TWI362310B - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
TWI362310B
TWI362310B TW097132734A TW97132734A TWI362310B TW I362310 B TWI362310 B TW I362310B TW 097132734 A TW097132734 A TW 097132734A TW 97132734 A TW97132734 A TW 97132734A TW I362310 B TWI362310 B TW I362310B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
grinding
workpiece
grinding wheel
rigidity
width
Prior art date
Application number
TW097132734A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201008703A (en
Original Assignee
China Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by China Steel Corp filed Critical China Steel Corp
Priority to TW097132734A priority Critical patent/TW201008703A/zh
Priority to EP09167657A priority patent/EP2159002B1/en
Priority to AT09167657T priority patent/ATE501812T1/de
Priority to DE602009000895T priority patent/DE602009000895D1/de
Publication of TW201008703A publication Critical patent/TW201008703A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI362310B publication Critical patent/TWI362310B/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B5/00—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor
    • B24B5/02—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor involving centres or chucks for holding work
    • B24B5/04—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor involving centres or chucks for holding work for grinding cylindrical surfaces externally

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Description

1362310 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種研磨參數之估計方法，詳言之，係 關於一種砂輪研磨參數之估計方法。 【先前技術】 研磨過程令’研磨砂輪之切削剛性、研磨工件之切削剛 性、及砂輪與研磨工件接觸剛性可直接影響研磨穩定性。 當上述特性選用不當時，會使得研磨振動過大，進而影響 研磨工件之表面品質。舉例來說，在軋輥研磨振動過大可 造成軋輥表面之研磨輥痕。而此可能造成多種不利的影 響： ’夕 (1) 研磨輥痕直接轉印至鋼帶上造成鋼帶表面明暗相間 的振動輥痕。 (2) 轉印至背輥上，造成軋延力動態改變，而形成鋼帶 表面振動輥痕。
⑶研磨輥痕節距正好觸發軋機的顫振，造成鋼帶振動 親痕 。 处、搌動輥痕之鋼帶至下游後，可能被剔退，也有可 響至j下游重捲線之捲輕表面’而在當地又形成另一 1轉卩的機制。所以鋼帶表面振動輕痕的影響十分深廣， 軋延作業莫不謹慎以對。 =知砂輪研磨參數之估計方法令，Banaiucci和 算靜靜態力作用在砂輪上，測量力量及變形量以計 …輪剛性’並利用衝擊試驗量測動態砂輪接觸剛 133003.doc 性，兩者比較之結果差距並不大。然而，後來證實靜態實 驗所得到之砂輪接觸剛性與實際加工過程之結果仍有一段 差距》 另夕卜，Inasaki及Yonetsu[2]亦利用赫茲接觸（Hertzian contact)力學理論探討砂輪與工件接觸區域之剛性，說明 砂輪之接觸剛性近似於一非線性彈簧；Hashimoto等人[3] 透過實驗方式，決定砂輪接觸剛性與徑向力間存在一幂次 方之關係；Ramos等人[4]在外圓研磨之機台上，以穩定之 徑向進給進行徑向研磨（plunge grinding)，待磨削力穩定 後停止進給，記錄磨削力衰退曲線之時間常數（time constant)，以推算工件實際磨削之深度及製程剛性。上述 文獻之砂輪研磨參數之估計方法，均需架設動力計輔助， 而且必須忽略砂輪磨耗剛性ks及磨削比r之效應。 因此，有必要提供一創新且富有進步性之砂輪研磨參數 之估計方法，以解決上述問題。 以下為參考先前技術列表： 1. B. Bartalucci, G.G. Lisini, "Grinding process instability," Transaction ASME Journal Engineer Industry. Vol. 91， pp.597-606, 1969. 2. I. Inasaki, S. Yonetsu, "Regenerative chatter in grinding," in : Proc. of the 18th Int. Mach.Tool Des. and Res.Conf.,
Oxford, pp. 423-429, 1977. 3. F. Hashimoto, J. Yoshioka, M. Miyashita, H. Sato," Sequential estimation of growth rate of chatter vibration in 133003.doc 1362310 grinding process," Annals of the CIRP, Vol. 33(1), pp. 259-263, 1984. 4. J. C. Ramos, J. Vinolas, F.J. Nieto, "A simplified methodology to determine the cutting stiffness and the contact stiffness in the plunge grinding process," International Journal of Machine Tools and Manufacture, pp. 33-49, 2001. 【發明内容】 本發明提供一種砂輪研磨參數之估計方法，用以估計一 研磨機台之一砂輪之研磨參數，其中該研磨機台具有一機 台研磨靜剛性，該方法包括以下步驟：（a)沿一第一方向根 據一設定總研磨進給，以該砂輪研磨一工件，且於該工件 之表面形成一螺旋磨削紋路，其中該砂輪之圓周具有一砂 輪線速，該工件之圓周具有一工件線速，該第一方向係自 該工件之一頭端至一尾端之方向，且位於該頭端之該螺旋 磨削紋路具有一漸擴螺旋磨削紋路；（b)根據該第一方向量 測該漸擴螺旋磨削紋路之一第一寬度及一第二寬度，及量 測相對於該第一寬度及該第二寬度位置之該工件之一第一 磨削深度及一第二磨削深度；（c)根據該砂輪之被磨耗體積 及該工件之被磨耗體積計算一磨耗比；及（d)根據該機台研 磨靜剛性、該設定總研磨進給、該第一寬度、該第二寬 度、該第一磨削深度及該第二磨削深度，計算一工件研磨 剛性，及根據該機台研磨靜剛性、該設定總研磨進給、該 第一寬度、該第二寬度、該第一磨削深度、該第二磨削深 133003.doc 1362310 度該砂輪線速及該工件線速，計算一砂輪表面接觸剛性 及一砂輪磨耗剛性》 本發明砂輪研磨參數之估計方法僅需進行一次研磨製 程，即可透過量測工件研磨後之表面幾何尺寸，鑑別出工 件研磨剛性、砂輪表面接觸剛性及砂輪磨耗剛性，以了解 影響研磨過程動態特性之相關製程參數，進而解決研磨顫 振之問題，並利於研磨管理人員判斷砂輪是否符合所需。 精此，使用者可輕易地評估砂輪品質、工件特性及研磨動 態系統之穩定性。 【實施方式】 圖1顯示研磨動態剛性模擬示意圖；圖2顯示研磨動態系 統之系統方塊圖。其中，動態模式之相關參數說明如下， L .機台靜剛性；ke:砂輪表面之接觸剛性；ks:砂輪磨 耗剛性；kw:工件研磨剛性；Ts:砂輪轉週期；丁〜：工件 旋轉週期；GS，GW :砂輪及結構動態函數；dm :砂輪與工 件之相對位移f ; ds :砂輪總磨耗^ ; dw :砂輪總 量；:砂輪瞬間磨耗量；Adw :工件瞬間磨耗量\ df: 總研磨進給七徑向研磨力。其中，在圖i中砂輪表面 之接觸剛性、砂輪磨耗剛性及工件研磨剛性係分別以等效 之彈簧、1及1^表示。 配合參考圖i及圖2,其中工件之研磨、砂輪之磨耗、砂 輪之變形以及機台之變形皆會影響研磨動態系統，而影響 研磨動態系統之參數包括：冑台靜剛性km、砂輪表面之接 觸剛性ke、玉件研磨剛性kw及砂輪磨耗剛灿，其代、 133003.doc 1362310 1及]^簡稱為製程剛性。
當給予總研磨進給df時，所產生之徑向研磨力匕會同時 景> 響工件之研磨、砂輪之磨耗、砂輪之變形以及機台之變 形。其中’工件研磨及砂輪磨耗會因工件旋轉及砂輪旋轉 而有再生效應產生（亦即，圖2中之e &及)。前次研磨 下的量與當次研磨的量有一相位差時，此相位差造成研磨 厚度不平均及研磨力動態變化’故造成振動行為，而產生 再生效應。其中砂輪再生效應及工件再生效應可 能將研磨系統的極點往右半平面移動，使研磨系統呈現不 穩定的狀態（即發生研磨顏振），因此砂輪及工件之再生效 應將是影響研磨顫振的主因。 圖2之研磨動態系統的傳輸函式表示如下式（1): (1) £ί£)=__1__ ' (1 - 一）+ [Gw ⑺ + R⑷]+
其中（1)式之特徵方程式為 一 J_4. 1 1 11、 (2) Λl=G〇) s / 在此’函數F(s)係用以表示徑向研磨力fr，g=Gw+Gs， 其可視為l/km。再將（2)式繪製成奈氏圖，如圖3所示。其 中’當圖3中左半部之特徵直線L丨與右半部之研磨動態系 統的傳輸函式之弧線C1相交時，即產生動態不穩定現象。 因此’控制研磨穩定與否在於左半部特徵直線L1與右半部 研磨動癌系統的傳輸函式之弧線c 1的距離d 1，即，當砂 133003.doc 輪表面之接觸剛性k«=、工件研磨剛性kw及砂輪磨耗剛性ks 等製程剛性愈小時’研磨動態系統愈穩^，反之則研磨動 ^系1统愈1不穩定。在圖3令，該距離D1之值係為 tw。 本發明砂輪研磨參數之估計方法係可以準確地估計出研 磨動態系統的砂輪表面之接觸剛性匕、工件研磨剛性、及 令輪磨耗剛性ks，以解決研磨顫振之問題，並且利於研磨 官理人員判斷砂輪是否符合所需。 圖4顯示本發明砂輪研磨參數之估計方法之示意圖。該 ◊輪研磨參數之估計方法可用以估計—研磨機台之一砂輪 之研磨參數，其中該研磨機台具有一機台研磨靜剛性，其 中，該機台研磨靜剛性係可經由一剛性量測實驗測得。 參考步驟S41，沿一第一方向根據一設定總研磨進給’ 以該砂輪研磨一工件（例如：—工輥），且於該工件之表面 形成螺鉍磨削紋路，其中該砂輪之圓周具有一砂輪線 速’該工狀圓周具有-工件線速，該第—方向係自該工 件之一頭端至一尾端之方向，且位於該頭端之該螺旋磨削 紋路具有-漸擴螺旋磨削紋路。纟中，#該砂輪沿該第一 方向研磨該工件’剛開始切入該工件所形成該螺旋磨削紋 路的第圈紋路，會於該工件表面形成連續寬度變化之研 磨深度，此即為該漸擴螺旋磨削紋路。 在步驟S41中，其係根據圓周率、該砂輪之直徑及轉速 計算該砂輪線速，及根據圓周率、該工件之直徑及轉速計 I33003.doc -11 - 1362310 鼻該工件線速。 該砂輪線速可以下式（3)表示：
Vs = π X Ds X fs (3) 該工件線速可以下式（4)表示： ^w= ^ X Dw X fw (4) 在（3)及（4)式中，pi為圓周率；ds為砂輪直徑；fs為砂輪 轉速；Dw為工件直徑；fw為工件轉速。 另外’在步驟S41中’該砂輪係以一相對移動速度沿該 第一方向移動’且該工件表面之被磨削部分不重疊，使得 該工件之表面形成該螺旋磨削仗路。 圖5顯示本發明於工件之表面形成螺旋磨削紋路之製程 示.¾圆’其中該工件5 1係為一工輥。配合參考圖4及圖5， 在本實施例中，步驟S41包括：步驟S411，於該工件5 1之 該頭端5 11標記一研磨原點Χ();及步驟S4丨2，自該研磨原 點xQ沿該第一方向（如圖5上方平行該工輥之箭頭所示 >以該 砂輪52研磨該工件51，以形成該螺旋磨 削紋路5 12。較佳 地’在步驟S411之前另包括一修整該砂輪52及該工件5 j表 面之步驟。 在修整該砂輪52及該工件51表面後，以該砂輪52接觸該 工件51並紀錄x座標，以作為該研磨原點χ〇(如圖5(勾所 示），然後退出該砂輪52(如圖5〇5)及5(c)所示）。接著，該 砂輪52移至預設之研磨深度df(總研磨進給）位置，此時之X 座標之值必須設為xQ-df(如圖5(d)所示），。最後，根據設 定之該工件51之轉速、該砂輪52之轉速以及車架（圖未示 133003.doc •12- 1362310 出）速度沿該第一方向進行研磨，以於該工件51之表面形 成該螺旋磨削紋路512(如圖5(e)所示）。 圖6A至6C顯示本發明量測漸擴螺旋磨削紋路之寬度及 磨削深度之示意圖。配合參考圖6八至6C及步驟S42，根據 : 该第一方向量測該漸擴螺旋磨削紋路5 12之一第一寬戶：w . 及一第二寬度W2，及量測相對於該第一寬度W!及該第二寬 度W2位置之該工件51之一第一磨削深度1及一第二磨削深 Φ 度4。在本實施例中，步驟S42包括：步驟S421，自該工 件51之該頭端51丨之側面週緣，沿該第一方向量測該第一 寬度w,及該第一磨削深度di(如圖6B所示）；步驟s422 ,旋 轉該工件51一角度，而較佳之旋轉角度係為150度；及步 驟S423，自該工件51之該頭端511之側面週緣，沿該第一 方向量測該第二寬度％及該第二磨削深度d〆如圖…所 示）。 其中，本發明係以一距離量測儀器量測該第一寬度％及 • 該第-磨削深度d丨和該第二寬度W2及該第二磨削深度4， , 且該距離量測儀器可為位移計。較佳地，該距離量測儀器 之探頭係接近剛開始切入該工件之位置。 ' 參考步驟^3，根據該砂輪之被磨耗體積及該工件之被 磨耗體積計算-磨耗比。在本實施例中，其係根據該砂輪 之寬度和該砂輪研磨前及研磨後之直徑計算該砂輪被磨耗 體積，以及根據該工件之直徑、該螺旋磨削紋路之磨削深 度及寬度計算該工件被磨耗體積。較佳地，在步驟S43 _ 係以；r磁帶（Pi-tape)量測該砂輪研磨前及研磨後之直徑， 133003.doc -13- 丄处231〇 且以位移計量測該螺旋磨削紋路之磨削深度。 參考圖7’其顯示本發明工件之被磨耗體積之示意圖， 其中’圊7(b)中之複數個矩形長條係分別對應圖7(a)中每 圈螺旋磨削紋路5 1 2之工件被磨耗體積。該磨耗比Γ係定 義為：工件之被磨耗體積/砂輪之被磨耗體積。該磨耗比r 可經由工件5 1之頭端511至尾端513之該螺旋磨削紋路5 12
的深度變化，配合砂輪之直徑磨耗量來求取。經計算後， 該磨耗比Γ可以下式（5)表示： 识(5) 其中，Dw為工件直徑，D為每道次之螺旋磨削紋路深度， 〇51為研磨前之砂輪直徑，ο"為研磨後之砂輪直徑。 參考步驟S44,根據該機台研磨靜剛性匕、該設定總研
磨進給df、該第一寬度W|、該第二寬度％、該第一磨削深 度t及4第_磨削深度d2，計算_卫件研磨剛性匕，以及 根據該機台研磨靜剛性1、該設定總研磨進給&、該第一 =度w,、t玄第二寬度W2、該第一磨削深度1、該第二磨削 深度d2、該砂輪線速Vs及該玉件線速、，計算—砂輪表面 接觸剛性匕及一砂輪磨耗剛性匕。 在本實施例中，纟步驟S44之前另包括一建立製程剛性 辨識模型之步驟，再利用該製程剛性辨識模型計算該工件 研磨剛仏、該砂輪表面接觸剛性匕及該砂輪磨耗剛性 參考圖8， 其顯示本發明利用製程剛性辨識模型計算製 133003.doc •14· 程剛性之示音阁。# _ 妹_ A 辨識模型之建立需寬度不同之二砂輪 〆工一次加工之结果， έ& ^ ’ 配s已知之機台研磨靜剛性及預設之 〜研磨進給等條件， ^ 千進仃製程剛性之計算。該辨識模型所 、隹仏.条件為.⑴―砂輪之寬度及二次研磨預設之總研磨 补。’ (2)機台研磨靜剛性(由實驗測得广⑶不同寬度之二 -研磨工件之磨削深度（由研磨後之外形測量而得）。 參考圖1、圖2及圖8，當研磨動態系統受到一個來 ;研磨時所產生之徑向研磨力。時，圖1之三個等效彈簧 c 1^及kw(刀別等效於砂輪表面之接觸剛性h、砂輪磨耗 剛性ks及工件研磨難Μ之總變形為： (6)
將（6)式同除以控向研磨力匕後可得： j±ds+dm+dw _dL fr fr (7) (7)式左側之物理意義為代表砂輪表面之接觸剛性h、砂 輪磨耗剛性1^及工件研磨剛性kw之三個彈簧之綜合撓性， 故（7)式另可以表示為： 當以不同寬度之砂輪進行研磨時，除了機台靜剛性、之 值固定外’砂輪表面之接觸剛性ke、砂輪磨耗剛性ks及工 件研磨剛性kw均假設為與砂輪寬度评呈正比，因此（8)式可 改寫為： 133003.doc -15· 1362310
1 WK +丄山丄 wksu K ^Ku di (9) 其中’ kcu為早位寬度之砂給技雜咖a Λ /稱筏觸剛性，ltsu為單位寬度之 砂輪磨耗剛性’而kwu為單位宽声之1m ώ ^ 干1見度之工件研磨剛性，三者 之單位皆為N/ m_mm(牛頓/微米厘米 依據上述之假設所推導之結果，當寬度分別為％及〜2之 相同規格之二砂輪進行研磨時，⑼式可分別寫成為⑽式 及（11)式：
(10)(11) 其中frl及fr2分別為二次研麻夕γ二rTT必 人研磨之徑向研磨力，另外，工件研 磨剛性又等於徑向研磨六f Μ ,— Γ除以貫際研磨深度D，因此可 以得到（12)式及（13)式··
(12) (13) 由（1〇)式至（13)式並配 ⑴’可得到製程剛性之辨 性辨識模型）： 磨耗比 識公式（14)式至（16)式（即製程 剛 k 一今(A-Ak I33003.doc 16. (14) 1362310 k __-ΐίΑΒίζΒ^ 。(15) h_rdf{Dx-D2)kj^ 5 AA(w.-w2)kw (16) 由辨識公式推導之任要彡曰& 等之、-〇果件知，製程剛性之計算需要二次 不同寬度所研磨之實際深度。
本發明僅需進行—次研磨製程，其中’在步驟S41中， 當該砂輪沿該第一方向研磨該工件，剛開始切入該工件所 形成該螺旋磨削紋路的第—圈紋路，會於該工件表面形成 連續寬度變化之研磨深度之漸擴螺旋磨削紋路，並且，在 步驟S42中，量測得該漸擴螺旋磨削紋路之該第一寬度％ 及該第二寬度W2，及量測相對於該第一寬度w,及該第二寬 度W2位置之該工件之該第一磨削深度di及該第二磨削深度 七’再配合上述之（3)式至（5)式及〇4)式至（16)式即可= 時獲得製程剛性及磨耗比。
另外，在步驟S44之後另包括一根據該工件研磨剛性 kw、該砂輪表面接觸剛性ke及該砂輪磨耗剛性匕調控研磨 製程之穩定性之步驟，亦即，在計算求得該工件研磨剛性 kw、該砂輪表面接觸剛性kc及該砂輪磨耗剛性、之後，配 合（丨）式及（2)式並繪製成奈氏圖，據以判斷砂輪是否符合 所需，確保研磨動態系統之穩定性，以解決研磨顫振之問 題。 本發明砂輪研磨參數之估計方法僅需進行一次研磨製 程’即可透過量測工件研磨後之表面幾何尺寸，鑑別出工 I33003.doc •17· 1362310 件研磨剛性、砂輪表面接觸剛性及砂輪磨耗剛性，以了解 影響研磨過程動態特性之相關製程參數，進而解決研磨顏 j之問題’並利於研磨管理人員判斷砂輪是否符合所需。 藉此，使用者可輕易地評估砂輪品質、工件特性及矸磨動 - 態系統之穩定性。 -· 上述實施例僅為說明本發明之原理及其功效，並非限制 本發明。因此習於此技術之人士對上述實施例進行修改及 • 變化仍不脫本發明之精神。本發明之權利範圍應如後述之 申請專利範圍所列。 【圖式簡單說明】 圖1顯示研磨動態剛性模擬示意圖； 圖2顯示研磨動態系統之系統方塊圖； 圖3顯示本發明研磨系統特徵方程式之奈氏圖； 圆4顯示本發明砂輪研磨參數之估計方法之示意圖； 圖5顯示本發明於工件之表面形成螺旋磨削紋路之製程 | 示意圖； 圖6A至6C顯示本發明量測漸擴螺旋磨削紋路之寬度及 • 磨削深度之示意圖； . 圖7顯示本發明工件之被磨耗體積之示意圖；及 圖8顯示本發明利用製程剛性辨識模型計算製程剛性之 示意圖。 【主要元件符號說明】 51 工件 52 砂輪 133003.doc •18- 1362310 511 工件之頭端 512 螺旋磨削紋路 513 工件之尾端
133003.doc -19-

Claims (1)

  1. 、申請專利範固： 種妙輪研磨參數之估計方法，用以估計一研磨機台之 研磨參數，其中該研磨機台具有一機台研磨靜 剛丨生’該方法包括以下步驟： (a) σ 方向根據一設定總研磨進給，以該砂輪研 1 —工件，且於該工件之表面形成一螺旋磨削紋 路’其中該砂輪之圓周具有一砂輪線速，該工件之 圓周具有一工件線速，該第一方向係自該工件之一 頭端至一尾端之方向，且位於該頭端之該螺旋磨削 紋路具有一漸擴螺旋磨 削紋路； (b) 根據該第一方向量測該漸擴螺旋磨削紋路之一第一 寬度及一第二寬度，及量測相對於該第一寬度及該 第一寬度位置之該工件之一第—磨削深度及一第二 磨削深度； ⑷，據該砂輪之被磨耗體積及該卫件之被磨耗體積計 算一磨耗比；及 (d)根據該機台研磨靜剛性、該設定總研磨進給、該第 -寬度、該第二寬度、該第—磨削深度及該第：磨 削深度’計算一工件研磨剛性，及根據該機台研磨 靜剛性、該設定總研磨進給、該第—寬度、該第二 寬度、該第一磨削深度、該第二廢 不—磨削深度、該砂輪 線速及該工件線速，計算一砂给主 輪表面接觸剛性及一 砂輪磨耗剛性。 如請求項1之方法’其中該機台研磨 靜剛性係經由 一剛 3.doc 性量測實驗測得》 如凊求項1之方法，其中在步驟（a)中係根據圓周率該 砂輪之直徑及轉速計算該砂輪線速，及根據圓周率、該 工件之直徑及轉速計算該工件線速。 如》月求項1之方法’其中在步驟⑷中，該砂輪係、以一相 對移動速度沿該第一方向移動，其㈣工件表面之被磨 肖J琿刀不重豎，使得該工件之表面形成該螺旋磨削紋 路β ⑷）於該卫件之該料標記—研磨原點；及 ()自該研磨原點沿該第一方向以該砂輪研磨該工件， 以形成該螺旋磨削紋路。 項5之方法’其中在步驟(a”之前另包括一修整該 V輪及該工件表面之步驟。 如°月求項1之方法，其中步驟⑻包括以下步驟： (bl)自該工件之該 項鸲之側面週緣，沿該第一方向量測 〜第-寬度及該第—磨削深度； ⑽旋轉該工件—角度；及 沿該第一方向量调 (b3)自該工件之該頭端之側面週緣 。第-寬度及該第二磨削深度。 如請求項7之方本 甘 量測儀器量測該第？寬=步驟⑽及⑽中係以-㈣ 度及該第二磨削深度 該第一磨削深度和該第二寬 如…8之方法’其中該距離量測儀器係為位移計。 1362310 w Μ 之方法’其中該距離量測儀器之探頭係接近 剛開始切入該工件之位置。 U·如請求項7之方法，其中在步驟（b2)中係旋轉該工件15〇 度。 12. 如睛求項丨之方法，其中在步驟⑷中係根據該砂輪之寬 度和該砂輪研磨前及研磨後之直徑計算該砂輪被磨耗體 積以及拫據該工件之直徑、該螺旋磨削紋路之磨削深 度及寬度計算該工件被磨耗體積。 13. 如請求項12之方法，其中係以7Γ磁帶（PI-tape)量測該砂 輪研磨前及研磨後之直徑。 14. 如β求項12之方法，其中係以位移計量測該螺旋磨削紋 路之磨削深度。 15. 如請求項1之方法，其中在步驟⑷之前另包括一建立製 程剛性辨識模型之步驟，在步驟中利用該製程剛性辨 識模型計算該工件研磨剛性、該砂輪表面接觸剛性及該 砂輪磨耗剛性。 16. 如叫求項1之方法’其中在步驟⑷之後另包括一根據該 工件研磨剛性、該砂輪表面接觸剛性及該砂輪磨耗剛性 調控研磨製程之穩定性之步驟。 133003.doc
TW097132734A 2008-08-27 2008-08-27 Method for evaluating grind parameters of grinding wheel TW201008703A (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW097132734A TW201008703A (en) 2008-08-27 2008-08-27 Method for evaluating grind parameters of grinding wheel
EP09167657A EP2159002B1 (en) 2008-08-27 2009-08-11 Method for evaluating grinding parameters of grinding wheel
AT09167657T ATE501812T1 (de) 2008-08-27 2009-08-11 Verfahren zur beurteilung der schleifparameter einer schleifscheibe
DE602009000895T DE602009000895D1 (de) 2008-08-27 2009-08-11 Verfahren zur Beurteilung der Schleifparameter einer Schleifscheibe

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW097132734A TW201008703A (en) 2008-08-27 2008-08-27 Method for evaluating grind parameters of grinding wheel

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201008703A TW201008703A (en) 2010-03-01
TWI362310B true TWI362310B (zh) 2012-04-21

Family

ID=41351775

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW097132734A TW201008703A (en) 2008-08-27 2008-08-27 Method for evaluating grind parameters of grinding wheel

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP2159002B1 (zh)
AT (1) ATE501812T1 (zh)
DE (1) DE602009000895D1 (zh)
TW (1) TW201008703A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI558498B (zh) * 2012-12-25 2016-11-21 Sumitomo Heavy Industries Grinding method

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102176218B (zh) * 2010-12-27 2013-12-11 西安交通大学 一种确定固定结合面法向接触刚度的方法
JP5991134B2 (ja) * 2012-10-17 2016-09-14 株式会社ジェイテクト 研削盤および研削盤における工作物の剛性算出方法
CN103273387A (zh) * 2013-06-18 2013-09-04 上海理工大学 基于刚度测量的外圆磨削工艺参数优化方法
TWI817853B (zh) * 2022-11-29 2023-10-01 環球晶圓股份有限公司 晶圓研磨參數優化方法及電子裝置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI558498B (zh) * 2012-12-25 2016-11-21 Sumitomo Heavy Industries Grinding method

Also Published As

Publication number Publication date
TW201008703A (en) 2010-03-01
EP2159002B1 (en) 2011-03-16
EP2159002A1 (en) 2010-03-03
ATE501812T1 (de) 2011-04-15
DE602009000895D1 (de) 2011-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI362310B (zh)
Rasim et al. Analysis of the grain shape influence on the chip formation in grinding
Buj-Corral et al. Influence of feed, eccentricity and helix angle on topography obtained in side milling processes
Agarwal et al. Predictive modeling of undeformed chip thickness in ceramic grinding
Zhu et al. On energetic assessment of cutting mechanisms in robot-assisted belt grinding of titanium alloys
Pereira et al. Wear at the die radius in sheet metal stamping
Ghosh et al. Experimental investigation on performance of touch-dressed single-layer brazed cBN wheels
Badger et al. The effect of wheel eccentricity and run-out on grinding forces, waviness, wheel wear and chatter
Hashimoto et al. Modeling of material removal mechanism in vibratory finishing process
Huang et al. Cutting force prediction for ultra-precision diamond turning by considering the effect of tool edge radius
Arif et al. Analytical model to determine the critical conditions for the modes of material removal in the milling process of brittle material
Lin et al. Analytical elastic–plastic cutting model for predicting grain depth-of-cut in ultrafine grinding of silicon wafer
CN104778333A (zh) 一种螺旋立铣刀正交车铣加工三维稳定性建模方法
Xu et al. Effects of process parameters on workpiece roundness in tangential-feed centerless grinding using a surface grinder
Eriksen et al. Manufacture of functional surfaces through combined application of tool manufacturing processes and Robot Assisted Polishing
Zhu et al. Self-sharpening ability of monolayer brazed polycrystalline CBN grinding wheel during high-speed grinding
CN107052364A (zh) 一种大螺距螺纹加工表面形貌仿真方法与车削工艺评价方法
Arefin et al. An analytical model for determining the shear angle in 1D vibration-assisted micro machining
Peng et al. Tool deflection model and profile error control in helix path contour grinding
Gong et al. Investigation on secondary self-sharpness performance of hollow-sphere abrasive grains in belt grinding of titanium alloy
Ren et al. Modeling and analysis of material removal depth contour for curved-surfaces abrasive belt grinding
CN112504209B (zh) 一种高精度刀具磨损2d在线检测方法
Zhang et al. Modeling of material removal depth in robot abrasive belt grinding based on energy conversion
Xiao et al. Online monitoring method of non-cylindrical wheel wear for gear grinding based on dynamic force model
JP2014173996A (ja) ロールプレス設備に用いられるロールの形状測定方法およびロールプレス設備用ロール形状測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees