素值。 　　在此(1)中所示之像素值之大小關係，係代表在對於圖33(a)中所示之不良畫像PD1進行了目視時，相較於工件WD1之正常的部分，該缺陷D1看起來係為較亮(帶有白色)。同樣的，係代表相較於工件WD1上之印記MD1之正常的部分，該缺陷D2看起來係為較暗(帶有黑色)。又，圖32(a)之良品畫像PG1的情況時之該區域之像素值之大小關係，係從(1)而將關連於2種類的缺陷之像素值除外，而成為 背景B1＜工件WG1＜印記MG1　　(2) 。作為上述(1)(2)之具體例，使在圖32(a)之良品畫像PG1以及圖33(a)之不良畫像PD1中的被賦予至各區域處之元件符號與各區域之像素值相對應，而分別在圖32(b)以及圖33(b)中以表形式來作展示。以下，為了簡單說明，係將說明之對象限定於圖33(a)之不良畫像PD1。 　　接著，使用圖33(a)中所示之不良畫像PD1，針對在進行工件表面之缺陷檢查時所使用的畫像處理演算法作說明。在圖33(a)之不良畫像PD1中，係被攝像有背景B1和工件WD1，但是，成為進行缺陷檢查之對象者，係為工件WD1。於此，攝像畫像中之工件的位置，係會在每次攝像時產生各種的變化。作為其中一例，在圖34(a)中，針對與圖33(a)同樣的而對於與上述不良工件WD1相異的不良工件WD2進行了攝像之不良畫像PD2作展示。一併與在圖33中的情況相同地，使在圖34(a)中所示之不良畫像PD2中的被賦予至各區域處之元件符號與各區域之像素值相對應，而在圖34(b)中以表形式來作展示。 　　在圖34(a)之不良畫像PD2中的工件WD2之位置，係與在圖33(a)之不良畫像PD1中的工件WD1之位置相異。因此，係成為有必要針對各攝像畫像之每一者而無關於工件之位置地來將工件正確地抽出。將此工程命名為工件抽出工程。作為在工件抽出工程中所使用的畫像處理演算法，係周知有從調查對象畫像之中而抽出特定之畫像圖案的樣版匹配法(TM法)。此係為依據以下之處理程序而實行的演算法。 　　[處理程序1] 作為前述特定之畫像圖案 　　 準備預先所決定了的畫像圖案(樣版)。 　　[處理程序2] 將調查對象畫像與樣版作比對(匹配) 探索出最為一致的場所。 　　[處理程序3] 將一致的場所作為前述特定之畫像圖案而抽出。 　　例如，在將圖33(a)之不良畫像PD1作為調查對象畫像的情況時，係只要將在圖32(a)之良品畫像PG1中所被攝像的工件WG1之形狀作為樣版即可。之後，若是將不良畫像PD1與樣版作比對，則就算是工件WD1之位置在不良畫像PD1中產生各種的變化，例如在如同圖33(a)一般之WD1為位置於略中央處的情況或者是在如同圖35(a)中所示之不良畫像PD1a一般之工件WD1為位置在右下處的情況，均能夠將具備有如同圖35(b)一般之形狀的工件WD1抽出。 　　接著，針對此抽出了的工件WD1，而篩選出檢查對象區域和除外區域。將此工程命名為檢查區域篩選工程。在檢查區域篩選工程中所被使用的作為先前技術之畫像處理演算法，係根據以下之[條件1]來篩選出檢查對象區域和除外區域。 　　[條件1]檢查對象區域之像素值， 　　相較於與該區域相鄰接之除外區域的像素值係為大或者是小。 　　於此，需要先注意到，在[條件1]中所記載之「與該區域相鄰接之除外區域」，係會有2種情況。具體而言，係存在有除外區域為在檢查對象區域之外部而相鄰接的情況、和除外區域為在檢查對象區域之內部以作為其之部分集合而被內包的方式而相鄰接的情況。而，在後者的情況時，在將內包有除外區域之檢查對象區域作為第1檢查對象區域的情況時，可能會將此被作內包的除外區域作為相對於第1檢查對象區域而相互獨立的第2檢查對象區域來階層化的情形。作為其結果，係成為將複數之檢查對象區域一面作組合一面作內包而構成檢查對象區域。針對包含有此種檢查對象區域之階層化的檢查區域篩選工程，使用圖35以及圖36來作說明。 　　首先，對於圖35(a)之不良畫像PD1a，實行使用有樣版匹配法之工件抽出工程並將工件WD1抽出。係明確得知，所抽出的工件WD1，其位置係位於不良畫像之右下，並且其之最外緣係為長方形。在如此這般地而抽出了工件WD1之後，實行檢查區域篩選工程。 　　檢查區域篩選工程之第1階段，係在工件WD1之外側處，配置較前述最外緣之尺寸規格的最大值而更大了α的尺寸的包圍框F1，而包圍工件WD1之最外緣。在圖36(a)中，對於實行了此第1階段之後的模樣作展示。於此，工件WD1，係起因於製造誤差，而在最外緣之尺寸中產生有參差。在該尺寸中，係存在有依據最大值以及最小值所規定出的規格，滿足該規格之工件WD1，針對尺寸而言係被判定為良品。而，在對於此針對尺寸而言為良品的工件WD1進行了攝像之後，使用上述之樣版匹配法而實行工件抽出工程。因此，作為工件抽出工程之結果所得到的工件WD1之最外緣之尺寸，係存在有成為上述尺寸規格之最大值～最小值的所有的數值之可能性。故而，若是配置較尺寸規格之最大值而更大了α的尺寸之包圍框F1，則係成為能夠針對所有的工件WD1而在最外緣之更外側處配置包圍框F1。 　　檢查區域篩選工程之第2階段，係注目於構成圖36(a)之各區域的像素之像素值而進行檢查對象區域之篩選。在圖36(a)中之構成於第1階段處所配置的包圍框F1與工件WD1之最外緣之間之區域(以下，稱作工件周圍區域)WDS1的像素之像素值，明顯的，係與構成背景B之像素的像素值相等。於此，對於工件周圍區域WDS1與工件WD1之像素值之間的大小關係作注目。根據圖33(b)以及式(1)，工件周圍區域WDS1之像素值，係為與背景B1之像素值相等的10，工件WD1之像素值係為100。於此，在圖36(a)中之包圍框F1的內部，例如係將像素值50設定為工件篩選臨限值TWD1。之後，藉由篩選出工件篩選臨限值TWD1以上之區域，係能夠將像素值為100之工件WD1的內部，作為成為檢查對象區域之候補的對象候補區域而篩選出來。 　　接著，在檢查區域篩選工程之第3階段之後，係從上述對象候補區域之中篩選出檢查對象區域。以下，針對成為需要進行此篩選一事的理由作說明。若是在圖36(a)中對於在工件WD1之內部的正常區域與缺陷之各別的像素值作比較，則如同圖33(b)中所示一般，工件WD1(正常區域)之像素值係為100，工件之缺陷D1之像素值係為200。根據此，可以想見，例如若是在工件WD1內之區域中將像素值140設定為工件缺陷臨限值TD1，並篩選出工件缺陷臨限值TD1以上之區域，則係能夠檢測出缺陷D1。但是，在工件WD1內之區域中，係存在有工件上之印記M1(正常區域)，其之像素值係為250。故而，當在工件WD1內之區域中將作為工件缺陷臨限值TD1之像素值140以上之區域篩選出來的情況時，與具備有像素值200之缺陷D1一同地，身為正常區域之具備有像素值250之工件上的印記MD1也會作為缺陷而被篩選出來。明顯可知，此事作為缺陷檢查之結果係並不正確。為了防止此，係只要將從作為對象候補區域之工件WD1內之區域中而把工件上之印記MD1內之區域作了除外後的區域，作為檢查對象區域即可。此係為在檢查區域篩選工程之第3階段之後的處理。 　　於此，將在上述檢查區域篩選工程之第2階段中所篩選出的工件WD1內之區域，命名為第1對象候補區域。並且，將應從此第1對象候補區域而除外的工件上之印記MD1內之區域，命名為第1除外區域。最後，將從第1對象候補區域而把第1除外區域除外後的區域，命名為第1檢查對象區域。具體而言，在檢查區域篩選工程之第3階段中，係使用與上述工件抽出工程相同之樣版匹配法，來僅篩選出工件上之印記MD1。 　　接著，在第4階段中，與上述第1階段相同的，如同圖36(b)所示一般地，在工件上之印記MD1之外側處，配置較其之最外緣之尺寸規格的最大值而更大了β之尺寸的包圍框F2，而將工件上之印記MD1之最外緣作包圍。 　　之後，在第5階段中，與上述第2階段相同的，對於構成包圍框F2與工件上之印記MD1之最外緣之間之區域(以下，稱作印記周圍區域)M1S1之像素的像素值為與構成工件WD1之像素的像素值相等一事作注目。根據圖36(b)，印記周圍區域M1S1之像素值，係為與工件WD1之像素值相等的100，工件上之印記MD1之像素值係為250。於此，在圖36(b)中之包圍框F2的內部，例如係將像素值200設定為印記篩選臨限值TM1。之後，藉由篩選出印記篩選臨限值TM1以上之區域，係能夠將像素值為250之工件上之印記M1的內部，作為應從第1對象候補區域而除外的第1除外區域而篩選出來。 　　接著，作為第6階段，從第1對象候補區域而把第1除外區域除外，而設為第1檢查對象區域。接著，對於作為上述第1除外區域而被篩選出來的工件上之印記MD1作注目。如同圖36(b)中所示一般，係會有在此工件上之印記MD1內而存在有缺陷D2的情形。故而，將工件上之印記MD1考慮為應檢測出缺陷D2之第2對象候補區域一事係為適當。亦即是，在第7階段之後，係在將工件上之印記MD1作為第2對象候補區域而篩選出來之後，因應於需要而在第2對象候補區域內篩選出第2除外區域，並將從第2對象候補區域而把第2除外區域除外之後的區域，作為第2檢查對象區域而篩選出來。另外，若依據圖36(b)，則在將工件上之印記MD1作為第2對象候補區域時，在此區域內係並不存在有第2除外區域。故而，第2檢查對象區域係成為工件上之印記MD1內的全部區域。對於圖35(a)中所示之不良畫像PD1a實行了以上之工程後的結果所得到之檢查對象區域，係成為在上述第6階段中所篩選出的第1檢查對象區域和在上述第7階段中所篩選出的第2檢查對象區域之2個的區域。至此，檢查區域篩選工程係結束。 　　若是在檢查區域篩選工程中而篩選出第1檢查對象區域以及第2檢查對象區域，則接著係移行至設定能夠在各檢查對象區域中而檢測出缺陷的缺陷臨限值之缺陷臨限值設定工程。在此缺陷臨限值設定工程中，係將能夠把各檢查對象區域篩選為並非為缺陷之正常區域和缺陷的特定之1個的像素值，設定為缺陷臨限值。此時，係根據以下之[條件2]對於檢查對象區域內之正常區域和缺陷進行篩選。 　　[條件2]位於檢查對象區域內之缺陷的像素值， 　　相較於該區域內之正常部分的像素值係為大或者是小。 　　首先，在缺陷臨限值設定工程之第1階段中，係作為在第1檢查對象區域中之缺陷臨限值，而設定第1缺陷臨限值。如同上述一般，第1檢查對象區域，係為在工件WD1內之工件上之印記MD1以外之區域。而，根據圖33(b)，第1檢查對象區域之像素值，係為100，工件之缺陷D1之像素值，係為200。根據此，藉由在第1檢查對象區域中例如將像素值150設定為第1缺陷臨限值TD1，並篩選出第1缺陷臨限值TD1以上之區域，係成為能夠僅篩選出缺陷D1。亦即是，係將第1缺陷臨限值TD1設定為150。 　　接著，在缺陷臨限值設定工程之第2階段中，係作為在第2檢查對象區域中之缺陷臨限值，而設定第2缺陷臨限值。第2檢查對象區域，係為工件上之印記MD1內的區域。而，根據圖33(b)，第2檢查對象區域之像素值，係為250，工件上之印記MD1中的缺陷D2之像素值，係為180。根據此，藉由在第2檢查對象區域中例如將像素值210設定為第2缺陷臨限值TD2，並篩選出第2缺陷臨限值TD2以下之區域，係成為能夠篩選出缺陷D2。亦即是，係將第2缺陷臨限值TD2設定為210。至此，缺陷臨限值設定工程係結束。 　　如同上述一般，在檢查區域篩選工程之第2階段中，係將像素值50設定為工件篩選臨限值TWD1。其目的，係為了在圖36(a)中於包圍框F1內部而將工件WD1之內部從背景B1而篩選出來，並作為成為缺陷檢查之對象區域的第1對象候補區域而篩選出來。又，在第5階段中，係將像素值200設定為印記篩選臨限值TM1。其目的，係為了在圖36(b)中於包圍框F2內部而將工件上之印記MD1之內部作為應從第1對象候補區域而除外的第1除外區域而篩選出來。 　　同樣的，在缺陷臨限值設定工程之第1階段中，係將像素值150設定為第1缺陷臨限值TD1。其目的，係為了篩選出在第1檢查對象區域中的缺陷。又，在第2階段中，係將像素值210設定為第2缺陷臨限值TD2。其目的，係為了篩選出在第2檢查對象區域中的缺陷。 　　此些之各種臨限值，係為對於在圖33(a)之不良畫像PD1以及圖35(a)之不良畫像PD1a中的工件表面之缺陷檢查而言為最適當的臨限值。其理由，係因為在此些之不良畫像之各區域中的像素值係成為圖33(b)中所示之值之故。於此，針對圖33(a)之不良畫像PD1以外的不良畫像、亦即是在對於其他的不良工件進行了攝像的畫像中之各區域之像素值作考慮。假定在各工件之每一者中，各區域之像素值係具有涵蓋某一範圍之參差。在僅對於不良畫像進行目視時，各區域之相對性的明亮度或陰暗度，不論在針對何者之工件作了攝像的攝像畫像中，均為同等。 　　但是，若是作為數位畫像來考慮，則像素值之差異係會成為問題。例如，在對於相異之2個的工件之攝像畫像進行了目視時，假設在兩者中之同一之區域的目視結果均係為白。但是，若是將此些之2個的攝像畫像作為數位畫像來作記錄，則可能會發生其中一方之白的像素值係為240而另外一方之白的像素值係為220的情形。同樣的，就算是在兩者中之同一之區域的目視結果均係為濃灰，也可能會發生在其中一方之數位畫像中之濃灰的像素值係為100而另外一方之濃灰的像素值係為80的情形。如此這般，在各工件之每一者中，各區域之像素值係具有某種程度之參差。故而，若是如同上述一般地使用圖33(a)之不良畫像PD1，而使用在檢查區域篩選工程或缺陷臨限值設定工程中所設定的各種臨限值，則並無法保證能夠針對所有的不良畫像而確實地進行檢查對象區域之篩選並進行在該區域內之缺陷的篩選。因此，係有必要實行對於前述各種臨限值是否為適當一事進行確認之臨限值確認工程。以下，針對臨限值確認工程之處理程序作說明。 　　首先，在第1階段中，準備對於B個(B為自然數)的不良工件進行攝像所得到之B個的不良畫像。針對此些之不良畫像之各者，使用基於圖33(a)之不良畫像PD1所設定的各種臨限值，來實行檢查對象區域之篩選以及缺陷之篩選。之後，對於是否能夠針對所有的不良畫像而篩選出同一之檢查對象區域並且在各不良畫像之每一者中將相異之缺陷分別確實地篩選出來一事進行確認。假設當發現到無法正確地篩選出檢查對象區域或者是缺陷之不良畫像的情況時，係將該不良畫像與在初始之臨限值設定中所使用的圖33(a)之不良畫像PD1之各區域中的像素值(圖33(b))作比較，並對於臨限值進行修正。之後，使用修正後的臨限值來再度針對B個的不良畫像而篩選出檢查對象區域以及缺陷。反覆進行此篩選之確認和臨限值之修正，直到成為能夠針對所有的不良畫像而篩選出同一之檢查對象區域並且將缺陷確實地篩選出來為止。 　　若是結束此階段，則接著，作為第2階段，對於在將藉由使用B個的不良畫像來進行確認一事所修正的各種臨限值對於良品畫像作了適用時是否能夠針對所有的良品畫像而篩選出同一之檢查對象區域並且不會篩選出缺陷一事進行確認。於此情況，係準備A個(A為自然數)的良品畫像，並與對於上述之B個的不良畫像所進行之確認同樣的來進行之。假設若是發現到檢查對象區域並未被正確地篩選出來之良品畫像或者是被篩選出有缺陷之良品畫像的情況時，係與對應於上述之使用有B個的不良畫像之確認的修正相同地，來進行臨限值之修正。亦即是，係將該良品畫像與在初始之臨限值設定中所使用的圖33(a)之不良畫像PD1之各區域中的像素值(圖33(b))作比較，並對於臨限值進行修正。之後，反覆進行確認和修正，直到成為能夠針對A個的良品畫像之全部而篩選出同一之檢查對象區域並且不會被篩選出缺陷為止。於此，B以及A之具體值，例如係只要在量產時對於每一天之成為缺陷檢查之對象的工件之個數和工件之製造偏差等作考慮，並使用統計學之手法來決定即可。 　　若是如此這般地而結束了各種臨限值是否為適當一事之確認，則臨限值確認工程係結束。之後，移行至使用此些之適當之臨限值來對於作為被檢查物之工件之攝像畫像而進行缺陷檢查之檢查實行工程。檢查實行工程，係對於被檢查物之攝像畫像而實行上述之檢查區域篩選工程，並篩選出檢查對象區域。接著，對於檢查對象區域而使用缺陷臨限值並對於缺陷之有無進行檢查。若是沒有缺陷，則判斷為良品，若是存在有缺陷，則判斷為不良。 　　於此，針對與圖33(a)之不良畫像PD1的情況相異之攝像畫像之像素值之例，使用在圖37(a)中所展示之不良畫像PD11來作說明。若是在圖37(a)之不良畫像PD11中對於各區域之顏色以目視來作比較，則係成為如同下述一般。背景B11係為白，工件WD11係為淡灰，印記MD11係為黑。又，工件WD11之缺陷D11係為濃灰，印記MD11上之缺陷D21係為淡灰。但是，就算同樣的為淡灰，相較於工件WD11，缺陷D21係為較淡。在將此不良畫像PD11作為數位畫像而作了記錄的情況時，上述各區域之像素值的大小關係，係成為 印記MD11＜缺陷D11＜工件WD11＜缺陷D21＜背景B11 (3) 。在此(3)中所示之像素值之大小關係，係代表在對於圖37(a)中所示之不良畫像PD11進行了目視時，相較於工件WD11之正常的部分，該缺陷D11看起來係為較暗(帶有黑色)。同樣的，係代表相較於工件WD11上之印記MD11之正常的部分，該缺陷D21看起來係為較亮(帶有白色)。將此些之像素值在圖37(b)中作為表來作展示。 　　在對於圖37(a)之不良畫像PD11而實行上述之檢查區域篩選工程以及缺陷臨限值設定工程時的各種臨限值以及應篩選之區域之像素值與臨限值之間之大小關係，係成為如同下述一般。 　　首先，在檢查區域篩選工程之第2階段中，設定工件篩選臨限值TWD11。其目的，係為了將工件WD11之內部從背景B11而篩選出來，並作為成為缺陷檢查之對象區域的第1對象候補區域而篩選出來。於此，根據圖37(b)，工件WD11之像素值，係為130，背景B11之像素值，係為250。若是對此些之像素值作比較，則可得知，若是將工件篩選臨限值TWD11例如設定為180，並篩選出具有工件篩選臨限值TWD11以下之像素值的區域，則係能夠篩選出第1對象候補區域。 　　接著，在第5階段中，設定印記篩選臨限值TM11。其目的，係為了將工件上之印記MD11之內部作為應從第1對象候補區域而除外的第1除外區域而篩選出來。於此，根據圖37(b)，工件WD11之像素值，係為130，印記MD11之像素值，係為40。若是對此些之像素值作比較，則可得知，若是將印記篩選臨限值TM11例如設定為90，並篩選出具有印記篩選臨限值TM11以下之像素值的區域，則係能夠篩選出第1除外區域。 　　同樣的，在缺陷臨限值設定工程之第1階段中，係設定第1缺陷臨限值。其目的，係為了篩選出在第1檢查對象區域中的缺陷。於此，根據圖37(b)，工件WD11之像素值，係為130，缺陷D11之像素值，係為80。若是對此些之像素值作比較，則可得知，若是將第1缺陷臨限值TD11例如設定為100，並篩選出具有第1缺陷臨限值以下之像素值的區域，則係能夠篩選出缺陷D11。 　　進而，在第2階段中，係設定第2缺陷臨限值。其目的，係為了篩選出在第2檢查對象區域中的缺陷。於此，根據圖37(b)，印記MD11之像素值，係為40，缺陷D21之像素值，係為170。若是對此些之像素值作比較，則可得知，若是將第2缺陷臨限值TD21例如設定為100，並篩選出具有第2缺陷臨限值以上之像素值的區域，則係能夠篩選出缺陷D21。 　　如同上述一般，在作為先前技術之畫像處理演算法中的各種臨限值之設定以及應篩選出之區域的像素值與臨限值之間之大小關係，係基於在攝像畫像中之2個的資訊來決定之。第1個資訊，係為在將攝像畫像作為數位畫像而作了記錄的情況時之該區域之像素值。而，第2個資訊，係為作業者對於攝像畫像進行目視所得到的各區域之亮度(帶有白色的程度)與暗度(帶有黑色的程度)之比較結果、亦即是各區域間之亮度資訊的比較結果。在第2個資訊中之特別重要者，係為在檢查對象區域中之正常部分與缺陷的亮度資訊之比較。 　　在至今為止之說明中，作為不良畫像以及良品畫像之攝像畫像，係假設身為灰階畫像。當攝像畫像係身為彩色畫像的情況時，係將彩色畫像之顏色分解為R(紅)、G(綠)、B(藍)之3原色，並針對各者之顏色而產生灰階畫像。之後，使作業者對於從不良畫像所產生的3種類之灰階畫像進行目視，並藉由對於各區域間之亮度資訊作比較，來選擇被判斷為能夠最為明瞭地辨識出缺陷之1個的灰階畫像。只要對於此所選擇的灰階畫像，而適用上述畫像處理演算法即可。 (3)先前技術之畫像處理演算法之問題點 　　在如同上述一般之作為先前技術之畫像處理演算法中，係存在有以下之問題點。亦即是，在對於攝像畫像而適用畫像處理演算法時，由作業者所進行之目視之作業係會變多。如同上述一般，當在檢查區域篩選工程中而設定各種臨限值時，作業者係對於攝像畫像進行目視並對於各區域間之亮度資訊作比較。之後，基於該比較結果，來判斷在應篩選之檢查對象區域的內部是否存在有應被與缺陷相互辨識的作為正常之區域之除外區域。 　　例如，在上述之關連於使用有圖33(a)中所示之不良畫像PD1的檢查區域篩選工程之說明中，如同圖33(b)一般，工件WD1之像素值係為100，工件WD1上之缺陷D1之像素值係為200。而，工件WD1內之印記MD1之像素值，係為250。因此，為了在工件WD1上將缺陷D1正確地篩選出來，係藉由從身為第1對象候補區域之工件WD1內而將印記MD1作為第1除外區域而除外，來篩選出第1檢查對象區域。在此些之作業中，作業者之目視所發揮的作用係為非常大，而對於作業者要求有熟練度。作為例子，在上述說明中所使用的圖33(a)所示之不良畫像PD1的情況時，除外區域係為1個，而檢查對象區域係為2個。但是，除外區域以及檢查對象區域之數量，係並不被限定於此。 　　亦可以推測到，起因於構成工件表面之零件的數量、發生有缺陷之零件和該些零件之配置以及與該些零件相對應之缺陷之像素值等，除外區域以及檢查對象區域的數量係會更進一步增加。進而，在如同上述一般之攝像畫像係身為彩色畫像的情況時，由於係將彩色畫像之顏色分解為R(紅)、G(綠)、B(藍)之3原色，並針對各者之顏色而產生灰階畫像，因此，係對於作業者而追加有對於該些之3種類的灰階畫像進行目視並作比較的作業。在此些一般之除外區域以及檢查對象區域有所增加的情況或者是成為需要進行對於彩色攝像畫像之處理的情況時，起因於為了對於區域作篩選之臨限值的數量增加等之因素，在作業者之目視中所需要的時間係會更進一步增加。又，伴隨於此，作業者的判斷項目也會增加，作業者之負擔係增加。起因於此種作業者之在目視中所需要的時間之增加以及負擔的增加，檢查速度以及檢查精確度係會降低。 [先前技術文獻] [專利文獻] 　　[專利文獻1]日本特開2015-4538號公報

[發明所欲解決之課題] 　　本發明之目的，係在於提供一種對於檢查速度之提昇有所幫助並且難以被作業者之熟練度之差異所影響的畫像處理方法以及使用有該畫像處理方法之缺陷檢查方法，其係在從具有線對稱性之被檢查物之攝像畫像來篩選出檢查對象區域時，藉由減少作業者之目視作業，來減輕對於作業者所產生之對於熟練度有所要求的判斷等之負擔，並且能夠簡單地設定臨限值而容易地選擇出檢查對象區域。 [用以解決課題之手段] 　　本發明之其中一個態樣之畫像處理方法，其特徵為，係具備有：差分算出工程，係將具備有相對於基準直線而成為線對稱的第1以及第2區域之單色之原畫像，藉由前述基準直線來分割成前述第1以及第2區域，並針對在前述第1以及第2區域內而被配置在相對於前述基準直線而為線對稱的位置處之2個的原像素之各對(pair)，來算出成為前述2個的原像素之像素值之差分之差分像素值；和差分畫像產生工程，係為配置具備有前述差分像素值之差分像素並產生差分畫像之差分畫像產生工程，並將具有使用前述第1區域內之第1位置之原像素和前述第2區域內之第2位置之原像素之間之對所算出的前述差分像素值之差分像素，配置在前述差分畫像之前述第1以及第2位置處而產生前述差分畫像。 　　又，在前述畫像處理方法中，係具備有下述特徵：亦即是，前述基準直線，係為將前述原畫像分割成包含相等數量之原像素的上半部之前述第1區域與下半部之前述第2區域之第1直線。 　　又，在前述畫像處理方法中，係具備有下述特徵：亦即是，前述基準直線，係為將前述原畫像分割成包含相等數量之原像素的左半部之前述第1區域與右半部之前述第2區域之第2直線。 　　又，在前述畫像處理方法中，係具備有下述特徵：亦即是，在前述差分畫像產生工程中，係從同一之前述原畫像，來作為前述差分畫像，而產生第1差分畫像和與前述第1差分畫像相異之第2差分畫像，前述畫像處理方法，係更進而具備有：檢查區域選出工程，係使用前述第1差分畫像和前述第2差分畫像，來選出在前述原畫像中之檢查對象區域。 　　本發明之其中一個態樣之缺陷檢查方法，係為使用前述畫像處理方法來對於被檢查物進行缺陷檢查之缺陷檢查方法，其特徵為，係具備有臨限值設定模式和檢查實行模式，該臨限值設定模式，係具備有：第1工程，係將從對於已知係身為良品的複數之被檢查物進行攝像所得到的攝像畫像而產生之單色畫像，作為第1原畫像，並從所產生的複數之第1原畫像來使用前述畫像處理方法而產生複數之良品差分畫像；和第2工程，係將從對於已知係身為不良的複數之被檢查物進行攝像所得到的攝像畫像而產生之單色畫像，作為第2原畫像，並從所產生的複數之第2原畫像來使用前述畫像處理方法而產生複數之不良差分畫像，該臨限值設定模式，係設定1個的檢查區域臨限值，該檢查區域臨限值，係成為能夠從前述複數之不良差分畫像之差分像素之中，選擇出差分像素值為從其他之差分像素值而分離有特定值以上並且在各不良差分畫像中為被配置在同一之位置處的分離像素，並且在前述複數之良品差分畫像之差分像素中並不將被配置在與前述分離像素同一之位置處的差分像素作為前述分離像素而選擇出來，該檢查實行模式，係將從對於缺陷檢查對象之被檢查物進行攝像所得到的攝像畫像而產生的單色畫像，作為第3原畫像，並從所產生的第3原畫像來使用前述畫像處理方法而產生差分畫像，且使用前述差分畫像和前述檢查區域臨限值來選擇出在前述第3原畫像中之檢查對象區域，並且對於前述檢查對象區域而實行缺陷檢查。 　　又，在前述缺陷檢查方法中，係具備有下述特徵：亦即是，前述攝像畫像係為非彩色畫像，從各攝像畫像所產生的單色畫像，係為1個。 　　又，在前述缺陷檢查方法中，係具備有下述特徵：亦即是，前述攝像畫像係為彩色畫像，從各攝像畫像所產生的單色畫像，係為2個以上，在前述臨限值設定模式之前述第1工程中，係將各單色畫像作為前述第1原畫像，並從所產生的複數之第1原畫像來產生前述複數之良品差分畫像，在前述臨限值設定模式之前述第2工程中，係將各單色畫像作為前述第2原畫像，並從所產生的複數之第2原畫像來產生前述複數之不良差分畫像，在前述臨限值設定模式中，係選擇出1個的前述檢查區域臨限值之可設定範圍為最廣的單色畫像，並對於所選擇出的單色畫像而設定前述檢查區域臨限值，在前述檢查實行模式中，係從對於前述缺陷檢查對象之被檢查物進行攝像所得到的前述攝像畫像所產生的2個以上的單色畫像之中，選擇出與在前述臨限值設定模式中所被選擇出的單色畫像相同種類之單色畫像並作為前述第3原畫像，並從所產生的前述第3原畫像而產生前述差分畫像，並且使用前述差分畫像和前述檢查區域臨限值而選擇出前述檢查對象區域，並對於前述檢查對象區域而實行缺陷檢查。 　　又，在前述缺陷檢查方法中，係具備有下述特徵：亦即是，係更進而具備有：被檢查物抽出工程，係從前述第3原畫像之中而使用樣版匹配法來抽出前述缺陷檢查對象之被檢查物。 [發明之效果] 　　若是將本發明之畫像處理方法適用在檢查對象工件(缺陷檢查對象之被檢查物)的畫像為關連於特定之直線而為線對稱的情況中，則係幾乎不會存在有作業者對於工件之畫像進行目視並進行某些之判斷的工程，而能夠使用單純之畫像處理的演算來設定1個的臨限值並容易地選擇出在檢查對象工件之畫像中的檢查對象區域。因此，係並不會有如同先前技術一般之對於作業者而要求有熟練度的情況，作業者之負擔係變少。並且，係能夠將畫像處理方法藉由軟體來自動化並容易地實行對於檢查對象工件之畫像的缺陷檢查。因此，相較於由先前技術所致之缺陷檢查，檢查速度係大幅度提昇，並且也難以被作業者之熟練度的差異所影響。

以下，參考圖面，對本發明之實施形態作說明。 (1)本發明之畫像處理演算法 　　針對成為本發明之基礎的畫像處理演算法，使用圖1～圖6來作說明。圖1(a)，係為將在圖33(a)之不良畫像PD1中所被攝像的不良工件WD1作為原畫像(亦即是作為畫像處理之對象的數位畫像)，而對於此原畫像適用本發明之畫像處理演算法之說明圖。於此，圖1(a)中之不良工件WD1，係為從上述不良畫像PD1之中使用樣版匹配法所抽出者。針對不良工件WD1之表面的各區域，由於係已使用圖33(a)來作了說明，因此於此係省略說明。又，在圖1(b)中，將在圖1(a)中所示之原畫像中的各區域之像素值以表形式來作展示。此些之像素值，係與圖33(b)之所對應之區域的像素值相同。亦即是，圖1(a)之原畫像，係為與圖33(a)相同之灰階畫像。 　　首先，在圖1(a)中，對於工件WD1以及印記MD1之區域作注目。在此些之區域中，係分別存在有缺陷D1以及D2。而，若是對於把缺陷D1以及D2作了除外後的區域、亦即是與圖32(a)之良品畫像PG1內之良品工件WG1相同的區域作觀察，則可以得知其係為具備有線對稱性之區域。此與良品工件WG1相同之區域，係由不良工件WD1和被標記於其之表面上的印記MD1所構成。而，如同上述一般，不良工件WD1係具備有長方形之外形，印記MD1係為圓形。又，工件WD1之對角線的交點與印記MD1的中心位置係大略相互一致。故而，可以得知，由不良工件WD1和印記MD1所成之區域，係關連於圖1(a)中所示之2根的直線L1以及L2而為線對稱。具體而言，係以作為基準直線之第1直線L1作為對稱軸而上下對稱，第1直線L1係將原畫像分割成上半部與下半部為相等數量之像素。同樣的，係以作為基準直線之第2直線L2作為對稱軸而左右對稱，第2直線L2係將原畫像分割成左半部與右半部為相等數量之像素。 　　本發明之畫像處理演算法，係為能夠針對如此這般之具備有關連於1根以上之對稱軸而成為線對稱之區域的畫像來容易地選擇出應進行缺陷檢查之檢查對象區域者。在對於本發明之畫像處理演算法之原理進行說明時，為了簡單化，假設係使用如同圖2中所示一般之被配置為縱4個、橫4個的正方形狀之16個的像素。在圖2中，各像素係為正方形之形狀，並於其中記載有代表各個像素之位置的固有之位址。此位址，係藉由對於各像素而將圖2之成為橫方向之X以及成為縱方向之Y作了組合的二維標示來作賦予。以下，針對具體性之位址之賦予方法作說明。 　　首先，為了制定X方向以及Y方向之位址值的增加方向，係於左上設定成為X＝0以及Y＝0之原點。之後，使二維位址(X，Y)之X和Y分別朝向圖2之箭頭X方向以及Y方向而增加。亦即是，位置在左上角處之像素的位址，係成為(0，0)，位置於其右側處之像素的位址，係從(0，0)起而使X位址之值作1的增加，而成為(1，0)。同樣的，位置在左上角處之像素的下側處之像素的位址，係從(0，0)起而使Y位址之值作1的增加，而成為(0，1)。如此這般地使X位址和Y位址之值改變，位置在距離原點而最遠的右下角處之像素的位址，係成為從(0，0)起而使X位址之值作3的增加並且使Y位址之值作3的增加，而成為(3，3)。在以下之說明中，係將像素之位址藉由此方法來作表現。 　　圖3～圖6，係為對於本發明之畫像處理演算法的原理作說明之圖。圖3(a)，係為將圖32(a)之良品畫像PG1內的良品工件WG1以如同圖2中所示一般之被配置為縱4個、橫4個的正方形狀之16個的像素來作為原畫像而作了模型化者。在各像素處，係記載有與圖32(b)之表中所對應一般之像素值。另外，在圖32(a)中之良品工件WG1的形狀，係為長方形，但是，在圖3(a)中，為了簡單化，係以正方形來模型化。又，在圖32(a)中之印記MG1，係為圓形，但是，在圖3(a)中，係以由全部16個所成的像素中之位於中央部之位址(1，1)、(2，1)、(1，2)、(2，2)之4個的像素來模型化。於此情況，將此些之中央部之4個的像素作包圍之12個的像素，係成為將圖32(a)中之良品工件WG1作了模型化者。 　　於此，在圖32(b)中之良品工件WG1之像素值，係為100，印記MG1之像素值，係為250。但是，在圖3(a)中，作為良品工件WG1之像素值，係對於上述12個的像素之各者而分別分配有100之近旁之數個的有所參差之值，作為印記MG1之像素值，係對於上述4個的像素之各者而分別分配有250之近旁之數個的有所參差之值。此種像素值之參差，在實際之畫像中，例如係為起因於雜訊所產生者。 　　另外，在圖3(a)中，對應於16個的像素之各者之像素值，係將該像素之亮度(帶有白色之程度)和暗度(帶有黑色之程度)視覺性且相對性地來作表現。例如，對應於圖32(a)中之印記MG1之圖3(a)的像素，係如同上述一般，而為中央部之位址(1，1)、(2，1)、(1，2)、(2，2)之4個的像素。此些之像素的像素值，係為250之近旁，若是進行目視，則係為白色。故而，上述中央部之4個的像素，係成為於基底並不存在有花紋的反白之正方形。另一方面，對應於圖32(a)中之良品工件WG1之圖3(a)的像素，係如同上述一般，而為包圍上述中央部之4個的像素之12個的像素。此些之像素的像素值，係為100之近旁，若是進行目視，則係為濃灰。故而，上述12個的像素，係成為在除了代表像素值之數字以外的基底之部分配置有多數之極短之水平線的花紋之正方形。若是對於展示有此些之16個的像素之圖3(a)作目視，則係成為能夠與圖1(a)相同的而視覺性地理解到中央部分係為白並且其之周圍係為濃灰。於後，在本發明之畫像處理演算法之說明中，針對圖3(a)以外之由16個的像素所致的模型，係亦藉由相同的方法來對於各像素之相對性的亮度和暗度作視覺性表現。 　　另外，在以下之說明中，為了將文章簡潔化，係將被配置在位址(a，b)處之像素，標記為(a，b)之像素。同樣的，係將被配置在位址(a，b)處之像素的像素值，標記為(a，b)之像素值。於此，在圖3(a)中，係重疊記載有作為與圖1相同之對稱軸的第1直線L1以及第2直線L2。以下，針對本發明之畫像處理演算法，使用此圖3(a)來依序作說明。 　　本發明之畫像處理演算法，係針對如同上述一般之具備有關連於作為基準直線之對稱軸(亦即是在圖3(a)中之第1直線L1或第2直線L2)而成為線對稱之區域的畫像而被作適用(將其中一方之區域稱作第1區域，並將另外一方之區域稱作第2區域)。於此，針對在圖3(a)中將第1直線L1作為對稱軸的情況，而對於各像素之像素值的對稱性作注目。例如，位置在(0，0)處之像素值100的像素、和位置在(0，3)處之像素值103之像素，係被配置在對稱位置處。同樣的，例如，位置在(2，1)處之像素值255的像素、和位置在(2，2)處之像素值253之像素，係被配置在對稱位置處。之後，將構成原畫像之像素，命名為原像素。 　　此時，若是將圖3(a)之16個的原像素之集合視為正方形之摺紙，則藉由將第1直線L1作為摺痕並摺疊此摺紙，係能夠使位置在前述對稱位置處之原像素彼此相互重疊。將此處理稱作上下對摺。本發明之畫像處理演算法，首先係針對此藉由上下對摺而作了重疊之2個的原像素(亦即是被配置在關連於第1直線L1而為線對稱的位置處之2個的原像素)之像素值，來針對全部之原像素而算出成為差分之差分像素值。換言之，係將藉由上下對摺而作了重疊之2個的原像素，作為1個的對(pair)，並針對全部之對的各者而算出差分像素值。將此工程命名為差分算出工程。在差分算出工程之後，係將具備有所算出的差分像素值之差分像素，配置於與在該差分像素值之算出中所使用了的2個的原像素相同之位置處，而產生差分畫像(第1差分畫像)。例如，在使用第1區域內之第1位置之原像素和第2區域內之第2位置之原像素之間之對而算出了差分像素值的情況時，係將具備有此差分像素值之差分像素，配置在差分畫像之第1位置和第2位置處，而產生差分畫像。將此工程命名為差分畫像產生工程。 　　在圖3(b)中，對於針對圖3(a)之原畫像而實行差分算出工程以及差分畫像產生工程所產生的第1差分畫像作展示。例如，在圖3(a)之原畫像中，若是使用上述(0，0)之原像素和(0，3)之原像素而實行差分算出工程，則所得到的差分像素值係成為103-100＝3。故而，若是使用具備有此差分像素值3之差分像素而實行差分畫像產生工程，則在圖3(b)之第1差分畫像中，(0，0)和(0，3)之像素值係成為3。同樣的，在原畫像中，若是使用上述(2，1)之原像素和(2，2)之原像素而實行差分算出工程，則所得到的差分像素值係成為255-253＝2。故而，若是使用具備有此差分像素值2之差分像素而實行差分畫像產生工程，則在圖3(b)之第1差分畫像中，(2，1)和(2，2)之像素值係成為2。 　　於此，在圖3(b)所示之第1差分畫像中，16個的像素之像素值係均成為極為接近身為最小之像素值之0的極小之值。產生此種極小之像素值的原因，係因為如同上述一般，將於圖3(a)中以第1直線L1作為對稱軸並被配置在對稱位置處之2個的原像素之差分像素配置在與此些之2個的原像素相同之位置處並產生圖3(b)之故。此些之2個的原像素，由於係被配置在對稱位置處，因此各別之像素值係極為接近。故而，此些之2個的像素之差分像素值，係成為極為接近0之值。若是對於具備有此種像素值之圖3(b)之16個的像素作目視，則係為黑色。對應於此，在圖3(b)中之16個的像素，係全部成為在除了代表像素值之數字以外的基底之部分處配置有由多數之朝向右上方之斜線所成之花紋的正方形。 　　接著，本發明之畫像處理演算法，係對於在圖3(a)中身為左右對稱之對稱軸的第2直線L2作注目。此第2直線L2，係將原畫像分割成左半部與右半部為相等之8個的像素。位置在第2直線L2之左側處之8個的原像素、和位置在第2直線L2之右側處之8個的原像素，係相互被配置在對稱位置處。例如，位置在(0，0)處之像素值100的原像素、和位置在(3，0)處之像素值110之原像素，係被配置在對稱位置處。同樣的，例如，位置在(1，1)處之像素值254的原像素、和位置在(2，1)處之像素值255之原像素，亦係被配置在對稱位置處。 　　此時，與上述之關連於第1直線L1而為線對稱的情況相同地，若是將圖3(a)之16個的原像素之集合視為正方形之摺紙，則藉由將第2直線L2作為摺痕並摺疊此摺紙，係能夠使位置在前述對稱位置處之原像素彼此相互重疊。將此處理稱作左右對摺。實行針對此藉由左右對摺而作了重疊之2個的原像素(亦即是被配置在關連於第2直線L2而為線對稱的位置處之2個的原像素)之像素值，來針對全部之原像素而算出成為差分之差分像素值的差分算出工程。在差分算出工程之後，係實行將具備有所算出的差分像素值之差分像素，配置於與在該差分像素值之算出中所使用了的2個的原像素相同之位置處，而產生差分畫像(第2差分畫像)之差分畫像產生工程。 　　在圖3(c)中，對於針對圖3(a)之原畫像而實行差分算出工程以及差分畫像產生工程所產生的第2差分畫像作展示。例如，在圖3(a)之原畫像中，若是使用上述(0，0)之原像素和(3，0)之原像素而實行差分算出工程，則所得到的差分像素值係成為110-100＝10。故而，若是使用具備有此差分像素值10之差分像素而實行差分畫像產生工程，則在圖3(c)之第2差分畫像中，(0，0)和(3，0)之像素值係成為10。同樣的，在原畫像中，若是使用上述(1，1)之原像素和(2，1)之原像素而實行差分算出工程，則所得到的差分像素值係成為255-254＝1。故而，若是使用具備有此差分像素值1之差分像素而實行差分畫像產生工程，則在圖3(c)之第2差分畫像中，(1，1)和(2，1)之像素值係成為1。 　　於此，在圖3(c)所示之第2差分畫像中，16個的像素之像素值係均成為極為接近身為最小之像素值之0的極小之值。產生此種極小之像素值的原因，係與上述之針對圖3(b)之說明相同的，為因為將於圖3(a)中以第2直線L2作為對稱軸並被配置在對稱位置處之2個的原像素之差分像素配置在與此些之2個的原像素相同之位置處並產生圖3(c)之故。此些之2個的原像素，由於係被配置在對稱位置處，因此各別之像素值係極為接近。故而，此些之2個的像素之差分像素值，係成為極為接近0之值。若是對於具備有此種像素值之圖3(c)之16個的像素作目視，則係為黑色。對應於此，在圖3(c)中，係與圖3(b)相同的，16個的像素，係全部成為在除了代表像素值之數字以外的基底之部分處配置有由多數之朝向右上方之斜線所成之花紋的正方形。 　　於此，針對藉由軟體來實行在上述差分算出工程中之上下對摺以及左右對摺的具體性之演算法，進行補充說明。在圖3(a)中之16個的像素，係分別如同圖2一般地而被賦予有位址。 　　因此，在實行上下對摺時，係在基於圖2而決定了在圖3(a)中之第1直線L1之其中一端之位址以及另外一端之位址之後，將此些之位址作為輸入而遞交給實行差分算出工程之軟體(以下，稱作差分算出軟體)。藉由此，差分算出軟體係辨識出對稱軸，並能夠藉由其中一端以及另外一端之位址來判斷出係身為上下對摺。 　　同樣的，在實行左右對摺時，係在基於圖2而決定了在圖3(a)中之第2直線L2之其中一端之位址以及另外一端之位址之後，將此些之位址作為輸入而遞交給差分算出軟體。藉由此，差分算出軟體係辨識出對稱軸，並能夠藉由其中一端以及另外一端之位址來判斷出係身為左右對摺。 　　在圖3(a)中之第1直線L1之其中一端的位址，係對應於被(0，1)和(0，2)之2個的像素所包夾之位置。故而，其之位址係成為(0，1.5)，此即為在圖2中之於以箭頭Y所示之方向上的(0，0)與(0，3)之像素之位址的中央值。 　　同樣的，在圖3(a)中之第1直線L1之另外一端的位址，係對應於被(3，1)和(3，2)之2個的像素所包夾之位置。故而，其之位址係成為(3，1.5)，此即為在圖2中之於以箭頭Y所示之方向上的(3，0)與(3，3)之像素之位址的中央值。 　　若是將如此這般所決定的(0，1.5)以及(3，1.5)之2個的位址作為輸入而遞交給差分算出軟體，則差分算出軟體係將圖2之位址作為表來持有，並能夠參照此表而產生作為對稱軸之第1直線L1。而，由於對稱軸係為水平，因此，差分算出軟體係判斷為實行上下對摺，並例如針對上述之圖3(a)中的(0，0)之像素值和(0，3)之像素值而算出差分，並同樣的針對(2，1)之像素值和(2，2)之像素值而算出差分。 　　針對在圖3(a)中之第2直線L2，亦同樣的，只要作為其中一端之位址而將身為(0，0)和(3，0)之中央值的(1.5，0)作為輸入而遞交給差分算出軟體，並作為另外一端之位址而將身為(0，3)和(3，3)之中央值的(1.5，3)作為輸入而遞交給差分算出軟體即可。接收了此些之位址的差分算出軟體，係與上述之第1直線L1之情況相同的，能夠參照圖2之位址之表而產生作為對稱軸之第2直線L2。而，由於對稱軸係為垂直，因此，差分算出軟體係判斷為實行左右對摺，並例如針對上述之圖3(a)中的(0，0)之像素值和(3，0)之像素值而算出差分，並同樣的針對(1，1)之像素值和(2，1)之像素值而算出差分。 　　若是藉由以上之工程，而根據圖3(a)之原畫像來產生了圖3(b)中所示之第1差分畫像以及圖3(c)中所示之第2差分畫像，則接下來係對於構成各差分畫像之16個的像素之像素值作注目。具體而言，係從此些之16個的像素之中，選擇出具備有成為相對於大多數之像素值而大幅度地分離之值的像素值(以下，稱作分離像素值)之像素(以下，稱作分離像素)。以下，使用圖3(d)～圖4(c)，針對其處理程序作說明。 　　首先，將圖3(b)中所示之16個的差分像素之像素值以降順來作排列。將其結果在圖3(b)之正下方處作為圖3(d)來作展示。圖3(d)，係藉由被作上下配置之3個的段所構成。在各段中，係記載有數值，於其之左端處，係作為標題而記載有該段之數值的意義。在各段之數值之間，係記載有朝下之箭頭，藉由此，係有助於對從箭頭之上側之段的數值來產生箭頭之下側之段的數值之工程的說明有所理解。 　　圖3(d)之上段之標題，係為以差分像素值降順來將上述圖3(b)中所示之16個的差分像素之像素值以降順來作了排列的結果。像素值，係為7、3、2、1之4種類，在左端配置成為最大值之7，並從該處起而朝向右方依序配置較小的像素值。右端，係被配置有成為最小值之1。 　　接著，算出在上端處而相鄰接的差分像素值之間之差分，並配列於中段處。中段之標題，係為鄰接差分像素值之差分值，並記載有上述差分值。左端之數值係為4，此「4」之值，係為上段處之左端之7與鄰接於其右方的3之間之差分。為了表現此，係將在差分值「4」之算出中所使用的上段之像素值7以及3和中段之差分值4分別藉由朝下的箭頭來相互附加對應。針對在中段處之其他的數值，亦為相同。 　　若是以上之工程結束，則接著係選擇出在中段之數值中的最大值。此選擇，係為用以選擇出上述之分離像素之工程。圖3(d)之情況中，於中段處的左端之數值4係為最大值。而，產生了此成為最大值之差分值的上段之2個的像素值，係為左端之7和與其相鄰接之3。此7和3之區間，係為中段之差分值會成為最大之區間，若是在此區間中將7與3之中央值設定為臨限值，則係能夠選擇出上述之分離像素。實際上，若是對於被記載在圖3(d)之上段處之4個的數值作觀察，則相對於左端之數值7，剩餘之3個的數值係為3、2、1，此些之3個的數值間之差分係為較小。相對於此，僅有左端之7為大幅度地分離，而被視為分離像素。 　　在如此這般地而選擇出了中段之差分值會成為最大之區間之後，算出該區間之兩端的差分像素值之中央值，並作為用以選擇出分離像素之臨限值。將此臨限值算出結果展示於圖3(d)之下段處。下段之標題，係為差分值之最大區間處的臨限值，並將作為身為算出了從中段之數值所選擇出之最大之差分值4的上段之像素值之7與3之中央值之5(小數點以下係捨去)作為臨限值而記載之。 　　若是經由以上之工程而設定了臨限值，則係從上段之像素值之中而選擇出成為較此臨限值而更大之值的像素值。此被選擇出之像素值，係為分離像素值，具備有分離像素值之像素，係為分離像素。係可根據上述之說明而明確得知，被選擇出的像素值係為7。 　　其結果，分離像素之像素值「7」，係從其他之像素值「3、2、1」而分離有特定值以上。特定值之例，係為最大之差分值4。於此情況，分離像素之像素值「7」，係從像素值「3」而作了4的分離，並從像素值「2」而作了5的分離，並且從像素值「1」而作了6的分離，從其他之像素值係分離有特定值以上(亦即是4以上)。 　　與以上之對於圖3(b)中所示之第1差分畫像所進行的圖3(d)之工程相同的，針對圖3(c)中所示之第2差分畫像，亦同樣的藉由圖3(e)之工程來設定臨限值，並從圖3(c)之像素之中而選擇出分離像素值10。圖3(c)與圖3(e)之關係，係與上述之圖3(b)與圖3(d)之關係相同。又，圖3(e)之上段、中段、下段之數值與各段之間之箭頭的意義，亦係與圖3(d)相同。故而，係將針對圖3(e)之詳細之說明省略。 　　將經過以上之工程所選擇出的圖3(b)以及圖3(c)中之分離像素，分別藉由在圖4(a)以及圖4(b)中將像素值以雙重框來作包圍一事而作標示。在如此這般地而於2個的差分畫像中選擇出了分離像素之後，作為下一個工程，選擇出在2個的差分畫像中之分離像素的共通部分。之後，此選擇出的共通部分，係為在原畫像具備存在有缺陷之可能性的區域，亦即是成為應進行缺陷檢查之檢查對象區域。 　　於此，在圖4(a)以及圖4(b)中，係並不存在有分離像素之共通部分。其理由，係因為圖3(a)之原畫像乃是將在圖32(a)中所示之良品工件WG1(亦即是並不具有缺陷之工件)作了模型化者，並且係相對於作為2根的對稱軸之第1直線L1以及第2直線L2而成為線對稱之故。故而，在圖3(a)之原畫像中，係並不存在有應進行缺陷檢查之檢查對象區域。 　　在圖4(c)中，係展示有：將在圖3(a)之原畫像中，被配置在與於圖4(a)以及圖4(b)中藉由將像素值以雙重框來作包圍一事而作標示的分離像素之共通部分同一之位置處的原像素，而以雙重框來包圍其之像素值而作標示的畫像。如同上述一般，在圖4(a)以及圖4(b)中，藉由上述雙重框所標示之在2個的差分畫像中之分離像素，係並不具備有共通部分。因此，在圖4(c)中，係並不存在有將像素值以雙重框來作包圍的像素，並成為與圖3(a)相同之畫像。 　　根據如同上述一般之使用有圖3(a)之模型的說明，可以得知，在對於如同圖32(a)之良品畫像PG1中所示一般之具有線對稱之區域的良品工件WG1之原畫像而適用了本發明之畫像處理演算法的情況時，係並不會被選擇出應進行缺陷檢查之檢查對象區域。 (2)本發明之畫像處理演算法之適用例 　　接著，針對對於如同圖33(a)之不良畫像PD1中所示一般之具有線對稱之區域的不良工件WD1之畫像而適用了本發明之畫像處理演算法的情況作說明。圖5(a)，係為將圖33(a)之不良畫像PD1內的不良工件WD1與上述之圖3(a)同樣的使用16個的像素來作為原畫像而作了模型化者。在各像素處，係記載有與圖33(b)之表中所對應一般之像素值。 　　於此，針對圖5(a)與圖3(a)之差異點、亦即是針對在圖5(a)中之缺陷的表現作說明。圖5(a)與圖3(a)之差異點，係在於被配置在位址(0，0)以及(2，2)處之像素的像素值。在圖3(a)中之位址(0，0)之像素值，係為100，此像素值，係對應於圖32(b)中所示之良品工件WG1之像素值。相對於此，在圖5(a)中之位址(0，0)之像素值，係為200，此像素值，係對應於圖33(b)中所示之不良工件WD1上的缺陷D1之像素值。同樣的，在圖3(a)中之位址(2，2)之像素值，係為100，此像素值，係對應於圖32(b)中所示之印記MG1之像素值。相對於此，在圖5(a)中之位址(2，2)之像素值，係為180，此像素值，係對應於圖33(b)中所示之印記MD1上的缺陷D2之像素值。 　　而，在圖5(a)中，亦係與圖3(a)相同的，將位於中央部處之位址(1，1)、(2，1)、(1，2)、(2，2)之4個的像素作包圍的12個像素，係成為不良工件WD1。又，在圖5(a)中之不良工件WD1之像素值，係除了代表缺陷之上述(0，0)以外，為成為與圖3(a)相同之值。同樣的，印記MD1之像素值，係除了代表缺陷之上述(2，2)以外，為成為與圖3(a)相同之值。另外，圖5中所示之各像素之像素值和代表該像素之正方形的基底之花紋之間之關係，係與圖3相同。 　　於此，若是如同上述一般地對於圖5(a)之像素值和圖3(a)之像素值作比較，則在圖5(a)中之(0，0)以及(2，2)的像素值，係分別為與圖3(a)相異之200以及180。若是對於此些之像素值作目視，則係如同圖33(b)中所示一般，均為淡灰。此能夠藉由目視而看成淡灰之像素，在對於身為良品畫像之圖32(a)之各區域之對應作展示的圖32(b)中，係並不存在，其結果，在將圖32(a)作了模型化之圖3(a)中，係並不存在。因此，為了對應於此淡灰，在圖5(a)中之(0，0)以及(2，2)的像素，係成為於除了代表像素值之數字以外的基底之部分處配置有由多數之點所成之花紋的正方形。 　　在圖5(b)中，對於針對圖5(a)之原畫像而實行上述之差分算出工程以及差分畫像產生工程所產生的第1差分畫像作展示。又，在圖5(c)中，對於實行同樣之工程所產生的第2差分畫像作展示。於此，將圖5(b)以及圖5(c)分別與圖3(b)以及圖3(c)作比較。首先，若是對於圖5(b)和圖3(b)作比較，則可以得知在兩者中係存在有差異。在圖3(b)中之16個的像素之像素值，係均同上述一般地而極為接近0。相對於此，在圖5(b)中之16個的像素值之中，(0，0)以及(0，3)之像素值，係為97，(2，2)以及(2，1)之像素值，係為65。相對於其他之像素的像素值係極為接近0，此些像素，係為相較於0而為相當大之像素值，亦即是係為從0而有所分離之像素值。 　　以下，針對此些之4個的像素之像素值為從0而分離的理由作說明。在圖5(a)之原畫像中，對應於缺陷之(0，0)之像素值，係為200。而，以第1直線L1作為對稱軸，被配置在與(0，0)之像素為對稱位置處的像素，係為並非對應於缺陷之像素(0，3)，其之像素值，係為103。將此些之2個的像素值之差分像素值配置在原畫像之(0，0)和(0，3)之位置處者，係為圖5(b)之第1差分畫像。因此，起因於在原畫像中之對應於缺陷的(0，0)之像素值和並非對應於缺陷的(0，3)之像素值之差分為大一事，圖5(b)之(0，0)以及(0，3)之像素值係變大，並從0而分離。又，在圖5(a)之原畫像中，對應於缺陷之(2，2)之像素值，係為180。而，以第1直線L1作為對稱軸，被配置在與(2，2)之像素為對稱位置處的像素，係為並非對應於缺陷之像素(2，1)，其之像素值，係為255。將此些之2個的像素值之差分像素值配置在原畫像之(2，2)和(2，1)之位置處者，係為圖5(b)之第1差分畫像。因此，起因於在原畫像中之對應於缺陷的(2，2)之像素值和並非對應於缺陷的(2，1)之像素值之差分為大一事，圖5(b)之(2，2)以及(2，1)之像素值係變大，並從0而分離。 　　接著，若是對於圖5(c)和圖3(c)作比較，則亦可以得知在兩者中係存在有差異。在圖3(c)中之16個的像素之像素值，係均同上述一般地而極為接近0。相對於此，在圖5(c)中之16個的像素值之中，(0，0)以及(3，0)之像素值，係為90，(1，2)以及(2，2)之像素值，係為71。相對於其他之像素的像素值係極為接近0，此些像素，係為相較於0而為相當大之像素值，亦即是係為從0而有所分離之像素值。 　　以下，針對此些之4個的像素之像素值為從0而分離的理由作說明。在圖5(a)之原畫像中，對應於缺陷之(0，0)之像素值，係為200。而，以第2直線L2作為對稱軸，被配置在與(0，0)之像素為對稱位置處的像素，係為並非對應於缺陷之像素(3，0)，其之像素值，係為110。將此些之2個的像素值之差分像素值配置在原畫像之(0，0)和(3，0)之位置處者，係為圖5(c)之第2差分畫像。因此，起因於在原畫像中之對應於缺陷的(0，0)之像素值和並非對應於缺陷的(3，0)之像素值之差分為大一事，圖5(c)之(0，0)以及(3，0)之像素值係變大，並從0而分離。又，在圖5(a)之原畫像中，對應於缺陷之(2，2)之像素值，係為180。而，以第2直線L2作為對稱軸，被配置在與(2，2)之像素為對稱位置處的像素，係為並非對應於缺陷之像素(1，2)，其之像素值，係為251。將此些之2個的像素值之差分像素值配置在原畫像之(2，2)和(1，2)之位置處者，係為圖5(c)之第2差分畫像。因此，起因於在原畫像中之對應於缺陷的(2，2)之像素值和並非對應於缺陷的(1，2)之像素值之差分為大一事，圖5(c)之(2，2)以及(1，2)之像素值係變大，並從0而分離。 　　根據以上之事實，可以得知，若是實行差分算出工程以及差分畫像產生工程，則從具有存在缺陷之可能性的區域之像素值所產生的差分像素值，係相對於從並不存在有缺陷的區域之像素值所產生的差分像素值而大幅度分離。若是利用此點，而在圖5(b)以及圖5(c)之差分畫像中選擇出具有分離像素值之分離像素，則係能夠判斷出在原畫像中之產生了分離像素的原像素所被配置之位置處，係具有存在缺陷之可能性。此選擇出分離像素值之工程，係相當於在上述之使用圖3(d)以及圖3(e)所進行之說明中的於鄰接差分像素值之差分值成為最大的區間處設定臨限值之工程。 　　於此，在圖5(d)以及圖5(e)中，對於針對圖5(b)以及圖5(c)而實行了與圖3(d)以及圖3(e)相同之工程的情況時之結果作展示。圖5(d)以及圖5(e)之記載方法，係分別與圖3(d)以及圖3(e)相同。故而，係將針對圖5(d)以及圖5(e)之詳細之說明省略。若是使用於圖5(d)之下段處所記載的臨限值來從圖5(b)之像素之中選擇出分離像素值，則係成為65以及97。同樣的，若是使用於圖5(e)之下段處所記載的臨限值來從圖5(c)之像素之中選擇出分離像素值，則係成為71以及90。 　　將經過以上之工程所選擇出的圖5(b)以及圖5(c)中之分離像素，分別藉由在圖6(a)以及圖6(b)中將像素值以雙重框來作包圍一事而作標示。在如此這般地而於2個的差分畫像中選擇出了分離像素之後，作為下一個工程，選擇出在2個的差分畫像中之分離像素的共通部分。在圖6(a)以及圖6(b)中之分離像素之共通部分，係為(0，0)以及(2，2)。 　　在圖6(c)中，係展示有：將在圖5(a)之原畫像中被配置在與此共通部分同一之位置處的原像素，以雙重框來包圍其之像素值而作標示的畫像。此雙重框之像素，係與在圖5(a)中之對應於缺陷之像素相同。亦即是，可以得知，在對於如同圖33(a)之不良畫像PD1中所示一般之除了缺陷D1以及D2以外之區域係成為線對稱的不良工件WD1之原畫像而適用了本發明之畫像處理演算法的情況時，係能夠容易地選擇出應進行缺陷檢查之檢查對象區域。若是將此工程與上述之在先前技術中之篩選出檢查對象區域的工程作比較，則係可得知工程數量係大幅度減少。又，係可得知，作業者對於原畫像進行目視而進行判斷的工程係被大幅度地削減。此係為在原畫像為具備有關連於對稱軸而成為線對稱之區域的情況時，藉由使用本發明之畫像處理演算法所產生的效果。 　　在以上之說明中，作為原畫像，係以如同圖3(a)一般之具備有在正方形的中心處具有小上一圈的正方形印記之具備上下對稱以及左右對稱之形狀的工件之模型作為例子。於此情況，係如同上述一般地而具備有2根的對稱軸，從原畫像所產生的差分畫像，係為與對稱軸之數量相對應的2個。但是，在本發明中，對稱軸之數量係並不被限定於2根。在將C作為自然數時，若是對稱軸之數量係為C根，則經過上述差分算出工程以及差分畫像產生工程所產生的差分畫像之數量，係成為C個。於此情況，係針對C個的差分畫像而選擇出分離像素，並將該些之共通部分作為在原畫像中應進行缺陷檢查之檢查對象區域。 (3)本發明之工件搬送和畫像處理：使用第1直線L1以及第2直線L2 　　另外，為了得到多數之工件的攝像畫像，係有必要藉由搬送手段來將工件依序搬送至成為能夠使攝像裝置對於工件進行攝像的位置處。此時，就算是在工件為具備有上述對稱軸的情況時，依存於工件之外形以及在其之面上的零件之配置，也會有起因於在搬送手段中之工件的搬送方法而導致在複數之攝像畫像中的工件之對稱軸之方向並未被固定為單一方向的情形。針對其中一例，使用圖7來作說明。在此說明中，為了簡單化，係以對稱軸為1個的良品工件為例。 　　圖7(a)，係為針對在對於良品工件WG2(以下，稱作工件WG2)進行了攝像之後，藉由使用上述之樣版匹配法來將工件WG2抽出而產生的原畫像之形狀以及尺寸作展示之圖。工件WG2，係為一邊為a之正方形，在其之一邊的中點P0處，係與該邊相接而被標記有圓形之印記MG2。在從成為該邊之其中一端的工件WG2之角起直到中點P0為止的長度a/2與印記MG2之直徑d之間，係存在有d＜a/2之關係。重疊於此原畫像，而與圖1(a)同樣的重疊記載有第1直線L1以及第2直線L2。在圖7(a)中，原畫像明顯係關連於第1直線L1而並非為線對稱，並關連於第2直線L2而為線對稱。亦即是，對稱軸係為第2直線L2。 　　於此，針對將工件WG2一直搬送至能夠進行由攝像手段所致之攝像的位置處之搬送手段，使用圖7(b)來作說明。圖7(b)，係展示有對於藉由搬送手段T1而被作搬送的工件WG2，而從搬送手段T1之上側來作了觀察的模樣。搬送手段T1係被水平作設置，並具備有將工件WG2以作了載置的狀態來作搬送之於兩側具備有相互略平行之邊緣E1以及E2的細長之直線狀之饋送器F1。在邊緣E1以及E2處，係亦有被附加有防止所載置的工件WG2飛出至饋送器F1之外側處的情形之機構。工件WG2，係以使在圖7(a)中所示之面會成為上側的方式，並且以使該面之相對向之2邊會成為與邊緣E1以及E2略平行的方式，來載置在饋送器F1之上面。之後，藉由未圖示之驅動機構之作用，經由使饋送器F1朝向圖7(b)中所示之箭頭X1之方向移動，工件WG2係以直線路徑而被作搬送。未圖示之攝像手段，係被設置在搬送手段T1之上側處，當工件WG2被搬送至其之正下方位置處時，係能夠以可得到圖7(a)中所示之攝像畫像的方式來對於工件WG2之上面進行攝像。 　　另外，在圖7(b)中，係將被載置在搬送手段T1上之工件WG2針對W1～W4之4種的朝向來作圖示。如同上述一般，工件WG2係為正方形。而，搬送手段T1，在載置工件WG2時，係如同上述一般，以使在圖7(a)中所示之面會成為上側的方式，並且以使該面之相對向之2邊會成為與邊緣E1以及E2略平行的方式，來進行定位。亦即是，在藉由搬送手段T1來搬送工件WG2時，印記MG2係相對於搬送方向(箭頭X1)而產生4種的位置關係。將此4種的位置關係，在圖7(b)中，作為被搬送之前頭的工件W1、從前頭起之第2個的工件W2、第3個的工件W3、最後端之工件W4，來作展示。 　　在圖7(b)中，係更進而將能夠成為在攝像畫像中之對稱軸的上述之第1直線L1以及第2直線L2，於各工件W1～W4上作重疊標示。根據在工件W1～W4處之第1直線L1以及第2直線L2，可以明顯得知，W1和W3之攝像畫像，第2直線L2係成為對稱軸，W2和W4之攝像畫像，第1直線L1係成為對稱軸。亦即是，依存於工件WG2之被載置於搬送手段上之方向，從攝像畫像而抽出工件所產生的原畫像之對稱軸係並不會被固定於單一方向。 　　於此種情況時，若是使作業者對於原畫像而個別進行目視並分別決定第1直線L1和第2直線L2之何者係成為對稱軸，則作業係會變得極為繁雜。但是，本發明之畫像處理演算法，就算是需要如此這般地對於各個的原畫像而選擇2根的對稱軸之其中一根，亦與使用上述之圖3以及圖4或者是圖5以及圖6所進行之說明一般地，藉由針對2根的對稱軸之雙方而產生差分畫像，係能夠正確地選擇出檢查對象區域。針對該工程，使用圖8～圖11來一面驗證一面進行說明。 　　圖8(a)，係為將圖7(a)中所示之良品工件WG2與圖3(a)同樣的使用16個的像素來作了模型化的原畫像。在圖7(a)中之印記MG2，在圖8(a)中，係藉由(1，0)以及(2，0)之2個的像素來模型化。該些之像素值，係為與在圖3(a)中而被配置於中央部處的(1，1)、(2，1)、(1，2)、(2，2)之4個的像素相類似之值。又，在圖8(a)中，除了(1，0)以及(2，0)之2個的像素以外的14個的像素，係為將在圖7(a)中而把印記MG2作了除外後的良品工件WG2作了模型化者。該些之像素值，係為與在圖3(a)中而將被配置於中央部處的(1，1)、(2，1)、(1，2)、(2，2)作包圍之12個的像素相類似之值。又，在圖8(a)中，係與圖3(a)相同的，而重疊記載有第1直線L1以及第2直線L2。 　　另外，在以下之說明中所使用的圖8(b)、圖8(c)、圖9(a)～圖9(c)中之代表各像素的16個的正方形中，除了代表各者的像素值之數字以外的正方形內部之花紋，係與圖3相同。又，圖8(d)以及圖8(e)之標記方法，亦係分別與圖3(d)以及圖3(e)相同。故而，係將針對此些之詳細之說明省略。 　　在圖8(b)中，對於針對圖8(a)之原畫像而實行差分算出工程以及差分畫像產生工程所產生的第1差分畫像作展示。又，在圖8(c)中，對於同樣地所產生的第2差分畫像作展示。於此，圖8(a)中所示之原畫像，係針對第1直線L1而並不具備有對稱性。具體而言，(1，0)以及(2，0)之像素和被配置在關連於第1直線L1而為對稱位置處的(1，3)以及(2，3)之像素，其像素值係大幅度相異。此事，係可根據圖8(a)乃是將圖7(a)之良品工件WG2作了模型化的畫像一事，而明顯得知。在圖8(a)中之(1，0)以及(2，0)之像素，係對應於圖7(a)中之印記MG2。相對於此，在圖8(a)中之(1，3)以及(2，3)之像素，係對應於圖7(a)中之良品工件WG2。 　　若是對於圖7(a)作目視，則明顯可知，係針對第1直線L1而並不具備有對稱性。因此，在對於原畫像而實行上下對摺所產生的圖8(b)之第1差分畫像中，被配置在原畫像並未具備有上述對稱性之位置處的(1，0)以及(1，3)之像素值，係為145。而，同樣的被配置在原畫像並未具備有上述對稱性之位置處的(2，0)以及(2，3)之像素值，係為142。此些之像素值，係相對於其他之12個像素值而成為分離像素值。另外，此些之150近旁之像素值，係在圖8(b)中而首次出現。為了針對此事而作視覺性之對應，此些之4個的像素，係全部成為在除了代表像素值之數字以外的基底之部分處配置有由多數之朝向右下方之斜線所成之花紋的正方形。 　　另一方面，圖8(a)之原畫像，係針對第2直線L2而具備有對稱性。因此，在對於原畫像而實行左右對摺所產生的圖8(c)之第2差分畫像中，所有的像素係均成為極為接近0之像素值。接著，在圖8(d)以及圖8(e)中，對於針對圖8(b)以及圖8(c)而實行了與上述之圖3(d)以及圖3(e)相同之工程的情況時之結果作展示。若是使用於圖8(d)之下段處所記載的臨限值來從圖8(b)之像素之中選擇出分離像素值，則係成為142以及145。同樣的，若是使用於圖8(e)之下段處所記載的臨限值來從圖8(c)之像素之中選擇出分離像素值，則係成為9以及10。 　　將經過以上之工程所選擇出的圖8(b)以及圖8(c)中之分離像素，分別藉由在圖9(a)以及圖9(b)中將像素值以雙重框來作包圍一事而作標示。在如此這般地而於2個的差分畫像中選擇出了分離像素之後，作為下一個工程，選擇出在2個的差分畫像中之分離像素的共通部分。在圖9(a)以及圖9(b)中，係並不存在有分離像素之共通部分。其理由，係與在上述之圖4(a)以及圖4(b)中並不存在有分離像素之共通部分的理由相同。因此，若是產生將在圖8(a)之原畫像中被配置在與此共通部分同一之位置處的原像素之像素值藉由以雙重框來作包圍而作標示的畫像，則係成為如同圖9(c)一般，並不存在有被雙重框所包圍之像素值。如此這般，本發明之畫像處理演算法，就算是對於僅針對2根的對稱軸之其中一根而具備有對稱性的良品工件之原畫像，亦能夠與針對具有2根的對稱軸之原畫像的情況同樣地來作適用。 　　接著，將對於圖7(a)之良品工件WG2而附加了缺陷的不良工件如同圖8(a)一般地而模型化，並實行與圖8(b)～圖9(c)相同之工程。圖10(a)，係為在圖8(a)中所示之原畫像中附加有2個場所的缺陷之不良工件WD2之原畫像。代表缺陷之像素，係為(0，1)以及(2，3)。 　　於此，若是對於圖8(a)、亦即是對於與圖7(a)之良品工件WG2相對應的原畫像作觀察，則係可得知下述之事項。在圖8(a)中，若是將(1，0)以及(2，0)之像素和被配置在關連於第1直線L1之與此些之2個的像素為對稱位置處的(1，3)以及(2，3)之像素除去，則原畫像係成為與英文字母之H相類似的形狀。而，從構成此H形狀之原畫像之12個的像素值來看，H形狀之原像素係針對第1直線L1以及第2直線L2而均具備有對稱性。而，藉由所除去了的4個的像素所構成之區域，係僅針對第2直線L2而具備有對稱性。 　　而，在圖10(a)中作為具備有缺陷之像素所附加了的(0，1)之像素，係隸屬於上述之H形狀之原像素、亦即是隸屬於針對第1直線L1以及第2直線L2而均具備有對稱性之區域。又，在圖10(a)中作為具備有缺陷之像素所附加了的(2，3)之像素，係隸屬於上述之作了除去的原像素、亦即是隸屬於僅針對第2直線L2而具備有對稱性之區域。圖10(a)，係為如此這般地將代表缺陷之像素配置於在原畫像中從對稱性之觀點來看為具有相異之性質的2個場所處之模型。另外，上述之(0，1)以及(2，3)之像素，係均為被配置在對應於圖7(a)中所示之良品工件WG2處的印記MG2以外之工件上之缺陷的位置處。而，在圖10(a)中，(0，1)之像素值係為22，相對於印記MG2以外之工件上的像素值係為100近旁一事而言，係為相當小，若是進行目視，則係為相較於正常部分而看起來為黑的缺陷。又，在圖10(a)中，(2，3)之像素值係為170，相對於印記MG2以外之工件上的像素值係為100近旁一事而言，係為相當大，若是進行目視，則係為相較於正常部分而看起來為白的缺陷。 　　在圖10(b)中，對於針對此圖10(a)中所示之不良工件之原畫像而實行上述之差分算出工程以及差分畫像產生工程所產生的第1差分畫像作展示。又，在圖10(c)中，對於實行同樣之工程所產生的第2差分畫像作展示。並且，在圖10(d)以及圖10(e)中，對於針對圖10(b)以及圖10(c)而實行了與圖8(d)以及圖8(e)相同之工程的情況時之結果作展示。若是使用於圖10(d)之下段處所記載的臨限值來從圖10(b)之像素之中選擇出分離像素值，則係成為73、83、142、145。同樣的，若是使用於圖10(e)之下段處所記載的臨限值來從圖10(c)之像素之中選擇出分離像素值，則係成為64以及87。 　　將經過以上之工程所選擇出的圖10(b)以及圖10(c)中之分離像素，分別藉由在圖11(a)以及圖11(b)中將像素值以雙重框來作包圍一事而作標示。在如此這般地而於2個的差分畫像中選擇出了分離像素之後，作為下一個工程，選擇出在2個的差分畫像中之分離像素的共通部分。在圖11(a)以及圖11(b)中之分離像素之共通部分，係為(0，1)、(1，3)、(2，3)。在圖11(c)中，係展示有：將在圖10(a)之原畫像中，被配置在與於圖11(a)以及圖11(b)中所示的分離像素之共通部分同一之位置處的原像素之像素值，藉由以雙重框來包圍而作標示的畫像。圖11(c)中之雙重框之像素，係為應進行缺陷檢查之檢查對象區域，並包含在圖10(a)中之對應於缺陷之像素。如此這般，本發明之畫像處理演算法，就算是對於僅針對2根的對稱軸之其中一根而具備有對稱性的不良工件之原畫像，亦能夠與針對具有2根的對稱軸之原畫像的情況同樣地來作適用，並容易地選擇出檢查對象區域。 (4)本發明之工件搬送和畫像處理：使用第3直線L3 　　在上述之使用有圖3～圖6等所進行的本發明之畫像處理演算法之說明中，成為原畫像之對稱軸的第1直線或第2直線，係為水平或垂直。但是，在本發明之演算法中的對稱軸，係並不被限定於此。作為其他對稱軸之例，針對有所傾斜之對稱軸，使用圖12以及圖13來作說明。 　　圖12，係為針對在對於良品工件WG3(以下，稱作工件WG3)進行了攝像之後，藉由使用上述之樣版匹配法來將工件WG3抽出而產生的原畫像之形狀以及尺寸作展示之圖。工件WG3，係為一邊為a之正方形，在其之一邊的其中一點P30處以及與該邊相鄰接之邊的其中一點P31處，係與各者之邊相接而被標記有直徑d之圓形之印記MG31。於此，a以及d之值，係與圖7(a)中所示之工件WG2相同。在工件WG3處，除此之外，係以在圓形之印記MG31並未相接之剩餘之二邊的各別之1點P32以及P33處而相接的方式，被標記有具備與印記MG31相同之尺寸的圓形之印記MG32。在從成為各邊之其中一端的工件WG3之角起直到中點P0為止的長度a/2與印記MG31以及印記MG32之直徑d之間，係存在有d＜a/2之關係。圖12之工件WG3，係針對將其之左上之角和右下之角作了連結的朝向右下方之第3直線L3而為線對稱。 　　於圖13(a)中，對於將此圖12中所示之工件WG3與圖8(a)同樣的來作了模型化後的原畫像作展示。在圖13(a)中，(2，0)、(3，0)、(3，1)之3個的像素，係對應於圖12中之印記MG31。同樣的，在圖13(a)中，(0，2)、(0，3)、(1，3)之3個的像素，係對應於圖12中之印記MG32。此些之6個的像素值，係為與在圖8(a)中的(1，0)以及(2，0)的像素相類似之值。而，在圖13(a)中之上述6個以外之10個的像素，係為與在圖8(a)中的(1，0)以及(2，0)以外之14個的像素相類似之值。於此，可以得知，圖13(a)之像素的配置，係為以將原像素之左上和右下作連結的朝向右下方之第3直線L3作為對稱軸之線對稱。亦即是，於此情況之對摺，若是與圖3中之上下對摺或者是左右對摺同樣的來作標記，則係成為右上左下對摺。 　　在針對此圖13(a)之原像素而與圖3相同地實行差分算出工程以及差分畫像產生工程時，亦係如同上述一般地將成為對稱軸之第3直線L3之其中一端以及另外一端的位址遞交給差分算出軟體。另外，在此第3直線L3的情況時，例如係與圖3(a)中之第1直線L1的情況相異，其中一端以及另外一端之位址係與被配置於原像素處之像素的位址相重複。具體而言，在圖13(a)中之第3直線L3之其中一端的位址，係為(0，0)，另外一端的位址，係為(3，3)。進而，根據圖13(a)，不僅是第3直線L3之上述其中一端以及另外一端，在除此之外之經過路徑上，亦同樣的，係與(1，1)以及(2，2)之像素相重複。以下，針對此種對稱軸所通過之位址與像素之位址為相互重複的情況時之差分算出工程以及差分畫像產生工程作說明。 　　首先，針對當在圖13(a)中而將第3直線L3作為對稱軸時，要如同將原畫像藉由第3直線來於右上和左下處而分割成相等數量的像素一事作考慮。如同上述一般，(0，0)、(1，1)、(2，2)、(3，3)之像素係位置在第3直線L3上。因此，此些之4個的像素，係並無法藉由作為對稱軸之第3直線來分割為右上和左下。故而，此些之4個的像素，在差分算出工程中係設為並不作為處理對象。在具體性的演算法中，係將此些之4個的像素之差分像素值設為0。此差分像素值之意義，係只要想成將像素從差分算出之對象而除外、或者是想成算出該像素之與自身之間的差分之結果即可。 　　在圖13(a)中，針對此些之與第3直線L3相重複之4個的像素以外之12個的像素，係針對被對稱配置於第3直線之右上和左下處的像素而算出像素值之差分。例如，只要設為(2，0)之像素值係與(0，2)之像素值而算出差分，(2，1)之像素值係與(1，2)之像素值而算出差分即可。在圖13(b)中，對於如此這般所產生的差分畫像作展示。在圖13(b)中，如同上述一般，(0，0)、(1，1)、(2，2)、(3，3)之像素值係全部為0，其他之12個的像素值，由於係針對第3直線L3而成為對稱配置，因此像素值均成為極為接近0之值。 (5)本發明之缺陷檢查方法 　　以下，針對使用有至今為止所說明了的本發明之畫像處理演算法的工件之缺陷檢查方法，使用圖14～圖31來作說明。 　　圖14，係為使用有本發明之畫像處理演算法的工件之缺陷檢查方法之概略流程圖。此概略流程圖，係藉由2個的模式所構成。圖14(a)，係為臨限值設定模式，並為根據複數之不良工件之原畫像來使用本發明之畫像處理演算法而產生差分畫像並使用所產生的差分畫像來設定用以選擇出工件之檢查對象區域的臨限值之工程。又，圖14(b)係為檢查實行模式，並為在根據成為檢查對象之工件之原畫像來使用在臨限值設定模式中所設定的臨限值而選擇出檢查對象區域之後，針對該區域而實行缺陷檢查之工程。臨限值設定模式和檢查實行模式，係藉由在圖14(a)之最下部以及圖14(b)之最上部處所標示的編號101之結合符而被作連接。 　　圖15～圖31，係為使用有本發明之畫像處理演算法的工件之缺陷檢查方法之詳細流程圖。具體而言，係為將在圖14中所展示之步驟編號S1～S14的已定義之處理的詳細之步驟作記載者。圖15～圖31，係均將在圖14中所記載的已定義之處理之工程名稱以及步驟編號記載於最上部，並於其下配置有代表該已定義之處理的入口之IN的端子。接著，係接續於此端子而對於該已定義之處理的詳細之步驟作展示。而，若是所有的步驟結束，則係於最下部處，配置有代表用以從該已定義之處理而出發並前進至圖14中所示之下一個已定義之處理處的出口之標記為OUT的端子。 　　另外，在圖15～圖31中，步驟編號，係為了代表與圖14之間之對應，而將在圖14中之步驟編號分配至第1位或者是前2位處並接續於此而於下2位處從01起來以升順而分配該詳細流程圖內之步驟編號。 　　又，如同後述一般，在使用有本發明之畫像處理演算法的工件之缺陷檢查方法中，係將在圖14中所示之數個的已定義之處理中所被實行之共通之處理作次迴圈化。次迴圈，係由Sub1以及Sub2所成，在圖20中，對於Sub1之詳細流程圖作展示，並於圖23中，對於Sub2之詳細流程圖作展示。在此些之詳細流程圖中之步驟編號，針對圖20之Sub1，係將前2位設為21，針對圖23之Sub2，係將前2位設為22。針對步驟編號之下2位，在圖20和圖23中的賦予方法係為相異。在圖20之Sub1中，係將從下方起之第2位，設為作為代表該步驟與圖14(a)中所示之步驟S5以及S6之間之對應的數字之5或者是6。又，係將最下位，作為在上述步驟S5或S6之內部的步驟編號，而從1起來以升順而分配有數字。相對於此，在圖23之Sub2中，由於Sub2係僅對應於圖14(a)中所示之步驟S7，因此係將從下方起之第2位，固定為數字0。又，係將最下位，作為在步驟S7之內部的步驟編號，而從1起來以升順而分配有數字。 　　另外，在之後的圖15～圖31中所示之步驟以及與其相對應之說明中，係使用有數次的所謂「將畫像儲存在暫存器中」之標記。此一所謂將畫像作儲存之標記，係代表將根據圖2所定義的像素之X位址與Y位址以及該像素之像素值，相互附加對應並統整為1個的配列(例如3維配列)，並且構成由與構成畫像之像素數量相互一致的配列數量所成之配列群，而儲存在暫存器中。 　　首先，使用圖14(a)以及圖15～圖26，針對臨限值設定模式作說明。 (5.1)步驟S1 　　在圖14(a)中，接續於端子START，步驟S1係為既知工件攝像工程。此係為將身為良品或者不良一事為既知的工件分別準備複數個，並對於該些進行攝像之工程。在圖15中，對於既知工件攝像工程(S1)之詳細流程圖作展示。 　　在圖15之步驟S101中，係對於A個的良品工件進行攝像並得到良品畫像。此A個的工件乃身為良品一事，假設係為既知。接著，前進至步驟S102，並對於在步驟S101中所攝像了的良品畫像賦予1～A之編號。接著，在步驟S103中，係對於B個的不良工件進行攝像並得到不良畫像。此B個的工件乃身為不良一事，假設係為既知。接著，前進至步驟S104，並對於在步驟S103中所攝像了的不良畫像賦予1～B之編號。藉由以上之步驟S101～S104，係成為得到分別被賦予有固有之編號的A個的良品畫像以及B個的不良畫像。 　　在步驟S105之後，係為用以針對B個的不良畫像而實行接續於圖14(a)之步驟S1的步驟S2～步驟S7之準備。首先，在步驟S105中，於記憶正在上述步驟S2～步驟S7中而實行處理中之不良畫像的編號之暫存器J中儲存0，而將暫存器J初期化。接著，在步驟S106中，係在J之值處加算上1。之後，在步驟S107中，從賦予了1～B之編號的不良畫像之中，取出依據J之值所被指定的編號之畫像。於此，係為J＝1，所取出的畫像，係為不良畫像1。之後，結束步驟S1，並前進至圖14(a)中所示之步驟S2。 (5.2)步驟S2 　　在圖14(a)中，步驟S2係為檢查對象工件抽出工程。此係為使用上述之樣版匹配法而從攝像畫像來抽出工件的工程。在圖16中，對於檢查對象工件抽出工程(S2)之詳細流程圖作展示。 　　在圖16之步驟S201中，係使用樣版匹配法而對於工件之最外緣進行探索並確定之。接著，在步驟S202中，將工件之最外緣內作為檢查對象工件之畫像。之後，結束步驟S2，並前進至圖14(a)中所示之步驟S3。 (5.3)步驟S3 　　在圖14(a)中，步驟S3係為單色畫像產生工程，並為針對在步驟S2中所抽出的檢查對象工件而產生單色畫像之工程。在圖17中，對於單色畫像產生工程(S3)之詳細流程圖作展示。 　　在圖17之步驟S301中，針對檢查對象工件之畫像是否為彩色一事進行判斷。當判斷結果為Yes的情況時、亦即是當彩色畫像的情況時，係前進至步驟S302。在步驟S302中，係從身為彩色畫像之檢查對象工件之畫像來產生K個的單色畫像。於此，K係為自然數。例如，若是如同上述一般地將彩色畫像分解為R(紅)、G(綠)、B(藍)之3原色並產生3個的單色畫像，則係成為K＝3。又，若是如同上述一般地產生身為作為在得到NTSC訊號之前置階段中所使用的色差訊號之YIQ訊號之Y成分，則係成為K＝1。當在步驟S302中而從彩色畫像來產生了K個的單色畫像之後，前進至接下來的步驟S303處。 　　在步驟S303中，係對於在步驟S302中所產生了的K個的單色畫像，而基於預先所制定了的基準來賦予1～K之編號。於此，作為預先所制定了的基準之其中一例，針對將彩色畫像分解為R(紅)、G(綠)、B(藍)之3原色並產生3個的單色畫像的情況來作說明。於此情況，係可考慮有針對基於R(紅)所產生的單色畫像而賦予1，並針對基於G(綠)所產生的單色畫像而賦予2，並且針對基於B(藍)所產生的單色畫像而賦予3的基準。當在步驟S303中而對於單色畫像賦予了編號之後，前進至步驟S304處。 　　在步驟S304之後，係為用以針對不良畫像1而實行接續於圖14(a)之步驟S3的步驟S4～步驟S7之準備。首先，在步驟S304中，於記憶正在上述步驟S4～步驟S7中而實行處理中之單色畫像的編號之暫存器N中儲存0，而將暫存器N初期化。接著，在步驟S305中，係在N之值處加算上1。之後，在步驟S306中，從賦予了1～K之編號的單色畫像之中，而將依據N之值所被指定的編號之單色畫像(於此情況，係為第1單色畫像)儲存在名稱為「原畫像」之暫存器中。之後，結束步驟S3，並前進至圖14(a)中所示之步驟S4。 　　至今為止之步驟S302～步驟S306，係為當在上述步驟S301中判斷檢查對象工件之畫像乃身為彩色畫像的情況時會被實行。如果檢查對象工件之畫像並非身為彩色畫像，而在步驟S301中之判斷係為No的情況時，係接續於步驟S301而前進至步驟S307。於此，所謂檢查對象工件之畫像並非為彩色畫像一事，係指其身為單色畫像，從檢查對象工件所產生的單色畫像，係為檢查對象工件之畫像自身。此事，亦即代表單色畫像之數量係為K＝1。因此，在步驟S307中，係將檢查對象工件之畫像設為第1單色畫像。之後，在步驟S308中而在代表單色畫像之數量的暫存器K中儲存1，並前進至步驟S309處。若是前進至步驟S309處，則係於記憶在圖14(a)中之接續於步驟S3之步驟S4～步驟S7中所被處理的單色畫像之編號之暫存器N中儲存1。之後，前進至步驟S306，並將第N單色畫像、亦即是第1單色畫像，儲存在名稱為「原畫像」之暫存器中。之後，結束步驟S3，並前進至圖14(a)中所示之步驟S4。 (5.4)步驟S4 　　在圖14(a)中，步驟S4係為對稱性判斷工程，並判斷在步驟S3中所產生的單色畫像之對稱性。在圖18中，對於對稱性判斷工程(S4)之詳細流程圖作展示。 　　在圖18之步驟S401中，係將在圖17中所示之單色畫像產生工程(S3)的步驟S306中所被儲存在名稱為「原畫像」之暫存器中的第N單色畫像取出，並判斷其是否具備有對稱軸。在並不具備有對稱軸的情況時，判斷係成為No，並前進至端子END處，而結束缺陷檢查。以下，針對在原畫像並不具備有對稱軸的情況時使缺陷檢查結束的理由作說明。於圖14中而展示有概略流程圖之缺陷檢查方法，係使用有圖1～圖6中所示之本發明之畫像處理演算法。而，本發明之畫像處理演算法，係如同上述一般，為將具備有關連於1根以上之對稱軸而成為線對稱之區域的原畫像作為對象者。因此，對於並不具備有對稱軸的原畫像，係並無法使用本發明之畫像處理演算法，故而，係在此時間點處而結束缺陷檢查。 　　另一方面，當在步驟S401中而第N單色畫像係具備有對稱軸的情況時，判斷係成為Yes，並前進至步驟S402處。在步驟S402中，原畫像所具有的對稱軸之數量，係被儲存在暫存器C中。 　　在步驟S403之後，係為用以針對不良畫像1而實行接續於圖14(a)之步驟S4的步驟S5～步驟S7之準備。首先，在步驟S403中，於記憶正在上述步驟S5～步驟S7中而實行處理中之單色畫像中的對稱軸之編號之暫存器M中儲存0，而將暫存器M初期化。接著，在步驟S404中，係在M之值處加算上1。接著，在步驟S405中，在名稱為「ONEM」之暫存器中，儲存第M對稱軸之其中一端之座標。之後，在步驟S406中，在名稱為「OTEM」之暫存器中，儲存第M對稱軸之另外一端之座標。此ONEM以及OTEM，係作為代表使用圖3(a)、圖5(a)以及圖13(a)所說明了的本發明之畫像處理演算法中的對稱軸之其中一端以及另外一端之座標的引數，而在後述之步驟S5中被遞交至次迴圈Sub1處。至此，係結束步驟S4，並前進至圖14(a)中所示之步驟S5。 (5.5)步驟S5以及S6 　　在圖14(a)中，步驟S5係為差分算出工程。又，接續於此，步驟S6係為差分畫像產生工程。在此些之工程中，係使用有圖3～圖6中所示之本發明之畫像處理演算法。此畫像處理演算法，由於係在後續之工程中亦時常會被作使用，因此，在詳細流程圖中，係藉由將此些之2個的工程統整為一之次迴圈Sub1來作定義。 　　在圖19中，對於差分算出工程(S5)以及差分畫像產生工程(S6)作展示。如同上述一般，此些之2個的工程，係藉由被定義為步驟S21之次迴圈Sub1所構成。如同在步驟S21中所示一般，次迴圈Sub1之引數，係為原畫像、第M對象軸之其中一端之座標(ONEM)、第M對稱軸之另外一端之座標(OTEM)。 　　作為代表第1個的引數之原畫像，係為在主程式中之圖14(a)之步驟S3(詳細而言，係為圖17中所示之步驟S306)中所設定的原畫像、亦即是第N單色畫像。對於此在步驟S306中所設定的原畫像、亦即是第N單色畫像，如同上述一般地，在圖14(a)之步驟S4(詳細而言，圖18中所示之步驟S401)中而判斷對稱性。在判斷為Yes的情況時，係如同上述一般，實行驟S402～步驟S406。作為代表第2個的引數之ONEM，係如同上述一般，為代表在步驟S405中而儲存了第M對稱軸之其中一端之座標之暫存器。同樣的，作為代表第3個的引數之OTEM，係如同上述一般，為代表在步驟S406中而儲存了第M對稱軸之另外一端之座標之暫存器。 　　從主程式而被遞交有此些之作為3個的引數之原畫像、ONEM、OTEM的次迴圈Sub1，係如同上述一般地而實行在圖14(a)中之步驟S5(差分算出工程)和接續於此之步驟S6(差分畫像產生工程)。 　　在圖20中，對於次迴圈Sub1之詳細流程圖作展示。在圖20中，接續於端子Sub1(原畫像、ONEM、OTEM)之步驟S2151～步驟S2153，係為圖14(a)中之步驟S5(差分算出工程)。 　　首先，在步驟S2151中，將ONEM和OTEM藉由直線來作連接並產生對稱軸。藉由此工程來產生對稱軸一事，係以在使用有圖3(a)、圖5(a)以及圖13(a)的本發明之畫像處理演算法之說明中，作為將第1直線L1、第2直線L2以及第3直線L3之其中一端以及另外一端之座標藉由直線來作連接的工程而有所說明。當在圖20之步驟S2151中而產生了對稱軸之後，前進至步驟S2152處。 　　在步驟S2152中，係將原畫像在對稱軸之兩側處而2分割為相等之像素數量。此工程，例如係對應於將圖5(a)中所示之16個的原像素，分割為位置在作為對稱軸之第1直線L1之上側處之8個的原像素、和位置在下側處之8個的原像素。當在圖20之步驟S2152中而將原像素分割為2之後，前進至步驟S2153處。 　　在步驟S2153中，針對在對稱軸之兩側處而被配置於線對稱之位置處之原像素PA和PB，而算出成為各別的像素值BA與BB之間之差分的差分像素值BAB。此工程，例如係對應於當在圖5(a)中將位置於(0，0)處之原像素(像素值200)作為原像素PA並將位置於(0，3)處之原像素(像素值103)作為原像素PB時，將各別之像素值200以及103之差分如同200-103＝97一般地而算出並將該值97設為差分像素值BAB。若是在圖20之步驟S2153中而算出差分像素值，則係結束步驟S5(差分算出工程)，並在次迴圈Sub1內而前進至圖14(a)中之步驟S6(差分畫像產生工程)處。差分畫像產生工程，係如同圖20中所示一般，由步驟S2161所成。 　　在步驟S2161中，係將具備有差分像素值BAB之差分像素PAB，配置於原畫像中之原像素PA以及PB的位置處，並產生差分畫像。此工程，例如係對應於當在圖5(a)中藉由前述位置於(0，0)處之原像素PA和前述位置於(0，3)處之原像素PB而產生「97」之差分像素值BAB時，在圖5(b)之(0，0)以及(0，3)之位置處配置具有「97」之像素值的差分像素。若是在圖20中而步驟S2161結束，則係結束步驟S6(差分畫像產生工程)。並且，同時地，結束作為圖19中之步驟S21的次迴圈Sub1，並回到主程式處。此時，係將在圖20之步驟S2161中所產生的差分畫像，作為回送值而遞交給主程式。在圖20中，將此事，在接續於步驟S2161之端子內，作為Return(差分畫像)來作標示。朝向主程式之回送目標，係為在圖14(a)中作為步驟S7所記載的臨限值範圍設定工程之輸入。 (5.6)步驟S7 　　在圖14(a)中，步驟S7係為臨限值範圍設定工程。此係為針對在步驟S6中所產生的差分畫像而如同在上述之本發明之畫像處理演算法之說明中所使用的圖3(d)、(e)或圖5(d)、(e)一般地將差分畫像中之差分像素值以降順來作排列，並算出鄰接之差分像素之彼此間的差分值，並且選擇出差分值為成為最大的區間之工程。 　　在圖21～圖23中，對於臨限值範圍設定工程(S7)之詳細流程圖作展示。在圖21之最初之步驟S701中，係將在圖20中所示之次迴圈Sub1處所產生的差分畫像，儲存在名稱為「差分畫像NJ」之暫存器中。於此，針對作為在名稱為「差分畫像NJ」之暫存器中所被使用之2個的編號之J以及N作說明。 　　在此名稱中之J，係為與在圖15中所示之既知工件攝像工程(S1)的步驟S107處所取出之不良畫像J的J相對應之編號。而，如同上述一般，首先，在圖16中所示之檢查對象工件抽出工程(S2)中，從不良畫像J而使用樣版匹配法來抽出檢查對象工件之畫像，之後，接著，在圖17所示之單色畫像產生工程(S3)中，從檢查對象工件之畫像而產生1個以上的單色畫像。對於該些之單色畫像而賦予1～K(K為1以上)之編號(步驟S302以及S307)，並在步驟S306中，將第N單色畫像儲存在名稱為「原畫像」之暫存器中。於此，N係如同上述一般，為將在圖14(a)中所示之步驟S4～步驟S7中而正實行處理中之單色畫像的編號作記憶之暫存器N之值。又，此N，係與在名稱為「差分畫像NJ」之暫存器中的N相互一致。在上述步驟S306中而儲存了第N單色畫像的原畫像，係如同上述一般，藉由圖18中所示之對稱性判斷工程(S4)和圖19中所示之差分算出工程(S5)以及差分畫像產生工程(S6)而被依序作處理，並產生差分畫像。若是將此些作統整，則在「差分畫像NJ」之暫存器中，係成為被儲存有從「依據不良畫像J而產生的第N單色畫像」而產生的差分畫像。 　　在如同上述一般地而於步驟S701中將差分畫像儲存於差分畫像NJ中之後，前進至步驟S22。步驟S22，由於係如同上述一般，為在圖14中所示之數個的步驟中所被實行之共通之處理，因此，係作為次迴圈Sub2而定義之。次迴圈Sub2，係以差分畫像作為引數。於此，係將在圖20所示之次迴圈Sub1中於步驟S2161處所產生的差分畫像，作為回送值而遞交給主程式。次迴圈Sub2，係從主程式而將該差分畫像作為引數而接收。之後，使用所接收的差分畫像，而實行如同在上述之本發明之畫像處理演算法之說明中所使用的圖5(d)、(e)一般之將在差分畫像中之差分像素值以降順來作排列並算出鄰接之差分像素之彼此間的差分值並且選擇出差分值為成為最大的區間之工程。在圖23中，對於次迴圈Sub2之詳細流程圖作展示。 　　在圖23中之步驟S2201，係與圖5(d)、(e)中之於上段作為標題而記載為差分像素值降順之工程相對應。亦即是，在步驟S2201中，首先對於構成差分畫像之X個的像素賦予1～X之編號。接著，將各編號之像素的像素值PV(1)～PV(X)，從最大值起而至最小值地而以降順來儲存在X個的配列AP(1)～AP(X)中。將儲存在此AP(1)～AP(X)之X個的配列中之X個的像素值PV(1)～PV(X)依序從左至右地來作了記載者，係為圖5(d)、(e)中之被配置在上段處的數字。於此，如同上述一般，圖5(d)之前述數字，係對應於身為在圖5(a)中以第1直線L1作為對稱軸所產生的差分畫像之圖5(b)，圖5(e)之前述數字，係對應於身為在圖5(a)中以第2直線L2作為對稱軸所產生的差分畫像之圖5(c)。在如此這般地而實行了步驟S2201之後，前進至步驟S2202處。 　　在步驟S2202中，在儲存於後述之步驟S2204中而正被進行處理之像素的編號之暫存器S中儲存0，而進行初期化。接著，在步驟S2203中，係在被儲存於暫存器S中之數值處加算上1。在此階段處，暫存器S之數值係成為1，並代表對於在上述S2201中被賦予了1號的像素進行處理。若是暫存器S之值確定，則接著係前進至步驟S2204。 　　步驟S2204，係與圖5(d)、(e)中之於中段作為標題而記載為鄰接差分像素值之差分值的工程相對應。在步驟S2204中，係使用被儲存在配列AP(1)中之最大的像素值乃至被儲存在配列AP(X)中之最小的像素值，而依序算出成為被儲存在2個的鄰接配列中之像素值間之差分的差分像素值NP。亦即是，若是使用在上述步驟S2203中所確定了的暫存器S之值來作表現，則係對於AP(S＋1)-AP(S)進行演算，並將其結果儲存在名稱為「NP(S)」之暫存器中。於此，由於全部像素數量係為X，因此，S之值係從1起而至(X-1)地而被依序一次加算上1並在步驟S2204中被作處理。上述差分之演算以及儲存之處理，係在步驟S2204中依據軟體之標記，而記載為NP(S)←AP(S＋1)-AP(S)。將在步驟S2204中而被儲存於暫存器NP(S)中之差分像素值藉由箭頭來與在圖5(d)、(e)中被配置在上段處的數字相互附加對應並依序作了標示者，係為被配置在中段處之數字。若是步驟S2204結束，則係前進至步驟S2205。 　　在步驟S2205中，係判斷在步驟S2204處所進行了處理的像素之編號S是否等於較全部像素數量而更小了1的值(X-1)。亦即是，係判斷是否針對構成差分畫像之X個的全部像素而結束了步驟S2204之處理。當判斷結果為No的情況時，係回到步驟S2203處，並在暫存器S之數值處加算上1。藉由此，在步驟S2204處所處理之像素的編號係作1的增大。之後，再度在步驟S2204處，針對此編號作了1的增大之像素而實行處理。若是反覆進行此並針對X個的全部像素而結束在步驟S2204處之處理，亦即是成為S＝X-1，則步驟S2205之判斷結果係成為Yes。於此情況，係前進至步驟S2206。 　　步驟S2206，係與圖5(d)、(e)中之於下段作為標題而記載為在差分值之最大區間處的臨限值之工程中的選出最大區間之工程相對應。臨限值之設定，係在結束了次迴圈Sub2之後作為回送值而將後述之高下限值以及低上限值回送至主程式處之後，於主程式處被實行。在步驟S2206中，係從在步驟S2204處所產生了的NP(1)～NP(X-1)之(X-1)個的差分像素值之中，選擇出最大差分值MXNP。此係對應於在圖5(b)中而被記載於中段處之「從鄰接差分像素值之差分值中選擇出最大值58」，或者是對應於在圖5(c)中而被記載於中段處之「從鄰接差分像素值之差分值中選擇出最大值66」。若是如此這般地而在步驟S2206中選擇出最大差分值MXNP，則係前進至步驟S2207。 　　步驟S2207，係為在圖5(d)、(e)中之於下段作為標題而記載為在差分值之最大區間處的臨限值之工程中的成為用以在主程式處而實行臨限值之設定的準備之工程。在步驟S2207中，係將在步驟S2206中而使用於所選擇出的最大差分值MXNP之算出中之被儲存在2個的相鄰接之配列AP(MX＋1)以及AP(MX)中之像素值PV(MX＋1)以及PV(MX)，分別定義為高下限值HBP以及低上限值LTP。具體而言，係在名稱為「HBP」的暫存器中，儲存PV(MX＋1)，並在名稱為「LTP」之暫存器中，儲存PV(MX)。此儲存之處理，係在步驟S2207中依據軟體之標記，而記載為HBP←PV(MX＋1)以及LTP←PV(MX)。 　　於此，針對起因於如同在圖5(d)、(e)中所示一般之將僅從1個的差分畫像所產生的臨限值直接作使用一事所產生的問題、以及用以解決此問題之工程，而進行說明。 　　如同上述一般，在圖5(d)、(e)中，係於中段而標示有鄰接差分像素值之差分值。又，係於下段而標示有在此差分值之最大區間處所算出的臨限值。此下段之臨限值，係為用以從被記載於上段處的差分像素值之中而選擇出分離像素值者，並算出前述最大區間之兩端的差分像素值(上段)之中央值而作為臨限值。具體而言，在圖5(d)的情況時，由於係於中段處作為具備有最大值之區間而選擇出58，因此，在下段處係算出身為該區間之兩端的差分像素值之65與7的中央值。該中央值，係為36，故而，臨限值係成為36。針對圖5(e)，亦同樣的，係於中段處選擇出身為具備有最大值之區間的66，並在下段處算出身為該區間之兩端的差分像素值之71與5的中央值。該中央值，係為38，故而，臨限值係成為38。 　　另外，此圖5(d)、(e)，係為本發明之畫像處理演算法之說明圖，原畫像係僅為在圖5(a)中所展示的1個。但是，在圖23中所示之次迴圈Sub2所處理的差分畫像，由於係經由以下之工程所產生，因此係存在有複數。在產生差分畫像之工程中，首先係如同上述一般地，依據作為B個的不良畫像(圖15之步驟S103)中之其中1個的不良畫像J(圖15之步驟S107)，來產生1個以上的單色畫像(圖17之步驟S302或者是S307)。接著，從此些之1個以上(K個)的單色畫像中，將第N之單色畫像作為原畫像(圖17之步驟S306)，並從該原畫像來產生差分畫像(圖20之步驟S2151～S2161)。 　　如此這般所產生的差分畫像，係在位置於圖23中所示之次迴圈Sub2之詳細流程圖的最上部處之端子Sub2處，作為引數而被記載。亦即是，次迴圈Sub2，當基於同一之不良畫像J所產生的單色畫像係為2個以上的情況時，係對於從第1單色畫像而至第K單色畫像之複數之單色畫像的各者所產生之差分畫像全部進行處理。而，用以產生此些之K個的單色畫像之不良畫像J的個數，係並非為1個，而是複數(B個)。 　　如同根據此些事項而可清楚得知一般，次迴圈Sub2，係針對複數之差分畫像而逐次實行處理。該些之複數之差分畫像，係如同上述一般，基於全部為B個的不良畫像來分別產生之。因此，對應於在B個的不良畫像中之像素值之參差，次迴圈Sub2所處理的差分畫像之像素值亦會產生有參差。亦即是，在圖5(d)、(e)中，於上段所標示的差分像素值，係會在各差分畫像之每一者處而產生有參差。起因於此，於中段所標示的鄰接差分像素值之差分值，亦會在各差分畫像之每一者處而產生有參差。故而，於下段所標示的臨限值，係會在各差分畫像之每一者處而產生有參差，並產生不會固定為1個臨限值的問題。此係為「第1問題」。為了解決此第1問題，係成為需要消除前述各差分畫像之每一者的差分值之參差，並成為能夠對於從所有的(B個的)不良畫像所產生之複數之差分畫像而僅設定1個的臨限值。 　　又，如同上述一般，次迴圈Sub2所處理的差分畫像，係根據從1個的不良畫像J所產生之複數(K個)的單色畫像之各者而被產生。例如，在如同上述一般地將身為彩色畫像之不良畫像J分解為R(紅)、G(綠)、B(藍)之3原色並產生3個的單色畫像的情況時，全部係產生3個(K＝3)的單色畫像。而，此些之3個的單色畫像，係如同上述一般，為與在彩色畫像中之前述3原色之各者的成分比例相對應並將各成分之像素值以灰階來作了表現者。 　　又，係成為使從各個的單色畫像所產生之全部3種類的差分畫像在次迴圈Sub2處而依序被進行處理。於此情況，在圖5(d)、(e)之中段處所展示的鄰接差分像素值之差分值的最大區間，係並無法保證會對應於各個的差分畫像而全部成為相同。其理由係在於，如同上述一般，在不良畫像J之各像素處的上述R(紅)、G(綠)、B(藍)之3原色之成分比例，係針對所有的像素而互為相異之故。 　　起因於此，在K個的差分畫像中而被配置於同一之位置處的像素之像素值，係依存於上述成分比例而互為相異。故而，針對從同一之不良畫像J所產生之K個的差分畫像之各者，於圖5(d)、(e)之上段處所標示的差分像素值係為有所相異。故而，在算出中段處所展示的鄰接差分像素值之差分值的情況時，亦同樣的，該算出結果，係可能會針對K個的差分畫像之各者而成為完全相異之值。亦即是，與從複數之單色畫像之各者所產生的差分畫像相對應之鄰接差分像素值之差分值的最大區間，係可能會對應於單色畫像而成為完全不同的區間。於此情況，在使用差分值之最大區間而設定臨限值時，係會產生成為需要具有用以選擇出臨限值設定用之單色畫像之基準的問題。此係為「第2問題」。為了解決此第2問題，係成為需要將前述進行選出之基準明確化，並從基於1個的不良畫像所產生之複數之單色畫像之中，選擇出對於設定臨限值而言為最適當的單色畫像。 　　在圖21～圖23所示之臨限值範圍設定工程(S7)中，係為了解決此些之問題，而藉由以下之工程來進行差分畫像之處理。首先，在圖23所示之步驟S2207中，係如同上述一般地，將像素值PV(MX＋1)以及PV(MX)，分別定義為高下限值HBP以及低上限值LTP。之後，如同在圖23之最下部之端子Return處所記載一般，將上述高下限值HBP以及低上限值LTP作為回送值而遞交至圖21中所示之臨限值範圍設定工程(S7)的主程式處。 　　在圖21中，主程式係從步驟S22之次迴圈Sub2而接收前述回送值，並在後述之步驟S702之後而實行處理。藉由此方法，而成為能夠對於從所有的(B個的)不良畫像所產生之複數之差分畫像而僅設定1個的臨限值。之後，從與從所有的(B個的)不良畫像所產生之全部的單色畫像(針對各不良畫像而各K個)之各者相對應之K個的差分畫像之中，而基於基準來選擇出上述對於設定臨限值而言為最適當之差分畫像。此最適當之差分畫像的選出，係為最適當之單色畫像之選出。 　　以下，使用圖21以及圖22，針對成為能夠對於從所有的不良畫像所產生之複數之差分畫像而僅設定1個的臨限值之工程、和從與從全部的不良畫像而產生之全部的單色畫像之各者相對應的差分畫像之中而選擇出上述對於設定臨限值而言為最適當之差分畫像之工程，來進行說明。 　　在圖21所示之臨限值範圍設定工程(S7)之步驟S702中，從步驟S22、亦即是從圖23中所示之次迴圈Sub2，來接收作為回送值之高下限值HBP以及低上限值LTP(圖23之步驟S2207以及最下部之端子Return)。之後，將此些之回送值之中的高下限值(HBP)儲存在名稱為「高下限值HBPMNJ」之暫存器中。同樣的，將回送值之中的低上限值(LTP)儲存在名稱為「低上限值LTPMNJ」之暫存器中。此儲存之處理，係在步驟S702中依據軟體之標記，而記載為高下限值HBPMNJ←高下限值以及低上限值LTPMNJ←低上限值。 　　於此，針對作為在名稱為「高下限值HBPMNJ」以及「低上限值LTPMNJ」之暫存器中所被使用之3個的編號之J、N以及M作說明。在此名稱中之第2個以及第3個的編號N以及J，係與在步驟S701中所記載之名稱為「差分畫像NJ」之暫存器中之N以及J相同。關於此些之N以及J，由於係已作了說明，因此，係省略詳細之說明。若是僅對於結論作記載，則係代表「從依據不良畫像J而產生的第N單色畫像所產生之差分畫像」的高下限值HBP以及低上限值LTP。 　　接著，針對在此暫存器名稱中之第1個的編號M，於以下進行說明。如同上述一般，在圖18所示之對稱性判斷工程(S4)中的步驟S401中，針對第N單色畫像(原畫像)是否具備有對稱軸一事進行判斷。當該判斷結果為Yes的情況時，係在步驟S402中，將原畫像所具有的對稱軸之數量，儲存在暫存器C中。之後，在步驟S403中，在暫存器M中儲存0，而進行初期化。接著，在步驟S404中，係在暫存器M處加算上1。於此，暫存器M，係為記憶藉由成為後續工程之圖14(a)之步驟S5(差分算出工程)～步驟S7(臨限值範圍設定工程)而進行處理的原畫像所具備之上述對稱軸之編號C的暫存器。之後，在步驟S405以及S406中，在暫存器ONEM以及OTEM中，儲存對應於前述暫存器M之第M對稱軸之其中一端以及另外一端之座標。 　　之後如同根據作為圖14(a)中所示之步驟S7(臨限值範圍設定工程)之詳細流程圖的圖21～圖23而可清楚得知一般，上述暫存器M，係代表圖23中所示之次迴圈Sub2所處理了的對稱軸之編號。若是對於上述說明作統整，則高下限值HBPMNJ以及低上限值LTPMNJ，係分別代表「從依據不良畫像J而產生的第N單色畫像來基於第M對稱軸所產生之差分畫像」所具備的高下限值HBP以及低上限值LTP。 　　如同上述一般，在圖21所示之步驟S702中而設定高下限值HBPMNJ以及低上限值LTPMNJ之各暫存器的內容，之後，前進至步驟S703。在步驟S703中，係針對儲存在暫存器M中之對稱軸的編號是否到達了對稱軸之數量C一事進行判斷。暫存器M，係在圖18所示之對稱性判斷工程(S4)的步驟S404中，被一次加算上1。與此被作了加算的暫存器M之值相對應之原畫像，係如同上述一般，藉由圖19～圖23而被作處理。之後，在圖21之步驟S702中，高下限值HBPMNJ以及低上限值LTPMNJ之各暫存器的內容係被作設定。 　　在圖21之步驟S703中的判斷，係判斷是否對應於第N之單色畫像所具備之C個的對稱軸之全部而均設定了高下限值HBPMNJ以及低上限值LTPMNJ之各暫存器的內容。當此判斷結果為No的情況時，由於係並未對於與所有的對稱軸相對應之此些之暫存器的內容作設定，因此，係經由被記載有移動目標編號204之連接符而跳躍至圖18(對稱性判斷工程(S4))之步驟S404處。在此步驟S404中，係在儲存對稱軸之數量的暫存器M之值處加算上1。之後，與至今為止之說明相同的，在M之值作了1的增大的狀態下，再度實行圖18之步驟S405以及S406和圖19～圖23中所記載之工程。若是反覆進行對於M之值的1之加算，則圖21(臨限值範圍設定工程(S7))之步驟S703的判斷結果係成為Yes。於此情況，係前進至步驟S704。 　　在步驟S704中，係針對儲存在暫存器N中之單色畫像的編號是否到達了身為單色畫像之數量的K一事進行判斷。暫存器N，係在圖17所示之單色畫像產生工程(S3)的步驟S305中，被一次加算上1。與此被作了加算的暫存器N之值相對應之原畫像，係如同上述一般，藉由圖18～圖23而被作處理。之後，在圖21之步驟S702中，高下限值HBPMNJ以及低上限值LTPMNJ之各暫存器的內容係被作設定。在圖21之步驟S704中的判斷，係判斷是否對應於基於第J個的不良畫像所產生之全部為K個的單色畫像之全部而均設定了高下限值HBPMNJ以及低上限值LTPMNJ之各暫存器的內容。當此判斷結果為No的情況時，由於係並未對於與所有的單色畫像相對應之此些之暫存器的內容作設定，因此，係經由被記載有移動目標編號203之連接符而跳躍至圖17(單色畫像產生工程(S3))之步驟S305處。在此步驟S305中，係在儲存單色畫像之數量的暫存器N之值處加算上1。之後，與至今為止之說明相同的，在N之值作了1的增大的狀態下，再度實行圖17之步驟S306和圖18～圖23中所記載之工程。若是反覆進行對於N之值的1之加算，則圖21(臨限值範圍設定工程(S7))之步驟S704的判斷結果係成為Yes。於此情況，係前進至步驟S705。 　　在步驟S705中，係針對儲存在暫存器J中之不良畫像的編號是否到達了身為不良畫像之數量的B一事進行判斷。暫存器J，係在圖15所示之既知工件攝像工程(S1)的步驟S106中，被一次加算上1。與此被作了加算的暫存器J之值相對應之不良畫像，係如同上述一般，藉由圖16～圖23而被作處理。之後，在圖21之步驟S702中，高下限值HBPMNJ以及低上限值LTPMNJ之各暫存器的內容係被作設定。在圖21之步驟S705中的判斷，係判斷是否對應於B個的不良畫像之全部而均設定了高下限值HBPMNJ以及低上限值LTPMNJ之各暫存器的內容。當此判斷結果為No的情況時，由於係並未對於與所有的不良畫像相對應之此些之暫存器的內容作設定，因此，係經由被記載有移動目標編號202之連接符而跳躍至圖15(既知工件攝像工程(S1))之步驟S106處。在此步驟S106中，係在儲存不良畫像之數量的暫存器J之值處加算上1。之後，與至今為止之說明相同的，在J之值作了1的增大的狀態下，再度實行圖15之步驟S107和圖16～圖23中所記載之工程。若是反覆進行對於J之值的1之加算，則圖21(臨限值範圍設定工程(S7))之步驟S705的判斷結果係成為Yes。於此情況，係前進至步驟S706。 　　如同根據以上之說明而可清楚得知一般，在圖21中之步驟S703～S705之3種類的判斷，係為以下之3個的判斷。首先，在步驟S703中，判斷是否針對單色畫像所具備之所有的對稱軸而均產生了作為從次迴圈Sub2而來之回送值的高下限值HBP以及低上限值LTP。接著，在步驟S704中，判斷是否針對基於不良畫像所產生了的所有的單色畫像而均產生了從次迴圈Sub2而來之前述回送值。之後，在步驟S705中，判斷是否針對所有的不良畫像而均產生了從次迴圈Sub2而來之前述回送值。 　　藉由此些之3個的判斷之結果全部成為Yes一事，係成為針對作為在上述名稱為「高下限值HBPMNJ」以及「低上限值LTPMNJ」之暫存器中所被使用之3個的編號之J、N以及M，而結束了關連於所有之編號的處理。亦即是，藉由至今為止之工程，在暫存器高下限值HBPMNJ以及低上限值LTPMNJ中，係成為針對全部的不良畫像，而針對依據不良畫像而產生之所有的單色畫像來產生關連於該單色畫像所具有之所有的對稱軸之差分畫像之高下限值(HBP)以及低上限值(LTP)並作儲存。 　　接著，在圖21之步驟S706以及S707中，係在再度將儲存對稱軸之編號的暫存器M作了初期化之後，於其之值處加算上1。之後，經由被記載有移動目標編號206之連接符而跳躍至圖22(臨限值範圍設定工程(S7))之步驟S708處。 　　圖22中所示之臨限值範圍設定工程(S7)，係為實行對於在上述之圖21中之步驟S702處所儲存在暫存器高下限值HBPMNJ以及低上限值LTPMNJ中的複數之高下限值以及低上限值所進行之處理的工程。此工程，係如同上述一般，具備有2個目的。第1個目的，係在於成為能夠對於從所有的(B個的)不良畫像所產生之複數之差分畫像而僅設定1個的臨限值。第2個目的，係在於從與從所有的(B個的)不良畫像所產生之全部的單色畫像(針對各不良畫像而各K個)之各者相對應之K個的差分畫像之中，而選擇出上述對於設定臨限值而言為最適當之差分畫像。 　　在圖22之最初之步驟S708中，係從與不良畫像1～不良畫像B之各不良畫像相對應之K個的單色畫像之各者，而從使用基於第M對稱軸所產生的差分畫像而算出之(B×C)個的高下限值HBPMNJ(針對成為1≦N≦K之N的各者而1≦M≦C、1≦J≦B)之中，選擇出成為最小值之最小下限值MNBMN。 　　接著，前進至步驟S709，並從與不良畫像1～不良畫像B之各不良畫像相對應之K個的單色畫像之各者，而從使用基於第M對稱軸所產生的差分畫像而算出之B個的低上限值LTPMNJ(針對成為1≦N≦K之N的各者而1≦M≦C、1≦J≦B)之中，選擇出成為最大值之最大上限值MXTMN。 　　以下，針對如此這般而在步驟S708中從(B×C)個的高下限值HBPMNJ(針對成為1≦N≦K之N的各者而1≦M≦C、1≦J≦B)之中選擇出最小值並在步驟S709中從B個的低上限值LTPMNJ(針對成為1≦N≦K之N的各者而1≦M≦C、1≦J≦B)之中選擇出最大值一事的意義進行說明。 　　高下限值HBP，係在圖23所示之次迴圈Sub2的步驟S2206以及S2207處而被產生。而，如同上述一般，步驟S2206，係與圖5(d)、(e)中之於下段作為標題而記載為在差分值之最大區間處的臨限值之工程中的選出最大區間之工程相對應。此最大區間，例如在圖5(d)的情況時，係為產生在中段處之作為最大差分值之58的區間，亦即是係為在上段處而以差分像素值65以及7作為鄰接差分像素值之區間。而，在圖23之步驟S2207中，係將使用於最大差分值MXNP之算出中之被儲存在2個的相鄰接之配列AP(MX＋1)以及AP(MX)中之像素值PV(MX＋1)以及PV(MX)，分別設為高下限值HBP以及低上限值LTP。若是使此步驟S2207之處理與圖5(d)相對應，則在圖5(d)之上段所記載之差分像素值中之65，係為高下限值HBP，7，係為低上限值LTP。 　　於此，如同上述一般，在B個的不良畫像之各者的像素值中，係存在有參差。因此，在從各不良畫像所產生之K個的單色畫像之像素值中，亦會對應於不良畫像而存在有參差。起因於此，若是從各單色畫像而產生差分畫像，則對應於成為各差分畫像之基礎的不良畫像所具有之像素值之參差，在差分畫像之像素值中亦會成為存在有參差。若是將產生有此些之參差的複數之差分畫像藉由圖23之次迴圈Sub2來進行處理，則從各差分畫像所產生的高下限值HBP以及低上限值LTP係會產生有參差。亦即是，若是在圖5(a)中所示之原畫像、也就是第N單色畫像(圖17之步驟S306)，對應於B個的不良畫像而有所變化，則在圖5(d)、(e)之各段的數值中係會產生參差。其結果，在圖23之步驟S2207中所產生的高下限值HBP以及低上限值LTP，係會對應於B個的不良畫像之像素值之參差，而產生有參差。 　　如此這般，起因於在各差分畫像之每一者處而於高下限值HBP以及低上限值LTP之間產生有參差一事，若是如同被記載於圖5(d)、(e)之下段處一般地來設定臨限值，則該臨限值會在各差分畫像之每一者中而產生有參差。 　　因此，係成為需要進行用以成為不論是身為從由全部為B個所成之不良畫像的何者所產生之第N單色畫像均能夠對於從該第N單色畫像所產生的差分畫像而僅設定同一之臨限值的工程。作為此工程，係實施有圖22中之步驟S708以及S709之工程。 　　在步驟S708之工程中所被作處理的高下限值HBPMNJ，係對應於圖5(d)之與記載在中段處的鄰接差分像素值之差分值之最大區間相對應之上段之差分像素值之中的位置於左側處的大的像素值。於後，將此像素值命名為「最大區間大像素值」。 　　同樣的，在步驟S709之工程中所被作處理的低上限值LTPMNJ，係對應於圖5(d)之與記載在中段處的鄰接差分像素值之差分值之最大區間相對應之上段之差分像素值之中的位置於右側處的小的像素值。於後，將此像素值命名為「最大區間小像素值」。 　　亦即是，在步驟S708中，係從最大區間大像素值之中而選擇出成為最小值之最小下限值MNBMN。此最小下限值MNBMN，係成為在「從與B個的不良畫像相對應之K個的單色畫像之各者而使用基於第M對稱軸所產生的差分畫像而算出之(B×C)個的最大區間大像素值」之中，而最為接近所對應的最大區間小像素值之值。 　　並且，在步驟S709中，係從最大區間小像素值之中而選擇出成為最大值之最大上限值MXTMN。此最大上限值MXTMN，係成為在「從與B個的不良畫像相對應之K個的單色畫像之各者而使用基於第M對稱軸所產生的差分畫像而算出之(B×C)個的最大區間小像素值」之中，而最為接近所對應的最大區間大像素值之值。 　　亦即是，最小下限值MNBMN以及最大上限值MXTMN之組合，係為將在圖5(d)、(e)中而展示於中段處的鄰接差分像素值之在差分值的最大區間處之差分值設為最小值的組合。如此這般而差分值成為最小值一事的意義，係代表對於從第N單色畫像所產生的所有的差分畫像而以使在各第N單色畫像之每一者處設定臨限值的範圍會成為共通的方式來作了最小化。故而，藉由最小下限值MNBMN以及最大上限值MXTMN之組合所構成的區間，係為成為能夠對於上述(B×C)個的差分畫像之全部而確實地設定臨限值的區間。在如此這般地而選擇出了最小下限值MNBMN以及最大上限值MXTMN之後，前進至步驟S710。 　　在步驟S710中，係針對與K個的單色畫像之各者相對應的最小下限值MNBMN以及最大上限值MXTMN，而算出「成為差分之範圍RN＝最小下限值MNBMN-最大上限值MXTMN」。此範圍RN，係如同上述一般，身為成為能夠「針對從與B個的不良畫像相對應之K個的單色畫像之各者而使用基於第M對稱軸所產生的差分畫像而算出之(B×C)個的差分畫像之全部，而在鄰接差分像素值之差分值之最大區間(例如在圖5(d)之中段處而具有差分值58之區間)中確實地設定臨限值」的區間之差分值。若是在步驟S710處而算出範圍RN，則係結束步驟S7，並前進至圖14(a)中所示之步驟S8。 (5.7)步驟S8 　　在圖14(a)中，步驟S8係為臨限值畫像產生工程，並選擇出對於設定用以選擇出檢查對象區域之臨限值一事而言為最適當的臨限值畫像，而設定臨限值。在圖24中，對於臨限值畫像產生工程(S8)之詳細流程圖作展示。 　　在圖24之步驟S801中，係針對身為從不良畫像所產生的單色畫像之數量之K是否為2以上一事進行判斷。此係為與在圖17(單色畫像產生工程(S3))中所展示的步驟S301中之判斷檢查對象工件之畫像是否身為彩色畫像一事相同之內容。亦即是，在圖24之步驟S801中，若是檢查對象工件之畫像係為彩色畫像，則單色畫像之數量K係為2以上，若是檢查對象工件之畫像並非為彩色畫像，則單色畫像之數量K係為1，此係為未滿2。當步驟S801之判斷結果為Yes、亦即是基於不良畫像所產生的單色畫像之數量係為2以上的情況時，係前進至步驟S802。 　　在步驟S802中，係從由全部之單色畫像所算出之K個的範圍RN(1≦N≦K)之中，而選擇出最大值，並將具備有此成為最大值之範圍RN的差分畫像，作為第M臨限值畫像而選擇出來。此第M臨限值畫像之編號M，係如同上述一般，為代表原畫像(亦即是第N單色畫像)所具有的第M對稱軸之編號M。亦即是，係成為選擇出了與對稱軸之編號相對應的臨限值畫像。 　　於此，針對將具備有成為最大值之範圍RN的差分畫像作為第M臨限值畫像而選擇出來一事的意義作說明。範圍RN，係如同上述一般，身為成為能夠「針對從基於B個的不良畫像所產生之第N單色畫像而產生的差分畫像之全部((B×C)個)而確實地設定臨限值」的區間之差分值。此係相當於用以針對上述之第1問題、亦即是臨限值會在各差分畫像之每一者處而產生有參差並且不會固定為1個臨限值的問題作解決之手段。又，從如此這般所算出的範圍RN中而選擇出最大值一事，係代表將作為最小之差分值的範圍RN作比較並從該些之中選擇出成為能夠最為容易地設定臨限值之最大值。此將具備有成為最大值之範圍RN的差分畫像選擇出來一事，係相當於用以對於上述之第2問題、亦即是成為需要具有用以選擇出臨限值設定用之單色畫像的基準之問題作解決的「基準之設定」。 　　若是對以上之說明作統整，則為了針對上述之第1問題、亦即是在圖5(d)、(e)之下段處所展示的臨限值會在各差分畫像之每一者處而產生有參差並且不會固定為1個臨限值的問題作解決，係在圖22之步驟S710處，而算出範圍RN。藉由此，係成為能夠消除前述在各差分畫像之每一者處的差分值之參差，並成為能夠「針對從基於B個的不良畫像所產生之第N單色畫像而產生的差分畫像之全部((B×C)個)而僅設定1個的臨限值」。又，為了針對上述之第2問題、亦即是成為需要具有用以選擇出臨限值設定用之單色畫像之基準一事作解決，係在圖24之步驟S802中，從與身為單色畫像之數量的K相對應之K個的範圍RN之中，而選擇出最大值，並將具備有此成為最大值之範圍RN的差分畫像，作為第M臨限值畫像而選擇出來。藉由此，係將前述選擇之基準明確化，而能夠從基於1個的不良畫像所產生之複數之單色畫像之中，將對於設定臨限值而言為最適當的單色畫像在後續之步驟S803中而選擇出來。 　　另一方面，當步驟S801之判斷結果為No、亦即是基於不良畫像所產生的單色畫像之數量係為1的情況時，係前進至步驟S804。在步驟S804中，係將從1個的單色畫像所產生的差分畫像，作為第M臨限值畫像。在如此這般地而選擇出了第M臨限值畫像之後，前進至步驟S803。 　　在步驟S803中，係將產生了第M臨限值畫像之單色畫像，作為第M臨限值用單色畫像而選擇出來。此第M臨限值用單色畫像，係為為了對於原畫像所具有的第M對稱軸而算出在圖5(d)、(e)之下段處所展示的分離像素值選擇用之臨限值所使用的單色畫像。在選擇出了第M臨限值用單色畫像之後，前進至步驟S805。 　　在步驟S805中，係於第M臨限值畫像中，算出範圍RN之中央值＝(最小下限值MNBMN＋最大上限值MXTMN)/2，並將該值設為作為檢查對象區域選擇用臨限值之第M檢查臨限值。在此步驟S805中所算出的第M檢查臨限值，係與圖5(d)、(e)之下段所展示的在差分值之最大區間處的臨限值相對應。在如此這般地而設定了第M檢查臨限值之後，前進至步驟S806。 　　在步驟S806中，係針對儲存在暫存器M中之對稱軸的編號是否到達了身為對稱軸之數量之C一事進行判斷。暫存器M，係在圖21所示之臨限值範圍設定工程(S7)的步驟S707中，被一次加算上1。與此被作了加算的暫存器M之值相對應之原畫像，係如同上述一般，藉由圖22以及圖24而被作處理。之後，在圖24之步驟S805中，第M檢查臨限值係被作設定。在圖24之步驟S806中的判斷，係判斷是否對應於第N之單色畫像所具備之C個的對稱軸之全部而均設定了第M檢查臨限值。當此判斷結果為No的情況時，由於係並未使與所有的對稱軸相對應之第M檢查臨限值被作設定，因此，係經由被記載有移動目標編號205之連接符而跳躍至圖21(臨限值範圍設定工程(S7))之步驟S707處。在此步驟S707中，係在儲存對稱軸之數量的暫存器M之值處加算上1。之後，與至今為止之說明相同的，在M之值作了1的增大的狀態下，再度實行圖22以及圖24之處理。若是反覆進行對於M之值的1之加算，則圖24(臨限值畫像產生工程(S8))之步驟S806的判斷結果係成為Yes。於此情況，係結束步驟S8，並前進至圖14(a)中所示之步驟S9。 (5.8)步驟S9 　　在圖14(a)中，步驟S9係為臨限值確認工程。此係為對於「從良品畫像所產生的差分畫像之全部像素之像素值均為較上述第M檢查臨限值而更小一事、亦即是就算是對於良品畫像適用第M檢查臨限值也無法選擇出如同在圖6(c)中以雙重框所標示一般的應進行缺陷檢查之檢查對象區域一事」進行確認之工程。在圖25以及圖26中，對於臨限值確認工程(S9)之詳細流程圖作展示。 　　在圖25中，步驟S901以及S902，係為用以對於在圖15中所展示之既知工件攝像工程(S1)中的步驟S101處所得到之A個的良品畫像而實行臨限值確認工程之準備。首先，在步驟S901中，於記憶正在臨限值確認工程處而實行處理中之良品畫像的編號之暫存器I中儲存0，而將暫存器I初期化。接著，在步驟S902中，係在I之值處加算上1。 　　之後，在步驟S903中，從賦予了1～A之編號的良品畫像之中，取出依據I之值所被指定的編號之畫像。於此，係為I＝1。之後，前進至步驟S904。 　　步驟S904以及S905，係分別為與在圖16中所示之檢查對象工件抽出工程(S2)之步驟S201以及S202相同。亦即是，在步驟S904以及S905中，係從良品畫像1而使用樣版匹配法來產生檢查對象工件之畫像。在如此這般地而產生了檢查對象工件之畫像之後，前進至步驟S906。 　　步驟S906以及S907，係為用以對於從基於良品畫像1所產生的單色畫像而產生之差分畫像來實行在臨限值確認工程中之後續之步驟的準備。首先，在步驟S906中，於記憶正在臨限值確認工程中之後續之步驟中而實行處理之單色畫像中的對稱軸之編號之暫存器M中儲存0，而將暫存器M初期化。接著，在步驟S907中，係在M之值處加算上1。 　　接著，前進至步驟S908，並針對檢查對象工件之畫像是否為彩色一事進行判斷。當判斷結果為Yes的情況時、亦即是當彩色畫像的情況時，係前進至步驟S909。在步驟S909中，係從身為彩色畫像之檢查對象工件之畫像來產生K個的單色畫像。此步驟S909，係與在圖17所示之單色畫像產生工程(S3)中的步驟S302相同。在產生了K個的單色畫像之後，前進至步驟S910處。 　　在步驟S910中，係從所產生了的單色畫像之中，將與產生了第M臨限值畫像之單色畫像相對應的單色畫像，設為第M臨限值用單色畫像。於此，如同上述一般，將產生了第M臨限值畫像之單色畫像作為第M臨限值用單色畫像而選擇出來一事，係為在圖24中所展示之臨限值畫像產生工程(S8)的步驟S803。亦即是，在步驟S803中所選擇出的第M臨限值用單色畫像，係使在步驟S910處所選擇出的第M臨限值用單色畫像相互對應。如此這般地而使該些相互對應的目的，係為了對於「就算是將使用第M臨限值用單色畫像所設定了的第M檢查臨限值對於良品畫像作適用，也無法選擇出如同上述一般地在圖6(c)中以雙重框所標示一般之檢查對象區域一事」進行確認。 　　另一方面，當在步驟S908中之判斷係為No的情況時、亦即是當檢查對象工件之畫像係為單色畫像的情況時，係前進至步驟S911。在步驟S911中，係將前述單色畫像、亦即是檢查對象工件之畫像，設為第M臨限值用單色畫像。如此這般，若是在步驟S910或S911中而選擇出了第M臨限值用畫像，則係經由被記載有移動目標編號209之連接符而跳躍至圖26之步驟S912處。 　　在圖26之步驟S912中，係將第M臨限值用單色畫像，儲存在名稱為「原畫像」之暫存器中。接著，前進至步驟S913，在名稱為「ONEM」之暫存器中，儲存第M對稱軸之其中一端之座標。此步驟S913，係為與在圖18所示之對稱性判斷工程(S4)的步驟S405相同之工程。接著，前進至步驟S914，在名稱為「OTEM」之暫存器中，儲存第M對稱軸之另外一端之座標。此步驟S914，係為與在圖18所示之對稱性判斷工程(S4)的步驟S406相同之工程。之後，前進至步驟S21，並實行圖20中所示之次迴圈Sub1。針對次迴圈Sub1，由於係已作了說明，因此，於此係省略詳細之說明。 　　藉由在此圖26中而實行步驟S912～步驟S21(次迴圈Sub1)，係將在圖25之步驟S910或者是S911中所選擇出的第M臨限值用畫像及其之對稱軸的其中一端以及另外一端之座標，作為引數來從主程式而遞交至次迴圈Sub1處，主程式，係將次迴圈Sub1從此第M臨限值用畫像所產生的差分畫像，作為回送值而接收之。 　　在實行了步驟S21之後，係對於作為回送值之差分畫像而實行步驟S915。在步驟S915中，係判斷差分畫像的全部像素之像素值是否均較第M檢查臨限值而更小。當此判斷結果為Yes的情況時，係成為確認到：對於此差分畫像，係如同上述一般地而並無法選擇出如同上述一般地在圖6(c)中以雙重框所標示一般之檢查對象區域。於此情況，係前進至步驟S916。 　　在步驟S916中，係針對儲存在暫存器M中之對稱軸的編號是否到達了身為對稱軸之數量之C一事進行判斷。暫存器M，係在圖25之步驟S907中，被一次加算上1。與此被作了加算的暫存器M之值相對應之原畫像，係如同上述一般，藉由步驟S912～步驟S21而被作處理，差分畫像係被產生。之後，在步驟S915中，係判斷差分畫像的全部像素之像素值是否均較第M檢查臨限值而更小。在步驟S916中的判斷，係判斷是否對應於檢查對象工件之畫像所具備之C個的對稱軸之全部而均進行了上述步驟S915之判斷。當此步驟S916之判斷結果為No的情況時，由於係並未針對與所有的對稱軸相對應之差分畫像而進行步驟S915之判斷，因此，係經由被記載有移動目標編號208之連接符而跳躍至圖25之步驟S907處。在此步驟S907中，係在儲存對稱軸之數量的暫存器M之值處加算上1。之後，與至今為止之說明相同的，在M之值作了1的增大的狀態下，再度實行圖25之步驟S908～圖26之步驟S915。若是反覆進行對於M之值的1之加算，則步驟S916的判斷結果係成為Yes。於此情況，係前進至步驟S917。 　　在步驟S917中，係針對儲存在暫存器I中之良品畫像的編號是否到達了身為良品畫像之數量的A一事進行判斷。暫存器I，係在圖25之步驟S902中，被一次加算上1。與此被作了加算的暫存器I之值相對應之良品畫像，係如同上述一般，藉由圖25之步驟S903～圖26之步驟S916而被作處理。之後，係判斷與該良品畫像之所有的對稱軸相對應之差分畫像的全部像素之像素值是否均較第M檢查臨限值而更小。在步驟S917中之判斷，係為是否針對A個的良品畫像之全部而確認了與所有的對稱軸相對應之差分畫像的全部像素之像素值均較第M檢查臨限值而更小一事的判斷。當此步驟S917之判斷結果為No的情況時，係並未針對A個的良品畫像之全部而確認了與所有的對稱軸相對應之差分畫像的全部像素之像素值均較第M檢查臨限值而更小。因此，係經由被記載有移動目標編號207之連接符而跳躍至圖25之步驟S902處。在此步驟S902中，係在儲存良品畫像之數量的暫存器I之值處加算上1。 　　之後，與至今為止之說明相同的，在I之值作了1的增大的狀態下，再度實行圖25之步驟S903～圖26之步驟S916的工程。若是反覆進行對於I之值的1之加算，則圖26之步驟S917的判斷結果係成為Yes。於此情況，係結束步驟S9，並經由在圖14(a)之最下部處所標示的被記載有移動目標編號101之連接符而跳躍至圖14(b)之步驟S10處。另外，如同上述一般，圖14(a)，係為臨限值設定模式，圖14(b)，係為檢查實行模式。故而，在結束了步驟S9之階段處，係將臨限值設定模式結束，並成為開始檢查實行模式。 　　另一方面，當在圖26中而步驟S915之判斷結果為No的情況時，係代表若是對於良品畫像而適用第M檢查臨限值，則檢查對象區域係會被選出。因此，係前進至步驟S918，並對於檢查對象區域被選出的原因進行調查，並進行將該原因去除的對策。在進行了對策之後，係經由被記載有移動目標編號201之連接符而跳躍至圖15之既知工件攝像工程(S1)的步驟S103處。之後，再度實行圖14(a)中所示之臨限值設定模式。在此再度之實行中，係藉由在圖24之臨限值畫像產生工程(S8)中之步驟S802～S805，而選擇出第M臨限值畫像、第M臨限值用單色畫像，並設定第M檢查臨限值。之後，再度在圖26之步驟S915中，判斷差分畫像的全部像素之像素值是否均較第M檢查臨限值而更小。反覆進行步驟S918之原因調查和對策、以及臨限值設定模式之再度的實行，直到此判斷結果成為Yes為止。若是判斷結果成為了Yes，則係如同上述一般地，實行臨限值確認工程(S9)，直到步驟S916之判斷以及步驟S917之判斷均成為Yes為止。若是S917之判斷結果成為Yes，則係如同上述一般地而結束步驟S9，並結束臨限值設定模式。之後，跳躍至圖14(b)中所示之檢查實行模式之步驟S10處。 　　接著，使用圖14(b)以及圖27～圖31，針對檢查實行模式作說明。 (5.9)步驟S10 　　在圖14(b)中，步驟S10係為被檢查工件攝像工程，並對於被檢查工件進行攝像。在圖27中，對於被檢查工件攝像工程(S10)之詳細流程圖作展示。 　　在圖27所示之步驟S1001中，對於被檢查工件進行攝像。若是結束步驟S1001，則係結束步驟S10，並前進至圖14(b)中所示之步驟S2。在圖14(b)中，步驟S2係為檢查對象工件抽出工程，並為與在圖14(a)中所示之步驟S2相同之工程。亦即是，係從被檢查工件之畫像而使用樣版匹配法來對於工件之最外緣進行探索並確定之，而產生檢查對象工件之畫像。若是結束步驟S2，則係前進至圖14(b)中所示之步驟S11。 (5.10)步驟S11 　　在圖14(b)中，步驟S11係為被檢查單色畫像產生工程，並從在步驟S2中所產生的檢查對象工件之畫像而產生單色畫像。在圖28中，對於被檢查單色畫像產生工程(S11)之詳細流程圖作展示。 　　在圖28所示之步驟S1101中，係在暫存器M中儲存0，而將暫存器M初期化。於此，暫存器M，係為記憶正在後續之步驟S1102之後的被檢查單色畫像產生工程以及圖14(b)所示之後續之步驟S12以及S13中而實行處理之單色畫像中的對稱軸之編號之暫存器。此對稱軸之編號，例如係在身為前置工程之圖14(a)之臨限值設定模式中的步驟S4(對稱性判斷工程)處而被作設定。具體而言，在圖18所示之對稱性判斷工程(S4)的步驟S402中，係將對稱軸之數量儲存在暫存器C中。此暫存器C之值，係維持於在此步驟S402處而被作了設定後之值。 　　接著，在步驟S1102中，係將針對檢查對象工件之畫像的全部像素而把像素值置換為最大像素值之後的畫像，儲存在名稱為「前置畫像」之暫存器中。以下，針對此暫存器前置畫像之作用進行說明。 　　針對本發明之畫像處理演算法，係已使用圖5來作了說明。在該說明中，係定義有作為在圖5(a)中所展示之2個的對稱軸之第1直線L1以及第2直線L2。與此些之對稱軸相對應的差分畫像，係為圖5(b)以及圖5(c)。之後，將從身為各別之差分畫像的圖5(b)以及圖5(c)之全部像素之中所選擇出的分離像素，藉由在圖6(a)以及圖6(b)中將像素值以雙重框來作包圍一事而作標示。在選擇出了此些之分離像素之後，選擇出在圖6(a)以及圖6(b)中所示之分離像素的共通部分，並將此共通部分作為檢查對象區域。在此圖6中之分離像素之共通部分的選出，係成為「同時產生與複數之對稱軸相對應之差分畫像，並從各差分畫像而選擇出分離像素，之後選擇出各個的分離像素之共通部分」的概念。但是，使用軟體來將與複數之對稱軸相對應的處理同時地、亦即是平行地實行一事，係並不實際。其理由係在於，為了實行此種平行處理，係需要確保有用以記憶複數之差分畫像的全部像素值之龐大的記憶區域，並且會成為需要進行對於該記憶區域之像素值的寫入以及讀出之步驟之故。因此，在使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法中，為了將圖5(b)～圖6(c)之工程藉由軟體來實行，係設為採用有以下之方法。 　　首先，對於圖20所示之次迴圈Sub1處，而從主程式來作為引數而遞交原畫像(從檢查對象工件之畫像所產生的單色畫像)和第1對稱軸之其中一端(ONEM)以及另外一端(OTEM)的座標。次迴圈Sub1，係基於原畫像而產生對應於第1對稱軸之差分畫像，並作為回送值而送回至主程式處。主程式，係對於所接收了的差分畫像，而使用在臨限值設定模式中所設定了的第M檢查臨限值來選擇出分離像素。此分離像素之被作配置之位置，係成為對應於第1對稱軸之檢查對象區域。 　　接著，藉由在儲存對稱軸之編號的暫存器M處加算上1，而設為M＝2。藉由此，接下來之從主程式所遞交至次迴圈Sub1處的引數，係成為關連於第2對稱軸者。之後，同樣的，在次迴圈Sub1中，基於原畫像而進行對應於第2對稱軸之差分畫像的產生。之後，同樣的，在主程式中，進行對應於第2對稱軸之檢查對象區域的選出。 　　之後，將對應於第2對稱軸之檢查對象區域、和之前所選擇出的對應於第1對稱軸之檢查對象區域，此兩者之共通部分，作為新的檢查對象區域。亦即是，係將對應於第(M＋1)對稱軸和對應於第M對稱軸之2個的檢查對象區域之共通部分，作為新的檢查對象區域。若是對於此種工程作考慮，則在直到選擇出對應於第(M＋1)對稱軸之檢查對象區域為止的期間中，係需要將對應於第M對稱軸之檢查對象區域預先儲存在暫存器中。將此暫存器以「前置畫像」之名稱來預先作確保並於該處儲存有作為初期值之檢查對象工件之畫像一事，係為上述之步驟S1102。於此，在步驟S1102中，係將針對檢查對象工件之畫像的全部像素而把像素值置換為最大像素值之後的畫像作儲存。以下，對於其理由作敘述。 　　如同上述一般，所謂檢查對象區域，係為在檢查對象工件之畫像中具備存在有缺陷之可能性的區域，亦即是應進行缺陷檢查之區域。因此，作為在對於檢查對象工件之畫像而進行缺陷檢查時的參照用畫像，係有必要產生能夠對於檢查對象區域和其以外之區域明確地進行辨識的畫像。因此，在本發明中，係設為作為前述參照用畫像而產生檢查用畫像。檢查用畫像，係作為在檢查對象區域處配置具備有最大像素值之像素並且在檢查對象區域以外之區域處配置具備有最小像素值之像素的畫像，而產生之。為了與此相對應，係將在檢查對象工件之畫像中而所有的區域均成為檢查對象區域的畫像，作為前置畫像之初期值(以下，稱作初期前置畫像)而首先產生之。此係在圖28之步驟S1102中而被儲存於暫存器前置畫像中。之後，如同上述一般，在後續之步驟中，選擇出與檢查對象工件之畫像所具備的對稱軸(C個)之中之第1對稱軸相對應的作為檢查對象區域之分離像素。 　　接著，選擇出此對應於第1對稱軸之檢查對象區域和在初期前置畫像中之檢查對象區域的共通部分。之後，產生「將此共通部分作為檢查對象區域而具備之」的新的前置畫像。之後，將此新的前置畫像之產生，稱作前置畫像之更新。於此，在對應於第1對稱軸之前置畫像之更新時，針對對應於第1對稱軸之檢查對象區域和初期前置畫像之檢查對象區域，係絕對不能夠成為無法選擇出共通部分。該條件，係為初期前置畫像之所有的區域均成為檢查對象區域。因此，在步驟S1102中而儲存在暫存器前置畫像中之初期前置畫像，係以會使所有的區域均成為檢查對象區域的方式，而將全部像素值均設為最大像素值。接著，在對應於第1對稱軸而將前置畫像作了更新之後，在儲存對稱軸之編號的暫存器M處加算上1，並實行同樣的工程。反覆進行此，直到暫存器M到達上述對稱軸之數量C為止。之後，在到達了C的時間點處，係只要將最後所更新了的前置畫像作為檢查用畫像即可。 　　在如此這般地藉由圖28之步驟S1102而進行了暫存器前置畫像之初期化之後，前進至步驟S1103。在步驟S1103中，係在儲存對稱軸之編號的暫存器M之值處加算上1。接著，在步驟S1104～S1108中，係產生被檢查單色畫像並儲存在暫存器原畫像中。此些之步驟中之步驟S1104～步驟S1107，係分別與在圖25所示之臨限值確認工程(S9)中的步驟S908～S911相同。故而，係將詳細之說明省略。在步驟S1108中，若是將被檢查單色畫像儲存在暫存器原畫像中，則係結束步驟S11，並前進至圖14(b)中所示之步驟S5。 　　在圖14(b)中，步驟S5係為差分算出工程，接續於此之步驟S6，係為差分畫像產生工程。此些之工程，係如同上述一般，使用圖19以及圖20之次迴圈Sub1，來從在上述圖28之步驟S1108處所設定了的原畫像而產生差分畫像。故而，係省略詳細之說明。若是在圖14(b)中而結束步驟S5以及步驟S6，則係前進至步驟S12。 (5.11)步驟S12 　　在圖14(b)中，步驟S12係為被檢查區域選出工程，並使用在步驟S6中所產生的差分畫像，來產生具備有成為檢查對象區域之候補的區域之區域候補畫像。在圖29中，對於檢查區域選出工程(S12)之詳細流程圖作展示。 　　在圖29之步驟S1201中，於差分畫像的全部像素中，將具備有較第M檢查臨限值而更大之像素值的像素，作為檢查區域像素而選擇出來。此工程，係為與從差分畫像之全部像素中而選擇出圖5(d)、(e)中所展示之分離像素一事相同的內容。但是，此步驟S1201，由於係為作為用以選擇出檢查對象區域之準備的工程，因此，係將所選擇出的像素之名稱，設為檢查區域像素。當在步驟S1201中選擇出了檢查區域像素之後，前進至步驟S1202處。 　　步驟S1202，係為用以產生上述之對於檢查對象區域和其以外之區域明確地進行辨識的畫像、亦即是用以產生檢查用畫像之前置工程。首先，將差分畫像區分為檢查區域像素和檢查區域像素以外之像素。接著，在檢查區域像素之位置處配置具備有最大像素值之區域指定像素，並且在檢查區域像素以外之像素的位置處配置具備有最小像素值之檢查外像素，而產生區域候補畫像。藉由此工程所產生的區域候補畫像，係成為能夠藉由檢查區域像素之像素值與檢查外相素之像素值之間的對比，來對於檢查對象區域和其以外之區域明確地進行辨識。若是在步驟S1202處而產生區域候補畫像，則係結束步驟S12，並前進至圖15(b)中所示之步驟S13。 (5.12)步驟S13 　　步驟S13係為檢查用畫像產生工程，並基於在步驟S12中所產生的區域候補畫像而產生檢查用畫像。在圖30中，對於檢查用畫像產生工程(S13)之詳細流程圖作展示。 　　在圖30之步驟S1301中，針對前置畫像和區域候補畫像，而選擇成為區域指定像素之共通部分的共通指定像素。此工程，係如同上述一般，為用以在每次對應於對稱軸而產生檢查對象區域時，選擇出此所產生的檢查對象區域與前置畫像之共通部分，並對於前置畫像進行更新者。當在此步驟S1301中選擇出了共通指定像素、亦即是選擇出了共通部分之後，前進至步驟S1302處。 　　在步驟S1302中，係在共通指定像素之位置處配置具備有最大像素值之共通指定像素，並且將共通指定像素以外之像素的像素值作為最小像素值，而產生更新候補畫像。在此步驟S1302中，係無關於在前置畫像中的具備有最大像素值之像素所被配置之位置地，而將在步驟S1301中所選擇出的共通指定像素以外之像素的像素值設為最小像素值。亦即是，就算是身為在前置畫像中的具備有最大像素值之像素所被配置之位置，當在步驟S1301中所選擇出的共通指定像素並未被配置在該位置處時，被配置在該位置處之像素的像素值係被更新為最小像素值。如此這般，而結束前置畫像之更新，更新後之畫像係成為更新候補畫像。當在步驟S1302中而產生了更新候補畫像之後，前進至步驟S1303處。 　　在步驟S1303中，係將更新候補畫像儲存於暫存器前置畫像中。接著，在步驟S1304中，係針對儲存在暫存器M中之對稱軸的編號是否到達了身為對稱軸之數量之C一事進行判斷。暫存器M，係在圖28所示之被檢查單色畫像產生工程(S11)的步驟S1103中，被一次加算上1。與此被作了加算的暫存器M之值相對應之原畫像，係如同上述一般，藉由圖28之步驟S1104～步驟S1108和圖29以及圖30之步驟S1301～步驟S1303而被作處理。之後，在圖30之步驟S1303中，前置畫像係被作更新。在步驟S1304中的判斷，係判斷是否對應於被檢查單色畫像所具備之C個的對稱軸之全部而均進行了前置畫像之更新。當此判斷結果為No的情況時，由於係並未進行與所有的對稱軸相對應之前置畫像的更新，因此，係經由被記載有移動目標編號210之連接符而跳躍至圖28(被檢查單色畫像產生工程(S11))之步驟S1103處。 　　在此步驟S1103中，係在儲存對稱軸之數量的暫存器M之值處加算上1。之後，與至今為止之說明相同的，在M之值作了1的增大的狀態下，再度實行圖28之步驟S1104～步驟S1108和圖29以及圖30之步驟S1301～步驟S1303中所記載的工程。若是反覆進行對於M之值的1之加算，則圖30(檢查用畫像產生工程(S13))之步驟S1304的判斷結果係成為Yes。於此情況，係前進至步驟S1305。 　　在此步驟S1305中，係將更新候補畫像儲存於名稱為「檢查用畫像」之暫存器中。藉由此，檢查用畫像之產生係結束。之後，結束步驟S13，並前進至圖14(b)中所示之步驟S14。 (5.13)步驟S14 　　在圖14(b)中，步驟S14係為檢查實行工程，並基於在步驟S13中所產生的檢查用畫像，而進行對於檢查對象工件之畫像的缺陷檢查。在圖31中，對於檢查實行工程(S14)之詳細流程圖作展示。 　　在圖31之步驟S1401中，係將檢查對象工件之畫像取出，並一面參照檢查用畫像之檢查對象區域，一面對於該區域而進行缺陷檢查。具體而言，係將在檢查用畫像中之被配置有最大像素值之區域，作為在檢查對象工件中之檢查對象區域。之後，對於此區域而實行缺陷檢查。在缺陷檢查中所適用之方法，係可使用對於作業者而言為既知之任意之方法。 　　使用有上述之本發明中之畫像處理演算法的缺陷檢查方法，相較於由先前技術所致之缺陷檢查方法，係具備有以下之優點。首先，作業者對於攝像畫像進行目視而進行判斷的項目係為極少，並且該判斷基準係並非以作業者之熟練度作為前提。 　　在由先前技術所致之缺陷檢查方法中，作業者係對於成為缺陷檢查之對象的工件之畫像進行目視。之後，在畫像中，對於成為缺陷檢查的對象之檢查對象區域和並不會成為缺陷檢查的對象之除外區域作確認。之後，針對各區域之配置而確認相互關係，並一併針對構成各區域之像素的像素值而確認大小關係。接著，在對於上述配置之相互關係以及像素值之大小關係作了考慮之後，設定用以篩選檢查對象區域和除外區域之臨限值，並篩選出檢查對象區域。又，在從彩色畫像而產生了複數之單色畫像的情況時，作業者係對於各單色畫像進行目視。之後，對於上述各區域間之亮度作比較，來選擇被判斷為能夠最為明瞭地辨識出缺陷之1個的單色畫像。之後，對於此選擇出的單色畫像，而進行上述臨限值之設定以及檢查對象區域之篩選。 　　相對於此，本發明之畫像處理演算法以及使用有此之缺陷檢查方法，係為當工件之畫像為關連於特定之直線而成為線對稱的情況時所使用者。首先，取得關連於對稱軸而被配置在對象位置處之像素的像素值之差分，並產生差分畫像。接著，於構成差分畫像之像素的像素值中，將具備有較預先所設定的臨限值而更大之像素值的像素選擇出來，並將該像素所被配置之場所作為檢查對象區域而選擇出來。當對稱軸為複數的情況時，係將對應於各個對稱軸的檢查對象區域之共通部分，作為最終性之檢查對象區域。又，在從彩色畫像而產生了複數之單色畫像的情況時，係針對從各單色畫像所產生的差分畫像之像素，而對於像素值實行預先所決定了的演算。之後，對於各差分畫像之演算結果作比較，並選擇出對於設定臨限值一事而言為最適當之1個的單色畫像。使用此單色畫像，來設定上述之預先所設定了的臨限值。 　　此演算法以及使用有此之缺陷檢查方法，係幾乎不存在有任何的使作業者對於工件之畫像進行目視並進行某些之判斷的工程。因此，係並不會有如同由先前技術所致之缺陷檢查方法一般之對於作業者而要求有熟練度的情況，作業者之負擔係變少。並且，由於係易於將演算法藉由軟體來自動化並實行缺陷檢查，因此，相較於由先前技術所致之缺陷檢查，檢查速度係大幅度提昇，並且也難以被作業者之熟練度的差異所影響。

WD1、WD2‧‧‧不良工件MD1、MD2‧‧‧印記D1、D2、Da、Db‧‧‧缺陷WG1‧‧‧良品工件MG1‧‧‧印記B1‧‧‧背景F1、F2‧‧‧包圍框L1‧‧‧第1直線L2‧‧‧第2直線L3‧‧‧第3直線

[圖1]圖1(a)、(b)，係為本發明之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖2]圖2，係為本發明之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖3]圖3(a)、(b)、(c)、(d)、(e)，係為本發明之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖4]圖4(a)、(b)、(c)，係為本發明之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖5]圖5(a)、(b)、(c)、(d)、(e)，係為本發明之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖6]圖6(a)、(b)、(c)，係為本發明之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖7]圖7(a)、(b)，係為本發明之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖8]圖8(a)、(b)、(c)、(d)、(e)，係為本發明之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖9]圖9(a)、(b)、(c)，係為本發明之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖10]圖10(a)、(b)、(c)、(d)、(e)，係為本發明之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖11]圖11(a)、(b)、(c)，係為本發明之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖12]圖12，係為本發明之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖13]圖13(a)、(b)，係為本發明之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖14]圖14(a)、(b)，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖15]圖15，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖16]圖16，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖17]圖17，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖18]圖18，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖19]圖19，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖20]圖20，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖21]圖21，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖22]圖22，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖23]圖23，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖24]圖24，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖25]圖25，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖26]圖26，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖27]圖27，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖28]圖28，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖29]圖29，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖30]圖30，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖31]圖31，係為使用有本發明之畫像處理演算法的缺陷檢查方法之說明圖。 　　[圖32]圖32(a)、(b)，係為先前技術之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖33]圖33(a)、(b)，係為先前技術之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖34]圖34(a)、(b)，係為先前技術之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖35]圖35(a)、(b)，係為先前技術之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖36]圖36(a)、(b)，係為先前技術之畫像處理演算法之說明圖。 　　[圖37]圖37(a)、(b)，係為先前技術之畫像處理演算法之說明圖。

WD1‧‧‧不良工件

MD1‧‧‧印記

D1、D2‧‧‧缺陷

L1‧‧‧第1直線

L2‧‧‧第2直線

Claims (8)

1. 一種畫像處理方法，其特徵為，係具備有： 　　差分算出工程，係將具備有相對於基準直線而成為線對稱的第1以及第2區域之單色之原畫像，藉由前述基準直線來分割成前述第1以及第2區域，並針對在前述第1以及第2區域內而被配置在相對於前述基準直線而為線對稱的位置處之2個的原像素之各對(pair)，來算出成為前述2個的原像素之像素值之差分之差分像素值；和 　　差分畫像產生工程，係為配置具備有前述差分像素值之差分像素並產生差分畫像之差分畫像產生工程，並將具有使用前述第1區域內之第1位置之原像素和前述第2區域內之第2位置之原像素之間之對所算出的前述差分像素值之差分像素，配置在前述差分畫像之前述第1以及第2位置處而產生前述差分畫像。
2. 如申請專利範圍第1項所記載之畫像處理方法，其中， 　　前述基準直線，係為將前述原畫像分割成包含相等數量之原像素的上半部之前述第1區域與下半部之前述第2區域之第1直線。
3. 如申請專利範圍第1項所記載之畫像處理方法，其中， 　　前述基準直線，係為將前述原畫像分割成包含相等數量之原像素的左半部之前述第1區域與右半部之前述第2區域之第2直線。
4. 如申請專利範圍第1項所記載之畫像處理方法，其中， 　　在前述差分畫像產生工程中，係從同一之前述原畫像，來作為前述差分畫像，而產生第1差分畫像和與前述第1差分畫像相異之第2差分畫像， 　　該畫像處理方法，係更進而具備有： 　　檢查區域選出工程，係使用前述第1差分畫像和前述第2差分畫像，來選出在前述原畫像中之檢查對象區域。
5. 一種缺陷檢查方法，係為使用如申請專利範圍第1項所記載之畫像處理方法來對於被檢查物進行缺陷檢查之缺陷檢查方法，其特徵為： 　　係具備有臨限值設定模式和檢查實行模式， 　　該臨限值設定模式，係具備有： 　　第1工程，係將從對於已知係身為良品的複數之被檢查物進行攝像所得到的攝像畫像而產生之單色畫像，作為第1原畫像，並從所產生的複數之第1原畫像來使用前述畫像處理方法而產生複數之良品差分畫像；和 　　第2工程，係將從對於已知係身為不良的複數之被檢查物進行攝像所得到的攝像畫像而產生之單色畫像，作為第2原畫像，並從所產生的複數之第2原畫像來使用前述畫像處理方法而產生複數之不良差分畫像， 　　該臨限值設定模式，係設定1個的檢查區域臨限值，該檢查區域臨限值，係成為能夠從前述複數之不良差分畫像之差分像素之中，選擇出差分像素值為從其他之差分像素值而分離有特定值以上並且在各不良差分畫像中為被配置在同一之位置處的分離像素，並且在前述複數之良品差分畫像之差分像素中並不將被配置在與前述分離像素同一之位置處的差分像素作為前述分離像素而選擇出來， 　　該檢查實行模式，係將從對於缺陷檢查對象之被檢查物進行攝像所得到的攝像畫像而產生的單色畫像，作為第3原畫像，並從所產生的第3原畫像來使用前述畫像處理方法而產生差分畫像，且使用前述差分畫像和前述檢查區域臨限值來選擇出在前述第3原畫像中之檢查對象區域，並且對於前述檢查對象區域而實行缺陷檢查。
6. 如申請專利範圍第5項所記載之缺陷檢查方法，其中， 　　前述攝像畫像係為非彩色畫像， 　　從各攝像畫像所產生的單色畫像，係為1個。
7. 如申請專利範圍第5項所記載之缺陷檢查方法，其中， 　　前述攝像畫像係為彩色畫像， 　　從各攝像畫像所產生的單色畫像，係為2個以上， 　　在前述臨限值設定模式之前述第1工程中，係將各單色畫像作為前述第1原畫像，並從所產生的複數之第1原畫像來產生前述複數之良品差分畫像， 　　在前述臨限值設定模式之前述第2工程中，係將各單色畫像作為前述第2原畫像，並從所產生的複數之第2原畫像來產生前述複數之不良差分畫像， 　　在前述臨限值設定模式中，係選擇出1個的前述檢查區域臨限值之可設定範圍為最廣的單色畫像，並對於所選擇出的單色畫像而設定前述檢查區域臨限值， 　　在前述檢查實行模式中，係從基於對於前述缺陷檢查對象之被檢查物進行攝像所得到的前述攝像畫像而產生的2個以上的單色畫像之中，選擇出與在前述臨限值設定模式中所被選擇出的單色畫像相同種類之單色畫像並作為前述第3原畫像，並從所產生的前述第3原畫像而產生前述差分畫像，並且使用前述差分畫像和前述檢查區域臨限值而選擇出前述檢查對象區域，並對於前述檢查對象區域而實行缺陷檢查。
8. 如申請專利範圍第5項所記載之缺陷檢查方法，其中，係更進而具備有： 　　被檢查物抽出工程，係從前述第3原畫像之中而使用樣版匹配法來抽出前述缺陷檢查對象之被檢查物。

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