TWI673382B - 環形磁性靶材 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種環形磁性靶材，其包含：一基板，其為非磁性材料，基板具有相反設置之一第一面及一第二面；一靶材單元，其設於第一面，靶材單元具有一內環靶材、一中環靶材及一外環靶材，中環靶材具有磁性且環設於內環靶材之外周緣，外環靶材環設於中環靶材之外周緣，其中，內環靶材穿設一鏤空區，令內環靶材呈環形狀；以及一磁性單元，其設於第二面；藉此，能夠降低靶材之材料使用量，並且透過鏤空區有效增加磁通量。

Description

環形磁性靶材

本發明係關於一種磁性靶材，尤指一種能有效提高磁通量之環形磁性靶材。

在現行的磁性濺鍍靶材裝置，其包含：一非磁性支撐板；一靶材單元，其設於非磁性支撐板之上方，靶材單元具有一第一靶材、一繞設於第一靶材之第二靶材及一繞設於第二靶材之第三靶材，其中，第二靶材具有朝向異於非磁性支撐板之一轟擊面；以及一永久磁鐵組，其用以提供磁力線朝上穿越過轟擊面，從而在內環靶材間形成環型封閉之磁力線。

於加工濺鍍時，永久磁鐵組產生之磁力線主要轟擊第二靶材，而第一靶材及第三靶材被轟擊之機率較低，所以第一靶材、第二靶材及第三靶材三者無法被均勻利用，導致更換靶材單元時，仍有大部分之靶材材料未被使用，造成靶材之材料浪費。

為解決上述課題，本發明提供一種環形磁性靶材，其藉由鏤空區降低內環靶材之材料使用量，並且有效增加磁通量。

本發明之一項實施例提供一種環形磁性靶材，其包含：一基板，其為非磁性材料，基板具有相反設置之一第一面及一第二面；一靶材單元，其設於第一面，靶材單元具有一內環靶材、一中環靶材及一外環靶材，中環靶材具有磁性且環設於內環靶材之外周緣，外環靶材環設於中環靶材之外周緣，其中，內環靶材穿設一鏤空區，令內環靶材呈環形狀；以及一磁性單元，其設於第二面。

藉由上述，本發明環形磁性靶材，能藉由鏤空區降低內環靶材之材料使用量；而且磁性單元所產生之磁力線能夠穿越鏤空區，進而轟擊中環靶材；藉此，能夠改善習知靶材材料容易浪費之問題，並且能夠有效增加磁通量，提升靶材之使用效率。

於其中一項實施例中，磁性單元具有一第一磁鐵結構及一第二磁鐵結構，第一磁鐵結構對應外環靶材，第二磁鐵結構對應內環靶材，其中，第一磁鐵結構部分被外環靶材遮蔽；藉此，第一磁鐵結構未被遮蔽之部分，能夠有效之將其磁力線穿越至中環靶材，提升磁通量及增加靶材之使用效率。

為便於說明本發明於上述發明內容一欄中所表示的中心思想，茲以具體實施例表達。實施例中各種不同物件係按適於說明之比例、尺寸、變形量或位移量而描繪，而非按實際元件的比例予以繪製，合先敘明。

請參閱圖1至圖3所示，本發明提供一種環形磁性靶材，其包含：

一基板10，其為非磁性材料，基板10具有相反設置之一第一面11及一第二面12。

一靶材單元20，其設於基板10之第一面11，靶材單元20具有一內環靶材21、一中環靶材22及一外環靶材23，中環靶材22具有磁性且環設於內環靶材21之外周緣，外環靶材23環設於中環靶材22之外周緣，內環靶材21、中環靶材22及外環靶材23之厚度均相同；再者，內環靶材21貫穿設一鏤空區211，令內環靶材21呈環形狀，其中，鏤空區211之面積約占內環靶材21整體面積至少三分之一，而內環靶材21之形狀能為選自於由矩形及圓形所組成之群組，於本發明實施例中，鏤空區211概呈長矩形狀。

一磁性單元30，其設於基板10之第二面12，磁性單元30具有一第一磁鐵結構31及一第二磁鐵結構32，第一磁鐵結構31對應於外環靶材23，第二磁鐵結構32對應於內環靶材21；請參閱圖3所示，第一磁鐵結構31對應設於外環靶材23之下方，第二磁鐵結構32對應設於內環靶材21之下方，其中，第一磁鐵結構31部分被外環靶材23遮蔽。

再者，第一磁鐵結構31具有複數磁鐵311，各磁鐵311間隔環設於第二磁鐵結構32之外側，而各磁鐵311相對沿外環靶材23之外邊緣設置，其中，各磁鐵311分別具有一第一遮蔽區311a及一第一非遮蔽區311b；請參閱圖2及圖3所示，各磁鐵311之第一遮蔽區311a相較於各磁鐵311之第一非遮蔽區311b靠近第二磁鐵結構32，而各磁鐵311之第一遮蔽區311a被外環靶材23遮蔽，各磁鐵311之第一非遮蔽區311b處於外環靶材23之外邊緣以外；藉此，第一磁鐵結構31所產生之磁力線能夠向上穿越，於中環靶材22形成環型封閉之磁力線。

另外，第二磁鐵結構32具有一第二遮蔽區321及一第二非遮蔽區322，第二遮蔽區321相較於第二非遮蔽區322靠近各磁鐵311之第一遮蔽區311a，而第二遮蔽區321被內環靶材21遮蔽，第二非遮蔽區322對應於鏤空區211；藉此，第二磁鐵結構32所產生之磁力線能夠向上穿越鏤空區211，於中環靶材22形成環型封閉之磁力線。

綜合上述，本發明環形磁性靶材能夠達成下列功效：

一、本發明於內環靶材21貫穿設置鏤空區211，藉以降低內環靶材21之材料使用，而磁性單元30所產生之磁力線能夠更有效穿越鏤空區211，進而轟擊中環靶材22；藉此，本發明能夠有效降低靶材之材料使用量，並且有效增加磁通量，提升靶材之使用效率。

二、本發明第一磁鐵結構31未被遮蔽之部分，能夠有效將第一磁鐵結構31之磁力線往上穿越至中環靶材22，以提升磁通量及增加靶材之使用效率。

以上所舉實施例僅用以說明本發明而已，非用以限制本發明之範圍。舉凡不違本發明精神所從事的種種修改或變化，俱屬本發明意欲保護之範疇。

10‧‧‧基板

11‧‧‧第一面

12‧‧‧第二面

20‧‧‧靶材單元

21‧‧‧內環靶材

211‧‧‧鏤空區

22‧‧‧中環靶材

23‧‧‧外環靶材

30‧‧‧磁性單元

31‧‧‧第一磁鐵結構

311‧‧‧磁鐵

311a‧‧‧第一遮蔽區

311b‧‧‧第一非遮蔽區

32‧‧‧第二磁鐵結構

321‧‧‧第二遮蔽區

322‧‧‧第二非遮蔽區

圖1係本發明立體外觀示意圖。
圖2係本發明俯視示意圖。
圖3係本發明沿圖2之3-3剖面線所取之剖面圖。

Claims (8)

1. 一種環形磁性靶材，其包含：
   一基板，其為非磁性材料，該基板具有相反設置之一第一面及一第二面；
   一靶材單元，其設於該第一面，該靶材單元具有一內環靶材、一中環靶材及一外環靶材，該中環靶材具有磁性且環設於該內環靶材之外周緣，該外環靶材環設於該中環靶材之外周緣，其中，該內環靶材穿設一鏤空區，令該內環靶材呈環形狀；以及
   一磁性單元，其設於該第二面。
2. 如請求項1所述之環形磁性靶材，其中，該磁性單元具有一第一磁鐵結構及一第二磁鐵結構，該第一磁鐵結構對應該外環靶材，該第二磁鐵結構對應該內環靶材。
3. 如請求項2所述之環形磁性靶材，其中，該第一磁鐵結構部分被該外環靶材遮蔽。
4. 如請求項3所述之環形磁性靶材，其中，該第一磁鐵結構具有複數磁鐵，各該磁鐵間隔環設於該第二磁鐵結構之外側。
5. 如請求項4所述之環形磁性靶材，其中，各該磁鐵相對沿該外環靶材之外邊緣設置。
6. 如請求項5所述之環形磁性靶材，其中，各該磁鐵具有一第一遮蔽區及一第一非遮蔽區，所述第一遮蔽區相較於所述第一非遮蔽區靠近該第二磁鐵結構，所述第一遮蔽區被該外環靶材遮蔽。
7. 如請求項2所述之環形磁性靶材，其中，該第二磁鐵結構具有一第二遮蔽區及一第二非遮蔽區，該第二遮蔽區被該內環靶材遮蔽，該第二非遮蔽區對應於該鏤空區。
8. 如請求項1所述之環形磁性靶材，其中，該鏤空區概呈長矩形狀。