TWI597483B - 用於老化測試裝置之負壓冷卻系統以及使用該負壓冷卻系統之老化測試裝置 - Google Patents

Description

用於老化測試裝置之負壓冷卻系統以及使用該負壓冷卻 系統之老化測試裝置

用於老化測試裝置之負壓冷卻系統以及使用該負壓冷卻系統之老化測試裝置，特別是一種用於開放式老化測試裝置之負壓冷卻系統以及使用該負壓冷卻系統之開放式老化測試裝置。

在電子元件(例如IC元件)製程中，電子元件製作完成之後，通常會對電子元件進行老化測試，以測試電子元件的可靠度。老化測試係將電子元件置放一老化測試機台中進行加熱，並於同時對電子元件進行電性測試，而測試電子元件的可靠度是否符合標準。老化測試裝置依照其內的老化測試爐的架構可以分為封閉式老化測試裝置與開放式老化測試裝置兩種，其中，封閉式老化測試裝置的老化測試爐在進行測試時是封閉而使外部空氣無法進入其內，開放式老化測試裝置老化測試爐在進行測試時是開放而外部空氣可以進入其內。在進行老化測試時，藉由外部空氣不斷地由 老化測試機台(或老化測試爐)的開放處(例如孔洞、開口等)進入老化測試爐中，而達到對開放式老化測試裝置進行散熱冷卻，避免熱積聚於開放式老化測試裝置中，導致開放式老化測試裝置中的元件(例如老化測試控制元件、老化測試板、老化測試座等等)因過熱而損害，而需要進行更換，造成測試成本的增加，因此，對於開放式老化測試裝置來說具有一個可以有效進行散熱冷卻的冷卻散熱系統是很重要的。

參照第一圖，其為習知的開放式老化測試裝置的冷卻散熱系統的示意圖。在習知的開放式老化測試裝置中，老化測試板1上設置有多個可以容置電子元件進行老化測試的老化測試座2，每一個老化測試座2都具有一加熱器(圖中未示)，用以對其上所容置的電子元件進行加熱，並且每一個老化測試座2上都設置有一個風扇3，用以持續地將老化測試座2上的熱空氣抽出，避免熱積聚老化測試板1、老化測試座2、以及待測電子元件(圖中未示)而對其造成損害。另外，在習知的開放式老化測試裝置中還設置有一風扇(圖中未示)，用以持續地將開放式老化測試裝置外部的空氣由一空氣入口端4抽入開放式老化測試裝置(或老化測試爐)中，並流經老化測試板1、老化測試座2、以及待測電子元件等元件，而由一空氣出口端5排出，並同時將風扇3由老化測試座2上抽出的熱空氣帶走，而與外界空氣形成循環以達到散熱冷卻的效果。

然而，這樣的冷卻散熱系統雖然可以對開放式老化測試裝置(或老化測試爐)進行散熱冷卻，但是由於越接近空氣入口端4接觸的空氣是剛從外部環境進入的空氣，所以此處空氣的溫度較低，導致老化測試爐內越接近空氣入口端4的溫度越低，而越接近空氣出口端5接觸的空氣是已經過老化測試板1上部分老化測試座2而被加熱的空氣，所以相對於空氣入口端4的空氣溫度，此處(即空氣出口端5)空氣的溫度較高，導致老化測試爐內越接近空氣出口端5的溫度越高。這樣的溫度差異導致老化測試爐內產生溫度不均勻的現象，並且因此導致老化測試爐內產生亂流，使得老化測試爐中的熱空氣不易排出，而不易散熱。其次，由於外部環境的空氣在老化測試爐中的流動方向與老化測試座2上由風扇3排出的熱空氣的流動方向是彼此垂直的，也會使老化測試爐內因兩個不同流動方向的氣流相衝撞而產生亂流，更增加了老化測試爐中的熱空氣排出與散熱的困難度。這樣的情況將會使得老化測試裝置中的元件的元件(例如老化測試控制元件、老化測試板、老化測試座等等)再長時間的使用後，容易因為積熱無法有效地排除而損壞，而需要進行更換。如此一來，不但會造成測試效能的降低，更會因此導致測試成本因頻繁地更換零件而增加。另外，由於接近空氣入口端4持續接觸的都是溫度較低的空氣，使得越接近空氣入口端4的區域(或待測電子元件)越不易加熱，而需要加大該區域哪老化測試座2內加熱器的功率，才能達到預設的測試溫度，導致測試成本的增加。由於接近空氣出口 端5持續接觸的都是溫度較高的空氣，使得越接近空氣出口端5的區域(或待測電子元件)容易蓄熱而過熱，容易造成零件或待測電子元件的損害，而增加了待測電子元件因老化測試而損害的風險。

有鑑於此，亟需要一種冷卻系統以及開放式老化測試裝置，可以藉由外部環境的空氣與老化測試裝置內的熱空氣有效地循環交換，有效地排除老化測試裝置內的積熱，而不易在老化測試爐內造成溫度不均與產生亂流。

本發明之一目的為解決上述習知開放式老化測試裝置的冷卻散熱系的缺點，而提供一種用於開放式老化測試裝置的負壓冷卻系統，可以有效地利用外部環境的空氣而去除老化測試裝置內的積熱，並且使得老化測試爐內的溫度可以均勻且不會產生亂流，從而避免老化測試裝置的零件因長時間處於過熱的環境而導致損壞，以及防止待測電子元件因過熱而損壞，以降低老化測試的成本以及風險。

本發明之一目的為提供一老化測試裝置，該老化測試裝置可以在進行老化測試時，利用外部環境的空氣有效地去除老化測試裝置內的積熱，而避免老化測試裝置的零件因長時間處於過熱的環境而導致損壞，以及防止待測電子元件因過熱而損壞，從而降低老化測試的成本以及風險。

根據本發明之一目的，本發明提供一種用於老化測試裝置之負壓冷卻系統符合人體工學之電容筆，特別是一種用於開放式老化測試裝置之負壓冷卻系統。該用於老化測試裝置之負壓冷卻系統包含一橫向抽風通道、一集風區、以及一主抽風通道。橫向抽風通道設置於一老化測試裝置中的老化測試板與老化測試座上方，用以該老化測試裝置的老化測試爐內的熱空氣由橫向導出。集風區設置於老化測試裝置中，用以收集老化測試裝置中的熱空氣。主抽風通道設置於集風區與橫向抽風通道之間，而連通集風區與橫向抽風通道，用以將由橫向抽風通道橫向導出的熱空氣傳送至集風區，而由老化測試裝置排出到外部環境。橫向抽風通道、主抽風通道、以及集風區形成一負壓通道，而在由周圍環境導入老化測試裝置的空氣流經老化測試板與老化測試座而變成熱空氣之後，將該熱空氣由負壓通道排出老化測試裝置，而達到一冷卻散熱的效果，從而有效地將老化測試裝置內的積熱排除。

根據本發明之一目的，本發明提供一種老化測試裝置，特別是一種開放式老化測試裝置。該老化測試裝置包含一老化測試爐、一承載架、至少一橫向抽風通道、一集風區、以及一主抽風通道。老化測試爐用以供帶測元件於其中加熱進行老化測試，且為一周圍空氣可以進入的開放式爐體。承載架設置於老化測試爐內，用以承載老化測試板。每一橫向抽風通道皆對應一老化測試板而設置於該老化測試板上方，用以將老化測試爐內 (或該老化測試板上)的熱空氣由橫向導出。集風區設置於老化測試裝置中，用以收集老化測試裝置中的熱空氣並將其排出。主抽風通道設置於集風區與每一橫向抽風通道之間，而連通該集風區與該橫向抽風通道，用以將由該橫向抽風通道橫向導出的熱空氣傳送至集風區。藉由橫向抽風通道、主抽風通道、以及集風區所形成的負壓通道，可以將外部環境的空氣導入老化測試裝置中，並在該空氣經過老化測試板與老化測試座而變成熱空氣之後，將此熱空氣由該負壓通道排出老化測試裝置外，而達到一冷卻散熱的效果，藉此，對老化測試裝置中的零件與待測電子元件進行散熱，不但不會在其中產生妨礙散熱的亂流，也不會使得老化測試爐內的溫度不均，而避免老化測試裝置的零件因長時間處於過熱的環境而導致損壞，以及防止待測電子元件因過熱而損壞，從而降低老化測試的成本以及風險。

因此，本發明提供了一種用於老化測試裝置之負壓冷卻系統以及使用該負壓冷卻系統之老化測試裝置，可以有效地利用外部環境的空氣而去除老化測試裝置內的積熱，並且使得老化測試爐內的溫度可以均勻且不會產生亂流，從而避免老化測試裝置的零件因長時間處於過熱的環境而導致損壞，以及防止待測電子元件因過熱而損壞，以降低老化測試的成本以及風險。

1‧‧‧老化測試板

2‧‧‧老化測試座

3‧‧‧風扇

4‧‧‧空氣入口端

5‧‧‧空氣出口端

10‧‧‧用於老化測試裝置之負壓冷卻系統

12‧‧‧橫向抽風通道

14‧‧‧集風區

16‧‧‧主抽風通道

20‧‧‧老化測試板

22‧‧‧老化測試座

24‧‧‧風扇

30‧‧‧老化測試裝置

32‧‧‧老化測試爐

34‧‧‧承載架

36‧‧‧老化測試驅動元件

38‧‧‧風扇

121‧‧‧抽風孔

122‧‧‧第一阻風閘門

123‧‧‧第二阻風閘門

124‧‧‧風量計

141‧‧‧出風口

161‧‧‧斜向風扇

第一圖為習知的開放式老化測試裝置的冷卻散熱系統之示意圖。

第二A圖與第二B圖分別為本發明之一實施例之用於老化測試裝置之負壓冷卻系統之側視圖與放大圖。

第三A圖、第三B圖、第三C圖、以及第三D圖分別為本發明之一實施例之使用本發明之負壓冷卻系統的老化測試裝置的立體圖、上視透視圖、側視圖、以及正視圖

本發明的一些實施例詳細描述如下。然而，除了該詳細描述外，本發明還可以廣泛地在其他的實施例施行。亦即，本發明的範圍不受已提出之實施例的限制，而以本發明提出之申請專利範圍為準。其次，當本發明之實施例圖示中的各元件或步驟以單一元件或步驟描述說明時，不應以此作為有限定的認知，即如下之說明未特別強調數目上的限制時本發明之精神與應用範圍可推及多數個元件或結構並存的結構與方法上。再者，在本說明書中，各元件之不同部分並沒有完全依照尺寸繪圖，某些尺度與其他相關尺度相比或有被誇張或是簡化，以提供更清楚的描述以增進對本發明的理解。而本發明所沿用的現有技藝，在此僅做重點式的引用，以助本發明的闡述。

請同時參照第二A圖與第二B圖，第二A圖為本發明之一實施例之用於老化測試裝置之負壓冷卻系統10之側視圖，第二A圖則為老化測試裝置之負壓冷卻系統10之一部分的放大圖。用於老化測試裝置之負壓冷卻系 統10包含數個橫向抽風通道12、一集風區14、以及一主抽風通道16。每一橫向抽風通道12皆對應一老化測試板20，而設置於該老化測試板20與其上的老化測試座22上方，用以將老化測試裝置的老化測試爐內的熱空氣由橫向導出，即將老化測試板20與老化測試座22藉由設置於每一個老化測試座22上的風扇24所抽出的熱空氣由縱向流動改變成橫向流動，並將其內橫向流動的空氣與由風扇24所抽出而縱向流動的熱空氣隔開，並免不同流動方向(縱向流動與橫向流動)的空氣彼此碰撞而產生亂流。在本實施例中，用於老化測試裝置之負壓冷卻系統10雖然具有數個橫向抽風通道12，但是並不以此為限，而是可以視老化測試裝置中的老化測試板的數量而增減，但是每一老化測試板的上方都必須相對設置有一橫向抽風通道12，亦即本發明之用於老化測試裝置之負壓冷卻系統10都至少具有一橫向抽風通道12。

橫向抽風通道12的底部具有數個抽風孔121，用以供老化測試爐中的熱空氣進入橫向抽風通道12中，使得由每一老化測試座22上方設置的風扇24所抽出而縱向(向上)流動的熱空氣，通過抽風孔121而進入橫向抽風通道12中，而被橫向導出。橫向抽風通道12底部設置的抽風孔121數量，可以依照需求增減，在本發明中並不加以限制。其次，在橫向抽風通道12的兩側(前側與後側)分別設置有一第一阻風閘門122，而分別控制與調節橫向抽風通道12兩側(前側與後側)通道口的開口大小，藉此，可以分別控制進入橫向抽風通道12的空氣量與排出橫向抽風通道12的熱空氣量，從而控制橫 向抽風通道12內熱空氣(或空氣)流通速度、排出量、以及排出速度，進而控制橫向抽風通道12內的負壓量。另外，橫向抽風通道12底部對應每一抽風孔121皆設置有一第二阻風閘門123，分別用以控制與調節每一抽風孔121的大小，藉此，控制與調節由老化測試板20與老化測試座22來的熱空氣進入橫向抽風通道的數量與速度，即控制與調節由每一老化測試座22上方設置的風扇24所抽出而縱向(向上)流動的熱空氣進入橫向抽風通道的數量與速度，從而控制老化測試裝置(或老化測試爐)中的熱空氣(即老化測試板20與老化測試座22周圍的熱空氣)進入橫向抽風通道12內數量與速度，進而控制橫向抽風通道12內的負壓量。以控制老化測試裝置(或老化測試爐)內(即老化測試板20與老化測試座22周圍)的負壓量。再者，在本發明之用於老化測試裝置之負壓冷卻系統10中，可以於每一橫向抽風通道12連接主抽風通道16的一端設置一風量計124，用以監測每一橫向抽風通道12排出熱空氣的數量與速度，從而監測每一橫向抽風通道12內的負壓強度，而進行調控。

集風區14設置於老化測試裝置中，用以收集老化測試裝置中的熱空氣並將其排出，即收集老化測試裝置中各個元件(例如驅動元件、處理器等)在運作時所產生的熱空氣以及老化測試板20與老化測試座22上的風扇24所抽出的熱空氣，並將其排出老化測試裝置外。集風區14具有一出風口141，用以將集風區14所收集的熱空氣排出老化測試裝置外。

主抽風通道16設置於每一橫向抽風通道12與集風區14之間，而連通集風區14與橫向抽風通道12，用以將由橫向抽風通道12橫向導出的熱空氣傳送至集風區14，即將每一風扇24由老化測試板20與老化測試座22抽出並導入橫向抽風通道12的熱空氣傳送至集風區14，而藉由集風區14的出風口141將其由老化測試裝置排出到外部環境。主抽風通道16設置有數個斜向風扇161，每一斜向風扇161皆對應一橫向抽風通道12，傾斜向上地設置於主抽風通道16連接集風區14的一端，用以將橫向抽風通道12傳遞至主抽風通道16內的熱空氣不斷地抽出，而形成一負壓。藉此，橫向抽風通道12、主抽風通道16、以及集風區14可以形成一負壓通道，使得外部環境的空氣可以不斷地流入老化測試裝置中，並且在由周圍環境導入老化測試裝置的空氣流經老化測試板20與老化測試座22而變成熱空氣之後，將該熱空氣由此負壓通道持續排出老化測試裝置，而達到一冷卻散熱的效果，從而形成一可以持續利用老化測裝置周邊的空氣與老化測試裝置中的熱空氣進行交換的負壓冷卻系統，以有效地將老化測試裝置內的積熱排除。雖然，在本實施例中，主抽風通道16設置有數個斜向風扇161，但是並不以此為限，而使可以依照老化測試板20與過橫向抽風通道12的數量進行增減，但是由於每一斜向風扇161都必須對應一橫向抽風通道12，所以在本發明之用於老化測試裝置之負壓冷卻系統10的主抽風通道16都具有至少一個斜向風扇161。另外，雖然本實施例中，每一橫向抽風通道12僅對應一斜向風扇161， 但是在本發明其他實施例中，為了增加對每一橫向抽風通道的抽風量與抽風速率，可以對應同一橫向抽風通道同時設置數個(例如2個、3個或更多)斜向風扇161，而增加每一橫向抽風通道的負壓值。

當進行老化測試時，開放式老化測試裝置因為其老化測試爐為一開放式的爐體，所以周圍環境的空氣會由老化測試裝置的周圍或是底部進入老化測試爐中，並且流經老化測試板20與老化測試座22，而對老化測試板20與老化測試座22進行冷卻散熱。當這些外部環境進入的空氣流經老化測試板20與老化測試座22之後會變成熱空氣，然後，被每一老化測試座22上設置的風扇24向上抽出而向上流動(即縱向流動)，並且透過橫向抽風通道12底部的抽風孔121進入橫向抽風通道12中。藉由主抽風通道16的斜向風扇161不斷地抽風而在橫向抽風通道12與主抽風通道16形成一負壓，而持續地將透過抽風孔121進入橫向抽風通道12的熱空氣橫向導入主抽風通道16，並經由主抽風通道16傳送入集風區14，再由集風區14的出風口排出老化測試裝置外。

藉此，老化測試裝置內(特別是老化測試爐內)的熱空氣可以與老化測試裝置周圍的(冷)空氣持續地交換，而可以對老化測試裝置進行有效地冷卻散熱。另外，由於老化測試裝置中的熱空氣都是先以縱向流動進入橫向抽風通道12，再於橫向抽風通道12中橫向流動至主抽風通道16與集風區14，在被排出老化測試裝置，所以在老化測試裝置中橫向流動的空氣與 縱向流動的空氣分別被分隔於橫向抽風通道12的內部與外部，而不會彼此相衝撞而產生亂流，所以可以有效地對老化測試裝置進行散熱冷卻而不會有積熱的產生。因此，本發明之用於老化測試裝置之負壓冷卻系統10並不會如同知開放式老化測試裝置的冷卻散熱系統一樣，會在老化測試爐中因有不同流動方向的空氣相衝撞而產生亂流，所以不會造成同一老化測試板上不同區域的溫度有所差異，更不為因為此溫度差異導致部分老化測試座不易加熱達到預定溫度，而造成測試成本的提升，以及部分老化測試座容易積熱而超出預定溫度，而容易造成老化測試裝置的元件(老化測試板、老化測試座等)與待測電子元件的損壞。有鑑於此，相較於習知開放式老化測試裝置的冷卻散熱系統，本發明之用於老化測試裝置之負壓冷卻系統10確實可以有效地利用外部環境的空氣而去除老化測試裝置內的積熱，並且使得老化測試爐內的溫度可以均勻且不會產生亂流，從而避免老化測試裝置的零件因長時間處於過熱的環境而導致損壞，以及防止待測電子元件因過熱而損壞，以降低老化測試的成本以及風險。

再者，本發明進一步提供一種使用前述負壓冷卻系統之(開放式)老化測試裝置。請同時參照第二A圖、第三B圖、第三C圖、以及第三D圖，其分別為本發明之一實施例之使用本發明之負壓冷卻系統10的老化測試裝置30的立體圖、上視透視圖、側視圖、以及正視圖。老化測試裝置30包含一老化測試爐32、二承載架34、一由數個橫向抽風通道12、一集風區14與 一主抽風通道16所組成的負壓冷卻系統10、以及二個分別對應不同承載架34的老化測試驅動元件36。老化測試爐32為一周圍空氣可以進入的開放式爐體，用以供待測元件於其中加熱進行老化測試，兩個承載架34則設置於老化測試爐32中，用以承載老化測試板20進行老化測試。此兩個承載架34分列於老化測試爐32兩側，而空出老化測試裝置30的中間區域做為集風區14。二個老化測試驅動元件36分別用以控制與驅動不同承載架34上的老化測試板20進行老化測試。此二個老化測試驅動元件36分別對應不同承載架34而分列於老化測試爐32兩側，而將集風區14夾於兩者之間，而每一個老化測試驅動元件36都設置有一風扇38，用以將老化測試驅動元件36所產生的熱空氣抽出，而傳送至集風區14，從而經由出風口141排出老化測試裝置30。每一個老化測試板20上同樣設置有數個老化測試座22，用以承載待測電子元件進行老化測試。每一老化測試座22內都設置有一加熱器(圖中未示)，而其上都設置有一可以將熱空氣向上抽出的風扇24。

每一個橫向抽風通道12皆對應一老化測試板20而設置於該老化測試板20上方。每一橫向抽風通道12底部則設置有數個抽風孔121、對應抽風孔121設置於橫向抽風通道12底部的第二阻風閘門123、二個分別設置於橫向抽風通道12的兩側(前側與後側)的第一阻風閘門122、以及一風量計124，其中，第一阻風閘門122與第二阻風閘門123用以控制橫向抽風通道12內的負壓量，關於橫向抽風通道12之詳細說明，已經於前文揭示，所以於 此不再贅述。集風區14設置於老化測試裝置30中，且具有一設置於老化測試裝置30中間位置的出風口141，除了收集老化測試爐中的熱空氣之外，也可以收集老化測試驅動元件36所產生的熱空氣，並將其排出老化測試裝置外，同樣的，關於集風區14之詳細說明，已經於前文揭示，所以於此不再贅述。主抽風通道16則設置於每一橫向抽風通道12與集風區14之間，而連通橫向抽風通道12與集風區14，且主抽風通道16具有數個斜向風扇161，每一斜向風扇161皆對應一橫向抽風通道12，而設置於主抽風通道16與橫向抽風通道12連接的一端，用以將橫向抽風通道12傳遞至主抽風通道16內的熱空氣抽出，而形成一負壓，關於主抽風通道16之詳細說明，已經於前文揭示，所以於此不再贅述。在本實施例中，每兩個斜向風扇161並排設置而對應每一橫向抽風通道12，意即每一橫向抽風通道12對應兩個斜向風扇161，但是不以此為限，而是可以依照橫向抽風通道所需要的抽風量、抽風速率、以及負壓值而予以增減。

藉由此一負壓冷卻系統10，老化測試裝置30在進行老化測試時，由於老化測試爐32為一開放式的爐體，所以周圍環境的空氣會由老化測試裝置30的周圍或是底部進入老化測試爐32中，並且分別不同流經不同承載架34上的老化測試板20與老化測試座22，而對老化測試板20與老化測試座22進行冷卻散熱。當這些外部環境進入的空氣流經老化測試板20與老化測試座22之後會變成熱空氣，然後，被每一老化測試座22上設置的風扇24向 上抽出而向上流動(即縱向流動)，並且透過橫向抽風通道12底部的抽風孔121進入橫向抽風通道12中。藉由主抽風通道16的斜向風扇161不斷地抽風而在橫向抽風通道12與主抽風通道16形成一負壓，而持續地將透過抽風孔121進入橫向抽風通道12的熱空氣橫向導入主抽風通道16，並經由主抽風通道16傳送入集風區14，再由集風區14的出風口排出老化測試裝置外。於此同時，每一個老化測試驅動元件36所產生的熱空氣都藉由風扇38抽出至傳送至集風區14，而一併經由出風口141排出老化測試裝置30。藉此，老化測試裝置30內(包含是老化測試爐32內與老化測試驅動元件36所產生)的熱空氣可以與老化測試裝置周圍的(冷)空氣持續地交換，而可以對老化測試裝置進行有效地冷卻散熱，並且藉由向抽風通道12分隔橫向流動的空氣與縱向流動的空氣避免在老化測試爐32中產生亂流，所以老化測試爐32內各個區域的溫度不會產生太大的差異，而可以有效地對老化測試裝置進行散熱冷卻而不會有積熱的產生，從而避免老化測試裝置的零件因長時間處於過熱的環境而導致損壞，以及防止待測電子元件因過熱而損壞，以降低老化測試的成本以及風險。

有鑑於上述實施例，本發明提供了一種用於老化測試裝置之負壓冷卻系統以及使用該負壓冷卻系統之老化測試裝置，可以有效地利用外部環境的空氣而去除老化測試裝置內的積熱，並且使得老化測試爐內的溫度可以均勻且不會產生亂流，從而避免老化測試裝置的零件因長時間處於過 熱的環境而導致損壞，以及防止待測電子元件因過熱而損壞，以降低老化測試的成本以及風險。

10‧‧‧用於老化測試裝置之負壓冷卻系統

12‧‧‧橫向抽風通道

14‧‧‧集風區

16‧‧‧主抽風通道

20‧‧‧老化測試板

22‧‧‧老化測試座

24‧‧‧風扇

121‧‧‧抽風孔

122‧‧‧第一阻風閘門

123‧‧‧第二阻風閘門

124‧‧‧風量計

141‧‧‧出風口

161‧‧‧斜向風扇

Claims (14)

1. 一種用於老化測試裝置之負壓冷卻系統，包含：一橫向抽風通道，設置於一老化測試裝置中的老化測試板與老化測試座上方，用以將該老化測試裝置的老化測試爐內的熱空氣由橫向導出；一集風區，設置於該老化測試裝置中，用以收集該老化測試裝置中的熱空氣；以及一主抽風通道，設置於該集風區與該橫向抽風通道之間，而連通該集風區與該橫向抽風通道，用以將由該橫向抽風通道橫向導出的熱空氣傳送至該集風區；其中，該橫向抽風通道、該主抽風通道、以及該集風區形成一負壓通道，而在由周圍環境導入該老化測試裝置的空氣流經該老化測試板與該老化測試座而變成熱空氣之後，將該熱空氣由該負壓通道排出該老化測試裝置，而達到一冷卻散熱的效果。
2. 根據申請專利範圍第1項所述之用於老化測試裝置之負壓冷卻系統，其中該橫向抽風通道具有至少一抽風孔與二第一阻風閘門，該抽風孔設置於該橫向抽風通道底部，用以將熱空氣導入該橫向抽風通道中，該二第一阻風閘門分別是設置於該橫向抽風通道兩側，用以控制該橫向抽風通道內熱空氣流通速度，以控制該橫向抽風通道內的負壓量。
3. 根據申請專利範圍第2項所述之用於老化測試裝置之負壓冷卻系統，其中該橫向抽風通道更包含一對應該抽風孔而設置於該橫向抽風通道底部的第二阻風閘門，用以控制由該老化測試板與該老化測試座來的熱空氣進入該橫向抽風通道的速度，以控制該老化測試裝置內的負壓量。
4. 根據申請專利範圍第1項所述之用於老化測試裝置之負壓冷卻系統，其中該橫向抽風通道更包含一風量計，該風量計設置於該橫向抽風通道連接該主抽風通道的一端，用以監測該橫向抽風通道內的負壓強度。
5. 根據申請專利範圍第1項所述之用於老化測試裝置之負壓冷卻系統，其中該集風區具有一出風口，用以將該集風區內的熱空氣排出。
6. 根據申請專利範圍第1項所述之用於老化測試裝置之負壓冷卻系統，其中該主抽風通道包含一斜向風扇，該斜向風扇傾斜向上地設置於該主抽風通道連接該集風區的一端，用以將該橫向抽風通道傳遞至該主抽風通道內的熱空氣抽出，而形成一負壓。
7. 一種老化測試裝置，包含：一老化測試爐，用以供帶測元件於其中加熱進行老化測試，且該老化測試爐為一周圍空氣可以進入的開放式爐體；一承載架，設置於老化測試爐內，用以承載老化測試板；至少一橫向抽風通道，每一橫向抽風通道皆對應一老化測試板而設置於該老化測試板上方，用以將該老化測試爐內的熱空氣由橫向導出； 一集風區，設置於該老化測試裝置中，用以收集該老化測試裝置中的熱空氣；以及一主抽風通道，設置於該集風區與每一該橫向抽風通道之間，而連通該集風區與該橫向抽風通道，用以將由該橫向抽風通道橫向導出的熱空氣傳送至該集風區，其中，該橫向抽風通道、該主抽風通道、以及該集風區形成一負壓通道，而在由周圍環境導入該老化測試裝置的空氣流經該老化測試板與該老化測試座而變成熱空氣之後，將該熱空氣由該負壓通道排出該老化測試裝置，而達到一冷卻散熱的效果。
8. 根據申請專利範圍第7項所述之老化測試裝置，其中每一該老化測試板皆設置有數個老化測試座，每一該老化測試座皆包含一加熱器，用以對該老化測試座中放置的待測元件進行加熱，以及一設置於該老化測試座上方的風扇，用以將該老化測試座周邊的熱空氣引導向該橫向抽風通道而進行冷卻散熱。
9. 根據申請專利範圍第7項所述之老化測試裝置，其中該橫向抽風通道具有至少一抽風孔與二第一阻風閘門，該抽風孔設置於該橫向抽風通道底部，用以將熱空氣導入該橫向抽風通道中，該二第一阻風閘門分別是設置於該橫向抽風通道兩側，用以控制該橫向抽風通道內熱空氣流通速度，以控制該橫向抽風通道內的負壓量。
10. 根據申請專利範圍第9項所述之老化測試裝置，其中該橫向抽風通道更包含一對應該抽風孔而設置於該橫向抽風通道底部的第二阻風閘門，用以 控制由該老化測試板與該老化測試座來的熱空氣進入該橫向抽風通道的速度，以控制該老化測試裝置內的負壓量。
11. 根據申請專利範圍第7項所述之老化測試裝置，其中該橫向抽風通道更包含一風量計，該風量計設置於該橫向抽風通道連接該主抽風通道的一端，用以監測該橫向抽風通道內的負壓強度。
12. 根據申請專利範圍第7項所述之老化測試裝置，其中該集風區具有一出風口，用以將該集風區內的熱空氣排出。
13. 根據申請專利範圍第7項所述之老化測試裝置，其中該主抽風通道包含一斜向風扇，該斜向風扇傾斜向上地設置於該主抽風通道連接該集風區的一端，用以將該橫向抽風通道傳遞至該主抽風通道內的熱空氣抽出，而形成一負壓。
14. 根據申請專利範圍第7項所述之老化測試裝置，其中該老化測試裝置更包含一老化測試驅動單元，用以驅動該老化測試裝置進行老化測試。