TWI489517B - 表面處理裝置及方法 - Google Patents

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Description

表面處理裝置及方法
本說明書係關於一種透過電漿以進行表面處理的裝置與方法。
電漿是一具有高能量電子、自由基、帶正負電荷之離子與中性的氣體分子所組成之氣體。其中因帶有等量的正負電荷離子，故電漿整體而言係維持電中性。電漿主要生成的原因，是一般大氣中存在著些許的游離電子，受到外部高電場的驅動之下開始獲得能量而被加速。被加速的高能量電子與周遭的氣體分子不停的產生碰撞，碰撞期間中性氣體分子會被激發或解離生成帶有高能量與高反應性的自由基與離子，電漿於焉產生。利用帶有高能量高反應性的電漿進行化學反應與材料製程時，其操作環境無須與一般化學反應製程方法相同，必須在高溫高壓的環境中進行。又因大多數利用電漿技術的化學反應，係於氣相中操作，是故比起許多濕式化學反應來的簡單快速。
利用電漿進行表面處理為電漿常見的應用之一。所謂表面處理，係指改變某一材料表面之物理、化學及/或機械性質的過程。舉例來說，當欲針對管材之內壁進行表面處理(如塗佈)時，若透過液相塗佈製程進行，將會因液體之表面張力與管材內部之阻力，而使處理與塗佈較為困難，且對於塗佈層之厚度亦難控制。惟若改以電漿等氣相處理製程進行，雖稍 微改善了液相塗佈製程之缺點，但在電漿製程中，對於在細長及/或彎曲可撓之管材中產生電漿，並進行管材內壁之處理，仍有其困難度。
職是之故，申請人鑑於上述等習知技術中所產生之缺失，乃經悉心設計與研究，並一本鍥而不捨之精神，終構思出本案「表面處理裝置及方法」，以下為本案之簡要說明。
本發明之目的係為提供一種透過電漿以進行表面處理的裝置與方法。
為達上述目的，本案提供一種表面處理方法，包含下列步驟：提供一可撓中空物，該可撓中空物具有一中空部及一內壁，且該內壁位於該中空部之一外側；提供一可撓電極；將該可撓電極置於該中空部；以及透過該可撓電極產生一電漿，以對該內壁進行一表面處理。
為達上述目的，本案提供一種表面處理方法，包含下列步驟：提供一彎曲中空物，該彎曲中空物具有一彎曲中空部及位於該彎曲中空部周圍之一內壁；提供一可撓電極；將該可撓電極沿該彎曲中空部伸入該彎曲中空物；以及透過該可撓電極產生一電漿，以對該內壁進行一表面處理。
為達上述目的，本案提供一種表面處理方法，包含下列步驟：提供一中空物，該中空物具有一中空部、一開口及一內壁，其中該開口與該中空部連接，該內壁則位於該中空部之周圍；提供一可撓電極；將該可撓電極自該開口伸入該中空部，其中該可撓電極於該中空部內彎曲；以及透過該可撓電極產生一電漿，以對該內壁進行一表面處理。
為達上述目的，本案提供一種表面處理方法，包含下列步驟：提供一待處理物，該待處理物具有一外壁；提供一可撓電極；透過該 可撓電極產生一電漿，以對該外壁進行一表面處理。
為達上述目的，本案提供一種表面處理方法，包含下列步驟：提供一中空物，該中空物具有一中空部及一內壁，其中該內壁則位於該中空部之周圍；提供一電極；將該電極伸入該中空部；以及透過該電極產生一電漿，以對該內壁進行一表面處理，其中，該中空部具有一最小寬度及一工作長度，其中當該最小寬度不小於0.05公釐並小於0.5公釐時，該工作長度不大於3公尺，而當該最小寬度不小於0.5公釐時，該工作長度大於60公分且不大於3公尺。
為達上述目的，本案提供一種表面處理裝置，包含：一電極，用以於一中空物之一中空部中產生一電漿，其中該中空部具有一最小寬度及一工作長度，當該最小寬度不小於0.05公釐並小於0.5公釐時，該工作長度不大於3公尺，而當該最小寬度不小於0.5公釐時，該工作長度大於60公分且不大於3公尺，且當該電極於該中空部內時，該電極產生該電漿以對該中空物進行一表面處理。
其中，該表面處理係指改變該內壁表面之物理、化學及/或機械性質者。
為了易於說明，本發明可藉由下述實例以更加瞭解之。
10、20、40、50、183‧‧‧電極
101‧‧‧電漿
11‧‧‧輔助裝置
12‧‧‧氣體流道
13‧‧‧先驅物槽
14‧‧‧氣體槽
15、16、17、18、41‧‧‧管材
161、171、1811、1812、4121、4123‧‧‧中空部
162、172、1821、1822、4122、4124‧‧‧內壁
21‧‧‧中空管
411‧‧‧開口
51‧‧‧待處理物
511‧‧‧外壁
512‧‧‧縫隙
A、A’、B、B’、C、C’‧‧‧點
第一A圖為本說明書的一表面處理裝置實施例示意圖、第一B及一C圖為進行中空部內壁之表面處理之中空管材的橫切面圖、第一D圖則為進行中空部內壁之表面處理之中空管材的縱切面圖。
第二圖係本說明書的彎曲可撓中空管之表面處理之一實施例。
第三圖為第二圖實施例的FTIR分析光譜。
第四圖為本說明書的另一實施例。
第五圖為本說明書的另一實施例。
本案的裝置與方法將可由以下的實例說明而得到充分瞭解，並使得熟習本技藝之人士可以據以完成。然本案之實施型態並不以下列實例為限。
請參閱第一A圖，其為本案之表面處理裝置之一實施例。在第一A圖中，表面處理裝置具有一電極10、一輔助裝置11、一管道12、一先驅物槽13及一氣體槽14，其中管道12與先驅物槽13及氣體槽14相通。此實施例中，電極10係以兩股包覆絕緣材料之金屬導線相互纏繞製備而成一可撓電極組，其中一股作為高壓電極端，另一股則作為接地電極端。進行電漿表面處理時，電極10伸入藉由輔助裝置11所支持的中空管材15中，管材15具有一中空部，該中空部則與管道12相通，藉以於管材15中通入分別來自先驅物槽13及氣體槽14中之先驅物氣體及載流氣體。
在一具體實施例中，將電極10以兩股70微米之漆包線相互纏繞製備而成後，再將電極10伸入最小內直徑為0.26公釐之中空玻璃管的中空部中，接著在對其施以1 kHz、900 Vpp交流電壓、並於該中空部通以50 sccm氬氣的條件下，可以於該中空部中點燃穩定之電漿101。因此，透過於該中空玻璃管中生成的電漿，再輔以適當之載流氣體及/或先驅物氣體，確實可以對位於該中空部周圍/外側的內壁進行如薄膜沉積等表面處理。
事實上，若適當調整電極10之直徑及/或長度，則此具體實施例尚可應用在於中空部的內直徑及長度不一的中空管材中生成電漿，以藉由該電漿對該中空管材之中空部的內壁進行表面處理。其中，當中空部的內直徑不小於0.05公釐並小於0.5公釐時
具體而言，當中空部的內直徑不小於0.05公釐並小於0.5公釐時，該中空部的長度不大於3公尺，而當中空部的內直徑不小於0.5公釐時，該中空部的長度大於60公分且不大於3公尺。其中，電極10可稍長於該中空部長度，惟當亦可視所進行的表面處理製程之所需而調整。
在另一具體實施例中，電極10可僅位於該中空管材之中空部全長的一部分中，並生成電漿以對該部份中空部的內壁進行表面處理。舉例而言，藉由多次進行此種部份表面處理之製程，該中空管材之中空部內壁將可同時具有類型及/或程度各異的表面處理。
請參閱第一B及一C圖，其為可利用上述實施例進行中空部內壁之表面處理之中空管材的橫切面圖。
在第一B圖中，管材16具有圓柱型中空部161(故其橫切面為圓形)及環繞於中空部161的內壁162。其中，中空部161具有一點A至點A’長度的內直徑，此A-A’內直徑長度即落於上述實施例中所描述之內直徑範圍。
在第一C圖中，管材17具有不規則狀之中空部171及環繞於中空部171的內壁172。其中，由於中空部171非為圓形，故中空部171並沒有單一內直徑。因此，若本發明使用於中空部非圓(柱)型狀時，上述實施例中所描述之內直徑範圍則改以中空部之最小寬度範圍定義。亦即，當中空部的最小寬度不小於0.05公釐並小於0.5公釐時，該中空部的長度不大於3公尺，而當中空部的最小寬度不小於0.5公釐時，該中空部的長度大於60公分且不大於3公尺。具體而言，在第一C圖中，管材17之中空部171具有一點B至點B’長度的最小寬度，此B-B’最小寬度即落於上述實施例中所描述之最小寬度範圍。也就是說，當管材具有一相同直徑之圓柱型中空部時，該中空部之內直徑即為最小寬度。
請續參閱第一D圖，其為可利用上述實施例進行中空部內壁之表面處理之中空管材的縱切面圖。在第一D圖中，管材18具有第一中空部1811及第二中空部1812，其中第二中空部1812之內直徑/最小寬度小於第一中空部1811者，且第二中空部1812之內直徑/最小寬度已過小，而不適以電極183對其內壁1822進行表面處理時，上述實施例中所描述之長度範圍則改以中空部之工作長度範圍定義。亦即，當中空部的最小寬度不小於0.05公釐並小於0.5公釐時，該中空部的工作長度不大於3公尺，而當中空部的最小寬度不小於0.5公釐時，該中空部的工作長度大於60公分且不大於3公尺。
以第一D圖來說，電極183得依上述實施例，對第一中空部1811之內壁1821進行表面處理，故第一中空部1811點C至點C’之長度，即為工作長度。
在另一具體實施例中，電極10及輔助裝置11至少其中之一可與一活動裝置連接，藉以移動電極10及/或輔助裝置11，以使電極10得以準確且快速地進出由輔助裝置11所支持的中空管材，並對該中空管材之中空部的內壁進行電漿表面處理。此外，電極10及/或輔助裝置11亦可分別以複數個型態配置，且亦得分別連接活動裝置，以同時對複數中空管材之中空部的內壁進行自動批次電漿表面處理。
再者，於第一A圖之表面處理裝置中，先驅物槽13及氣體槽14中係配置於輔助裝置11之同一側，亦即先驅物氣體及載流氣體將以電極10之反向通入管材15之中空部。惟先驅物槽13及氣體槽14中亦可同時配置於電極10側、或任意分別配置於電極10側及輔助裝置11側，且亦均與管材15之中空部相通，以配合表面處理製程所需，控制先驅物氣體及載流氣體通入管材15之中空部的方向。
請參閱第二圖，其係本案於彎曲可撓中空管中進行表面處理 之另一實施例。在第二圖中，電極20沿著彎曲之可撓矽膠中空管21伸入其中空部中。電極20係以兩股直徑為150微米(介電層厚度均為10微米)的漆包線交互纏繞製備而成，中空管21的外直徑為3公釐，中空部內直徑為1公釐，長度則為20公分。在電極20妥置於彎曲中空管21後，利用流速為50 sccm的氬氣作為載氣氣體，將高分子先驅物正丙胺(propylamine、化學式為C3 H9 N)以蒸氣態送入中空管21中，接著對電極20通以1.2 kV、10 kHz之交流電壓，以透過電極20於中空管21中產生電漿，再藉由此電漿以對中空管21之中空部內壁進行正丙胺薄膜沉積。
其中，正丙胺之物理性質如下：分子量59.11，熔點-83℃，沸點48℃，密度0.719 g/cm3 (於25℃)，蒸氣壓33.06kPa(於20℃)，在常溫下為液態並能溶於水。
請續參閱第三圖，其為第二圖實施例以傅立葉轉換紅外線光譜儀(Fourier Transform Infrared Spectroscopy,FTIR)分析之光譜，其中虛線為未經處理之矽膠管之光譜，實線則為經電漿鍍膜處理之矽膠管表面之光譜。詳言之，中空管21之中空部內壁在經正丙胺電漿薄膜沉積後，利用FTIR對該沉積薄膜進行檢測，即得第三圖所示之光譜。於第三圖所示之光譜上，可以明顯觀察到NHx 官能基的波峰，顯示第二圖之實施例確實可以在如中空管21之細長且彎曲的可撓中空管中，藉由電漿於中空管之中空部內壁進行含胺基的鍍膜製程。
在另一實施例中，電極20可在外直徑為3公釐、中空部內直徑為1公釐、長度為1公尺的彎曲可撓矽膠中空管中產生電漿，並在通以氬氣及烯丙胺(allylamine、C3 H5 NH2 、分子量57.09、熔點-88℃、沸點53℃、密度0.7630 g/cm3 、蒸氣壓28.18 kPa、在常溫下為液態並易溶於水)的條件下，於該中空管之中空部內壁，進行含胺基的電漿薄膜沉積。
其中，如上述之胺基高分子薄膜材料，其具有相當廣泛的應用範圍/目的，諸如有機導電薄膜、廢水處理、奈米碳管與微球體之官能基化、增加生醫材料之生物相容性、微流體與感測器技術等。具體來說，由於聚烯丙胺中含有胺基此一親水性官能基，因此，聚烯丙胺薄膜可透過上述實施例沉積於特定之管材上，以使此管材得以成為要對於蛋白質與代謝物做滲透並固定細胞時的基材。
請參閱第四圖，其為本說明書的另一實施例。在第四圖中，電極40為一可撓電極，其係經由中空管材41上之一開口411進入管材41之一中空部4121，並因於管材41、開口411及中空部4121之相對位置，在中空部4121內彎曲並延伸如圖中所示。接著，電極40便可如上述各實施例之說明所述，於中空部4121中產生電漿，並對中空部4121周圍/外側之內壁4122進行表面處理。而透過第四圖的實施例可知，藉由中空管材上適當位置之開口，本實施例亦可對中空管材之中空部，進行部份或特定位置之內壁的表面處理。詳言之，藉由重複本實施例的上述步驟，再配合適當的載流氣體及/先驅物氣體，即可對分別對中空部4121之內壁4122及中空部4123之內壁4124，進行不同的表面處理製程。
請參閱第五圖，其為本說明書的另一實施例。在第五圖中，電極50為一可撓電極，並可藉由其可撓之特性，沿著彎曲之待處理物51的外側配置。接著，電極50在施以適當電壓、以及配合適當之載流氣體及/或先驅物氣體的條件下，即可因之產生電漿，並藉以對待處理物51之一外壁511進行表面處理。
此外，在第五圖的實施例中，電極50亦可如上述實施例般製備成一細長狀，並藉由此細長特性，伸入彎曲待處理物51外側之細小縫隙 512中。接著，電極50在施以適當電壓、以及配合適當之載流氣體及/或先驅物氣體的條件下，便可因而產生電漿，並藉以對待處理物51外側縫隙512部之外壁進行表面處理。
而透過第五圖的上述實施例可知，本說明書亦提供了一種利用電極可撓及/或細長之特性，確可對彎曲之待處理物的彎曲外壁或細小縫隙外壁，進行局部或全面地電漿表面處理製程。
在上述實施例中，電極為一可撓電極，可以兩股包覆絕緣材料之金屬導線(如漆包線)相互纏繞製備而成(即以兩電極製備成一細長電極組，而所述電漿即透過此電極組點燃並穩定存在)。惟上述電極亦可以它種材料/配置製備，例如以一細長基材，於該基材兩面配置導電材料作為電極使用。
透過上述電極，本說明書實施例可以介電質放電型電漿進行中空管材內壁之表面處理。一般產生介電質電漿之電極，其之介電層厚度均在0.5公釐以上，再加上二電極之間隙亦在0.5公釐以上，因此通常需5 kV(rms voltage，均方根電壓)以上之交流電壓方能維持穩定之電漿。惟上述電極可以二股細長且外包覆絕緣層之導線組成，而由於絕緣層薄，且二電極之距離十分接近(小於0.5公釐)，因此僅需300 V之電壓即可產生穩定電漿。此外，由於介電質電漿能產生大區域均勻放電之特性，因此能於中空管材內產生均勻之電漿。亦即，透過此均勻電漿，將可使於中空管材之內壁上所進行的表面處理，產生穩定且質佳的處理結果。
於一實施例中，施加於上述電極之電壓，其範圍為1至15 kHz、300至1000 V(rms，均方根)。此外，若適當選擇電極之材料與絕緣層厚度，本說明書所使用之電漿可在不大於12 kVpp的工作電壓下操作，較佳者可在不大於8 kVpp的工作電壓下操作，更佳者可在不大於1.4 kVpp的工 作電壓下操作。
本說明書各實施例所使用的電漿型態，除了介電質電漿外，亦可視應用之需求及條件，採用電暈放電式電漿、電子束流式電漿、微波電漿、或射頻電漿等形態。電漿驅動之電源，則可為直流、交流、脈衝式直流、或脈衝式交流等。此外，本說明書所述之電漿，其可在0.1托耳至5大氣壓的範圍下生成並應用之。
此外，本說明書的各實施例，在電漿氣體(載流氣體)中添加適量之先驅物後，便可於管材之內或外壁進行表面處理(如塗佈)製程。其中，電漿氣體可使用包括但不限於：氫氣、氧氣、氬氣、氦氣、空氣等；先驅物則包括液相，固相或氣相之先驅物，其成份包括含碳、氮、氫、氧、矽或金屬與非金屬中一或多種元素之化學品。
另外，搭配適當之電極後，上述實施例可以應用於高分子管、矽膠管、玻璃管、金屬管、鐵氟龍管或導電管材等各種硬管或軟管管材之外壁或中空部內壁的表面處理。舉例而言，使用氬氣與氮氣之混合氣體所產生之電漿，處理鐵氟龍管之管壁表面，將使得該管壁表面由疏水性狀態轉變為親水性狀態。再者，本案說明書所述之中空管材，其中空部可為直線狀、彎曲狀、歧管狀或其任意組合，而同一中空管材之不同部分的中空部亦可有不同之內直徑(即如第一D圖所示者)。此外，中空部之內壁可為平滑面、規則或不規則凹凸面或其任意組合。
具體而言，以下所列之實例可以對本發明做更清楚的描述：
1.一種表面處理方法，包含下列步驟：提供一可撓中空物，該可撓中空物具有一中空部及一內壁，且該內壁位於該中空部之一外側；提供一可撓電極；將該可撓電極置於該中空部；以及透過該可撓電極產生一電漿，以對該內壁進行一表面處理。
2.如實例1所述之方法，其中該可撓電極係以兩股包覆絕緣材料之導線相互纏繞製備而成之一可撓電極組，該方法更包括：對該可撓電極組施以不大於12 kVpp的一電壓，以產生該電漿，其中該電漿為一介電質電漿。
3.一種表面處理方法，包含下列步驟：提供一彎曲中空物，該彎曲中空物具有一彎曲中空部及位於該彎曲中空部周圍之一內壁；提供一可撓電極；將該可撓電極沿該彎曲中空部伸入該彎曲中空物；以及透過該可撓電極產生一電漿，以對該內壁進行一表面處理。
4.如實例3所述之方法，其中該彎曲中空物至少有一開口，該開口與該彎曲中空部連接，該可撓電極則由該開口伸入該彎曲中空物。
5.如實例3或4所述之方法，其中該可撓電極沿該彎曲中空部而彎曲。
6.如申請專利範圍第3或4項所述之方法，更包括：對該可撓電極組施以不大於8 kVpp的一電壓，以產生該電漿，其中該電漿僅由該可撓電極組產生。
7.一種表面處理方法，包含下列步驟：提供一中空物，該中空物具有一中空部、一開口及一內壁，其中該開口與該中空部連接，該內壁則位於該中空部之周圍；提供一可撓電極；將該可撓電極自該開口伸入該中空部，其中該可撓電極於該中空部內彎曲；以及透過該可撓電極產生一電漿，以對該內壁進行一表面處理。
8.一種表面處理方法，包含下列步驟：提供一待處理物，該待處理物具有一外壁；提供一可撓電極；透過該可撓電極產生一電漿，以對該外壁進行一表面處理。
9.如實例8所述之方法，其中該待處理物具有一彎曲形狀。
10.一種表面處理方法，包含下列步驟：提供一中空物，該中空物具有一中空部及一內壁，其中該內壁則位於該中空部之周圍；提供一電極；將該電極伸入該中空部；以及透過該電極產生一電漿，以對該內壁進行一表面處理，其中，該中空部具有一最小寬度及一工作長度，其中當該最小寬度不小於0.05公釐並小於0.5公釐時，該工作長度不大於3公尺，而當該最小寬度不小於0.5公釐時，該工作長度大於60公分且不大於3公尺。
11.一種表面處理裝置，包含：一電極，用以於一中空物之一中空部中產生一電漿，其中該中空部具有一最小寬度及一工作長度，當該最小寬度不小於0.05公釐並小於0.5公釐時，該工作長度不大於3公尺，而當該最小寬度不小於0.5公釐時，該工作長度大於60公分且不大於3公尺，且當該電極於該中空部內時，該電極產生該電漿以對該中空物進行一表面處理。
12.如實例11所述之裝置，更包含：一輔助裝置，用以支持該中空物，以使該電極得以進出該中空部，其中該中空物具有一內壁，該電漿則對該內壁之至少一部份進行該表面處理；以及一活動裝置，用以與該電極及該輔助裝置至少其中之一連接，用以使該電極得以進出該中空部。
如實例11或12所述之裝置，其中該電極為一可撓電極組，該可撓電極組包含兩股包覆絕緣材料的導線，且該兩股導線相互纏繞。
透過本說明書上述各實施例可知，本發明可以一組電極多次使用在不同管材之內/外壁處理上，且電極與管材相互獨立並可完全分離。此外，本發明得以一套電極系統，適用於不同內徑與材質之管材，且此管材為導體或金屬均可，並不需相應進行之複雜的電極與電漿系統的設計與調整。
本說明書上述的各實施例，舉例而言，當可應用於為人工血 管內壁之表面處理、電子、食品或製藥產業所需之傳輸導管之內壁表面處理、人工導管或內視鏡導管等管材之內壁表面處理、光學中空管之內壁處理、中空光纖之內壁塗佈、或微型流體輸送裝置之管材內壁處理等。
惟值得注意，縱使本案已由上述之實例所詳細敘述，而可由在此領域具通常知識者任施匠思而為諸般修飾，然該等修飾皆不脫離如附申請專利範圍所欲保護者。
10‧‧‧電極
101‧‧‧電漿
11‧‧‧輔助裝置
12‧‧‧氣體流道
13‧‧‧先驅物槽
14‧‧‧氣體槽
15‧‧‧管材

Claims (13)

  1. 一種表面處理方法，包含下列步驟：提供一可撓中空物，該可撓中空物具有一中空部及一內壁，且該內壁定義出該中空部；提供一可撓電極組，其中該可撓電極組由一第一電極及一第二電極所組成；將該可撓電極組置於該中空部；以及透過該可撓電極組產生一電漿，以對該內壁進行一表面處理。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中該可撓電極組係以兩股包覆絕緣材料之導線相互纏繞製備而成，該兩股包覆絕緣材料之導線分別為該第一電極及該第二電極，該方法更包括：對該可撓電極組施以不大於12kVpp的一電壓，以產生該電漿，其中該電漿為一介電質電漿。
  3. 一種表面處理方法，包含下列步驟：提供一彎曲中空物，該彎曲中空物具有一彎曲中空部及位於該彎曲中空部周圍之一內壁；提供一可撓電極組，其中該可撓電極組由一第一電極及一第二電極所組成；將該可撓電極組沿該彎曲中空部伸入該彎曲中空物；以及透過該可撓電極組產生一電漿，以對該內壁進行一表面處理。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之方法，其中該彎曲中空物至少有一開口，該開口與該彎曲中空部連接，該可撓電極組則由該開口伸入該彎曲中空物。
  5. 如申請專利範圍第3或4項所述之方法，其中該可撓電極組沿該彎曲中 空部而彎曲。
  6. 如申請專利範圍第3或4項所述之方法，更包括：對該可撓電極組施以不大於8kVpp的一電壓，以產生該電漿，其中該電漿僅由該可撓電極組產生。
  7. 一種表面處理方法，包含下列步驟：提供一中空物，該中空物具有一中空部、一開口及一內壁，其中該開口與該中空部連接，該內壁則位於該中空部之周圍；提供一可撓電極組，其中該可撓電極組由一第一電極及一第二電極所組成；將該可撓電極組自該開口伸入該中空部，其中該可撓電極組於該中空部內彎曲；以及透過該可撓電極組產生一電漿，以對該內壁進行一表面處理。
  8. 一種表面處理方法，包含下列步驟：提供一待處理物，該待處理物具有一外壁，該外壁存在於由該待處理物所形成的一縫隙中；提供一可撓電極組，其中該可撓電極組由一第一電極及一第二電極所組成；將該可撓電極組伸入該縫隙中；以及透過該可撓電極組產生一電漿，以對該外壁進行一表面處理。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之方法，其中該待處理物具有一彎曲形狀。
  10. 一種表面處理方法，包含下列步驟：提供一中空物，該中空物具有一中空部及一內壁，其中該內壁則位於該中空部之周圍；提供一電極； 將該電極伸入該中空部；以及透過該電極產生一電漿，以對該內壁進行一表面處理，其中，該中空部具有一最小寬度及一工作長度，其中當該最小寬度不小於0.05公釐並小於0.5公釐時，該工作長度不大於3公尺，而當該最小寬度不小於0.5公釐時，該工作長度大於60公分且不大於3公尺。
  11. 一種表面處理裝置，包含：一電極，用以於一中空物之一中空部中產生一電漿，其中該中空部具有一最小寬度及一工作長度，當該最小寬度不小於0.05公釐並小於0.5公釐時，該工作長度不大於3公尺，而當該最小寬度不小於0.5公釐時，該工作長度大於60公分且不大於3公尺，且當該電極於該中空部內時，該電極產生該電漿以對該中空物進行一表面處理。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之裝置，更包含：一輔助裝置，用以支持該中空物，以使該電極得以進出該中空部，其中該中空物具有一內壁，該電漿則對該內壁之至少一部份進行該表面處理；以及一活動裝置，用以與該電極及該輔助裝置至少其中之一連接，用以使該電極得以進出該中空部。
  13. 如申請專利範圍第11或12項所述之裝置，其中該電極為一可撓電極組，該可撓電極組包含兩股包覆絕緣材料的導線，且該兩股導線相互纏繞。
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