TWI564680B - The control method of the scanning light source of the exposure machine and the computer program product - Google Patents

Description

曝光機之掃描光源的控制方法及電腦程式產品

本發明係關於一種曝光機的控制方法，更特別的是關於一種曝光機之控制掃描光源的方法及控制曝光機之掃描光源的電腦程式產品。

電路板的製造過程中需要曝光機來進行線路的製作，例如典型的多層板製程中就於內層製程、外層製程、防焊製程及選擇性鍍金之製程上需要曝光機的搭配。

曝光製程中除了光阻的塗佈方式、材料選用外，曝光能量的控制也佔有舉足輕重的角色，曝光能量的控制亦影響著光阻聚合反應的效果，例如對於某些材料來說，當曝光能量較低時可提高線路製作上的解析度，當曝光能量較高時可提高聚合效果及抗化性。

因此，針對不同的曝光目標，就會需要有對應的曝光能量之控制，但曝光能量的可控制因素相當多種，操作者往往難以容易地去調整出適當的曝光條件，使得較佳的曝光效果往往需耗費相當多的成本。

本發明之一目的在於提供程序化的曝光調整方式，以讓操作者得以有效率地去調整出較佳的曝光條件。

本發明之另一目的在於藉由程序化的控制導引，使得光阻聚合的反應效果得以提高。

為達上述目的及其他目的，本發明提出一種曝光機之控制掃描光源的方法，係運作於具有複數發光元件組成之燈條的曝光機中，以對光阻進行曝光，包含：設定單次掃描所需的曝光能量值；提供增益先決模式或時間先決模式之設定；及依據所設定之模式驅動該燈條執行曝光掃描。其中，該增益先決模式係單次掃描下以所設定之各該發光元件之增益先決最大增益輸出值為基準，並依據單次掃描所需的該曝光能量值產生單次掃描的增益先決掃描速度值，以該增益先決最大增益輸出值及該增益先決掃描速度值趨動該燈條執行曝光掃描。其中，該時間先決模式係單次掃描下以所設定之最小曝光時間值為基準，並依據單次掃描所需的該曝光能量值產生單次掃描的時間先決最大增益輸出值，以及依據該最小曝光時間值產生單次掃描的時間先決掃描速度值，並以該時間先決最大增益輸出值及該時間先決掃描速度值趨動該燈條執行曝光掃描。

於本發明之一實施例中，於提供該增益先決模式或該時間先決模式之設定步驟中，於該增益先決模式被選定後更包含：提供單次掃描時該燈條之該增益先決最大增益輸出值的設定；提供單次掃描時，該燈條之各波段之增益輸出比例值的設定；及根據所接收之經設定的該增益先決最大增益輸出值、該燈條之各波段之增益輸出比例值及單次掃描所需的該曝光能量值，計算出該增益先決掃描速度值。

於本發明之一實施例中，於提供該增益先決模式或該時間先決模式之設定步驟中，於該時間先決模式被選定後更包含：提供單次掃描時，該最小曝光時間值的設定；提供單次掃描時，該燈條之各波段之增益輸出比例值的設定；及根據所接收之經設定的該最小曝光時間值計算出單次掃描的時間先決掃描速度值，以及根據該最小曝光時間值、該燈條之各波段之增益輸出比例值及單次掃描所需的該曝光能量值計算出時間先決最大增益輸出值。

於本發明之一實施例中，於設定單次掃描所需的該能量值步驟中，包含：提供該光阻所需之曝光總能量值的設定；提供該光阻被曝光時，該燈條所需執行之掃描次數的設定；提供該燈條單次掃描過程中所佔之曝光能量比例值的設定；及依據該曝光總能量值、該掃描次數及該比例值，產生單次掃描所需的曝光能量值。

於本發明之一實施例中，係以發光二極體作為各該發光元件以組成該燈條。

為達上述目的及其他目的，本發明復提出一種曝光機之掃描光源的電腦程式產品，於曝光機之電腦控制系統載入後係執行如前述所述之控制掃描光源的方法，以取得具有複數發光元件之燈條的驅動方式而執行曝光掃描。

藉此，基於已規劃好的發光元件之排列、控制迴路及可程控增益的特點，操作者可依循本案之控制掃描光源的方法來有規劃地逐步完成各種所需之掃描光源的調控，進而可有效率地達成光阻聚合的最佳效果。

為充分瞭解本發明之目的、特徵及功效，茲藉由下述具體之實施例，並配合所附之圖式，對本發明做一詳細說明，說明如後：

首先請參閱圖1，係為本發明一實施例中之曝光機的相關配置示意圖。搭載有複數發光元件110的燈條100係為曝光機中運作來對光阻進行曝光照射的光源，待曝光物(圖未示)係放置或固定於曝光機之承載台300上，燈條100係受控於電腦控制系統200，發光元件110舉例來說可採用發光二極體。該電腦控制系統200可為一電腦、與曝光機之整機控制系統結合在一起的一種中央控制系統、或者是遠端的中央控制系統，其皆為透過電腦硬體所架設出的控制網路。其中，該電腦控制系統200係經由程式的運作來執行所規劃的方法步驟，所述之方法步驟即為完成本發明實施例中之各種掃描光源之調控的對應動作與內容，因此可藉由用於曝光機之掃描光源調控的一電腦程式產品來執行本發明所述之方法，取得具有複數發光元件之燈條的驅動方式而執行曝光掃描。

請參閱圖2，係為本發明一實施例中之控制掃描光源的方法的流程圖。此實施例中，於步驟S100係為設定單次掃描所需的曝光能量值，亦即，該電腦控制系統200於執行曝光機之控制掃描光源的方法時係先提供單次掃描所需的曝光能量值的相關設定供操作者決定，再由該電腦控制系統200將操作者的決定進行掃描光源之單次掃描的曝光能量值的設定，以根據所設定之相關參數對應地調控具有該等發光元件110的燈條100。

於步驟S200係提供增益先決模式或時間先決模式之設定，以供操作者根據所需之曝光方式來選擇，該步驟係導引操作者快速進入曝光相關參數的進階調整，且藉由該等參數被依序且明確地呈現給操作者供其設定，即為有規劃地逐步完成各種所需之掃描光源的調控，進而可有效率地達成光阻聚合的最佳效果。

於步驟S300則是依據所設定之模式驅動該燈條執行曝光掃描。

其中於該增益先決模式中，該增益先決模式係以單次掃描下以所設定之各該發光元件之增益先決最大增益輸出值為基準，並依據單次掃描所需的該曝光能量值產生單次掃描的增益先決掃描速度值，以該增益先決最大增益輸出值及該增益先決掃描速度值趨動該燈條執行曝光掃描。

其中於該時間先決模式中，該時間先決模式係以單次掃描下以所設定之最小曝光時間值為基準，並依據單次掃描所需的該曝光能量值產生單次掃描的時間先決最大增益輸出值，以及依據該最小曝光時間值產生單次掃描的時間先決掃描速度值，並以該時間先決最大增益輸出值及該時間先決掃描速度值趨動該燈條執行曝光掃描。

接著請參閱圖3，係為本發明另一實施例中之控制掃描光源的方法的流程圖。本實施例中係進一步描述增益先決模式與時間先決模式中的循序設定方式。於該增益先決模式被選定(步驟S210)後更包含： 步驟S221、提供單次掃描時該燈條之該增益先決最大增益輸出值的設定。其係調整各發光元件的發光強弱，可供使用者以增益為優先考量的前提下來調整。 步驟S222、提供單次掃描時，該燈條之各波段之增益輸出比例值的設定。其係藉由各發光元件之產生不同波段的設定及發光強度來設定。步驟S221及步驟S222間並不具有順序先後之特定，操作者亦可先進行步驟S222後再進行步驟S221。 步驟S223、計算出增益先決掃描速度值。其係根據所接收之經設定的該增益先決最大增益輸出值、該燈條之各波段之增益輸出比例值及單次掃描所需的該曝光能量值，即可計算出符合單次掃描所需的該曝光能量值下之掃描的快慢(速度越快，照設至光阻上的時間越短，但可在短時間內提供較大的光源強度來滿足所需的該曝光能量值，因而此模式的控制變因即在於此)，即該增益先決掃描速度值。

於該時間先決模式被選定後更包含： 步驟S231、提供單次掃描時，該最小曝光時間值的設定。其係調整各發光元件的最底線之發光強度，可供使用者以掃描時間為優先考量的前提下來調整。 步驟S232、提供單次掃描時，該燈條之各波段之增益輸出比例值的設定。其係藉由各發光元件之產生不同波段的設定及發光強度來設定。步驟S231及步驟S232間並不具有順序先後之特定，操作者亦可先進行步驟S232後再進行步驟S231。 步驟S233、計算出時間先決掃描速度值及時間先決最大增益輸出值。其係根據所接收之經設定的該最小曝光時間值計算出單次掃描的時間先決掃描速度值，以及根據該最小曝光時間值、該燈條之各波段之增益輸出比例值及單次掃描所需的該曝光能量值計算出時間先決最大增益輸出值(此模式係以時間優先考量下來決定增益輸出值)。

接著請參閱圖4，係為本發明再一實施例中之控制掃描光源的方法的流程圖。於設定單次掃描所需的該能量值步驟(S100)中係令電腦控制系統200執行以下述步驟，於該等步驟中係於操作者設定後，該電腦控制系統200即對應進行內部參數之設定以調控該燈條： 步驟S101、提供該光阻所需之曝光總能量值的設定。 步驟S102、設定掃描次數。即，提供該光阻被曝光時，該燈條所需執行之掃描次數的設定。 步驟S103、設定單次掃描的曝光能量比值。即，提供該燈條單次掃描過程中所佔之曝光能量比例值的設定。步驟S101、步驟S102及步驟S103間並不具有順序先後之特定，操作者可根據任意順序完成步驟S101、步驟S102及步驟S103之設定。 步驟S104、產生單次掃描所需的曝光能量值。即，依據該曝光總能量值、該掃描次數及該比例值，產生單次掃描所需的曝光能量值。

綜合上述，透過本發明揭露之控制掃描光源的方法，操作者可依循本案之方法來有規劃地逐步完成各種所需之掃描光源的調控，進而可有效率地達成光阻聚合的最佳效果。

本發明在上文中已以較佳實施例揭露，然熟習本項技術者應理解的是，該實施例僅用於描繪本發明，而不應解讀為限制本發明之範圍。應注意的是，舉凡與該實施例等效之變化與置換，均應設為涵蓋於本發明之範疇內。因此，本發明之保護範圍當以申請專利範圍所界定者為準。

100‧‧‧燈條
110‧‧‧發光元件
200‧‧‧電腦控制系統
300‧‧‧承載台
S100~S300‧‧‧步驟
S110~S140‧‧‧步驟
S210~S233‧‧‧步驟

［圖1］係為本發明一實施例中之曝光機的相關配置示意圖。 ［圖2］係為本發明一實施例中之控制掃描光源的方法的流程圖。 ［圖3］係為本發明另一實施例中之控制掃描光源的方法的流程圖。 ［圖4］係為本發明再一實施例中之控制掃描光源的方法的流程圖。

S100~S300‧‧‧步驟

Claims (6)

1. 一種曝光機之控制掃描光源的方法，係運作於具有複數發光元件組成之燈條的曝光機中，以對光阻進行曝光，包含： 設定單次掃描所需的曝光能量值； 提供增益先決模式或時間先決模式之設定；及 依據所設定之模式驅動該燈條執行曝光掃描， 其中，該增益先決模式係單次掃描下以所設定之各該發光元件之一增益先決最大增益輸出值為基準，並依據單次掃描所需的該曝光能量值產生單次掃描的一增益先決掃描速度值，以該增益先決最大增益輸出值及該增益先決掃描速度值趨動該燈條執行曝光掃描， 其中，該時間先決模式係單次掃描下以所設定之最小曝光時間值為基準，並依據單次掃描所需的該曝光能量值產生單次掃描的一時間先決最大增益輸出值，以及依據該最小曝光時間值產生單次掃描的一時間先決掃描速度值，並以該時間先決最大增益輸出值及該時間先決掃描速度值趨動該燈條執行曝光掃描。
2. 如請求項1所述之方法，其中於提供該增益先決模式或該時間先決模式之設定步驟中，於該增益先決模式被選定後更包含： 提供單次掃描時該燈條之該增益先決最大增益輸出值的設定； 提供單次掃描時，該燈條之各波段之增益輸出比例值的設定；及 根據所接收之經設定的該增益先決最大增益輸出值、該燈條之各波段之增益輸出比例值及單次掃描所需的該曝光能量值，計算出該增益先決掃描速度值。
3. 如請求項1或2所述之方法，其中於提供該增益先決模式或該時間先決模式之設定步驟中，於該時間先決模式被選定後更包含： 提供單次掃描時，該光阻所需之該最小曝光時間值的設定； 提供單次掃描時，該燈條之各波段之增益輸出比例值的設定；及 根據所接收之經設定的該最小曝光時間值計算出單次掃描的時間先決掃描速度值，以及根據該最小曝光時間值、該燈條之各波段之增益輸出比例值及單次掃描所需的該曝光能量值計算出時間先決最大增益輸出值。
4. 如請求項3所述之方法，其中於設定單次掃描所需的該能量值步驟中係包含： 提供該光阻所需之曝光總能量值的設定； 提供該光阻被曝光時，該燈條所需執行之掃描次數的設定； 提供該燈條單次掃描過程中所佔之曝光能量比例值的設定；及 依據該曝光總能量值、該掃描次數及該比例值，產生單次掃描所需的曝光能量值。
5. 如請求項4所述之方法，其中，係以發光二極體作為各該發光元件以組成該燈條。
6. 一種曝光機之掃描光源的電腦程式產品，於曝光機之電腦控制系統載入後係執行如前述請求項1至5中任一項所述之控制掃描光源的方法，以取得具有複數發光元件之燈條的驅動方式而執行曝光掃描。