TWI516775B - 用以改善半導體檢測之產率或維護性質的檢測系統 - Google Patents

Description

用以改善半導體檢測之產率或維護性質的檢測系統 發明領域

本發明係關於半導體檢測系統以及方法，並且尤其是，關於用以改善半導體之維護性質以及產率的檢測系統以及方法。

發明背景

各種半導體檢測技術已被發展以便改善半導體裝置之檢測產率。半導體檢測系統使用檢測機床被開發，於該檢測機床上複數個裝置可被連接並且併行地被檢測。受檢測裝置(DUT)被提供檢測墊，一信號可在該檢測墊被輸出，或一信號位準可自該檢測墊被輸入。該系統可執行檢測方案而程式化將被施加至該等裝置之信號以及將自該等裝置被讀取之信號。

於被發展以供使用於積體電路製造中之產量以及電晶體之電氣性質處理程序管理中之一半導體參數檢測系統之一範例中，一檢測環境被包含以改善軟體生產率。該檢測環境使用一列表形式之檢測方案，並且程式碼被提 供作為一般用途程式語言或其類似者之寫成的函數。該系統執行由使用者所備妥之檢測方案並且以一列表方式被提供至該系統。該等檢測方案逐列地被執行，其中各列界定將被進行之一函數以及被該函數所使用之資訊。該等函數以及被該等函數所使用的資訊依據界定該函數以及相關資訊之行被指示作為該列中之項目。

半導體參數檢測系統致能群集之裝置檢測。一檢測元件群集(TEG)被界定作為檢測方案之量測物件。屬於該TEG之裝置是在一檢測環境中用於檢測的機構，該檢測環境提供該等裝置上之檢測墊之接取。檢測決定器是決定該等檢測墊將如何被連接到一源量測單元(“SMU”)，該源量測單元在程式控制下利用一處理器被控制。自該檢測墊至該SMU之連接一般可藉由使用一晶圓探測器以探測該裝置而被達成。各SMU是能夠有電壓施加以及電流量測、或電流輸出以及電壓量測之一量測儀器。SMU可藉由於電壓施加期間之限定電流以及電流輸出期間之限定電壓被程式化以便作用。

依據半導體參數檢測系統之一檢測方案範例圖解地被展示於圖6中，該檢測環境致能群集中之裝置的檢測。被展示於圖6中之檢測方案是之一範例檢測方案，其用以檢測被展示於圖7中之量測方塊圖中的量測物件之TEG 820。

參看至圖7，TEG 820包含一第一接墊804、第二接墊806、第三接墊808、以及第四接墊810。該TEG 820 也包含一電晶體TR4 802，其是具有一連接到TEG 820上之第一接墊804的閘極端點‘g’之一FET。該第一接墊804連接到一SMU2 812，其具有被標記‘G’的一接埠。電晶體TR4 802具有連接到該TEG 820上之第二接墊806的一汲極端點‘d’。第二接墊806連接到一SMU1 814，其具有被標記為‘D’的一接埠。電晶體TR4 802具有連接到該TEG 820上之第三接墊808的一源極端點‘s’。第三接墊808連接到一SMU3 816，其具有被標記為‘S’的一接埠。電晶體TR4 802具有連接到該TEG 820上之第四接墊810的一基片端點‘sub’。第四接墊810連接到一SMU4 818，其具有被標記為‘Sub’的一接埠。自該等SMU 812-818至該等接墊804-810之分別的實體連接藉由一晶圓探測器或其類似者之使用的探測而被建立。

該半導體參數檢測系統依據利用使用者所備妥之檢測方案而進行檢測。該檢測方案具有界定參數的行以及將於檢測方案之一步驟中被進行的函數。例如，一行被包含用以辨認具有將於一接觸中一起被探測之探測墊的電路或裝置之群集之一模組名稱。另一行界定將在檢測方案中之一特定步驟期間被執行的一函數或量測函數。列決定檢測方案中之步驟，並且量測函數行中之量測函數項目辨認被要求執行之特定程式單元。量測函數一般被提供於一函數資料庫中，其是在系統上操作之軟體的部份。量測函數一般以一編譯程式語言被寫成，例如，‘c’程式語言。一檢測方案列表中之列以及行如何被使用以執行檢測方案的 一範例將參考圖6被說明。

參看至圖6，一檢測方案輸入窗口600具有一檢測方案輸入區域614，於該處各列包含一量測函數，以及將被該函數所使用的輸入與輸出參數設定。圖6之檢測方案600被組態作為列表形式之一程式而執行如程式中之步驟的一個或多個列之一集成。圖6中之檢測方案600的第一行被指示如一‘#’行。該‘#’行允許一使用者藉由輸入對於選擇的列之該‘#’行中的一“#”而“註解掉(comment out)”一列。當一‘#’被輸入該‘#’行中時，該列不被執行。整體地利用602被指示之第二以及第三行，被使用以供用於符號資訊，其被使用以辨認在一半導體晶圓上之一量測物件的位置資訊。於如圖6之圖解地展示範例中，一模組名稱“模組B”是一項目，其被使用以辨認圖7之TEG 820。圖解地被展示於圖6中之範例具有模組名稱“模組A”，其是指示另一TEG(未被展示)作為第二行中之一項目，其是在602之一模組名稱行。檢測方案列表600也具有一裝置名稱“TR4”，其指示電晶體TR4 802，在圖7之TEG 820的模組名稱“模組B”之下被輸入的裝置名稱行。裝置名稱“TR1”、“TR2”、以及“TR3”在模組名稱“模組A”之下的裝置名稱行中被輸入。

檢測方案可包含其他行，例如，用以提供輸入以及輸出參數之行，其被提供作為供函數呼叫之引數以請求於量測函數行中被辨認的量測函數。可被提供作為輸入或輸出參數之資訊型式範例包含：電氣設定(例如，電壓或電流)數值、具有端點連接資訊之設定數值、以及儲存 如利用量測函數被產生作為輸出的資料之指標或記憶體儲存指示器。該等電氣設定提供將以函數項被施加至該等檢測墊之電壓以及電流數值。例如，如果被檢測的裝置是一電晶體，則該等電氣設定將陳述用於閘極以及汲極或源極之數值。可被提供作為輸入參數之端點資訊界定將被使用於具有一特定函數之連接的接墊。例如，一接墊可被連接到待檢測之電晶體的閘極，或連接到該電晶體之汲極或源極。

圖6中之檢測方案600是圖解地展示量測函數以及它們的引數是如何地被指定。一量測函數或函數名稱可被輸入於該“函數”行604中。被輸入於行604中之該量測函數辨認用以量測一量測物件(其被指定於該行602中)之一所需參數的一函數。於這範例中，在610之函數名稱‘IOFF’被輸入該量測函數行中作為一量測函數名稱。如稍後參考圖8被說明，該函數IOFF是一量測函數，其當指定電壓被施加至FET裝置之一閘極端點與一汲極端點時，以及0(零)V被施加至該FET裝置之一源極端點以及一基片端點時，則用以量測流進入一FET裝置之一汲極端點的電流。依據被輸入於這檢測方案之量測函數行中的量測函數，於檢測方案之裝置名稱行602中被辨認的一FET，其被連接到檢測方案之606中的接墊數目行中所被指定的一端點，藉由呼叫量測函數‘IOFF’一次而被量測。

圖6中之第五、第六、以及第七行，其是整體地利用參考數目數碼606被指示，被使用以指定供用於在量 測函數行604中被指定的各量測函數之輸入以及輸出參數。該等指定的輸入以及輸出參數是量測函數之引數，並且於指定於該等引數中之資料被使用於要求量測函數之函數中。於圖6中所展示的範例中，第五行是一輸入行，其被使用以輸入不包含端點連接資訊之主要電氣設定資訊(例如，電壓以及電流)的一數值列表。第六行是一接墊數目行，其被使用以輸入關於一量測物件之端點連接的一設定資訊數值之列表。第七行是一輸出行，其被使用以輸入用於儲存輸出資料的一記憶體區域之標記。

圖6圖解地展示用於612之輸入行、接墊數目行以及輸出行中的項目之數值範例。該輸入行中之數值輸入是將被傳送至量測函數‘IOFF’作為在TR4之量測上的輸入資訊之一部份，但不包含端點連接。被輸入於輸入行中之數值包含用於V_d(被施加至汲極之一電壓數值)、V_g(被施加至閘極之一電壓數值)、以及一合規數值(限定電流數值)的數值。被輸入於接墊數目行中之數值是界定裝置TR4的接墊端點之數值，裝置TR4是將連接到閘極連接端點G、汲極連接端點D、源極連接端點S、以及基片連接端點Sub。於輸出行中，“Id4”被輸入作為一記憶體區域之名稱，該記憶體區域是用以儲存關聯用於量測函數‘IOFF’之一輸出參數的量測函數‘IOFF’之輸出。圖8是以‘c’程式語言被寫成之函數‘IOFF’的一範例。該‘IOFF’函數呼叫界定包含引數702之一列表，其當被呼叫時則被傳送至IOFF函數。引數702列表所列出之引數對應至圖6中之612被指定於輸入 行、該接墊數目行以及該輸出行中之輸入參數。

上述型式的一列表形式檢測方案提供能夠使一使用者容易地以及直覺地程式化一檢測的環境。該使用者於一程式環境中組態一檢測方案，該環境是由一列表形式檢測方案以及以一般目的程式語言被寫成之一量測函數的形式之二個層所構成。該檢測環境，其允許以一般目的程式語言被程式化，同時也提供可相容於任何類型之程式的一環境。這型式的檢測環境使用簡單函數，但卻是受限定於可被進行之檢測。這檢測環境既是不適用於非常依賴於條件分支以及重複之使用的錯綜複雜以及精密的程式流程控制，也是不適用於比一被備妥作為一標準規格或其類似者更精密之檢測的函數之程式規劃。

一半導體檢測系統之另一範例部份地平行化一半導體參數檢測。具有平行檢測屬性之一檢測方案將包含一平行檢測屬性行，於其中標記被提供以供指定平行化之開始以及結束。藉由指定的平行化範圍，一檢測器詮釋該指定範圍，並且產生線程，因而檢測彼此平行地於複數個指定範圍中被執行。該等線程各自是檢測方案中之一串列步驟，其在指定的平行化範圍內被進行以供用於TEG中之被指示的裝置。進行平行化之檢測方案的一範例被展示於圖9中。圖9中之檢測方案包含一平行檢測屬性行902以供用於輸入標記，例如，PT_SCHED_BEGIN及PT_SCHED_END，其界定平行化之開始以及結束。平行化之二範圍被展示於圖9中。平行化904之第一範圍辨認用 以檢測裝置TR1以及TR2之檢測步驟的一範圍。平行化906之一第二範圍辨認用以檢測裝置TR2以及TR4之檢測步驟的一第二範圍。

但是，這方法也需要用於半導體檢測以及檢測程式之先進知識以及程式化技能。這方法也需要除錯之知識以及性能。

使用一列表形式檢測方案之一檢測環境的另一範例包含使用一IF敘述之條件分支處理程序，以及使用一REPEAT敘述之重覆處理程序。一LET敘述可被包含以指定一數值至一參數。用於請求條件處理之敘述可被添加，例如，於上述之量測函數行中。

使用條件處理敘述之檢測方案2600的一範例圖解地被展示於圖10中。該檢測方案2600遵循圖解地被展示於9圖中之相似於檢測方案資料項目區域2614的一格式。該條件處理敘述被輸入於量測函數行中。圖10在2610展示一重複(REPEAT)敘述，以指示跟進直至在2616之一UNTIL敘述為止之列被重複直至用以終止重覆而在2618之對於UNTIL敘述輸入行中被指定之條件被滿足為止。在2610的REPEAT以及在2618的UNTIL之間的範圍中的敘述之一者是在2612之‘IOFF’函數。在2613，於輸入行、接墊數目行、以及輸出行中被指定的引數資料於該重覆中被提供。在2620之一IF敘述的使用被提供於在2616的UNTIL敘述之後的列中。用以處理該等列之條件，接著在2620的IF敘述之後在2622被指示於輸入行中。當IF條件被滿足時將被進 行之處理程序，藉由在2626之對應的引數，而在2624被提供於下一列中。在2628的一ELSEIF敘述是在下面列中具有於2630界定該ELSEIF條件的資料。在2632，一ELSE敘述被展示而環繞設定旗標之敘述。在2634，一ENDIFF敘述界定IF-ELSEIF-ELSE區塊之終止。

包含條件處理敘述之檢測方案藉由於量測函數行中之具有一條件處理敘述的列之添加而具有加長檢測方案之效用。檢測方案之加長以及更多列的添加使得一檢測方案更難讀取並且更不易了解。於一些檢測方案中，許多量測時常被重複以供用於在不同量測條件之量測數值的統計處理。許多量測也使得檢測方案更不易於讀取或了解。對於某些型式之TEG的一些檢測方案同時也需要供用於對於一所給予的量測函數之預處理以及後處理的步驟。例如，當指定電壓被施加至FET裝置之一閘極端點以及一汲極端點，而0(零)V被施加至該FET裝置的一源極端點以及一基片端點時，則一檢測方案可進行用以量測在一FET裝置之一汲極端點的電流輸出之一量測函數。在該量測函數被呼叫之前，設定一所需的TEG之位址的一函數可被執行作為對於一百個TEG的預處理。用以重設在汲極端點之電壓V_dd的一函數也可在該量測函數之後被呼叫作為後處理。此等預處理以及後處理步驟進一步地加長以及複雜化檢測方案之顯示而使得它們更不易於讀取以及了解。不易於讀取或了解之檢測方案具有使除錯以及更正該檢測方案之作業複雜化的影響。

上述型式之檢測方案也使用一詮釋程式而執行以呼叫量測函數行中之一量測函數以及執行一命令。詮釋的程式在執行速率上傾向於比編譯的程式更緩慢。當重覆以及條件分支被重複時，比較至一編譯程式的執行，詮釋程式更緩慢之速率尤其是顯著的。

該執行速率可藉由包含一編譯量測函數中之分支、重覆、以及其他相似函數而被改善。但是，因為不能在程式被完成之後再改變，這將使得此等檢測方案不容變更。另一問題是，此等檢測方案之維護將必定得藉由具有某種程度高等編製程序技術而能夠理解一量測函數之細部的半導體工程師被進行。這需求增加檢測方案維護之負擔。

如上所述，近年來於半導體製造處理程序中被達成之微型化以及高度整合已導致檢測持續增加之裝置數目的需求，檢測產率改善之需求，以及伴隨檢測之維護性質改善之需求。

發明概要

鑑於上述情況，一半導體檢測系統被提供，該半導體檢測系統包含複數個檢測頭針腳；複數個每一針腳資源，其基於一種一對一方式而可連接至該等複數個檢測頭針腳；複數個共用資源，其之各者是可連接至該等複數個檢測頭針腳之一者；以及一檢測器控制器，其用以控制該等複數個每一針腳資源以及該等複數個共用資源。該檢測 器控制器被組態以依據一使用者產生的列表形式檢測方案而執行機器可執行指令。該使用者產生的列表形式檢測方案包括複數個程式列，各列界定一檢測方案步驟以及界定用以進行該檢測方案步驟之資訊的複數個行。該等複數個行包含：一量測函數行，其用以指定使用該等複數個每一針腳資源以及該等複數個共用資源之至少一者的一量測函數；至少一輸入以及輸出行，其用以指定該量測函數之輸入以及輸出參數；以及一非同步平行群集行，其用以指定利用非同步平行執行而被執行的列是如何被群集。該檢測器控制器被組態，因而依據該非同步平行群集行中之項目而彼此不同之程式列群集被執行，以便同時地開始非同步平行執行。

於另一實施例中，半導體檢測系統包含複數個檢測頭針腳；複數個每一針腳資源，其基於一種一對一方式而可連接至該等複數個檢測頭針腳；複數個共用資源，其之各者是可連接至該等複數個檢測頭針腳之一者；以及一檢測器控制器，其用以控制該等複數個每一針腳資源以及該等複數個共用資源。該檢測器控制器被組態以依據一使用者產生的列表形式檢測方案而執行機器可執行指令。該使用者產生的列表形式檢測方案包括：複數個程式列，各列界定一檢測方案步驟以及界定用以進行該檢測方案步驟之資訊的複數個行。該等複數個行包含：一量測函數行，其用以指定使用該等複數個每一針腳資源以及該等複數個共用資源之至少一者的一量測函數；至少一輸入以及 輸出行，其用以指定該量測函數之輸入以及輸出參數；以及一同步平行群集行，其用以指定利用同步平行執行而被執行的列是如何被群集，其中如被指定於該同步平行群集行中而被群集的複數個群集之各者僅包括具有將利用同步平行執行而被執行之相同量測函數的列。

於另一實施例中，半導體檢測系統包含複數個檢測頭針腳；複數個每一針腳資源，其基於一種一對一方式而可連接至該等複數個檢測頭針腳；複數個共用資源，其之各者是可連接至該等複數個檢測頭針腳之一者；以及一檢測器控制器，其用以控制該等複數個每一針腳資源以及該等複數個共用資源。該檢測器控制器被組態，以依據一使用者產生的列表形式檢測方案而執行機器可執行指令。該使用者產生的列表形式檢測方案包括複數個程式列，各列界定一檢測方案步驟以及界定用以進行該檢測方案步驟之資訊的複數個行。該等複數個行包含：一量測函數行，其用以指定使用該等複數個每一針腳資源以及該等複數個共用資源之至少一者的一量測函數；至少一輸入以及輸出行，其用以指定該量測函數之輸入以及輸出參數；以及一第一派遣行，其被組態以進行有關第一行之量測函數的程式流程控制，以及至至少一派遣輸入/輸出參數行，其用以指定該第一派遣函數之輸入以及輸出參數。

熟習本技術者將明白，當審視下面圖形和詳細說明時，本發明之其他裝置、設備、系統、方法、特點以及優點將成為更明顯。其預期被包含在這說明內之所有此 等另外的系統、方法、特點和優點，是在本發明範疇之內，並且受附加申請專利範圍之保護。

100‧‧‧檢測方案輸入視窗

102‧‧‧第一行方塊

106‧‧‧量測函數行

108‧‧‧第二行方塊

120‧‧‧非同步平行執行方塊

122‧‧‧同步平行執行方塊

124‧‧‧派遣函數操作方塊

300‧‧‧半導體參數檢測系統

302‧‧‧檢測頭

304‧‧‧每一針腳SMU模組

306‧‧‧每一針腳資源

310‧‧‧每一針腳SMU

312‧‧‧針腳1

314‧‧‧信號線

316‧‧‧針腳2

318‧‧‧針腳3

320‧‧‧繼電器矩陣

322‧‧‧檢測頭控制器

324‧‧‧繼電器

330‧‧‧共用資源方塊

332‧‧‧來源監視單元

334‧‧‧信號線

336‧‧‧電容量測單元

338‧‧‧信號線

340‧‧‧檢測器控制器

341‧‧‧數位電壓表

342‧‧‧信號線

343‧‧‧電腦

344‧‧‧中央處理單元

346‧‧‧記憶體

354‧‧‧顯示器

356‧‧‧鍵盤

358‧‧‧指示裝置滑鼠

360‧‧‧檢測器

400‧‧‧檢測方案軟體

402‧‧‧檢測器控制器

404‧‧‧檢測方案

406‧‧‧檢測方案控制單元

408‧‧‧檢測方案詮釋單元

410‧‧‧檢測方案執行單元

412‧‧‧量測函數及派遣函數控制單元

414‧‧‧量測函數及派遣函數執行單元

416‧‧‧量測函數資料庫呼叫單元

417‧‧‧派遣函數資料庫呼叫單元

418‧‧‧資料庫控制單元

419‧‧‧資料庫執行單元

420‧‧‧硬體控制韌體呼叫單元

422‧‧‧量測函數及派遣函數碼

430‧‧‧檢測器

432‧‧‧硬體控制韌體

434‧‧‧量測資源硬體

440‧‧‧受檢測裝置

600‧‧‧檢測方案

602‧‧‧裝置名稱行

604‧‧‧量測函數行

606‧‧‧接墊數目行

610‧‧‧函數名稱

612‧‧‧行項目數值

614‧‧‧檢測方案輸入區域

702‧‧‧引數

802‧‧‧電晶體

804-810‧‧‧接墊

812‧‧‧源量測單元2

814-818‧‧‧來源監視單元

820‧‧‧檢測元件群集

902‧‧‧平行檢測屬性行

904、906‧‧‧平行化執行

1100‧‧‧檢測方案流程圖

1102-1110‧‧‧處理程序步驟

1200‧‧‧檢測方案操作流程圖

1202-1208‧‧‧處理程序步驟

1602-1606‧‧‧檢測方案執行方塊

1702-1706‧‧‧檢測方案執行方塊

1802-1810‧‧‧檢測方案流程步驟

2600‧‧‧條件處理敘述檢測方案

2610-2634‧‧‧條件處理敘述

2614‧‧‧檢測方案資料項目區域

2610-2618‧‧‧重複敘述程序

3104‧‧‧序列行

3104‧‧‧同步平行執行方塊

3110‧‧‧量測函數IOFF2

3120‧‧‧非同步平行執行

3500‧‧‧流程圖

3502-3516‧‧‧處理步驟

3100‧‧‧檢測方案

3900‧‧‧停頓檢測程式

3902-3920‧‧‧程式步驟

4100‧‧‧檢測方案輸入視窗

5100‧‧‧檢測方案輸入視窗

5102‧‧‧派遣函數操作方塊

5202‧‧‧派遣標記行

5204‧‧‧派遣器行

5206‧‧‧行方塊

5302‧‧‧派遣器標記2行

5304‧‧‧派遣器2行

5306‧‧‧行方塊

6100‧‧‧檢測方案輸入視窗

6110‧‧‧For_Loop函數

6112‧‧‧輸入參數

6114‧‧‧IOFF2函數

6116‧‧‧輸入及輸出參數

6120‧‧‧派遣函數If_Branch

6124‧‧‧量測函數VTH

6126‧‧‧輸入以及輸出參數

6130‧‧‧函數LET

6132‧‧‧輸入及輸出參數

6134‧‧‧輸入及輸出參數

6200‧‧‧檢測方案

本發明可藉由參看下面圖形而較佳地被了解。圖形中之構件不必定得依其尺度被繪製，而其重點卻是放在圖解地展示本發明的原理。於該等圖形中，參考號碼標示全文中不同視圖之對應部件。

圖1是半導體參數檢測系統範例之方塊圖。

圖2是利用圖1之檢測系統而執行一檢測方案之軟體的方塊圖。

圖3是被組態以供使用圖1的檢測系統操作之檢測方案的範例概要圖。

圖4展示實作同步平行執行之被展示於圖3中的檢測方案範例。

圖5是對於可被使用於圖3中之檢測方案的量測函數範例之原始碼範例。

圖6是展示顯示另一檢測方案範例之視窗。

圖7是使用圖6中之一量測物件的量測方塊圖。

圖8是對於使用於在圖6中展示之檢測方案中的一量測函數之原始碼範例。

圖9是實作平行檢測屬性之圖6中的檢測方案之另一範例。

圖10是實作條件處理以及重覆處理之圖6中的檢測方案之另一範例。

圖11是圖解地展示圖2中之檢測方案詮釋單元的操作流程圖。

圖12是圖解地展示圖2中之檢測方案執行單元的操作流程圖。

圖13是圖解地展示圖2之資料庫(API)執行單元的操作流程圖。

圖14是圖解地展示具有共用接墊之TEG範例的方塊圖。

圖15展示實作非同步平行執行之圖3的檢測方案範例。

圖16是圖解地展示於列表3中被展示之檢測方案範例的操作圖。

圖17是圖解地展示於列表11中被展示之檢測方案範例的操作圖。

圖18是圖解地展示於列表13中被展示之檢測方案範例的操作圖。

圖19是圖解地展示可利用圖2中之檢測方案詮釋單元被執行的停頓檢測程式範例之操作流程圖。

圖20展示顯示圖3之檢測方案以圖解地展示派遣操作控制之操作的視窗。

圖21是圖解地展示於圖20中被展示之派遣函數資訊行範例圖形。

圖22是包含參考圖20被說明之條件處理以及重覆處理的檢測方案範例。

圖23是檢測方案範例，於其中一派遣函數使用圖解地展示被使用於圖20之檢測方案中的列表23之型式的可變長度陣列引數範例。

圖24A以及24B圖解地展示將列表22之派遣函數的函數併入圖23之檢測方案中的一檢測方案範例。

較佳實施例之詳細說明

圖1是一半導體參數檢測系統300之實作範例方塊圖。該半導體參數檢測系統300包含一用以執行在一受檢測裝置DUT(未被展示於圖中)上之檢測的檢測器360以及一用以控制檢測器360之檢測器控制器340。該檢測器360包含一共用資源方塊330以及一檢測頭302。該共用資源方塊330包含複數個來源監視單元(SMU)332、一電容量測單元(CMU)336、以及一數位電壓表(DVM)341，其是可量測電壓、電流以及電阻。

該檢測頭302包含複數個檢測頭針腳、一每一針腳SMU模組304、一繼電器矩陣320、以及一檢測頭控制器322。展示於圖1中之檢測頭針腳被辨認如針腳1 312、針腳2 316、以及針腳3 318。高至用於系統需要的適合數目之另外的檢測頭針腳不被展示，但是利用省略號被指示。該等複數個檢測頭針腳被使用以構成至DUT之連接。

檢測頭控制器322被組態以控制繼電器矩陣320以及每一針腳SMU模組304之操作。每一針腳SMU模組304包含複數個每一針腳資源306，其各被組態以便可連接至 該等檢測頭針腳之對應的一者。檢測頭控制器322控制繼電器矩陣320以建立在共用資源方塊330以及在每一針腳SMU模組304中之分別的每一針腳資源306之間的連接。繼電器矩陣320使用來自該等複數個SMU 332之複數個信號線334、來自CMU 336之一信號線338、以及來自共用資源方塊330之DVM 341的一信號線342以連接至複數個信號線314(其連接至每一針腳SMU模組304中之分別的每一針腳資源306)。各每一針腳資源306包含一每一針腳SMU(PSMU)310。各每一針腳資源306利用檢測頭控制器322被控制以觸發一繼電器324以便連接一檢測頭針腳(於圖1之這範例中的針腳1312)至PSMU 310之一信號線或來自繼電器矩陣320之一信號線314。

檢測器控制器340被連接到檢測頭控制器322以及在共用資源方塊330內之資源。檢測器控制器340包含一電腦343，該電腦343連接到一顯示器354、一鍵盤356、以及一指示裝置358(例如，一滑鼠)。該電腦343包含一記憶體346以及一中央處理單元(CPU)344以便執行各種型式之電腦處理程序。記憶體346包含一個或多個儲存裝置，例如，唯讀記憶體(ROM)、一隨機存取記憶體(RAM)、一快閃記憶體、一硬碟驅動器(HDD)、一CD以及DVD驅動器、一軟磁碟驅動器、以及各種記憶卡驅動器。被使用於CPU 344之處理中的資料以及程式被儲存在記憶體346中。檢測器控制器340可被組態以藉由網路連接資源而連接至一網路，例如網際網路。

圖2是圖解地展示利用圖1之檢測系統300而執行檢測方案之軟體方塊圖400。圖2中之一檢測器控制器402包含一檢測方案控制單元406、一量測函數以及派遣函數控制單元412、以及一資料庫(API)控制單元418。檢測器控制器402關連一檢測方案404並且關連一量測函數以及派遣函數碼422。檢測方案404和量測函數以及派遣函數碼422被儲存在記憶體中並且成為可用於被詮釋以及被執行。檢測器控制器422輸出自檢測方案404和量測函數以及派遣函數碼422之處理所產生的控制資訊至檢測器430。圖2之檢測器控制器402以及檢測器430分別地對應至圖1之檢測器控制器340以及檢測器360。

檢測方案404以具有代表將被進行之步驟的列以及界定被使用以進行該等步驟之資訊的行之列表形式而被實作。量測函數以及派遣函數碼422被實作如在檢測方案404中之該等列的執行期間將被呼叫之函數的一編譯系統。量測函數以及派遣函數碼422包含至一資料庫(API)之可處理平行執行要求的一介面。一“資料庫(API)”指示可使用一應用程式介面(“API”)存取之一組函數，其是那些一般技術人員所習知。

檢測方案控制單元406被組態以使用平行執行。量測函數和派遣函數控制單元412以及資料庫(API)控制單元418被組態以進行同步平行執行。當利用檢測方案404中之項目被指定時，平行執行被進行。應注意到，如被使用於此處之詞句“平行執行”，除非另有說明，否則指示將在 下面被說明之一同步平行執行功能以及一非同步平行執行兩者。

檢測方案控制單元406包含一檢測方案詮釋單元408，其詮釋檢測方案404中之各列。依據說明結果，檢測方案控制單元406可產生複數個檢測方案執行單元410(如被展示於圖2中之410-1至410-n)。各個檢測方案執行單元410-1至410-n形成一執行線程，並且數字‘n’是一線程計數，或將非同步平行地被執行之線程數目。檢測方案執行單元410-1至410-n之各者是可同步執行之一串列的程式步驟。各個檢測方案執行單元410依據一線程接著線程方式每一次被分配的一列而執行一檢測方案。該等檢測方案執行單元410-1至410-n依據檢測方案404中之項目利用檢測方案詮釋單元408被產生。在一列之執行期間，檢測方案執行單元410轉移控制至量測函數以及派遣函數控制單元412之一者，以便呼叫被指定於該列中的一量測函數或派遣函數，並且接收來自該函數的一結果。

量測函數和派遣函數控制單元412依據一線程接著線程方式被提供。所產生量測函數和派遣函數控制單元412(如被展示於圖2中之412-1至412-n)的數目是等於線程計數n，其是將非同步平行地被執行之線程數目。於各個量測函數以及派遣函數控制單元412-1至412-n中，來自關聯該等線程之一者的檢測方案執行單元410-x之一呼叫利用一量測函數以及派遣函數執行單元414-x首先被接收。變量‘x’代表來自在平行地被執行之n個線程之間的該等線 程之一者。當該接收的呼叫係關於一派遣函數時，記憶體中之量測函數以及派遣函數碼422是有關連於，並且控制被轉移至，一派遣函數資料庫(API)呼叫單元417-x。當該接收的呼叫係關於一量測函數時，控制被轉移至一量測函數資料庫(API)呼叫單元416-x。量測函數資料庫(API)呼叫單元416-x提供可處理同步平行執行要求之一介面。

派遣函數資料庫(API)呼叫單元417-x將控制返回至檢測方案執行單元410-x，以便執行對於一有關的派遣函數之一資料庫，並且執行利用派遣函數而將被執行的一量測函數。量測函數資料庫(API)呼叫單元416-x轉移控制至對於第x個線程之相關的資料庫(API)控制單元418-x，以便執行對於一有關的量測函數的一資料庫。資料庫(API)控制單元418-x是可處理同步平行執行要求之一控制單元。於資料庫(API)控制單元418-x中，來自量測函數資料庫(API)呼叫單元416-x之一呼叫利用一資料庫(API)執行單元419-x被接收，並且接著控制經由一硬體控制韌體呼叫單元420-x被轉移至檢測器430中之硬體控制韌體432。硬體控制韌體432控制量測資源硬體434以供應所給予的信號至一DUT 440或量測該DUT 440。該資料庫(API)執行單元419-x是可處理同步平行執行要求之一執行單元。硬體控制韌體呼叫單元420-x是可同步平行執行之一呼叫單元。硬體控制韌體432是可同步平行執行之韌體。

當控制隨著相反路程被返回至檢測方案執行單元410-x時，其是關聯於x-線程，指示執行信號供應至或 DUT 440之量測之結果的一輸出數值被提供至正被執行的檢測方案之一列。於稍後被說明之非同步平行執行的情況中，如同將於非同步平行執行中被執行的程序數目之許多線程被產生並且平行地被執行，並且輸出數值被提供至檢測方案作為結果。

相對地，同步平行執行，參考下面的圖4被說明，不涉及到產生將平行地被執行之的線程。反而，可同步平行執行之區塊被分配供用於同步平行執行之複數個量測資源。例如，將在複數個每一針腳資源306之中或在硬體的複數個部件之中被進行的同步平行執行可於共用資源中平行執行。可同步平行執行之區塊經由檢測頭控制器322以及每一針腳SMU模組304被控制，以便同時地平行操作。其結果被提供至檢測方案作為輸出數值。

檢測方案因此每一次一列地被執行並且檢測系統被控制，因而指示該列之執行結果的一輸出數值被送至利用該列被指定的一參數區域。

被使用以於上述參考圖1和圖2之檢測系統中產生一檢測方案之列表形式，是被使用於一領域特定語言(DSL)中的一表式形式。DSL是被設計以供用於特定處理的一程式語言、或一規格之說明語言中的一表式形式。DSL包含一簡單形式輸入格式而能夠使一使用者將項目輸進該列表中，以及用於一特定用途之一語言。此處說明之列表形式也是習知為一試算表格式、一分類帳頁輸入格式以及一列表輸入格式。

圖3是一檢測方案輸入視窗100之略圖，該視窗100可被顯示以供用於可被備妥以於上述參考圖1以及2之半導體參數檢測系統300中執行的一檢測方案。圖3中之檢測方案輸入視窗100代表可被使用以將資訊輸入於產生一檢測方案的列以及行中之一形式。檢測方案輸入視窗100包含一第一行方塊102，其包含一模組名稱行以及一裝置名稱行。一量測函數行106被使用以指定將被執行的一量測函數。一第二行方塊108包含一輸入行(其用以指定可被提供作為供用於一對應量測函數的輸入之輸入參數)、一用以指定端點資訊之端點行、以及一用以指定關於一輸出參數之資訊的輸出行。

檢測方案輸入視窗100包含一非同步平行執行方塊120、一同步平行執行方塊122、以及一派遣函數操作方塊124。非同步平行執行方塊120包含用以指定被使用以控制非同步平行執行之資訊的一行。同步平行執行方塊122包含用以指定被使用以控制同步平行執行之資訊的一行。派遣函數操作方塊124包含用以指定被使用以控制派遣操作之資訊的一行。

檢測方案輸入視窗100包含於第一行方塊102中之一模組名稱行以辨認可立刻平行地被量測之電路或裝置的一群集。

如於此處所了解的非同步平行執行是指示產生供平行地執行之複數個線程以及平行地執行該等線程之一處理程序。該等線程彼此無關地被執行。於一線程中被執 行者可完全地不同於另一線程中被執行者。理論上，非同步平行執行不涉及時序、或同步化，於一線程中之一步驟的執行與於另一線程中之一步驟的執行。非同步平行執行被界定如用以平行地執行異類執行物件的一執行格式。例如，非同步平行執行可被使用以執行以一PSMU操作一DUT並且接著以一CMU量測DUT的一線程，並且僅以一共用資源之一SMU處理另一DUT的另一線程，其中該等線程平行地執行。

於非同步平行執行方塊120中，提供資訊作為用以指定被使用以控制上述非同步平行執行之資訊之行中項目，可提供使用者在非同步平行執行上之控制。此外，對於一檢測方案之除錯的作業可藉由包含指定於檢測方案中非同步平行執行之項目而被簡化。

此處被理解之同步平行執行是指用於同類執行物件之一平行執行格式。一同步平行執行格式是適用於指示具有相同函數之量測資源的使用之情況，且也適用於在平行操作之量測資源中的操作序列之情況中。同步平行執行是一平行執行模式，其中該控制包含設定複數個硬體部件以自一線程平行地執行，也使該等硬體部件同時地開始操作，並且等候該等硬體部件停止操作。平行執行模式是同步的原因在於量測資源基本上以相同時序被執行。

此處所了解的派遣操作控制是指示一控制結構，其消除使得檢測方案較不可讀取之列表形式檢測方案方面，並且改善該檢測方案之維護性質。派遣操作控制避 免用以說明關於程式流程控制之需求，其保持檢測方案之可讀性。派遣操作控制藉由允許添加界定程式流程控制之新層至一量測函數層頂部上之軟體結構而改善維護性質。

一檢測方案可利用一使用者被構成，於其中資訊被輸入於指定用於派遣操作控制之資訊的行中之派遣函數操作方塊124中。以一般目的程式語言被寫成之一派遣函數也被提供。複雜的程式流程控制因此可藉由在派遣函數操作方塊124中輸入有關該指定的派遣函數之一參數被吸收。這進一步地導致檢測系統操作，因而有關被寫入檢測方案之有關列中之一量測函數的一參數依據在已被呼叫的派遣函數內部之處理程序而被呼叫。

被展示於圖3中之用於一檢測方案的格式提供一使用者有關包含用於檢測方案中之程式流程控制的處理程序而不必破壞檢測方案之可讀性之方式。該用於程式流程控制之處理程序可包含，例如，用於量測操作之輔助處理程序，例如，用於各種型式之預處理或後處理之條件分支處理程序、重覆處理程序、以及呼叫處理程序。對於各量測函數，有關一派遣函數(其是與有關量測函數之一參數的說明相關聯)的一參數可藉由增加一對應的行至派遣函數操作方塊124而被輸入一檢測方案中。這避免增加列至檢測方案之需求，否則其將破壞檢測方案之可讀性。

此外，上述之使用派遣函數操作方塊124之派遣操作控制，可利用上述之非同步平行執行(其使用非同步平行執行方塊120)、以及上述之同步平行執行(其使用同步 平行執行方塊122)兩者而被組合。

非同步平行執行方塊120、同步平行執行方塊122、和派遣函數操作方塊124，以及使用非同步平行執行方塊120、同步平行執行方塊122、以及派遣函數操作方塊124被實作的函數在下面以下述之順序被說明：1)同步平行執行，2)非同步平行執行，以及3)派遣操作控制。

在被使用於下面說明中之檢測方案範例中，僅對於考慮中的函數之說明所必須的行被顯示出在圖解地被展示於圖3中之行。將了解的是，取決於所給予的說明文之脈絡，不被顯示之行是空白的或包含被給予的數值。

同步平行執行

圖4圖解地展示包含用以使用於進行同步平行執行中之資訊的一檢測方案輸入視窗3100。參看至圖4，檢測方案視窗3100是列表的形式並且包含於方塊102中之一模組名稱行以及一裝置名稱行，方塊106中之一函數行，以及方塊108中之一輸入行、一端點行、一輸出行。檢測方案視窗3100也包含對應至圖3之同步平行執行方塊122的方塊3104。方塊3104包含用以指定同步平行執行之一序列行。該序列行可被使用於一序列標記之項目。於檢測方案中具有相同序列標記的列於同步平行執行中同時地被處理。該序列標記可以是一文字串列，以取代如被展示於圖4中之範例的數字。將平行地同時被執行之檢測方案列可 被輸入作為彼此分開一距離被設定的一上方列以及一下方列而取代如垂直的連續列。

將於同步平行執行中同時地被執行之檢測方案列具有相同模組名稱，相同量測函數名稱，並且被群集在一起以供用於同步平行執行處理。於一實作範例中，當具有相同序列標記，但是不同模組名稱以及不同的量測函數名稱的列試圖執行時，字詞“錯誤(error)”可被顯示。於另一範例中，此等列被當成平行執行分別地被進行之列的方式被處理，即使該等列具有相同序列標記亦然。具有相同量測函數以及相同序列標記並且僅模組名稱彼此不同之列可作為平行執行之不同的群集而被處理。

於圖解地被展示於圖4之檢測方案中，一量測函數IOFF2 3110以相同序列標記“1”3114被輸入於第一至第三列中。量測函數IOFF2 3110被指定以藉由使用在方塊3112中被界定之分別的列之輸入以及輸出參數而對於裝置TR1至TR3利用同步平行執行之執行。

圖解地展示於圖4中之檢測方案的操作將參考圖11中之流程圖1100被說明，其說明圖2之檢測方案詮釋單元408的操作。如圖11中之圖解地展示，當處理程序開始於步驟1102中時，檢測方案詮釋單元408從頂部向下地讀取檢測方案3100所有的列，如步驟1104中之指示。

檢測方案詮釋單元408接著利用模組名稱而群集該等列。該等列接著利用量測函數名稱被群集，並且接著利用序列標記被群集。檢測方案詮釋單元408於記憶體中 儲存關於該等群集之各種型式的資訊，例如，檢測方案列數目、裝置名稱以及輸入和輸出參數，如步驟1106中之指示。

應注意到，當檢測方案列利用序列標記被群集時，不具有序列標記之列被群集在一起作為一群集。不具有序列標記之檢測方案列，以及具有一模組名稱、一量測函數名稱、或因群集被發現不被其他列所共用的一序列標記之檢測方案列，將被確認作為後續執行之目標的列。具有一模組名稱、一量測函數名稱、或因群集被發現被兩個或多個列所共用之一序列標記之檢測方案列，將被確認作為同步平行執行之目標的列。

檢測方案詮釋單元408結束處理程序，並且傳送該處理結果至一檢測方案執行單元410，如於步驟1108中之指示。檢測方案詮釋單元408之處理程序(於圖2中)被結束，如於步驟1110中被指示。應注意到，關於同步平行執行之圖11的處理程序不涉及產生將非同步地平行被執行之線程。步驟1108中之檢測方案執行單元410因此本質上是圖2之檢測方案執行單元410-1。

圖12是圖解地展示圖2中之檢測方案執行單元410的操作之流程圖1200。當處理程序開始於步驟1202中時，檢測方案執行單元410依據接收之處理結果以一所給予的順序而呼叫檢測方案中之量測函數，傳送各種型式之資訊，例如，作為引數之輸入以及輸出參數至被呼叫的量測函數，如被指示於步驟1204中，並且在步驟1208結束該 處理程序。

於一實作範例中，呼叫用於圖解地展示於圖4中之檢測方案的量測函數之順序可以是如下所述。首先，檢測方案中之列自頂部向下地依該等列被寫入之順序被執行。如果目標列在這執行期間是一連續的執行列，則僅一檢測方案列被執行。如果該目標列在這執行期間是一同步平行執行列，並且是在具有相同如目標列之序列標記的列之中的頂部，具有相同序列標記的同步平行執行列之各者同步地平行被執行。亦即，當以該等列被呈現之順序自頂部向下地執行檢測方案列時，因為它們的序列標記而先前已利用同步平行執行被執行的列被跳過並且不被執行。這量測函數呼叫順序使得使用者能夠控制執行順序，因而一檢測方案中之列以該等列出現在該檢測方案上之順序被執行。

於另一實作範例中，一檢測方案之執行順序可以是取決於對於該等列被輸入於序列標記中的是什麼、以及不具有序列標記之列、或其之序列標記包含一虛無(null)之列，而利用連續的執行自頂部向下地被執行。接著，具有不被保留字詞之序列標記的列，或具有不被保留字詞序列標記的列，依據一群集接著群集之方式利用同步平行執行而，例如，以上升順序被執行。接著，具有被保留的字詞序列標記的列以一預定順序利用同步平行執行被執行。這量測函數呼叫順序使得使用者能夠依據對於該等列被輸入序列標記中之是什麼而唯一地控制執行順序。

再於另一實作範例中，檢測系統被組態以使用序列標記中之項目作為一參考而決定執行順序。這量測函數呼叫順序允許該檢測系統控制該執行順序以相稱於該檢測系統之便利性。因此，相稱於所需的性能(例如，檢測時間最佳化或雜訊特性最佳化)之一執行順序，藉由利用該檢測系統以一順序最佳化執行檢測方案列而被得到。

下面說明當檢測方案執行單元410以一所給予的順序呼叫量測函數時，各種型式的資訊，例如，輸入以及輸出參數如何作為引數而以連續的執行以及以同步平行執行被傳送至一量測函數，並且傳送各種型式之資訊，例如，輸入以及輸出參數至被呼叫的量測函數。圖5是對於可被使用於圖3中之檢測方案中的一量測函數範例之原始碼範例。圖5中之函數使用一可變長度陣列參數作為一量測函數之一引數。該可變長度陣列參數被界定如具有C++語言中之向量型式。於其他實作範例中，一量測函數可用支援可變長度陣列參數之其他程式語言被寫成。

於一範例中，於圖4中之檢測方案中的一檢測方案列，其包含數值“模組B”、“TR4”以及“IOFF2”，藉由圖5之原始碼範例被執行，圖5之量測函數IOFF2被呼叫一次。此外，以下面列表1中之一原始碼格式被表示的引數可被傳送至量測函數。於一輸入參數之情況中，具有1之一陣列計數的一參數，其指出列表1中指示用於vd之列的參數內容，被傳送至量測函數。於量測函數接收一輸出參數之情況，具有一陣列計數1之一單一參數，其指出列表1中用 於Id之指令行，利用傳送參考(pass-by-reference)方式被接收。

如果執行涉及平行執行，例如，對於如圖解地展示於圖4中之方塊3112的裝置TR1、TR2、以及TR3之平行執行，量測函數IOFF2僅被呼叫一次。此外，分別的參數被向量化，或被組織於一矩陣中，如於列表2之展示，以壓縮傳送輸入和輸出參數以及引數的三個實例成為一實例。於列表2中用於參數vd之列，vd被界定如數值是具有三個數值，{0.90,0.45,0.05}之一陣列的C++語言之一向量型式、雙重型式(雙重精確性浮動點)參數。

列表2：於呼叫用於TR1至TR3之量測函數IOFF2的情況中

如上所述，檢測方案執行單元410組合已利用模組名稱、量測函數名稱、以及序列標記被群集以供用於平行執行之量測函數的引數成為一可變長度陣列。檢測方案執行單元410接著產生引數作為向量化引數，並且傳送該等向量化引數作為被執行之量測函數的引數而至量測函數以及派遣函數控制單元412之一者。應注意到，圖4中之檢測方案執行單元410對於所有的複數個裝置僅呼叫一量測函數一次。

函數控制單元412使用量測函數執行單元414以依據所接收的向量化引數而執行該量測函數。於量測函數呼叫一量測資料庫函數之情況中，其可以是利用檢測器被提供的一API，函數控制單元412傳送有關的引數，其可包含一些先前接收的向量化引數。函數控制單元412接著呼 叫資料庫函數，並且轉移控制至其自有之資料庫(API)呼叫單元416。

資料庫(API)呼叫單元416接收資料庫函數呼叫以及向量化引數。資料庫(API)呼叫單元416組織該等引數成為那些適用於將被呼叫之資料庫函數。考慮中之資料庫被呼叫，並且控制被轉移至資料庫(API)控制單元418之一者。

資料庫(API)控制單元418轉移控制至資料庫(API)執行單元419，並且依據該等傳送之引數，資料庫(API)執行單元419依據圖13中之流程圖3500而操作。參看至圖13，當處理開始於步驟3502中時，資料庫(API)執行單元419檢查出於被傳送至資料庫(API)執行單元419的資料庫引數而將平行地被執行之資料庫的引數，如於步驟3504中之指示。資料庫(API)執行單元419接著檢查是否有如在步驟3506所指示之指定相同針腳數目的引數。如果檢查發現沒有具有相同針腳數目之引數，則該資料庫(API)執行單元419前進至步驟3508，其中利用引數給予至一檢測器控制單元之元素被傳送。流程圖3500之處理程序接著在步驟3510結束。

如果在步驟3506之檢查發現指定相同針腳數目之引數，則資料庫(API)執行單元419前進至步驟3512以檢查被發現的引數除了針腳數目之外是否還有其他的元素(例如，被施加的電壓以及電壓與電流限定數值)共用該相同數值。於步驟3514中，資料庫(API)執行單元419決定被 發現的引數除了針腳數目之外是否還有其他的元素是相同的。當其他元素是不相同時，資料庫(API)執行單元419前進至步驟3516以處理該等引數作為一錯誤，並且結束處理程序3500(步驟3518)。當於步驟3514中決定所發現的引數除了針腳數目之外其他的元素同樣也是相同時，資料庫(API)執行單元419前進至步驟3520而傳送對於相同針腳之複數個執行控制要求作為一單一控制執行要求至檢測器控制單元。流程圖3500之處理程序接著在步驟3522被結束。

圖14圖解地展示一實作範例，其中具有共用接墊的模組A之TEG 1000的一檢測被平行化。模組A之TEG 1000包含三個FET，TR1 1002、TR2 1004、以及TR3 1006，並且具有共用接墊，其具有三個FET的源極端點‘s’被連接到一第一接墊1008、以及三個FET的基片端點‘sub’被連接到一第六接墊1018。使用一檢測方案，其使用圖8中之量測函數IOFF以量測TR1 1002至TR3 1008，電壓施加函數(force_v)針對第一FET被呼叫以施加電壓至共用源極接墊以及共用基片接墊，並且接著該電壓施加函數(force_v)於第二FET以及第三FET之處理程序時再被呼叫兩次以施加電壓至這些共用接墊，其是多餘的。

於一實作範例中，當一量測函數(就共用接墊之處理程序而論其未被最佳化)是被使用於展示在圖13中如於圖14展示之具有共用接墊的一TEG上之處理程序時，則資料庫(API)執行單元419可檢測一引數，其呼叫重複設定相同施加電壓或一些其他參數至相同接墊之步驟。該資料 庫(API)執行單元419檢測，例如，已被傳送之相同針腳，並且執行省略多餘的處理程序之一資料庫(API)函數，因而相同處理程序僅被執行一次。因此，只要設定是相同的，對於一共用墊之多餘的處理程序可使用同步平行執行處理被最佳化。

資料庫(API)執行單元419進行圖解地展示於圖13之流程圖3500中的處理程序並且轉移控制至其之相關硬體控制韌體呼叫單元420。硬體控制韌體呼叫單元420回應至一接收的控制要求，轉換關於連續執行以及平行執行之控制要求成為對於檢測器430中之硬體控制韌體432的一呼叫，並且輸出該呼叫至檢測器430。

依據來自有關的資料庫(API)控制單元418之命令，檢測器430藉由經硬體控制韌體432之連續執行或平行執行而執行量測資源硬體434，因而進行在一個或多個DUT 440上之一所需的檢測。

可被圖3中之檢測器430所使用的資料庫(API)之引數型式接著被說明。列表3是c++程式碼，其界定可被使用於資料庫函數force_v的第二引數以施加於圖5中之電壓的一參數型式“VecDblOrDbl”。

該檢測系統是可接收引數作為向量型式雙重以及一純量型式雙重。此外，一程式可被寫成作為一習見的純量型式，其是用於圖5之第三以及第四force_v函數的第二“0.0”之情況。該檢測系統省去使用者修改一習見的量測函數(於其中一引數藉由數值而傳送)中之說明的一部份之作業，並且允許該使用者重新使用該量測函數。

藉由提供被寫成具有一序列標記行之一列表形式以指定將同步地平行被被執行的檢測方案列的一檢測方案，檢測方案之選擇部份可容易地被指定或不被指定以供藉由同步平行執行之執行。在一檢測方案程式環境中不需要重新編輯以供用於具有一列表形式之檢測方案並且因此是容易編製程式。同步平行執行的實作例以及使用同步平行執行的檢測方案之除錯成為容易。

列表4圖解地展示在上述習見的量測函數範例以及依據可量測同步平行執行之一檢測系統的一量測函數範例之間的一比較。於列表4中，第一至第四列展示引數之參數，第五至第八列展示檢測說明，並且第九至第二十七列展示量測函數之原始碼。第六、第七、以及第八列以連續的順序被執行，而第六至第八列使用可調尺度同步平行 執行同時地被執行。於該可調尺度函數之第二十四至第二十六列，一電阻R被計算以供用於具有使用展示於第六至第八列中的分別裝置之量測結果的各個裝置。第二十四列中之一函數R.size( )是用以返回有關參數R之陣列計數的一函數。

藉由指定一序列標記被進行的平行執行之單位是每一次一檢測方案的一列。這幾乎不改變檢測方案可讀性並且使其更容易了解，其等效於較少有錯誤的機會。逐列為基礎之方式也便利於包含平行化之檢測方案的自動產生，並且有助於提高生產力。

非同步平行執行

非同步平行執行允許平行執行而不需要相同的模組名稱以及量測函數。圖15是包含非同步平行執行之一 列表形式中的檢測方案輸入視窗4100。檢測方案視窗4100包含相似於圖3中方塊102之方塊102中的一模組名稱行以及一裝置名稱行。方塊106包含一量測函數行，並且方塊108包含一輸入行、一端點行、以及相似於圖3中之方塊106以及108的一輸出行。方塊3104是用以指定參考圖4被說明之同步平行執行的序列行。對於非同步平行執行的序列行方塊之使用在下面被說明。

圖15中之檢測方案視窗4100包含一非同步平行執行方塊3120，其對應至圖3之非同步平行執行方塊120。非同步平行執行方塊3120被使用以指定藉由非同步平行執行之執行以及關於非同步平行執行之資訊。非同步平行執行方塊3120包含一索引行、一流程行、一同步行，以及一極微行。

流程行之操作將參考下面列表5被說明。應注意到，在下面之列表可僅具有相關於說明的行中之數值，或可僅展示具有相關說明之行。

被展示於列表5中之檢測方案中的流程行包含一流程標記，其可被使用以指定將非同步地平行被執行的列之群集。圖2之檢測方案詮釋單元408詮釋檢測方案之所有的列並且將具有相同流程標記之列群集在一起。不具有流程標記之列可全部被群集成為一群集。

圖16圖解地展示在列表5之檢測方案的執行期間後可遵行之列的順序。首先，檢測方案第五以及第六列中且被群集在一起而無一標記的列之函數REMS，以如被指示於圖16中之方塊1602的展示順序而藉由連續執行被執行。具有流程標記之列接著利用檢測方案中之列數目被指示的順序而依據一流量標記接著流量標記方式平行地被執行。該等列平行地被執行作為用以執行具有一流程標記“流程1”之一方塊1604的一線程，以及用以執行具有一流程標記“流程2”之一方塊1606的一線程。藉由方塊1604以及1606圖解地被展示之線程的產生是圖解地展示於圖2中，如自檢測方案詮釋單元408延伸至檢測方案執行單元 410-1以及410-2之箭號所示。於一實作範例中，檢測方案詮釋單元408產生檢測方案執行單元410-1以及410-2之實例。

模組名稱行、裝置名稱行、流程行、以及端點行可保持用以指定非同步地並且同時地平行被執行的量測之數值。執行可以是依據上述之一模組接著模組、依據上述之一裝置接著裝置的方式，如於同時發生的檢測中之不同的量測檢測單元中(例如，於一數位檢測以及一類比檢測構成之分別的流程中之檢測)，可以是依據如多地點檢測中之一封裝裝置接著封裝裝置，或依據任何其他適合者。

圖解地被展示於列表5中之檢測方案的執行可導致在不同流程之間的干擾。例如，假設用於圖解地展示之目的，對於流程1之量測物件以及對於流程2之量測物件是不同型式之FET。因為流程1以及流程2完全非同步地被執行，依據分別的列之執行時間，流程2中之第二IOFF檢測可能符合於流程1之第一或第二VTH檢測。這導致來自VTH檢測之雜訊或其他效果形式的干擾。此干擾可能減弱於IOFF量測函數中被進行之小電流量測的精確度。圖15之方塊3120中的同步行可被使用於包含電位干擾情況。同步行之使用，將參考展示於列表6中之檢測方案被說明。

列表6中之檢測方案的同步行包含所選擇的行中之一同步標記。在非同步平行執行期間，即使當函數以不同的流程被執行時，具有相同同步標記之函數亦同步地平行被執行。例如，雖然列表6中之檢測方案的函數是劃分成為用於平行地執行之流程1以及流程2，如於列表7之展示，而第三列是一例外。對於第三列，流程1之量測函數IOFF(其具有一同步標記“A”)以及流程2之量測函數IOFF(其也具有同步標記“A”)彼此同步地被執行。使用同步行同步平行地被執行之複數個函數不需要是相同函數。具有相同同步標記以及同步平行地被執行之函數，僅就當該等函數於它們分別的線程中開始時而論，是彼此同步地。這些函數不使用上述之同步平行執行機構。

於列表7之檢測方案中，如果流程1之函數IOFF執行一時間長度(其是不同於對於流程2之函數IOFF執行的時間長度)，例如，當其他流程之函數VTH開始時，流程之函數IOFF之一者仍然可以是於執行之處理程序中。這可能不利地影響該IOFF量測。列表8中之檢測方案圖解地展示用以避免這情節的一機構。

於列表8之檢測方案中，具有相同之同步標記之列彼此同步地開始並且如於列表9之展示地被執行。

於列表10中之檢測方案是相似於列表8中之檢測方案，但是被修改以包含一極微行，其可被使用以得到IOFF檢測中之相似結果。

列表10之檢測方案中的極微行可包含一極微旗標以指示專用的執行。該極微旗標被展示於列表10中如一項“v”。當執行該檢測方案時，不具有一極微旗標之函數的執行被暫緩而包含該極微旗標“v”之列中的函數被執行。包含該極微旗標之列中的函數專用地被執行。當檢測方案之執行可能由於另一流程之執行而導致一干擾時，使用者可對於函數在一極微行中輸入一極微旗標。

一極微標記可對於該極微行被界定，因而藉由將具有相同極微標記以及依據一極微標記群集接著極微標記群集而執行函數的列群集在一起使在流程之間的干擾被避免。

列表12是一檢測方案，於其中除了那些非同步平行執行之外，上述之同步平行執行的優點被引介。列表12中之檢測方案組合上述之序列行與流程行。有關流程標記數值以及序列標記數值被輸入列表12中，開始於“#”之 一標記數值藉由註釋掉該標記而產生一“無標記”狀態。在執行期間，當該“#”被遇到時，隨其後之標記的執行不被執行。用於註釋掉標記的標記前置代號藉由容易地挑出被懷疑可能由於非同步平行執行操作或同步平行執行操作而導致問題存在的列而便利於除錯。標記前置代號防止註釋掉的列或函數之執行並且除錯程式決定執行如何受影響。

列表12之檢測方案被執行，如圖17中之圖解地展示。於圖17中，各函數名稱具有在其右方之一括號數字以指示有多少檢測同步平行地被執行。方塊1702中之列，其擁有函數E以及F並且不具有流程標記，首先被執行。於 流程1之方塊1704中的函數，以及於流程2之方塊1706中的函數藉由非同步平行執行被執行。於方塊1706中之函數利用連續執行被執行。於方塊1706中之函數具有一個“1”作為一平行執行檢測計數，因為關聯序列行中之函數的數值被註釋掉。

將被採用之序列標記以及流程標記可如下所述地被決定。對於複數個相同型式之裝置的平行量測，利用僅具有被指定的序列標記之同步平行執行的量測被選擇以供執行。對於複數個模組之平行量測，利用僅具有被指定的流程標記之非同步平行執行的量測被選擇以供執行。對於複數個模組中之複數個相同型式的裝置之平行量測，利用具有被指定的流程標記以及序列標記兩者之非同步平行執行以及同步平行執行的量測被選擇以供執行。對於利用連續執行之所有裝置的量測，或得到對照平行量測之結果與連續執行量測之結果的一比較，不指定流程標記也不指定序列標記任一者之連續執行被選擇。

當序列標記或流程標記被註釋掉時，在同步平行執行以及非同步平行執行之間的一選擇可如下所述地被得到。對於最有效的量測，能夠引動非同步平行執行以及同步平行執行之量測被進行。例如，在由於同步平行執行之干擾被懷疑可能存在的問題的情況中，能夠引動非同步平行執行之量測單獨地被進行。例如，在由於非同步平行執行之干擾被懷疑可能存在的問題之情況中，能夠引動同步平行執行之量測單獨地被進行。例如，當由於非同步平 行執行以及同步平行執行之干擾的問題被懷疑可能存在時，或用以藉由連續執行而得到的量測資料作為比較資料，或當高品質量測資料被要求時，使非同步平行執行以及同步平行執行失能之量測被進行。

一索引行可被添加至檢測方案以藉由在非同步平行執行之除錯期間辨認問題而方便於除錯。一索引行之使用將參考列表13被說明。

列表13是使用流程行以及同步行之一檢測方案。圖18是圖解地說明被展示於列表13中之檢測方案操作範例的圖形。圖18展示方塊1802之流程1以及方塊1804之流程2首先非同步平行地被執行。隨後，方塊1806之流程1、方塊1808之流程2、以及方塊1810之流程3非同步平行地被執行。

如果同步標記自列表13的第五、第七以及第九列之一者被刪除以便辨認一問題時，圖18之方塊1806至1810的結構被遺失，其使得不易於除去列表13之檢測方案的錯誤。為了避免來自流程行之互相關係的影響，同步行、以及極微行、一索引行(其是對於這三行之一主持行)被提供以移除同步行。索引行被添加至檢測方案，如於列表14之展示。

如於列表14中被組態之索引行迫使圖18中之方塊1802以及1804首先利用非同步平行執行執行，接著利用方塊1806至1810之非同步平行執行而執行。上述於列表13中之同步標記的移除問題將不發生。一般情況下，索引行可被使用以指定分別的流程中之非同步平行地被執行的函 數群集順序。索引行也可被視為指示列表中之列的相對優先序之一方式。

關於上述之非同步平行執行的一檢測方案中之行可被使用以檢測非同步平行執行中之一停頓。一停頓可能發生，例如，當一檢測方案被規劃時，因而，第一平行處理之一線程等待著，直至第二平行處理之一線程結束時方開始，第二平行處理之另一線程並不開始，除非第一平行處理之另一線程結束。於一實作範例中，半導體參數檢測系統可被組態以發出關於一檢測方案將在檢測方案被執行之前預期遭受一停頓的一警告。半導體參數檢測系統可讀取檢測方案之所有列以及執行一停頓檢測方法，其之一範例是利用圖2之檢測方案詮釋單元408而圖解地被展示於圖19中。

檢測方案詮釋單元408讀取一檢測方案的所有列，詮釋同步標記如何被指定至分別的流程，並且利用分析而決定被指定的同步標記，如於列表15之展示。

檢測方案詮釋單元408接著依據圖19中之流程圖而執行一停頓檢測程式3900。檢測方案詮釋單元408開始於步驟3902之程式，並且在步驟3904依出現順序而放置分別流程之同步標記進入一FIFO緩衝器(此後被稱為FIFO)中。因而，列表15之一部份(其同步標記是虛無(null))自FIFO之內容被省略，並且同步數值被累積於該FIFO中，如於列表16之展示。該FIFO被提供於圖1之記憶體346中。

於步驟3906中，檢測方案詮釋單元408對於各同步標記，計算所有整個FIFO之出現頻率，並且儲存該出現頻率。例如，一同步標記“2”具有一出現頻率3。於步驟3908中，檢測方案詮釋單元408在FIFO中之分別流程的前頭項目中得到最高出現頻率。於列表16之情況中，一同步標記“1”具有最高出現頻率4。於步驟3910中，於步驟3908中被得到的最高同步標記出現頻率被比較於已在步驟3906中被得到之對應的同步標記之出現頻率。如果該等二者匹配，同步標記之項目(於這範例中，列表16第一列中的“流程1同步”至“流程4同步”的四個“1”)自FIFO之前頭列被刪除。如果FIFO中那些分別的流程上面之項目包含空白項目並且那些流程下面之項目包含非空白項目，則該等非空白項目被向上移位。步驟3912決定一項目是否已於步驟3910中自FIFO之前頭列被刪除。當步驟3912決定“是”時，則一項目已被刪除，檢測方案詮釋單元408返回至步驟3908。當答案是“否”時，步驟3912前進至步驟3914。步驟3914決定一非空白項目是否保持於該FIFO中。當對於步驟3914之 答案為“是”時，則檢測方案詮釋單元408前進至步驟3916，而且當答案是“否”時至步驟3918。於步驟3916中，檢測方案詮釋單元408決定一停頓不發生於目前檢測方案中，並且前進至步驟3920以結束這程式。於步驟3918中，檢測方案詮釋單元408決定一停頓是將發生在目前檢測方案中，顯示一警告或“錯誤”，並且前進至步驟3920以結束這程式。

於非同步平行執行中，檢測方案執行單元410被產生於圖2之檢測方案控制單元406中，其是可關聯利用非同步平行執行被執行之分別的線程而平行執行。方塊因此被執行以控制檢測器430。圖解地展示於圖15中之行被提供作為用於非同步平行執行之行。該非同步平行執行也可如上所述地與同步平行執行組合。該非同步平行執行可被使用以指定平行執行以及重疊平行量測、在平行以及串列之間的切換、避免量測中之干擾、進行明確的平行執行順序控制、並且在平行執行之前先檢測一停頓。

派遣操作控制

圖20展示用於派遣操作控制之一檢測方案輸入視窗5100，其是使用可進行平行檢測之一列表形式檢測方案。圖20中之檢測方案輸入視窗5100包含方塊102中之一模組名稱行以及一裝置名稱行，方塊106中之一功能行，以及方塊108中之一輸入行、一端點行、以及一輸出行。檢測方案輸入視窗5100包含方塊5102，其對應至上述關於圖3之派遣函數操作方塊124。方塊5102包含一派遣標記行 5202，一派遣器行5204，並且方塊5206包含一派遣器輸入行、一派遣器端點行、以及一派遣器輸出行。方塊5102進一步包含一派遣器標記2行5302，一派遣器2行5304，並且一方塊5306包含一派遣器輸入2行、一派遣器端點2行、以及一派遣器輸出2行。方塊5206中之派遣標記行5202、派遣器行5204、以及該派遣器輸入行、派遣器端點行、以及派遣器輸出行被使用以指定關於一第一派遣函數之資訊。方塊5306中之派遣器標記2行5302、派遣器2行5304、以及派遣器輸入2行、派遣器端點2行、以及派遣器輸出2行被使用以指定關於一第二派遣函數之資訊。對於有關第二派遣函數之資訊的行是可選擇，並且如果不是用以進行派遣控制所需者則可被省略。

關於第一派遣函數之資訊可藉由輸入該資訊於該等有關的行中而被指定以供用於一檢測方案。一派遣標記可被輸入該派遣標記行5202中。該派遣標記可如數字、文字或其之組合地被輸入。如果一列包含一虛無(null)作為一派遣標記數值，該列被詮釋如進行其自我之派遣操作的一列。不具有虛無(null)作為一派遣標記之列，以及具有一派遣標記之列通常被群集在一起，並且被詮釋如代碼，於其中許多情況分析派遣操作以一整合方式被輸入。

一派遣函數名稱可被輸入派遣器行5204中。方塊5206中之派遣器輸入行被使用於輸入一輸入參數。方塊5206中之派遣器端點行被使用於輸入端點資訊。方塊5206中之派遣器輸出行被使用於輸入關於一輸出參數之資訊。

藉由輸入派遣標記2行5302、派遣器2行5304中、以及方塊5306中之該等行的資訊，關於第二派遣函數之資訊可被指定以供用於一檢測方案。這些行5302-5304以及方塊5306中之該等行是相似於行5202-5204以及方塊5206中的該等行中之行，並且可被使用於如對於第一派遣函數所說明的資訊項目。

圖22是一檢測方案之範例，其包含關於圖20所說明的條件處理程序以及重覆處理程序。圖解地被展示於圖22中之範例使用第一派遣函數。圖22展示一檢測方案輸入視窗6100，其包括相似於圖20以及21中的那些方塊。這些方塊藉由如被使用於圖20以及21中的那些相同參考號碼被辨認。

列表17展示一原始碼範例以供用於被展示於圖22中之一派遣函數For_Loop6110。

該For_Loop函數6110重複地執行一函數執行(0)，次數之數目利用一引數‘迴路(Loop)’被指示，其被包 含於在6112中被界定的輸入參數中。被展示在6112之特定範例是10次。執行函數利用一派遣函數資料庫(API)被提供以執行第二派遣函數。該執行函數被呼叫等於或大於0之一括號內整數值作為一索引值。該執行函數也可執行一列中之一量測函數，其藉由自一檢測方案列(其是正藉由利用該索引被指示的列數目被執行)向下移動而被達到。於圖解地展示之範例中，函數執行(0)依據IOFF2函數6114之該等輸入以及輸出參數6116而執行相同列之一IOFF2函數6114。將被執行之函數利用圖2之檢測方案執行單元410被決定。

列表18包含供用於一派遣函數If_Branch 6120之一原始碼範例，其是一條件分支處理程序範例。

函數，IF_Branch6120，在檢測方案之第三至第五列中共用相同的派遣標記“D1”。該If_Branch函數6120以 一群集處理這三列。當被傳送作為一輸入參數6122之“滲漏(leak)”的數值是大於參數n的2倍時，被輸入第三列中的一量測函數VTH 6124依據量測函數VTH2 6124之輸入以及輸出參數6126被執行。當“滲漏”之數值是大於參數n並且是等於或小於參數n的2倍時，第四列之一函數LET 6130依據輸入以及輸出參數6132被執行。當“滲漏”之數值是等於或小於參數n時，第五列之一函數LET依據輸入以及輸出參數6134被執行。

派遣函數控制允許一使用者藉由僅有一列以供用於重覆處理程序以及僅有三列以供用於包含三個分支之分支處理程序而組態一檢測方案。此外，對應至條件分支處理程序以及重覆處理程序的檢測方案之部份使用派遣函數之編譯的程式碼被執行而導致程式碼更快的執行。

於另一實作範例中，該派遣函數也可被使用以減低涉及大量的量測之檢測方案長度，如於列表19之展示。

用於一陣列TEG之一檢測方案也可藉由使用一派遣函數(Arry_ctl)被寫成如列表20中之展示，該派遣函數(Arry_ctl)控制陣列裝置之定址，如列表21之展示。該派遣函數可被使用以減低涉及固定地以及頻繁地執行以及分類如例行處理程序之相似處理程序的檢測方案尺度。

一簡單適應式檢測之實作範例可使用被組態以使用派遣操作控制之一檢測方案被進行。一適應式檢測可藉由輸入，例如，一函數取樣(其被表列於列表23中)以利用一檢測方案被實作而不減弱檢測方案之可讀性。該函數取樣被使用於減低派遣器行中之檢測，如於列表22之展示。該函數取樣是一函數，其藉由移動一將被檢測的晶粒至一特定的位置以依據一標記“按鍵”而呼叫一量測函數，該標記“按鍵”被輸入派遣器輸入行中。這函數允許僅對於檢測在一晶圓上替代檢測的所有晶粒之緊要晶粒的一選擇。

圖23圖解地展示用於一實作例之一檢測方案，於其中列表21之派遣函數的引數被延伸成為參看圖5被說明之可變長度陣列引數，以便得到被表列在列表24中之一Arry_Ctl2函數。一函數addr.size( )是用以返回有關參數addr之陣列計數的一函數。

圖23圖解地展示藉由寫入“D1”作為呼叫Arry_Ctl2之每一列中的派遣器標記而轉變引數成為可變長度陣列引數，因而這些列立刻被執行。列表23之適應式檢測函數被添加至圖23的檢測方案以產生一檢測方案6200，如於圖24A以及24B之展示。圖24A以及24B中之檢測方案6200進行二個階段之派遣操作控制。首先，一取樣函數在陣列控制藉由Arry_Ctl2函數之使用被進行之後執行一量測函數。檢測方案6200包含對應至上述參看圖20之方塊的方 塊。

參看至圖2，派遣操作控制可如下所述地被執行。檢測方案詮釋單元408讀取檢測方案404之所有的列。如果第一派遣函數之一規格項目被檢測，列利用派遣標記被群集並且以藉由該群集之結果被決定的一方式而被執行。執行經由相關的檢測方案執行單元410-1利用派遣函數資料庫(API)呼叫單元417-1被進行，並且進一步地經由量測函數以及可平行執行派遣函數之派遣函數控制單元412-1而被進行。處理程序返回至檢測方案執行單元410-1，以便參考關於第二派遣函數之規格項目，或關於一量測函數之一說明。處理依據關於第二派遣函數之規格項目，或關於一量測函數之說明被執行。

如上所述之非同步平行執行、同步平行執行以及派遣操作控制可於任何檢測方案中自由地被組合。

上面所述在非同步平行執行的說明使用藉由共用一記憶體空間之多線程的實作例。另外地，非同步平行執行可藉由多處理程序，或多作業方式被實作。於此等實作例中，即使當一流程於一使用者碼出問題時，另一流程是於另一處理程序中操作並且可因此檢測其他處理程序中之一異常。這使得該檢測系統能夠在執行安全的後處理之後結束所有的處理步驟。

應注意到，上述檢測方案範例中之行圖解地被展示於列表形式檢測方案上之某些位置中。該等行是不受限定於圖解地展示之它們分別的列表中之位置。該等行可 被安置在列表上之任何適合的位置。行可如對於特定實作例之所需而被添加或被減去。

一多階段檢測方案也可被組態，於其中派遣操作控制被延伸至三個階段或更多。例如，圖24A以及24B之二個階段的檢測方案可藉由操縱重覆之程式流程控制的另一派遣函數之使用而被延伸成為一個三階段之檢測方案。具有更多階段之一多階段檢測方案也可藉由使用處理各種型式之程式流程控制的派遣函數而被產生。

上述之半導體參數檢測系統可被擴展至一半導體檢測系統。

將了解，本發明之各種論點或細節可被改變而不脫離本發明之範疇。更進一步地，前面之說明僅是作為圖解展示之目的，並且不是作為限制申請專利範圍所界定之本發明的目的。

100‧‧‧檢測方案輸入視窗

102‧‧‧第一行方塊

106‧‧‧量測函數行

108‧‧‧第二行方塊

120‧‧‧非同步平行執行方塊

122‧‧‧同步平行執行方塊

124‧‧‧派遣函數操作方塊

Claims (20)

1. 一種半導體檢測系統，其包括：複數個檢測頭針腳；複數個每一針腳資源，其基於一種一對一方式而可連接至該等複數個檢測頭針腳；複數個共用資源，其之各者是可連接至該等複數個檢測頭針腳之一者；以及一檢測器控制器，其用以控制該等複數個每一針腳資源以及該等複數個共用資源，該檢測器控制器被組態以依據一使用者產生的列表形式檢測方案而執行機器可執行指令，該列表形式檢測方案包括：複數個程式列，各列界定一檢測方案步驟；界定用以進行該檢測方案步驟之資訊的複數個行，其中該等複數個行包含：一量測函數行，其用以指定使用該等複數個每一針腳資源以及該等複數個共用資源之至少一者的一量測函數；至少一輸入以及輸出行，其用以指定該量測函數之輸入以及輸出參數；以及一非同步平行群集行，其用以指定利用非同步平行執行而被執行的列是如何被群集，其中依據該非同步平行群集行中之項目而彼此不同之程式列群集被執行，以便同時地開始非同 步平行執行。
2. 依據請求項1之半導體檢測系統，其中該檢測器控制器被組態以依據被寫入於該非同步平行群集行中者而辨認將同時地開始非同步平行執行之列群集。
3. 依據請求項1之半導體檢測系統，其中該列表形式檢測方案進一步包括用以指定一同步執行識別符之一同步執行之行，該同步執行識別符指定列將在利用非同步平行執行而被執行的該等列群集之間彼此同步被執行之識別符。
4. 依據請求項1之半導體檢測系統，其中該列表形式檢測方案進一步包括用以指定一旗標之一專用執行行，該旗標指示在利用非同步平行執行被執行的該等列中將專用地被執行之列，以便防止其他列在如該等指定列之相同時間被執行。
5. 依據請求項1之半導體檢測系統，其中該列表形式檢測方案進一步包括一優先序行，該優先序行用以指定比該非同步平行群集行中之群集具有一較高優先序之一群集。
6. 依據請求項1之半導體檢測系統，其中被輸入該非同步平行群集行中之一預定前置代號，簡單地以及容易地使該非同步平行群集行中之項目無效。
7. 依據請求項1之半導體檢測系統，其中該列表形式檢測方案進一步包括一同步群集行，該同步群集行用以指定利用同步平行執行被執行的列是將如何被群集，並且如 被寫入該同步群集行中被群集的複數個群集之各者包括具有將利用該同步平行執行被執行的相同量測函數之列。
8. 依據請求項7之半導體檢測系統，其中被輸入該同步群集中之一預定前置代號行簡單地以及容易地使該同步群集行中之該等項目無效。
9. 依據請求項7之半導體檢測系統，其中該列表形式檢測方案進一步包括用以指定一第一派遣函數之一第一派遣行，該第一派遣函數進行有關被輸入該量測函數行中之該量測函數的程式流程控制，以及至少一輸入/輸出行，其用以指定該第一派遣函數之輸入以及輸出參數。
10. 依據請求項1之半導體檢測系統，其中該列表形式檢測方案進一步包括用以指定一第一派遣函數之一第一派遣行，該第一派遣函數進行有關該量測函數行之該量測函數的程式流程控制，以及至少一輸入/輸出行，其用以指定該第一派遣函數之輸入以及輸出參數。
11. 依據請求項10之半導體檢測系統，其中該列表形式檢測方案進一步包括用以指定一第二派遣函數之一第二派遣行，該第二派遣函數進一步地進行有關該第一派遣函數之程式流程控制，以及至少一輸入/輸出行，其用以指定該第二派遣函數之輸入以及輸出參數。
12. 一種半導體檢測系統，其包括：複數個檢測頭針腳；複數個每一針腳資源，其基於一種一對一方式而可 連接至該等複數個檢測頭針腳；複數個共用資源，其之各者是可連接至該等複數個檢測頭針腳之一者；一檢測器控制器，其用以控制該等複數個每一針腳資源以及該等複數個共用資源，該檢測器控制器被組態以依據一使用者產生的列表形式檢測方案而執行機器可執行指令，該列表形式檢測方案包括：複數個程式列，各列界定一檢測方案步驟；界定用以進行該檢測方案步驟之資訊的複數個行，其中該等複數個行包含：一量測函數行，其用以指定使用該等複數個每一針腳資源以及該等複數個共用資源之至少一者的一量測函數；至少一輸入以及輸出行，其用以指定該量測函數之輸入以及輸出參數；以及一同步平行群集行，其用以指定利用同步平行執行而被執行的列是如何被群集，其中如被指定於該同步平行群集行中而被群集的複數個群集之各者僅包括具有將利用同步平行執行而被執行之相同量測函數的列。
13. 依據請求項12之半導體檢測系統，其中該列表形式檢測方案之該量測函數行中的項目使用具有被提供作為該等至少一輸入以及輸出行中之項目的一可變長度陣列參數之引數。
14. 依據請求項12之半導體檢測系統，其中，當執行該列表形式檢測方案時，該檢測器控制器檢查用以指定相同檢測頭針腳數目之控制要求以執行重複控制要求如一單一控制要求。
15. 依據請求項12之半導體檢測系統，其中該列表形式檢測方案進一步包括用以指定一第一派遣函數之一第一派遣行，該第一派遣函數被組態以進行有關該量測函數行之該量測函數的程式流程控制，以及至少一輸入/輸出行，其用以指定該第一派遣函數之輸入以及輸出參數。
16. 依據請求項15之半導體檢測系統，其中該列表形式檢測方案進一步包括用以指定一第二派遣函數之一優先序行，該第二派遣函數進行有關該第一派遣函數之程式流程控制，以及至少一輸入/輸出行，其用以指定該第二派遣函數之輸入以及輸出參數。
17. 一種半導體檢測系統，其包括：複數個檢測頭針腳；複數個每一針腳資源，其基於一種一對一方式而可連接至該等複數個檢測頭針腳；複數個共用資源，其之各者是可連接至該等複數個檢測頭針腳之一者；一檢測器控制器，其用以控制該等複數個每一針腳資源以及該等複數個共用資源，該檢測器控制器被組態以依據一使用者產生的列表形式檢測方案而執行機器可執行指令，該列表形式檢測方案包括： 複數個程式列，各列界定一檢測方案步驟；界定用以進行該檢測方案步驟之資訊的複數個行，其中該等複數個行包含：一量測函數行，其用以指定使用該等複數個每一針腳資源以及該等複數個共用資源之至少一者的一量測函數；至少一輸入以及輸出行，其用以指定該量測函數之輸入以及輸出參數；以及一第一派遣行，其被組態以進行有關第一行之量測函數的程式流程控制，以及至少一派遣輸入/輸出參數行，其用以指定該第一派遣函數之輸入以及輸出參數。
18. 依據請求項17之半導體檢測系統，其中該第一派遣函數行包含辨認對應至條件分支處理程序、重覆處理程序、以及例行處理程序之任一者。
19. 依據請求項17之半導體檢測系統，其中該列表形式檢測方案進一步包括用以指定一第二派遣函數之一第二派遣行，該第二派遣函數被組態以進行有關該第一派遣函數之程式流程控制，以及至少一第二派遣輸入/輸出行，其用以指定該第二派遣函數之輸入以及輸出參數。
20. 依據請求項19之半導體檢測系統，其中該第一派遣函數包括用以進行關於陣列裝置之定址的例行處理程序之一函數，並且該第二派遣函數包含用以進行例行處理程序以減少檢測之一函數。