TWI455898B - 硬脆材料劃線裝置 - Google Patents

Claims (9)

1. 一種硬脆材料劃線裝置，該硬脆材料劃線裝置包含：一支撐座，其具有一腔室；一刀座，其具有相對之一第一端部以及一第二端部，該刀座係設置於該支撐座之該腔室內，該第一端部係位於該腔室內且該第二端部係顯露於該支撐座外，該第二端部係用以設置一刀具，於該刀座與該支撐座之間具有間隙，於該間隙設有靜壓油膜；以及一震動致動器，用以驅動該刀座產生震動，該刀座之震動方向係平行於一硬脆材料之表面之法線方向。
2. 如申請專利範圍第1項所述之硬脆材料劃線裝置，其中該支撐座係連通一供油系統，該供油系統包括：一儲油裝置，用以儲放潤滑油；一連接管路，其具有至少一輸入端以及至少一輸出端，該輸入端係連通該儲油裝置，該輸出端係連通該刀座與該支撐座間之該間隙；一幫浦，用以將該儲油裝置內之該潤滑油經由該連接管路之該輸入端送入該連接管路內，再由該連接管路之該輸出端送入該刀座與該支撐座間之該間隙，使形成該靜壓油膜；以及至少一節流結構，設置於該連接管路之該輸出端與該靜壓油膜之間，用以調節該靜壓油膜之壓力比。
3. 如申請專利範圍第2項所述之硬脆材料劃線裝置，其中該連接管路係貫穿該支撐座，且該輸出端係連通該刀座與該支撐座間之該間隙，於該支撐座相對應於該輸出端 之位置設有一油腔，該油腔係由該支撐座之該腔室凹陷於該支撐座內，該油腔係連通該連接管路之該輸出端，該潤滑油係由該連接管路之該輸出端進入該油腔，再由該油腔進入該刀座與該支撐座間之該間隙。
4. 如申請專利範圍第3項所述之硬脆材料劃線裝置，其中該刀座具有相對之一第一側面以及一第二側面，該刀座之該第一端部與該第二端部係位於該第一側面與該第二側面之間，該連接管路具有複數輸出端，該複數輸出端之至少其中之一輸出端係相對應於該第一側面，該複數輸出端之至少另外其中之一輸出端係相對應於該第二側面，且相對應於該第一側面與該第二側面之該輸出端係對稱設置。
5. 如申請專利範圍第4項所述之硬脆材料劃線裝置，其中該刀座之該第一側面與該第二側面對稱各設有一凸緣，該凸緣具有相對之一第一面、一第二面以及一第三面，該第一面與該第二面係相對之二面，該第三面位於該第一面與該第二面之間且與該第一面及第二面相鄰，於該支撐座相對應於該凸緣之位置設有凹槽，該二個凸緣係分別嵌設於相對應位置之該凹槽，於該二個凹槽對稱設有至少一該油腔。
6. 如申請專利範圍第5項所述之硬脆材料劃線裝置，其中每一該凹槽相對應於該凸緣之該第一面、該第二面以及該第三面位置各設有一該油腔。
7. 如申請專利範圍第2項所述之硬脆材料劃線裝置，其中該節流結構係毛細管節流結構、小孔節流結構、滑閥節 流結構及薄膜節流結構其中之一。
8. 如申請專利範圍第1項所述之硬脆材料劃線裝置，其中該刀座與該支撐座間之該間隙係位於10~30μm之範圍。
9. 如申請專利範圍第1項所述之硬脆材料劃線裝置，其中該支撐座係固設於一滑動部，該滑動部係可移動地設置於一基柱，該滑動部係用以帶動該支撐座平行於該硬脆材料之表面之法線方向移動。