TWI486862B - 電容式感測電路及感測器與應用其之電容式感測系統 - Google Patents

Description

電容式感測電路及感測器與應用其之電容式感測系統

本發明係關於一種電容式感測電路；特別是關於一種應用投射電場達到觸控效果之電容式感測電路。

目前已知的觸控面板類型，包括電阻式、電容式、光學式、電磁感應式以及音波感應式等。其中由於電容式觸控面板具有透光率高、反應速度佳、觸控精確、可多指觸控、構裝體積較小等優點，同時在防火、防污、耐刮性、耐用度等特性上也有良好表現，被廣泛地應用在各種尺寸的終端裝置上。

電容式觸控面板需要一個透明的電容感測電路，當使用者以手指或電容式觸控筆接近觸控面板之觸摸區域時，會改變電容感測電路偵測到之電容值的大小。根據前述觸摸區域內電容值的變化，觸控面板就可以判斷出觸控的位置。目前已知的電容式觸控面板中，依照電容量測方式，可以分為自電容(self capacitance)感測與互電容(mutual capacitance)感測。自電容感測的訊號來源為手指帶來的電容增量。當手指觸碰電容式觸控面板時，因為手指帶來額外的電容量，所觸碰位置之對應感測電極(sensor)的整體電容量上升。互電容感測除了需要感測電極外，另需驅動電極 (driver)。當驅動電極提供一個不同於感測電極的電壓時，兩個電極之間即形成電場，此時若手指靠近，則影響此兩個電極間的電場強度，而產生電容量上的變化，而這個變化量即是互電容感測的訊號來源。其中互電容式觸控面板，包含兩個在空間上分層佈設的電極，在兩層電極之間形成電場，並利用觸控時電場的變化作為觸控感測的信號。

前述在空間上分層佈設的電極，一般是以上下兩層格狀排列之方式形成觸控電路，下層為驅動線路，用以投射電場至上層的感應線路。但是如此上下分層的設置方式，上層的感應線路在佈設時會覆蓋到下方的驅動線路，使得下層的驅動訊號被上層感應線路影響及感應訊號受到其他準位影響，導致觸控訊號無法正確判讀，降低了觸控位置判讀的精確性。

有鑑於此，本發明之目的就是在提出一種電容式感測電路及感測器與應用其之電容式感測系統，用以解決訊號被影響及其他準位的影響，導致觸控訊號不良與觸控精確性降低的問題。

本發明之一方面係提出一種電容式感測電路，包括一第一電極、一第二電極以及一懸浮電極。第一電極設置於一第一基板之一部分表面上。第二電極設置於一第二基板之一部分表面上，用以與第一電極形成一電場。懸浮電極設置於所述第一基板之另一部分表面上，並且至少部分地與第二電極於一投影方向重疊。懸浮電極具有至少一絕緣縫隙，使懸浮電極與第一電極電性絕緣。懸浮電極包括多個懸浮電極單元。所述之絕 緣縫隙使此些懸浮電極單元彼此電性絕緣，且電場係通過所述之絕緣縫隙。

上述該電容式感測電路，其中該懸浮電極具有一虛擬中心軸線，該些懸浮電極單元依照該虛擬中心軸線對稱排列。

上述該電容式感測電路，其中該第一電極依照一第一軸向呈列，該第二電極依照一第二軸向呈列，該虛擬中心軸線平行於該第二軸向，且該第一軸向非平行於該第二軸向。

上述該電容式感測電路，該懸浮電極單元之間兩兩具有相同之面積。

上述該電容式感測電路，該懸浮電極具有多個絕緣縫隙，電場通過兩相鄰之絕緣縫隙時，具有不同的電場強度。

上述該電容式感測電路，其中該至少一絕緣縫隙係由乾式蝕刻或濕式蝕刻形成，較佳為雷射蝕刻。

上述該電容式感測電路，其中該第一電極與該懸浮電極由相同之一導電材料構成。

上述該電容式感測電路，其中該第一電極與該第二電極由不同材料構成。

本發明之另一方面係提出一種電容式感測器，包括一第一基板、一第二基板、一第一電極序列、一第二電極序列，以及一懸浮電極序列。第一基板具有一第一表面，第二基板具有面朝第一基板之一第二表面。第一電極序列設置於第一表面之一部分，第二電極序列設置於第二表面上，用以與第一電極序列形成一電場。懸浮電極序列設置於第一表面之另一部分，定且至少部分地與第二電極序列於一投影方向重疊。懸浮電極 序列具有多個絕緣縫隙，使懸浮電極序列與第一電極序列電性絕緣。懸浮電極序列中的各個懸浮電極包括多個懸浮電極單元，所述之絕緣縫隙使此些懸浮電極單元彼此電性絕緣，電場係通過所述之絕緣縫隙。

上述該電容式感測器，各懸浮電極具有一虛擬中心線，此些懸浮電極單元依照虛擬中心線對稱排列。

上述該電容式感感測器，其中該第一電極依照一第一軸向呈列，該第二電極依照一第二軸向呈列，該虛擬中心軸線平行於該第二軸向，且該第一軸向非平行於該第二軸向。

上述該電容式感測器，此些懸浮電極單元之間兩兩具有相同之面積。

上述該電容式感測器，所述懸浮電極具有多個絕緣縫隙，電場通過兩相鄰之絕緣縫隙時，具有不同的電場強度。

上述該電容式感測器，其中該至少一絕緣縫隙係由乾式蝕刻或濕式蝕刻形成，較佳為雷射蝕刻。

上述該電容式感測器，其中該第一電極與該懸浮電極由相同之一導電材料構成。

上述該電容式感測電器，其中該第一電極與該第二電極由不同材料構成。

本發明之再一方面係提出一種電容式感測系統，包括一電容感測器以及一控制器。電容式感測器包括一第一基板、一第二基板、一第一電極序列、一第二電極序列，及一懸浮電極序列。第一基板具有一第一表面，第二基板具有面朝第一基板之一第二表面。第一電極序列設置於 第一表面之一部分，第二電極序列設置於第二表面上，用以與第一電極序列形成一電場。當電容式感測器被觸碰時，電場係產生一特性變化。懸浮電極序列設置於第一表面之另一部分，並且至少部分地與第二電極序列於一投影方向重疊。懸浮電極序列具有多個絕緣縫隙，使懸浮電極序列與第一電極序列電性絕緣。懸浮電極序列中之各個懸浮電極包括多個懸浮電極單元，所述之絕緣縫隙使此些懸浮電極單元彼此電性絕緣，電場係通過所述之絕緣縫隙。控制器電性連接於電容式感測器，用以根據電場之特性變化輸出一控制訊號。

本發明之電容式感測電路及感測器與應用其之電容式感測系統，利用電場通過絕緣縫隙之方式，解決下層的驅動訊號被上層感應線路影響及感應訊號受到其他準位影響，可以增加感測訊號強度，提升觸控訊號判讀的精確性。

10‧‧‧電容式感測器

11‧‧‧第一基板

12‧‧‧第二基板

13、43‧‧‧第一電極序列

14‧‧‧第二電極序列

15、45‧‧‧懸浮電極序列

15a、15b、45a、45b‧‧‧絕緣縫隙

20‧‧‧電容式感測電路

30‧‧‧控制器

100‧‧‧電容式感測系統

111‧‧‧第一表面

121‧‧‧第二表面

130‧‧‧第一電極

140‧‧‧第二電極

150、450‧‧‧懸浮電極

151、451‧‧‧懸浮電極單元

A1‧‧‧第一軸向

A2‧‧‧第二軸向

C‧‧‧擷取區域

E、e1、e2、e3、e4‧‧‧電場

X‧‧‧虛擬中心軸線

Z‧‧‧投影方向

為讓本發明之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下：第1圖繪示依照本發明一實施例之電容式感測系統之示意圖；第2圖繪示本發明實施例之電容式感測電路之部分側視圖；第3圖繪示第1圖中第一電極序列及懸浮電極序列之部分示意圖；第4圖繪示依照本發明另一實施例之第一電極序列與懸浮電極序列之部分示意圖。

有關本發明之前述及其他技術內容、特點與功效，在以下配合參考圖式之詳細說明中可以清楚地呈現。以下實施例中所提到的方向用語，例如：上、下、左、右、前或後等，僅是用於參照隨附圖式的方向。因此，該等方向用語僅是用於說明並非是用於限制本發明。

本發明之實施方式中，揭露一種電容式感測電路及感測器與應用其之電容式感測系統。

首先請參照第1圖，其繪示依照本發明一實施例之電容式感測系統之示意圖。電容式感測系統100包括一電容式感測器10以及一控制器30。控制器30電性連接於電容式感測器10，用以輸出訊號至電容式感測器10，並且從電容式感測器10接收訊號。

本實施例之電容式感測器10包括一第一基板11、一第二基板12、一第一電極序列13、一第二電極序列14，以及一懸浮電極序列15。第一基板11具有一第一表面111，第一電極序列13設置於第一表面111上，且僅部分覆蓋所述第一表面111。第二基板12具有一第二表面121，所述第二表面121面朝第一基板11。第二電極序列14設置於所述第二表面121上，且僅部分覆蓋所述第二表面121。於一實施例中，第一基板11以及第二基板12為平行設置，且第一基板11與第二基板12均為透明材質製成之基板，例如由玻璃製成之透明基板，抑或其他可用之透明基板，本發明並不對此加以限制。

懸浮電極序列15同樣設置在第一基板11之第一表面111上，並且位於第一表面111未被第一電極序列13覆蓋之另一部分。也就是 說，第一電極序列13與懸浮電極序列15同時位於第一基板11之第一表面111上，兩者之間並未有交疊或覆蓋的現象發生。另外，懸浮電極序列15至少部分與第二電極序列14於一投影方向Z重疊。於本實施例中，投影方向Z是垂直於第一基板11與第二基板12，如第1圖中所示。懸浮電極序列15包括多個懸浮電極單元151，且懸浮電極序列15具有多個絕緣縫隙15a、15b。絕緣縫隙15a、15b使懸浮電極序列15與第一電極序列13電性絕緣，同時也讓懸浮電極單元151之間彼此電性絕緣。

於一實施例中，第一電極序列13以及懸浮電極序列15是由相同的導電材料構成，並且例如是在同樣的製程步驟中形成於第一基板11之第一表面111上。於一實施例中，前述導電材料為透明導電材質，如奈米金屬線、銦錫氧化物(Indium Tin Oxide；ITO)、氧化鋅(Zinc Oxide；ZnO)、氧化銦鋅(Indium Zinc Oxide；IZO)、氧化鋁鋅(Aluminum Zinc Oxide；AZO)、氧化鎵鋅(Gallium Zinc Oxide；GZO)或奈米碳管等，但不為此限。另一方面，前述導電材料亦可為不透明導電材質，可為導電性高之金屬，如銀、銅、金等。在本發明之實施例中，導電材料較佳為透明導電材質。前述絕緣縫隙15a、15b係以乾式蝕刻方式形成，例如以雷射切割前述之明導電材質層，而形成第一電極序列13以及懸浮電極序列15。另外，本發明實施例中之第二電極序列14之材料，可以與第一電極序列13相同或不同。例如第一電極序列13與第二電極序列14均為銦錫氧化物(ITO)；又例如，第一電極序列13由奈米金屬線構成，而第二電極序列14由銦錫氧化物(ITO)構成，端視實際上的需求。

此外，依照本發明實施例之電容式感測系統100中，電容式 感測器10為一電容式觸控面板，其中第一電極序列13為驅動電極，第二電極序列14為感測電極，懸浮電極序列15為虛設電極(dummy electrode)。第二電極序列14與第一電極序列13之間形成一電場，前述電場通過絕緣縫隙15a、15b，亦即第一電極序列13及懸浮電極序列15，並不會完全覆蓋第二電極序列14而影響來自第一電極序列13之驅動訊號，以及感應訊號受到其他準位影響。此處所指其他準位，包括接地或者未被驅動之第二電極序列14中的第二電極，以及接地或者未被驅動之第一電極序列13中之第一電極。

因此，當電容式感測器10被觸碰時，例如使用者利用手指或電容式觸控筆處碰時，通過絕緣縫隙15a、15b的電場會產生一特性變化，例如電場場形或強度發生變化，控制器30便根據前述電場的特性變化得知電容式感測器10上的觸碰位置，並據以輸出一控制訊號。使用本發明實施例之電容式感測系統100作為輸入手段的電子裝置(例如行動電話或平板電腦)，其中央處理器接收到控制訊號後，便可以進行接下來的操作，例如改變顯示畫面或者開啟應用程式等動作，本發明對此不再加以詳述。

為了使相關技術領域具有通常知識之人，可以更詳盡地理解本發明實施例之絕緣縫隙15a、15b以及電場之間的關係，以下係利用一電容式感測電路來進行說明。

請參照第2圖，其繪示本發明實施例之電容式感測電路之部分側視圖。本實施例中，第2圖是第1圖中電容式感測器10之部分側視圖。雖然第2圖中繪示電容式感測電路20僅包括一條第一電極130、一條第二電極140以及一條懸浮電極150，其係用以清楚顯示出本發明實施例之技術特徵，並非用以限制電容式感測電路20。實際應用上，第1圖中包含多條第一 電極130之第一電極序列13、包含多條第二電極140之第二電極序列14以及包含多條懸浮電極150之懸浮電極序列15，亦可視為一電容式感測電路。本發明並不對第一電極130、第二電極140以及懸浮電極150之數目加以限制，合先敘明。

如第2圖所示，本實施例之電容式感測電路20包括第一電極130、第二電極140以及懸浮電極150。第一電極130設置於第一基板11之一部分表面上，第二電極140設置於第二基板12之一部分表面上。第二電極140用以與第一電極130形成一電場E。懸浮電極150設置於第一基11板之另一部分表面上，並且至少部分地與第二電極140於投影方向Z重疊。如前依照第1圖之描述，於本實施例中，第一基板11與第二基板12係為行平設置，前述之投影方向Z係垂直於第一基板11及第二基板12。

懸浮電極150具有至少一絕緣縫隙15a，使懸浮電極150與第一電極130電性絕緣。懸浮電極150包括多個懸浮電極單元151，前述之絕緣縫隙15a同時亦使懸浮電極單元151之間彼此電性絕緣。而前述電場E通過絕緣縫隙15a，使得電場E除了可以投射至第一電極130下方之外，更可以藉由絕緣縫隙15a投射至第一電極130上方。當電容式感測電路20被觸碰時，通過絕緣縫隙15a的電場E會發生特性變化，而使第一電極13與第二電極14之間的電容發生變化，藉以進行觸控位置的偵測，以進行後續操作。

於一實施例中，第一電極130以及懸浮電極150是由相同的導電材料構成，並且例如是在同樣的製程步驟中形成於第一基板11上。於一實施例中，導電材料為透明導電材質，如奈米金屬線、銦錫氧化物(Indium Tin Oxide；ITO)、氧化鋅(Zinc Oxide；ZnO)、氧化銦鋅(Indium Zinc Oxide； IZO)、氧化鋁鋅(Aluminum Zinc Oxide；AZO)、氧化鎵鋅(Gallium Zinc Oxide；GZO)或奈米碳管等，但不為此限。另一方面，前述導電材料亦可為不透明導電材質，可為導電性高之金屬，如銀、銅、金等。在本發明之實施例中，導電材料較佳為透明導電材質。而前述絕緣縫隙15a係以乾式蝕刻方式形成，例如以雷射切割前述之透明導電層，而形成第一電極130以及懸浮電極150。另外，本發明實施例中之第二電極140之材料，可以與第一電極130相同或不同，端視實際上的需求。

在依照本發明之實施例中，形成此些絕緣縫隙15a以及懸浮電極單元151之形狀、數量及分布，具有多種實施方式。

請同時參照第1圖及第3圖，第3圖繪示第1圖中第一電極序列及懸浮電極序列之部分示意圖。第3圖所繪示之第一電極序列及懸浮電極序列，對應於第1圖之一擷取區域C之部分。絕緣縫隙15a、15b包含位於第一位置之絕緣縫隙15a以及位於第二位置之絕緣縫隙15b，第一位置之絕緣縫隙15a位於兩相鄰的第一電極130之間，並且僅部分地與第二電極140重疊。第二位置之絕緣縫隙15b位於兩相鄰之第二電極140的投影方向Z之間，並且未與任何第二電極140於投影方向Z(繪示於第1圖中)重疊。懸浮電極序列15與第一電極序列13，是藉由第一位置之絕緣縫隙15a相互電性絕緣。而各懸浮電極單元151之間，藉由第一位置之絕緣縫隙15a以及第二位置之絕緣縫隙15b相互電性絕緣。懸浮電極序列15與第二電極序列14，於投影方向Z至少部分重疊。

於本實施例中，係以長條狀之第一電極序列13、第二電極序列14以及懸浮電極序列15為例。懸浮電極序列15中之各懸浮電極均具一 虛擬中心軸線X，各懸浮電極之多個懸浮電極單元151，依照虛擬中心軸線X對稱排列。更進一步來說，第一電極序列13是依照一第一軸向A1呈列，第二電極序列14是依照一第二軸向A2呈列，第一軸向A1非平行於第二軸向A2，且虛擬中心軸線X平行於第二軸向A2。本實施例中，第一軸向A1及第二軸向A2係以正交為例進行說明；然本發明並不以正交為限。只要第一軸向A1與第二軸向A2不平行，而使第一電極序列13以及第二電極序列14可以交錯呈列，均屬於本發明之範圍。此外，於一選擇性之實施例中，此些懸浮電極單元151之間，兩兩具有相同之面積。

另一方面，本發明實施例之多個懸浮電極單元151，亦可以依照電場強度來分布，使得電場通過兩相鄰之第一位置之絕緣縫隙15a時，具有不同的電場強度。以第2圖中繪示之實施方式為例，其中通過最靠近第一電極130之電場e1，其強度大於通過次靠近第一電極130之電場e2。依此類推，電場e2之強度大於電場e3，電場e3之強度大於電場e4。由此可知，通過此些絕緣縫隙15a之電場E，具有依照與第一電極150之間的距離，依序遞減之電場梯度。由另一角度觀之，當在蝕刻形成絕緣縫隙15a時，係可依照電場強度的分布進行蝕刻。

如第3圖所示，於本實施例中，第二位置之絕緣縫隙15b位於第二電極序列14中兩相鄰之第二電極140之間，並未與任何第二電極140於投影方向Z(繪示於第1圖中)重疊。如此可以避免影響第二電極序列14接地或者未被驅動時，電場準位被影響的問題，大幅降低未驅動之第一電極130與第二電極140對於觸控偵測的影響。

依據前述依照本發明之實施例中，係以長條狀之第一電極 序列13、第二電極序列14以及懸浮電極序列15為例(如第1圖至第3圖所繪示)；然本發明各電極序列之形狀並不以此為限。

請參照第4圖，其繪示依照本發明另一實施例之第一電極序列與懸浮電極序列之部分示意圖。懸浮電極序列45與第一電極序列43，是藉由絕緣縫隙45a相互電性絕緣。實際應用上，懸浮電極序列45包括多條懸浮電極450(雖然第4圖繪示兩條懸浮電極450，但懸浮電極450之數目本發明並不加以限制)，各懸浮電極450均包含多個懸浮電極單元451，而各懸浮電極單元451之間亦藉由絕緣縫隙45a、45b相互電性絕緣。本實施例中，係以包含多個菱狀單元之第一電極序列43為例。本實施例中，懸浮電極序列45之各懸浮電極450均具有虛擬中心軸線X，各懸浮電極之多個懸浮電極單元451，依照虛擬中心軸線X對稱排列。值得注意地是，本實施例中，此些懸浮電極單元451之間，並非兩兩具有相同之面積。實際在形成此些懸浮電極單元451(例如以雷射切割銀金屬層，而分別形成第一電極序列43、懸浮電極序列45，以及懸浮電極單元451)時，亦可調整懸浮電極單元451之尺寸及形狀，使得懸浮電極單元451之間，兩兩具有相同之面積。此外，本實施例中位於第二位置之絕緣縫隙45b，位於第二電極序列14中兩相鄰之第二電極140之間(第二電極序列14及第二電極140繪示於第1圖中)，並未與任何第二電極140於投影方向Z(繪示於第1圖中)重疊。

本發明之實施方式係揭露一種電容式感測電路及感測器與應用其之電容式感測系統，利用多個絕緣縫隙讓電場可以通過，用以解決訊號被不同層的線路影響或者被其他準位影響，導致觸控訊號不良與觸控精確性降低的問題。雖然本發明之實施例中係以對稱之多個懸浮電極單 元，以及面積相同之懸浮電極單元為例進行說明，但本發明之技術並不僅限制於此。只要是利用絕緣縫隙讓電場通過，以達到觸控感測之目的者，均屬本發明之範圍。

雖然本發明已以實施方式揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

11‧‧‧第一基板

12‧‧‧第二基板

15a‧‧‧絕緣縫隙

20‧‧‧電容式感測電路

130‧‧‧第一電極

140‧‧‧第二電極

150‧‧‧懸浮電極

151‧‧‧懸浮電極序列

E、e1、e2、e3、e4‧‧‧電場

Z‧‧‧投影方向

Claims (21)

1. 一種電容式感測電路，包括：一第一電極，設置於一第一基板之一部分表面上；一第二電極，設置於一第二基板之一部分表面上，用以與該第一電極形成一電場；以及一懸浮電極，設置於該第一基板之另一部分表面上，並且至少部分地與該第二電極於一投影方向重疊，該懸浮電極具有至少一絕緣縫隙，使該懸浮電極與該第一電極電性絕緣，該懸浮電極包括：複數個懸浮電極單元，該至少一絕緣縫隙使該些懸浮電極單元彼此電性絕緣，該電場係通過該至少一絕緣縫隙。
2. 如申請專利範圍第1項所述之電容式感測電路，其中該懸浮電極具有一虛擬中心軸線，該些懸浮電極單元依照該虛擬中心軸線對稱排列。
3. 如申請專利範圍第2項所述之電容式感測電路，其中該第一電極依照一第一軸向呈列，該第二電極依照一第二軸向呈列，該虛擬中心軸線平行於該第二軸向，且該第一軸向非平行於該第二軸向。
4. 如申請專利範圍第1項所述之電容式感測電路，其中該些懸浮電極之間兩兩具有相同之面積。
5. 如申請專利範圍第1項所述之電容式感測電路，其中該懸浮電極具有複數個該絕緣縫隙，該電場通過兩相鄰之該絕緣縫隙時具有不同之電場強度。
6. 如申請專利範圍第1項所述之電容式感測電路，其中該至少一絕緣縫隙係由乾式蝕刻形成。
7. 如申請專利範圍第1項所述之電容式感測電路，其中該第一電極與該懸浮電極由相同之一導電材料構成。
8. 如申請專利範圍第7項所述之電容式感測電路，其中該導電材料為金屬。
9. 如申請專利範圍第7項所述之電容式感測電路，其中該第一電極與該第二電極由不同材料構成。
10. 如申請專利範圍第1項所述之電容式感測電路，其中該懸浮電極具有複數該絕緣縫隙，其中部分之該些絕緣縫隙，於該投影方向上完全不與該第二電極重疊。
11. 一種電容式感測器，包括：一第一基板，具有一第一表面；一第一電極序列，設置於該第一表面之一部分；一第二基板，具有面朝該第一基板之一第二表面；一第二電極序列，設置於該第二表面上，用以與該第一電極序列形成一電場；以及一懸浮電極序列，設置於該第一表面之另一部分，並且至少部分地與該第二電極序列於一投影方向重疊，該懸浮電極序列具有複數個絕緣縫隙，使該懸浮電極序列與該第一電極序列電性絕緣，該懸浮電極序列中之各該懸浮電極包括：複數個懸浮電極單元，該些絕緣縫隙使該些懸浮電極單元彼此電性絕緣，該電場係通過該些絕緣縫隙。
12. 如申請專利範圍第11項所述之電容式感測器，其中各該懸浮電極具有一虛擬中心軸線，該些懸浮電極單元依照該虛擬中心軸線對稱排列。
13. 如申請專利範圍第12項所述之電容式感測器，其中該第一電極序列依照一第一軸向呈列，該第二電極序列依照一第二軸向呈列，該虛擬中心軸線平行於該第二軸向，且該第一軸向非平行於該第二軸向。
14. 如申請專利範圍第11項所述之電容式感測器，其中該些懸浮電極之間兩兩具有相同之面積。
15. 如申請專利範圍第11項所述之電容式感測器，其中該電場通過兩相鄰之該絕緣縫隙時具有不同之電場強度。
16. 如申請專利範圍第11項所述之電容式感測器，其中該些絕緣縫隙係由乾式蝕刻形成。
17. 如申請專利範圍第11項所述之電容式感測器，其中該第一電極序列與該懸浮電極序列由相同之一導電材料構成。
18. 如申請專利範圍第17項所述之電容式感測器，其中該導電材料為金屬。
19. 如申請專利範圍第17項所述之電容式感測器，其中該第一電極序列與該第二電極序列由不同材料構成。
20. 如申請專利範圍第11項所述之電容式感測器，其中部分之該些絕緣縫隙，於該投影方向上完全不與該第二電極序列重疊。
21. 一種電容式感測系統，包括：一電容式感測器，包括：一第一基板，具有一第一表面；一第一電極序列，設置於該第一表面之一部分；一第二基板，具有面朝該第一基板之一第二表面； 一第二電極序列，設置於該第二表面上，用以與該第一電極序列形成一電場，其中當該電容式感測器被觸碰時，該電場係產生一特性變化；及一懸浮電極序列，設置於該第一表面之另一部分，並且至少部分地與該第二電極序列於一投影方向重疊，該懸浮電極序列具有複數個絕緣縫隙，使該懸浮電極序列與該第一電極序列電性絕緣，該懸浮電極序列包括：複數個懸浮電極單元，該些絕緣縫隙使該些懸浮電極單元彼此電性絕緣，該電場係通過該些絕緣縫隙；以及一控制器，電性連接於該電容式感測器，用以根據該電場之該特性變化輸出一控制訊號。