TWI688372B - 具有基於聚矽氧之封裝黏著劑之電子裝置 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種可撓性電子裝置,其包括至少部分地封裝於保護性耐腐蝕及耐流體之封裝黏著劑塗層中之電子組件、金屬跡線及其他組件。該裝置包括安置於可撓性基板上之電子組件、感測器及其他組件,該可撓性基板經組態以安裝至身體或安置於所關注之一些其他環境中。該封裝黏著劑塗層為可撓性的且牢固地黏著至安置於該可撓性基板上之該等電子組件、金屬跡線及其他組件。該封裝黏著劑塗層防止在該等組件附近形成水或其他化學物質會自該裝置之環境中沈積於其內部的空隙。該封裝黏著劑塗層可包括聚矽氧或其他可撓性高黏著性物質。該封裝黏著劑塗層可為保形塗層。
Description
本申請案主張2015年4月30日申請之美國臨時申請案第62/155,319號及2016年4月11日申請之美國專利申請案第15/095,670號之優先權,該等申請案的揭示內容據此以全文引用之方式併入。
本發明之一些實施例提供一種方法,其包括:(i)在金屬層中形成跡線,其中金屬層安置於黏著劑層上,該黏著劑層安置於可撓性基板上,且其中形成跡線包括圖案化金屬層以提供一或多個電子組件之間的電連接;(ii)將一或多個電子組件安置於跡線上,其中將該一或多個電子組件安置於跡線上包括將該一或多個電子組件電連接至跡線;及(iii)形成經組態以黏著至黏著劑層且至少部分封裝跡線及一或多個電子組件之封裝密封劑層。
本發明之一些實施例提供一種身體可安裝裝置,其包括:(i)可撓性基板;(ii)安置於可撓性基板上之黏著劑層;(iii)安置於黏著劑層上之一或多個電子組件;(iv)安置於黏著劑層上之金屬跡線,該等金屬跡線提供與一或多個電子組件之電連接;及(v)封裝密封劑層,其經組態以黏著至黏著劑層且至少部分封裝金屬跡線及一或多個電子組件。
藉由閱讀以下詳細描述,適當時參考隨附圖式,此等以及其他
態樣、優點及替代方案對一般技術者將變得顯而易見。
100‧‧‧身體可安裝裝置
110‧‧‧可撓性基板
120‧‧‧黏著劑層
130‧‧‧金屬跡線
135‧‧‧電極
140‧‧‧電子組件
145‧‧‧電子組件/感測器
150‧‧‧封裝密封劑層
155‧‧‧窗
157‧‧‧窗
160‧‧‧分析物敏感性材料
210‧‧‧可撓性基板
220‧‧‧黏著劑層
230‧‧‧金屬層
235‧‧‧金屬跡線
240‧‧‧感測器/電子組件
245‧‧‧分析物敏感性物質
250‧‧‧封裝密封劑層
260‧‧‧窗
280‧‧‧控制器/電子組件
320‧‧‧身體可安裝裝置
325‧‧‧身體可安裝裝置
330‧‧‧第一捲筒
340‧‧‧第二捲筒
350‧‧‧處理台
400‧‧‧方法
圖1A為例示性身體可安裝裝置之頂面視圖。
圖1B為圖1A中所展示之例示性身體可安裝裝置之截面視圖。
圖2A為例示性身體可安裝裝置在身體可安裝裝置之製造期間的截面視圖。
圖2B為圖2A之身體可安裝裝置在身體可安裝裝置之製造後期的截面視圖。
圖2C為圖2B之身體可安裝裝置在身體可安裝裝置之製造後期的截面視圖。
圖2D為圖2C之身體可安裝裝置在身體可安裝裝置之製造後期的截面視圖。
圖2E為圖2D之身體可安裝裝置在身體可安裝裝置之製造後期的截面視圖。
圖3為多個身體可安裝裝置在卷軸式製程(roll-to-roll process)中製造時的視圖。
圖4為用於製造本發明裝置之方法的流程圖。
在以下詳細描述中,對隨附圖式進行參考,該等隨附圖式形成本文之一部分。在該等圖式中,除非上下文另外指定,否則類似符號通常識別類似組件。實施方式、圖式及申請專利範圍中所描述之說明性實施例並不意味著限制。在不背離本文中所呈現之標的物之範疇的情況下,可利用其他實施例且可進行其他改變。吾人不難瞭解,可以各種不同組態來配置、取代、組合、分離及設計如本文中大體上所描述且圖式中所說明的本發明之態樣,本文中明確涵蓋上述所有組態。
本發明之一些實施例提供一種身體可安裝裝置,其經組態以安裝至生物體之皮膚表面或其他位置(例如,人的上臂或腹部之皮膚)且包括經組態以提供身體可安裝裝置之功能之電子組件或其他組件(例如,感測器)。舉例而言,身體可安裝裝置可經組態以在一或多個時間點偵測身體可安裝裝置所安裝之身體的生理參數或特性(例如,血流速率、脈衝率、血氧飽和度、血液或其他流體中之分析物之濃度)。身體可安裝裝置可另外地或可替代地包括使用者介面(例如,使用者輸入、顯示器、指示器)、通信介面(例如,RFID、藍芽(Bluetooth))或其他組件以提供身體可安裝裝置之應用。
身體可安裝裝置可經組態為可撓性的,使得身體可安裝裝置最小程度地干擾身體可安裝裝置所安裝之身體的活動及/或使得身體可安裝裝置可舒適地安裝至身體持續較長時間段。舉例而言,身體可安裝裝置可包括可撓性基板,身體可安裝裝置之其他組件或元件(例如,電子組件、感測器、密封劑層)安裝至該可撓性基板,使得可撓性基板及/或身體可安裝裝置作為整體符合皮膚表面之形狀且隨皮膚表面之形狀改變而變形。熟習此項技術者將認識到,本文中所描述之身體可安裝裝置可按可安裝在人體之多個部分上以量測人體之多種生理特性(例如,體內多種流體中之多種分析物之濃度、溫度、電化性質、ECG、肌肉活動)的裝置形式提供。熟習此項技術者亦將認識到,本文所描述之感測平台可按可安裝於除人體上之位置外的位置(例如,動物體上之位置、作為自然環境或人造環境之一部分之位置)中之裝置形式提供。此類可撓性基板可經組態以安裝至皮膚表面(例如,藉由使用膠水、膠帶、乾式黏著劑或其他黏著手段)。或者,此類可撓性基板可經組態以例如藉由至少部分嵌入於眼鏡片或其他結構(例如,水凝膠隱形眼鏡)中而安裝至眼睛。
在一些實例中,此類身體可安裝裝置可在暴露於流體(例如,血
液、汗液、淚液、唾液、間質液、水或來自身體環境的其他流體)中時運作。此等流體可為傳導性的、腐蝕性的,或可能具有會干擾暴露於此等流體之電子組件之運作的其他特性(例如,藉由在電子裝置之金屬跡線之間提供低阻抗路徑)。在此等實例中,可包括/施加多種覆蓋物、密封件、黏著劑或其他材料或處理於身體可安裝裝置,以例如防止及/或控制身體可安裝裝置之元件對流體的暴露。此等材料可為可撓性的。此等材料將不可透過流體及/或流體組分(例如,不可透過水蒸汽)。另外地或可替代地,該等材料可應用於身體可安裝裝置之電子組件、金屬互連件及/或其他組件以完全或部分地封裝此等元件。可提供此類封裝以例如防止流體經由此等材料輸送,從而在電子組件、金屬互連件及/或其他組件附近濃縮或以其他方式形成。
此類可撓性密封劑層可以多種方式安置於身體可安裝裝置之電子組件(例如,積體電路、感測器、光發射器、天線)、金屬跡線或其他組件上,以完全或部分封裝身體可安裝裝置之此等組件。舉例而言,可撓性密封劑層可藉由化學氣相沈積、旋塗、噴塗、噴墨印刷、網版印刷或一些其他方法而形成。另外,可指定用於形成此類密封劑層之前驅體材料(例如,單體溶液)或其他材料的特性及/或用於形成此類密封劑層之方法,以控制所形成密封劑層之特性(例如,以控制密封劑層之幾何平均厚度、深度或其他特性)。舉例而言,此類封裝密封劑層可為保形密封劑層,例如,可經保形地安置在身體可安裝裝置之電子組件、金屬跡線或其他元件之表面上,該密封劑層在身體可安裝裝置之此類元件之經封裝表面上的厚度大體上相同(例如,變化小於20%)。在另一實例中,此類封裝密封劑層可為平坦化密封劑層,例如,可安置成在上面安置有身體可安裝裝置之密封劑層、電子組件、金屬跡線或其他組件的底層黏著劑層或其他基板材料上方之均勻高度(例如,高度變化小於20%)。某些電子元件或其他組件由於高度
大於平坦化密封劑層之均勻高度,所以會從此類平坦化密封劑層突起。如本文中所描述之身體可安裝裝置之封裝密封劑層之其他幾何結構、厚度、高度或其他特性為可能的。
在一些實例中,所形成之密封劑層或其他材料層可包括一或多個窗或其他成型特徵以允許身體可安裝裝置之一或多個感測器或其他組件獲得身體可安裝裝置所暴露之流體(例如,間質液、汗液、淚液、血液)。在一些實例中,身體可安裝裝置可包括多個密封件、黏著劑或其他材料或處理(例如,身體可安裝裝置之跡線及電子組件底層的可撓性黏著劑層及安置於跡線及電子組件上方且黏著至底層之保形、平坦化或其他封裝層)。
圖1A說明例示性身體可安裝裝置100。身體可安裝裝置100包括可撓性基板110。黏著劑層120安置於可撓性基板110上且金屬跡線130安置於黏著劑層120上,金屬跡線130提供身體可安裝裝置100之電子組件(例如,140、145)之間的電連接。金屬跡線130另外包括電極135,電極135可經操作以電化學地偵測電極135所暴露的流體之特性(例如,pH值、分析物之濃度)。形成封裝密封劑層150以黏著至電子組件140、145,金屬跡線130及黏著劑層120,使得電子組件140、145及金屬跡線130至少部分封裝於封裝密封劑層150及黏著劑層120內。封裝密封劑層150包括窗155、157,其分別允許電子組件145及電極135獲得身體可安裝裝置100所暴露的流體(例如,淚液、間質液、汗液、血液)。
如圖1A中所說明,身體可安裝裝置100經成型為圓形貼片。身體可安裝裝置可根據應用採取其他形狀,例如,細長形狀、矩形、環形或其他形狀。在一些實例中,身體可安裝裝置可經成型為具有環形形狀、弧形形狀或一些其他形狀,從而便於安裝至眼睛及/或嵌入於眼用裝置(例如,眼鏡片)中。在一些實例中,身體可安裝裝置可根據應
用成型為具有一或多個突起部或延伸部。舉例而言,身體可安裝裝置可成型為包括一或多個細長部分(例如,感測器探針),該等細長部分可經組態以穿入皮膚,使得安置於細長部分上之一或多個感測器(例如,電化學感測器)可接觸皮膚內之間質液、血液或其他流體。身體可安裝裝置可成型為包括一或多個環、條帶、突片、開口、槽或經組態以有助於將裝置安裝至身體之目標部分(例如,藉由黏著劑、藉由膠帶、藉由插入於身體之部分內部/周圍/之間)的其他特徵。身體可安裝裝置可經組態以安裝於口腔或其他體腔內,植入於封閉之體腔(例如,腹腔、顱腔)內,植入於組織內(例如,放置於組織中所形成之切口內),或以一些其他方式安裝至人或動物之身體上或身體內。
可撓性基板110可由聚醯亞胺或一些其他可撓性聚合物或其他材料組成。可撓性基板可具有約5微米與約100微米之間的厚度。另外,可撓性基板110可具有經指定以將安裝裝置100的生物體之活動的干擾最小化的大小。舉例而言,可撓性基板110可具有小於約11毫米之大小(例如,如圖1A及圖1B中所說明的圓形部分之直徑)。直徑及厚度值僅出於解釋之目的提供。另外,可撓性基板110之形狀可與圖1A及圖1B或本文中其他地方中所說明之形狀不同;舉例而言,可撓性基板110可根據應用具有細長形狀、正方形或矩形形狀或一些其他形狀。舉例而言,可撓性基板110可具有細長形狀,從而提供足夠區域以用於將電子組件、電池、使用者介面組件(例如,觸摸感測器電極、可撓性顯示器元件)、天線或其他組件安置於可撓性基板110上,同時最小程度地阻礙安裝可撓性基板110的皮膚或其他組織表面之運動及/或變形(例如,藉由形成及/或安裝至皮膚表面,使得可撓性基板110之細長形狀之取向垂直於皮膚表面之應變之方向)。
圖1B展示身體可安裝裝置100之橫截面。圖1B另外展示安置於電子組件之感測器145上之分析物敏感性材料160。分析物敏感性材料
160經組態以選擇性地與身體可安裝裝置100所暴露的流體內所關注之分析物(例如,糖、蛋白質、激素、細胞、離子、抗體)相互作用(例如,選擇性地可逆或不可逆地結合至分析物、選擇性地與分析物相互作用、選擇性地催化分析物之反應),使得感測器145可偵測流體中之分析物。圖1B展示封裝密封劑層150已經安置以結合黏著劑層120封裝金屬跡線130及電子組件140、145,但藉由窗155、157暴露之區域除外。因此,身體可安裝裝置100在金屬跡線130及電子組件140、145之表面(藉由窗155、157暴露之彼等表面除外)附近基本上不包括可能沈積、冷凝或以其他方式積聚水蒸汽或其他材料(例如,已經從身體可安裝裝置100所暴露的流體滲透穿過封裝密封劑層150之材料)的空隙或體積。
如圖1B中所展示,封裝密封劑層150大體上保形地安置於身體可安裝裝置100中由封裝密封劑層150所封裝之表面的上方。亦即,封裝密封劑層150在上面安置封裝密封劑層150之表面上的厚度為基本上均勻的。然而,此為如本文中所描述之身體可安裝裝置之封裝密封劑層之非限制性實例。在另一實例中,此類封裝密封劑層可安置成相對於底層基板及/或底層黏著劑層(例如,相對於黏著劑層120)具有基本上均勻的高度。可將此類封裝密封劑層描述為平坦化密封劑層。包括此類平坦化密封劑層之身體可安裝裝置之電子組件或其他元件可部分地由此類平坦化層封裝,使得此等組件中相對於底層黏著劑層或其他基板之高度大於平坦化層之高度的態樣不由平坦化密封劑層封裝(例如,此類部分可暴露)。舉例而言,可指定此類平坦化密封劑層之高度,使得分析物敏感性材料160不由平坦化密封劑層封裝(例如,使得分析物敏感性材料160暴露於身體可安裝裝置100之環境中所關注之流體)。
可撓性基板110可由多種材料及/或材料之組合形成。舉例而言,
可撓性基板根據應用可包括聚醯亞胺、聚對苯二甲酸伸乙酯(PET)、熱塑性材料(例如,液晶聚合物)或一些其他聚合物或其他可撓性材料。另外,金屬跡線130可由多種導體及/或導體之組合形成,例如,鉑、銅、鋁、鋼、銀、金、鉭、鈦或一些其他材料。另外地或可替代地,金屬跡線130可包括表面塗層以例如增大金屬跡線130(例如,金、鉭、鈦)之耐腐蝕性,控制金屬跡線130之機械特性或根據一些其他考慮因素。在一些實例中,金屬跡線130可具有指定厚度,例如,介於約5微米與約25微米之間。在一些實例中,金屬跡線130及/或其表面塗層中之一或多者可經指定及/或處理以提供指定電化學特性,例如,指定電極電勢。舉例而言,電極135可藉由將表面塗層塗覆至金屬跡線130或藉由執行一些其他方法來形成。舉例而言,電極135中之一者可包括藉由將銀沈積於金屬跡線130上且隨後在所沈積之銀上形成氯化銀層(例如,藉由在將電極暴露於含氯化物之流體時施加電流通過電極)而形成的銀/氯化銀電極。另外地或可替代地,分析物選擇性物質可接近電極135中之一者或兩者而安置。在一些實例中,身體可安裝裝置100可包括經組態以提供電子組件140之間的電連接及/或提供一或多個電極之導電聚合物(例如,聚吡咯)。
在一些實例中,可提供電化學或其他感測器作為沈積於金屬跡線130上之電子組件140中之一或多者,例如,如感測器145。感測器145可為預製電化學感測器,例如,形成於隨後安置於身體可安裝裝置100之金屬跡線130上之可撓性或剛性基板上之兩個或兩個以上電極。由於所需要之電極幾何結構、電極化學性質及/或電極形成,或電極或電化學感測器145之其他組件之與金屬跡線130之組成及/或形成及/或與身體可安裝裝置100之一些其他形成製程不相容的一些其他屬性,所以此類電化學感測器145可以此方式提供。在一些實例中,感測器145可為經組態以偵測以下各者之光學特性之光學感測器145:
分析物敏感性物質160、分析物敏感性物質160所暴露的流體、此類流體中之分析物、及/或與所關注之生理學特性相關之一些其他要素或物質。
應注意,提供形成於封裝密封劑層150中之窗155、157以便感測器145及電極135獲得流體為非限制性實例。在一些實例中,封裝密封劑層150可透過所關注之分析物,使得可形成充分封裝感測器145及/或電極135的封裝密封劑層150。另外,封裝密封劑層150可包括分析物敏感性材料(例如,遍及封裝密封劑層150、在封裝密封劑層150中接近感測器145及/或電極135之一或多個指定區域內),外加或代替由另一分析物敏感性材料(例如,160)所形成之一或多個不同片件或其他元件。另外,分析物敏感性材料可根據應用形成於封裝密封劑層150上方、封裝密封劑層150之窗或其他成型特徵內、或以其他方式形成或安置。
黏著劑層120及封裝密封劑層150可包括多種材料。在較佳實施例中,黏著劑層120及封裝密封劑層150中之一者或兩者包含可撓性材料,例如,可撓性聚合材料。黏著劑層120及封裝密封劑層150可由相同材料或不同材料組成。黏著劑層120及/或封裝密封劑層150可包括聚矽氧、聚胺基甲酸酯、或其他聚合物、橡膠或其他可撓性、彈性或其他軟材料。黏著劑層120及/或封裝密封劑層150可包括經指定以抵抗或以其他方式恢復由身體可安裝裝置100可暴露之環境所引發之損壞的材料。舉例而言,黏著劑層120及/或封裝密封劑層150可由耐受由紫外輻射、高pH、低pH、生物環境或一些其他環境條件所引起之損壞、惡化、開裂、解聚合或其他過程之材料組成。另外,封裝密封劑層150之材料可為非常軟及/或可撓性非常大之材料(例如,具有低肖氏硬度(Shore hardness)之材料)及/或可對電子組件140、145、金屬跡線130及/或黏著劑層120具有高黏著力(例如,高剝離強度),使得封
裝密封劑層150在經歷顯著應變時可維持黏著至電子組件140、145、金屬跡線130及黏著劑層120。特定而言,封裝密封劑層之肖氏硬度可小於約35,較佳地約30與約35之間。封裝密封劑層對電子組件140、145、金屬跡線130及/或黏著劑層120之黏著力可提供大於約30磅/平方吋,較佳地約30磅/平方吋與約55磅/平方吋之間的剝離強度。
在較佳實施例中,黏著劑層120及封裝密封劑層150均由聚矽氧形成,使得身體可安裝裝置100之金屬跡線130、電子組件140及/或其他組件由連續的封裝聚矽氧層封裝。此類聚矽氧較佳具有彈性,使得其足夠軟以產生應變而不施加足以失去對電子組件140、145、金屬跡線130及/或黏著劑層120之黏著力的內應力(例如,使得其具有低肖氏硬度)。在一些實例中,黏著劑層120及/或封裝密封劑層150可具有各別指定厚度,例如,黏著劑層120可具有約2微米與約20微米之間的厚度。
在一些實例中,基板110及黏著劑層120可由相同材料形成。在此等實例中,基板110及黏著劑層120可形成為單層;亦即,基板110及黏著劑層120可彼此不分離。舉例而言,基板110及黏著劑層120可由熱塑性材料(例如,液晶聚合物)組成。在此等實例中,可加熱熱塑性材料以便將金屬箔黏著至熱塑性材料。隨後可修改(例如,藉由蝕刻)此類金屬箔,從而形成金屬跡線130。
如圖1A及圖1B中所展示,身體可安裝裝置100包括安置於可撓性基板110之一側上之金屬跡線130、電子組件140及其他元件。然而,如本文中所描述之實施例可包括黏著劑層、金屬跡線、電子組件、感測器、電極、封裝密封劑層及/或其他元件安置於可撓性基板之兩側上的裝置。此類裝置可包括通孔或其他所形成之元件以提供穿過可撓性基板之電連接(例如,形成於可撓性基板之相對側上之金屬跡線之間的電連接)。可提供封裝密封劑層以完全或部分封裝安置於此類身
體可安裝裝置之可撓性基板之一側或兩側上之金屬跡線或其他組件。舉例而言,電子組件、感測器、電極及其他組件可安置於可撓性基板之第一側上,該可撓性基板經組態以安裝至皮膚表面(例如,使得當可撓性基板安裝至皮膚時,安置於可撓性基板之第一側上之感測器可偵測使用者之生理學特性)。顯示器、電容式觸摸感測器電極、指示器燈或其他使用者介面元件可安置於可撓性基板之第二側上。封裝密封劑層可形成於此類裝置之兩側上以完全封裝可撓性基板之第二側上之使用者介面組件且部分封裝可撓性基板之第一側上之組件(例如,封裝除安置於可撓性基板之第一側上之一或多個電極或其他感測器元件外的所有金屬跡線及/或電子組件)。
如本文中所描述之身體可安裝裝置可包括經組態以提供身體可安裝裝置之多種功能及應用之使用者介面。在一些實例中,使用者介面可提供用於改變或設定身體可安裝裝置之操作狀態及/或用於使身體可安裝裝置執行一些功能的構件。舉例而言,使用者介面可提供讓使用者使身體可安裝裝置執行以下操作之構件:使用感測器執行生理學特性之量測,將身體可安裝裝置設定成睡眠或其他低功率狀態,設定感測器偵測生理學特性之操作之速率,或控制身體可安裝裝置之操作或功能之一些其他態樣。在一些實例中,使用者介面可提供用於將校準或其他資料輸入至身體可安裝裝置(例如,用於輸入與感測器偵測生理學特性之操作相關之校準資料)之構件。另外地或可替代地,使用者介面可提供用於輸入關於身體可安裝裝置之使用者的狀態之資訊之構件,以例如指示使用者之身體或精神狀態,指示使用者之活動,指示使用者已經用過餐或吃過藥,或指示一些其他資訊。使用者介面可提供用於向使用者提供資訊之指示之構件,舉例而言,關於身體可安裝裝置之操作之資訊(例如,電池電荷狀態、空閒記憶體之量)、所偵測到之生理學特性(例如,使用感測器偵測到之葡萄糖含
量),或身體可安裝裝置可獲得之一些其他資訊。
身體可安裝裝置之輸入組件可經組態以藉由偵測身體可安裝裝置及/或身體可安裝裝置之環境之多種物理特性來偵測多種輸入。輸入組件可經組態以偵測聲音(例如,語音命令)、裝置之運動(例如,包括身體可安裝裝置所安裝之皮膚表面之運動之示意動作)、身體可安裝裝置與手指或使用者身體之其他部分之間的接觸,或一些其他輸入。舉例而言,輸入組件可經組態以偵測位置、運動、壓力、示意動作或關於靠近身體可安裝裝置之物件(例如,手指或其他身體部位)之其他資訊。輸入組件可包括經組態以偵測單個觸摸、多個觸摸、示意動作、滑移(swipe)或其他輸入之電容式觸摸感測器。輸入組件可為及/或可包括可撓性組件(例如,包含由一或多層或片可撓性導電材料及一或多片可撓性非導電材料形成之一或多個電極的電容式觸摸感測器)。在一些實例中,輸入組件可包括與感測器相同之一或多個元件。舉例而言,身體可安裝裝置之感測器可經組態以偵測身體可安裝裝置所安裝之皮膚表面之溫度;另外,溫度感測器可用於藉由偵測使用溫度感測器偵測到之溫度隨時間之變化來偵測輸入(例如,身體可安裝裝置與手指或其他物件之間的接觸)。
身體可安裝裝置之輸出組件可經組態以經由多種構件提供多種不同類型之資訊之指示。輸出組件可提供與身體可安裝裝置之操作狀態相關之指示(例如,提供與裝置之電池電荷狀態或空閒記憶體空間相關之指示,提供與裝置之操作模式或狀態相關之指示)及/或與使用感測器偵測到之生理學特性相關之指示(例如,提供與使用感測器偵測到之葡萄糖含量相關之指示)。輸出組件可用於提供與使用者可採取之動作過程相關之指示(例如,以投與藥物,以尋找醫療輔助)。輸出組件可用於提供與由身體可安裝裝置產生之警示(例如,所量測生理學特性超出一些指定限制的警示,及使用者正經歷或將要經歷不利
健康狀態之警示)相關之指示。輸出組件可包括發光元件(例如,LED、OLED、顯示器)、變色元件(例如,電子墨水元件或顯示器、LCD)、觸覺元件(例如,振動器、蜂鳴器、電觸覺元件)、聲學元件(例如,蜂鳴器、揚聲器)或經組態以向例如使用者提供一些資訊之指示的一些其他元件。輸出組件可包括可撓性元件,例如,輸出組件可包括可撓性OLED顯示器。
如本文中所描述之身體可安裝裝置可包括經組態以偵測多種生理學特性及/或身體可安裝裝置之環境之特性的多種感測器。在一些實例中,感測器可包括分析物感測器,其經組態以偵測感測平台所安裝及/或以其他方式置放成與(例如,皮膚內或皮膚下之間質液)接觸之皮膚表面或其他身體表面上或表面內之流體中之分析物(例如,葡萄糖)。在此等實例中,感測器可包括經組態以電化學地(例如,電位分析地或電流分析地使用例如電極135)、光學地(例如,藉由照射及/或偵測自具有與分析物相關之光學性質之分析物敏感性物質(例如,160)所發射之光)或藉由一些其他方式偵測分析物之兩個或兩個以上電極。一或多個感測器可偵測該裝置所暴露的皮膚或一些其他環境上或其內之溫度。一或多個感測器可經組態以偵測電場或磁場、該裝置所暴露的皮膚或一些其他環境上或其內之兩個點之間的電位(例如,偵測肌電圖、偵測心電圖、偵測電流皮膚電位)、兩個或兩個以上點之間的電導率(例如,偵測皮膚電反應、偵測皮膚電導率)、或皮膚上或皮膚內及/或裝置之環境中之一些其他電及/或磁特性或變數。一或多個感測器可經組態以偵測及/或發射光,例如,以照射及/或偵測自皮膚或其他組織上或其內發射之光(例如,以光體積描記方式偵測皮膚內之血液之流動及/或偵測心跳之時序及/或速率),偵測藉由裝置所接收之環境光(例如,偵測裝置附近手指或其他身體部位之存在、運動或其他性質,例如以自使用者接收輸入)。涵蓋偵測額外或替代特
性或變數之額外或替代感測器。
感測器可安置於經組態以穿透皮膚或其他組織(例如,達到皮膚內之指定深度)之感測器探針(未展示)上,使得感測器可量測皮膚或其他組織內之流體中之分析物。此類感測器探針可經組態以刺入組織內達到指定深度(例如,達到真皮內之深度、皮下深度),使得安置於感測器探針上之至少一個感測器可量測指定深度處之流體(例如,間質液)中之分析物。感測器探針可為可撓性或剛性的;在一些實例中,感測器探針可包含可撓性基板材料110之細長延伸部。感測器探針可經組態以刺穿皮膚或其他組織(例如,其剛性及/或尖銳性可足以使得感測器探針可推至皮膚中)。另外地或可替代地,感測器探針可經組態以結合插入裝置刺穿及/或穿透皮膚或其他組織。舉例而言,感測器探針可經組態以安裝於半針或用於刺穿組織之一些其他構件之通道內;半針或其他刺穿構件可用於刺穿組織且隨後收回,留下感測器探針位於穿過組織之位置。一或多個感測器可安置於此類感測器探針之末端及/或沿此類感測器探針之長度之一或多個其他位置處。
如本文中所描述之身體可安裝裝置(例如,100)可包括電源、電子組件及天線,所有皆安置於可撓性基板上,該可撓性基板經組態以安裝至生物體之皮膚或鄰近身體之一些其他表面或組織或其他所關注環境安裝或以其他方式安置。電子組件可根據應用操作一或多個感測器(例如,安置於感測器探針之末端之感測器)以執行分析物之量測(例如,量測皮膚內或皮膚下之間質液中之分析物之濃度)或操作一些其他組件以執行一些其他功能(例如,接收使用者輸入、偵測裝置之環境之特性)。電子組件可另外操作天線以將來自感測器之量測結果或其他資訊無線通訊至外部讀取器或經由天線通訊至一些其他遠端系統。裝置之電源、天線、電子組件或其他組件中之一或多者可為可撓性的;舉例而言,電源可包括薄的可撓性鋰離子電池。在一些實例
中,裝置之電源、天線、電子組件或其他組件中之一或多者的可撓性可足以得到能夠安裝至皮膚或其他組織及/或安裝在皮膚或其他組織內之整體裝置及/或裝置之元件之可撓性(例如,以提供較大舒適度及/或將安裝至使用者之皮膚或其他組織及/或其內時對使用者活動的影響降到最低)。
如本文中所描述之感測平台之電池可為一次性或可再充電的。可再充電電池可由自安置於可撓性基板上之天線收集之射頻能量所提供之電力來再充電。天線可配置為具有連接至電子組件之導線之導電材料環。在一些實施例中,此類環形天線亦可藉由修改環形天線之阻抗以便修改來自天線之反向散射輻射而將資訊(例如,使用感測平台之感測器作出的分析物之量測)無線通訊至外部讀取器(例如,蜂巢式電話)。另外地或可替代地,感測平台可包括用於傳輸及/或反射RF能量以向外部讀取器指示資訊之晶片、偶極子或其他類型之天線。另外,此類天線可用於傳輸額外資訊,例如,以指示藉由感測平台所偵測到之溫度、光級或其他資訊,以自外部裝置接收命令或程式,或提供一些其他功能。
應注意,儘管本文所描述之實施例一般描述為經組態以安裝至身體表面及/或以其他方式在接近人或動物身體之一部分時使用以偵測此類身體之性質及/或執行一些其他功能,但本文所描述之實施例可用於在其他情況下執行其他功能。舉例而言,本文所描述之實施例可提供可撓性感測平台或其他可撓性電子器件,其經組態以在腐蝕性流體、導電流體、潮濕環境或可以其他方式影響電子組件之操作之環境中操作,以其他方式影響電子組件之操作例如藉由在電子組件之元件(例如,金屬跡線)之間提供短接導電路徑,藉由腐蝕或以其他方式降解電子組件之元件(例如,藉由腐蝕金屬跡線、積體電路板或電子組件之其他金屬元件)。此等實施例藉由將金屬跡線、積體電路封裝
體、天線、電池或其他組件完全或部分封裝於密封劑層內,例如聚矽氧(例如,彈性聚矽氧)黏著劑層內來提供此類功能性。此等實施例可進一步包括安置於上面亦形成有封裝密封劑層且此類密封劑層所黏著之黏著劑層(例如,聚矽氧黏著劑層)上的此類組件。此類可撓性電子裝置可經組態以使用一或多個感測器偵測一或多種特性(例如,流體中之分析物之濃度),識別可撓性電子裝置及/或此類裝置所安裝之物件(例如,經由RFID或其他無線通訊協定),或在自然環境(例如,沼澤、湖泊、溪流)、人造環境(例如,水處理製程、貨櫃船之貨艙)、藥物合成製程環境(例如,反應器容器之流體內)、食品加工環境(例如,混合容器內)或一些其他環境中提供一些其他功能。
應理解,以上實施例及本文描述之其他實施例係出於解釋之目的提供,且不意欲為限制性的。
如本文中所描述之身體可安裝裝置可藉由多個製程形成。圖2A至圖2E以橫截面展示製造身體可安裝裝置時該裝置之元件。所說明之身體可安裝裝置之製造製程,及結合此類製程之執行所描述之任何步驟或方法預期為身體可安裝裝置之製造之說明性實例且不意欲為限制性的。
圖2A以橫截面展示可撓性基板210。在可撓性基板上安置黏著劑層220,在黏著劑層220上安置金屬層230。此等元件可藉由一或多個製程藉由以下步驟形成:將黏著劑層220沈積於可撓性基板210上,將金屬層230沈積於黏著劑層220上,在黏著劑層220上形成可撓性基板210,及/或將黏著劑層220沈積於金屬層230上。此類製程可包括噴塗、旋塗、化學氣相沈積、物理氣相沈積、固化(例如,熱固化、紫外線固化)或一些其他沈積製程。在一些實例中,層(例如,210、220、230)中之一或多者可以薄片形式提供且該一或多個層可經壓製
在一起或以其他方式成型(例如,使用黏著劑,例如,黏著劑層220及/或可成型為黏著劑層220之黏著劑)為圖2A中所展示之結構。舉例而言,金屬層230及可撓性基板210可以可塗覆(例如,藉由噴塗、藉由浸塗、藉由旋塗)黏著劑之材料薄片(例如,金屬箔及聚醯亞胺、聚對苯二甲酸伸乙酯或一些其他聚合物、橡膠或其他可撓性材料之薄片)形式提供,使得金屬層230及可撓性基板210可藉由黏著劑層220黏著在一起,如圖2A中所展示。在一些實例中,黏著劑層220可由壓敏黏著劑層形成(例如,黏著劑層220可由包括增黏性元件或已經以其他方式經組態為壓敏式之聚矽氧片形成),且圖2A中所展示之結構可藉由將金屬箔及可撓性基板210抵靠著黏著劑層220之相對側相壓製而形成。
在一些實例中,黏著劑層220可由熱塑性材料(例如,液晶聚合物)組成。在此等實例中,可加熱熱塑性材料以便將金屬箔(形成金屬層230)黏著至熱塑性材料。此可呈經加熱以黏著至金屬箔之熱塑性材料之薄片形式。或者,熱塑性材料可以熔化物形式塗覆至金屬箔(例如,經由旋塗),從而在金屬層230上形成黏著劑層220。在一些實例中,基板210及黏著劑層220可由相同材料(例如,相同熱塑性材料)形成。在此等實例中,基板210及黏著劑層220可形成為單層;亦即,基板210及黏著劑層220可彼此不分離。
圖2B以橫截面展示在金屬層230已成型為金屬跡線235之後圖2A之可撓性基板210及黏著劑層220。所形成之金屬跡線235經組態(例如,具有形狀、大小、厚度、組成、傳導性)以提供一或多個電子組件之間的電連接。金屬層230可藉由多種方法成型為金屬跡線235。在一些實例中,可塗覆光阻劑且用光圖案化以暴露金屬層230之區域,隨後可移除(例如,藉由化學蝕刻製程)該區域,留下金屬層230之未暴露區域,形成金屬跡線235。在一些實例中,可使用雷射、離子
束、雕刻器或其他構件來移除金屬層230之區域,形成金屬跡線235。另外,由金屬層230形成金屬跡線235可包括形成天線、電化學及/或電生理學電極、電接觸板、電容式觸摸感測器電極或其他形狀或結構。
圖2C以橫截面展示在電子組件(例如,控制器280、感測器240)已經安置於金屬跡線235上之後圖2B之可撓性基板210、黏著劑層220及金屬跡線235。電子組件240、280可藉由取置機(pick-and-place machine),藉由自組裝或藉由一些其他方法安置於金屬跡線上。將電子組件240、280安置於金屬跡線235上可包括例如藉由焊接,藉由在金屬跡線235與電子組件240、280之間施加壓力,藉由線結合,藉由使用導電材料(例如,導電液晶、導電環氧樹脂),藉由回焊金屬跡線235或藉由一些其他方式而將電子組件240、280電連接附接至金屬跡線235。
將分析物敏感性物質245安置於電子組件之感測器240上。分析物敏感性物質245為與流體中之分析物或其他成分(例如,蛋白質、細胞、離子)或所關注之其他環境選擇性地相互作用(例如,與其結合、與其複合、與其反應、催化其反應),使得感測器240可偵測(例如,光學地、電化學地)所關注之分析物的物質(例如,蛋白質、螢光團、適體、抗體、離子載體)。另外地或可替代地,金屬跡線235可形成一或多個電極(例如,藉由用金、銀、鉑或一些其他物質電鍍,藉由氧化而電化學活化,或藉由一些其他製程)且此類分析物敏感性物質可接近此類所形成電極安置。可將此類分析物敏感性物質安置於感測器240上或一些其他組件上,隨後將感測器240或其他組件安置於金屬跡線上。另外地或可替代地,可在將電子組件安置於金屬跡線上之後,在由金屬層230形成金屬跡線235之後,在由金屬層230形成金屬跡線235之前,或在身體可安裝裝置之製造過程中之一些其他時刻,將分
析物敏感性物質安置於感測器240上或一些其他組件上,如圖2A至圖2E中所展示。
圖2D以橫截面展示在已經形成封裝密封劑層250之後圖2C之可撓性基板210、黏著劑層220、金屬跡線235、分析物敏感性物質245及電子組件240、280。形成封裝密封劑層250以黏著至黏著劑層220且至少部分封裝金屬跡線235及電子組件240、280,例如,藉由塗佈及黏著至金屬跡線235及電子組件240、280之表面。此可包括塗佈及黏著至金屬跡線235及電子組件240、280之表面,使得金屬跡線235及電子組件240、280之表面附近基本上不存在可能沈積、冷凝或以其他方式積聚水蒸汽或其他材料(例如,已從封裝密封劑層250所暴露之流體滲透穿過密封劑層250的材料)的空隙或體積的封裝密封劑層250。
在一些實例中,封裝密封劑層250可形成為保形密封劑層,在上面安置有密封劑層之彼等表面上具有基本上均勻之厚度(例如,在由封裝密封劑層250封裝之黏著劑層220、金屬跡線235、分析物敏感性物質245及電子組件240、280之表面上)。可形成此類保形密封劑層以具有指定厚度,例如,保形密封劑層可具有約5微米與約200微米之間的厚度。在一些實例中,封裝密封劑層250可形成為平坦化密封劑層,在上面安置有密封劑層250之彼等表面上相對於黏著劑層220具有基本上均勻之高度。封裝密封劑層250可以一些其他方式來組態。
形成封裝密封劑層250可包括將前驅體材料(例如,包括可形成封裝密封劑層250之聚矽氧、橡膠或其他材料之單體或其他化學物質的溶液、蒸氣或其他材料)沈積於黏著劑層220、金屬跡線230、電子組件240、280及分析物敏感性材料245上。此類前驅體材料可包括液體聚矽氧黏著性橡膠,例如,Dow Corning 3140。在一些實例中,前驅體可為光可圖案化的液體聚矽氧黏著性橡膠,例如Dow Corning WL-5150,用於提供用於經由微影或其他方法產生穿過封裝密封劑層250
之窗之構件,例如,使得可暴露出分析物敏感性物質245或一些其他感測器。沈積前驅體材料可包括噴塗前驅體材料,將可撓性基板210及附著於其上之元件浸塗至前驅體材料中,經由化學氣相沈積或物理氣相沈積塗覆前驅體材料,經由旋塗製程塗覆前驅體材料(例如,使得所形成之密封劑層形成相對於黏著劑層220具有指定均勻高度之平坦化層),或經由一些其他製程塗覆前驅體材料。形成封裝密封劑層250可另外包括固化此類經沈積之前驅體材料,例如,藉由將前驅體材料暴露於可控溫度,藉由將前驅體材料暴露於可控濕度,藉由將前驅體材料暴露於紫外線輻射,藉由將前驅體材料暴露於固化劑(例如,聚合引發劑),或藉由一些其他方式。形成封裝密封劑層250可包括其他步驟。在一些實例中,形成封裝密封劑層250可包括將可撓性基板210及安置於其上之組件暴露於經組態以增大封裝密封劑層250對此類組件之黏著力的試劑(例如,藉由暴露於黏著材料,藉由暴露於清潔溶液或清潔電漿)。
圖2E以橫截面展示已經在封裝密封劑層250中形成至少一個窗260之後圖2D之可撓性基板210、黏著劑層220、金屬跡線235、分析物敏感性物質245、電子組件240、480及封裝密封劑層250。其結果為,封裝密封劑層250不封裝安置於感測器240上之分析物敏感性物質245。窗260可以多種方式形成。在一些實例中,窗260可藉由使用例如雷射、離子束、研磨劑及/或切割工具剝蝕封裝密封劑層250之一部分,或藉由一些其他方式來形成。舉例而言,封裝密封劑層250可由聚矽氧組成且可使用具有經指定以由聚矽氧之鍵吸收之波長的雷射剝蝕,例如,雷射可為經組態以發射約355奈米之光的短脈衝雷射。
在一些實例中,窗260可藉由化學蝕刻封裝密封劑層250之一部分而形成。蝕刻可包括形成抗蝕劑以保護封裝密封劑層250中並非待蝕刻區之區域,例如,藉由暴露於化學浴液,暴露於電漿,或暴露於
一些其他蝕刻構件。蝕刻可包括溶解或以其他方式蝕刻封裝密封劑層250之已經指定之部分,例如,在形成封裝密封劑層250期間。舉例而言,封裝密封劑層可由光可圖案化前驅體材料(例如,Dow Corning WL-5150)形成且可將封裝密封劑層250中並非待蝕刻區之區域暴露於紫外光或其他輻射,以例如開始光可圖案化材料之交聯及/或聚合;隨後,可例如藉由沖洗掉封裝密封劑層250之未暴露部分來蝕刻封裝密封劑層250中未以此方式固化之區域。
應注意,儘管分析物敏感性物質245經展示為在形成封裝密封劑層250之前安置於感測器240上,但此類物質可按此類步驟之前或之後的步驟之一部分安置。舉例而言,分析物敏感性物質可在將電子組件240、280安置於金屬跡線235上之前安置於電極上,該等電極由金屬跡線235形成及/或沈積或以其他方式形成於金屬跡線235上。在一些實例中,分析物敏感性物質可在形成此類窗之後安置於封裝密封劑層250中所形成之窗(例如,260)內(例如,藉由在所形成之窗中以液體形式沈積且隨後例如固化、聚合、交聯、乾燥或以其他方式成型為分析物敏感性材料)。另外,分析物敏感性物質可安置於封裝密封劑層250之表面上,例如使封裝密封劑層250與光學感測器相對,該光學感測器經組態以偵測(例如,藉由所發射之光照及回應性地偵測所發射之螢光)與分析物敏感性物質所暴露之分析物之濃度或其他特性相關的分析物敏感性物質之光學特性。
製造關於圖2A至圖2E所描述之身體可安裝裝置之製程可包括額外步驟。舉例而言,此類製程可包括藉由使用雷射、印模或一些其他構件將裝置之可撓性基板210及/或其他元件切割成指定形狀來控制身體可安裝裝置之形狀。在一些實例中,身體可安裝裝置中之一或多者可形成於可撓性基板210之薄片上且指定身體可安裝裝置之形狀可包括自可撓性材料之此類薄片切割身體可安裝裝置(例如,藉由使用雷
射、印模或用以將可撓性基板切割成指定形狀的其他構件)。此類指定形狀可根據應用來指定。在一些實例中,所指定形狀可包括上面安置感測器(例如,包括兩個或兩個以上電極之電化學感測器)且經組態以穿透皮膚或其他組織之細長部分。在一些實例中,此類所指定形狀可為環形、圓形、弧形或經指定以至少部分嵌入於眼鏡片中之其他形狀,該眼鏡片例如經組態以安裝至眼睛,使得所形成之身體可安裝裝置之感測器可暴露於眼睛之淚液及/或使得所形成之身體可安裝裝置可執行與眼睛相關之一些功能。在一些實例中,黏著劑層220及/或基板210可包括熱塑性材料(例如,液晶聚合物)且製程可進一步包括一或多個步驟以藉由向熱塑性材料施加熱而使此類熱塑性材料退火。可執行此類退火以減小基板210及/或黏著劑層220之翹曲,減小基板210及/或黏著劑層220中之應力,或提供一些其他益處。
應注意,儘管圖2A至圖2E中所形成之身體可安裝裝置包括安置於可撓性基板之單側上之黏著劑層、金屬跡線、電子組件及封裝密封劑層,但本文中所描述之身體可安裝裝置可包括安置於可撓性基板之兩側上之黏著劑層、金屬跡線、電子組件及封裝密封劑層中之一或多者。在此等實例中,可包括通孔或其他元件以提供可撓性基板之相對側上之金屬跡線、電子組件、感測器或其他元件之間的電連接。另外,身體可安裝裝置可包括安置於可撓性基板之單側上之多層金屬跡線或其他元件。在一些實例中,基板210及黏著劑層220可由相同材料形成及/或可形成單個連續元件。
在一些實例中,複數個身體可安裝裝置可由一卷材料製造,例如,一卷可撓性基板、一卷藉由黏著劑層黏著金屬層之可撓性基板或一卷某些其他材料。在此等實例中,用於製造複數個身體可安裝裝置之一或多個製程可藉由展開這樣一卷材料,執行一或多個製程及將材料上之複數個部分成型之身體可安裝裝置捲至第二捲筒上來執行。製
造複數個身體可安裝裝置之進一步處理可包括展開材料上部分成型之身體可安裝裝置之第二捲筒且對部分成型之身體可安裝裝置執行一或多個其他製程。
圖3說明此類卷軸式製造製程。第一捲筒330包括第一複數個部分成型之身體可安裝裝置320。上面安置有第一複數個裝置320之第一捲筒330之材料(例如,可撓性基板材料)自第一捲筒330脫落且經由處理台350傳遞。處理台350對第一複數個裝置320執行一或多個製造步驟,形成第二複數個部分成型之身體可安裝裝置325。第二複數個部分成型之身體可安裝裝置325及上面安置有第一複數個裝置325之材料(例如,可撓性基板材料)捲至第二捲筒340上。
如圖3中所展示,處理台350包括經組態以用材料(例如用經組態以成型為封裝密封劑層之前驅體材料、經組態以形成分析物敏感性物質之液體)塗佈第一複數個部分成型之身體可安裝裝置320之噴塗器。然而,處理台350可包括經組態以對第一複數個部分成型之身體可安裝裝置320執行額外或替代處理步驟之額外或替代系統或裝置。在一些實例中,處理台350可包括光微影系統、蝕刻系統、剝蝕雷射或用於圖案化金屬層以形成金屬跡線(例如,經組態以提供電子組件之間的電連接之金屬跡線,經組態以充當例如電化學感測器、電容式觸摸感測器之電極的金屬跡線)之其他構件。在一些實例中,處理台350可包括一或多個取置機、紅外回焊爐或用於將電子組件或其他組件安置於可撓性基板上所形成之金屬跡線上之其他構件。在一些實例中,處理台350可包括化學蝕刻劑、剝蝕雷射或用於在所形成之封裝密封劑層中形成一或多個窗之其他構件。在一些實例中,處理台350可包括切割雷射、印模或用於將安置於可撓性材料上之複數個身體可安裝裝置切割成指定形狀之其他構件。處理台350可包括用於對部分成型之身體可安裝裝置執行額外或替代處理步驟之額外或替代構件。
在一些實例中,可對部分成型之身體可安裝裝置執行與身體可安裝裝置之卷軸式處理相關之一或多個處理步驟。舉例而言,身體可安裝裝置可由包含藉由黏著劑層黏著於可撓性基板之金屬層之材料薄片形成。在此等實例中,金屬層可經經蝕刻或以其他方式圖案化以形成金屬互連件。在此等實例中,藉由移除金屬層之部分以形成金屬跡線而暴露之黏著劑層之黏性可例如藉由將黏著劑層暴露於氧電漿或一些其他材料而減小。另外地或可替代地,黏著劑層可由具有低黏性之材料組成。
圖4為用於製造裝置之方法400之流程圖。方法400包括在金屬層中形成跡線(410),該金屬層安置於黏著劑層上,該黏著劑層安置於可撓性基板上。此操作可包括使用光微影、壓模或其他技術在金屬層上形成圖案化抗蝕劑(例如,乾式層壓型抗蝕劑,如Dupont Riston乾式抗蝕劑)且隨後使用所形成之抗蝕劑,例如使用化學蝕刻劑、電漿或離子蝕刻或一些其他蝕刻構件,將跡線蝕刻於金屬層中。在金屬層中形成跡線(410)可包括使用離子束、雷射或其他定向能量來剝蝕金屬層區域,形成跡線。在金屬層中形成跡線(410)可包括自金屬層形成天線、電極(例如,電化學電極、電生理學電極、電容式觸摸感測電極)、顯示器之元件(例如,LCD、電子紙或其他顯示器之電極)或其他結構。在其中在金屬層中形成跡線(410)包括形成電化學電極的實例中,方法400可進一步包括藉由電鍍、化學氣相沈積、物理氣相沈積、噴塗、浸塗、旋塗、固化或一些其他製程或製程之組合在電極上形成電化學介面層(例如,由一或多種指定材料形成之層,該一或多種指定材料例如金、鉑、銀、氯化銀、鈦、鋼、聚吡咯或其他導電聚合物或其他金屬或材料)。
方法400另外包括將一或多個電子組件安置於所形成之跡線上
(420)。此操作可包括使用用於定位電子組件之取置機,使用用於定位電子組件之自組裝或用於安置一或多個電子組件的一些其他手段或方法,將電子組件人工地安置於所形成之跡線上之各別不同位置處且將此類電子裝置進一步電連接至跡線。將一或多個電子組件安置於所形成之跡線上(420)可包括將助熔劑、焊料、各向異性導電材料、導電環氧樹脂或其他材料安置於金屬跡線上,使得電子組件可例如藉由回焊焊料,藉由固化導電環氧樹脂或藉由一些其他手段或方法電連接至金屬跡線。
方法400另外包括形成經組態以黏著至黏著劑層且至少部分封裝跡線及一或多個電子組件之封裝密封劑層(430)。此操作可包括將前驅體材料(例如,液體聚矽氧黏著性橡膠,例如,Dow Corning 3140)沈積於黏著劑層、金屬跡線及/或一或多個電子組件上且隨後固化所沈積之前驅體材料。沈積前驅體材料可包括藉由一些其他手段或方法噴塗、浸塗、旋塗或沈積前驅體材料。固化所沈積之前驅體材料可包括乾燥該材料,將該材料暴露於紫外線輻射或一些其他能量,將該材料暴露於具有指定溫度、濕度或其他指定特性之環境,將該材料暴露於固化劑(例如,自由基聚合引發劑),或藉由一些其他手段或方法使所沈積之前驅體材料成型為保形封裝密封劑層、平坦化封裝密封劑層或一些其他形式之封裝密封劑層。
方法400可包括除圖4中所說明之彼等步驟或元件外的額外步驟或元件。舉例而言,方法400可包括在可撓性基板上形成一或多個感測器。形成感測器可包括安置電子組件(例如,形成於個別基板上之光發射器、光偵測器、轉換器、電化學電極),由金屬層及/或由黏著劑層上所形成之跡線形成電極,安置分析物敏感性材料,或將其他元件安置或形成於藉由方法400所形成之裝置之可撓性基板上及/或一些其他元件上。此類所形成之感測器可包括分析物敏感性材料,亦即,
選擇性地與分析物(例如,離子、細胞、蛋白質、抗體、化學物質)相互作用(例如,與其結合、與其複合、與其反應、催化其反應)之材料,且方法400可包括將此類分析物敏感性材料沈積或形成於例如電極上、接近光纖、接近光感測器或根據一些其他應用。方法400可包括形成窗或進入/穿過所形成之封裝密封劑層之其他通道,例如,以將電極、分析物敏感性材料或其他感測器組件暴露於藉由方法400所形成之裝置之環境中。此操作可包括剝蝕所形成之封裝密封劑層之區域(例如,使用雷射,使用離子束,使用剝蝕工具),選擇性地固化封裝密封劑層之所沈積前驅體材料之區域(例如,藉由使光可圖案化前驅體材料之區域選擇性曝光),或使用一些其他手段或方法。在一些實例中,黏著劑層及/或基板可包括熱塑性材料(例如,液晶聚合物)且方法400可進一步包括一或多個步驟以藉由向熱塑性材料施加熱來使此類熱塑性材料退火。可執行此類退火以減小基板及/或黏著劑層之翹曲,減小基板及/或黏著劑層中之應力或提供一些其他益處。
方法400可包括將經由方法400形成之裝置之可撓性基板及/或其他元件切割成指定形狀,例如,使用雷射、印模或其他手段或方法。將裝置或其元件切割成指定形狀可包括使裝置成型為環、盤或其他形狀。在一些實例中,可指定所指定形狀以允許可撓性基板安裝至皮膚表面或身體之一些其他組織之表面。在一些實例中,可指定所指定形狀以允許可撓性基板併入至一些其他組件/裝置/系統中,例如,部分嵌入於經組態以安裝至眼睛表面之眼鏡片中。
方法400之步驟中之一或多者可作為卷軸式製造製程之一部分來執行。舉例而言,可在單張可撓性基板(或能夠捲起來及展開之其他材料)上形成複數個裝置且使其作為一個群組進行處理。舉例而言,可展開安置於一卷可撓性基板材料上之一組部分成型之裝置,可將封裝密封劑層前驅體噴塗或以其他方式沈積於該組部分成型之裝置上且
隨後使其固化(例如,藉由暴露於熱下),且可將上面由此形成封裝密封劑層之該組部分成型之裝置捲至第二捲筒上及/或使其經受其他處理步驟。在此等實例中,方法400可包括與卷軸式製程相關之額外步驟,例如,方法400可包括減小黏著劑層中藉由由金屬層形成跡線所暴露之區域之黏性。減小黏著劑層之暴露區域之黏性可包括將黏著劑層暴露於氧電漿或一些其他材料。另外地或可替代地,黏著劑層可由具有低黏性之材料組成。涵蓋方法400之額外及/或替代步驟。
100‧‧‧身體可安裝裝置
110‧‧‧可撓性基板
120‧‧‧黏著劑層
130‧‧‧金屬跡線
135‧‧‧電極
140‧‧‧電子組件
145‧‧‧電子組件/感測器
150‧‧‧封裝密封劑層
155‧‧‧窗
157‧‧‧窗
160‧‧‧分析物敏感性材料
Claims (13)
- 一種製造身體可安裝裝置之方法,其包含:將黏著劑層黏著至金屬箔,其中該黏著劑層係安置於可撓性基板上;在該金屬箔中形成跡線,其中形成該等跡線包含圖案化該金屬箔以提供一或多個電子組件之間的電連接;將一或多個電子組件安置於該等跡線上,其中將該一或多個電子組件安置於該等跡線上包含將該一或多個電子組件電連接至該等跡線;及形成封裝密封劑層,其中形成封裝密封劑層包含形成經組態以黏著至該黏著劑層且至少部分地封裝該等跡線及該一或多個電子組件之密封劑層。
- 如請求項1之方法,其中該封裝密封劑層包含彈性聚矽氧。
- 如請求項2之方法,其中該黏著劑層包含彈性聚矽氧。
- 如請求項1之方法,其中形成經組態以至少部分地封裝該等跡線及該一或多個電子組件之封裝密封劑層包含形成包括至少一個窗之封裝密封劑層,且進一步包含:藉由雷射剝蝕該所形成之封裝密封劑層之材料而在該所形成之封裝密封劑層中形成至少一個窗。
- 如請求項1之方法,其中形成經組態以至少部分地封裝該等跡線及該一或多個電子組件之封裝密封劑層包含形成包括至少一個窗之封裝密封劑層,且進一步包含:藉由化學蝕刻該所形成之封裝密封劑層之材料而在該所形成之封裝密封劑層中形成至少一個窗。
- 如請求項1之方法,其中形成封裝密封劑層包含: 將前驅體材料噴塗至該黏著劑層、跡線及一或多個電子組件上;及固化該經噴塗之前驅體材料。
- 如請求項1之方法,其進一步包含:使用雷射將該可撓性基板切割成指定形狀。
- 如請求項1之方法,其進一步包含:在形成該等跡線之後,將該黏著劑層暴露於氧電漿以減小該黏著劑層中藉由形成該等跡線所暴露之部分之黏性。
- 如請求項1之方法,其中該基板及該黏著劑層由相同材料形成,其中該基板及該黏著劑層包含熱塑性材料,其中將該黏著劑層黏著至該金屬箔包含向該基板及該黏著劑層之該熱塑性材料施加熱。
- 如請求項9之方法,其進一步包含:在將該金屬箔黏著至該黏著劑層之後,使該基板及該黏著劑層之該熱塑性材料退火,其中使該熱塑性材料退火包含向該熱塑性材料施加熱。
- 如請求項1之方法,其中形成封裝密封劑層包含形成經組態以黏著至該黏著劑層且至少部分地封裝該等跡線及該一或多個電子組件之保形密封劑層。
- 如請求項1之方法,其中形成封裝密封劑層包含形成以約30磅/吋與約55磅/吋之間的剝離強度黏著至該等金屬跡線及該一或多個電子組件之密封劑層。
- 如請求項1之方法,其中形成封裝密封劑層包含形成具有小於約35之肖氏硬度(Shore hardness)之密封劑層。
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Families Citing this family (8)
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---|---|---|---|---|
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EP3829901A1 (en) | 2018-08-02 | 2021-06-09 | Pirelli Tyre S.p.A. | Tyre comprising a monitoring device |
US11782013B2 (en) * | 2018-08-08 | 2023-10-10 | University Of Central Florida Research Foundation, Inc. | Sensor device with biopolymer-metal composite film and related methods |
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TWI771661B (zh) * | 2020-03-06 | 2022-07-21 | 摩爾應材有限公司 | 可撓性薄膜、眼睛鏡片、眼睛鏡片收納器、及其操作方法 |
FR3112933B1 (fr) * | 2020-07-31 | 2023-01-13 | Idmed | Capteur pupillaire pour détecter une taille ou une variation de taille ou de forme d’une pupille d’un œil d’un patient à travers une paupière supérieure |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102026724A (zh) * | 2008-05-13 | 2011-04-20 | Nxp股份有限公司 | 传感器阵列和制造传感器阵列的方法 |
US20120112347A1 (en) * | 2010-06-11 | 2012-05-10 | Helmut Eckhardt | Flexible electronic devices and related methods |
US20130127030A1 (en) * | 2011-11-18 | 2013-05-23 | Zhiwei Gong | Semiconductor device packaging having substrate with pre-encapsulation through via formation |
US20140107498A1 (en) * | 2012-10-17 | 2014-04-17 | Nokia Corporation | Wearable Apparatus and Associated Methods |
US20140178681A1 (en) * | 2011-09-14 | 2014-06-26 | 3M Innovative Properties Company | Methods of modulating tackiness |
US20140290054A1 (en) * | 2013-03-27 | 2014-10-02 | Google Inc. | Systems and Methods for Encapsulating Electronics in a Mountable Device |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1994024704A1 (en) * | 1993-04-12 | 1994-10-27 | Bolger Justin C | Area bonding conductive adhesive preforms |
US5355283A (en) * | 1993-04-14 | 1994-10-11 | Amkor Electronics, Inc. | Ball grid array with via interconnection |
US5776796A (en) * | 1994-05-19 | 1998-07-07 | Tessera, Inc. | Method of encapsulating a semiconductor package |
JP2833996B2 (ja) * | 1994-05-25 | 1998-12-09 | 日本電気株式会社 | フレキシブルフィルム及びこれを有する半導体装置 |
JPH08236586A (ja) * | 1994-12-29 | 1996-09-13 | Nitto Denko Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
US5990545A (en) * | 1996-12-02 | 1999-11-23 | 3M Innovative Properties Company | Chip scale ball grid array for integrated circuit package |
JPH11186462A (ja) * | 1997-12-19 | 1999-07-09 | Sony Corp | 半導体装置と電子機器 |
US6333565B1 (en) * | 1998-03-23 | 2001-12-25 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device and method of manufacturing the same, circuit board, and electronic instrument |
US6117797A (en) * | 1998-09-03 | 2000-09-12 | Micron Technology, Inc. | Attachment method for heat sinks and devices involving removal of misplaced encapsulant |
US6410415B1 (en) * | 1999-03-23 | 2002-06-25 | Polymer Flip Chip Corporation | Flip chip mounting technique |
JP2001156212A (ja) * | 1999-09-16 | 2001-06-08 | Nec Corp | 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 |
US6462568B1 (en) * | 2000-08-31 | 2002-10-08 | Micron Technology, Inc. | Conductive polymer contact system and test method for semiconductor components |
US20020167804A1 (en) * | 2001-05-14 | 2002-11-14 | Intel Corporation | Polymeric encapsulation material with fibrous filler for use in microelectronic circuit packaging |
US6793759B2 (en) * | 2001-10-09 | 2004-09-21 | Dow Corning Corporation | Method for creating adhesion during fabrication of electronic devices |
US7723162B2 (en) * | 2002-03-22 | 2010-05-25 | White Electronic Designs Corporation | Method for producing shock and tamper resistant microelectronic devices |
US6791168B1 (en) * | 2002-07-10 | 2004-09-14 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor package with circuit side polymer layer and wafer level fabrication method |
US7265045B2 (en) * | 2002-10-24 | 2007-09-04 | Megica Corporation | Method for fabricating thermal compliant semiconductor chip wiring structure for chip scale packaging |
US7005751B2 (en) * | 2003-04-10 | 2006-02-28 | Formfactor, Inc. | Layered microelectronic contact and method for fabricating same |
JP4536367B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2010-09-01 | 東レ・ダウコーニング株式会社 | ダイシングダイボンディング用シート及びその製造方法 |
US7790276B2 (en) * | 2006-03-31 | 2010-09-07 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Aramid filled polyimides having advantageous thermal expansion properties, and methods relating thereto |
US7657025B2 (en) * | 2006-07-17 | 2010-02-02 | Fortemedia, Inc. | Microphone module and method for fabricating the same |
EP2159201B1 (en) * | 2007-07-31 | 2011-10-19 | Central Glass Company, Limited | Laminated glass having plastic film inserted therein |
US8349721B2 (en) * | 2008-03-19 | 2013-01-08 | Stats Chippac, Ltd. | Semiconductor device and method of forming insulating layer on conductive traces for electrical isolation in fine pitch bonding |
US20090253232A1 (en) * | 2008-04-08 | 2009-10-08 | Gary Philip Thomson | Microwave Cure of Semiconductor Devices |
DE102010043871A1 (de) * | 2010-11-12 | 2012-05-16 | Tesa Se | Klebmasse und Verfahren zur Kapselung einer elektronischen Anordnung |
US9842798B2 (en) * | 2012-03-23 | 2017-12-12 | STATS ChipPAC Pte. Ltd. | Semiconductor device and method of forming a PoP device with embedded vertical interconnect units |
US8994176B2 (en) * | 2012-12-13 | 2015-03-31 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Methods and apparatus for package with interposers |
US8874182B2 (en) * | 2013-01-15 | 2014-10-28 | Google Inc. | Encapsulated electronics |
US9832902B2 (en) * | 2013-05-31 | 2017-11-28 | Elantas Pdg, Inc. | Formulated resin compositions for flood coating electronic circuit assemblies |
-
2016
- 2016-04-11 US US15/095,670 patent/US20160317068A1/en not_active Abandoned
- 2016-04-13 CN CN201680024962.8A patent/CN107533982A/zh active Pending
- 2016-04-13 WO PCT/US2016/027195 patent/WO2016176037A1/en active Application Filing
- 2016-04-29 TW TW105113549A patent/TWI688372B/zh active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102026724A (zh) * | 2008-05-13 | 2011-04-20 | Nxp股份有限公司 | 传感器阵列和制造传感器阵列的方法 |
US20120112347A1 (en) * | 2010-06-11 | 2012-05-10 | Helmut Eckhardt | Flexible electronic devices and related methods |
US20140178681A1 (en) * | 2011-09-14 | 2014-06-26 | 3M Innovative Properties Company | Methods of modulating tackiness |
US20130127030A1 (en) * | 2011-11-18 | 2013-05-23 | Zhiwei Gong | Semiconductor device packaging having substrate with pre-encapsulation through via formation |
US20140107498A1 (en) * | 2012-10-17 | 2014-04-17 | Nokia Corporation | Wearable Apparatus and Associated Methods |
US20140290054A1 (en) * | 2013-03-27 | 2014-10-02 | Google Inc. | Systems and Methods for Encapsulating Electronics in a Mountable Device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2016176037A1 (en) | 2016-11-03 |
US20160317068A1 (en) | 2016-11-03 |
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