TWI609180B - 用於生醫裝置之液膜的圖案化沉積 - Google Patents

Description

用於生醫裝置之液膜的圖案化沉積

本文所述實施例大體係關於用於形成生醫裝置的方法和設備。更特別地，實施例提供在生醫裝置製造中沉積生物官能化材料至開口內的方法。

特定核酸偵測係診斷醫學和分子生物學研究的重要工具。基因探針試驗目前用在識別諸如細菌與病毒等傳染性生物體、探測正常與突變基因表現並識別突變基因，例如致癌基因、用於在組織移植前就相容性將組織分型(typing)、用於法醫學比對組織或血液樣品，及探究不同物種間的基因同源性。最新進展包括製造併入基因探針的生醫裝置，例如DNA定序晶片和微流體晶片。

製造該等生醫裝置時，生物官能化材料用於安置及固定基因探針。呈液態時，生物官能化材料往往需沉積至圖案化區域(例如通孔或井)內。生物官能化材料液膜通常以毯覆方式沉積。一旦沉積，便需要後續移除/清洗步驟自圖案化區域間的間隙區移除材料，例如化學機械研磨(CMP)。

然利用CMP後續移除/清洗步驟有一些缺點。首先，CMP會損壞形成於基材上的井。另外，CMP 會產生必需移除的微粒。然目前醫療方案(protocol)不具精密度，故宜避免後續移除/清洗步驟。

因此，亟需具有提高的精密度及減低的清洗要求之用於沉積生物官能化材料的方法。

本文所述實施例大體提供用於形成生醫裝置的方法。更特別地，所述實施例提供沉積生物官能化材料至形成於基材上的開口內的方法。

在一實施例中，沉積材料的方法包括將基材置於基材支撐件上，基材具有複數個井形成於基材內；將印刷遮罩置於基材上方，印刷遮罩具有複數個遮罩開口，複數個遮罩開口對應複數個井；及經由印刷遮罩沉積生物官能化材料而至井內，生物官能化材料由複數個遮罩開口引導，使生物官能化材料在複數個井的底表面上方形成一層。

在另一實施例中，沉積材料的方法包括將基材置於基材支撐件上，基材具有複數個井；把印刷遮罩對準基材上方，印刷遮罩具有複數個遮罩開口，遮罩開口對應及對準複數個井的至少一個井；用生物官能化材料塗覆印刷遮罩；及將生物官能化材料擠壓通過複數個遮罩開口，遮罩開口經設置使生物官能化材料沉積於井內。

在又一實施例中，沉積材料的方法包括將基材置於基材支撐件上，基材具有複數個井形成於基材內，基材包含複數個層，且頂層為含矽層，複數個井延伸穿過至 少含矽層，複數個井各具第一寬度、第一長度，及包含矽烷化層形成於底表面上；將印刷遮罩置於基材上方，印刷遮罩具有複數個遮罩開口，複數個遮罩開口對應井，其中複數個遮罩開口和複數個井各具周長，且遮罩開口的周長小於對應井的周長；及經由印刷遮罩沉積水凝膠而至井內，水凝膠由複數個遮罩開口引導，使水凝膠在複數個井內的矽烷化層上方形成一層。

100‧‧‧控制器

102‧‧‧網版印刷裝置

104‧‧‧致動器

106‧‧‧遮罩

108‧‧‧開口

110‧‧‧遮蔽印刷系統

112、114、116、118‧‧‧輸送器

120A、120B‧‧‧檢測裝置

130‧‧‧致動器組件

131‧‧‧印刷巢組

150‧‧‧生醫裝置

202‧‧‧基材

204‧‧‧層

206‧‧‧介電層

208‧‧‧矽烷化層

210‧‧‧井

212‧‧‧開口

214‧‧‧中心線

215‧‧‧密封

216‧‧‧生物官能化材料

218‧‧‧生物官能化層

226‧‧‧矽烷化合物

230、240、250、260‧‧‧層

262‧‧‧硬光罩

264‧‧‧光阻

265‧‧‧易感部分

300‧‧‧方法

302、304、306‧‧‧方塊

為讓本發明的上述概要特徵更明顯易懂，可配合參考實施例說明，部分實施例乃圖示在附圖。然應注意所附圖式僅說明典型的方法和設備實施例，故不宜視為限定本發明範圍，因為方法和設備可接納其他等效實施例。

第1圖係遮蔽印刷系統實施例的等角視圖；第2A圖至第2I圖圖示根據一實施例，在生醫裝置中沉積生物官能化材料；及第3圖係根據一實施例，沉積生物官能化材料的方法方塊圖。

為助於理解，盡可能以相同的元件符號代表各圖中共同的相似元件。應理解某一實施例所述元件當可有益地用於其他實施例，在此不另外詳述。

本揭露內容的實施例提供用於印刷單層或多層圖案至基材開口內的設備和方法。在一實施例中，系統用於在基材上提供單層或多層印刷處理。系統可為遮蔽印 刷系統(masked printing system)，且適於在部分生醫裝置生產線中進行遮蔽印刷製程，其中一或更多開口形成於基材內，沉積生物官能化材料，接著在一或更多後續處理腔室中處理基材。在一實施例中，遮蔽印刷系統係取自Baccini S.p.A.的網版印刷系統(screen printing system)，Baccini S.p.A.為美國加州Santa Clara的Applied Materials公司所擁有。

第1圖係遮蔽印刷系統110的實施例的等角視圖。所述遮蔽印刷系統110可包括材料的網版印刷或遮蔽噴印(masked jetting)。網版印刷使用輔助裝置，例如刮板，使材料經由遮罩(例如印刷遮罩)散佈而沉積材料。遮蔽噴印為材料的噴射(例如熱感應式噴墨印刷(DOD)、壓電式DOD或其他加壓方法)，以經由遮罩(例如印刷遮罩)輸送材料。在進一步實施例中，可以加壓噴灑或其他準確分配方法(例如電動分注吸管)輸送材料。遮蔽印刷系統110可配合所述實施例用於沉積生物官能化材料至形成於生醫裝置150表面的特徵結構內。

遮蔽印刷系統110具有送入輸送器116、致動器組件130(在此實施例中，致動器組件130配置成旋轉致動工作台或旋轉移動裝置)、網版印刷裝置102和送出輸送器112。送入輸送器116具有移動表面，移動表面配置以自輸入裝置(例如輸入輸送器118)接收生醫裝置150(即路徑「A」)及將生醫裝置150傳送到印刷巢組131，印刷巢組131耦接至致動器組件130。在一態樣 中，印刷巢組131包含基材搬運梭，用以相對網版印刷裝置102的印刷頭而將生醫裝置150放置於上。送出輸送器112配置以自耦接至致動器組件130的印刷巢組131接收已處理生醫裝置150及將生醫裝置150傳送到基材移除裝置，例如退出輸送器114。輸入輸送器118和退出輸送器114可為自動化基材搬運裝置，此係大型生產線的一部分。

致動器組件130可由旋轉致動器(未圖示)和系統控制器100轉動及繞著「F」軸成角度地(angularly)定位，如此可在遮蔽印刷系統110內選擇性成角度地定位印刷巢組131。致動器組件130亦可具有一或更多支撐部件，以助於控制印刷巢組131或遮蔽印刷系統110中用於進行基材處理程序的其他自動化裝置。

在一實施例中，致動器組件130包括四個印刷巢組131，此亦稱作基材支撐件，在網版印刷裝置102進行遮蔽印刷製程期間，印刷巢組各自適於支撐生醫裝置150。第1圖圖示致動器組件130的位置，其中一印刷巢組131係在位置「1」，以自送入輸送器116接收生醫裝置150，另一印刷巢組131係在網版印刷裝置102內的位置「2」，使另一生醫裝置150的表面可接收網版印刷圖案，又一印刷巢組131係在位置「3」，用以將已處理生醫裝置150傳送到送出輸送器112，再一印刷巢組131係在位置「4」，此為位置「1」與位置「3」間的中間階段。

遮蔽印刷製程期間，網版印刷裝置102適於沉積預定圖案材料至生醫裝置150的表面，生醫裝置150置於位置「2」的印刷巢組131上。在一實施例中，網版印刷裝置102包括複數個致動器，例如致動器104(例如步進馬達或伺服馬達)，致動器與系統控制器100通訊並用於調整印刷遮罩106相對於待印刷之生醫裝置150的位置及/或成角度定向，印刷遮罩置於網版印刷裝置102內。在另一實施例中，印刷巢組131依據系統控制器100的指令來相對印刷遮罩106定位生醫裝置150。印刷巢組131可用於徑向移動生醫裝置150(朝向或遠離致動器組件130的F軸)。致動器組件130亦可繞著F軸旋轉，以調整印刷巢組131(和放置於印刷巢組131上的生醫裝置150)的角度位置(angular position)。可依據系統控制器100基於取得生醫裝置150或生醫裝置150上的網版印刷層圖像計算的結果，定位印刷巢組131和生醫裝置150。

印刷遮罩106可為牢固、但具撓性的複合材料，例如塑膠或不銹鋼。印刷遮罩106可塗覆疏水層。在一實施例中，印刷遮罩106為具複數個遮罩開口108的金屬片或板，例如孔洞、開槽或其他口孔貫穿形成，以定義圖案及將網版印刷材料(例如生物材料)放到生醫裝置150的表面。在另一實施例中，印刷遮罩106的輪廓與生醫裝置150的形狀相符，因而在生醫裝置150與印刷遮罩106間形成密封。通常，利用致動器104和系統控制器 100自一或更多檢測裝置(在此圖示為檢測裝置120A、120B)接收的資訊，將印刷遮罩106定向朝生醫裝置150表面上方的預定位置，可使待沉積至生醫裝置150表面的網版印刷圖案自動對準生醫裝置150。在一實施例中，網版印刷裝置102適於沉積生物相容材料至生醫裝置150的開口內。開口寬度可小於3微米(μm)，例如約1μm的開口。在一實施例中，網版印刷裝置102適於沉積水凝膠至生醫裝置150的開口內，以於生醫裝置150的開口下表面形成水凝膠層。生醫裝置150和井將詳述於以下第2A圖至第2I圖和第3圖。

系統控制器100有助於控制及自動化整體遮蔽印刷系統110，且可包括中央處理單元(CPU)(未圖示)、記憶體(未圖示)和支援電路(或I/O)(未圖示)。CPU可為任一電腦處理器類型，電腦處理器用於工業設定來控制各種腔室製程與硬體(例如輸送器、光學檢測組件、馬達、流體輸送硬體等)，及監測系統與腔室製程(例如基材位置、製程時間、偵測訊號等)。記憶體連接至CPU，且可為一或更多容易取得的記憶體，例如隨機存取記憶體(RAM)、唯讀記憶體(ROM)、軟碟、硬碟或任何其他類型的本端或遠端數位儲存器。軟體指令和資料可於記憶體內編碼及儲存，用以指示CPU。支援電路亦連接至CPU，以藉由習知方式支援處理器。支援電路可包括快取記憶體儲存器、電源、時脈電路、輸入/輸出電路、次系統等。系統控制器100可讀取的程式(或 電腦指令)決定施行於基材的任務。較佳地，程式為系統控制器100可讀取的軟體，且包括編碼來至少產生及儲存基材位置資訊、各種控制部件的移動順序、基材光學檢測系統資訊和上述任何組合物。在本發明的方法和設備實施例中，系統控制器100包括圖案認定軟體，以解析形成於基材中的特徵結構及/或對準標記(若有的話)的位置。

第2A圖至第2I圖圖示根據一實施例，形成生醫裝置150的製程順序，且生物官能化材料218沉積至井內。所示生醫裝置150包括基材202。基材202可具任何可用於生醫裝置應用的組成，例如矽、環氧樹脂或石英基材。在一實例中，基材202實質由矽組成。基材202可具寬廣範圍的尺寸(例如長度、寬度、形狀、厚度等)。在一實例中，基材可為200毫米(mm)基材或300mm基材。在另一實例中，基材為典型96井板形狀因子的玻璃載片(例如約85mm×約127mm)。在又一實例中，基材可具任何尺寸數字，以最佳化裝置製造(例如第2代LCD玻璃尺寸為約360mm×約465mm)。

第2A圖圖示形成生醫裝置150的初期階段，生醫裝置150包括基材202，且複數個層204形成於基材202上。複數個層204包括第一層230、第二層240、第三層250和第四層260。第一層230係介電層，例如氧化矽層、氮化矽層、氮氧化矽或其他。第一層230可利用化學氣相沉積製程沉積，例如電漿加強化學氣相沉積(PE-CVD)。第二層240係彩色濾光層。彩色濾光層 由可讓至少一波長的光穿透、同時對至少一波長的光為不透光的材料組成。第三層250係介電層，例如氧化矽層、氮化矽層、氮氧化矽或其他。第三層250可利用類似第一層230的方法沉積，例如PE-CVD。第三層250係在低溫(LT)下沉積。在一實例中，LT層(例如第三層250)係在低於約100℃下沉積。在另一實例中，LT層係在夠低且不致損壞第二層240的溫度下沉積。第四層260係含金屬層，例如氧化鉭層、氧化鎢層、氧化鉿層或其他。含金屬層可由此領域已知沉積技術沉積。在一實例中，氧化鉭層係利用原子層沉積(ALD)沉積。複數個層204可包括任何用於形成生醫裝置的組成，例如金屬或介電質。

第2B圖圖示基材202，其中介電層206形成在複數個層204上方。介電層206可由介電材料組成，例如氮化矽。介電層206經蝕刻或其他處理形成一或更多開口於介電層206內，以定義複數個井210。可利用已知與材料和特徵結構尺寸相容的蝕刻技術蝕刻介電層206。介電層206在此圖示為具硬光罩262和光阻264形成於介電層206上方。硬光罩262和光阻264提供圖案用於蝕刻介電層206。光阻264接收輻射，以產生光阻264的一或更多易感部分265，在此圖示兩個易感部分265。易感部分265易遭一或更多蝕刻劑(未圖示)蝕刻。蝕刻劑接著輸送以蝕刻光阻264、硬光罩262和介電層204而形成複數個井210。形成複數個井210後，接著移除硬光罩262和光阻264。

第2C圖圖示基材202，其中介電層206具有複數個井210形成於介電層206內。複數個井210的寬度可小於3μm，例如約1μm的開口。複數個井210可具各種形狀，例如圓柱形。

複數個井210形成邊界供其他生物組分沉積，及形成環境來進行生物研究。生物組分可包括多核苷酸和全細胞裂解物等。在此實例中，複數個井210延伸穿過介電層206並止於第四層260。

第2D圖圖示生醫裝置150，且印刷遮罩106置於基材202上方及接觸介電層206。印刷遮罩106具有複數個遮罩開口212，遮罩開口對應形成於生醫裝置150上的井210。複數個遮罩開口212的尺寸通常小於複數個井210的尺寸。如圖所示，複數個井210各具約1μm的直徑，複數個遮罩開口212的直徑則各為小於1μm。

所示複數個遮罩開口212對應複數個井210。然複數個遮罩開口212可有更多或更少個遮罩開口212置於複數個井210上方。另外，雖然在此圖示對應遮罩開口與對應井的比為1：1，但一個以上的遮罩開口可對應複數個井210中的單一井210。另外，對應單一井210的附加遮罩開口212可用於沉積期間提供釋氣。複數個遮罩開口212可各自相對中心線214置中，或者複數個遮罩開口212可相對中心線214設置而偏離中心。另外，複數個遮罩開口212可結合置中與偏離中心的遮罩開口。另外，複數個遮罩開口212可具不同尺寸和形狀。如 圖所示，置中遮罩開口212的直徑大於偏離中心設置的遮罩開口212。

印刷遮罩106可與生醫裝置150的介電層(或其他上層)形成密封215。如圖所示，密封215形成在介電層206與印刷遮罩106之間。存有密封215時，第二遮罩開口212可用於逸氣，以促使材料流入井。在裝置上表面未形成密封的實施例中，氣體將沿著基材上表面自井逸出。

第2E圖圖示在印刷遮罩106上方引入矽烷化合物226，藉以經由遮罩開口而輸送至井內。雖然在此描述網版印刷沉積，但遮蔽噴印亦可用於經由遮罩開口沉積矽烷化合物226。矽烷化合物226輸送通過印刷遮罩106而至複數個井210內。矽烷化合物226會與下層(例如第四層260)反應形成矽烷化層208。可利用如背側壓力驅使矽烷化合物226通過印刷遮罩106。

第2F圖圖示生醫裝置，且矽烷化層208形成於井底。矽烷化涉及使矽烷試劑(例如矽烷化合物226)與具羥基的表面(即二氧化矽、雲母)或另一矽烷分子形成矽氧烷鍵而產生共價鍵結。矽烷化層208可由用矽烷試劑覆蓋下層(例如包含氧化鉭的第四層260)表面的製程形成，例如有機官能基烷氧基矽烷。複數個層204的組分，例如氧化矽和金屬氧化物表面，可接收矽烷化層208，因為複數個層含有羥基來取代矽烷試劑的烷氧基，從而形成-Si-O-Si-共價鍵。故矽烷化層208將在複數個 層204的下層與生物組分間界面各處形成鍵結。如圖所示，沉積矽烷化層208後，移除印刷遮罩106。然印刷遮罩106可留在位置待進一步處理，例如沉積生物官能化材料，此將說明於後。另外，可以除第2E圖及第2F圖所述外的其他方法沉積矽烷化層208，使井的底部接收矽烷化合物226。在一實例中，矽烷化合物226不採用網版印刷或遮蔽噴印輸送，例如藉由塗佈基材。

第2G圖圖示生醫裝置150，且印刷遮罩106設置連接介電層206並覆蓋矽烷化層208。印刷遮罩106的位置、結構和設計可和第2D圖所述一樣。

第2H圖圖示生醫裝置150，且在印刷遮罩106上方引用生物官能化材料216。生物官能化材料216可經由印刷遮罩106輸送至複數個井210內。如上述，可利用上述網版印刷或遮蔽噴印，經由在印刷遮罩106輸送生物官能化材料216。生物官能化材料實例包括水凝膠(例如聚丙烯醯胺凝膠)、多核苷酸前驅物(例如核苷酸三磷酸、引物等)或其他提供生醫裝置結構或功能的材料。

第2I圖圖示生醫裝置150，其中生物官能化層218形成在矽烷化層208上方。形成生物官能化層218後，自生醫裝置150移除印刷遮罩106。接著將生醫裝置150移出基材支撐件及傳送待進一步處理。雖然第2A圖至第2I圖的實施例圖示複數個層204，但生醫裝置150可具有比第2A圖至第2I圖所示更多或更少個層，包括沒有層(即無複數個層204)。

第3圖係根據一實施例，沉積生物官能化材料的方法300的方塊圖。生物官能化材料沉積係藉由將生物官能化材料擠壓通過印刷遮罩而控制。印刷遮罩具有許多開口，遮罩開口對應基材開口。故生物官能化材料將沉積至井內，而不會失誤地沉積於基材頂部。方法300包括在方塊302中，將生醫裝置安置於基材支撐件上，生醫裝置具有複數個井形成於生醫裝置內；在方塊304中，將印刷遮罩置於生醫裝置上方，印刷遮罩具有複數個遮罩開口，複數個遮罩開口對應複數個井，印刷遮罩與生醫裝置形成密封；及在方塊306中，經由印刷遮罩沉積生物官能化材料而至井內，生物官能化材料由複數個遮罩開口引導，使生物官能化材料在複數個井的底表面上方形成一層。

方法300始於在方塊302中，將生醫裝置安置於基材支撐件上，生醫裝置具有複數個井形成於生醫裝置內。基材支撐件為部分或設在處理腔室。基材支撐件和處理腔室可為第1圖所示印刷巢組131和網版印刷裝置102。生醫裝置150對應第1圖及第2A圖至第2I圖所示生醫裝置150。

基材具有複數個層設置於基材上。參見第2A圖至第2I圖將複數個層描述為四層。生醫裝置進一步包括介電層，此更清楚描述於第2A圖至第2I圖。介電層具有複數個井形成於介電層內。

接著在方塊304中，將印刷遮罩置於生醫裝置上方。第2A圖至第2I圖所示印刷遮罩為參照第1圖所述 印刷遮罩106。印刷遮罩可設置接觸生醫裝置的上表面(例如介電層206)或置於生醫裝置上方。在沉積生物官能化材料期間，印刷遮罩應容許空氣交換。

一旦將印刷遮罩置於生醫裝置上方，即在方塊306中，經由印刷遮罩沉積生物官能化材料而至複數個井內。生物官能化材料可輸送到印刷遮罩表面。材料可噴射輸送或以其他方式使材料流到印刷遮罩表面。生物官能化材料接著由複數個遮罩開口引導至井內。將生物官能化材料擠壓通過印刷遮罩。由於複數個遮罩開口的開口面積比複數個井小，故生物官能化材料主要將沉積在複數個井的對應井底，而不會沉積至介電層表面。生物官能化材料接著與矽烷化層反應，使生物官能化層牢牢黏附於矽烷化層表面。利用如背側壓力驅使生物官能化材料通過印刷遮罩。

一旦沉積生物官能化材料，生物材料便可沉積於生物官能化材料內。生物官能化材料係用於提供生物材料接觸表面與緩衝區的材料，例如多核苷酸。在一實例中，生物官能化材料係水凝膠。在另一實例中，生物官能化材料係生物材料，例如多核苷酸，此可合成或併入井的下表面。

使用水凝膠，可使多核苷酸(和其他分子)在固體支持件表面顯示。分子(特別係多核苷酸)的分子陣列(例如微陣列)可用於包括核酸放大及定序法等技術。 製備水凝膠基固體支撐分子陣列時，水凝膠形成並由此顯示分子。水凝膠形成及陣列建構可依序或同時進行。

若在陣列形成前形成水凝膠，則水凝膠通常係藉由使共聚單體混合物聚合而製造。通常，共聚單體混合物含有丙烯醯胺和一或更多共聚單體，其中後者在某種程度上容許隨後固定受關注的分子，以便形成分子陣列。用於形成水凝膠的共聚單體一般含有用於參予水凝膠交聯及/或使水凝膠固定於固體支撐件及協助聯結受關注的目標分子的功能性。

在此所用「多核苷酸」一詞係指一般核酸，包括DNA(例如基因組DNA、cDNA)、RNA(例如mRNA)、合成寡核苷酸和合成核酸類似物。多核苷酸可包括天然或非天然鹼基或上述組合物和天然或非天然主幹連結，例如硫代磷酸、PNA或2’-O-甲基-RNA或上述組合物。生物材料可由水凝膠固定，使多核苷酸得解開、露出及廣泛分佈而容許多核苷酸結合互補DNA或RNA。

上述方法使用印刷遮罩來提高生物官能化材料沉積的精確度。沉積越精確，越不會浪費生物官能化材料，同時可去除化學機械研磨或其他清洗步驟。實際上，此可避免機械損壞基材、縮短停機時間及減少製造生醫裝置的處理步驟數目。

雖然以上係針對本發明的方法和設備實施例說明，但在不脫離本發明基本範圍的情況下，當可策劃其 他和進一步的方法和設備實施例，因此本發明範圍視後附申請專利範圍所界定者為準。

150‧‧‧生醫裝置

202‧‧‧基材

204‧‧‧層

206‧‧‧介電層

208‧‧‧矽烷化層

218‧‧‧生物官能化層

Claims (20)

1. 一種沉積一材料的方法，包含：將一生醫裝置安置於一基材支撐件上，該生醫裝置具有複數個井形成於該生醫裝置內；將一印刷遮罩安置於該生醫裝置上方，該印刷遮罩具有複數個遮罩開口，該複數個遮罩開口對應該複數個井；及經由該印刷遮罩沉積一生物官能化材料而至該等井內，該生物官能化材料由該複數個遮罩開口引導，使該生物官能化材料在該複數個井的一底表面上方形成一層，其中該生醫裝置包含一含金屬層和設置於該含金屬層上方的一含矽層，其中該複數個井延伸穿過該含矽層並止於該含金屬層。
2. 如請求項1所述之方法，其中該複數個遮罩開口和該複數個井各具一周長，且其中該遮罩開口的該周長小於該井的該對應周長。
3. 如請求項1所述之方法，其中該複數個遮罩開口中的二或更多個遮罩開口對應該複數個井中的各井。
4. 如請求項1所述之方法，其中該印刷遮罩抵靠該生醫裝置而密封。
5. 如請求項1所述之方法，進一步包含：在沉 積該生物官能化材料之前，在各該複數個井的底部沉積一矽烷化層。
6. 如請求項1所述之方法，其中該生物官能化材料係一水凝膠(hydrogel)。
7. 如請求項1所述之方法，其中該生物官能化材料藉由網版印刷或遮蔽噴印(masked jetting)輸送通過該印刷遮罩。
8. 一種沉積一材料的方法，包含：將一生醫裝置安置於一基材支撐件上，該生醫裝置具有複數個井；在該生醫裝置上方對準一印刷遮罩，該印刷遮罩具有複數個遮罩開口，該等遮罩開口對應且對準該複數個井中的至少一個井；在該印刷遮罩與該生醫裝置之間形成密封；用一生物官能化材料塗覆該印刷遮罩；及將該生物官能化材料擠壓通過該複數個遮罩開口，該等遮罩開口經安置以將該生物官能化材料沉積於該等井內，其中該生醫裝置包含一含金屬層和設置於該含金屬層上方的一含矽層，其中該複數個井延伸穿過該含矽層並止於該含金屬層。
9. 如請求項8所述之方法，其中該複數個遮罩開口和該複數個井各具一周長，且其中該遮罩開口的 該周長小於該井的該對應周長。
10. 如請求項8所述之方法，其中該複數個遮罩開口中的二或更多個遮罩開口對應該複數個井中的各井。
11. 如請求項8所述之方法，其中該印刷遮罩抵靠該基材而密封。
12. 如請求項8所述之方法，進一步包含：在沉積該生物官能化材料之前，在各該複數個井的底部沉積一矽烷化層。
13. 如請求項8所述之方法，其中該生物官能化材料係一水凝膠。
14. 如請求項8所述之方法，其中該遮罩開口相對該等井以置中方式安置。
15. 一種沉積一材料的方法，包含：將一生醫裝置安置於一基材支撐件上，該生醫裝置具有複數個井形成於該生醫裝置內，該生醫裝置包含複數個層，且一頂層為一含矽層，該複數個井延伸穿過至少該含矽層，各該複數個井具有一第一寬度、一第一長度，並包含一矽烷化層形成於該複數個井之一底表面上；將一印刷遮罩安置於該生醫裝置上方，該印刷遮罩具有複數個遮罩開口，該複數個遮罩開口對應該複數 個井，其中該複數個遮罩開口和該複數個井各具一周長，且其中該遮罩開口的該周長小於該井的該對應周長；及經由該印刷遮罩沉積一水凝膠而至該複數個井內，該水凝膠由該複數個遮罩開口引導，使該水凝膠在該複數個井內的該矽烷化層上方形成一層。
16. 如請求項15所述之方法，其中該印刷遮罩與該生醫裝置的該含矽層形成密封。
17. 如請求項15所述之方法，其中該複數個遮罩開口中的二或更多個遮罩開口對應該複數個井中的各井。
18. 如請求項15所述之方法，其中該生醫裝置包含一含金屬層設置於該含矽層下方，其中該複數個井延伸穿過該含矽層並止於該含金屬層。
19. 一種沉積一材料的方法，包含：將一生醫裝置安置於一基材支撐件上，該生醫裝置具有複數個井形成於該生醫裝置內；將一印刷遮罩安置於該生醫裝置上方，該印刷遮罩具有複數個遮罩開口，該複數個遮罩開口對應該複數個井；及經由該印刷遮罩沉積一生物官能化材料而至該等井內，該生物官能化材料由該複數個遮罩開口引導，使 該生物官能化材料在該複數個井的一底表面上方形成一層，其中該生物官能化材料係一水凝膠。
20. 一種沉積一材料的方法，包含：將一生醫裝置安置於一基材支撐件上，該生醫裝置具有複數個井；在該生醫裝置上方對準一印刷遮罩，該印刷遮罩具有複數個遮罩開口，該等遮罩開口對應且對準該複數個井中的至少一個井；在該印刷遮罩與該生醫裝置之間形成密封；用一生物官能化材料塗覆該印刷遮罩；及將該生物官能化材料擠壓通過該複數個遮罩開口，該等遮罩開口經安置以將該生物官能化材料沉積於該等井內，其中該生物官能化材料係一水凝膠。