TWI689462B - 管型臭氧產生裝置 - Google Patents

Abstract

本發明是一種管型臭氧產生裝置1。臭氧產生單元30具有隔著放電間隙36布置在外側電極管31的內側的放電管32。放電管32具有介電質管33、設置在介電質管33內的筒狀電極膜34、以及向電極膜34供電的供電部件40。電極膜34是以螺旋狀地錯開的狀態在介電質管33上布置具有彈性的導體35而形成的。

Description

管型臭氧產生裝置

本發明與管型臭氧產生裝置相關，其中特別與放電管的構造相關。

臭氧具有強力的氧化作用，在作用後會分解為無害的氧等。因此，在半導體製造、食品製造、水處理等領域中，經常使用臭氧來進行清洗、殺菌、除臭等處理。

像這樣的產生臭氧的臭氧產生裝置多採用無聲放電方式。

在無聲放電方式的臭氧產生裝置中，在隔著介電質對置的一對電極之間設有空隙(放電間隙(discharge gap))。在一對電極之間施加高電壓，就會在放電間隙產生無聲放電。使含氧原料氣體流過放電間隙，從而原料氣體臭氧化，產生臭氧。

在採用這樣的無聲放電方式的臭氧產生裝置中，存在管型的臭氧產生裝置。在管型臭氧產生裝置中，使用呈管狀的放電管來作為介電質，該介電質構成產生臭氧的單元。就管型臭氧產生裝置來說，由於能夠將複數根放電管密集地平行布置，因此具有容易大型化的優點。

管型臭氧產生裝置中的放電管的構造已公開在例如專利文獻1、專利文獻2中。

在專利文獻1的臭氧產生裝置中設有圓筒狀的玻璃製介電質管，其一端呈球面狀地封閉起來。在該介電質管的內表面上，具體而言，在從介電質管的球面狀端部直到側部之間的部分的內表面上形成有第 一電極。

在介電質管上，以圍住介電質管的外側的方式布置有圓筒狀第二電極，在介電質管和第二電極之間形成有放電間隙。

原料氣體在通過被施加了高電壓的放電間隙時臭氧化。臭氧化後的氣體從球面狀端部所在的臭氧化氣體導出口被導出。

在專利文獻2中也公開了與專利文獻1的第一電極同樣地金屬蒸鍍而成的導電膜。

〔專利文獻〕

[專利文獻1]日本特開2012-144425號公報

[專利文獻2]國際公開WO-A1-2010021022號公報

由於現有的電極是通過金屬蒸鍍而形成在介電質管的內周面上，因此無法從介電質管上分離下來。由此，當必須更換電極時，就只能更換整個介電質管。由於通過金屬蒸鍍來形成電極這一方式的特殊性較高，因此有生產性較差的缺點。

於是，本發明的目的在於提供一種管型臭氧產生裝置，其電極能夠更換，而且電極也能夠較容易地形成。

需要說明的是，本申請人先提出了與本發明相關的發明(日本特願2012-253606)。

本發明的管型臭氧產生裝置所具備的臭氧產生單元具有筒狀外側電極管、以及隔著放電間隙布置在所述外側電極管的內側的放電管。所述放電管具有：至少在一端部具有開口的筒狀介電質管；設置為與所述介電質管的內周面緊密相接的圓筒狀電極膜；以及與外部電源相連接而向所述電極膜供電的供電部件。

所述電極膜是以沿著所述介電質管的長度方向螺旋狀地錯開的 狀態布置具有彈性的導體而形成的。

根據該臭氧產生裝置，設置在介電質管內的圓筒狀電極膜是在可拆卸的狀態下插入介電質管內的。因此，能夠將電極膜從介電質管上卸下來進行更換。

而且，該電極膜是通過將具有彈性的導體螺旋狀地布置在介電質管內而形成的，因此即使是開口較小而總長度較長的介電質管，也能夠容易地設置電極膜。

也就是說，只要是具有彈性的導體，就能夠通過以相對於例如細長的引導棒錯開位置的狀態螺旋狀地卷繞在該引導棒上而形成為細長的圓筒狀。然後，將卷繞有導體的引導棒插入介電質管內，並解開對導體的束縛而使導體從引導棒上鬆開來，導體就會利用本身的彈力擴張開來，因此能夠形成與介電質管的內周面緊密相接的圓筒狀電極膜。在該情况下，將導體從引導棒上鬆開後，就不需要使用引導棒。因此，比起相關的發明，能夠減輕與引導棒相當的重量。

較佳為：所述電極膜利用本身的彈力在所述介電質管的內部擴張開來而與該介電質管的內周面緊密相接。

通過利用電極膜本身的彈力，就能夠不對電極膜施加外力地使電極膜與介電質管的內周面緊密接合，因此裝置的製作更為容易。

較佳為：所述電極膜是以一邊使上述導體螺旋狀地錯開，一邊使該導體重疊兩層以上的狀態布置該導體而形成的。

通過將導體重疊兩層以上，導體就容易在介電質管內部擴張開來，能夠更可靠地使電極膜與介電質管的內周面緊密相接。

較佳為：所述電極膜具有從所述開口露出來的露出端部。

在該臭氧產生裝置中，不是通過金屬蒸鍍，而是通過使導體緊密相接而在介電質管的內周面上形成電極膜，因此只要調整電極膜在介 電質管的長度方向上的長度，就能容易地設置露出端部。通過設置露出端部，在將複數個臭氧產生單元分別電連接起來時，只要將露出端部之間電連接起來即可。也就是說，能夠容易地進行臭氧產生單元之間的電連接工作。

較佳為：所述供電部件具有設置在所述電極膜的內側的內側扣夾以及設置在所述電極膜的外側的外側扣夾，所述內側扣夾和所述外側扣夾夾住所述露出端部。

在該情况下，由於電極膜的露出端部被內側扣夾和外側扣夾夾住，因此能夠使電極膜與供電部件直接且均勻地接觸，能夠穩定地向電極膜供電。

根據本發明的臭氧產生裝置，其電極能夠容易地更換，而且電極也能夠較容易地形成。

1‧‧‧臭氧產生裝置

30‧‧‧臭氧產生單元

31‧‧‧外側電極管

32‧‧‧放電管

33‧‧‧介電質管

33a‧‧‧開口

34‧‧‧電極膜

34a‧‧‧露出端部

35‧‧‧帶狀導體

36‧‧‧放電間隙

40‧‧‧供電部件

41‧‧‧內側扣夾

42‧‧‧外側扣夾

G‧‧‧引導棒

圖1為示出第一實施方式的管型臭氧產生裝置的概略立體圖。

圖2為概略側視圖，在該圖中，為了示出臭氧產生裝置的內部構造而省略了一部分部件。

圖3為沿著圖2中的X-X線剖開的概略剖視圖。

圖4為示出臭氧產生單元的構造的概略剖視圖。

圖5(a)和圖5(b)為示出電極膜的設置過程的概略圖。

圖6(a)、圖6(b)為示出電極膜的設置過程的概略圖。

圖7為供電部件的立體分解圖。

圖8為概略圖，其示出供電部件之間的連接方式的一例。

圖9(a)、圖9(b)為示出外側扣夾對的概略圖。圖9(a)為俯視圖，圖9(b)為前視圖。

圖10為示出連接端子的概略圖。

圖11(a)、圖11(b)為示出供電部件之間的連接構造的概略圖。圖11(a)為俯視圖，圖11(b)為前視圖，在圖11(b)中省略了後部的部件。

圖12(a)、圖12(b)為示出使用在第二實施方式的臭氧產生裝置中的架設扣夾的概略圖。圖12(a)為俯視圖，圖12(b)為前視圖。

圖13(a)、圖13(b)為示出附帶連接端子架設扣夾的概略圖。圖13(a)為俯視圖，圖13(b)為前視圖。

圖14(a)、圖14(b)為示出第二實施方式中的供電部件之間的連接構造的概略圖。圖14(a)為俯視圖、圖14(b)為前視圖，在圖14(b)中省略了後部的部件。

圖15(a)為示出外側扣夾的變形例的俯視圖，圖15(b)為示出架設扣夾的變形例的前視圖。

下面，根據圖示對本發明的實施方式進行詳細的說明。以下的實施方式僅為本質上的示例，並沒有意圖對本發明、其應用對象或其用途加以限制。

(臭氧產生裝置的結構)

在圖1中示出本實施方式的管型臭氧產生裝置1。臭氧產生裝置1具備裝置主體2、附屬設備3等，該附屬設備3由配合裝置主體2進行工作的控制機器、操作盤等構成。

裝置主體2為耐蝕性良好的不鏽鋼製耐壓容器，臭氧在該裝置主體2的內部產生。裝置主體2具有圓筒狀軀幹部11、封住軀幹部11的兩端的兩個蓋部12。裝置主體2以橫放的狀態受一對腳部13、13支承著。其中一個蓋部12通過鉸鏈安裝在軀幹部11上，構成為能開關的門。

在裝置主體2上連接有原料氣體管道14、臭氧管道15、冷卻管道16等。具體而言，原料氣體管道14與未圖示的原料氣體供給源相連接， 氧、空氣等原料氣體通過原料氣體管道14供向裝置主體2。臭氧管道15與未圖示的臭氧供給對象相連接，在裝置主體2中產生的臭氧通過臭氧管道15送往該供給對象。

冷卻管道16包括進水用和排水用的兩個冷卻管道16a、16b，冷卻管道16a、16b分別與未圖示的熱交換器等連接。冷卻水通過這些冷卻管道16a、16b循環著供向裝置主體2。

如圖2所示，裝置主體2的內部由不鏽鋼製的兩張分隔板17、17分隔為原料氣體室18、冷卻室19和臭氧室20。原料氣體室18布置在裝置主體2的一端部，並且與原料氣體管道14相連通。臭氧室20布置在裝置主體2的另一端部，並且與臭氧管道15相連通。

冷卻室19位於原料氣體室18和臭氧室20之間，冷卻室19佔據了裝置主體2的大部分體積。冷卻室19在靠臭氧室20一側的下部與進水用冷卻管道16a相連通。冷卻室19在靠原料氣體室18一側的上部與排水用冷卻管道16b相連通。在冷卻室19的內部，按規定的間隔設置有複數限制板21。通過這些限制板21，冷卻室19的內部上側和內部下側被交互地分隔開，冷卻室19的內部被設計為冷卻水蜿蜒地流動。

在裝置主體2的內部設置有複數個臭氧產生單元30，這些臭氧產生單元30橫穿過冷卻室19，沿著軀幹部11的長度方向平行地延伸。

如圖3所示，臭氧產生單元30以密集的狀態布置著。詳細而言，臭氧產生單元30布置呈三角形，使相鄰的臭氧產生單元30之間的間距相同。在這些臭氧產生單元30中的每一個臭氧產生單元30處，從原料氣體中產生臭氧。

圖4示出臭氧產生單元30的詳細結構。臭氧產生單元30由外側電極管31和放電管32構成。

外側電極管31由圓筒狀不鏽鋼管構成，外側電極管31的各端部與 各分隔板17無縫地接合在一起。外側電極管31經由分隔板17而電接地，外側電極管31構成低電壓側的電極。外側電極管31的周圍充滿冷卻水，各臭氧產生單元30被冷卻水冷卻。在外側電極管31的內側布置有放電管32，外側電極管31與放電管32的圓心位置相同。

(放電管的結構)

放電管32由介電質管33、電極膜34、供電部件40等構成。

(介電質管)

介電質管33為圓筒狀部件，其一端部被封住，另一端部具有開口33a，介電質管33例如由玻璃等製成。通常，介電質管33的尺寸是：總長度最長為2m，外徑大約為10mm~30mm，厚度大約為1mm~3mm。

也就是說，介電質管33呈細長棒狀，相對於介電質管33的總長度，開口33a的尺寸極小。

介電質管33的外周面隔著些微的間隙(放電間隙36)與外側電極管31的內周面相向。當高電壓施加在外側電極管31和放電管32的電極膜34之間，就會在放電間隙36產生無聲放電。

介電質管33的被封住的端部位於臭氧室20內，介電質管33的具有開口33a的端部位於原料氣體室18內。原料氣體從原料氣體室18流入產生無聲放電的放電間隙36中，從而產生臭氧。產生的臭氧流向臭氧室20，通過臭氧管道15送往供給對象。

(電極膜)

電極膜34由不鏽鋼製的彈簧鋼板等具有高彈性的金屬原料製成。電極膜34形成為厚度較薄的圓筒狀，設置為與介電質管33的內周面緊密相接著。

也就是說，與將電極膜金屬蒸鍍在介電質管33的內表面上的情況不同，使用在該臭氧產生裝置1的電極膜34是與介電質管33分別形成 的。所以，電極34相對於介電質管33是可裝卸的。因此，在該臭氧產生裝置1中，能夠從放電管32中只卸下電極膜34來進行更換。

詳細而言，電極膜34是使用帶狀的導體(帶狀導體35)來形成的。帶狀導體35以沿著介電質管33的長度方向錯開位置的狀態螺旋狀地布置在介電質管33的幾乎整個長度範圍上。帶狀導體35利用本身的彈力朝径向擴張而與介電質管33的內周面緊密相接，由此形成電極膜34。

較佳為帶狀導體35的相鄰的兩緣部35a、35a相互重疊，但也可以無間隙地相接，也可以留有一點間隙。也就是說，較佳為以下述的狀態螺旋狀地布置帶狀導體35，即：帶狀導體35以小於其寬度的螺距沿著介電質管33的長度方向錯開位置的狀態。

如上所述，通過使用帶狀導體35來形成電極膜34，即使是細長形的介電質管33，也能夠容易地在其內部設置圓筒狀電極膜34。

具體而言，如圖5(a)所示，能夠以料卷的形態來使用帶狀導體35。由此，能夠容易地供給帶狀導體35，能夠容易地進行將帶狀導體35設置在電極膜34的介電質管33內的作業，因此量產性良好。

將帶狀導體35從料卷拉出並螺旋狀地卷繞在引導棒G上。引導棒G是在介電質管33中設置電極膜34時使用的輔助部件。引導棒G的外徑小於介電質管33的內徑，並且長度大於等於介電質管33的長度。

帶狀導體35的卷繞起始側的端部暫時固定在引導棒G的前端部分。可以通過重疊卷繞帶狀導體35來實現該暫時固定，也可以通過在引導棒G上設置能夠將帶狀導體35暫時固定住的暫時固定部來實現該暫時固定。

作為暫時固定部的具體例子，例如能舉出：在引導棒G的前端部設置狹縫，使帶狀導體35卡在該狹縫中；在引導棒G的前端部設置能夠受控制而開關的夾持機構，利用該夾持機構來夾持帶狀導體35。

將卷繞起始側的端部暫時固定住後，只要將帶狀導體35螺旋狀卷繞在引導棒G上，就能夠將帶狀導體35緊密地卷繞在引導棒G上。然後，在帶狀導體35卷繞在引導棒G上達到規定長度後，切斷帶狀導體35，如圖5(b)所示，使用扣夾(clip)C等將帶狀導體35的卷繞結束側的端部暫時固定在引導棒G上。

如圖6(a)所示，將螺旋狀地卷繞了帶狀導體35的引導棒G從該引導棒G的前端側插入介電質管33內。在插入到規定位置為止後，邊解開對帶狀導體35的兩端部的束縛邊使引導棒G適當地轉動。

通過這樣做，如圖6(b)所示，帶狀導體35就會利用本身的彈力而擴張，從引導棒G上分離下來並與介電質管33的內周面緊密相接。然後，從介電質管33中拉出引導棒G即可。

需要說明的是，引導棒G並不是必要的。也可以只將帶狀導體35卷成螺旋狀後插入介電質管33內。

電極膜34以其一部分(也稱為露出端部34a)從開口33a露出來的狀態設置在介電質管33內。需要說明的是，露出端部34a的緣部可以是不整齊的，也可以通過調整帶狀導體35的重疊狀況或進行切斷來使露出端部34a的緣部呈整齊狀。

在該臭氧產生裝置1中設置有供電部件40，通過供電部件40能夠利用露出端部34a來穩定向電極膜34供電。

(供電部件)

供電部件40與外部電源37的高電壓側相連接而向電極膜34供電，如圖4、圖7所示，供電部件40由內側扣夾41、外側扣夾42等構成。

內側扣夾41和外側扣夾42都是通過金屬沖壓加工、多功能成形(Multi-forming)、加工夾具等方式形成的，彈性和導電性良好。

外側扣夾42是其一部分沿著軸向被切斷開來的圓筒狀部件，具有 C字形截面。外側扣夾42的內徑形成為：在不受外力作用的無負荷狀態下，小於介電質管33的內徑。在此，露出端部34a的軸向長度L2只要大於0，也就是說只要從開口33a露出來即可，但較佳為露出端部34a的軸向長度L2大於外側扣夾42的軸向長度L1(L2

L1)，更佳為露出端部34a的軸向長度L2大於等於外側扣夾42的軸向長度L1(L2

2L1)。

內側扣夾41也是與外側扣夾42同樣具有C字形截面的圓筒狀部件。內側扣夾41的外徑形成為：在無負荷狀態下，大於介電質管33的內徑。內側扣夾41的軸向長度L3形成為至少大於內側扣夾41的軸向長度L1。

對外側扣夾42施加外力其直徑擴大，並將外側扣夾42套在插入了內側扣夾41的露出端部34a的外側上。由於除去外力後，外側扣夾42就會縮小，因此外側扣夾42以從外側壓接在露出端部34a上的狀態設置在電極膜34的外側上。

對內側扣夾41施加外力使其直徑縮小，並將內側扣夾41插入電極膜34的內側直到內側扣夾41的前端位於介電質管33的內部為止。由於除去外力後，內側扣夾41就會擴張開來，因此內側扣夾41以從內側壓接在電極膜34上的狀態設置在電極膜34的內側。

其結果是，露出端部34a被內側扣夾41和外側扣夾42夾住，成為從內側、外側被壓接著的狀態。

如上述那樣，內側扣夾41和外側扣夾42夾住從介電質管33的開口33a露出來的電極膜34的露出端部34a，從而露出端部34a與供電部件40直接且均勻地接觸。因此，能夠穩定地向電極膜34供電。

(臭氧產生效率)

通過使用形成為螺旋狀的、如上所述的電極膜34，還能夠提昇臭氧產生效率。

也就是說，本申請人在本發明之前提出了一種放電管(日本特願2012-253606)，該放電管由介電質管、與外部電源連接且由不鏽鋼等製成的端子棒(相當於供電部件)、以及一端與該端子棒相接合的電極膜構成。

具體而言，端子棒的長度與介電質管相等，在日本特願2012-253606號公報中構成電極膜的金屬導體形成為長邊的長度與端子棒的長度相等的長方形。該金屬導體的一個長邊與端子棒相接合，金屬導體的另一長邊側在介電質管內擴張開來，從而與介電質管的內周面緊密接合，形成圓筒狀電極膜。

與該放電管相比，確認到了本實施方式的放電管32的臭氧產生效率上升約5%，但其機制尚不明確。因此，根據本實施方式的臭氧產生裝置，也能提升臭氧產生效率。

由於不需要端子棒，因此具有可降低部件成本、謀求輕量化的優點。特別是，對設置有複數根放電管的大型臭氧產生裝置是有利的。

(供電部件之間的連接)

如圖8中簡略地示出那樣，各放電管32的供電部件40相互電連接。需要說明的是，在圖8中，各供電部件40相互串連連接，也就是說，一個供電部件40與相鄰的一個或兩個供電部件40相連接，但可以根據規格適當地設定供電部件40之間的連接方式。

在相互連接的一群供電部件40的多處上設有與導線44電連接的連接端子43。導線44在未圖示處與外部電源37電連接。從外部電源37經由這些連接端子43和導線44向一群供電部件40供電。

由於相鄰的供電部件40之間的間隙小，因此在供電部件40的數量較多的情況下，工作量非常大，因此這一群供電部件40的連接工作是負担較大的工作。

於是，在本實施方式的臭氧產生裝置1中，在內側扣夾41和外側扣夾42的形狀上下了功夫，使得這些供電部件40的連接工作能夠容易地進行。

(供電部件的具體結構)

首先，如圖4所示，內側扣夾41設置為：從介電質管33的開口33a露出的內側扣夾41的長度L4為外側扣夾42的軸向長度L1的2倍以上。設定為2倍以上是為了能夠在內側扣夾41上疊設至少兩個外側扣夾42。

如圖9所示，為了能夠一次夾住兩個露出端部34a，兩個外側扣夾42連結起來形成為一體(也稱為外側扣夾對42P)。相連的兩個外側扣夾42、42之間設有彎曲了的彎曲部45。兩個外側扣夾42、42之間的尺寸是配合相鄰的供電部件40之間的間距而設定的。由於彎曲部45能夠彈性變形，因此即使間距稍有偏差也能夠完成安裝。

為了連接導線44，如圖10所示，一部分內側扣夾41構成為在內側扣夾41上直接設有連接端子43的附帶連接端子內側扣夾52。

使一部分內側扣夾41構成為附帶連接端子內側扣夾52，就能夠在希望的部位上容易地安裝希望的數量的連接端子43。

在圖11中示出使用這些外側扣夾對42P相互連接在一起的供電部件40。外側扣夾對42P套在相鄰接的兩個露出端部34a、34a上，由此，形成了兩個供電部件40、40電連接在一起的供電部件對。而且，其他外側扣夾對42P套在與該供電部件對相鄰的兩個露出端部34a、34a上，進一步形成供電部件對。

然後，對於形成的兩個供電部件對中的相鄰接的兩個供電部件40、40，在介電質管33的長度方向上疊設外側扣夾對42P，將這兩個供電部件40、40的內側扣夾41、41夾住。像這樣，將外側扣夾對42P交錯而連續地套在各露出端部34a和各供電部件40中的內側扣夾41上，能夠 容易地進行複數個供電部件40的連接工作。

<變形例>

在圖12~圖14中示出變形例的臭氧產生裝置。本變形例的臭氧產生裝置、放電管的基本結構與上述實施方式相同，因此對於功能相同的結構使用相同的符號並省略其說明。

在本變形例的臭氧產生裝置1中，外側扣夾42不是成對地使用，而是單獨地使用。供電部件40另外具備如圖12、圖13所示的架設扣夾50、附帶連接端子架設扣夾51。

架設扣夾50具有相對置地延伸的一對插入腳部50a、架設在這些插入腳部50a的一端上的架設部50b。在架設部50b的中央處形成有能夠彈性變形的彎曲部50c。插入腳部50a、50a之間的尺寸是配合相鄰的供電部件40之間的間距而設定的。詳細而言，插入腳部50a、50a間的大小形成為稍微小於相鄰的供電部件40之間的間距。

配合設置在介電質管33中的內側扣夾41的內周面和臭氧產生單元30的形狀，各插入腳部50a形成為截面呈劣弧狀。

施加外力使插入腳部50a、50a之間擴張開來，並將各插入腳部50a插入相鄰的兩個內側扣夾41、41，從而將架設扣夾50架設在這兩個內側扣夾41、41上。這樣一來，各插入腳部50a壓接在各內側扣夾41的內表面上，兩內側扣夾41、41相互電連接。由於彎曲部50c能夠彈性變形，因此即使內側扣夾41、41之間的間距稍有偏差也不會造成問題。

圖13示出附帶連接端子架設扣夾51。在附帶連接端子架設扣夾51中，能夠與導線44連接的連接端子43與架設部50b設置為一體。

圖14示出利用這些架設扣夾50和附帶連接端子架設扣夾51相互連接在一起的供電部件40。由於只要從介電質管33的開口33a所朝的方向將架設扣夾50和附帶連接端子架設扣夾51插入相鄰接的兩個內側扣 夾41、41內即可完成利用架設扣夾50和附帶連接端子架設扣夾51進行的連接工作，因此工作性良好。

只要使一部分架設扣夾50構成為附帶連接端子架設扣夾51，就能夠簡單地設置連接端子43。

而且，如圖15(a)所示，可以是三個以上的外側扣夾42連結在一起。如圖15(b)所示，也可以是兩個以上的架設扣夾50連結在一起。連結的數量多，就具有工作性、電阻上的優點。特別是，可以設定為這樣的形態，即：將多個外側扣夾42或架設扣夾50連結在一起，連結的數量為10個、20個等。這樣一來，當需要一個外側扣夾42等時，可以切下一個外側扣夾42來使用，當需要兩個外側扣夾42等時，可以切下兩個外側扣夾42來使用。由於可以根據需要而切斷與需要的量相應的外側扣夾42等來使用，因此通用性良好。

在變形例的臭氧產生裝置1中，也可以如第一實施方式那樣使一部分內側扣夾41構成為如圖10所示的附帶連接端子內側扣夾52來取代附帶連接端子架設扣夾51。

33‧‧‧介電質管

33a‧‧‧開口

34‧‧‧電極膜

35‧‧‧導體

C‧‧‧扣夾

G‧‧‧引導棒

Claims (5)

1. 一種管型臭氧產生裝置，其中：上述管型臭氧產生裝置具備無聲放電方式的臭氧產生單元，該無聲放電方式的臭氧產生單元具有筒狀外側電極管、以及隔著放電間隙布置在所述外側電極管的內側的放電管，且在所述放電間隙產生無聲放電，所述放電管具有：至少在一端部具有開口的筒狀介電質管；設置為與所述介電質管的內周面緊密相接的筒狀電極膜；以及與外部電源相連接而向所述電極膜供電的供電部件，所述電極膜是以沿著所述介電質管的長度方向螺旋狀地錯開的狀態布置由具有彈性之帶狀板片彈簧所構成的導體而形成的，所述電極膜係以其兩緣部相互重疊或無間隙地相接的方式螺旋狀地布置。
2. 如請求項1所述的臭氧產生裝置，其中：所述電極膜利用本身的彈力在所述介電質管的內部擴張開來而與該介電質管的內周面緊密相接。
3. 如請求項2所述的臭氧產生裝置，其中：所述電極膜是以一邊使上述導體螺旋狀地錯開，一邊使該導體重疊兩層以上的狀態布置該導體而形成的。
4. 如請求項1所述的臭氧產生裝置，其中：所述電極膜具有從所述開口露出來的露出端部。
5. 如請求項4所述的臭氧產生裝置，其中：所述供電部件具有設置在所述電極膜的內側的內側扣夾以及設置在所述電極膜的外側的外側扣夾，所述內側扣夾和所述外側扣夾夾住所述露出端部。

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