TWI446162B - 使用一測試儀器之方法及測試系統 - Google Patents

Description

使用一測試儀器之方法及測試系統

本發明係關於利用一測試儀器將資料相依的抖動引入一測試信號之方法、系統及電腦程式。

自動測試設備(ATE)指用於測試器件(例如半導體、電路及印刷電路板裝配件)之自動化(通常係電腦驅動)系統。藉由ATE測試之器件稱為受測試器件(DUT)。

ATE通常包括電腦系統及具有對應功能性之測試器件或單一器件。接針電子元件通常係測試器件之部分。接針電子元件包括驅動器、比較器及/或用於測試DUT之作用負載功能性。驅動器將測試信號提供至測試器件上之接針。ATE能夠提供不同類型之信號至DUT。該等信號中有上述測試信號，其係在DUT測試期間利用(例如用於測試DUT)。

一般而言，一態樣中，本發明之特徵係一方法，其包括產生包含複數個間隔之一測試型樣。該等間隔各包括若干冗餘樣本，其對應於一測試來源型樣內之一樣本。冗餘樣本數目係根據測試器之操作頻率與受測試器件之操作頻率間的差異。測試器之操作頻率大於受測試器件之操作頻率。該方法亦包括以數位方式修改該測試型樣以產生一修改測試型樣，其包括資料相依的抖動。

具體實施例可包括一或多個下列內容。

該方法可包括在該測試器之該操作頻率下對該受測試器件應用該修改測試型樣。以數位方式修改測試型樣可包括以來自先於一特定間隔之一間隔的一樣本取代來自該特定間隔之一或多個樣本。取代一或多個樣本可包括以來自直接前一間隔之最後樣本取代該間隔內之第一樣本。以數位方式修改測試型樣可包括以來自一特定間隔後之一間隔的一樣本取代來自該特定間隔之一或多個樣本。取代一或多個樣本可包括以來自直接隨後間隔之第一樣本取代該間隔內之最後樣本。樣本數目可大約等於測試器之操作頻率對受測試器件之操作頻率的一比率。

該方法亦可包括根據使用者輸入決定資料相依的抖動之一數量，以引入測試型樣，以及根據資料相依的抖動之該決定數量決定是否修改該測試型樣之一特定間隔的一或多個樣本。該方法可包括接收資料相依的抖動演算法，並根據該演算法決定是否修改該測試型樣之一特定間隔的一或多個樣本。

該方法可包括根據儲存於包括在該測試器內之一記憶體中的一演算法決定是否修改該測試型樣之一特定間隔的一或多個樣本。修改測試型樣可包括應用基於軟體之演算法以修改該測試型樣以及採用該修改測試型樣覆寫該測試型樣。應用基於軟體之演算法以修改該測試型樣可包括在第一週期期間，應用一基於軟體之演算法以修改該測試型樣，在第二週期期間，應用一基於軟體之演算法以修改該測試型樣，使得在該第一週期期間產生之該等修改與在該 第二週期期間產生之該等修改相同。

修改測試型樣可包括利用包括在該測試器內之電路即時修改測試型樣。修改該測試型樣可包括在第一週期期間，應用一基於軟體之演算法以修改該測試型樣，在第二週期期間，應用一基於軟體之演算法以修改該測試型樣，使得在該第一週期期間產生之該等修改與在該第二週期期間產生之該等修改相同。

一般而言，一態樣中，本發明之特徵係包括一測試器之測試系統。該測試器經組態用以產生包含複數個間隔之一測試型樣。該等間隔各包括若干冗餘樣本，其對應於一測試來源型樣內之一樣本。冗餘樣本數目係根據測試器之操作頻率與受測試器件之操作頻率間的差異，其中測試器之操作頻率大於受測試器件之操作頻率。測試器亦經組態用以按數位方式修改該測試型樣以產生一修改測試型樣，其包括資料相依的抖動。

具體實施例可包括一或多個下列內容。

測試器可包括經組態用以在測試器之操作頻率下對受測試器件應用修改測試型樣之類比前端。使該測試器以數位方式修改該測試型樣之該等組態可包括以來自先於一特定間隔之一間隔的一樣本取代來自該特定間隔之一或多個樣本的組態。使該測試器取代該一或多個樣本之該等組態可包括使測試器以來自一直接前一間隔之最後樣本取代該間隔內之第一樣本的組態。使該測試器以數位方式修改該測試型樣之該等組態可包括以來自一特定間隔後之一間隔的 一樣本取代來自該特定間隔之一或多個樣本的組態。使該測試器取代該一或多個樣本之該等組態可包括使測試器以來自一直接隨後間隔之第一樣本取代該間隔內之最後樣本的組態。該測試器可進一步包括經組態用以儲存用於決定是否修改該測試型樣之一特定間隔的一或多個樣本之一演算法的一記憶體。

對於特定應用，需要將行業內稱為抖動之已知變更插入遞送至受測試器件(DUT)之測試信號上。可將抖動分成數個較小且更特定之成分(Rj、DDj、DCD)。遞送資料相依的抖動(DDj)需要採用子使用者間隔容量修改遞送至DUT之信號的能力。

附圖及以下說明中提出本發明之一或更多項具體實施例的細節。從說明與附圖並從申請專利範圍將會明白本發明之其他特徵、目的及優點。

參考圖1，用於測試受測試器件(device－under－test；DUT)18(例如半導體器件)之系統10包括測試器12，例如自動測試設備(automatic test equipment；ATE)或其他類似測試器件。為控制測試器12，系統10包括電腦系統14，其在硬線連結16上介接測試器12。通常，電腦系統14傳送命令至測試器12，其啟動用於測試DUT 18之常式及函數的執行。此類執行測試常式可啟動測試信號對DUT 18之產生及傳輸，並收集來自DUT之回應。可藉由系統10測試各種類型之DUT。例如，DUT可為半導體器件，例如積體電路 (IC)晶片(例如記憶體晶片、微處理器、類比至數位轉換器、數位至類比轉換器等)。

為提供測試信號及收集來自DUT之回應，將測試器12連接至一或多個連接器接針，其提供用於DUT 18之內部電路的介面。為測試一些DUT，例如，可將多至十六、三十二、六十四或一百二十八個連接器接針(或更多)介接至測試器12。處於說明性目的，此範例中，半導體器件測試器12係經由硬線連結連接至DUT 18之一連接器接針。將導體20(例如電纜)連接至接針22，並用於將測試信號19遞送至DUT 18之內部電路。導體20亦回應由半導體器件測試器12提供之測試信號而感測接針22處的信號。例如，可回應測試信號19在接針22感測電壓信號或電流信號，並在導體20上將其傳送至測試器12供分析。此類單一埠測試亦可在包括在DUT 18內之其他接針上予以執行。例如，測試器12可提供測試信號至其他接針並在導體(其遞送提供之信號)上收集反射回來的相關聯信號。藉由收集反射信號，可與其他單一埠測試數量一起特徵化接針之輸入阻抗。其他測試情況下，可在導體20上將數位信號傳送至用於在DUT 18上儲存數位值之接針22。一旦已儲存，可存取DUT 18以取回並在導體20上傳送已儲存數位值至測試器12。接著可識別取回之數位值以決定是否在DUT 18儲存適當值。

隨執行一埠測量一起，亦可藉由半導體器件測試器12執行二埠或多埠測試。例如，可在導體20上將測試信號內射至接針22內，並從DUT 18之一或多個其他接針收集回應信 號。將此回應信號提供給半導體器件測試器12，以決定數量，例如增益回應、相位回應及其他輸出測量數量。

參考圖2，為傳送及收集來自DUT(或多個DUT)之多個連接器接針的測試信號，測試器12包括介面卡24，其可與許多接針通信。例如，介面卡24可將測試信號發射至(例如)32、64或128個接針並收集對應回應。與一接針之每一通信鏈路稱為通道，以及藉由對大量通道提供測試信號，測試時間因可同時執行多個測試而得以減少。輸出通道通常包括驅動器(未顯示)，以提供信號至DUT，而輸入通道通常包括比較器(亦未顯示)，以(例如)接收輸入信號、與參考進行比較及提供輸出。在介面卡上具有許多通道的同時，藉由在測試器12內包括多個介面卡，通道總體數目增加，從而進一步減少測試時間。此範例中，顯示兩個額外介面卡26及28以證實多個介面卡可駐留於測試器12。

各介面卡包括用於執行特定測試功能之專用積體電路(IC)晶片(例如特定應用積體電路(ASIC)或場可程式化閘極陣列(FPGA))。例如，介面卡24包括用於執行參數測量單元(PMU)測試及接針電子元件(PE)測試之IC晶片30。IC晶片30具有PMU級32，其包括用於執行PMU測試之電路，以及PE級34，其包括用於執行PE級之電路。此外，介面卡26及28分別包括IC晶片36及38，其包括PMU及PE電路。通常，PMU測試包含提供DC電壓或電流信號至DUT，以決定輸入及輸出阻抗、電流洩漏及其他類型之DC性能特徵化的數量。PE測試涉及傳送AC測試信號或波形至DUT(例 如DUT 18)及收集回應，以進一步特徵化DUT之性能。例如，IC 30可(向DUT)發射AC測試信號，其代表用於DUT上之儲存的二進制值之向量。一旦已儲存該等二進制值，可藉由測試器12存取DUT以決定是否已儲存正確二進制值。

為將DC及AC測試信號兩者從介面卡24傳遞至DUT 18，導電迹線40將IC晶片30連接至介面板連接器42，其可將信號傳出及傳入介面板24。同時將介面板連接器42連接至導體44，其係連接至介面連接器46，其可將信號傳遞至測試器12及自測試器12傳遞。此範例中，將導體20連接至介面連接器46，以便在測試器12與DUT 18之接針22間進行雙向信號傳遞。某些配置中，介面器件可用於將一或多個導體從測試器12連接至DUT。例如，可將DUT(例如DUT 18)安裝於器件介面板(device interface board；DIB)上，其用於對各DUT接針提供存取。此一配置中，可將導體20連接至DIB，其用於將測試信號放置於DUT之適當接針(例如接針22)上。

此範例中，僅導電迹線40及導體44分別連接用於遞送及收集信號之IC晶片30及介面板24。然而，IC晶片30(以及IC晶片36及38)通常具有多個接針(例如八個、十六個等)，其分別與用於(經由DIB)提供及收集來自DUT之信號的多個導電迹線及對應導體連接。另外，某些配置中，測試器12可連接至兩個或更多DIB，其用於將由介面卡24、26及28提供之通道介接至一或多個受測試器件。

為啟動及控制藉由介面卡24、26及28執行之測試，測試 器12包括PMU控制電路48及PE控制電路50，其提供用於產生測試信號及分析DUT回應之測試參數(例如測試信號電壓位準、測試信號電流位準、數位值等)。可利用一或多個處理器件實施PMU控制電路及PE控制電路。處理器件之範例包括但不限於微處理器、微控制器、可程式化邏輯(例如場可程式化閘極陣列)及/或其組合。測試器12亦包括電腦介面52，其使電腦系統14可控制藉由測試器12執行之操作，並且亦使資料(例如測試參數、DUT回應等)可在測試器12與電腦系統14間傳遞。

再參考圖1，某些具體實施例中，測試器12將抖動引入施加於受測試器件18之測試信號19，以回應抖動而分析受測試器件18之性能。一般而言，抖動係信號邊緣之期望出現與邊緣實際出現時間之間的差異。接收器件(例如受測試器件18)上，藉由在特定時刻(稱為取樣瞬時)取樣信號而從信號擷取資訊。理想地，該等取樣瞬時始終發生於資料位元時間中心，與兩個相鄰邊緣轉變點等距；然而情形不一定如此。抖動存在改變信號邊緣相對於取樣瞬時之位置，其可引起誤差及同步丟失。測試器12有意偏移施加於受測試器件18之測試信號19的邊緣位置，以便施加之測試信號19顯現為包括抖動。

抖動以兩種不同類型出現：隨機抖動及確定性抖動。隨機抖動由來源造成，例如器件熱雜訊。確定性抖動可由以下因素造成但不限於該等因素：電源供應波動、電源線雜訊、串擾、負載週期扭曲及資料相依的抖動。資料相依的 抖動係確定性抖動之成分，其造成隨資料型樣變更(亦稱為符號間干擾或ISI)的時序誤差。由資料相依的抖動引起之時序可依次產生負載週期扭曲或符號間干擾。資料相依的抖動通常源自組件及系統頻寬限制及信號衰減。發射之信號的較高頻率分量比較低頻率分量具有更少安定時間，並且更迅速地衰減。此導致信號邊緣之開始狀況的變化，並產生取決於所應用之資料型樣的時序誤差。

參考圖1，測試器12包括資料修改器11，其修改向量來源資料13，使得修改向量來源資料在作為測試信號19施加於受測試器件18時，顯現為包括資料相依的抖動。根據受測試器件18對包括資料相依的抖動之測試信號19之回應，可分析受測試器件18對資料相依的抖動之容差。測試器12經組態用以在抖動內射中提供可重複性。在抖動與來源型樣資料之關係(時間/位置)中高度可重複之量子化資料相依的抖動可引入測試信號。比較隨機引入至測試信號內之抖動，咸信為抖動提供可重複型樣可提供各種優點。例如，測試器12可根據來源資料之相同序列引入相同抖動內射，因此若從測試器12向DUT重複地執行相同型樣，則每次將觀察到相同抖動序列。咸信可重複性對於除錯及診斷客戶(DUT)錯誤以及測試器設備錯誤很有用。某些實施方案中，用於客戶測試狀況之可重複性非常重要，因為若無此可重複性，則不可能宣告測試器正在如客戶所請求的一樣對各組件(各種DUT)應用期望狀況。診斷測試器設備錯誤對減少停機時間及改善客戶輸出很重要。

參考圖3，顯示用於測試受測試器件18對於資料相依的抖動之容差的程序55。測試器12取回向量來源資料(56)。向量來源資料係數位(例如1及0)或欲應用於受測試器件18之測試型樣的演算法表示。測試器12改變向量來源資料以產生冗餘向量來源資料(57)。一般而言，為產生冗餘向量來源資料，測試器12以多個冗餘樣本取代非冗餘向量來源資料內之各數字。例如，若非冗餘向量來源資料包括型樣「0 1 0 1 0」並且測試儀器為非冗餘向量來源資料內之各樣本引入四個樣本，最終冗餘向量來源資料則為「0000 1111 0000 1111 0000」。本文中非冗餘向量來源資料內之各樣本及/或冗餘向量來源資料內之對應冗餘樣本集稱為使用者間隔。上述範例中，第一使用者間隔包括非冗餘向量來源資料內之「0」及冗餘向量來源資料內之「0000」，第二使用者間隔包括非冗餘向量來源資料內之「1」及冗餘向量來源資料內之「1111」，第三使用者間隔包括非冗餘向量來源資料內之「0」及冗餘向量來源資料內之「0000」，依此類推。

對於一使用者間隔，冗餘向量來源資料內之冗餘樣本數目對非冗餘向量來源資料內之樣本數目的比率可根據測試器12對受測試器件18之操作頻率比率加以選擇。為以數位方式引入資料相依的抖動，測試器12在比受測試器件18之有效速率更快(例如，操作頻率更高)的有效速率下運作。由於操作頻率差異，在測試器12之操作頻率下應用冗餘向量來源資料對於受測試器件18顯現為似乎非冗餘向量來源 資料係在受測試器件18之操作頻率下應用。

例如，如圖4所示，用於受測試器件(由用於受測試器件18之時脈信號70指示)之示範性操作頻率可為測試器12(由用於測試器12之時脈信號72指示)之操作頻率的四分之一。根據此範例，非冗餘向量來源資料(顯示於線路74內)包括「0 1 0」型樣。由於測試儀器之操作頻率比受測試器件18之操作頻率大四倍，冗餘向量來源資料(顯示於線路76內)包括用於非冗餘向量來源資料74內之各位元的四個冗餘樣本。因此，冗餘向量來源資料具有「0000 1111 0000」型樣。

再次參考圖3所示範例，在產生冗餘向量來源資料後，測試器12將資料相依的抖動引入冗餘向量來源資料(58)。為引入資料相依的抖動，測試器12在使用者間隔之開始或結束修改(例如從「1」變為「0」或從「0」變為「1」)冗餘位元之一或多個位元。在冗餘位元群組之開始修改一或多個位元會延遲施加於受測試器件18之測試信號的轉變，使得信號顯現為具有資料相依的抖動。資料相依的抖動之頻率內容及量值由修改冗餘向量來源資料內位元以及修改之連續樣本數目的頻率來控制。測試器12將修改向量來源資料(其包括資料相依的抖動)應用於受測試器件18(59)並分析受測試器件18之性能(60)。

再參考圖4所示範例，修改冗餘向量來源資料76以產生修改向量來源資料78。修改向量來源資料78中，第二使用者間隔中四個冗餘位元集內之第一位元從「1」變為 「0」。藉由修改使用者間隔之第一位元，將第一與第二使用者間隔間從「0」至「1」之期望轉變時間延遲從期望轉變時間80至延遲轉變時間84的一時間數量82。當應用於受測試器件18時，切換時間延遲導致測試信號顯現為具有資料相依的抖動。

參考圖5，某些具體實施例中，測試系統96可包括主機電腦14，其利用軟體來修改向量來源資料90。主機電腦14提供修改向量來源資料至測試器12。測試器12根據包括資料相依的抖動之修改向量來源資料將測試信號19施加於受測試器件18。

主機電腦14包括向量格式化模組92。模組92包括軟體，其使主機電腦14將非冗餘向量來源資料90修改為可由測試器12之類比電子元件利用的格式，該等類比電子元件在高於受測試器件18之速度下運作(例如，模組92根據最初供應之非冗餘向量來源資料產生冗餘向量資料)。模組92亦利用基於軟體之演算法將資料相依的抖動引入冗餘向量來源資料。

格式化向量來源資料後，主機電腦將修改向量來源資料傳送至測試器12。測試器12包括記憶體89，其包括儲存修改向量來源資料之修改向量來源儲存庫91。測試器12亦包括類比前端器件94，其在測試儀器之運作速度(例如高於受測試器件18之操作頻率的一頻率)下將儲存於修改向量來源儲存庫91內的修改冗餘向量來源資料應用於受測試器件18。以下就圖6詳細說明用以引入抖動之向量來源資料 之修改。

參考圖6，顯示由模組92用於修改冗餘向量來源資料以產生包括資料相依的抖動之測試信號的向量格式化程序100。根據一演算法，向量格式化模組92選擇目標使用者間隔編號(102)。目標使用者間隔編號指示冗餘向量來源資料內之使用者間隔，其可能藉由格式化程序100修改以包括資料相依的抖動。向量格式化模組92取回用於目標使用者間隔之冗餘向量來源資料(104)。為修改使用者間隔，向量格式化模組92亦利用關於稱為來源使用者間隔之選定目標使用者間隔之前及/或隨後的使用者間隔之內容的資訊。向量格式化模組92選擇來源使用者間隔編號(106)。來源使用者間隔編號指示冗餘向量來源資料內之使用者間隔，其提供由測試器12用於修改目標使用者間隔的資訊。向量格式化模組92取回用於來源使用者間隔之冗餘向量來源資料(108)。取回用於目標及來源使用者間隔之冗餘來源資料後，向量格式化模組92應用一覆寫演算法以採用來自來源使用者間隔之一或多個樣本覆寫目標使用者間隔之一或多個樣本(110)。隨後，向量格式化模組92將用於目標使用者間隔(112)之修改資料儲存於記憶體89內。因此，程序100以新修改向量來源資料覆寫最初向量來源資料。從受測試器件18角度觀察，修改向量來源資料將顯現為具有資料相依的抖動。

參考圖7，顯示利用程序100的向量來源資料之示範性修改。此範例中，測試器12在四倍於受測試器件18之操作頻 率下運作。向量格式化模組92取回非冗餘向量來源資料(步驟120內顯示其前十八個使用者間隔)並以冗餘向量來源資料覆寫非冗餘向量來源資料(步驟122內顯示其前十八個使用者間隔)。向量格式化模組92選擇目標使用者間隔(102)並取回用於目標使用者間隔之冗餘資料(104)。此範例中，目標使用者間隔係使用者間隔編號7，因此向量格式化模組92取回冗餘資料「0000」(由箭頭128a指示)。向量格式化模組92亦選擇來源間隔(106)並取回用於來源使用者間隔之冗餘資料(108)。此範例中，來源使用者間隔係目標使用者間隔128a之前的使用者間隔，即使用者間隔編號6(由箭頭126a指示)。同樣，向量格式化模組92從使用者間隔編號6取回冗餘資料「1111」。向量格式化模組92以來自來源使用者間隔(例如間隔編號6)之最後位元覆寫目標使用者間隔之第一位元，例如間隔編號7(110)，以產生如箭頭128b所指示之修改使用者間隔。因此，由於來源使用者間隔包括樣本「1111」且目標使用者間隔包括樣本「0000」，以來源使用者間隔之最後樣本覆寫目標使用者間隔之第一樣本產生修改目標使用者間隔「1000」。向量格式化模組92儲存需欲應用於受測試器件18的修改測試型樣(步驟124內顯示其前十八個使用者間隔)。

參考圖8，某些具體實施例中，測試系統131包括測試器130，其利用基於硬體之演算法以修改向量來源資料並提供測試信號19，從受測試器件18之角度看，其顯現為具有資料相依的抖動。測試器130包括儲存向量來源資料133之 記憶體137、向量格式化轉移函數區塊132、資料相依的抖動控制區塊134及類比前端136。向量格式化轉移函數區塊132及資料相依的抖動控制區塊134改變最初向量來源資料133以產生修改向量來源型樣135，而不修改儲存於記憶體137內之最初向量來源資料133。為產生修改向量來源型樣135，向量格式化轉移函數區塊132將最初向量來源型樣133轉化為可由類比前端136利用之格式的冗餘向量來源型樣。資料相依的抖動控制區塊134藉由修改冗餘資料將資料相依的抖動引入冗餘使用者型樣，以產生改變向量來源型樣135。

更特定言之，如圖9所示，資料相依的抖動控制區塊134包括使用者間隔選擇器140、使用者間隔資料內容限定器150及資料修改器160。使用者間隔選擇器140從冗餘資料樣本中識別適當使用者間隔(例如目標使用者間隔及來源使用者間隔)，並提供使用者間隔編號至使用者間隔資料限定器150。使用者間隔資料限定器150根據抖動演算法識別是否修改由使用者間隔選擇器140選定的目標使用者間隔。若使用者間隔資料限定器150決定應修改特定使用者間隔，資料修改器160修改該使用者間隔以將資料相依的抖動引入信號並提供修改資料162至測試器130之類比前端136。

參考圖10，顯示用於利用測試系統131修改向量來源資料133以引入資料相依的抖動之示範性程序170。使用者間隔選擇器140提供當前來源使用者間隔編號142至內容限定 器150(172)並提供當前目標使用者間隔編號144至內容限定器150(174)。根據接收之來源及目標使用者間隔編號142及144，內容限定器150從向量格式化轉移函數區塊132取回相關聯之冗餘資料樣本146(176)。內容限定器150決定是否應修改目標使用者間隔(178)並向資料修改器160提供一信號152，其指示是否應修改目標使用者間隔。內容限定器150亦提供冗餘資料樣本158至資料修改器160。資料修改器160根據信號152決定是否應修改目標資料(182)。若應修改目標使用者間隔資料，資料修改器160修改冗餘資料樣本(188)並遞送修改冗餘資料樣本至類比前端136，以便應用於受測試器件18(190)。使用者間隔選擇器140遞增來源及目標使用者間隔編號並重複程序170(192)。若目標使用者間隔資料不需要修改，資料修改器160將最初冗餘資料樣本遞送至類比前端136，以便應用於受測試器件18(184)。使用者間隔選擇器140遞增來源及目標使用者間隔編號並利用更新之目標及來源使用者間隔編號重複程序170(186)。

參考圖11，顯示利用程序170的最初向量來源資料194之示範性修改。向量格式化轉移函數格式化最初向量來源資料194以產生冗餘向量來源資料196。此範例中，四個冗餘樣本用於取代最初向量來源資料194內之各樣本，並程式化(或硬編碼)資料相依的抖動控制134以將資料相依的抖動引入各較低至較高轉變。前三個使用者間隔(UI編號1、UI編號2及UI編號3)均較低，因此不需要冗餘向量來源資料 196之修改。當使用者間隔選擇器140到達目標使用者間隔編號4及來源使用者間隔編號3時，使用者間隔資料內容限定器150決定已滿足低至高轉變之準則(例如低至高轉變可如用作圖10之182的檢查準則一樣作用)。由於此轉變滿足用於插入資料相依的抖動之條件，使用者間隔資料內容限定器150將指示應修改第四使用者間隔的信號152傳送至資料修改器160。資料修改器以第三使用者間隔之最後位元(由箭頭199指示)取代第四使用者間隔之第一位元(由箭頭200指示)，以便在插入資料相依的抖動後，第四使用者間隔係如箭頭201所指示的「0111」。

參考圖12，某些具體實施例中，當信號已保持邏輯相反狀態達預定使用者間隔數目時，系統209可經組態用以在邏輯低/高或高/低轉變後插入資料相依的抖動。例如，若信號已保持低邏輯狀態達多個使用者間隔，可插入資料相依的抖動以延遲從低至高的轉變。為根據測試信號已保持相同狀態的週期數目在轉變前插入資料相依的抖動，系統209包括使用者間隔資料內容限定器214，其包括計數器216。計數器216維持使冗餘資料樣本保持相同邏輯狀態的使用者間隔之運行總數。與上述測試系統類似，若滿足用於插入資料相依的抖動之準則，使用者間隔資料內容限定器214將信號218傳送至資料修改器282，並且資料修改器282修改冗餘資料樣本之使用者間隔。

參考圖13，顯示用於利用系統209將資料相依的抖動插入測試信號之程序230。使用者間隔資料內容限定器214接 收當前(例如目標)冗餘資料樣本(232)。使用者間隔資料內容限定器214將當前冗餘資料樣本與先前(例如來源)冗餘資料樣本比較(234)並決定當前樣本是否具有與先前資料樣本相同之邏輯狀態(例如0或1)(236)。若樣本具有與先前樣本相同之邏輯狀態，使用者間隔資料內容限定器214遞增計數器216(238)。若當前樣本不同於先前樣本，其指示邏輯轉變已發生(236)，使用者間隔資料內容限定器214決定計數器216之當前值大於還是等於臨限值(240)。若計數器值小於臨限值，使用者間隔資料內容限定器214重設計數器(244)並且不修改當前目標使用者間隔資料。若計數器值大於或等於臨限值，資料修改器222修改當前資料以引入資料相依的抖動(242)並重設計數器(244)。

參考圖14，顯示利用程序230的向量來源資料之示範性修改。向量格式化模組格式化最初向量來源資料250以產生冗餘向量來源資料252。此範例中，四個冗餘樣本用於取代最初向量來源資料250內之各樣本。使用者間隔資料內容限定器214根據冗餘向量來源資料210已保持邏輯狀態的週期數目在轉變至另一邏輯狀態前引入抖動。此範例中，用於插入資料相依的抖動之臨限值為三。然而，其他週期數目(例如2、4、5、6、7、8、9、10等等)可用於該臨限值。最初，使用者間隔資料內容限定器214將計數器216設定為一。由於第一邏輯位準轉變係從第一使用者間隔(UI編號1)至第二使用者間隔(UI編號2)，不會修改第二使用者間隔。轉變後，使用者間隔資料內容限定器214將計 數器216重設為一。使用者間隔選擇器將目標UI更新至第三使用者間隔，並將來源使用者間隔更新至第二使用者間隔。來源及目標具有不同邏輯位準並且計數器為一，因此使用者間隔資料內容限定器214重設計數器並將來源及目標使用者間隔編號分別遞增至3及4。第三及第四使用者間隔具有相同邏輯位準，因此使用者間隔資料內容限定器214將計數器遞增至2並將來源及目標使用者間隔編號遞增至4及5。第四及第五使用者間隔具有相同邏輯位準，因此使用者間隔資料內容限定器214將計數器遞增至3並將來源及目標使用者間隔編號遞增至5及6。第五及第六使用者間隔(分別由箭頭256a及258a指示)具有不同邏輯位準並且當前計數器係3，其指示低至高轉變前存在三個具有相同邏輯位準之使用者間隔。由於計數器等於臨限值，使用者間隔資料內容限定器214將信號傳送至資料修改器222，以修改第六使用者間隔。資料修改器222以第三使用者間隔之最後位元(由箭頭256b指示)取代第六使用者間隔之第一位元(由箭頭258b指示)，以便在插入資料相依的抖動後，第六使用者間隔係「0111」。與來源樣本資料之修改平行地，將計數器(216)重設為1。

雖然上文已說明用於修改向量來源資料之各種演算法，其他演算法亦可行。一般而言，可利用可以硬體及/或軟體代表的任何演算法。一範例中，資料相依的抖動演算法可在預定義重複間隔下修改資料。另一範例中，資料相依的抖動演算法可在一系列預定義重複間隔下修改資料，其 中步進通過該等間隔係按一可定義序列。一額外範例中，資料相依的抖動演算法可在由預定義偽隨機間隔定義的一系列點上修改資料。另一範例中，資料相依的抖動演算法可在由使用者型樣流之變換定義的一系列點上修改資料，例如每一邏輯轉變或每隔一個邏輯轉變。

雖然在上述範例中，冗餘向量來源資料內位元數目對非冗餘向量來源資料之比率係顯示為4，其他比率也可行。一般而言，對於一使用者間隔，冗餘向量來源資料內之冗餘位元數目對非冗餘向量來源資料內之位元數目的比率可根據測試儀器之操作頻率對受測試器件之操作頻率的比率加以選擇。例如，比率可至少為大約4(例如大約5、大約6、大約7、大約8、大約9、大約10)。資料相依的抖動之頻率及量值可藉由修改型樣資料之頻率及從其最初狀態改變的連續樣本之數目來控制。下表顯示示範性抖動量值百分比，其係根據使用者間隔內之樣本總數目及修改樣本數目。

本文所述程序並不限於與本文所述之硬體及軟體一起利用。可將本文所述程序實施於數位電路中，或電腦硬體、韌體、軟體或其組合中。

可至少部分經由電腦程式產品實施本文所述之程序的全部或部分，即有形地具體化於資訊載體內之電腦程式，例如機器可讀取儲存器件中或傳播信號中，以便由資料處理裝置執行或控制其操作，例如可程式化處理器、電腦或多個電腦。一電腦程式可採用任一程式化語言形式寫入，包括編譯或解釋語言，且其可採用任一形式部署，包括部署成一獨立程式或一模組、組件、子常式或適用於一計算環境的其他單元。可部署電腦程式以在一個電腦或位於一地點或分佈於多個地點中並藉由通信網路互連的多個電腦上執行。

可藉由一或多個可程式化處理器，其執行一或多個電腦 程式以執行程序功能，執行與本文所述之實施程序相關聯的方法步驟。本文所述之程序的全部或部分可實施為專用邏輯電路，例如FPGA(場可程式化閘極陣列)及/或ASIC(特定應用積體電路)。

舉例來說，適合執行電腦程式之處理器包括通用及專用微處理器，以及任何種類之數位電腦的任何一個或多個處理器。一般而言，一處理器將從一唯讀記憶體或一隨機存取記憶體或二者接收指令及資料。電腦之元件包括用於執行指令之處理器與用於儲存指令及資料之一或多個記憶體器件。

以上已說明本發明的一些具體實施例。不過應明白，可進行各種修改而不會脫離本發明之精神及範疇。不同具體實施例之元件可加以組合，以產生本文未明確說明的具體實施例。

因此，其他具體實施例都屬於下列申請專利範圍的範疇內。

10‧‧‧系統

11‧‧‧資料修改器

12‧‧‧測試器

14‧‧‧電腦系統/主機電腦

16‧‧‧硬線連結

18‧‧‧受測試器件

20‧‧‧導體

22‧‧‧接針

24‧‧‧介面卡

26‧‧‧介面卡

28‧‧‧介面卡

30‧‧‧IC晶片

32‧‧‧PMU級

34‧‧‧PE級

36‧‧‧IC晶片

38‧‧‧IC晶片

40‧‧‧導電迹線

42‧‧‧介面板連接器

44‧‧‧導體

46‧‧‧介面連接器

48‧‧‧PMU控制電路

50‧‧‧PE控制電路

52‧‧‧電腦介面

89‧‧‧記憶體

91‧‧‧修改向量來源儲存庫

92‧‧‧向量格式化模組

94‧‧‧前端器件

96‧‧‧測試系統

130‧‧‧測試器

131‧‧‧測試系統

132‧‧‧向量格式化轉移函數區塊

134‧‧‧資料相依的抖動控制區塊

135‧‧‧修改向量來源型樣

136‧‧‧類比前端

137‧‧‧記憶體

140‧‧‧使用者間隔選擇器

150‧‧‧使用者間隔資料內容限定器

160‧‧‧資料修改器

209‧‧‧系統

214‧‧‧使用者間隔資料內容限定器

216‧‧‧計數器

222‧‧‧資料修改器

圖1係用於測試器件之ATE的方塊圖。

圖2係用於ATE內之測試器的方塊圖。

圖3係測試程序之流程圖。

圖4係用於測試信號之時序的範例。

圖5係測試器及受測試器件之方塊圖。

圖6係資料修改程序之流程圖。

圖7顯示示範性非冗餘測試資料、冗餘測試資料及修改 測試資料。

圖8係測試器及受測試器件之方塊圖。

圖9係測試器之組件的方塊圖。

圖10係測試資料修改程序之流程圖。

圖11顯示示範性非冗餘測試資料、冗餘測試資料及修改測試資料。

圖12係測試器之組件的方塊圖。

圖13係資料修改程序之流程圖。

圖14顯示示範性非冗餘測試資料、冗餘測試資料及修改測試資料。

(無元件符號說明)

Claims (21)

1. 一種使用一測試儀器之方法，其包含：產生一測試型樣，其包含複數個間隔，該等間隔之各個包含對應於一測試來源型樣內之一樣本的若干冗餘樣本，其中該冗餘樣本數目係根據一測試器之一操作頻率與一受測試器件之一操作頻率間的一差異，該測試器之該操作頻率大於該受測試器件之該操作頻率；以及以數位方式修改該測試型樣以產生一修改測試型樣，其包括資料相依的抖動。
2. 如請求項1之方法，其進一步包含在該測試器之該操作頻率下對該受測試器件應用該修改測試型樣。
3. 如請求項1之方法，其中以數位方式修改該測試型樣包含以來自先於一特定間隔之一間隔的一樣本取代來自該特定間隔之一或多個樣本。
4. 如請求項3之方法，其中取代該一或多個樣本包含以來自一直接前一間隔之最後樣本取代該間隔內之第一樣本。
5. 如請求項1之方法，其中以數位方式修改該測試型樣包含以來自一特定間隔後之一間隔的一樣本取代來自該特定間隔之一或多個樣本。
6. 如請求項5之方法，其中取代該一或多個樣本包含以來自一直接隨後間隔之第一樣本取代該間隔內之最後樣本。
7. 如請求項1之方法，其進一步包含： 根據使用者輸入決定資料相依的抖動之一數量，以引入該測試型樣；以及根據資料相依的抖動之該決定數量決定是否修改該測試型樣之一特定間隔的一或多個樣本。
8. 如請求項1之方法，其進一步包含：接收一資料相依的抖動演算法；以及根據該演算法決定是否修改該測試型樣之一特定間隔的一或多個樣本。
9. 如請求項1之方法，其進一步包含根據儲存於包括在該測試器內之一記憶體中的一演算法決定是否修改該測試型樣之一特定間隔的一或多個樣本。
10. 如請求項1之方法，其中修改該測試型樣包含：應用一基於軟體之演算法以修改該測試型樣；以及採用該修改測試型樣覆寫該測試型樣。
11. 如請求項10之方法，其中應用一基於軟體之演算法以修改該測試型樣包含：在第一週期期間，應用一基於軟體之演算法以修改該測試型樣；以及在第二週期期間，應用一基於軟體之演算法以修改該測試型樣，在該第一週期期間產生之該等修改與在該第二週期期間產生之該等修改相同。
12. 如請求項1之方法，其中修改該測試型樣包含利用包括在該測試器內之一電路即時修改該測試型樣。
13. 如請求項12之方法，其中修改該測試型樣進一步包含： 在第一週期期間，應用一基於軟體之演算法以修改該測試型樣；以及在第二週期期間，應用一基於軟體之演算法以修改該測試型樣，在該第一週期期間產生之該等修改與在該第二週期期間產生之該等修改相同。
14. 如請求項1之方法，其中該樣本數目等於該測試器之該操作頻率對該受測試器件之該操作頻率的一比率。
15. 一種測試系統，其包含：一測試器，其經組態用以：產生一測試型樣，其包含複數個間隔，該等間隔之各個包含對應於一測試來源型樣內之一樣本的若干冗餘樣本，其中該冗餘樣本數目係根據一測試器之一操作頻率與一受測試器件之一操作頻率間的一差異，該測試器之該操作頻率大於該受測試器件之該操作頻率；以及以數位方式修改該測試型樣以產生一修改測試型樣，其包括資料相依的抖動。
16. 如請求項15之測試系統，其中該測試器進一步包含經組態用以在該測試器之該操作頻率下對該受測試器件應用該修改測試型樣的一類比前端。
17. 如請求項15之測試系統，其中使該測試器以數位方式修改該測試型樣之該等組態進一步包含以來自先於一特定間隔之一間隔的一樣本取代來自該特定間隔之一或多個樣本的組態。
18. 如請求項17之測試系統，其中使該測試器取代該一或多 個樣本之該等組態包含使該測試器以來自一直接前一間隔之最後樣本取代該間隔內之第一樣本的組態。
19. 如請求項15之測試系統，其中使該測試器以數位方式修改該測試型樣之該等組態進一步包含以來自一特定間隔後之一間隔的一樣本取代來自該特定間隔之一或多個樣本的組態。
20. 如請求項19之測試系統，其中使該測試器取代該一或多個樣本之該等組態包含使該測試器以來自一直接隨後間隔之第一樣本取代該間隔內之最後樣本的組態。
21. 如請求項15之測試系統，其進一步包含經組態用以儲存用於決定是否修改該測試型樣之一特定間隔的一或多個樣本之一演算法的一記憶體。