TWI657231B - 整合式科里奧利（coriolis）質量流量計及製造其之方法 - Google Patents

整合式科里奧利（coriolis）質量流量計及製造其之方法 Download PDF

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Abstract

一種整合式流量計包含一支撐件及與該支撐件整合於一起之一或多個流量敏感部件。該支撐件係藉由使用使材料包覆成型於該(等)流量敏感部件之一外表面上方之一射出成型製程而形成。用於該支撐件及用於該(等)流量敏感部件之該等材料較佳地係聚合材料。

Description

整合式科里奧利(CORIOLIS)質量流量計及製造其之方法
本發明大體而言係關於科里奧利質量流量計，且更具體而言係關於其中流量敏感部件與支撐件結構被整合於一起之整合式科里奧利質量流量計，且亦係關於製造此種科里奧利質量流量計之方法。
科里奧利質量流量計(本文中亦稱為「流量計」)量測基於科里奧利原理而流動通過一管之一流體之一質量流量速率。典型組態採用一個或兩個管，流體流動通過該(等)管且該(等)管以一受控制方式擺動。科里奧利誘發之偏轉或此等偏轉對該(等)管之效應經量測以計算流動通過感測器之流體之流體質量流量速率。另外，亦可藉由量測感測器共振頻率對流體密度之改變來量測流體密度(獨立於質量流量速率)。
某些傳統流量計使用金屬合金流量管來作為流量敏感元件。某些傳統方法使用一黏合劑來將全氟烷氧基烷烴(PFA)管狀流量敏感元件附接至金屬支撐件。然而，流量敏感元件之持續振動使得黏合接縫隨時間降級，藉此使此等傳統流量計之整體性退化。另外，此等流量計之不同離散組件通常係由具有不同熱膨脹性質之不同材料製成。流量敏感元件與支撐件之間的耦合失去其整體性，此導致不受控制振動且損害此等裝置之效能。
採用蝕刻製造流量計之某些傳統方法需要將管浸沒在含有乙二醇二 醚之一熱浴中且輕微搖動該等管。此種蝕刻製程在增加裝置製作之成本及複雜性之同時，亦可能未必在一致基礎上產生適合於流量計製作之管。
某些傳統方法經由射出成型製作流量計且自一芯模具形成流路。該芯模具通常係由具有約華氏117度之一熔點的含有鉍、鉛、錫、鎘及銦之一混合物之一低熔點易熔金屬合金。當製作流量敏感部件時，在可超過華氏350度之溫度及超過5000psi之壓力下將熱塑膠注入至一模具中。此可損壞相對窄之撓性易熔金屬芯。因此，流量敏感部件可能變形，藉此致使裝置本身不可用。此外，金屬原子可能與經注入塑料混合且嵌入至經注入塑料內，藉此永久地污染流量敏感部件。此可致使裝置不適合於需要高純度製程之應用，諸如半導體、製藥或生物製藥應用。此外，藉由傳統射出成型製程製作之流量計之不同組件必須全部皆具有一類似厚度，此可能導致可對流量計之效能產生負面影響及/或限制流量計之效能的結構及/或動態設計限制或折衷。
某些傳統製作製程採用二次操作以製造流體通路。舉例而言，某些製程鑽出穿過自一單件聚合材料機械加工而來之一整個結構之流體通路。另一選擇係，某些方法在零件自其模具被移除之後而藉由用於一模具內之一固體芯及/或二次鑽孔操作之一組合形成流量通路。藉由焊接或其他適合程序填充藉由去芯(coring)或鑽孔形成之外部孔。以一模具內之固體芯及/或鑽孔形成流量通路可必然需要流體通路以具有較厚壁厚度，此在低流動速率下可限制此等裝置之撓性及量測敏感度。
其他傳統方法將流量敏感元件焊接至支撐件上以製造流量計。流量敏感元件與支撐件通常係由相同聚合材料製作。然而，此等支撐件通常包含大量聚合材料且增加所使用材料之成本。此外，應用限制需要數個內徑改 變，此可使得研漿固體及/或傳輸氣體/氣泡累積。此外，管至支撐件焊接製程之變化可引入自一支撐件延伸之流量敏感元件之尺寸差異及勁度變化，此導致流量計之兩部分無法如所設計地振動。最後，焊接接縫可對流量敏感元件之邊界條件產生負面影響。
本發明之實施例包含整合式科里奧利質量流量計及製造此等整合式科里奧利質量流量計之方法。一整合式流量計包含一支撐件以及與該支撐件整合於一起之一或多個流量敏感部件。該一或多個流量敏感部件固定地貼附至該支撐件且延伸穿過該支撐件。自該支撐件之前面延伸之一或多個流量敏感部件之部分經組態以振動。在某些實例中，該(等)流量敏感元件係由具有相對薄壁(例如，小於或等於1mm)之聚合管製作。因此，如本文中所闡述之該流量計甚至在低流體流量速率下仍具有經改良流量及密度量測敏感度。由於流體路徑僅由流量敏感部件構成且沿著該流體路徑無尺寸(例如，直徑)改變，因此如本文中所闡述之該流量計提供準確量測。
該支撐件提供件對該流量計之結構支撐。該支撐件夾緊該(等)流量敏感部件。該支撐件係採用使支撐件材料包覆成型於該(等)流量敏感部件之一外表面上方之一射出成型製程而形成。可使用一工具以在該射出成型製程期間將該(等)流量敏感部件固持在適當地方。可將金屬桿插入至該(等)流量敏感部件中以防止該等流量敏感部件在剖面上變形。用於該支撐件及用於該(等)流量敏感部件之該等材料較佳地係聚合材料。消除金屬污染之風險且可將如本文中所闡述之流量計製作得適合於高純度應用。
該支撐件可包含整合式構件，諸如一或多個端口延伸部及連接毗鄰端口延伸部之隔離板。該等隔離板建立該等流量敏感部件之振動之邊界條 件。該(等)流量敏感部件由具有一第一熱膨脹係數(「CTE」)之一第一材料製作。該支撐件藉由使具有一第二CTE之一第二材料包覆成型於該(等)流量敏感部件之一外表面上方而製作。該第二CTE實質上接近或小於該第一CTE。甚至當溫度改變時，該支撐件仍夾緊該(等)流量敏感部件以維持其相對位置。該第二材料亦可具有超過該第一材料之勁度之一勁度(亦即，剛性或彈性模數)及/或小於該第一材料之阻尼係數之一阻尼係數。由於該等流量敏感部件與該支撐件整合於一起而無任何接縫(諸如焊接或黏合接縫)，因此確保了該等流量計之整體性及可靠性。因此，與習用流量計相比，如本文中所闡述之流量計具有經改良可靠性。
100‧‧‧實例性科里奧利質量流量計/科里奧利質量流量計/流量計
102‧‧‧流量敏感部件/「U」形管狀流量敏感部件
102a‧‧‧流量敏感部件
102b‧‧‧流量敏感部件
103‧‧‧厚度
104‧‧‧動態回應支撐件/支撐件
106‧‧‧隔離板
107‧‧‧端口
108‧‧‧整合式端口延伸部/毗鄰端口延伸部/端口延伸部
109‧‧‧端口
200‧‧‧實例性流量計
402‧‧‧方形或矩形形式/實例性流量敏感部件/流量敏感部件
404‧‧‧三角形形式/實例性流量敏感部件/流量敏感部件
406‧‧‧橢圓形形式/實例性流量敏感部件/流量敏感部件
408‧‧‧直線形式/實例性流量敏感部件/流量敏感部件
502‧‧‧工具
504‧‧‧兩件式模具/模具
506‧‧‧腔
700‧‧‧整合式科里奧利質量流量計總成
702‧‧‧磁體
704‧‧‧橫構架
706‧‧‧線圈
708‧‧‧橫構架
710‧‧‧磁體
712‧‧‧磁體
714‧‧‧線圈
716‧‧‧線圈
720‧‧‧計電子器件
722‧‧‧傳輸電路
724‧‧‧顯示器
726‧‧‧信號路徑
圖1A及圖1B圖解說明根據一項實施例之一實例性整合式科里奧利質量流量計之一側透視圖及一後透視圖。
圖2圖解說明根據另一實施例之一實例性整合式科里奧利質量流量計之一前透視圖。
圖3A圖解說明根據一項實施例之具有額外整合式構件之一支撐件之一前透視圖。
圖3B圖解說明根據一項實施例之無圖3A之額外整合式構件之一支撐件之一前透視圖。
圖4A至圖4D圖解說明根據各種實施例之具有不同形狀之實例性流量敏感部件之平面圖。
圖5A至圖5D圖解說明根據一項實施例製造一整合式科里奧利質量流量計之一實例性製程。
圖5E係圖解說明根據一項實施例製造一科里奧利質量流量計之一實 例性製程之一流程圖。
圖6A及圖6B圖解說明根據額外實施例製造一整合式科里奧利質量流量計之實例性製程。
圖7圖解說明根據一項實施例之一實例性整合式科里奧利質量流量計總成。
各圖僅出於圖解說明目的而繪示本發明之實施例。熟習此項技術者將自以下論述輕易地認識到，可在不脫離本文中所闡述之原理之情況下採用本文中所圖解說明之結構及方法之替代實施例。
相關申請案之交叉參考
本申請案主張2015年11月24日提出申請之標題為「Method of Manufacturing a Weld-Less Coriolis Mass Flow Rate Sensor from a Polymeric Material」之美國臨時申請案第62/259,611號之權益，該申請案以全文引用方式併入本文中。
實例性科里奧利質量流量計
圖1A及圖1B圖解說明根據一項實施例之一實例性科里奧利質量流量計100之側透視圖及後透視圖。科里奧利質量流量計(本文中亦稱為「流量計」)100可根據如下文參考圖5A至圖6所進一步闡述之方法製造。流量計100包含流量敏感部件102a至102b及固持流量敏感部件102a至102b之一動態回應支撐件(本文中亦稱為「支撐件」)104。流量敏感部件102a至102b係中空的且具有管狀剖面以允許流體流動通過。在所圖解說明之實例中，流量敏感部件102a至102b各自具有曲線形狀且係相同的。在此實例中，其等係U形的，具有由支撐件固持之直線管狀支腿。使用曲線形流量敏感部 件之一個優點係不存在隅角，因此不存在沿著流體路徑之驟然方向改變。因此，在流量敏感部件內部可導致經增加壓力下降或導致流量敏感部件自支撐件變位因此產生離子污染的研漿固體之可能累積被清除。
流量敏感部件102a至102b由具有一第一熱膨脹係數(「CTE」)之一第一材料製成。在各種實施例中，流量敏感部件102a至102b由可購得或定製之一聚合材料製成。實例性聚合材料包含但不限於：全氟烷氧基烷烴(PFA)、聚醚醚酮(PEEK)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)及氟化乙烯丙烯(FEP)。流量敏感部件102a至102b較佳地係具有相對薄壁之管。每一流量敏感部件102a或102b之一壁之一厚度103小於一預定臨限值(例如，小於1mm)。具有相對薄壁之流量敏感部件更具撓性。因此，使用具有薄壁之流量敏感部件之流量計甚至在低流體流量速率下仍具有經改良流量及密度量測敏感度。
其他實施例可包含以其他形式塑形之流量敏感部件，諸如一方形或矩形形式402、一個三角形形式404、一橢圓形形式406及一直線形式408，分別如圖4A至圖4D中所圖解說明。該流量計可包含任何數目個流量敏感部件。舉例而言，如圖2中所圖解說明之實例性流量計200僅包含一個「U」形管狀流量敏感部件102。
在圖1中，流量敏感部件102a至102b係由一單個材料構造之整體組件且亦與支撐件104整合於一起。流量敏感部件102a至102b具有平行管狀支腿，其等經貼附至支撐件104且延伸穿過支撐件104。具體而言，對於每一流量敏感部件而言，每一直線支腿區段之一分段經貼附至支撐件104，且彎曲區段及直線支腿區段之其餘部分自支撐件104延伸。自支撐件104之前端延伸之流量敏感部件102a至102b之部分經組態以振動。流體材料經引導至 自支撐件104之後端延伸之流量敏感部件102a至102b之部分。如所圖解說明，流體材料以一液壓並聯方式流動通過流量敏感部件。另一選擇係，流體材料可以一液壓串聯方式流動通過流量敏感部件。
實例性動態回應支撐件
支撐件104為流量計100提供結構支撐。支撐件104固持流量敏感部件102a至102b且與流量敏感部件102a至102b整合於一起。在上文所闡述之包覆成型製造方法中，支撐件104與流量敏感部件102a至102b整合於一起，使得其夾緊每一流量敏感部件102a至102b之兩個支腿之外表面，但不使用一單獨黏合劑。支撐件104由具有一第二CTE之一第二材料製成。支撐件104係藉由使用將第二材料模製於流量敏感部件之支腿上方之一包覆成型製程而製作。因此支撐件104係由一單個單片式第二材料構造。支撐件104包含流量敏感部件102a至102b延伸穿過之管狀通道。支撐件104進一步包含在前端及後端上、允許流量敏感部件102a至102b通過之端口。舉例而言，如圖1B中所圖解說明，支撐件104之後端包含端口107。如圖3B中所圖解說明，支撐件104之前端包含端口109。
支撐件104夾緊流量敏感部件102a至102b。由於第二材料之第二CTE實質上接近或小於第一材料之第一CTE，因此當溫度升高時，支撐件104以慢於流量敏感部件102a至102b之一速率膨脹且維持流量敏感部件102a至102b上之夾緊力。甚至當溫度下降時仍維持該夾緊力。較佳地，第二材料亦係可與第一材料相同或不同之一聚合材料。在一項實施例中，第二材料係玻璃填充聚碳酸酯。如本文中所闡述，「實質上接近」係指第一CTE與第二CTE之間的差在可被熟習此項技術者接受之一預定義容限內。在各種實施例中，預定義容限可係(舉例而言)一1%容限、一2%容限、一5%容 限等。所圖解說明之各圖中之某些線係繪圖軟體之假影或經包含以促進圖解說明且不表示離散組件之間的接縫--在全部圖中之支撐件104係一單個整體組件。在某些實施例中，第二材料具有超過第一材料之勁度之一勁度(亦即，剛性或彈性模數)。第二材料亦具有小於第一材料之阻尼係數之一阻尼係數。此係確保一支撐件提供用於終止管狀流量敏感部件之振動之一更頑強且恆定邊界條件。
支撐件104亦可包含影響流量計100之動態回應特性之額外整合式構件。舉例而言，支撐件104之前端包含夾緊每一流量敏感部件102a至102b之兩個支腿之一或多個整合式端口延伸部108。支撐件104之前端進一步包含連接毗鄰端口延伸部108之隔離板106。隔離板106與端口延伸部108整合於一起，該兩者皆與支撐件104整合於一起。每一端口延伸部108之一內表面接觸一對應流量敏感部件之支腿之外表面。在某些實施例中，由包含端口延伸部108之支撐件104夾緊的流量敏感部件之支腿之外表面被粗糙化。隔離板106建立流量敏感部件102a至102b之振動之邊界條件。類似於一音叉之流量敏感部件102a至102b可以相反相位(亦即，「反相」)振動或共調一起振動(亦即，對稱「同相」)。隔離板106對流量計之動態頻率回應特性施加一主要影響。取決於支撐件104之安裝之剛性以及流量敏感部件102a至102b之材料及尺寸，同相振動之自然頻率可接近(若不相同)反相振動之自然頻率。當該兩個頻率接近彼此時，流量計100之不穩定性風險亦增加，此乃因振動激發能量將在該兩個振動模式之間不受控制地共用。因此，使各自然頻率充分地分開以防止流量計100出現故障係重要的。隔離板106即用於此目的。隔離板106使得流量敏感元件102a至102b之不同分段以同相模式及反相模式振動且建立起分散兩個頻率之清晰振動邊界條件。隔離 板106之尺寸及厚度可根據流量計100之頻率回應特性來組態。圖3A及圖3B中圖解說明具有整合式構件及無整合式構件之一支撐件104之前透視圖。此外，注意所圖解說明之圖中之某些線係繪圖軟體之假影或經包含以促進圖解說明。舉例而言，在圖3A中，支撐件104之主體、端口延伸部108及隔離板106並非稍後經組裝之單獨組件。而是，其等係(諸如)藉由下文所闡述之模製而形成為一個整體。
圖4A至圖4D圖解說明根據各種實施例之具有不同形狀之實例性流量敏感部件之平面圖。所圖解說明之實例性流量敏感部件402、404、406及408皆係中空的且允許流體流動通過。流量敏感部件402、404、406及408各自可包含管狀剖面。類似於如先前關於圖1A至圖3B所闡述之支撐件104之一支撐件可被模製於流量敏感部件402、404或406之兩個端部支腿之一外表面上方以製造類似於如圖1A至圖2中所圖解說明之流量計的一流量計。類似地，一結構上類似支撐件可被模製於流量敏感部件408上方，其中流量敏感部件408之兩端自支撐件延伸，該支撐件之前端及後端兩者皆包含隔離板。另一選擇係，兩個支撐件可被模製於流量敏感部件408上方：一個支撐件被模製於流量敏感部件408之一端上且另一支撐件被模製於流量敏感部件408之另一端上。
製造一流量計之實例性製程
圖5A至圖5D圖解說明根據一項實施例之一製造製程之透視圖，其中在一流量敏感部件102上方使一支撐件104包覆成型，因此形成整合式科里奧利質量流量計。圖5E係圖解說明一對應製造製程之一流程圖。如在圖5A中所圖解說明，一工具502在包覆成型製程期間將流量敏感部件102b固持550在適當位置。在此實例中，工具502包含兩件，其中一者固持流量敏感 部件102之兩個支腿之端部且其中一者固持流量敏感部件102之U形彎管。其他類型之工具將係顯而易見的。
圖5B及圖5C展示在流量敏感部件102上方閉合552一兩件式模具504。圖5B僅展示模具504之底部件，使得可看見用於形成支撐件104之腔506。為方便起見，將腔506展示為一凹團(blob)而非實際的複雜形狀。在圖5C中，閉合模具504，其中模具之兩件環繞流量敏感部件102之兩個支腿。在某些實施例中，流量敏感部件之一外表面具有(舉例而言)至少部分地位於由支撐件環繞之分段中之一經粗糙化防護層。可由一管擠製製程將外表面粗糙化。工具502固持流量敏感部件102而將支撐件104包覆成型於流量敏感部件102之支腿上方。
使用一射出成型製程來製作支撐件104。在低於流量敏感部件102之材料之玻璃轉化溫度的一溫度下將用於支撐件之材料注入554至模具504中。在高於流量敏感部件102之溫度的一溫度下將該材料熔融並注入。隨著經注入材料冷卻556，支撐件包覆成型於流量敏感部件之支腿之上方。支撐件中之管狀通道在冷卻期間收縮，因此夾緊至流量敏感部件之管狀支腿上。當用於支撐件104之材料與流量敏感部件102之材料相同時，形成於支撐件104與流量敏感部件之間的內聚接合加強夾緊力。在某些實施例中，當將支撐件104模製至流量敏感部件102之外表面上時，可將桿插入至流量敏感部件102中以防止流量敏感部件102變形且確保剖面保持管狀。此乃因當將支撐件104模製於流量敏感部件102上方時，流量敏感部件102沿著剖面方向經受一力，使得支撐件104緊握流量敏感部件102。
在圖5D中，已打開模具504，從而釋放558整合式科里奧利質量流量計。與包含經附接至管之實體離散隔離板之習用流量計相比，如本文中所 闡述之整合式流量計包含結構上與隔離板整合於一起之支撐件。一個益處係製造更加簡單。另外，如本文中所闡述之製造方法確保用於終止管狀流量敏感元件之振動之一更頑強且恆定邊界條件而無論管形狀如何。製作如本文中所闡述之一整合式流量計亦允許較大設計靈活性(例如，厚度及隔離板之分離)，從而准許將一支撐件模製至各種管形狀上而無須將隔離板單獨附接至管。
圖5A至圖5E之實例展示一單個流量敏感部件。然而，相同方法可適用於多個流量敏感部件。圖6A及圖6B係圖5C之對應者，但係針對具有兩個流量敏感部件之一科里奧利質量流量計。在此情形中，使用一不同模型(例如，一個三件式模具)。在圖6A中，相對於流量敏感部件沿一個方向使三個件定向。在圖6B中，相對於流量敏感部件沿垂直方向將其等定向。
實例性科里奧利質量流量計總成
圖7圖解說明根據一項實施例之一整合式科里奧利質量流量計總成700。流量計100由一電磁驅動器總成驅動。電磁驅動器包含經安裝至一橫構架704之一磁體702及經安裝至一橫構架708之一線圈706。橫構架704、708分別經附接至流量計100之流量敏感部件102a、102b。當將一適合正弦信號施加至線圈706時，流量敏感部件102a及102b受驅動以相反相位模式振動。
包括位於流量敏感部件102a、102b之相對側上之磁體/線圈對710、714及712、716之運動感測器(亦稱為電感「揀拾器」或「速度感測器」)偵測由流動通過流量敏感部件102a、102b之流體產生之科里奧利力。流量敏感部件102a及102b之運動係以電感方式在安裝至橫構架708之線圈714、716中產生。線圈714、716係包含經安裝至橫構架704之對應磁體710、712之 運動回應磁體線圈對之一部分。在流量計僅包含一個振動流量敏感部件之情形中，可將磁體直接附接至流量敏感部件且可將線圈附接至一經牢固安裝平台(未展示)。
當運動感測器偵測由於外加激發運動所致的產生於流量敏感部件102a、102b中之運動時，其輸出表示質量流量誘發之科里奧利力之貢獻之信號。來自此等運動感測器之輸出信號(舉例而言)經由一傳輸電路722被傳輸至計電子器件720。計電子器件720處理所接收信號且(舉例而言)經由一信號路徑726將指示流體材料質量流量速率之資訊輸出至顯示器724。亦可使用其他類型之運動感測器，諸如光學感測器。
已出於圖解說明目的呈現對本發明之實施例之前述說明；並不意欲窮盡本發明或將本發明限制在所揭示之精確形式。熟習相關技術者可瞭解可根據以上揭示內容做出諸多修改及變化。說明書中所使用之語言原則上已出於易讀性及指導性目的而選擇，且並非為描寫或限制發明標的物而選擇。因此本發明之範疇不意欲由此實施方式限制，而是由基於一申請案而頒佈之申請專利範圍限制。因此，本發明之實施例之揭示內容意欲係說明性但非限制本發明之範疇，此將在以下申請專利範圍中陳述。

Claims (21)

  1. 一種整合式科里奧利質量流量計，其包括：一流量敏感部件，該流量敏感部件具有兩個管狀支腿(tubular legs)；及一支撐件，其包覆成型(over-molded)於該流量敏感部件上方，其中該支撐件之一勁度超過該等管狀支腿之一勁度，該等管狀支腿中之每一者延伸穿過該支撐件，且該支撐件夾緊(clamps)該等管狀支腿中之每一者。
  2. 如請求項1之整合式科里奧利質量流量計，其中該流量敏感部件具有一管狀剖面。
  3. 如請求項2之整合式科里奧利質量流量計，其中該流量敏感部件之一壁之一厚度小於1mm。
  4. 如請求項1之整合式科里奧利質量流量計，其中該流量敏感部件係一管狀流量敏感部件。
  5. 如請求項4之整合式科里奧利質量流量計，其中該管狀流量敏感部件係由一單一材料構造之一整體流量敏感部件。
  6. 如請求項4之整合式科里奧利質量流量計，其中該管狀流量敏感部件具有無隅角之一形狀。
  7. 如請求項4之整合式科里奧利質量流量計，其中該管狀流量敏感部件具有一曲線形狀。
  8. 如請求項4之整合式科里奧利質量流量計，其中該管狀流量敏感部件由一聚合材料構造。
  9. 如請求項8之整合式科里奧利質量流量計，其中該聚合材料選自由以下各項組成之一群組：全氟烷氧基烷烴(PFA)、聚醚醚酮(PEEK)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)及氟化乙烯丙烯(FEP)。
  10. 如請求項8之整合式科里奧利質量流量計，其中用於該支撐件之該材料係一第二聚合材料。
  11. 如請求項8之整合式科里奧利質量流量計，其中用於該支撐件之該材料係玻璃填充聚碳酸酯。
  12. 如請求項1之整合式科里奧利質量流量計，其中該支撐件包括夾緊該等管狀支腿之端口延伸部。
  13. 如請求項1之整合式科里奧利質量流量計，其中該支撐件具有實質上等於或小於該等管狀支腿之一熱膨脹係數的一熱膨脹係數。
  14. 如請求項1之整合式科里奧利質量流量計，其進一步包括：一額外流量敏感部件，該額外流量敏感部件具有額外的兩個管狀支腿，其中全部該等管狀支腿係平行的，且其中該支撐件包覆成型於該額外流量敏感部件上方，其中全部該等管狀支腿延伸穿過該支撐件，且該支撐件夾緊該等管狀支腿中之每一者。
  15. 如請求項14之整合式科里奧利質量流量計，其中該支撐件包括建立該等流量敏感部件之振動之邊界條件的隔離板。
  16. 一種製造如請求項1之整合式科里奧利質量流量計之方法，其包括：在該流量敏感部件上方閉合(closing)用於該支撐件之一模具(mold)，該模具經定位以形成該支撐件；將用於該支撐件之一材料注入(injecting)至該模具中，該材料係在不超過用於該流量敏感部件之一材料之一玻璃轉化溫度(glass transition temperature)之一溫度下被注入；使該經注入材料冷卻；及自該模具釋放(releasing)該支撐件及該流量敏感部件。
  17. 如請求項16之方法，其進一步包括：當將用於該支撐件之該材料注入至該模具中時，藉由一工具將該流量敏感部件固持在一固定位置中。
  18. 如請求項16之方法，其進一步包括：當將用於該支撐件之該材料注入至該模具中並冷卻時，將桿插入至該等管狀支腿中並將該等桿維持於該等管狀支腿中。
  19. 如請求項16之方法，其中對該模具進行定位進一步包括在一額外流量敏感部件上方閉合該模具，該額外流量敏感部件具有額外的兩個管狀支腿，該模具經定位以形成該支撐件，其中全部該等管狀支腿延伸穿過該支撐件，藉此使該支撐件包覆成型於全部該等流量敏感部件上方且該支撐件夾緊至全部該等管狀支腿上。
  20. 一種整合式科里奧利質量流量計，其包括：一流量敏感部件，該流量敏感部件具有兩個管狀支腿；及一支撐件，其包覆成型於該流量敏感部件上方，其中該支撐件之一阻尼係數係小於該等管狀支腿之一阻尼係數，該等管狀支腿中之每一者延伸穿過該支撐件，且該支撐件夾緊該等管狀支腿中之每一者。
  21. 如請求項20之整合式科里奧利質量流量計，其中該流量敏感部件由一聚合材料構造，且其中該支撐件具有實質上等於或小於該等管狀支腿之一熱膨脹係數的一熱膨脹係數。
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