CN107290934B - 曝光机的扫描光源的控制方法及电脑程序产品 - Google Patents

曝光机的扫描光源的控制方法及电脑程序产品 Download PDF

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Abstract

本发明揭露一种曝光机的扫描光源的控制方法及其计算机程序产品，运作于具有多个发光组件组成的灯条的曝光机中以对光阻进行曝光，包含：设定单次扫描所需的曝光能量值；提供增益先决模式或时间先决模式的设定；及依据所设定的模式驱动该灯条执行曝光扫描。因此，操作者可依循本案的控制扫描光源的方法来有规划地逐步完成各种所需的扫描光源的调控，进而可有效率地达成光阻聚合的最佳效果。

Description

曝光机的扫描光源的控制方法及电脑程序产品
技术领域
本发明涉及一种曝光机的控制方法，尤其涉及一种曝光机的控制扫描光源的方法及控制曝光机的扫描光源的计算机程序产品。
背景技术
电路板的制造过程中需要曝光机来进行线路的制作，例如典型的多层板制程中就于内层制程、外层制程、防焊制程及选择性镀金的制程上需要曝光机的搭配。
曝光制程中除了光阻的涂布方式、材料选用外，曝光能量的控制也占有举足轻重的角色，曝光能量的控制也影响着光阻聚合反应的效果，例如对于某些材料来说，当曝光能量较低时可提高线路制作上的分辨率，当曝光能量较高时可提高聚合效果及抗化性。
因此，针对不同的曝光目标，就会需要有对应的曝光能量的控制，但曝光能量的可控制因素相当多种，操作者往往难以容易地去调整出适当的曝光条件，使得较佳的曝光效果往往需耗费相当多的成本。
发明内容
本发明的目的在于提供程序化的曝光调整方式，以让操作者得以有效率地去调整出较佳的曝光条件。
本发明的另一目的在于通过程序化的控制导引，使得光阻聚合的反应效果得以提高。
为达上述目的及其他目的，本发明提出一种曝光机的控制扫描光源的方法，是运作于具有多个发光组件组成的灯条的曝光机中，以对光阻进行曝光，包含：设定单次扫描所需的曝光能量值；提供增益先决模式或时间先决模式的设定；及依据所设定的模式驱动该灯条执行曝光扫描。其中，该增益先决模式单次扫描下以所设定的各该发光组件的增益先决最大增益输出值为基准，并依据单次扫描所需的该曝光能量值产生单次扫描的增益先决扫描速度值，以该增益先决最大增益输出值及该增益先决扫描速度值趋动该灯条执行曝光扫描。其中，该时间先决模式是单次扫描下以所设定的最小曝光时间值为基准，并依据单次扫描所需的该曝光能量值产生单次扫描的时间先决最大增益输出值，以及依据该最小曝光时间值产生单次扫描的时间先决扫描速度值，并以该时间先决最大增益输出值及该时间先决扫描速度值趋动该灯条执行曝光扫描。
在本发明的实施例中，在提供该增益先决模式或该时间先决模式的设定步骤中，在该增益先决模式被选定后还包含：提供单次扫描时该灯条的该增益先决最大增益输出值的设定；提供单次扫描时，该灯条的各波段的增益输出比例值的设定；及根据所接收的经设定的该增益先决最大增益输出值、该灯条的各波段的增益输出比例值及单次扫描所需的该曝光能量值，计算出该增益先决扫描速度值。
在本发明的实施例中，在提供该增益先决模式或该时间先决模式的设定步骤中，在该时间先决模式被选定后还包含：提供单次扫描时，该最小曝光时间值的设定；提供单次扫描时，该灯条的各波段的增益输出比例值的设定；及根据所接收的经设定的该最小曝光时间值计算出单次扫描的时间先决扫描速度值，以及根据该最小曝光时间值、该灯条的各波段的增益输出比例值及单次扫描所需的该曝光能量值计算出时间先决最大增益输出值。
在本发明的实施例中，在设定单次扫描所需的该能量值步骤中，包含：提供该光阻所需的曝光总能量值的设定；提供该光阻被曝光时，该灯条所需执行的扫描次数的设定；提供该灯条单次扫描过程中所占的曝光能量比例值的设定；及依据该曝光总能量值、该扫描次数及该曝光能量比例值，产生单次扫描所需的曝光能量值。
在本发明的实施例中，是以发光二极管作为各该发光组件以组成该灯条。
为达上述目的及其他目的，本发明还提出一种曝光机的扫描光源的计算机程序产品，在曝光机的计算机控制系统加载后是执行如前述所述的控制扫描光源的方法，以取得具有多个发光组件的灯条的驱动方式而执行曝光扫描。
因此，基于已规划好的发光组件的排列、控制回路及可程控增益的特点，操作者可依循本案的控制扫描光源的方法来有规划地逐步完成各种所需的扫描光源的调控，进而可有效率地达成光阻聚合的最佳效果。
附图说明
图1为本发明一实施例中的曝光机的相关配置示意图；
图2为本发明一实施例中的控制扫描光源的方法的流程图；
图3为本发明另一实施例中的控制扫描光源的方法的流程图；
图4为本发明再一实施例中的控制扫描光源的方法的流程图。
【符号说明】
100灯条
110发光组件
200计算机控制系统
300承载台
S100～S300步骤
S110～S140步骤
S210～S233步骤
具体实施方式
为充分了解本发明的目的、特征及功效，现通过下述具体的实施例，并配合附图，对本发明做进一步详细说明，说明如下：
首先请参阅图1，其示为本发明实施例中的曝光机的相关配置示意图。搭载有多个发光组件110的灯条100为曝光机中运作来对光阻进行曝光照射的光源，待曝光物(图中未示)放置或固定于曝光机的承载台300上，灯条100受控于计算机控制系统200，发光组件110举例来说可采用发光二极管。该计算机控制系统200可为计算机、与曝光机的整机控制系统结合在一起的一种中央控制系统、或者是远程的中央控制系统，其皆为透过计算机硬件所架设出的控制网络。其中，该计算机控制系统200是通过程序的运作来执行所规划的方法步骤，所述的方法步骤即为完成本发明实施例中的各种扫描光源的调控的对应动作与内容，因此可通过用于曝光机的扫描光源调控的计算机程序产品来执行本发明所述的方法，取得具有多个发光组件的灯条的驱动方式而执行曝光扫描。
请参阅图2，其示为本发明实施例中的控制扫描光源的方法的流程图。此实施例中，在步骤S100是为设定单次扫描所需的曝光能量值，也就是，该计算机控制系统200在执行曝光机的控制扫描光源的方法时是先提供单次扫描所需的曝光能量值的相关设定供操作者决定，再由该计算机控制系统200将操作者的决定进行扫描光源的单次扫描的曝光能量值的设定，以根据所设定的相关参数对应地调控具有该等发光组件110的灯条100。
在步骤S200提供增益先决模式或时间先决模式的设定，以供操作者根据所需的曝光方式来选择，该步骤是导引操作者快速进入曝光相关参数的进阶调整，且通过所述参数被依序且明确地呈现给操作者供其设定，即为有规划地逐步完成各种所需的扫描光源的调控，进而可有效率地达成光阻聚合的最佳效果。
在步骤S300则是依据所设定的模式驱动该灯条执行曝光扫描。
其中在该增益先决模式中，该增益先决模式是以单次扫描下以所设定的各该发光组件的增益先决最大增益输出值为基准，并依据单次扫描所需的该曝光能量值产生单次扫描的增益先决扫描速度值，以该增益先决最大增益输出值及该增益先决扫描速度值趋动该灯条执行曝光扫描。
其中在该时间先决模式中，该时间先决模式是以单次扫描下以所设定的最小曝光时间值为基准，并依据单次扫描所需的该曝光能量值产生单次扫描的时间先决最大增益输出值，以及依据该最小曝光时间值产生单次扫描的时间先决扫描速度值，并以该时间先决最大增益输出值及该时间先决扫描速度值趋动该灯条执行曝光扫描。
接着，请参阅图3，其示为本发明另一实施例中的控制扫描光源的方法的流程图。本实施例中是进一步描述增益先决模式与时间先决模式中的循序设定方式。在该增益先决模式被选定(步骤S210)后还包含：
步骤S221、提供单次扫描时该灯条的该增益先决最大增益输出值的设定。其调整各发光组件的发光强弱，可供使用者以增益为优先考虑的前提下来调整。
步骤S222、提供单次扫描时，该灯条的各波段的增益输出比例值的设定。其通过各发光组件的产生不同波段的设定及发光强度来设定。步骤S221及步骤S222间并不具有顺序先后的特定，操作者也可先进行步骤S222后再进行步骤S221。
步骤S223、计算出增益先决扫描速度值。其根据所接收的经设定的该增益先决最大增益输出值、该灯条的各波段的增益输出比例值及单次扫描所需的该曝光能量值，即可计算出符合单次扫描所需的该曝光能量值下的扫描的快慢(速度越快，照设至光阻上的时间越短，但可在短时间内提供较大的光源强度来满足所需的该曝光能量值，因而此模式的控制变因即在于此)，即该增益先决扫描速度值。
在该时间先决模式被选定后还包含：
步骤S231、提供单次扫描时，该最小曝光时间值的设定。其调整各发光组件的最底线的发光强度，可供用户以扫描时间为优先考虑的前提下来调整。
步骤S232、提供单次扫描时，该灯条的各波段的增益输出比例值的设定。其通过各发光组件的产生不同波段的设定及发光强度来设定。步骤S231及步骤S232间并不具有顺序先后的特定，操作者亦可先进行步骤S232后再进行步骤S231。
步骤S233、计算出时间先决扫描速度值及时间先决最大增益输出值。其根据所接收的经设定的该最小曝光时间值计算出单次扫描的时间先决扫描速度值，以及根据该最小曝光时间值、该灯条的各波段的增益输出比例值及单次扫描所需的该曝光能量值计算出时间先决最大增益输出值(此模式是以时间优先考虑下来决定增益输出值)。
接着请参阅图4，其示为本发明再一实施例中的控制扫描光源的方法的流程图。在设定单次扫描所需的该能量值步骤(S100)中是令计算机控制系统200执行以下述步骤，在所述步骤中在操作者设定后，该计算机控制系统200即对应进行内部参数的设定以调控该灯条：
步骤S101、提供该光阻所需的曝光总能量值的设定。
步骤S102、设定扫描次数。即，提供该光阻被曝光时，该灯条所需执行的扫描次数的设定。
步骤S103、设定单次扫描的曝光能量比值。即，提供该灯条单次扫描过程中所占的曝光能量比例值的设定。步骤S101、步骤S102及步骤S103间并不具有顺序先后的特定，操作者可根据任意顺序完成步骤S101、步骤S102及步骤S103的设定。
步骤S104、产生单次扫描所需的曝光能量值。即，依据该曝光总能量值、该扫描次数及该曝光能量比例值，产生单次扫描所需的曝光能量值。
综合上述，透过本发明揭露的控制扫描光源的方法，操作者可依循本案的方法来有规划地逐步完成各种所需的扫描光源的调控，进而可有效率地达成光阻聚合的最佳效果。
本发明在上文中已通过较佳实施例揭露，然而熟习本领域技术人员应理解的是，该实施例仅用于描绘本发明，而不应解读为限制本发明的范围。应注意的是，凡是与该实施例等效的变化与置换，均应设为涵盖于本发明的范畴内。因此，本发明的保护范围应当以权利要求书所界定的范围为准。

Claims (5)

1.一种曝光机的控制扫描光源的方法，其特征在于，运作于具有多个发光组件组成的灯条的曝光机中，以对光阻进行曝光，包含：
设定单次扫描所需的曝光能量值；
提供增益先决模式或时间先决模式的设定；及
依据所设定的模式驱动该灯条执行曝光扫描，
其中，该增益先决模式单次扫描下以所设定的各该发光组件的增益先决最大增益输出值为基准，并依据单次扫描所需的该曝光能量值产生单次扫描的增益先决扫描速度值，以该增益先决最大增益输出值及该增益先决扫描速度值趋动该灯条执行曝光扫描，
其中，该时间先决模式单次扫描下以所设定的最小曝光时间值为基准，并依据单次扫描所需的该曝光能量值产生单次扫描的时间先决最大增益输出值，以及依据该最小曝光时间值产生单次扫描的时间先决扫描速度值，并以该时间先决最大增益输出值及该时间先决扫描速度值趋动该灯条执行曝光扫描。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在提供该增益先决模式或该时间先决模式的设定步骤中，在该增益先决模式被选定后还包含：
提供单次扫描时该灯条的该增益先决最大增益输出值的设定；
提供单次扫描时，该灯条的各波段的增益输出比例值的设定；及
根据所接收的经设定的该增益先决最大增益输出值、该灯条的各波段的增益输出比例值及单次扫描所需的该曝光能量值，计算出该增益先决扫描速度值。
3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在提供该增益先决模式或该时间先决模式的设定步骤中，在该时间先决模式被选定后还包含：
提供单次扫描时，该光阻所需的该最小曝光时间值的设定；
提供单次扫描时，该灯条的各波段的增益输出比例值的设定；及
根据所接收的经设定的该最小曝光时间值计算出单次扫描的时间先决扫描速度值，以及根据该最小曝光时间值、该灯条的各波段的增益输出比例值及单次扫描所需的该曝光能量值计算出时间先决最大增益输出值。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，在设定单次扫描所需的该能量值步骤中包含：
提供该光阻所需的曝光总能量值的设定；
提供该光阻被曝光时，该灯条所需执行的扫描次数的设定；
提供该灯条单次扫描过程中所占的曝光能量比例值的设定；及
依据该曝光总能量值、该扫描次数及该曝光能量比例值，产生单次扫描所需的曝光能量值。
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，是以发光二极管作为各该发光组件以组成该灯条。
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