CN115371434A - 一种高低温老化炉腔的风道系统 - Google Patents

一种高低温老化炉腔的风道系统 Download PDF

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CN115371434A CN202210581734.8A CN202210581734A CN115371434A CN 115371434 A CN115371434 A CN 115371434A CN 202210581734 A CN202210581734 A CN 202210581734A CN 115371434 A CN115371434 A CN 115371434A
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air duct
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刘光耀
章福旻
赵永昌
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Abstract

本申请公开了一种高低温老化炉腔的风道系统，用于提升对带热负载进行老化测试的高低温老化炉腔的温度均匀性。本申请包括：风流换向器与风机连接并与第一风道以及第二风道连接；第一风道和第二风道分别设置于高低温老化炉腔外部的对立两侧；第一温度传感器和第二温度传感器分别设置于高低温老化炉腔内部的对立两侧，第一温度传感器位于第一风道所在一侧，第二温度传感器位于第二风道所在一侧；中央控制单元分别与风流换向器、第一温度传感器以及第二温度传感器连接，中央控制单元用于当第一温度传感器的温度值与第二温度传感器的温度值之间的差值大于第一预设阈值时，控制风流换向器切换风机的出风、回风方向。

Description

一种高低温老化炉腔的风道系统
技术领域
本申请涉及老化测试技术领域，尤其涉及一种高低温老化炉腔的风道系统。
背景技术
在集成电路在生产过程中，需要对集成电路进行老化测试并在老化测试的过程中对产品进行修复，以提高产品的质量。集成电路在老化测试过程中的温度范围要求较大，通常达到-20℃~+130℃，为了满足测试需求通常采用可以提供高、低温环境的高低温老化炉作为老化测试装置。
由于集成电路在老化测试过程中需要进行产品修复，因此被测产品需要在通电状态下进行老化测试，而处于通电状态的被测产品会产生功耗热量，这部分热量会导致炉体内的温度均匀性失衡，从而直接影响老化测试的测试精度。为了解决被测产品产生功耗热量的问题，目前主要通过一种循环式风道结构将被测产品产生的功耗热量带走，其工作原理为：冷却气体从入口风道进入高低温老化炉腔内对被测产品进行吹扫，然后进入出口风道，由风机对其进行调温处理后沿着入口风道重新进入高低温老化炉腔内，形成循环。
但是，冷却气体从高低温老化炉腔内带走被测产品产生的功耗热量的同时，这部分热量会使高低温老化炉腔内的空气温度升高，从而导致高低温老化炉腔内在出口风道一侧的温度会逐渐高于入口风道一侧的温度，影响了高低温老化炉腔的温度均匀性。
发明内容
本申请提供了一种高低温老化炉腔的风道系统，能够提升对带热负载进行老化测试的高低温老化炉腔的温度均匀性。
本申请提供了一种高低温老化炉腔的风道系统，包括：风机、风流换向器、高低温老化炉腔、第一风道、第二风道、第一温度传感器、第二温度传感器以及中央控制单元；
所述风流换向器与所述风机连接并与所述第一风道以及所述第二风道连接，所述风流换向器用于控制所述风机的出风、回风方向；
所述第一风道和所述第二风道分别设置于所述高低温老化炉腔外部的对立两侧；
所述第一温度传感器和所述第二温度传感器分别设置于所述高低温老化炉腔内部的对立两侧，所述第一温度传感器位于所述第一风道所在一侧，所述第二温度传感器位于所述第二风道所在一侧；
所述中央控制单元分别与所述风流换向器、所述第一温度传感器以及所述第二温度传感器连接，所述中央控制单元用于当所述第一温度传感器的温度值与所述第二温度传感器的温度值之间的差值大于第一预设阈值时，控制所述风流换向器切换所述风机的出风、回风方向。
可选的，所述风道系统还包括：测试隔板；
所述高低温老化炉腔内部设置有若干层测试隔板；
每层测试隔板的对立两侧均设置有所述第一温度传感器和所述第二温度传感器。
可选的，当任一层所述测试隔板上的所述第一温度传感器的温度值与所述第二温度传感器的温度值之间的差值大于第一预设阈值时，所述中央控制单元控制所述风流换向器切换所述风机的出风、回风方向。
可选的，所述风道系统还包括：第一导风装置和第二导风装置；
所述第一导风装置设置于每层所述测试隔板与所述第一风道的接口处，所述第二导风装置设置于每层所述测试隔板与所述第二风道的接口处。
可选的，所述第一导风装置和所述第二导风装置均为方形导风装置。
可选的，所述风道系统还包括：报警模块；
所述报警模块与所述中央控制单元连接，所述报警模块用于当所述中央控制单元检测到所述第一温度传感器的温度值与所述第二温度传感器的温度值之间的差值大于第一预设阈值，且在所述第一温度传感器的温度值和所述第二温度传感器的温度值中的最小值大于第二预设阈值时，发出报警信号。
可选的，所述风机包括：换热单元和新风单元；
所述换热单元与所述新风单元连接，所述换热单元用于对回风进行处理，所述新风单元用于对新风进行处理。
可选的，所述换热单元包括：回风进气风道、回风排气风道以及回风换热装置；
所述回风换热装置分别与所述回风进气风道以及所述回风排气风道连接。
可选的，所述新风单元包括：新风进气风道、新风排气风道以及新风换热装置；
所述新风换热装置分别与所述新风进气风道以及所述新风排气风道连接。
可选的，所述风流换向器采用旋转风道结构。
从以上技术方案可以看出，本申请具有以下效果：
风流换向器与风机连接并与第一风道以及第二风道连接，该风流换向器用于控制风机的出风和回风方向；第一风道和第二风道分别设置于高低温老化炉腔外部的对立两侧；第一温度传感器和第二温度传感器分别设置于高低温老化炉腔内部的对立两侧，第一温度传感器位于第一风道所在一侧，第二温度传感器位于第二风道所在一侧；中央控制单元分别与风流换向器、第一温度传感器以及第二温度传感器连接，该中央控制单元用于当第一温度传感器的温度值与第二温度传感器的温度值之间的差值大于第一预设阈值时，控制风流换向器切换风机的出风、回风方向。通过这样，当高低温老化炉腔内的带热负载在通电状态下产生功耗热量时，可以由风机产生冷却气体将这部分功耗热量通过第一风道和第二风道带走。当高低温老化炉腔第一侧的空气温度因受功耗热量的影响而高于第二侧的空气温度且温度差值大于第一预设阈值时，中央控制单元控制风流换向器切换风机的出风、回风方向，向原温度高的第一侧通入冷却气体，此时第一侧的温度逐渐降低，第二侧的温度逐渐升高；当第二侧的温度高于第一侧的温度且温度差值大于第一预设阈值时，中央控制单元再次控制风流换向器切换风机的出风、回风方向。由此循环，可以将高低温老化炉腔两侧的温度差值始终控制在预设范围内，从而可以提升高低温老化炉腔内的温度均匀性。
附图说明
图1为本申请中的高低温老化炉腔的风道系统的结构示意图；
图2为本申请中的中央控制单元的连接示意图；
图3为本申请中的风机的结构示意图。
具体实施方式
在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅用于说明各部件或组成部分之间的相对位置关系，并不特别限定各部件或组成部分的具体安装方位。
并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。
此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
此外，在本申请中所附图式所绘制的结构、比例、大小等，均仅用于配合说明书所揭示的内容，以供本领域技术人员了解与阅读，并非用于限定本申请可实施的限定条件，故不具有技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本申请所能产生的功效及所能达成的目的下，均仍应落在本申请所揭示的技术内容涵盖的范围内。
本申请提供了一种高低温老化炉腔的风道系统，用于提升对带热负载进行老化测试的高低温老化炉腔的温度均匀性。
本申请描述的高低温老化炉腔的风道系统应用于对带热负载进行老化测试的高低温老化炉腔，可以减少带热负载在通电状态下产生的功耗热量并且可以使高低温老化炉腔两侧的温度差稳定在预设范围内。
请参阅图1以及图2所示，本实施例中的高低温老化炉腔的风道系统包括：风机1、风流换向器2、高低温老化炉腔3、第一风道4、第二风道5、第一温度传感器6、第二温度传感器7以及中央控制单元8；风流换向器2与风机1连接并与第一风道4以及第二风道5连接，该风流换向器2用于控制风机1的出风、回风方向；第一风道4和第二风道5分别设置于高低温老化炉腔3外部的对立两侧；第一温度传感器6和第二温度传感器7分别设置于高低温老化炉腔3内部的对立两侧，第一温度传感器6位于第一风道4所在一侧，第二温度传感器7位于第二风道5所在一侧；中央控制单元8分别与风流换向器2、第一温度传感器6以及第二温度传感器7连接，该中央控制单元8用于当第一温度传感器6的温度值与第二温度传感器7的温度值之间的差值大于第一预设阈值时，控制风流换向器2切换风机1的出风、回风方向。
本实施例中，由第一温度传感器6对高低温老化炉腔3内靠近第一风道4的一侧的空气温度进行实时监测，由第二温度传感器7对高低温老化炉腔3内靠近第二风道5的一侧的空气温度进行实时监测。该高低温老化炉腔的风道系统的第一工作阶段为：风流换向器2控制风机1的出风、回风方向为：第一风道4为出风方向、第二风道5为回风方向，风机1送出的冷却气体沿着第一风道4进入高低温老化炉腔3内部，该冷却气体在对高低温老化炉腔3内的带热负载进行吹扫后沿着第二风道5流回风机1，此时第一温度传感器6显示的温度值逐渐降低，第二温度传感器7显示的温度值逐渐升高。当第一温度传感器6与第二温度传感器7的温度差值大于第一预设阈值时，中央控制单元8控制风流换向器2切换风机1的出风、回风方向，此时进入第二工作阶段。第二工作阶段为：风流换向器2控制风机1的出风、回风方向为：第一风道4为回风方向、第二风道5为出风方向，风机1送出的冷却气体沿着第二风道5进入高低温老化炉腔3内部，该冷却气体在对高低温老化炉腔3内的带热负载进行吹扫后沿着第一风道4流回风机1，此时第二温度传感器7显示的温度值逐渐降低，第一温度传感器6显示的温度值逐渐升高，当第二温度传感器7与第一温度传感器6的温度差值大于第一预设阈值时，中央控制单元8控制风流换向器2再次切换风机1的出风、回风方向，此时重新进入第一工作阶段，由此循环。通过第一工作阶段和第二工作阶段的不断循环，可以将第一温度传感器6和第二温度传感器7的温度差值稳定在第一预设阈值内。
本实施例中，当高低温老化炉腔3内的带热负载在通电状态下产生功耗热量时，可以由风机1发出冷却气体将这部分功耗热量通过第一风道4和第二风道5带走。当高低温老化炉腔3第一侧的空气温度因受功耗热量的影响而高于第二侧的空气温度且温度差值大于第一预设阈值时，中央控制单元8控制风流换向器2切换风机1的出风、回风方向，向原温度高的第一侧通入冷却气体，此时第一侧的温度逐渐降低、第二侧的温度逐渐升高；当第二侧的温度高于第一侧的温度且温度差值大于第一预设阈值时，中央控制单元8再次控制风流换向器2切换风机1的出风、回风方向。由此循环，可以将高低温老化炉腔3两侧的温度差值始终控制在预设范围内，从而可以提升高低温老化炉腔3内的温度均匀性。
可选的，请参阅图1以及图2所示，本实施例中的高低温老化炉腔的风道系统还包括：测试隔板9；高低温老化炉腔3内部设置有若干层测试隔板9；每层测试隔板9的对立两侧均设置有第一温度传感器6和第二温度传感器7。
本实施例中，高低温老化炉腔3内部可以设置若干层测试隔板9，该测试隔板9上可以同时放置多个待测试的带热负载，当第一风道4或者第二风道5中的冷却气体进入高低温老化炉腔3内部时，该冷却气体可以同时对测试隔板9上的多个待测试的带热负载进行吹扫，同时减少多个带热负载产生的功耗热量，从而可以提升高低温老化炉腔3的测试效率。由于高低温老化炉腔3内设置有多层测试隔板9，该测试隔板9会对空气的流通产生隔断作用，从而可能导致每一层上空气温度不同，因此可以在每一层测试隔板9上均设置第一温度传感器6和第二温度传感器7以对单一层中的空气温度进行实时监测。
可选的，请参阅图1以及图2所示，本实施例中当任一层测试隔板9上的第一温度传感器6的温度值与第二温度传感器7的温度值之间的差值大于第一预设阈值时，中央控制单元8控制风流换向器2切换风机1的出风、回风方向。
本实施例中，由于风机1向每一层测试隔板9通入的风流量都是相同的，因此只要当任一层测试隔板9上的第一温度传感器6的温度值与第二温度传感器7的温度值之间差值大于第一预设阈值时，风流换向器2就需要切换风机1的出风、回风方向以使得每一层测试隔板9上两侧的温度差都可以保持在一定范围内。在另一种实现方式中，为了提高冷却气体对单一层测试隔板9上的功耗热量的消除完成率，可以根据测试隔板9的数量来设定触发风流换向器2换向的条件，例如：当有10层测试隔板9时，需要满足任意3层的第一温度传感器6和第二温度传感器7之间的温度差值大于第一预设阈值，才能触发风流换向器2换向，具体触发条件此处不做限定。
可选的，请参阅图1以及图2所示，本实施例中的高低温老化炉腔的风道系统还包括：第一导风装置10和第二导风装置11；第一导风装置10设置于每层测试隔板9与第一风道4的接口处，第二导风装置11设置于每层测试隔板9与第二风道5的接口处。
可选的，请参阅图1以及图2所示，本实施例中的第一导风装置10和第二导风装置11均为方形导风装置。
本实施例中，可以在测试隔板9的两侧与第一风道4和第二风道5的接口处设置导风装置，第一导风装置10与第一风道4连接，第二导风装置11与第二风道5连接，该第一导风装置10和第二导风装置11都可以采用方形的导风装置。当该高低温老化炉腔的风道系统处于第一工作阶段时，气体从第一导风装置10进入测试隔板9内，在对带热负载进行吹扫后，气体从第二导风装置11流入第二风道5；当该高低温老化炉腔的风道系统处于第二工作阶段时，气体从第二导风装置11进入测试隔板9内，在对带热负载进行吹扫后，气体从第一导风装置10流入第一风道4。这样，可以对单一层测试隔板9上的带热负载进行单独吹扫，从而可以提高热量消除效率。
可选的，请参阅图2所示，本实施例中的高低温老化炉腔的风道系统还包括：报警模块12；报警模块12与中央控制单元8连接，报警模块12用于当中央控制单元8检测到第一温度传感器6的温度值与第二温度传感器7的温度值之间的差值大于第一预设阈值，且在第一温度传感器6的温度值和第二温度传感器7的温度值中的最小值大于第二预设阈值时，发出报警信号。
本实施例中，可以设置报警模块12与中央控制单元8进行连接，该报警模块12用于监测带热负载产生的功耗热量是否已经消除至预设范围内。在第一工作阶段和第二工作阶段的切换期间，中央控制单元8判断处于出风方向的温度传感器的温度值是否大于第二预设阈值，该第二预设阈值为可以进行正常测试的温度，若是，则报警模块12发出报警信号以提示工作人员，此时工作人员可以加大风机1的输出风量以提高吹扫程度，从而在将两侧的温度差控制在预设范围内的同时，也可以将功耗热量控制在预设范围内。在另一种可实现方式中，可以将报警模块12、风机1以及中央控制单元8建立通信连接，当报警模块12发出报警信号时，中央控制单元8向风机1发出指令，以使得风机1提高输出功率，加大冷却气体的风量。
可选的，请参阅图3所示，本实施例中的风机1包括：换热单元11和新风单元12；换热单元11与新风单元12连接，换热单元11用于对回风进行处理，新风单元12用于对新风进行处理。
可选的，请参阅图3所示，本实施例中的换热单元11包括：回风进气风道111、回风排气风道112以及回风换热装置113；回风换热装置113分别与回风进气风道111以及回风排气风道112连接。
可选的，请参阅图3所示，本实施例中的新风单元12包括：新风进气风道121、新风排气风道122以及新风换热装置123；新风换热装置123分别与新风进气风道121以及新风排气风道122连接。
本实施例中，回风为在对带热负载进行吹扫后从回风方向回到风机1的气体，新风为沿着出风方向进入高低温老化炉腔3内部的气体。外部气体从新风进气风道121进入风机1内，由新风换热装置123对该外部气体进行调温处理以产生可用于对带热负载进行吹扫的新风，产生的新风从新风排气风道122流出，在经过风流换向器2后从出风方向流入高低温老化炉腔3内部。新风在对带热负载进行吹扫后变成携带功耗热量的回风，该回风从回风方向流入回风进气风道111，由回风换热装置113对该回风进行调温处理，经过调温处理的回风通过回风排气风道112排出风机1外部。通过换热单元11和新风单元12对回风和新风的处理，可以高低温老化炉腔3内的空气温度进行稳定的控制。
可选的，请参阅图1所示，本实施例中的风流换向器2采用旋转风道结构。
本实施例中，风流换向器2可以采用可对风机1的进、出风方向进行调节的旋转风道结构。在另一种可实现方式中，风流换向器2还可以采用定向阀门或者可以直接通过中央控制单元8控制风机1的进、出风方向，具体的风流换向器2的结构此处不做限定。
需要声明的是，上述发明内容及具体实施方式意在证明本申请所提供技术方案的实际应用，不应解释为对本申请保护范围的限定。本领域技术人员在本申请的精神和原理内，当可作各种修改、等同替换或改进。本申请的保护范围以所附权利要求书为准。

Claims (10)

1.一种高低温老化炉腔的风道系统，其特征在于，包括：风机、风流换向器、高低温老化炉腔、第一风道、第二风道、第一温度传感器、第二温度传感器以及中央控制单元；
所述风流换向器与所述风机连接并与所述第一风道以及所述第二风道连接，所述风流换向器用于控制所述风机的出风、回风方向；
所述第一风道和所述第二风道分别设置于所述高低温老化炉腔外部的对立两侧；
所述第一温度传感器和所述第二温度传感器分别设置于所述高低温老化炉腔内部的对立两侧，所述第一温度传感器位于所述第一风道所在一侧，所述第二温度传感器位于所述第二风道所在一侧；
所述中央控制单元分别与所述风流换向器、所述第一温度传感器以及所述第二温度传感器连接，所述中央控制单元用于当所述第一温度传感器的温度值与所述第二温度传感器的温度值之间的差值大于第一预设阈值时，控制所述风流换向器切换所述风机的出风、回风方向。
2.根据权利要求1中所述的风道系统，其特征在于，所述风道系统还包括：测试隔板；
所述高低温老化炉腔内部设置有若干层测试隔板；
每层测试隔板的对立两侧均设置有所述第一温度传感器和所述第二温度传感器。
3.根据权利要求2中所述的风道系统，其特征在于，当任一层所述测试隔板上的所述第一温度传感器的温度值与所述第二温度传感器的温度值之间的差值大于第一预设阈值时，所述中央控制单元控制所述风流换向器切换所述风机的出风、回风方向。
4.根据权利要求2中所述的风道系统，其特征在于，所述风道系统还包括：第一导风装置和第二导风装置；
所述第一导风装置设置于每层所述测试隔板与所述第一风道的接口处，所述第二导风装置设置于每层所述测试隔板与所述第二风道的接口处。
5.根据权利要求4中所述的风道系统，其特征在于，所述第一导风装置和所述第二导风装置均为方形导风装置。
6.根据权利要求1中所述的风道系统，其特征在于，所述风道系统还包括：报警模块；
所述报警模块与所述中央控制单元连接，所述报警模块用于当所述中央控制单元检测到所述第一温度传感器的温度值与所述第二温度传感器的温度值之间的差值大于第一预设阈值，且在所述第一温度传感器的温度值和所述第二温度传感器的温度值中的最小值大于第二预设阈值时，发出报警信号。
7.根据权利要求1中所述的风道系统，其特征在于，所述风机包括：换热单元和新风单元；
所述换热单元与所述新风单元连接，所述换热单元用于对回风进行处理，所述新风单元用于对新风进行处理。
8.根据权利要求7中所述的风道系统，其特征在于，所述换热单元包括：回风进气风道、回风排气风道以及回风换热装置；
所述回风换热装置分别与所述回风进气风道以及所述回风排气风道连接。
9.根据权利要求7中所述的风道系统，其特征在于，所述新风单元包括：新风进气风道、新风排气风道以及新风换热装置；
所述新风换热装置分别与所述新风进气风道以及所述新风排气风道连接。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的风道系统，其特征在于，所述风流换向器采用旋转风道结构。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102989531A (zh) * 2012-11-14 2013-03-27 天津天维移动通讯终端检测有限公司 氙灯高温老化测试箱
CN203965478U (zh) * 2014-07-09 2014-11-26 深圳市大稳科技有限公司 电源模块壳温恒温老化试验箱
CN104300188A (zh) * 2014-09-25 2015-01-21 惠州市亿能电子有限公司 一种电池组散热管理方法
CN105633508A (zh) * 2014-10-31 2016-06-01 比亚迪股份有限公司 电池系统及其控制方法
CN205333833U (zh) * 2016-01-21 2016-06-22 启东汤森教学仪器有限公司 一种电源老化设备
TW201719139A (zh) * 2015-11-26 2017-06-01 京元電子股份有限公司 用於老化測試裝置之負壓冷卻系統以及使用該負壓冷卻系統之老化測試裝置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102989531A (zh) * 2012-11-14 2013-03-27 天津天维移动通讯终端检测有限公司 氙灯高温老化测试箱
CN203965478U (zh) * 2014-07-09 2014-11-26 深圳市大稳科技有限公司 电源模块壳温恒温老化试验箱
CN104300188A (zh) * 2014-09-25 2015-01-21 惠州市亿能电子有限公司 一种电池组散热管理方法
CN105633508A (zh) * 2014-10-31 2016-06-01 比亚迪股份有限公司 电池系统及其控制方法
TW201719139A (zh) * 2015-11-26 2017-06-01 京元電子股份有限公司 用於老化測試裝置之負壓冷卻系統以及使用該負壓冷卻系統之老化測試裝置
CN205333833U (zh) * 2016-01-21 2016-06-22 启东汤森教学仪器有限公司 一种电源老化设备

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