TWI623246B

TWI623246B - Electrode element for plasma etching and method of manufacturing same

Info

Publication number: TWI623246B
Application number: TW103145980A
Authority: TW
Inventors: Chao-Yang Syu; Yin-Sin Jiang; Fan Peng
Priority date: 2014-03-28
Filing date: 2014-12-29
Publication date: 2018-05-01
Also published as: TW201538038A; CN104952678A

Abstract

一種用於電漿蝕刻的電極元件及其製造方法，採用一安裝層和一彈性連接層構成一連接層，置於一電極和一支撐部件之間，設置所述安裝層的材料與所述電極和所述支撐部件之一的材質相同，並將所述安裝層和與其材質相同的結合面機械連接，將彈性連接層與未與所述安裝層連接的一結合面連接固定，實現支撐部件和所述電極的可拆卸連接。所述彈性連接層可以增大電極和支撐部件之間的有效接觸面積，從而降低電極和支撐部件間的接觸熱阻，另外，還可以允許所述電極和所述支撐部件之間由於熱膨脹而導致的相對運動，從而避免電極和支撐部件之間由於兩者的熱膨脹係數差而導致電極的彎曲或開裂的問題，延長了電極使用壽命。

Description

用於電漿蝕刻的電極元件及其製造方法

本發明涉及電漿處理技術領域，更具體地，涉及用於電漿處理的內部元件技術領域，特別是指一種用於電漿處理的電極元件及其製造方法。

眾所周知，電漿反應室(plasma chamber)應用於半導體製造工藝中，用以在半導體襯底、基片或晶片上沉積和蝕刻各種物質層。為了在電漿反應室中產生電漿，該電漿反應室內部需要被抽成真空，然後再注入前驅氣體(precursor gas)，並將射頻能量耦合到電漿反應室內。大體來說，電漿蝕刻反應室分為兩大類：電感耦合型電漿反應室(inductive-coupled plasma chambers)和電容耦合型電漿反應室(capacitive-coupled plasma chambers)。在電感耦合型電漿反應室中，射頻能量主要是以電感耦合的方式耦合到電漿中，而在電容耦合型電漿反應室中，射頻主要通過在射頻放電表面，比如，氣體噴頭(shower head)或陰極(cathode)上通過電容放電耦合到電漿中。

在電漿處理中，必須嚴格控制反應室內部的處理溫度，比如，反應氣體溫度或電漿溫度。這可以部分地通過控制同時作用為氣體噴頭的電極的溫度來實現。通常，電極會被連接在一支撐部件上，業界也有人採用直接將電極與一溫度控制元件連接在一起，該溫度控制元件同時作用為支撐部件。溫度控制元件通常由金屬(如鋁)或其他具有高熱傳導性的材料製成，其內部會設置若干加熱線圈或液體冷卻氣體通道或氣體冷卻氣體通道。為了控制電極的溫度，溫度控制元件與電極通過機械連接方式或其他方式連接在一起。但是，已經發現，在電漿處理過程中，由於支撐部件和電極材質較硬，接觸面難以完全貼合，導致其熱量傳導效率降低，同時由於電極和支撐部件之間具有不同的熱膨脹/收縮，這會引起電極變形或彎曲，更有甚者，會使電極破裂，從而影響電漿處理的均一性和加工穩定性。

現有技術中公開了可以在支撐部件和所述電極之間設置一層軟性的連接層，其可以允許電極和支撐部件相對運動，避免了電極可能發生的破裂，然而，由於所述電極在電漿環境中工作一定時間會遭到電漿轟擊或腐蝕等損害，需要對其進行替換，為減少浪費，節約成本，通常選擇僅替換所述電極的方式，但是，帶有連接層的電極很難從所述支撐部件上拆卸下來，如果將支撐部件和所述電極一同置於高溫環境中對連接層進行熔化，由於支撐部件材質通常為鋁，而鋁的熔點較低，有可能會對支撐部件也造成損害，因此，難以操作。

為了解決上述問題，本發明公開了一種用於電漿處理的電極元件，包括：具有第一結合面的支撐部件，所述支撐部件為金屬材質；一電極，具有與所述第一結合面配合的第二結合面；一設置於所述支撐部件和所述電極之間的連接層，所述連接層包括一彈性連接層和一安裝層，所述安裝層的材質與所述支撐部件材質相同或與所述電極材質相同，所述安裝層與材質相同的所述支撐部件的第一結合面或所述電極的第二結合面固定結合，所述彈性連接層與另一結合面固定結合。

優選的，所述安裝層的材質與所述金屬部件材質相同，為一金屬層，所述安裝層和所述支撐部件的第一結合面固定結合，所述彈性連接層與所述電極的第二結合面固定結合。

優選的，所述支撐部件的第一結合面材質為鋁或鋁合金，所述安裝層材質與所述支撐部件的材質相同。

優選的，所述安裝層的材質與所述電極材質相同，所述安裝層與所述電極的第二結合面固定結合，所述彈性連接層與所述支撐部件的所述第一結合面固定結合。

優選的，所述電極的材質為矽、碳化矽、石英或鋁中的一種，所述安裝層的材質與所述電極材質相同。

優選的，所述電極元件為氣體噴頭式電極，所述支撐部件上設置第一組噴氣孔，所述電極上設置第二組噴氣孔，所述連接層上設置容許所述第一組噴氣孔和所述第二組噴氣孔氣體貫通的氣體通道。

優選的，所述連接層上的氣體通道設置為與所述第一組噴氣孔和第二組噴氣孔相匹配的第三組噴氣孔，所述第三組噴氣孔的孔徑大於等於所述第一組噴氣孔和所述第二組噴氣孔的孔徑。

優選的，所述連接層上的氣體通道設置為環繞所述第一組噴氣孔和所述第二組噴氣孔的窄縫，所述窄縫的寬度大於所述第一組噴氣孔和所述第二組噴氣孔的孔徑。

優選的，所述支撐部件內部或上方設置溫度調節系統，所述彈性連接層具有良好的導熱性能。

優選的，所述彈性連接層的材料為有機矽膠，所述有機矽膠中包含氧化鋁或氮化鋁等導熱材料。

優選的，所述彈性連接層的材料為可熔性含氟聚合物，所述含氟聚合物包括以下材料中的一種：氟烷氧化合物(PFA)、聚四氟乙烯(PTFE)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)、聚氟乙烯丙烯(FEP)、聚醚醚酮(PEEK)、聚三氟氯乙烯(PCTFE)。

優選的，所述安裝層的厚度小於等於0.5mm，所述彈性連接層的厚度小於等於3mm。

進一步的，本發明還公開了一種電極元件的製造方法，包括下列步驟：提供一具有第一結合面的支撐部件，在所述支撐部件上設置第一組噴氣孔；提供一具有第二結合面的電極，在所述電極上設置與所述第一組噴氣孔相匹配的第二組噴氣孔；提供一連接層，在所述連接層上設置一組氣體通道，所述連接層包括一安裝層和一彈性連接層，所述安裝層的材質與所述支撐部件或所述電極之一材質相同；將所述安裝層和與其材質相同的所述支撐部件或所述電極固定結合，將所述彈性連接層與未與所述安裝層連接的一結合面固定結合，並使得所述第一組噴氣孔，所述氣體通道和所述第二組噴氣孔貫通。

優選的，所述安裝層與所述支撐部件的材質相同，所述彈性連接層具有黏性，將所述安裝層和所述支撐部件的第一結合面固定結合，將所述彈性連接層的一面與所述安裝層黏接，另一面與所述電極的第二結合面連接固定。

優選的，所述支撐部件和所述電極機械方式夾緊連接，所述安裝層通過所述機械方式與所述支撐部件夾緊結合。

優選的，所述安裝層與所述支撐部件的材質相同，所述彈性連接層不具有黏性，將所述安裝層靠近所述支撐部件放置，所述彈性連接層靠近所述電極放置，將所述支撐部件和所述電極機械方式夾緊連接，將所述安裝層和所述彈性連接層機械固定結合到所述支撐部件和所述電極之間。

優選的，所述安裝層與所述電極材質相同，所述彈性連接層具有黏性，將所述安裝層和所述電極的第二結合面固定結合，將所述彈性連接層的一面與所述安裝層黏接，另一面與所述支撐部件的第一結合面連接固定。

優選的，所述安裝層與所述電極材質相同，所述彈性連接層不具有黏性，將所述安裝層靠近所述電極放置，所述彈性連接層靠近所述支撐部件放置，將所述支撐部件和所述電極機械方式夾緊連接，將所述安裝層和所述彈性連接層機械固定結合到所述支撐部件和所述電極之間。

本發明採用一安裝層和一彈性連接層構成一連接層，置於一電極和一支撐部件之間，設置所述安裝層的材料與所述電極和所述支撐部件之一的材質相同，並將所述安裝層和與其材質相同的電極或與其材質相同的支撐部件固定結合，將彈性連接層與未與所述安裝層連接的一結合面固定結合，實現支撐部件和所述電極的可拆卸連接。所述彈性連接層允許所述電極和所述支撐部件之間由於熱膨脹而導致的相對運動，從而避免電極和支撐部件之間由於兩者的熱膨脹係數差而導致電極的彎曲或開裂的問題，延長了電極使用壽命，降低了使用成本，提高了電漿反應室的穩定性，當需要更換部件如電極時，可方便地將電極更換下來，換上新的電極，同時，彈性連接層和安裝層組成的連接層可以提高所述支撐部件和所述電極間的熱傳導，能夠實現更好地溫度控制。

110、110’‧‧‧支撐部件

111、111’‧‧‧第一結合面

115、115’‧‧‧第一組噴氣孔

120、120’‧‧‧安裝層

130、130’‧‧‧彈性連接層

140、140’‧‧‧電極

141、141’‧‧‧第二結合面

145、145’‧‧‧第二組噴氣孔

150、150’‧‧‧連接層

155、155’‧‧‧第三組噴氣孔

210、210’‧‧‧支撐部件

211、211’‧‧‧第一結合面

215、215’‧‧‧第一組噴氣孔

220、220’‧‧‧安裝層

230、230’‧‧‧彈性連接層

240、240’‧‧‧電極

241、241’‧‧‧第二結合面

245、245’‧‧‧第二組噴氣孔

250、250’‧‧‧連接層

255、255’‧‧‧第三組噴氣孔

圖1是本發明的電極元件的一具體實施例的正視剖面示意圖。

圖2a是本發明的電極元件的另一具體實施例的正視剖面示意圖。

圖2b是圖2a所述實施例未連接電極時的仰視剖面示意圖。

圖3是本發明的電極元件的另一具體實施例的正視剖面示意圖。

圖4是本發明的電極元件的另一具體實施例的正視剖面示意圖

為更好的理解本發明的內容，下面結合具體實施例作進一步說明。圖1是本發明的電極元件的一具體實施例的正視剖面示意圖，在本實施例中，所述電極元件為一氣體噴頭式電極，所述氣體噴頭式電極元件包括支撐部件110、電極140和位於支撐部件110和電極140之間的連接層150，支撐部件110包括第一結合面111，支撐部件110上設置第一組噴氣孔115；電極140包括第二結合面141，電極140上設置第二組噴氣孔145。連接層150包括一彈性連接層130和一安裝層120，連接層150上設置容許所述第一組噴氣孔115和所述第二組噴氣孔氣體145貫通的氣體通道。氣體通道的結構可以為實現第一組噴氣孔115和第二組噴氣孔145對接的第三組噴氣孔155，也可以為環繞第一組噴氣孔和第二組噴氣孔的窄縫，下文將對其詳細介紹。安裝層120的材質可以與支撐部件110的材質相同，也可以與電極140的材質相同，在本實施例中，支撐部件110材質為金屬材質，安裝層120材質與支撐部件110材質相同，為一層厚度在0.05mm0.5mm之間的金屬層，優選的，該金屬層為鋁層。此時，鋁製的安裝層120與支撐部件110通過機械方式固定結合，彈性連接層130與電極140的第二結合面141固定結合。

電極140的材質通常為矽、石墨、碳化矽、石英或鋁等材料，而支撐部件的材質通常為金屬材質，支撐部件110內部或者上方通常可以設置溫度調節裝置(圖中未示出)，實現對電極140的溫度調節，由於支撐部件和電極材質較硬，接觸面難以完全貼合，導致支撐部件內部或上方的熱量在向電極傳導時，熱量傳導效率降低，同時如果電極140的材料為矽、石墨、碳化矽、石英中的一種，由於電極140和支撐部件110之間具有不同的熱膨脹/收縮，這會引起電極變形或彎曲，更有甚者，會使電極破裂，從而影響電漿處理的均一性和加工穩定性。在電漿環境下工作，電極140經常受到電漿的物理轟擊和反應氣體的化學腐蝕，使用一定時間後需要對電極140進行替換；而與電極140連接的支撐部件由於不處在電漿環境中，損耗較小，為了節約成本，理想的方案是能方便地將電極140從支撐部件110上進行拆卸和組裝。

基於上述技術問題，圖1公開的本發明的實施例可以方便地解決上述問題，具體說來，選擇鋁製的安裝層120可以實現與支撐部件110的機械連接，同時由於安裝層120材質與支撐部件110材質相同，避免了由於材料不同具有不同熱膨脹係數可能造成的電極140變形或彎曲，更有甚者，會使電極140破裂等問題。通過將安裝層120與支撐部件110機械連接，便於實現安裝層120下方的電極140和支撐部件110的分離、替換。同時，由於鋁製安裝層120通過彈性連接層130與電極140連接固定，彈性連接層130可以保持電極140與鋁製安裝層120之問的相對運動，避免電極和安裝層由於材料不同，受熱膨脹狀況不同發生的電極變形或彎曲，更有甚者，會使電極破裂等問題。由於彈性連接層130材質較軟，能夠與安裝層120和電極140的接觸面完全貼合，提高了支撐部件110與電極140間的熱傳導效率。

在本實施例中，連接層150上設置有與第一組噴氣孔115和第二組噴氣孔145相匹配的第三組噴氣孔155，為了避免彈性連接層130受熱變形導致第三組噴氣孔155發生變形堵塞，一般的，通常第三組噴氣孔155的孔徑大於等於第一組噴氣孔115和第二組噴氣孔145的孔徑。在本發明中，彈性連接層130的材料可以為黏性的也可以不具有黏性，本實施例中，選擇彈性連接層130的材料具有黏性，本實施例所述的電極元件的製作方法為：提供一具有第一結合面111的支撐部件110，在支撐部件110上設置第一組噴氣孔115；提供一具有第二結合面141的電極140，在電極140上設置與第一組噴氣孔115相匹配的第二組噴氣孔145；提供一安裝層120和一彈性連接層130並將二者連接固定形成連接層150，在連接固定好的連接層150上設置與第一組噴氣孔115和第二組噴氣孔145相匹配的第三組噴氣孔155，將彈性連接層130未與安裝層120連接的一面與電極140黏結固定，將安裝層120與支撐部件110機械連接，如可以通過螺釘擰緊等方法連接固定；由於安裝層120的厚度較小，難以承受螺釘的擰壓，可以通過機械裝置將電極140和支撐裝置110安裝到一起，實現安裝層120與支撐部件110的固定結合。需要注意的是，在將安裝層120與支撐部件機械固定時，以及將電極140與彈性連接層130連接固定時，需要將第一組噴氣孔115，第三組噴氣孔155以及第二組噴氣孔145依次垂直對齊，以實現反應氣體經過氣體噴頭式電極進入反應腔內。在另外的實施例中，彈性連接層130不具有黏性，因此在安裝電極元件時，將安裝層120靠近支撐部件110放置，彈性連接層130靠近電極140放置，將支撐部件110和電極140通過機械方式夾緊連接，將安裝層120和彈性連接層130機械固定結合到支撐部件110和電極140之間。

通過本實施例描述的技術方案，當電極140需要替換時，通過解除安裝層120與支撐部件110之間的機械連接，即可輕鬆實現電極140與連接層150一起從支撐部件110上解除，實現新的電極的替換。本實施例中，支撐部件110可實現若干個電極140的更新替換，相比於現有技術中支撐部件110一起替換，大大降低了設備成本。

圖2a-2b是本發明另一種實施例的電極元件剖面示意圖，圖2a是本實施例的電極元件的正視剖面示意圖，本實施例的支撐部件110’和安裝層120’的材料與上述實施例相同，區別在於：連接層150’上設置的容許第一組噴氣孔115’和所述第二組噴氣孔氣體145’貫通的氣體通道為若干條窄縫，窄縫圍繞第一組噴氣孔115’和第二組噴氣孔145’設置。圖2b是本實施例的連接層150’未與電極140’連接固定時的仰視剖面示意圖，由圖2b可以清晰的看到，由於第一組噴氣孔115’排布密集，窄縫之間可以包含至少一組噴氣孔(如第三組噴氣孔155’)，其他技術特徵同上述實施例。

圖3是本發明的電極元件的另一具體實施例的正視剖面示意圖，在本實施例中，連接層250的安裝層220材質與電極240的材質相同，電極240材料通常為矽、石墨、碳化矽、石英等材料，由於安裝層220與電極240直接接觸，為避免不同材料熱膨脹係數不同造成的電極240變形、彎曲或者破裂等問題，安裝層220材質也選擇為矽、石墨或者碳化矽等材料。類似於圖1所示的實施例，支撐部件210上設置第一組噴氣孔215，電極240上設置第二組噴氣孔245，將彈性連接層230與安裝層220連接固定，並在其上設置第三組噴氣孔255，安裝層220通過機械方式與電極240固定連接，彈性連接層230與支撐部件210連接固定，固定連接時保持第一組噴氣孔215、第三組噴氣孔255和第二組噴氣孔245依次垂直貫通。為了避免彈性連接層230受熱變形導致第三組噴氣孔255發生變形堵塞，通常第三組噴氣孔255的孔徑大於等於第一組噴氣孔215和第二組噴氣孔245的孔徑。

本實施例所述的電極元件的製作方法為：提供一具有第一結合面211的支撐部件210，在支撐部件210上設置第一組噴氣孔215；提供一具有第二結合面241的電極240，在電極240上設置與第一組噴氣孔215相匹配的第二組噴氣孔245；提供一材質與電極240材質相同的安裝層220和一彈性連接層230，在本發明中，彈性連接層230的材料可以為黏性的也可以不具有黏性，本實施例中，選擇彈性連接層230的材料具有黏性，將安裝層220和彈性連接層230連接固定形成連接層250，在連接固定好的連接層250上設置與第一組噴氣孔215和第二組噴氣孔245相匹配的第三組噴氣孔255，將安裝層220與電極240機械連接，如可以通過螺釘擰緊等方法連接固定，由於安裝層220的厚度較小，難以承受螺釘的擰壓，可以通過機械裝置將電極240和支撐裝置210安裝到一起，實現安裝層220與支撐部件210的固定結合。再將支撐部件210連接固定到彈性連接層230背向安裝層220的一面。需要注意的是，在將安裝層220與電極240機械固定時，以及將支撐部件210與彈性連接層230連接固定時，需要將第一組噴氣孔215，第三組噴氣孔255以及第二組噴氣孔245依次垂直對齊，以實現反應氣體經過氣體噴頭式電極進入反應腔內。明顯的，在製作電極元件時，也可以先將連接層150與支撐部件210連接固定，再與電極240機械固定，固定時同樣需要考慮三組噴氣孔依次對齊。在另外的實施例中，彈性連接層230不具有黏性，因此在安裝電極元件時，將安裝層220靠近電極240放置，彈性連接層230靠近支撐部件210放置，將支撐部件210和電極240通過機械方式夾緊連接，將安裝層220和彈性連接層230機械固定結合到支撐部件210和電極240之間。

本實施例相對於圖1所示的實施例優點在於，本實施例中彈性連接層230與通常為金屬材質的支撐部件210接觸具有良好的熱傳導效率，能將支撐部件210的溫度即時、有效的通過安裝層220傳遞至電極240，且在替換時，僅需要解除電極240和安裝層220之間的機械連接，實現只對電極240進行替換的目的。在本實施例中，支撐部件210、彈性連接層230以及安裝層220都可以實現重複利用，最大限度的節省了設備成本。

圖4是本發明的電極元件的另一具體實施例的正視剖面示意圖，本實施例的安裝層220’與電極240’的材料與上述實施例相同，區別在於：連接層250’上的設置容許第一組噴氣孔215’和所述第二組噴氣孔氣體245’貫通的氣體通道為若干條窄縫，窄縫圍繞第一組噴氣孔215’和第二組噴氣孔245’設置。由於第一組噴氣孔215’排布密集，之間可以包含至少一組噴氣孔(如第三組噴氣孔255’)，其他技術特徵同上述實施例。

在另外的實施例中，所述電極也可以為金屬材質，如鋁，為避免所述電極被電漿腐蝕，可以在鋁製的電極表面塗覆耐電漿腐蝕的塗層。雖然電極材料與支撐部件材料相同，然而，由於兩個金屬部件的結合面具有較強的硬度，難以完全貼合，造成熱量在由支撐部件向電極傳輸時效率降低，且會導致不均勻性，因此也可以採用本發明所述的技術方案，安裝層既可以與支撐部件的第一結合面結合，也可以與電極的第二結合面結合。其他技術特徵同上述實施例。

需要說明的是，上面內容對本發明的具體實施例進行了描述，通過該描述，使得本發明更加清楚，但是上述實施例是示例性的，而不是用於限制本發明範圍的，綜上所述，本發明的用於電漿處理的電極元件避免了電極彎曲或開裂，延長了電極使用壽命，降低了使用成本，提高了電漿反應室的穩定性，且結合牢固，其製造方法操作簡單，分離方法操作簡單，部件更換方便，降低了成本，適合於大規模工業化生產。

在此說明書中，本發明已參照其特定的實施例作了描述。但是，很顯然仍可以作出各種修改和變換而不背離本發明的精神和範圍。因此，說明書和附圖應被認為是說明性的而非限制性的。

Claims

一種用於電漿處理的電極元件，包括：具有第一結合面的支撐部件，所述支撐部件為金屬材質；一電極，具有與所述第一結合面配合的第二結合面；以及一設置於所述支撐部件和所述電極之間的連接層，所述連接層包括一彈性連接層和一安裝層，所述安裝層的材質與所述支撐部件材質相同或與所述電極材質相同，所述安裝層與材質相同的所述支撐部件的第一結合面通過機械方式固定結合及所述安裝層通過所述彈性連接層與所述電極的第二結合面固定結合，所述彈性連接層與另一結合面固定結合。
根據請求項1所述的電極元件，其中，所述安裝層的材質與所述支撐部件材質相同，為一金屬層，所述安裝層和所述支撐部件的第一結合面固定結合，所述彈性連接層與所述電極的第二結合面固定結合。
根據請求項2所述的電極元件，其中，所述支撐部件的第一結合面材質為鋁或鋁合金，所述安裝層材質與所述支撐部件的材質相同。
根據請求項1所述的電極元件，其中，所述電極的材質為矽、碳化矽、石英或鋁中的一種，所述安裝層的材質與所述電極材質相同。
根據請求項1-4中任一項請求項所述的電極元件，其中，所述電極元件為氣體噴頭式電極，所述支撐部件上設置第一組噴氣孔，所述電極上設置第二組噴氣孔，所述連接層上設置容許所述第一組噴氣孔和所述第二組噴氣孔氣體貫通的氣體通道。
根據請求項5所述的電極元件，其中，所述連接層上的氣體通道設置為與所述第一組噴氣孔和第二組噴氣孔相匹配的第三組噴氣孔，所述第三組噴氣孔的孔徑大於等於所述第一組噴氣孔和所述第二組噴氣孔的孔徑。
根據請求項5所述的電極元件，其中，所述連接層上的氣體通道設置為環繞所述第一組噴氣孔和所述第二組噴氣孔的窄縫，所述窄縫的寬度大於所述第一組噴氣孔和所述第二組噴氣孔的孔徑。
根據請求項5所述的電極元件，其中，所述支撐部件內部或上方設置溫度調節系統，所述彈性連接層具有良好的導熱性能。
根據請求項8所述的電極元件，其中，所述彈性連接層的材料為有機矽膠，所述有機矽膠中包含氧化鋁或氮化鋁等導熱材料。
根據請求項8所述的電極元件，其中，所述彈性連接層的材料為可熔性含氟聚合物，所述含氟聚合物包括以下材料中的一種：氟烷氧化合物(PFA,Perfluoroalkoxy)、聚四氟乙烯(PTFE,Polytetrafluoroethylene)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE,Ethylene Tetrafluoroethylene Copolymer)、聚氟乙烯丙烯(FEP,Fluorinated Ethylene Propylene)、聚醚醚酮(PEEK,polyetheretherketone)、聚三氟氯乙烯(PCTFE,Polytetrafluoroethylene)。
根據請求項1-4任一項請求項所述的電極元件，其中，所述安裝層的厚度小於等於0.5mm，所述彈性連接層的厚度小於等於3mm。
一種電極元件的製造方法，包括下列步驟：提供一具有第一結合面的支撐部件，在所述支撐部件上設置第一組噴氣孔；提供一具有第二結合面的電極，在所述電極上設置與所述第一組噴氣孔相匹配的第二組噴氣孔；提供一連接層，在所述連接層上設置一組氣體通道，所述連接層包括一安裝層和一彈性連接層，所述安裝層的材質與所述支撐部件或所述電極之一材質相同；以及將所述安裝層和與其材質相同的所述支撐部件通過機械方式固定結合及所述安裝層通過所述彈性連接層與所述電極固定結合，將所述彈性連接層與未與所述安裝層連接的一結合面固定結合，並使得所述第一組噴氣孔、所述氣體通道和所述第二組噴氣孔貫通。
根據請求項12所述的電極元件的製造方法，其中，所述支撐部件和所述電極機械方式夾緊連接，所述安裝層通過所述機械方式與所述支撐部件夾緊結合。
根據請求項12所述的電極元件的製造方法，其中，所述安裝層與所述支撐部件的材質相同，所述彈性連接層不具有黏性，將所述安裝層靠近所述支撐部件放置，所述彈性連接層靠近所述電極放置，將所述支撐部件和所述電極機械方式夾緊連接，將所述安裝層和所述彈性連接層機械固定結合到所述支撐部件和所述電極之間。
根據請求項12所述的電極元件的製造方法，其中，所述安裝層與所述電極材質相同，所述彈性連接層具有黏性，將所述安裝層和所述電極的第二結合面固定結合，將所述彈性連接層的一面與所述安裝層黏接，另一面與所述支撐部件的第一結合面連接固定。
根據請求項15所述的電極元件的製造方法，其中，所述支撐部件和所述電極機械方式夾緊連接，所述安裝層通過所述機械方式與所述支撐部件夾緊結合。
根據請求項12所述的電極元件的製造方法，其中，所述安裝層與所述電極材質相同，所述彈性連接層不具有黏性，將所述安裝層靠近所述電極放置，所述彈性連接層靠近所述支撐部件放置，將所述支撐部件和所述電極機械方式夾緊連接，將所述安裝層和所述彈性連接層機械固定結合到所述支撐部件和所述電極之間。
根據請求項12所述的電極元件的製造方法，其中，所述安裝層的厚度小於等於0.5mm，所述彈性連接層的厚度小於等於3mm。