TWI394857B - Anti - coating effect of the sputtering device - Google Patents

Description

防鍍膜影響之濺鍍裝置

本發明是一種應用於電子產業的薄膜沉積裝置，尤其是一種具有防鍍膜影響之外部檢出裝置的濺鍍裝置。

隨著科技的進步與發展，電子產業的產品日新月異，近年來真空鍍膜技術已逐漸取代傳統噴導電漆或電解電鍍的鍍膜方式，而廣泛地應用於半導體製程、光電和3C產業中，成為重要的鍍膜生產技術。

目前業界所使用的鍍膜設備大多為連續式(In-Line)多腔體(multi-chambers)的作業流程，與傳統批次式(batch type)或晶圓式(wafer type)生產方式比較，可大幅降低設備成本及廠房空間，極具量產經濟價值及產業競爭性。以連續式多腔體之鍍膜設備為例，該連續式多腔體內部包含一承載盤(或俗稱台車)係可於各腔體內部前進，為了檢測該承載盤的行進位置，係經常於該連續式多腔體設有一檢測裝置。請參考第七A、B圖及第八圖，其為既有安裝於連續式多腔體之鍍膜設備(72)之一檢出裝置(73)之示意圖，該鍍膜設備(72)包含複數個成對的觀視窗(722)，成對的兩個該觀視窗(722)分別設於該鍍膜設備(72)之外表面。該檢出裝置(73)包含二成對的光學檢測組件(732)，兩個該光學檢測組件(732)分別固定置於兩個成對的觀視窗(722)外部，並使兩個該光學檢測組件(732)分別作為一光輸出組件及一光接收組件，其中，兩個成對的該光學檢測組件(732)依據其間的 光傳輸路徑是否被一個可於該鍍膜設備(72)行進的一承載盤(75)遮擋而判斷該承載盤(75)之位置(如第七A、B圖所示)。

在濺鍍過程中，為了避免該觀視窗(722)被濺射之材料粒子污染沾附，該檢出裝置(73)包含一遮板(733)係固定設於該鍍膜設備(72)之內部於該觀視窗(722)之對應位置。然而，該遮板(733)之阻擋材料粒子之功效不佳，材料粒子仍會穿過該遮板(733)之開口而鍍製於該觀視窗(722)之內表面，當該觀視窗(722)之內表面沾附過多的材料粒子進而影響該光學檢測組件(732)之光傳輸路徑，而使前述的檢測功能大受影響，甚至毫無功用；使用者必須經常保養、清除該觀視窗(722)上的材料粒子或薄膜，以保前述檢測之功能，故造成使用不便及維護成本增加的問題。

為了解決既有設於濺鍍設備外不知檢出裝置的遮板之阻擋性能不佳之技術問題，本發明以一管體取代該遮板，讓該檢出裝置之光傳輸路徑得到良好的屏蔽保護，達到提升使用便利性及降低維護成本之目的。

配合前述之技術問題及發明目的，本發明提供一種防鍍膜影響之濺鍍裝置，其包含：複數個連續接合的腔體，每一該些腔體包含一底座、一上蓋以及一傳動結構，該上蓋蓋合於該底座之一開放面，該傳動結構固定設於該底座之一內表面，其中，該底座包含一個以上的玻璃視窗組，每一該一個以上的玻璃視 窗組包含二成對的玻璃視窗，每一該些玻璃視窗密合固定於該底座之一側腔壁並與成對之另一個玻璃視窗位置相對；一個以上的承載盤，該一個以上的承載盤於該傳動結構傳輸而於各腔體之間移動，該一個以上的承載盤之移動路徑與該一個以上的玻璃視窗組之位置對應；一個以上的外部檢出裝置，每一該一個以上的外部檢出裝置包含一訊號輸出模組以及一訊號接收模組係固定結合於該底座並分別與二個成對的該些玻璃視窗之位置對應，其中：該訊號輸出模組包含一發射器以及一輸出模組防鍍管，該發射器固定設於該底座之外表面，其產生一輸出光朝向對應之該玻璃視窗；該輸出模組防鍍管為中空且兩端開放的管體，其置於該腔體內並遮蔽該玻璃視窗且位置與該輸出光的傳輸路徑同軸；及訊號接收模組包含一接收器以及一接收模組防鍍管，該接收器固定設於該底座之外表面，其與該發射器相對並接收該輸出光；該接收模組防鍍管為中空且兩端開放的管體，其置於該腔體內並遮蔽該玻璃視窗且位置與該輸出光的傳輸路徑同軸。

其中，該訊號輸出模組及該訊號接收模組分別包含一調整座，兩個該調整座分別對應連接該發射器及該接受器，且兩個該調整座並分別與該腔體表面固定連接。

其中，該輸出模組防鍍管及該接收模組防鍍管之材質為一金屬或一鐵氟龍或工程塑膠類。

由於本發明之該防鍍管可有效遮蔽該玻璃視窗並且提供玻璃視窗外部的發射器及接收器的輸出光傳遞路徑，使濺鍍裝置於濺鍍過程中，濺鍍材料粒子可以被遮擋或僅鍍製於該防鍍管而不會鍍製於該玻璃視窗表面，因此達到良好的屏蔽防鍍之技術效果，故提升濺鍍設備的使用便利性並可降低維護成本。

請參考第一圖及第二圖，其為本發明之防鍍膜影響之外部檢出裝置(20)之實施例，其與一濺鍍裝置之腔體(10)固定結合，其中，該濺鍍裝置可以依據需求利用複數個連續接合的腔體(10)組合而成，使該濺鍍裝置可進行一連續式濺鍍工作。

該腔體(10)包含一底座(12)、一上蓋(14)以及一傳動結構(15)，該上蓋(14)蓋合於該底座(12)之一開放面，而該傳動結構(15)則固定設於該底座(12)之一內表面，該傳動結構(15)傳輸該濺鍍裝置之一承載盤(16)於各腔體(10)之間移動、前進，達到前述的連續式濺鍍工作。

該底座(12)包含一個以上的玻璃視窗組，每一玻璃視窗組包含二個成對的玻璃視窗(122)，每個玻璃視窗(122)密合固定於該底座(12)之一側腔壁並與另一個玻璃視窗(122)位置相對。該玻璃視窗(122)結合於該底座(12)的方式不限定，舉例而言，其可為嵌合於該底座(12)且包含可透光區域的視窗組件，其中該透光區域可以為一般玻璃或石英玻璃等。

請參考第三圖~第五圖，本實施例之每一玻璃視窗(122) 包含一結合座(1221)、一玻璃片(1223)以及一固定蓋(1225)，該結合座(1221)呈筒狀，其軸心包含一兩端貫通的穿孔；為了讓該結合座(1221)可以密合固定結合於該底座(12)，該結合座(1221)之外表面可以設有螺紋面，以螺鎖方式緊密鎖合於該底座(12)。該玻璃片(1223)係固定置於該結合座(1221)內，並以該固定蓋(1225)密封蓋合後與該結合座(1221)固定結合，並密封蓋合該結合座(1221)之穿孔的一外部端。

請參考第四圖至第五圖，該外部檢出裝置(20)包含一訊號輸出模組(22)以及一訊號接收模組(26)係分別結合於二個成對的該玻璃視窗(122)之對應位置，該訊號輸出模組(22)包含一發射器(222)，該發射器(222)固定設於該底座(12)外側表面(大氣環境側)，且可發射一輸出光(例如紅外線、雷射光線或其他可以檢出之光線…等)，該發射器(222)之輸出光射向另一個玻璃視窗(122)之該訊號接收模組(26)。該訊號接收模組(26)包含一接收器(262)，該接收器(262)固定於該底座(12)外側表面且接收該輸出光，該訊號接收模組(26)依據其接收器(262)是否能夠接收該輸出光，判斷該承載盤(16)於該傳動結構(15)之位置。該訊號輸出模組(22)與該訊號接收模組(26)分別包含一防鍍管(224、264)，該兩個防鍍管(224、264)之兩端開放且為中空，且分別密合插設於兩個該結合座(1221)之穿孔，該防鍍管(224、264)以適合於真空環境之材質製成，例如該防鍍管可以是金屬管、鐵氟龍管等，本實施例之該防鍍管(224、264)為具有貫通流道並以金屬(不鏽鋼、鋁...等)製成之管體。當兩個該防鍍管(224、264) 分別安裝於該結合座(1221)後，兩個該防鍍管(224、264)之流道相對，使該發射器(222)之該輸出光可經過兩個該防鍍管(224、264)之流道及至該訊號接收模組(26)之該接收器(262)。

如第三圖所示，由於該玻璃片(1223)朝向該腔體(10)內部之一內側表面套接一個該防鍍管(224、264)，因此，當該濺鍍裝置開始執行濺鍍工作時，由一靶材(17)濺射出來的材料粒子將不會鍍於該玻璃片(1223)之內側表面，由於該防鍍管(224、264)遮蔽對應的該玻璃片(1223)而提供一個良好的阻擋材料粒子之效果，使材料粒子於該防鍍管(224、264)多次碰撞後動能減緩而鍍製於該防鍍管(224、264)上，因此，使該發射器(222)及該接收器(262)之間的該玻璃片(1223)不會於濺鍍過程而污染，影響其間光傳輸及該承載盤(16)之位置感應功能。

進一步地，為了固定該發射器(222)及該接收器(262)之位置，本實施例之該訊號輸出模組(22)及該訊號接收模組(26)分別包含一調整座(223、263)，兩個該調整座(223、263)可呈任意外型並分別固定於該底座(12)表面而分別位於兩個成對的該玻璃視窗(122)附近，其中，該調整座(223、263)分別與該發射器(222)及該接收器(262)固定結合使該發射器(222)及該接收器(262)可同軸相對。

該濺鍍裝置之每一個腔體(10)可以於該承載盤(16)之移動路徑之對應位置，於該底座(12)之表面設有複數個玻璃視窗組及外部檢出裝置(20)；使用時，請參考第六A、B圖，當某一腔體(10)之該傳動結構(15)上沒有該承載盤(16)時 (如第六A圖)，該腔體(10)之外部檢出裝置(20)之訊號輸出模組(22)之輸出光沒有被該承載盤(16)阻擋了光傳遞路徑而可順利抵達該訊號接收模組(26)，讓該訊號接收模組(26)可以藉以判斷該腔體(10)內沒有該承載盤(16)；反之，若該承載盤(16)已經進入該腔體(10)內，因此，某一或某些成對的該訊號輸出模組(22)及該訊號接收模組(26)之間的輸出光傳遞受到該承載盤(16)阻擋，使該訊號接收模組(26)可據此判斷該承載盤(16)之位置。

(10)‧‧‧腔體

(12)‧‧‧底座

(122)‧‧‧玻璃視窗

(1221)‧‧‧結合座

(1223)‧‧‧玻璃片

(1225)‧‧‧固定蓋

(14)‧‧‧上蓋

(15)‧‧‧傳動結構

(16)‧‧‧承載盤

(17)‧‧‧靶材

(20)‧‧‧外部檢出裝置

(22)‧‧‧訊號輸出模組

(222)‧‧‧發射器

(223)‧‧‧調整座

(224)‧‧‧防鍍管

(26)‧‧‧訊號接收模組

(262)‧‧‧接收器

(263)‧‧‧調整座

(264)‧‧‧防鍍管

(72)‧‧‧鍍膜設備

(722)‧‧‧觀視窗

(73)‧‧‧檢出裝置

(732)‧‧‧光學檢測組件

(733)‧‧‧遮板

(75)‧‧‧承載盤

第一圖為本發明實施例之局部立體圖。

第二圖為本發明實施例之局部分解圖。

第三圖為本發明實施例之局部剖面圖。

第四圖為本發明實施例之局部放大分解圖。

第五圖為本發明實施例之局部放大剖面圖。

第六A、B圖為本發明實施例之使用示意圖。

第七A、B圖為既有之鍍膜設備之檢出裝置使用示意圖。

第八圖為既有之鍍膜設備之檢出裝置之放大剖面圖。

(10)‧‧‧腔體

(12)‧‧‧底座

(122)‧‧‧玻璃視窗

(14)‧‧‧上蓋

(15)‧‧‧傳動結構

(20)‧‧‧外部檢出裝置

Claims (4)

1. 一種防鍍膜影響之濺鍍裝置，其包含：複數個連續接合的腔體，每一該些腔體包含一底座、一上蓋以及一傳動結構，該上蓋蓋合於該底座之一開放面，該傳動結構固定設於該底座之一內表面，其中，該底座包含一個以上的玻璃視窗組，每一該一個以上的玻璃視窗組包含二成對的玻璃視窗，每一該些玻璃視窗密合固定於該底座之一側腔壁並與成對之另一個玻璃視窗位置相對；一個以上的承載盤，該一個以上的承載盤於該傳動結構傳輸而於各腔體之間移動，該一個以上的承載盤之移動路徑與該一個以上的玻璃視窗組之位置對應；一個以上的外部檢出裝置，每一該一個以上的外部檢出裝置包含一訊號輸出模組以及一訊號接收模組係固定結合於該底座並分別與二個成對的該些玻璃視窗之位置對應，其中：該訊號輸出模組包含一發射器以及一輸出模組防鍍管，該發射器固定設於該底座之外表面，其產生一輸出光朝向對應之該玻璃視窗；該輸出模組防鍍管為中空且兩端開放的管體，其置於該腔體內並遮蔽該玻璃視窗且位置與該輸出光的傳輸路徑同軸；及訊號接收模組包含一接收器以及一接收模組防鍍管，該接收器固定設於該底座之外表面，其與該發射器相對並接收該輸出光；該接收模組防鍍管為中空且兩端開放的管體，其置於該腔體內並遮蔽該玻璃視窗且位置與該輸 出光的傳輸路徑同軸。
2. 如申請專利範圍第1項所述之濺鍍裝置，該訊號輸出模組及該訊號接收模組分別包含一調整座，兩個該調整座分別對應連接該發射器及該接受器，且兩個該調整座並分別與該腔體表面固定連接。
3. 如申請專利範圍第1或2項所述之濺鍍裝置，該輸出模組防鍍管及該接收模組防鍍管之材質為一金屬或一鐵氟龍或工程塑膠類。
4. 如申請專利範圍第3項所述之濺鍍裝置，該輸出光為紅外線或雷射光線。