TWI408523B - 記錄移動平台運動軌跡的系統與方法 - Google Patents

Description

記錄移動平台運動軌跡的系統與方法

本發明是有關於一種記錄運動軌跡的系統與方法，且特別是有關於一種記錄移動平台之實際運動軌跡的系統與方法。

對高精密的機械移動平台而言，如果想要分析/量測它的運動路徑，最直接的方法就是擷取移動平台之驅動機構(例如馬達)上之編碼器的位移及速度資料，藉此再利用電腦加以處理，從而重建出移動平台的運動軌跡。然而，如果連編碼器本身都是待診斷的對象時，那此法就不適合使用。

除此之外，另外一種做法就是使用雷射干涉儀。使用雷射干涉儀用以分析/量測移動平台之運動路徑的精密度可以很高，但其終究比較適合單軸的量測。如果想要量測二維的運動路徑，就需要同時架設雙軸的雷射干涉儀，藉此取得雙軸的運動資料後，再經由電腦加以處理，從而重建出移動平台的運動軌跡。

然而，如果想要分析/量測的運動範圍較大時，由於雙軸都需要準備長度較長的反射鏡，而此舉不但會增加分析/量測成本，且對雷射干涉儀的架設也會比較不方便。縱使使用雷射干涉儀分析/量測移動平台之運動路徑的精密度會比較高，但是由量測數據再轉為運動軌跡終究是比較間 接的方式。況且，雷射干涉儀的單價都非常高，因此實用上也不易普及。

本發明提供一種記錄移動平台運動軌跡的方法，其包括：首先，提供一記錄平板，以固定於移動平台上；接著，提供一光學讀寫裝置，以將光學讀寫裝置之一光束聚焦在所述記錄平板的表面；之後，分別設定移動平台的一運動參數與光學讀寫裝置的一寫入參數；最後，啟動移動平台與光學讀寫裝置，藉以使得光學讀寫裝置依據所述寫入參數而將移動平台依據所述運動參數所實際行經的運動軌跡記錄在所述記錄平板的表面。

本發明另提供一種記錄移動平台運動軌跡的系統，其包括移動平台、記錄平板，以及承載裝置。其中，記錄平板係固定於移動平台上；而承載裝置則用以承載光學讀寫裝置。當移動平台與光學讀寫裝置被啟動時，光學讀寫裝置會提供一光束以聚焦在記錄平板的表面，並且依據一寫入參數而將移動平台依據一運動參數所實際行經的運動軌跡記錄在所述記錄平板的表面。

本發明另提供一種記錄移動平台運動軌跡的系統，其包括承載裝置、記錄平板，以及移動平台。其中，記錄平板係固定於承載裝置上；而移動平台則用以承載光學讀寫裝置。當移動平台與光學讀寫裝置被啟動時，光學讀寫裝置會提供一光束以聚焦在記錄平板的表面，並且依據一寫 入參數而將移動平台依據一運動參數所實際行經的運動軌跡記錄在記錄平板的表面。

本發明另提供一種記錄移動平台運動軌跡的系統，其包括第一移動平台、第二移動平台，以及記錄平板。其中，第一移動平台用以承載光學讀寫裝置；而記錄平板則固定於第二移動平台上。當第一與第二移動平台被啟動時，光學讀寫裝置會提供一光束以聚焦在記錄平板的表面，並且依據一寫入參數而將第一與第二移動平台分別依據第一運動參數與第二運動參數所實際行經的相對運動軌跡記錄在記錄平板的表面。

本發明另提供一種記錄移動平台運動軌跡的方法，其包括：首先，提供一記錄平板，以固定於一承載裝置上；接著，提供一光學讀寫裝置，以承載於一移動平台上，並將光學讀寫裝置之一光束聚焦在記錄平板的表面；之後，分別設定移動平台的一運動參數與光學讀寫裝置的一寫入參數；最後，啟動移動平台與光學讀寫裝置，藉以使得光學讀寫裝置依據所述寫入參數而將移動平台依據所述運動參數所實際行經的運動軌跡記錄在記錄平板的表面。

本發明另提供一種記錄移動平台運動軌跡的方法，其包括：首先，提供一光學讀寫裝置，以承載於一第一移動平台上；接著，提供一記錄平板，以固定於一第二移動平台上，其中光學讀寫裝置之一光束會聚焦在記錄平板的表面；之後，分別設定第一與第二移動平台的一第一與一第二運動參數以及光學讀寫裝置的一寫入參數；最後，啟動 第一與第二移動平台以及光學讀寫裝置，藉以使得光學讀寫裝置依據所述寫入參數而將第一與第二移動平台分別依據所述第一與第二運動參數所實際行經的相對運動軌跡記錄在記錄平板的表面。

應瞭解的是，上述一般描述及以下具體實施方式僅為例示性及闡釋性的，其並不能限制本發明所欲主張之範圍。

現將詳細參考本發明之幾個實施例，在附圖中說明所述幾個實施例之實例。另外，凡可能之處，在圖式及實施方式中使用相同標號的元件/構件/符號代表相同或類似部分。

圖1繪示為本發明一實施例之記錄移動平台運動軌跡之系統100的示意圖。請參照圖1，系統100包括移動平台101、記錄平板103、承載裝置105、光學讀寫裝置107、移動平台控制裝置109、寫入參數控制裝置111、處理單元113、觀測裝置115，以及顯微鏡117(例如為電子/光學/原子力顯微鏡)。其中，記錄平板103係固定於移動平台101上，且此記錄平板103之表面103a具有無機光阻(例如至少包含鍺(Ge)與銻(Sb)兩種材料，或者至少包含銻(Sb)與碲(Te)兩種材料，但皆不限制於此)、或有機光阻或染料。

然而，在此必須強調的是，若記錄平板103的材質(亦即具有可以吸收光學讀寫裝置107之光束且可以在其上產 生記號的所有材質)本身對光學讀寫裝置107之光束的反應已如同於光阻效果般的話，則記錄平板103之表面103a就不需再濺鍍或塗佈光阻或染料就可以直接使用。

承載裝置105係用以承載光學讀寫裝置107，例如為光學讀寫頭(Optical pickup head,OPUH)，以下統稱為光學讀寫頭107。於本實施例中，當移動平台101與光學讀寫頭107被啟動時，光學讀寫頭107會提供一道光束以聚焦在記錄平板103的表面103a，並且依據一組寫入參數而將移動平台101依據一組運動參數所實際行經的運動軌跡記錄在記錄平板103的表面103a。易言之，光學讀寫頭107依據一組寫入參數而將移動平台101之實際行經的運動軌跡記錄在記錄平板103的表面103a，其中移動平台101將依據一組運動參數完成實際行經的運動軌跡。

更清楚地說，移動平台控制裝置109耦接移動平台101，用以設定移動平台101的運動參數，並據以啟動及控制移動平台101。於本實施例中，移動平台101的運動參數例如至少包括移動平台101的平移運動路徑與平移運動速度，但並不限制於此。

寫入參數控制裝置111耦接光學讀寫頭107，用以依據記錄平板103的材料特性來定義與設定光學讀寫頭107的寫入參數，並據以啟動及控制光學讀寫頭107。於本實施例中，光學讀寫頭107的寫入參數至少包括光學讀寫頭107的寫入頻率、寫入功率以及寫入模式(但並不限制於此)，其中寫入模式又可為連續寫入模式、脈衝寫入模式 或連續與脈衝混合寫入模式等。

處理單元113耦接光學讀寫頭107，用以對光學讀寫頭107所輸出的光拾取訊A、B、C與D訊號進行運算，藉以獲得多個聚焦誤差訊號(Focusing Error Signal；通常又叫做S-curve)FES。觀測裝置115(例如為示波器，但並不限制於此)耦接處理單元113，用以顯示光學讀寫頭107的伺服訊號，例如聚焦誤差訊號FES(亦即S-curve)。顯微鏡117用以對記錄有移動平台101依據移動平台控制裝置109所設定之運動參數所實際行經之運動軌跡的記錄平板103進行分析及拍照存檔。

圖2繪示為本發明一實施例之光學讀寫頭107的方塊示意圖。請合併參照圖1與圖2，光學讀寫頭107包括物鏡201、雷射光源203、聚焦致動器205、分光鏡207，以及光偵測器209。其中，雷射光源203受控於寫入參數控制裝置111的控制訊號，用以提供光束(亦即雷射光束)。

聚焦致動器205耦接物鏡201並受控於寫入參數控制裝置111的控制訊號，用以移動(例如上下移動)於光束之投射路徑上的物鏡201。於本實施例，聚焦致動器205為單軸聚焦致動器，僅做上下運動。當然，對某些超高精密系統其固定機構與移動平台之間距，在平台移動時，仍然可以維持在聚焦物鏡的焦深範圍裡面變化，或使用者對記錄平板記錄的線寬均勻性要求較低時，這時候光學讀寫裝置是可以不必使用聚焦致動器。分光鏡207位於物鏡201與雷射光源203之間，用以擷取出光束投射至記錄平板103 的反射光。

光偵測器209用以對分光鏡207所擷取的反射光進行轉換，藉以獲得4個光拾取訊號(pickup signals)A、B、C與D。圖1中的處理單元113會耦接至光偵測器209，用以對光拾取訊A、B、C與D號進行運算，藉以獲得多個聚焦誤差訊號FES(亦即S-curve)，其中聚焦誤差訊號FES可依據公式FES=(A+C)-(B+D)而計算出來。上述聚焦誤差訊號FES為使用像散法，這在一般光碟機的光學讀取頭是極為常見的手法。當然也可以使用刀緣法(Knife-edge)或差異光點大小法(Differential spot size)等方法，此時，光偵測器209的分割及相關訊號的運算會稍有差異。另外，在本實施例中，處理單元113可以為一個獨立存在的模組，但於本發明實施例中，也可以與寫入參數控制裝置111整合在一起。

於此，為了要清楚說明系統100中各部件間的運作機制/流程，以下將舉出一種記錄移動平台運動軌跡的方法，藉以搭配圖1與圖2來一併作說明如下。

圖3繪示為本發明一實施例之記錄移動平台運動軌跡的方法流程圖。請合併參照圖1至圖3，本實施例之記錄移動平台運動軌跡的方法包括：提供一記錄平板103，以固定於移動平台101上(步驟S301)；接著提供一光學讀寫頭107，以將光學讀寫頭107之光束聚焦在記錄平板103的表面103a(步驟S303)。當然，於步驟S303中所提供的光學讀寫頭107係承載於承載裝置105上，而承載裝置 105與光學讀寫頭107間的組合機構實屬本領域之技術人員所熟識，故在此並不再加以贅述之。

於本實施例中，為了要使光學讀寫頭107之光束可以聚焦在記錄平板103的表面103a上，必需先透過移動平台101而將記錄平板103移動至光學讀寫頭之物鏡201的下方(步驟S303_1)，當然，也可以直接將記錄平板103直接放置於光學讀寫頭之物鏡201的下方，不過需非常小心，因為通常物鏡的工作距離都很小。接著調整物鏡201與記錄平板103的間距，藉以使記錄平板103實質上在物鏡201的焦平面上(意思為物鏡201的焦平面附近)(步驟S303_2)，通常若是記錄平板103能調整到實質上在物鏡201的焦平面上時，對後續聚焦致動器205帶動物鏡201作聚焦伺服時，聚焦致動器205的穩定性會比較高，若是記錄平板103偏離物鏡201的焦平面較多時，後續聚焦致動器205帶動物鏡201作聚焦伺服時，雖然物鏡201之焦點可能仍然可以鎖定在記錄平板103表面，但是系統會比較不穩定。

之後，透過寫入參數控制裝置111來啟動光學讀寫頭107之雷射光源203，藉以使雷射光源203提供光束(步驟S303_3)後，再透過寫入參數控制裝置111來啟動光學讀寫頭107之聚焦致動器205，藉以移動(亦即上下移動)於光束之投射路徑上的物鏡201(步驟S303_4)，然後再透過光學讀寫頭107之分光鏡207擷取出光束投射至記錄平板103的反射光(步驟S303_5)。

緊接著，再透過光學讀寫頭107之光偵測器209對分光鏡207所擷取出的反射光進行轉換(亦即將光訊號轉為電氣訊號)，藉以獲得多個光拾取訊號A、B、C與D(步驟S303_6)。之後，再透過處理單元113對光拾取訊號A、B、C與D進行運算(亦即依據公式FES=(A+C)-(B+D)來進行計算)，藉以獲得多個聚焦誤差訊號FES(步驟S303_7)。最後，將該些聚焦誤差訊號FES提供至觀測裝置115加以顯示，並微調物鏡201與記錄平板103的間距，藉以致使該些聚焦誤差訊號FES彼此實質上等距，此時，可以啟動寫入參數控制裝置111內部的聚焦伺服控制，從而使得雷射光源203所提供的光束可以聚焦在記錄平板103之表面103a(步驟S303_8)。

在此必須額外做說明的是，聚焦伺服控制的功能通常會與寫入參數控制裝置111整合在一起(亦如同於本實施例般)。然而，在本發明之其他實施例中，聚焦伺服控制的功能當然也可以另外獨立於記錄移動平台運動軌跡之系統100中。如此一來，於圖1所繪示的記錄移動平台運動軌跡之系統100的示意圖就必需增加一個聚焦伺服控制裝置(未繪示)，以與寫入參數控制裝置111進行搭配，而該等變形的實施例亦屬本發明所欲保護的範疇之一。

當光學讀寫頭107之光束聚焦在記錄平板103的表面103a後，就可分別設定移動平台101的運動參數與光學讀寫頭107的寫入參數(步驟S305)。於本實施例中，可以透過移動平台控制裝置109以設定移動平台101的運動參 數(至少包括移動平台101的平移運動路徑與平移運動速度)，並據以啟動及控制移動平台101。

另外，更可以事先依據記錄平板103的材料特性定義光學讀寫頭107的寫入參數，並透過寫入參數控制裝置111以設定光學讀寫頭107的寫入參數(至少包括光學讀寫頭107的寫入頻率、寫入功率以及寫入模式)，並據以啟動及控制光學讀寫頭107。

於本實施例中，寫入參數控制裝置111可以設定光學讀寫頭107的寫入模式，亦即連續寫入模式、脈衝寫入模式與混合寫入模式這三者其中之一。當寫入參數控制裝置111設定光學讀寫頭107的寫入模式為連續寫入模式時，則光學讀寫頭107會連續提供光束，藉以詳實記錄移動平台101的運動路徑。

另外，當寫入參數控制裝置111設定光學讀寫頭107的寫入模式為脈衝寫入模式時，則光學讀寫頭107會間歇性地提供光束，藉以打點的方式來記錄移動平台101的運動軌跡。如此一來，即可配合顯微鏡117量測出點與點間的間距(例如△x)，藉此再乘以光學讀寫頭107之寫入模式為脈衝寫入模式下的寫入頻率(例如以頻率形式f表示)後，就可推算出移動平台101的運動速度(即△x*f)。

再者，當寫入參數控制裝置111設定光學讀寫頭107的寫入模式為混合寫入模式時，則光學讀寫頭107可以片段連續或片段間歇性地提供光束，藉以部份詳實記錄以及部份打點的方式來記錄移動平台101的運動軌跡。

當移動平台101的運動參數與光學讀寫頭107的寫入參數皆設定完畢後，則啟動移動平台101與光學讀寫頭107，藉以使得光學讀寫頭107依據所設定之寫入參數而將移動平台101依據所設定之運動參數所實際行經的運動軌跡記錄在記錄平板103的表面103a(步驟S307)。

如此一來，當光學讀寫頭107依據所設定之寫入參數而將移動平台101依據所設定之運動參數所實際行經的運動軌跡完整記錄在記錄平板103的表面103a後，則可以關閉光學讀寫頭107(步驟S309)，然後將記錄平板103從移動平台101移除(步驟S311)。緊接著，將移除後的記錄平板103置於顯微鏡117的下方，從而對記錄有移動平台101依據所設定之運動參數所實際行經之運動軌跡的記錄平板103進行分析及拍照存檔(步驟S313)。

圖4繪示為本發明另一實施例之記錄移動平台運動軌跡之系統400的示意圖。請合併參照圖1與圖4，記錄移動平台運動軌跡的系統100與400相異之處係在於：記錄平板103係為固定在承載裝置105上，而光學讀寫頭107係由移動平台101所承載。如此一來，記錄移動平台運動軌跡的系統400同樣可以將移動平台101的運動軌跡記錄在記錄平板103的表面103a上。

圖5繪示為本發明另一實施例之記錄移動平台運動軌跡的方法流程圖。請合併參照圖2~圖5，圖5係為圖4之記錄移動平台運動軌跡之系統400所相應的記錄移動平台運動軌跡的方法流程圖，而圖3與圖5所揭示之記錄移動 平台運動軌跡的方法流程圖之相異處係在於：以步驟S501取代步驟S301，其中步驟S501為提供記錄平板103以固定於承載裝置105上，並且提供光學讀寫頭107以承載於移動平台101上。另外，以步驟S503_1取代步驟S303_1，其中S503_1為透過移動平台101而將光學讀寫頭107移動至記錄平板103的下方，以使記錄平板103位於光學讀寫頭107之物鏡201的上方。再者，以步驟S505取代步驟S311，其中S505為將記錄平板從承載裝置移除。除此之外，圖5所揭示之記錄移動平台運動軌跡的方法流程圖之其餘步驟皆與圖3類似，故而在此並不再加以贅述之。

另外，圖6繪示為本發明另一實施例之記錄移動平台運動軌跡之系統600的示意圖。請合併參照圖1與圖6，記錄移動平台運動軌跡的系統100與600相異之處係在於：光學讀寫頭107係由第一移動平台101a所承載，而記錄平板103係固定在第二移動平台101b上。如此一來，當第一與第二移動平台101a與101b分別依據第一與第二移動平台控制裝置109a與109b所設定的第一與第二運動參數而啟動時，記錄移動平台運動軌跡之系統600則可以將第一與第二移動平台101a與101b分別依據第一與第二運動參數所實際行經的相對運動軌跡記錄在記錄平板103的表面103a上。

圖7繪示為本發明另一實施例之記錄移動平台運動軌跡的方法流程圖。請合併參照圖2、圖3、圖6以及圖7，圖7係為圖6之記錄移動平台運動軌跡之系統600所相應 的記錄移動平台運動軌跡的方法流程圖，而圖3與圖6所揭示之記錄移動平台運動軌跡的方法流程圖之相異處係在於：以步驟S701取代步驟S301，其中步驟S701為提供光學讀寫頭107以承載於第一移動平台101a上，並且提供記錄平板103以固定於第二移動平台101b上。另外，以步驟S703_1取代步驟S301_1，其中步驟S703_1為分別透過第一與第二移動平台101a與101b移動光學讀寫頭107與記錄平板103，以使記錄平板103位於光學讀寫頭107之物鏡201的下方。

此外，以步驟S705取代步驟S505，其中步驟S705為分別設定第一與第二移動平台101a與101b的第一與第二運動參數以及光學讀寫頭107的寫入參數。再者，以步驟S707取代步驟S307，其中步驟S707為啟動第一與第二移動平台101a與101b以及光學讀寫頭107，藉以使得光學讀寫頭107依據寫入參數而將第一與第二移動平台101a與101b分別依據第一與第二運動參數所實際行經的相對運動軌跡記錄在記錄平板103的表面。甚至，以步驟S709取代步驟S311，其中步驟S709為將記錄平板從第二移動平台移除。除此之外，圖7所揭示之記錄移動平台運動軌跡的方法流程圖之其餘步驟皆與圖3類似，故而在此並不再加以贅述之。

基於上述各實施例所揭示的內容可知，上述實施例除了可以將記錄平板置放在移動平台上，且以承載裝置承載光學讀寫裝置來量測兩者間的相對運動軌跡外，在某些特 殊的使用目的，也可以將記錄平板固定不動；而將移動平台用以承載光學讀寫裝置。或是，想要量測兩個移動平台彼此的相對運動軌跡時，此時，記錄平板與光學讀寫裝置會分別固定於移動平台上，因此，實際的相對位置需視實際情況而定。

綜上所述，由於本發明所提出的記錄移動平台運動軌跡的系統與方法可以直接且不需由量測數據再轉為運動軌跡的方式來記錄移動平台的實際運動軌跡，因此不但可以作為移動平台在開發階段對機台運動穩定性研究或是在移動平台出廠時的基本資料，且更可以作為日後移動平台維修或檢查參考之用的依據。

雖然本發明已以上述實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

100、400、600‧‧‧記錄移動平台運動軌跡之系統

101、101a、101b‧‧‧移動平台

103‧‧‧記錄平板

103a‧‧‧記錄平板的表面

105‧‧‧承載裝置

107‧‧‧光學讀寫裝置

109、109a、109b‧‧‧移動平台控制裝置

111‧‧‧寫入參數控制裝置

113‧‧‧處理單元

115‧‧‧觀測裝置

117‧‧‧電子/光學/原子力顯微鏡

201‧‧‧物鏡

203‧‧‧雷射光源

205‧‧‧聚焦致動器

207‧‧‧分光鏡

209‧‧‧光偵測器

FES‧‧‧聚焦誤差訊號

A、B、C、D‧‧‧光拾取訊號

S301~S313‧‧‧本發明一實施例之記錄移動平台運動軌跡之方法的流程圖各步驟

S501、S303、S503_1、S303_2~S303_8、S305~S309、S505、S313‧‧‧本發明另一實施例之記錄移動平台運動軌跡之方法的流程圖各步驟

S701、S303、S703_1、S303_2~S303_8、S705、S707、S309、S709、S313‧‧‧本發明另一實施例之記錄移動平台運動軌跡之方法的流程圖各步驟

圖1繪示為本發明一實施例之記錄移動平台運動軌跡之系統的示意圖。

圖2繪示為本發明一實施例之光學讀寫頭的方塊示意圖。

圖3繪示為本發明一實施例之記錄移動平台運動軌跡的方法流程圖。

圖4繪示為本發明另一實施例之記錄移動平台運動軌跡之系統的示意圖。

圖5繪示為本發明另一實施例之記錄移動平台運動軌跡的方法流程圖。

圖6繪示為本發明另一實施例之記錄移動平台運動軌跡之系統的示意圖。

圖7繪示為本發明另一實施例之記錄移動平台運動軌跡的方法流程圖。

S301~S313‧‧‧本發明一實施例之記錄移動平台運動軌跡之方法的流程圖各步驟

Claims (93)

1. 一種記錄移動平台運動軌跡的方法，包括：提供一記錄平板，以固定於一移動平台上；提供一光學讀寫裝置，以將該光學讀寫裝置之一光束聚焦在該記錄平板的表面；分別設定該移動平台的一運動參數與該光學讀寫裝置的一寫入參數；以及啟動該移動平台與該光學讀寫裝置，藉以使得該光學讀寫裝置依據該寫入參數而將該移動平台依據該運動參數所實際行經的運動軌跡記錄在該記錄平板的表面。
2. 如申請專利範圍第1項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中將該光束聚焦在該記錄平板之表面的步驟包括：移動該記錄平板至該光學讀寫裝置之一物鏡的下方；調整該物鏡與該記錄平板的間距，藉以使該記錄平板實質上在該物鏡的焦平面上；啟動該光學讀寫裝置之一雷射光源，藉以使該雷射光源提供該光束；啟動該光學讀寫裝置之一聚焦致動器，藉以移動於該光束之投射路徑上的該物鏡；透過該光學讀寫裝置之一分光鏡擷取出該光束投射至該記錄平板的反射光；透過該光學讀寫裝置之一光偵測器對所述反射光進行轉換，藉以獲得多個光拾取訊號； 透過一處理單元對該些光拾取訊號進行運算，藉以獲得多個聚焦誤差訊號；以及將該些聚焦誤差訊號提供至一觀測裝置加以顯示，並微調該物鏡與該記錄平板的間距，藉以致使該些聚焦誤差訊號彼此實質上等距，從而啟動該光學讀寫裝置的一聚焦伺服機制，藉以使得該光束聚焦在該記錄平板之表面。
3. 如申請專利範圍第2項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該光學讀寫裝置為一光學讀寫頭，且該聚焦致動器為一單軸聚焦致動器。
4. 如申請專利範圍第2項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該觀測裝置為一示波器。
5. 如申請專利範圍第2項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中設定該運動參數的步驟包括：透過一移動平台控制裝置以設定該移動平台的該運動參數，並據以啟動及控制該移動平台。
6. 如申請專利範圍第5項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該運動參數至少包括一平移運動路徑與一平移運動速度。
7. 如申請專利範圍第2項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中設定該寫入參數的步驟包括：依據該記錄平板的材料特性定義該寫入參數，並透過一寫入參數控制裝置以設定該光學讀寫裝置的該寫入參數，並據以啟動及控制該光學讀寫裝置。
8. 如申請專利範圍第1項所述之記錄移動平台運動軌 跡的方法，其中該寫入參數至少包括一寫入頻率、一寫入功率以及一寫入模式。
9. 如申請專利範圍第8項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該寫入模式可為一連續寫入模式、一脈衝寫入模式、或一連續與脈衝混合寫入模式。
10. 如申請專利範圍第1項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中當該光學讀寫裝置依據該寫入參數而將該移動平台依據該運動參數所實際行經的運動軌跡完整記錄在該記錄平板的表面後，該方法更包括：關閉該光學讀寫裝置；將該記錄平板從該移動平台移除；以及將該移除後的記錄平板置於一顯微鏡下方，藉以對記錄有該移動平台依據該運動參數所實際行經之運動軌跡的記錄平板進行分析及拍照存檔。
11. 如申請專利範圍第10項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該顯微鏡為一電子顯微鏡、或一光學顯微鏡或一原子力顯微鏡。
12. 如申請專利範圍第1項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該記錄平板之表面具有一有機光阻、或一無機光阻或一染料。
13. 如申請專利範圍第12項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該無機光阻至少包含鍺與銻。
14. 如申請專利範圍第12項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該無機光阻至少包含銻與碲。
15. 一種記錄移動平台運動軌跡的系統，包括：一移動平台；一記錄平板，固定於該移動平台上；以及一承載裝置，用以承載一光學讀寫裝置，其中，當該移動平台與該光學讀寫裝置被啟動時，該光學讀寫裝置會提供一光束以聚焦在該記錄平板的表面，並且依據一寫入參數而將該移動平台依據一運動參數所實際行經的運動軌跡記錄在該記錄平板的表面。
16. 如申請專利範圍第15項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，更包括：一移動平台控制裝置，耦接該移動平台，用以設定該移動平台的該運動參數，並據以啟動及控制該移動平台。
17. 如申請專利範圍第16項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該運動參數至少包括一平移運動路徑與一平移運動速度。
18. 如申請專利範圍第15項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，更包括：一寫入參數控制裝置，耦接該光學讀寫裝置，用以依據該記錄平板的材料特性來定義與設定該光學讀寫裝置的該寫入參數，並據以啟動及控制該光學讀寫裝置。
19. 如申請專利範圍第18項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該寫入參數至少包括一寫入頻率、一寫入功率以及一寫入模式。
20. 如申請專利範圍第19項所述之記錄移動平台運動 軌跡的系統，其中該寫入模式為一連續寫入模式、或一脈衝寫入模式或一連續與脈衝混合寫入模式。
21. 如申請專利範圍第18項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該光學讀寫裝置為一光學讀寫頭，且其包括：一物鏡；一雷射光源，受控於該寫入參數控制裝置，用以提供該光束；一分光鏡，位於該物鏡與該雷射光源之間，用以擷取出該光束投射至該記錄平板的反射光；以及一光偵測器，用以對所述反射光進行轉換，藉以獲得多個光拾取訊號。
22. 如申請專利範圍第21項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，更包括：一處理單元，耦接該光偵測器，用以對該些光拾取訊號進行運算，藉以獲得多個聚焦誤差訊號。
23. 如申請專利範圍第21項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該光學讀寫裝置更包括：一聚焦致動器，耦接該物鏡並受控於該寫入參數控制裝置，用以移動於該光束之投射路徑上的該物鏡。
24. 如申請專利範圍第23項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該光學讀寫裝置之該聚焦致動器為一單軸聚焦致動器。
25. 如申請專利範圍第22項所述之記錄移動平台運動 軌跡的系統，更包括：一觀測裝置，耦接該處理單元，用以顯示該些聚焦誤差訊號。
26. 如申請專利範圍第25項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該觀測裝置為一示波器。
27. 如申請專利範圍第15項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，更包括：一顯微鏡，用以對記錄有該移動平台依據該運動參數所實際行經之運動軌跡的記錄平板進行分析及拍照存檔。
28. 如申請專利範圍第27項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該顯微鏡為一電子顯微鏡、或一光學顯微鏡或一原子力顯微鏡。
29. 如申請專利範圍第15項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該記錄平板之表面具有一有機光阻、或一無機光阻或一染料。
30. 如申請專利範圍第29項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該無機光阻至少包含鍺與銻。
31. 如申請專利範圍第29項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該無機光阻至少包含銻與碲。
32. 一種記錄移動平台運動軌跡的系統，包括：一承載裝置；一記錄平板，固定於該承載裝置上；以及一移動平台，用以承載一光學讀寫裝置，其中，當該移動平台與該光學讀寫裝置被啟動時，該 光學讀寫裝置會提供一光束以聚焦在該記錄平板的表面，並且依據一寫入參數而將該移動平台依據一運動參數所實際行經的運動軌跡記錄在該記錄平板的表面。
33. 如申請專利範圍第32項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，更包括：一移動平台控制裝置，耦接該移動平台，用以設定該移動平台的該運動參數，並據以啟動及控制該移動平台。
34. 如申請專利範圍第33項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該運動參數至少包括一平移運動路徑與一平移運動速度。
35. 如申請專利範圍第32項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，更包括：一寫入參數控制裝置，耦接該光學讀寫裝置，用以依據該記錄平板的材料特性來定義與設定該光學讀寫裝置的該寫入參數，並據以啟動及控制該光學讀寫裝置。
36. 如申請專利範圍第35項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該寫入參數至少包括一寫入頻率、一寫入功率以及一寫入模式。
37. 如申請專利範圍第36項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該寫入模式為一連續寫入模式、或一脈衝寫入模式或一連續與脈衝混合寫入模式。
38. 如申請專利範圍第35項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該光學讀寫裝置為一光學讀寫頭，且其包括： 一物鏡；一雷射光源，受控於該寫入參數控制裝置，用以提供該光束；一分光鏡，位於該物鏡與該雷射光源之間，用以擷取出該光束投射至該記錄平板的反射光；以及一光偵測器，用以對所述反射光進行轉換，藉以獲得多個光拾取訊號。
39. 如申請專利範圍第38項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，更包括：一處理單元，耦接該光偵測器，用以對該些光拾取訊號進行運算，藉以獲得多個聚焦誤差訊號。
40. 如申請專利範圍第38項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該光學讀寫裝置更包括：一聚焦致動器，耦接該物鏡並受控於該寫入參數控制裝置，用以移動於該光束之投射路徑上的該物鏡。
41. 如申請專利範圍第40項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該光學讀寫裝置之該聚焦致動器為一單軸聚焦致動器。
42. 如申請專利範圍第39項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，更包括：一觀測裝置，耦接該處理單元，用以顯示該些聚焦誤差訊號。
43. 如申請專利範圍第42項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該觀測裝置為一示波器。
44. 如申請專利範圍第32項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，更包括：一顯微鏡，用以對記錄有該移動平台依據該運動參數所實際行經之運動軌跡的記錄平板進行分析及拍照存檔。
45. 如申請專利範圍第44項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該顯微鏡為一電子顯微鏡、或一光學顯微鏡或一原子力顯微鏡。
46. 如申請專利範圍第32項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該記錄平板之表面具有一有機光阻、或一無機光阻或一染料。
47. 如申請專利範圍第46項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該無機光阻至少包含鍺與銻。
48. 如申請專利範圍第46項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該無機光阻至少包含銻與碲。
49. 一種記錄移動平台運動軌跡的系統，包括：一第一移動平台，用以承載一光學讀寫裝置；一第二移動平台；以及一記錄平板，固定於該第二移動平台上，其中，當該第一與該第二移動平台被啟動時，該光學讀寫裝置會提供一光束以聚焦在該記錄平板的表面，並且依據一寫入參數而將該第一與該第二移動平台分別依據一第一運動參數與一第二運動參數所實際行經的相對運動軌跡記錄在該記錄平板的表面。
50. 如申請專利範圍第49項所述之記錄移動平台運動 軌跡的系統，更包括：一第一移動平台控制裝置，耦接該第一移動平台，用以設定該第一移動平台的該第一運動參數，並據以啟動及控制該第一移動平台；以及一第二移動平台控制裝置，耦接該第二移動平台，用以設定該第二移動平台的該第二運動參數，並據以啟動及控制該第二移動平台。
51. 如申請專利範圍第50項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該第一與該第二運動參數分別至少包括一平移運動路徑與一平移運動速度。
52. 如申請專利範圍第49項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，更包括：一寫入參數控制裝置，耦接該光學讀寫裝置，用以依據該記錄平板的材料特性來定義與設定該光學讀寫裝置的該寫入參數，並據以啟動及控制該光學讀寫裝置。
53. 如申請專利範圍第52項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該寫入參數至少包括一寫入頻率、一寫入功率以及一寫入模式。
54. 如申請專利範圍第53項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該寫入模式為一連續寫入模式、或一脈衝寫入模式或一連續與脈衝混合寫入模式。
55. 如申請專利範圍第52項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該光學讀寫裝置為一光學讀寫頭，且其包括： 一物鏡；一雷射光源，受控於該寫入參數控制裝置，用以提供該光束；一分光鏡，位於該物鏡與該雷射光源之間，用以擷取出該光束投射至該記錄平板的反射光；以及一光偵測器，用以對所述反射光進行轉換，藉以獲得多個光拾取訊號。
56. 如申請專利範圍第55項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，更包括：一處理單元，耦接該光偵測器，用以對該些光拾取訊號進行運算，藉以獲得多個聚焦誤差訊號。
57. 如申請專利範圍第55項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該光學讀寫裝置更包括：一聚焦致動器，耦接該物鏡並受控於該寫入參數控制裝置，用以移動於該光束之投射路徑上的該物鏡。
58. 如申請專利範圍第57項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該光學讀寫裝置之該聚焦致動器為一單軸聚焦致動器。
59. 如申請專利範圍第56項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，更包括：一觀測裝置，耦接該處理單元，用以顯示該些聚焦誤差訊號。
60. 如申請專利範圍第59項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該觀測裝置為一示波器。
61. 如申請專利範圍第49項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，更包括：一顯微鏡，用以對記錄有該第一與該第二移動平台分別依據該第一與該第二運動參數所實際行經之相對運動軌跡的記錄平板進行分析及拍照存檔。
62. 如申請專利範圍第61項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該顯微鏡為一電子顯微鏡、或一光學顯微鏡或一原子力顯微鏡。
63. 如申請專利範圍第49項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該記錄平板之表面具有一有機光阻、或一無機光阻或一染料。
64. 如申請專利範圍第63項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該無機光阻至少包含鍺與銻。
65. 如申請專利範圍第63項所述之記錄移動平台運動軌跡的系統，其中該無機光阻至少包含銻與碲。
66. 一種記錄移動平台運動軌跡的方法，包括：提供一記錄平板，以固定於一承載裝置上；提供一光學讀寫裝置，以承載於一移動平台上，並將該光學讀寫裝置之一光束聚焦在該記錄平板的表面；分別設定該移動平台的一運動參數與該光學讀寫裝置的一寫入參數；以及啟動該移動平台與該光學讀寫裝置，藉以使得該光學讀寫裝置依據該寫入參數而將該移動平台依據該運動參數所實際行經的運動軌跡記錄在該記錄平板的表面。
67. 如申請專利範圍第66項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中將該光束聚焦在該記錄平板之表面的步驟包括：移動該光學讀寫裝置至該記錄平板的下方，以使該記錄平板位於該光學讀寫裝置之一物鏡的上方；調整該物鏡與該記錄平板的間距，藉以使該記錄平板實質上在該物鏡的焦平面上；啟動該光學讀寫裝置之一雷射光源，藉以使該雷射光源提供該光束；啟動該光學讀寫裝置之一聚焦致動器，藉以移動於該光束之投射路徑上的該物鏡；透過該光學讀寫裝置之一分光鏡擷取出該光束投射至該記錄平板的反射光；透過該光學讀寫裝置之一光偵測器對所述反射光進行轉換，藉以獲得多個光拾取訊號；透過一處理單元對該些光拾取訊號進行運算，藉以獲得多個聚焦誤差訊號；以及將該些聚焦誤差訊號提供至一觀測裝置加以顯示，並微調該物鏡與該記錄平板的間距，藉以致使該些聚焦誤差訊號彼此實質上等距，從而啟動該光學讀寫裝置的一聚焦伺服機制，藉以使得該光束聚焦在該記錄平板之表面。
68. 如申請專利範圍第67項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該光學讀寫裝置為一光學讀寫頭，且該聚焦致動器為一單軸聚焦致動器。
69. 如申請專利範圍第67項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該觀測裝置為一示波器。
70. 如申請專利範圍第67項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中設定該運動參數的步驟包括：透過一移動平台控制裝置以設定該移動平台的該運動參數，並據以啟動及控制該移動平台。
71. 如申請專利範圍第70項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該運動參數至少包括一平移運動路徑與一平移運動速度。
72. 如申請專利範圍第67項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中設定該寫入參數的步驟包括：依據該記錄平板的材料特性定義該寫入參數，並透過一寫入參數控制裝置以設定該光學讀寫裝置的該寫入參數，並據以啟動及控制該光學讀寫裝置。
73. 如申請專利範圍第66項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該寫入參數至少包括一寫入頻率、一寫入功率以及一寫入模式。
74. 如申請專利範圍第73項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該寫入模式可為一連續寫入模式、或一脈衝寫入模式、或一連續與脈衝混合寫入模式。
75. 如申請專利範圍第66項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中當該光學讀寫裝置依據該寫入參數而將該移動平台依據該運動參數所實際行經的運動軌跡完整記錄在該記錄平板的表面後，該方法更包括： 關閉該光學讀寫裝置；將該記錄平板從該承載裝置移除；以及將該移除後的記錄平板置於一顯微鏡下方，藉以對記錄有該移動平台依據該運動參數所實際行經之運動軌跡的記錄平板進行分析及拍照存檔。
76. 如申請專利範圍第75項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該顯微鏡為一電子顯微鏡、或一光學顯微鏡或一原子力顯微鏡。
77. 如申請專利範圍第66項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該記錄平板之表面具有一有機光阻、或一無機光阻或一染料。
78. 如申請專利範圍第77項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該無機光阻至少包含鍺與銻。
79. 如申請專利範圍第77項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該無機光阻至少包含銻與碲。
80. 一種記錄移動平台運動軌跡的方法，包括：提供一光學讀寫裝置，以承載於一第一移動平台上；提供一記錄平板，以固定於一第二移動平台上，其中該光學讀寫裝置之一光束會聚焦在該記錄平板的表面；分別設定該第一與該第二移動平台的一第一與一第二運動參數以及該光學讀寫裝置的一寫入參數；以及啟動該第一與該第二移動平台以及該光學讀寫裝置，藉以使得該光學讀寫裝置依據該寫入參數而將該第一與該第二移動平台分別依據該第一與該第二運動參數所實際行 經的相對運動軌跡記錄在該記錄平板的表面。
81. 如申請專利範圍第80項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中將該光束聚焦在該記錄平板之表面的步驟包括：分別移動該光學讀寫裝置與該記錄平板，以使該記錄平板位於該光學讀寫裝置之一物鏡的下方；調整該物鏡與該記錄平板的間距，藉以使該記錄平板實質上在該物鏡的焦平面上；啟動該光學讀寫裝置之一雷射光源，藉以使該雷射光源提供該光束；啟動該光學讀寫裝置之一聚焦致動器，藉以移動於該光束之投射路徑上的該物鏡；透過該光學讀寫裝置之一分光鏡擷取出該光束投射至該記錄平板的反射光；透過該光學讀寫裝置之一光偵測器對所述反射光進行轉換，藉以獲得多個光拾取訊號；透過一處理單元對該些光拾取訊號進行運算，藉以獲得多個聚焦誤差訊號；以及將該些聚焦誤差訊號提供至一觀測裝置加以顯示，並微調該物鏡與該記錄平板的間距，藉以致使該些聚焦誤差訊號彼此實質上等距，從而啟動該光學讀寫裝置的一聚焦伺服機制，藉以使得該光束聚焦在該記錄平板之表面。
82. 如申請專利範圍第81項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該光學讀寫裝置為一光學讀寫頭，且該 聚焦致動器為一單軸聚焦致動器。
83. 如申請專利範圍第81項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該觀測裝置為一示波器。
84. 如申請專利範圍第81項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中設定該運動參數的步驟包括：透過一第一移動平台控制裝置以設定該第一移動平台的該第一運動參數，並據以啟動及控制該第一移動平台；以及透過一第二移動平台控制裝置以設定該第二移動平台的該第二運動參數，並據以啟動及控制該第二移動平台。
85. 如申請專利範圍第84項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該第一與該第二運動參數分別至少包括一平移運動路徑與一平移運動速度。
86. 如申請專利範圍第81項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中設定該寫入參數的步驟包括：依據該記錄平板的材料特性定義該寫入參數，並透過一寫入參數控制裝置以設定該光學讀寫裝置的該寫入參數，並據以啟動及控制該光學讀寫裝置。
87. 如申請專利範圍第80項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該寫入參數至少包括一寫入頻率、一寫入功率以及一寫入模式。
88. 如申請專利範圍第87項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該寫入模式可為一連續寫入模式、或一脈衝寫入模式、或一連續與脈衝混合寫入模式。
89. 如申請專利範圍第80項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中當該光學讀寫裝置依據該寫入參數而將該第一與該第二移動平台分別依據該第一與該第二運動參數所實際行經的相對運動軌跡完整記錄在該記錄平板的表面後，該方法更包括：關閉該光學讀寫裝置；將該記錄平板從該第二移動平台移除；以及將該移除後的記錄平板置於一顯微鏡下方，藉以對記錄有該第一與該第二移動平台分別依據該第一與該第二運動參數所實際行經之相對運動軌跡的記錄平板進行分析及拍照存檔。
90. 如申請專利範圍第89項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該顯微鏡為一電子顯微鏡、或一光學顯微鏡或一原子力顯微鏡。
91. 如申請專利範圍第80項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該記錄平板之表面具有一有機光阻、或一無機光阻或一染料。
92. 如申請專利範圍第91項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該無機光阻至少包含鍺與銻。
93. 如申請專利範圍第91項所述之記錄移動平台運動軌跡的方法，其中該無機光阻至少包含銻與碲。