TWI677680B - 外部觸發之線性相機檢測系統及其影像均勻度處理方法 - Google Patents

外部觸發之線性相機檢測系統及其影像均勻度處理方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI677680B
TWI677680B TW107129659A TW107129659A TWI677680B TW I677680 B TWI677680 B TW I677680B TW 107129659 A TW107129659 A TW 107129659A TW 107129659 A TW107129659 A TW 107129659A TW I677680 B TWI677680 B TW I677680B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
image
control signal
camera
motor
detection system
Prior art date
Application number
TW107129659A
Other languages
English (en)
Other versions
TW202009477A (zh
Inventor
許立誠
Li Cheng Hsu
陳建龍
Chien Lung Chen
Original Assignee
菱光科技股份有限公司
Creative Sensor Inc.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 菱光科技股份有限公司, Creative Sensor Inc. filed Critical 菱光科技股份有限公司
Priority to TW107129659A priority Critical patent/TWI677680B/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI677680B publication Critical patent/TWI677680B/zh
Publication of TW202009477A publication Critical patent/TW202009477A/zh

Links

Landscapes

  • Studio Devices (AREA)

Abstract

一種外部觸發之線性相機檢測系統,其包含輸送裝置、控制單元、具有影像感測器與影像處理器的線性相機以及光源單元。輸送裝置包含馬達與輸送帶。馬達具有編碼器,編碼器根據旋轉軸的位置提供位置信號。輸送帶由馬達驅動,以輸送待檢測物。控制單元接收位置信號,且根據位置信號提供相機控制信號。線性相機接收相機控制信號,對每一條影像提供相機控制信號的觸發時間。影像感測器產生每一條影像的像素資料,且傳送至影像處理器。影像處理器根據基準觸發時間長度與相機控制信號的觸發時間長度的比例值,補償每一條影像的像素資料的亮度值。

Description

外部觸發之線性相機檢測系統及其影像均勻度處理方法
本發明係有關一種相機檢測系統及其影像處理方法,尤指一種外部觸發之線性相機檢測系統及其影像均勻度處理方法。
自動光學檢測(automated optical inspection,AOI)為一種高速高精度光學影像檢測系統,其運用機器視覺做為檢測標準技術,作為改良傳統上以人力使用光學儀器進行檢測的缺點。
一般來說,在待測物件(例如半導體晶片)製作完成後,必須經過一道檢測流程,利用自動光學檢測裝置檢測待測物件的外觀,篩選排除外觀具有明顯瑕疵的物件。具體地,自動光學檢測係由光學檢測機台的運作來進行,在檢測過程中,係以光線照射待測物件,再透過影像感測器單元擷取待測物件照射後的影像來進行瑕疵的判斷。
在過去,自動光學檢測大多採用面掃描(area-scan)攝影裝置來截取待測物件的影像。面掃描攝影裝置主要包含鏡頭及攝影機,鏡頭的視野範圍將待測物件納入而進行拍攝。然而,面掃描攝影裝置的影像解析度受限於鏡頭和攝影機的解析度,故當視野範圍愈大,影像解析度愈差,且尚具有取像速度慢的缺點,故難以滿足產業需求。
相較於面掃描,線掃描(line-scan)具較佳的特色與優點包括:1、光源控制方面,線掃描較面掃描來得容易控制;2、線掃描可以作連續性的掃描,因此影像具有連續性;3、線掃描有利於高速移動或大寬度之待測物體的掃描;4、對於高解析度影像處理的應用,線掃描攝影機的成本較低;5、線掃描攝影機所擷取到的影像,具備較佳的動態取像範圍。
對於無快門線性相機在外部觸發模式恆亮的光源下,線性相機的影像感測器掃描觸發信號會由設置於馬達旋轉軸上的編碼器所產生。惟由於掃描平台所承受的力不同,使得掃描平台加、減速的運作導致馬達轉動的不穩定,而造成每一條影像曝光時間不完全相等,導致水平方向影像亮度不均勻。
請參見圖1所示,其係為現有技術之馬達速度變化的示意圖。圖1所示為掃描65條影像之下,因馬達不穩定的轉動,使得曝光時間會有所不同。舉例來說,當馬達相對轉速較快(與基準轉速相較為負值),使得掃描平台的水平移動速度增加,因此曝光時間變得相對比較短,而產生相對較暗的影像;反之,當馬達相對轉速較慢(與基準轉速相較為正值),使得掃描平台的水平移動速度降低,因此曝光時間變得相對比較長,而產生相對較亮的影像。故此,所產生的水平方向影像將呈現暗亮不均勻的狀況,因此增加待測物檢測的誤判機會。具體地,所述馬達於每一條(行)相對於基準轉速(基準觸發時間長度)的偏差說明如下:1、橫軸各點代表馬達所產生65條(行)掃描觸發信號每一條(行)的影像的不同時間點的位置。2、縱軸各點代表馬達於各條(行)相對於基準轉速所產生觸發時間的偏差。其中,如圖1所示,-18代表馬達所產生觸發時間為基準轉速所產生觸發時間”減18”,代表馬達相對轉速較快,又如19代表馬達所產生觸發時 間為基準轉速所產生觸發時間”加19”,代表馬達相對轉速較慢。其餘則依此類推,不再加以贅述。
此外,並非所有型態的AOI光源都能夠透過控制曝光時間來對水平影像的均勻度進行調整。因此如何設計出一種外部觸發之線性相機檢測系統及其影像均勻度處理方法,透過對影像像素進行補償,以達到對水平影像均勻度的處理,乃為本案發明人所欲行克服並加以解決的一大課題。
本發明之一目的在於提供一種外部觸發之線性相機檢測系統,解決由於馬達不穩定的轉動,使得所產生的水平方向影像呈現暗亮不均勻的問題。
為達成前揭目的,本發明所提出的外部觸發之線性相機檢測系統包含輸送裝置、控制單元、線性相機以及光源單元。輸送裝置包含馬達與輸送帶。馬達具有編碼器,連接於馬達的旋轉軸上;其中編碼器根據旋轉軸的位置提供位置信號。輸送帶由馬達驅動,以輸送待檢測物。控制單元接收位置信號,且根據位置信號提供相機控制信號。線性相機接收相機控制信號,對每一條影像提供相機控制信號的觸發時間。線性相機包含影像感測器與影像處理器。影像感測器根據相機控制信號,對待檢測物提供曝光取像的時間。影像處理器連接影像感測器。光源單元對待檢測物提供足夠的光源。影像感測器產生每一條影像的像素資料,且傳送至影像處理器。影像處理器根據基準觸發時間長度與相機控制信號的觸發時間長度的比例值,補償每一條影像的像素資料的亮度值。
於一實施例中,補償後影像的像素資料的亮度值等於補償前影像的像素資料的亮度值與比例值的乘積。
於一實施例中,相機控制信號的觸發時間長度係根據相應位置信號的馬達的轉速所設定。
於一實施例中,基準觸發時間長度係根據馬達的基準轉速所設定,且基準轉速係為馬達操作於每一條影像的像素資料的亮度值為目標亮度值時的轉速。
於一實施例中,控制單元為現場可程式化邏輯閘陣列單元、數位信號處理器、專用積體電路、微控制器、可程式系統單晶片之任一者。
於一實施例中,控制單元設置於工業電腦內。
於一實施例中,當相機控制信號的準位發生轉變後,在有效時間內準位再發生轉變時,相機控制信號則為無效的控制信號。
於一實施例中,影像感測器為電荷耦合元件的影像感測器、互補式金屬氧化半導體的影像感測器、接觸式影像感測器之任一者。
藉由所提出的外部觸發之線性相機檢測系統,能夠使得線性相機所擷取到水平方向影像的亮度是均勻的,進而提高待檢測物檢測的準確度。
本發明之另一目的在於提供一種外部觸發之線性相機檢測系統的影像均勻度處理方法,解決由於馬達不穩定的轉動,使得所產生的水平方向影像呈現暗亮不均勻的問題。
為達成前揭目的,本發明所提出的外部觸發之線性相機檢測系統的影像均勻度處理方法,所述外部觸發之線性相機檢測系統包含控制單元、具有影像感測器與影像處理器的線性相機以及光源單元,所述影像均勻度處理方 法包含:(a)、控制單元提供相機控制信號至線性相機,線性相機對每一條影像提供相機控制信號的觸發時間;(b)、線性相機的影像感測器接收相機控制信號,且根據相機控制信號對待檢測物提供曝光取像的時間;以及(c)、影像感測器產生每一條影像的像素資料,且傳送至線性相機的影像處理器;影像處理器根據基準觸發時間長度與相機控制信號的觸發時間長度的比例值,補償每一條影像的像素資料的亮度值。
於一實施例中,在步驟(c)中包含:將補償前影像的像素資料的亮度值乘上比例值以獲得補償後影像的像素資料的亮度值。
於一實施例中,外部觸發之線性相機檢測系統更包含馬達以及連接於馬達的旋轉軸上的編碼器,編碼器根據旋轉軸的位置提供位置信號;其中相機控制信號的觸發時間長度係根據相應位置信號的馬達的轉速所設定。
於一實施例中,基準觸發時間長度係根據馬達的基準轉速所設定,且基準轉速係為馬達操作於每一條影像的像素資料的亮度值為目標亮度值時的轉速。
於一實施例中,在步驟(a)中包含:當相機控制信號的準位發生轉變後,在有效時間內準位再發生轉變時,相機控制信號則為無效的控制信號。
於一實施例中,控制單元為現場可程式化邏輯閘陣列單元、數位信號處理器、專用積體電路、微控制器、可程式系統單晶片之任一者。
藉由所提出的外部觸發之線性相機檢測系統的影像均勻度處理方法,能夠使得線性相機所擷取到水平方向影像的亮度是均勻的,進而提高待檢測物檢測的準確度。
為了能更進一步瞭解本發明為達成預定目的所採取之技術、手段及功效,請參閱以下有關本發明之詳細說明與附圖,相信本發明之目的、特徵與特點,當可由此得一深入且具體之瞭解,然而所附圖式僅提供參考與說明用,並非用來對本發明加以限制者。
10‧‧‧輸送裝置
11‧‧‧馬達
12‧‧‧輸送帶
13‧‧‧滾輪
111‧‧‧編碼器
112‧‧‧旋轉軸
20‧‧‧控制單元
30‧‧‧線性相機
31‧‧‧影像感測器
32‧‧‧影像處理器
40‧‧‧光源單元
100‧‧‧待檢測物
Sp‧‧‧位置信號
Sc1‧‧‧相機控制信號
TN,TN+1,TN+2‧‧‧觸發時間
S10~S30‧‧‧步驟
圖1:為現有技術之馬達速度變化的示意圖。
圖2:為本發明外部觸發之線性相機檢測系統的第一實施例之示意圖。
圖3:為本發明外部觸發之線性相機檢測系統的第二實施例之示意圖。
圖4:為本發明相機控制信號的控制波形示意圖。
圖5:為本發明外部觸發之線性相機檢測系統的影像均勻度處理方法的流程圖。
圖6:為本發明影像像素資料的亮度值補償的示意圖。
茲有關本發明之技術內容及詳細說明,配合圖式說明如下。
請參見圖2所示,其係為本發明外部觸發之線性相機檢測系統的第一實施例之示意圖。外部觸發之線性相機檢測系統包含輸送裝置10、控制單元20、線性相機30以及光源單元40。輸送裝置10主要包含馬達11、輸送帶12以及滾輪13。其中馬達11可為步進馬達、伺服馬達…等,但不以此為限制。馬 達11具有編碼器111,編碼器111裝設於馬達11的旋轉軸112上。其中編碼器111可為絕對型編碼器、增量型編碼器…等,但不以此為限制,用以輸出旋轉軸112的位置,以決定旋轉軸112的旋轉角度。因此,編碼器111根據旋轉軸112的位置提供位置信號Sp。輸送帶12由馬達11所驅動往特定的方向移動,並且透過複數滾輪13提供承載,使待檢測物100往特定的方向輸送。
控制單元20接收位置信號Sp,且根據位置信號Sp提供相機控制信號Sc1。其中控制單元20可為現場可程式化邏輯閘陣列單元(FPGA)、數位信號處理器(DSP)、專用積體電路(ASIC)、微控制器(MCU)、可程式系統單晶片(SoC)…等具有運算處理功能的處理器或積體電路,但不以此為限制。再者,上述該些處理器或積體電路可裝設於工業電腦(industrial PC,IPC)內,作為專屬工業控制使用的個人電腦。控制單元20接收位置信號Sp後,可得知旋轉軸112即時的位置,亦即可得知馬達11旋轉速度快慢的狀況,例如速度、加速度的資訊。因此,控制單元20根據位置信號Sp,即根據馬達11旋轉速度快慢的狀況提供相機控制信號Sc1。
相機控制信號Sc1為複數條影像的觸發信號,因此相機控制信號Sc1為連續準位變化的信號,其中每一次的準位變化代表每一條影像的觸發信號。配合參見圖4,其係為本發明相機控制信號的控制波形示意圖。承前所述,由於相機控制信號Sc1的複數條影像的觸發信號係取決於馬達11旋轉速度快慢,因此,圖4所示相機控制信號Sc1的每一條影像的觸發時間長度會有所差異,即觸發時間TN、TN+1、TN+2…的時間長度不同。其中N表示第N條影像,N+1表示第N+1條影像,N+2表示第N+2條影像…依此類推。若以相機控制信號Sc1直接提供線性相機30的影像感測器31進行曝光取像,將會造成曝光時間長短的不同(由於馬達11轉速的影響),導致水平方向影像將呈現暗亮不均勻的狀況。
此外,當相機控制信號Sc1的準位發生轉變後,例如由高準位轉變為低準位,在有效時間內準位再發生轉變時,例如在相對短的時間內,即相機控制信號Sc1的準位由高準位轉變為低準位後,又在極短的時間內再由低準位轉變為高準位,或者連續的高、低準位變化,在此狀況下,系統將這樣的相機控制信號Sc1視為受到干擾的雜訊,因此將其濾除,則為無效的控制信號。換言之,當相機控制信號Sc1的觸發時間TN、TN+1、TN+2的時間長度異常短時,例如小於五分之一或十分之一,這樣的相機控制信號Sc1視為雜訊,因此不以相機控制信號Sc1為有效的控制信號。直到下一個正確觸發時間長度的相機控制信號Sc1,再提供相機控制信號Sc1對後續影像提供曝光時間。
在相機控制信號Sc1直接提供線性相機30的影像感測器31進行曝光取像後,再透過對每一條影像的像素資料進行亮度值的補償,使得每一條影像的像素資料的亮度值不受馬達11旋轉速度快慢的影響,能夠達到目標亮度值,具體說明如下。
光源單元40對待檢測物100提供足夠的光源。由於相機控制信號Sc1的每一條影像的觸發時間TN、TN+1、TN+2長度不同(由於馬達11轉速的影響),因此線性相機30的影像感測器31對待檢測物100提供每一條影像的曝光取像的曝光時間也不相同,故此線性相機30透過影像感測器31所擷取到水平方向影像的亮度是不均勻的,而使得待檢測物100檢測的準確度降低。其中影像感測器31可為電荷耦合元件(charge coupled device,CCD)的影像感測器、互補式金屬氧化半導體(complementary metal oxide semiconductor,CMOS)的影像感測器、接觸式影像感測器(contact image sensor,CIS)之任一者,然不以此為限制。
請參見圖3所示,其係為本發明外部觸發之線性相機檢測系統的第二實施例之示意圖。圖3所示的第二實施例與圖2所示的第一實施例最主要的差異在於光源單元40的數量,後者(圖2)使用兩個光源單元40分別設置於影 像感測器31接收影像的法線方向的兩側;而前者(圖3)使用一個光源單元40設置於影像感測器31接收影像的法線方向的其中一側,藉此可達成不同的打光效果。由於圖3所示線性相機檢測系統的操作方式與圖2所示線性相機檢測系統的操作方式相同,因此可參見相應的說明,在此不再贅述。
此外,光源單元40亦可以背光投射的方式設置於以輸送帶12為基準,相對線性相機30另一側的位置,藉此,透過光源單元40向待檢測物100投光,使影像感測器31擷取待檢測物100的檢測影像。
請參見圖5所示,其係為本發明外部觸發之線性相機檢測系統的影像均勻度處理方法的流程圖。所述外部觸發之線性相機檢測系統包含控制單元、具有影像感測器與影像處理器的線性相機以及光源單元。由於外部觸發之線性相機檢測系統具體說明已記載於前,因此在此不再贅述。影像均勻度處理方法的步驟包含:首先,控制單元提供相機控制信號至線性相機,線性相機對每一條影像提供相機控制信號的觸發時間(S10)。其中控制單元根據位置信號,即根據馬達旋轉速度快慢的狀況提供相機控制信號。然後,線性相機的影像感測器接收相機控制信號,且根據相機控制信號對待檢測物提供曝光取像的時間(S20)。由於相機控制信號的每一條影像的曝光時間長度不同,因此光源單元對待檢測物提供每一條影像的曝光取像的曝光時間也不相同,故此線性相機所擷取到水平方向影像的亮度是不均勻的,而使得待檢測物檢測的準確度降低。基於此,影像感測器產生每一條影像的像素資料,且傳送至線性相機的影像處理器;影像處理器根據基準觸發時間長度與相機控制信號的觸發時間長度的比例值,補償每一條影像的像素資料的亮度值(S30)。透過對每一條影像的像素資料的亮度值的補償(而非透過對曝光時間的調整),使水平方向影像的亮度達到均勻,進而提高待檢測物檢測的準確度。
請參見圖6所示,其係為本發明影像像素資料的亮度值補償的示意圖。根據每一條影像的像素資料的亮度值為目標亮度值時的轉速定義為馬達的基準轉速,因此,根據馬達的基準轉速設定基準觸發時間長度。亦即若馬達穩定運轉在基準轉速時,以基準觸發時間長度曝光取像所得到每一條影像的像素資料的亮度值則為正確的目標亮度值。惟由於馬達的轉速非為固定,因此,若馬達的實際轉速偏離基準轉速時,則相機控制信號的觸發時間長度也相應地偏離基準觸發時間長度。
為方便清楚說明,以下透過假設數據為例加以說明。假設基準轉速下所對應的基準觸發時間長度(Ts)為100%。若馬達實際運轉在基準轉速時,所相應的相機控制信號的觸發時間長度(Tm)也為100%。因此,透過除法運算基準觸發時間長度(Ts)與相機控制信號的觸發時間長度(Tm)的比例值為1,即Ts/Tm=1,因此,將補償前的影像像素資料的亮度值(Pin)乘上該比例值,則可得到的補償後的影像像素資料的亮度值(Pout)。由於比例值為1,因此補償後的影像像素資料的亮度值(Pout)等於補償前的影像像素資料的亮度值(Pin),換言之,由於馬達實際運轉在基準轉速,因此曝光取像所得到每一條影像的像素資料的亮度值為目標亮度值,而得到等效於不需要亮度值補償的效果。
再者,若馬達實際運轉在基準轉速的125%時(即馬達的實際運轉偏快),因此相機控制信號的觸發時間長度(Tm)將縮短為80%。因此,透過除法運算基準觸發時間長度(Ts)與相機控制信號的觸發時間長度(Tm)的比例值為1.25,即Ts/Tm=1.25,因此,將補償前的影像像素資料的亮度值(Pin)乘上該比例值,則可得到的補償後的影像像素資料的亮度值(Pout)為補償前的影像像素資料的亮度值(Pin)的1.25倍。換言之,由於馬達實際運轉偏快,曝光取像時間變短,因此透過將影像像素資料的亮度值補償1.25倍(變亮),以達到等效於馬達運轉在基準轉速時曝光取像所得到每一條影像的像素資料的目標亮度值。
反之,若馬達實際運轉在基準轉速的80%時(即馬達的實際運轉偏慢),因此相機控制信號的觸發時間長度(Tm)將增長為125%。因此,透過除法運算基準觸發時間長度(Ts)與相機控制信號的觸發時間長度(Tm)的比例值為0.8,即Ts/Tm=0.8,因此,將補償前的影像像素資料的亮度值(Pin)乘上該比例值,則可得到的補償後的影像像素資料的亮度值(Pout)為補償前的影像像素資料的亮度值(Pin)的0.8倍。換言之,由於馬達實際運轉偏慢,曝光取像時間變長,因此透過將影像像素資料的亮度值補償0.8倍(變暗),以達到等效於馬達運轉在基準轉速時曝光取像所得到每一條影像的像素資料的目標亮度值。
此外,由於像素資料的亮度值係以二進制的方式運算,且與其位元數相關,以8位元(bit)的像素為例,其亮度階數(level)為28=256,換言之,該像素最大亮度值為256階。因此,為避免在補償亮度值的運算發生算術溢位(overflow)而超過該像素的最大亮度所導致的錯誤補償,則導入修正比例值的乘積,即將補償後的影像像素資料的亮度值(Pout)再乘上修正比例值。亦即當補償後的影像像素資料的亮度值(Pout)未超過該像素最大亮度值,則修正比例值為1;當補償後的影像像素資料的亮度值(Pout)超過該像素最大亮度值,則修正比例值為小於1的數值,使得維持補償後的影像像素資料的亮度值(Pout)在該像素最大亮度值之內。
此外,對於補償亮度值的運算發生算術溢位所導致的錯誤,亦可透過將補償後的影像像素資料的亮度值(Pout)箝位於像素最大亮度值的階數,使得即使補償亮度值的運算發生算術溢位,補償後的影像像素資料的亮度值(Pout)仍能維持在該像素最大亮度值。
綜上所述,本發明具有以下之特徵與優點:
1、根據基準觸發時間長度與相機控制信號的觸發時間長度的比例值,補償每一條影像的像素資料的亮度值,如此可使得線性相機所擷取到水平方向影像的亮度是均勻的,進而提高待檢測物檢測的準確度。
2、對於異常短的觸發時間長度的相機控制信號予以濾除,如此可避免像素資料的亮度值的補償受到雜訊的影響,而造成錯誤的補償量的運算。
3、導入修正比例值的乘積,使得維持補償後的影像像素資料的亮度值在該像素最大亮度值之內,或者箝位於像素最大亮度值的階數,使得維持補償後的影像像素資料的亮度值在該像素最大亮度值。
以上所述,僅為本發明較佳具體實施例之詳細說明與圖式,惟本發明之特徵並不侷限於此,並非用以限制本發明,本發明之所有範圍應以下述之申請專利範圍為準,凡合於本發明申請專利範圍之精神與其類似變化之實施例,皆應包含於本發明之範疇中,任何熟悉該項技藝者在本發明之領域內,可輕易思及之變化或修飾皆可涵蓋在以下本案之專利範圍。

Claims (14)

  1. 一種外部觸發之線性相機檢測系統,包含:一輸送裝置,包含:一馬達,具有一編碼器,連接於該馬達的一旋轉軸上;其中該編碼器根據該旋轉軸的位置提供一位置信號;及一輸送帶,由該馬達驅動,以輸送一待檢測物;一控制單元,接收該位置信號,且根據該位置信號提供一相機控制信號;一線性相機,接收該相機控制信號,對每一條影像提供該相機控制信號的觸發時間,其中該線性相機包含:一影像感測器,根據該相機控制信號,對該待檢測物提供曝光取像的時間;及一影像處理器,連接該影像感測器;及一光源單元,對該待檢測物提供足夠的光源;其中,該影像感測器產生每一條影像的像素資料,且傳送至該影像處理器;該影像處理器根據一基準觸發時間長度與該相機控制信號的觸發時間長度的一比例值,補償每一條影像的像素資料的亮度值。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之外部觸發之線性相機檢測系統,其中補償後影像的像素資料的亮度值等於補償前影像的像素資料的亮度值與該比例值的乘積。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之外部觸發之線性相機檢測系統,其中該相機控制信號的觸發時間長度係根據相應該位置信號的該馬達的轉速所設定。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之外部觸發之線性相機檢測系統,其中該基準觸發時間長度係根據該馬達的一基準轉速所設定,且該基準轉速係為該馬達操作於每一條影像的像素資料的亮度值為目標亮度時的轉速。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之外部觸發之線性相機檢測系統,其中該控制單元為現場可程式化邏輯閘陣列單元、數位信號處理器、專用積體電路、微控制器、可程式系統單晶片之任一者。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之外部觸發之線性相機檢測系統,其中該控制單元設置於一工業電腦內。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之外部觸發之線性相機檢測系統,其中當該相機控制信號的準位發生轉變後,在一有效時間內準位再發生轉變時,該相機控制信號則為無效的控制信號。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之外部觸發之線性相機檢測系統,其中該影像感測器為電荷耦合元件的影像感測器、互補式金屬氧化半導體的影像感測器、接觸式影像感測器之任一者。
  9. 一種外部觸發之線性相機檢測系統的影像均勻度處理方法,該外部觸發之線性相機檢測系統包含一控制單元、具有一影像感測器與一影像處理器的一線性相機以及一光源單元,該影像均勻度處理方法包含:(a)、該控制單元提供一相機控制信號至該線性相機,該線性相機對每一條影像提供該相機控制信號的觸發時間;(b)、該線性相機的該影像感測器接收該相機控制信號,且根據該相機控制信號對一待檢測物提供曝光取像的時間;及(c)、該影像感測器產生每一條影像的像素資料,且傳送至該線性相機的該影像處理器;該影像處理器根據一基準觸發時間長度與該相機控制信號的觸發時間長度的比例值,補償每一條影像的像素資料的亮度值。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之外部觸發之線性相機檢測系統的影像均勻度處理方法,其中在步驟(c)中包含:將補償前影像的像素資料的亮度值乘上該比例值以獲得補償後影像的像素資料的亮度值。
  11. 如申請專利範圍第9項所述之外部觸發之線性相機檢測系統的影像均勻度處理方法,該外部觸發之線性相機檢測系統更包含一馬達以及連接於該馬達的一旋轉軸上的一編碼器,該編碼器根據該旋轉軸的位置提供一位置信號;其中該相機控制信號的觸發時間長度係根據相應該位置信號的該馬達的轉速所設定。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之外部觸發之線性相機檢測系統的影像均勻度處理方法,其中該基準觸發時間長度係根據該馬達的一基準轉速所設定,且該基準轉速係為該馬達操作於每一條影像的像素資料的亮度值為目標亮度值時的轉速。
  13. 如申請專利範圍第9項所述之外部觸發之線性相機檢測系統的影像均勻度處理方法,其中在步驟(a)中包含:當該相機控制信號的準位發生轉變後,在一有效時間內準位再發生轉變時,該相機控制信號則為無效的控制信號。
  14. 如申請專利範圍第9項所述之外部觸發之線性相機檢測系統的影像均勻度處理方法,其中該控制單元為現場可程式化邏輯閘陣列單元、數位信號處理器、專用積體電路、微控制器、可程式系統單晶片之任一者。
TW107129659A 2018-08-24 2018-08-24 外部觸發之線性相機檢測系統及其影像均勻度處理方法 TWI677680B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW107129659A TWI677680B (zh) 2018-08-24 2018-08-24 外部觸發之線性相機檢測系統及其影像均勻度處理方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW107129659A TWI677680B (zh) 2018-08-24 2018-08-24 外部觸發之線性相機檢測系統及其影像均勻度處理方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TWI677680B true TWI677680B (zh) 2019-11-21
TW202009477A TW202009477A (zh) 2020-03-01

Family

ID=69189035

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW107129659A TWI677680B (zh) 2018-08-24 2018-08-24 外部觸發之線性相機檢測系統及其影像均勻度處理方法

Country Status (1)

Country Link
TW (1) TWI677680B (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005124317A2 (en) * 2004-06-09 2005-12-29 Cognex Technology And Investment Corporation Method and apparatus for visual detection and inspection of objects
CN102937596A (zh) * 2012-10-23 2013-02-20 鞍钢股份有限公司 一种带钢表面图像在线变频采集方法
CN104333706A (zh) * 2014-11-24 2015-02-04 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 高速运动物体拍摄装置及拍摄方法
TW201702774A (zh) * 2015-07-15 2017-01-16 由田新技股份有限公司 印魚式線性編碼器及包含印魚式線性編碼器的光學檢測平台
CN106525873A (zh) * 2016-10-25 2017-03-22 广州市申发机电有限公司 一种基于机器视觉的全自动旋转印刷产品缺陷检测装置
CN206362717U (zh) * 2017-01-13 2017-07-28 深圳市视觉龙科技有限公司 一种检测物体表面缺陷的装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005124317A2 (en) * 2004-06-09 2005-12-29 Cognex Technology And Investment Corporation Method and apparatus for visual detection and inspection of objects
CN102937596A (zh) * 2012-10-23 2013-02-20 鞍钢股份有限公司 一种带钢表面图像在线变频采集方法
CN104333706A (zh) * 2014-11-24 2015-02-04 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 高速运动物体拍摄装置及拍摄方法
TW201702774A (zh) * 2015-07-15 2017-01-16 由田新技股份有限公司 印魚式線性編碼器及包含印魚式線性編碼器的光學檢測平台
CN106525873A (zh) * 2016-10-25 2017-03-22 广州市申发机电有限公司 一种基于机器视觉的全自动旋转印刷产品缺陷检测装置
CN206362717U (zh) * 2017-01-13 2017-07-28 深圳市视觉龙科技有限公司 一种检测物体表面缺陷的装置

Also Published As

Publication number Publication date
TW202009477A (zh) 2020-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7346207B2 (en) Image defect inspection method, image defect inspection apparatus, and appearance inspection apparatus
US11558554B2 (en) Optical distance measurement system and imaging system with dynamic exposure time
US20090147120A1 (en) Image sensor, image taking apparatus, and state inspection system
CN109525840B (zh) 一种成像芯片上微弱缺陷的检测方法
JP3751660B2 (ja) 規則的パターンの欠陥検査装置
US6081613A (en) System for inspecting an appearance of a printed circuit board
US8531566B2 (en) Image sensor and operating method
US6714283B2 (en) Sensor and method for range measurements using a TDI device
KR101343429B1 (ko) 표면 검사장치 및 그의 표면 검사방법
CN113533344A (zh) 一种光学检测装置及方法
TWI677680B (zh) 外部觸發之線性相機檢測系統及其影像均勻度處理方法
TWI690692B (zh) 外部觸發之線性相機檢測系統及其影像曝光處理方法
JP2015002241A (ja) 基板撮像装置、及び基板撮像方法
JP5331771B2 (ja) 検査装置
JP3871944B2 (ja) 外観検査装置
CN110876055B (zh) 外部触发的线性相机检测系统及其影像均匀度处理方法
CN110876020A (zh) 外部触发的线性相机检测系统及其影像曝光处理方法
JP2001004339A (ja) 画像認識検査システムの照明むら測定方法および画像認識検査方法
KR20150068884A (ko) 반도체 검사 방법, 반도체 검사 장치 및 반도체 제조 방법
JP2014204198A (ja) 画像処理装置、その制御方法及びプログラム
JPS6226417B2 (zh)
TW201910748A (zh) 光學檢測系統及影像處理方法
JP4549838B2 (ja) 光沢度測定方法および装置
JPH05107038A (ja) 撮像装置
CN106980226B (zh) 光罩检测装置及其方法