TWI335381B - Diaphragm pump and manufacturing device of electronic component - Google Patents

Description

1335381 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於輸送所設定之特定量之液體之隔膜泵及電 子零件之製造裝置，可利用於將酸性、鹼性等之藥劑或焊 料膏及乙醇等溶劑或接著劑等各種液體，少脈動且連續地 輸送（喷出）之隔膜泵。又，可利用於由隔膜泵喷出接著劑 而將半導體晶片固定於基板之晶片接合機、或由隔膜泵噴 出樹脂以密封LED晶片而製造發光二極體（LED)之製造裝 置等之各種電子零件之製造裝置。 【先前技術】 使用膜片（diaphragm)之隔膜泵由於以合成樹脂製之薄膜 為膜片，故具有不對輸送液造成損害、不必使用防漏液用 之密封材料、可採用液體不會觸及金屬之構造等之優點， 故可使用於化學、藥品、半導體、印刷等廣泛領域β 作為此種隔膜泵，由於利用往復驅動膜片，以施行液體 之吸入、喷出，故通常會發生脈動。 因此，在隔膜泵中，為抑制脈動，已知有設置2個隔膜 泵’將各隔膜泵互相彌補地組合成在嘴出側不出現脈動之 裝置（例如參考文獻1 :日本特開2003-042069號公報）。 又’已知也有利用膜片逐次阻塞3個處理室，不設止回 閥而使其發揮作為泵之機能之裝置（例如參考文獻2:美國 發明專利第5593290號專利說明書）。 但，在前述文獻1之隔膜泵中’設有逆流防止用止回閥 (抗流閥），而有不能使液體逆流之問題。 101176.doc 1335381 又，在文獻2之泵中’液體會使膜片‘變形，難以達成驅 動動作之高速化’且由於將複數系統之處理室平行配置， 而有難以小型化、輕量化之問題。 【發明内容】 本發明之目的在於提供脈動極少、不必使用抗流閥而可 逆流、且容易小型化、輕量化之隔膜泵及使用此隔膜泵之 電子零件之製造裝置。 本發明之隔膜泵之特徵在於其係包含流路區段、密接設 置於此流路區段之膜片、及往復驅動此膜片之驅動手段之 隔膜泵，而設有被前述流路區段及膜片劃分形成，且連通 液體之吸入流路及喷出流路之至少3條以上之液體流路， 前述流路區段係將吸入流路或喷出流路之一方形成於密接 前述膜片之膜片密接面之中心軸部分，將吸入流路或喷出 流路之他方形成於前述臈片密接面之外周側，在各液體流 路之途中，分別設有連通於前述吸入流路之吸入側閥室、 連通於前述喷出流路之噴出側閥室、及形成於吸入側閥室 及喷出侧閥室之間而連通於各閥室之計量室，前述驅動手 段係包含對前述吸入側閥室將膜片挾持而配置而對應於前 述吸入側閥室設置之吸入側推壓構件、對前述喷出側閥室 將膜片挾持而配置而對應於前述喷出側閥室設置之喷出側 推Μ構件、對前述計量室將膜片挾持而配置而對應於前述 β十量至6又置之计莖用推壓構件、及控制前述各推壓構件之 驅動之推壓構件驅動控制部而構成，前述推壓構件驅動控 制部係包含旋轉驅動源、被此旋轉驅動源所驅動之凸輪、 101176.doc 及使前述各推壓構件擋接於凸輪之凸輪面之施力手段，並 可利用旋轉驅動源使前述凸輪旋轉而使各推壓構件追隨凸 輪面而使其旋轉驅動，藉以依照設定於各推壓桿之特定時 間執行下列各種動作：即，使前述吸入側推壓構件向接近 於流路區段之方向移動而使對應於膜片之吸入側閥室之部 分移動至密接於流路區段為止而密閉前述吸入側閥室之吸 入側閥密閉動作、使前述喷出側推壓構件向接近於流路區 段之方向移動而使對應於膜片之喷出側閥室之部分移動至 Φ接於流路區段為止而密閉前述喷出侧閥室之噴出側閥密 閉動作、使前述吸入侧推壓構件向離開流路區段之方向移 動而使對應於密接於流路區段之膜片之吸入側閥室之部分 離開流路區段而開放前述吸入側閥室之吸入側閥開放動 作、使前述喷出側推壓構件向離開流路區段之方向移動而 使對應於密接於流路區段之膜片之嗔出側閥室之部分離開 流路區段而開放前述喷出側閥室之喷出侧閥開放動作、使 S十量室用推壓構件向接近於流路區段之方向移動而使對應 於膜片之計量室之部分接近於流路區段而徐徐縮小前述計 量室内之容積之容積減少動作、及使計量室用推壓構件向 離開流路區段之方向移動而使對應於膜片之計量室之部分 離開流路區段而徐徐增大前述計量室内之容積之容積增大 動作。 在此種本發明中，在特定時間往復驅動對應於設在各液 體流路之各閥室及計量室之推壓構件，可開閉各閥室，或 增大或減少計量室之容積。因此，在特定時間驅動各推壓 101176.doc 1335381 構件，即使不用抗流閥，亦可防止逆流，輸送液體。因 此 » tfe 於未設置抗流閥，故可使各推壓構件之驅動反轉而 使液體逆流》 • 又’因形成3條以上之流體流路，在各流體流路分別設 置則述各閥室及計量室，且可設置對應於各閥室及計量室 之推壓構件而在各流體流路設定液體之輸送時間，故將各 机體流路之液體輸送時間錯開特定相位時，可連續地輸送 φ 一定量之液體，而可構成脈動少之泵。 另外，本發明並非如以往之隔膜泵一般，將整個隔膜泵 進退驅動，而係在丨片膜片中，個別地驅動對應於各閥室 及叶量室之部分，故與整個隔膜泵相比，只要驅動非常狹 1、之區域即可，故可減少臈片本身之變形等引起之液輸送 量之誤差。因此，即使液輸送量屬於微量，也可高精度地 予以輸送》 而且，藉由設置膜片，可將推壓構件等驅動手段側劃分 • 成流體流路及閥室、計量室等之液體流動侧。因此，不必 設置密封材料，相對地也可減少零件數。 另外，膜片利用可彈性變形之橡膠等構成，故即使屬於 銀膏或焊料膏、混如矽石粉之樹脂等之粒子之液體，也可 在粒子不觉破壞之情況下予以喷出，並加以輸送而不會對 液體造成傷害》 • X ’在本發日月巾，在膜片冑接面之中心轴部分形成吸入 流路或喷出流路之-y，在膜片冑接面之外周側形成吸入 流路或喷出流路之他方，故可將連通吸入流路及喷出流路 101176.doc 1335381

之3條以上之流體流路由中心轴部分向外周形成放射狀或 螺旋狀。另外，對毅各流體流路而設置之各推壓構件僅 利用旋轉驅動源使凸輪旋轉，即可追隨凸輪面而施行往復 驅動。因此，推壓構件驅動控制部可利用端面具有凸輪面 之凸輪、使此凸輪旋轉之馬達等之旋轉驅動源、及使各推 麗構件擋接於凸輪面之彈簧等施力手段所構成，可使膜片 小型、輕量化。因A，在各種製品之生產線中，在將本發 明之隔膜泵利用於接著劑或各種膏等之喷出之際，也可安 裝於機器人之手臂而使其高速、高加速度移動，可實現生 產線之流水作業時間之縮短，有助於生產性之提高。 另外’在本發明中’只要利用馬連等構成之旋轉驅動源 使凸輪旋轉，即可在特定時間重複使各推壓構件執行動 作。此際，可將各推壓構件之每丨循環動作之液體輸送量 叹疋於一定，故只要調整凸輪之轉速，即可調整單位時間 之液體輸送量。因此，隔膜泵之液體輸送量之控制非常簡 單’故可實現使用方便性良好之隔膜泵（分散器）。 在本發明中，以前述閥室用推壓構件及計量室用推壓構 件係包含形成於前述凸輪面側之端面之略半球狀之凹部、 配置於刖述凹部而可措接於前述四輪面之滾珠，且將滾珠 與前述凹部之摩擦係數設定於小於前述凸輪面與滾珠之摩 擦係數為其特徵β 如此，在本發明中，利用形成於各推壓構件之凹部與配 置於此凹部之滾珠，可構成擋接於凸輪面之凸輪從動件。 因此’與使用以往之滾輪之情形相比，可將凸輪面及凸輪 101176.doc -10- 1335381 從動件小型化’相對地也可將隔膜果本身小型化。即，使 用滾輪之情形’必須由推壓構件向外周突設滾輪軸並將 滾輪旋轉自如地配置於此滾輪軸，故沿著凸輪面公轉之滾 移動執跡之直徑也會增大，凸輪之直徑也必須對應於 滾輪之移動軌跡而增大》 在本發明中，將滾珠配置於推壓構件之凹部即 可’也無由推壓構件向外周側突出之部分，故可縮小滾輪 之移動軌跡之直徑，簡化隔膜泵之構造，而容易小型化。 另外，在本發明中，將滚珠與保持此滾珠之凹部間之摩 擦係數設定於小於凸輪面與滾㈣之摩擦係數，故即使隨 著公轉，與轉軸正交方向等之力量施加至滾珠其力量也 會被推壓構件之凹部與滚珠之滑動所吸收。因此，在凸輪 面與滾珠間不會發生橫滑等現象，可使滾珠轉動而不會對 凸輪面滑動。因此，不必像以往般需考慮摩擦因素而以含 油樹脂等形成凸輪面，可利用金屬等硬構件形成，且滾珠 也可利用硬構件構成，故可減少推壓構件之衝程量之誤 差’提高液體之喷出精度。 在本發明之隔膜泵中，最好使前述推壓構件驅動控制部 執行吸入步驟，其係使對應於前述計量室設置之前述計量 室用推壓構件向接近於流路區段之方向移動而使對應於膜 片之計量室之部分移動至密接於流路區段而密閉計量室， 且使對應於吸入侧閥室設置之吸入側推壓構件向離開流路 區段之方向移動而使對應於膜片之吸入側閥室之部分離開 流路區段而由吸入流路吸入液體者；第1輸送步驟，其係 101176.doc 15353¾ 1 使對應於喷出側閥室設置之噴出側推壓構件向接近於流路 區段之方向移動而使對應於膜片之喷出側閥室之部分密接 於流路區段而密閉喷出側閥室，且使前述計量室用推壓構 件向離開流路區段之方向移動而使對應於膜片之計量室之 部分離開流路區段而增大計量室之容積，並使吸入側推壓 構件向接近於流路區段之方向移動而使對應於膜片之吸入 側閥室之部分向流路區段侧移動而減少吸入側閥室之容積 由吸入流路將液體輸送至計量室者；計量步驟，其係在一 直密閉前述噴出側閥室之狀態下，使前述吸入侧推壓構件 向接近於流路區段之方向移動而使對應於膜片之吸入側閥 室之部分密接於流路區段而密閉吸入侧閥室，在吸入側閥 室與喷出側閥室間，即在計量室部分劃分液體而加以計量 者·’第2輸送步驟，其係在一直密閉前述吸入側閥室之狀 態下’使前述計量室用推壓構件向接近於流路區段之方向 移動而減少計量室之容積，並使喷出侧推壓構件向離開流 路區段之方向移動而增大計量室之容積而由計量室將液體 輸送至噴出側閥室者；及喷出步驟，其係密閉前述計量 室’使噴出側推壓構件向接近於流路區段之方向移動而減 少喷出側閥室之容積，並由喷出側閥室將液體輸送至喷出 流路者。 在此種本發明中，在吸入步驟及喷出步驟中，密閉計量 至’故在吸入步驟中液體不會由計量室逆流至吸入側閥 室’在喷出步驟中，液體不會由喷出側閥室逆流至計量室 側°因此’僅靠各推壓構件之動作，即可確實防止液體之 101176.doc -12· 1335381 逆，故無設置抗流閥之必要。 又，因設有將吸入側閥室及喷出侧閥室密閉，在閥室 • 間，即在計量室部分劃分液體而加以計量之計量步驟，故 • 可高精度地設定各液體流路之液體輸送量。 在本發明之隔膜果中，最好前述推壓構件驅動控制部係 在密閉計量室之狀態’藉由使吸入側推壓構件向離開流路 區段之方向移動而由吸入流路將液體吸入吸入側閥室，並 Φ 使喷出側推壓構件向接近於流路區段之方向移動而由噴出 側閥室將液體輸送至喷出流路，以同時執行吸入步驟及喷 出步驟。 在此種本發明中’藉由同時執行吸入步驟及喷出步驟， 可縮短液體輸送步驟之丨循環，有效地輸送液體。 在本發明之隔膜泵中，最好使前述推壓構件驅動控制部 執行吸入步驟，其係在一直密閉前述喷出側閥室之狀態 下’使對應於吸入側閥室設置之吸入側推壓構件向離開流 • 路區段之方向移動而使對應於膜片之吸入側閥室之部分離 開流路區段而使吸入流路與計量室連通，並使對應於前述 計量室設置之計量室用推壓構件向離開流路區段之方向移 動而使對應於膜片之計量室之部分離開流路區段而增大計 量室之容積，由吸入流路經吸入側閥室將液體吸入吸入液 體者；計量步驟，其係在一直密閉前述喷出側閥室之狀態 下，使前述吸入側推壓構件向接近於流路區段之方向移動 而使對應於膜片之吸入側閥室之部分密接於流路區段而密 閉吸入側閥室，在吸入側閥室及喷出側閥室間劃分液體而 101176.doc -13 - 1335381 加以計量者；及喷出步驟，其係在一直，密閉，前述吸入側閥 室之狀態下’使喷出側推壓構件向離開流路區段之方向移 動而使冲量至與噴出流路連通，使對應於前述計量室而設 置之計量室用推壓構件向接近於流路區段之方向移動而減 少汁量室之容積而由計量室經噴出側閥室將液體輸送至喷 出流路者。 在此種本發明中，在吸入步驟中密閉噴出側閥室，在噴

出步驟中密閉吸入側閥室，在計量步驟中密閉各閥室，故 在各步驟中，液體不會由噴出流路逆流至吸入流路。因 此’僅靠各推壓構件之動作，即可確實防止液體之逆流， 故無設置抗流闊之必要。 又因6又有將吸入側閥室及喷出側閥室密閉，在各閥室 間，即在計量室部分劃分液體而加以計量之計量步驟，故 可高精度地設定各液體流路之液體輸送量。

在本發明之隔膜泵中’最好前述推壓構件驅動控制部係 n徐徐地增大喷出量之喷出量增大步驟與徐徐地減少 嗔出里之喷出量減少弗·願I * Μ而構成前述噴出步驟，在由前述 複數之喷出側閥室之嗜Ψ 赁出步驟中，其中1個噴出側閥室之 喷出步驟為噴出量掸女本咖 ^ 之喷出步驟:定為二:之情形，將另1個㈣^ 一定量。 噴出蕙減少步驟，藉以將噴出量維持於 在此種本發明中，^ 液體輸送之際，可局=由1個液體流路對喷出流路之 喷出流路之液體輸送：故：：開始執行另1個液體流路對 故由各液體流路之液體輪送之切換 101176.doc 1335381 可圓滑地執行，繼續-定量之液體輸送，故容易實現脈動 少之液體輸送。 在本發明之㈣泵中，最好形成於前述各液體流路之吸 入側閥室、計量室、噴出側閥室係互相在以膜片密接面之 中心轴為中心之圓周方向以各錯開以設定角度而形成， 且形成距轉述巾4之尺寸互異之狀態，形成於前述各 液體流路之吸人側閥室彼此、計量室彼此、噴出側闕室彼 此係互相在以膜片錢s之中心㈣中心之圓周方向以各 錯開第2設定角度而形《’前述各間室及計量室係由膜片 密接面之中心軸被配置成螺旋狀。 在此，最好前述第i設定角度為30。，前述第2設定角度 為72。，前述液體流路、吸入側閥室、計量室、喷出側閥 室係設置5組。 在此種本發明中，由於將各閥室及計量室由中心軸被配 置成螺旋狀，故可精簡各閥室及計量室之配置空間，使隔 膜泵小型化》 又，由於使各閥室及計量室之配置位置各錯開第丨設定 角度’故以凸輪驅動對應於各閥室及計量室而配置之各推 壓構件之情形，無必要將凸輪之凸輪面之相位錯開而可 將凸輪面之各區域由中心軸配置成放射狀，故凸輪之製造 較為容易。 又’在每90。形成凸輪面’以便可藉9〇。旋轉執循環 動作時’使凸輪旋轉1次之際’各液體流路可執行4循環之 液體輸送動作。因此’例如設置5個液體流路時，在整個 101176.doc •15- 1335381 泵中’凸輪旋轉1次可執行5x4=20循環，之液體輸送動作， 故相對地’凸輪旋轉1次之液體輸送量也可增加，脈動也 ’可減少。 • 在本發明隔膜泵中，最好形成於前述各喷出流路之吸入 側閥室、計量室、喷出側閥室係互相在以膜片密接面之中 心轴為中心之圓周方向形成直線狀，且形成距離前述中心 軸之尺寸互異之狀態’形成於前述各喷出流路之吸入側閥 φ 室彼此、計量室彼此、喷出側閥室彼此係互相在以膜片密 接面之中心轴為中心之圓周方向以各錯開第2設定角度而 形成’前述各閥室及計量室係由膜片密接面之中心軸被配 置成放射線狀。 在此種本發明中，由於將各閥室及計量室由中心軸配置 成放射線狀，故較容易製造各閥室及計量室。 又，在每90。形成凸輪面，以便可藉9〇。旋轉執行丨循環 動作時，使ώ輪旋轉1次之際，各液體流路可執行4循環之 • 液體輸送動作。因此，例如設置5個液體流路時，在整個 泵中，凸輪旋轉1次可實現5Χ4=20循環之液體輸送動作， 故相對地，凸輪旋轉1次之液體輸送量也可增加，脈動也 可減少。 在本發明隔膜泵中，最好在密接前述流路區段之膜片之 膜片密接面形成凹溝，將前述膜片密接於流路區段之流路 ‘ 1段密接面形成平面狀，前述液體流路係被流路區段之凹 溝及膜片之流路區段密接面劃分形成。 在流路區段側形成作為液體流路之凹溝時，膜片可形成 101176.doc -16 · 平面狀之單純的形狀。因此，可廉價地提供磨損等之際有 更換必要之消耗品之膜片。χ，在流路區段側形成液體流 路時’可提咼液體流路之尺寸精度，故液體輸送量之精度 也可保持穩定’可降低輸送量之誤差。 又，在本發明隔膜泵中，最好在密接前述流路區段之膜 片之膜片密接面形成平面狀，將前述膜片密接於流路區段 之流路區段㈣面形成凹溝，前述液體流路係被流路區段 之膜片密接面及膜片之凹溝劃分形成。 在膜片側形成作為液體流路之凹溝時，流路區段之膜片 密接面可構成平面狀。在金屬製之流路區段形成凹溝之情 形，有必要形成模具加以製造，或以切削加工等形成凹 溝》利用金屬成型加工用之模具之情形，初期費用會增 高。另一方面，切削加工之情形，加工成本會增高，且閥 至、计量室、連通溝不能進行太小之加工，故難以輸送極 微量之液體。 對此，在膜片側形成凹溝之情形，由於成型橡膠製之膜 片之橡膠模較為低廉，故可抑制初期費用，且利用橡膠模 時，可縮小具有閥室及計量室、連通溝之液體流路，極微 量之液體之輸送也可容易進行。 又，在本發明中，也可在流路區段之膜片密接面及膜片 之流垮區段密接面之雙方形成凹溝。又，在本發明中，前 述凹溝只要構成包含分別劃分形成吸入側閥室、計量室、 噴出側閥室之吸入側閥室用凹部、計量室用凹部、喷出側 閥室用凹部、連通前述吸入側閥室用凹部及前述吸入流路 101176.doc -17- ^35381 之連通溝、連通前述喷出側閥室用凹部及前述嘴出流路之 連通溝、及連通各閥室用凹部及計量室用凹部間之連通溝 即可。此際，前述凹部之寬尺寸既可與前述各連通溝之溝 寬尺寸相@，也可形成大於溝寬尺寸。此等各尺寸只要依 照輸送之液量等加以設定即可。 在本發明之隔臈泵中，最好前述凸輪之凸輪面包含正交 於凸輪之轉軸之平面，在此平面形成配置成以凸輪之旋轉 中心軸為中心之同心圓狀之3條凸輪溝。 依據此種構成，可藉適宜地變更凸輪溝之深度控制各推 壓構件之移動。 又，使用滾珠作為凸輪從動件之情形，凸輪溝只要形成 圓溝，即剖面形狀略呈圓弧狀之溝即可，可利用球磨機加 工等形成，可降低加工成本。 本發明之電子零件之製造裝置之特徵在於包含前述之隔 膜泵、對此隔膜泵之前述吸入流路供應液體之液體供應手 段、設於前述噴出流路之喷嘴、及控制前述隔膜泵之驅動 手段之控制器所構成，將前述液體供應手段所供應之液體 經由前述隔膜泵由喷嘴噴出以製造電子零件者。 在此種電子零件之製造裝置中，因使用可高精度地輸送 極微量之液體之前述之隔膜泵，故可由前述噴嘴高精度地 嗔出極微量之液體。且即使為含銀粉或矽石粉等粒子之液 體’也可在粒子不受破壞之情況下予以喷出。因此，在半 導體a曰片之接者及LED晶片之封入等之製造中，可降低瑕 疲品之發生’提高製造效率。 101176.doc -18· 【實施方式】 以下，依據圖式說明本發明之實施型態。 [第1實施型態] 圖1係表示本發明之第1實施型態之隔膜泵i。 隔膜泵1係具有基本區段2、保持環區段3、引導區段4、 安裝區段5、及驅動單元6。 在各區段2〜5之四角形成未圖示之貫通孔。而，各區段 2〜5係被貫通基本區段2及保持環區段3而擰入引導區段4之 連結螺栓、經由安裝區段5而擰入引導區段4之連結螺栓、 經由安裝區段5而擰入驅動單元6之連結螺栓等所組裝。此 際，也使用定位銷施行各區塊彼此之定位。 基本區段2如圖2、3所示’具有與引導區段4相向之作為 膜片密接面之凹部形成面21。凹部形成面21係由被劃分形 成略圓形之平面部分所構成。在此凹部形成面21，於其中 心軸部分形成作為液體之喷出流路或吸入流路之口 22，其 周圍形成複數之凹部23 ~2 5。 口 22係以凹部形成面21為中心貫通形成至基本區段2之 他方之面26。 在本實施型態中，在口 22之面26側之開口部分安裝有噴 嘴構件27 ’ 口 22係被利用作為噴出口（喷出流路）。 在凹部形成面21，設有沿著凹部形成面21之外周形成之 第1凹部23、形成於其内周侧之第2凹部24、及配設於其内 周側即口 22之周圍之第3凹部25。各凹部23〜25形成球面狀 之凹部》而’第1凹部23經由連通溝281連通於凹部形成面 101176.doc •19- 1335381 21之外周側。第2凹部24經由連通溝282連通於第i凹部 23 ’經由連通溝283連通於第3凹部25。第3凹部25經由連 通溝284連通於口 22 » 因此，利用形成於基本區段2之膜片密接面之凹部形成 面21之第1凹部23、第2凹部24、第3凹部25、連通溝 281〜2 84構成形成於膜片密接面之凹溝，利用此凹溝及膜 片8所劃分之空間形成液體流路280。此液體流路280在本 實施型態中，設有5個（5組）。 即’作為第1凹部23，形成5個第1凹部23A〜23E，作為 第2凹部24，形成5個第2凹部24 A〜24E，作為第3凹部25， 形成5個第3凹部25 A〜25E。 在本實施型態中，如圖4所示，第1凹部23(23A〜23E)、 與第2凹部24(24A〜24E)係被配置成連結各凹部23、24之中 心與口 22之中心之線之交又角度為第1設定角度之30度。 同樣地，第2凹部24(24A〜24E)與第3凹部25(25A〜25E)係被 配置成連結各凹部24、25之中心與口 22之中心之線之交又 角度為30度（第1設定角度）。 又，各凹部23、24、25係設定為由口 22之中心至各凹部 23、24、25之中心之長度徐徐變小。 因此，各凹部23A〜23E、24A〜24E、25A〜25E係以口 22 為中心被配置成螺旋狀（螺線狀）。 又，本實施型態中，凹部23〜25配置5組，各第1凹部 23 A〜23E彼此在口 22之周圍以360/5 = 72度（第2設定角度）間 距被配置。其他之第2凹部24A~24E彼此、第3凹部 101176.doc •20· 1335381 25A〜25E彼此也以72度（第2設定角度）間·距被配置。 保持環區段3係形成略圓筒狀而被安裝於基本區段2之外 周。具體上’被挾持於基本區段2之凸緣28與引導區段4之 間°在保持環區段3形成作為液體供應孔或喷出孔之口 31。在本實施型態中，在口31形成螺絲安裝著液體輸送 用管30。 保持環區段3之口 31係經由貫通孔32連通於形成在保持 環區段3之内周側，即形成在保持環區段3與基本區段2之 間之空間3 3。 在空間33中’在比貫通孔32更接近凸緣28側配置〇型環 等構成之密封材料34，以防止空間33内之液體由凸緣28及 保持環區段3之擋接面部分洩漏至外部。 又’在保持環區段3之引導區段4侧之端面安裝有膜片 8。即，在保持環區段3之端面形成環狀之凹溝乃，在此凹 溝35配置膜片8之端緣。膜片8之端緣被保持環區段3及引 導區段4所挾持。 因此’前述空間33係被密封材料34及膜片8所劃分，而 構成可防止此空間内之液體洩漏至外部β在本實施型態 中’利用空間33構成液體之吸入流路，利用基本區段2及 保持環區段3構成流路區段。 因此’本實施型態中’利用第1凹部23構成吸入側閥室 用凹部’利用第2凹部24構成計量室用凹部，利用第3凹部 2 5構成喷出側閥室用凹部。 膜片8係利用可彈性變形之橡膠（合成橡膠、天然橡膠） 101176.doc 1335381 等構成，並形成略圓盤狀。膜片8密接於基本區段2之流路 區段密接面係形成平面（扁平）狀。又，膜片8擋接推壓桿 73〜75之推壓桿擋接面也形成平面狀。又，在本實施型態 中，膜片8之厚度約1 mm程度。 又’凹部形成面21、與朝向此凹部形成面21之引導區段 4之端面41之間’例如為〇.9 mm等稍微小於膜片8之厚度尺 寸。因此，在組裝各區段2〜5之際，膜片8會被凹部23〜25 以外之平面部分與引導區段4所挾持，膜片8會被特定壓力 壓制於凹部形成面21。因此’各凹部23〜25係構成被密接 於凹部形成面21之膜片8所劃分，而僅利用連通溝281〜284 與其他之凹部23〜25連通》因此’利用第i凹部23及膜片8 所劃分之空間構成吸入側閥室，利用第2凹部24及膜片8所 劃分之空間構成計量室’利用第3凹部25及膜片8所劃分之 空間構成喷出側閥室。又，利用連通溝281-284及膜片8所 劃分之空間構成各連通路。而’液體流路28〇係由設置有 此等各閥室、計量室及連通路所構成。 在引導區段4亦如圖5所示’在轴方向貫通形成對應於基 本區段2之各凹部23~25之形成位置之導孔43〜45。即，在 與第1凹部23A〜23E同轴之位置分別形成第1導孔 43 A〜43E。又，在與第2凹部24A〜24E同轴之位置分別形成 第2導孔44A〜44E。另外，在與第3凹部25A〜25E同軸之位 置分別形成第3導孔45A〜45E。 各導孔43~45係在轴方向之中間部形成階差而直徑互 異’端面41側形成小徑孔部46，安裝區段5側形成直徑大 101176.doc -22· 1335381 於小輕孔部46之大徑孔部47 ^ 在各導孔43〜45，插入作為推壓構件之推壓桿73〜75。 即，在第1導孔43入〜43£，分別插入第1推壓桿73，在第2 導孔44A〜44E，分別插入第2推壓桿74，在第3導孔 45 A 45E，分別插入第3推壓桿75。而，利用對應於吸入 側闕至而汉置之第1推壓桿73構成吸入側推壓構件，利用 對應於計量室而設置之第2推壓桿74構成計量室用推壓構 件，利用對應於喷出側閥室而設置之第3推壓桿75構成喷 出侧推壓構件》 各推壓桿73〜75具有插入導孔43〜45之小徑孔部46部分之 小徑部76、與插入大徑孔部47部分之大徑部77 ^小徑部76 之軸方向尺寸形成長於小徑孔部46，因此，如圖3所示， 小徑孔部46及大徑孔部47間之階差、與小徑部76及大徑部 77間之階差之間形成有空間。在此空間配置螺旋彈簣， 使各推壓桿73〜75附有向離開膜片8之方向移動之勢。 各推壓杯73〜75之膜片8側之端面形成球面狀。因此，構 成使各推壓桿73〜75向膜片8側移動時，膜片8可密接於各 凹部23〜25之球面。但，連通溝281〜284之寬尺寸較小，故 膜片8不會進入連通溝281 ~2 84内，連通溝281〜2 84可維持 常時連通狀態。 另一方面，推壓桿73〜75之他方之端面形成略半球狀之 凹部，在此凹部收容著滾珠79。 安裝區段5係形成内部形成剖面略圓形之貫通孔之筒 狀，在其内部貫通孔配置被驅動單元6旋轉驅動之凸輪 101176.doc -23- 1335381 51。此凸輪51也可直接安裝於驅動單元6之輸出軸61，但 在本實施型態中，係經由花鍵軸套52、花鍵軸53而安裝於 輸出軸61«即’花鍵軸53係被銷54可一體旋轉地安裝在輸 出軸61。又’花鍵軸套52被壓入於凸輪51。花鍵軸套52及 凸輪51係構成可對花鍵軸53向輸出軸61之軸方向滑動移 動，且可與花鍵軸53及輸出軸61成一體旋轉。 凸輪51及花鍵轴套52係被滾珠軸承55迴動自如地支持於 安裝區段5。滾珠軸承55及凸輪51係介著間隔圈56被碟形 彈簧57向引導區段4側施力，推壓桿73〜75係被螺旋彈簧78 向，凸輪51側施力，故凸輪51之凸輪面511—直擋接於滾 珠79。因此，利用碟形彈簧57及螺旋彈簧78構成使推壓桿 73〜75之滚珠79擋接於凸輪51之凸輪面511之施力手段。 凸輪51如圖6A及圖6B所示’係利用端面形成凸輪面5U 之端面凸輪（立體凸輪）所構成，凸輪面511具有對應於圖7 所示之凸輪線圖之凸輪形狀。即’凸輪51係在中心轴部分 形成貫通孔’在其周圍以環狀形成凸輪面511。 凸輪面511之形狀如圖7之凸輪線圖所示》此凸輪線圖之 y軸係將凸輪面5 11最接近於膜片8側之部分設定為凸輪最 低位置（y=0) ’將最遠部分設定為凸輪最高位置（在本實施 型態之一例中’例如y=〇.5 mm)。另一方面，X轴係以第1 推壓桿73之滾珠79擋接於最低位置（y=0)之狀態作為〇。， 表示距離該位置之凸輪51之旋轉角度，即表示對滾珠79之 凸輪面511之相對旋轉角度。又，在凸輪線圖中，也記載 滾珠79之中心位置之移動執跡。 101176.doc -24· 1335381 又，在本實施型態中，凸輪面511係以90。為1循環，9〇。 至180°、180。至270。、270。至360。為其重複，故以〇。至9〇。 之部分加以說明。 凸輪51之旋轉角度〇°至15°之凸輪面511A係一直保持最 低位置（y=〇)之狀態》即，凸輪面511A係以與凸輪51之旋 轉軸正交之平面所構成。 15至27 °之凸輪面511B係例如以y=(x — 15)2/864表示圓 周方向之形狀之二次曲線。 27至33 °之凸輪面5 11C係例如以y=x/36 — 7/12表示圓周 方向之形狀之直線。 33至57。之凸輪面511〇係例如以]^=0.5—(乂一45)2/864表 示圓周方向之形狀之二次曲線。 57至63之凸輪面5 11E係例如以y= — x/36+23/12表示圓 周方向之形狀之直線。 63 °至75。之凸輪面511F係例如以y=(x - 75)2/864表示圓 周方向之形狀之二次曲線。 75°至90°之凸輪面511G係與凸輪面511A相同之平面。 此等各凸輪面511A〜511G係由凸輪面511之中心轴形成 放射狀。即，各凸輪面511A〜511G之境界線係由凸輪面 511之中心軸形成放射狀之直線。 因此’驅動單元6轉動花鍵轴53、花鍵軸套52、凸輪51 時’沿著前述凸輪面511之形狀，前述滾珠79及推壓桿 73〜75會向軸方向進退。當推壓桿73〜75向凹部23〜25側移 動時’對應於膜片8之凹部23〜25之部分（在膜片8中，推壓 101176.doc -25· 桿73〜75所擋接之凹部對應部）及凹部23〜25所劃分形成之 各閥室及計量室之容積會減少，最後，凹部對應部會密接 於凹部23~25之内面。即，推壓桿73〜75施行容積減少動 作。 又，由此狀態’推壓桿73〜75向離開凹部23〜25之方向移 動時，膜片8之凹部對應部脫離原來密接之凹部23〜25之内 面’凹部23〜25及膜片8間所劃分形成之各閥室及計量室之 容積會增大。即’推壓桿73〜75施行容積增大動作。 在此’係以使推壓桿73〜75與滾珠79之摩擦係數低於滾 珠79與凸輪面511之摩擦係數之方式，設定各推壓桿 73〜75、滾珠79、凸輪51之材質、塗敷處理之有無、塗敷 方法等。 具體上’滾珠79採用碳化鶴等超硬質合金等構成之硬質 滾珠。又，凸輪51也係以淬火研磨之碳工具鋼等金屬等構 成’凸輪面511採用硬質之材料。 另一方面，各推壓桿73~75及花鍵軸套52係利用塑膠（合 成樹脂）等構成之材料。在此’推壓桿73通常係以比滾珠 79軟質之樹脂材料構成’但也可使用以dlc塗敷法等形成 與滚珠79同程度之硬度之材料。要言之，只要以使與滚珠 79之摩擦係數在推壓桿73〜75側低於與凸輪面511之方式， 選定各材料即可。又’各推壓桿73〜75雖較軟質，但此也 係指與滚珠79作比較之情形而言’由於必須將凸輪面$ i j 之變位經由滾珠79及各推壓桿73〜75傳達至膜片8，故需確 保不會因該種擋接而變形之強度。 101176.doc -26· 1335381 驅動單元6只要可使輸出軸6丨旋轉之.旋轉驅動源即可， 可利用各種馬達。在本實施型態中，係利用附減速機之伺 服馬達所構成。 ° 安裝板9被小螺絲固定在安裝區段5。利用此安裝板9 , 構成可將隔膜泵1安裝於各種製造裝置或機器人手臂等上 使用9 又，在本實施型態中，由於在各液體流路28〇執行液體 之輸送，故可說在每1液體流路280都構成泵。即在本實 施型態中’利用設於各液體流路28〇之各閥室、計量室（凹 部23〜25)、推壓桿73〜75、連通路（連通溝281〜284)、膜片8 構成液體輸送用之各泵，利用此等複數之泵構成可少脈動 而連續地輸送一定量之液體之隔膜泵1。 又’在本實施型態中，利用凸輪5丨、花鍵軸套52、花鍵 轴53、碟形彈簧57、驅動單元6、螺旋彈簧78構成控制推 麼桿73〜75之推壓構件驅動控制部，利用此推壓構件驅動 控制部與推壓桿73〜75構成往復驅動膜片8之驅動手段。 其次，參照圖8A〜圖12說明本實施型態之作用。 [推壓桿之動作說明] 首先，說明有關各推壓桿73〜75本身之動作。各推壓桿 73〜75係依照凸輪51之凸輪面511之形狀執行動作。 如前所述，在凸輪51之旋轉角度〇。至15。，凸輪面511係 一直保持最低位置（y=〇)之狀態’滾珠79及推磨桿73〜75係 一直保持使膜片8密接於凹部23〜25之内周面之狀態，不向 其軸方向移動。 101176.doc •27· 1335381 利用由15°至27。之凸輪面511，滾珠79及推壓桿73〜75以 等加速度運動向離開膜片8之方向移動。 利用由27°至33°之凸輪面511，滾珠79及推壓桿73〜75以 等速度運動向離開膜片8之方向移動。 利用由33 °至45 °之凸輪面5 11，滾珠79及推壓桿73~75以 等加速度運動向離開膜片8之方向移動。 利用由45。至57°之凸輪面511，滾珠79及推壓桿73〜75以 等加速度運動向離開膜片8之方向移動》 利用由57°至63°之凸輪面511，滾珠79及推壓桿73〜75以 等速度運動向離開膜片8之方向移動。 利用由63 °75至。之凸輪面511，滾珠79及推壓桿73〜75以 等加速度運動向離開膜片8之方向移動。 由75°至90。，利用凸輪面51ι，一直保持最低位置（y=〇) 之狀態’滚珠79及推壓桿73〜75係一直保持使膜片8密接於 凹部23〜25之内周面之狀態，不向其軸方向移動。 90° 至 180°、180° 至270。、270。至 360。使用與 0。至 90。相 同之凸輪面511，故重複執行上述動作。 因此，各推壓桿73〜75係使滾珠79擋接於前述凸輪面 5 11，一面自轉’一面沿著凸輪面5丨丨移動（公轉），藉以向 軸方向進退移動，凸輪51旋轉1次時，各推壓桿73〜75向軸 方向進退移動4次來回《此際之衝程量在本實施型態中， 係設定於0.5 mm β 而’隨著各推壓桿73〜7 5之進退，前述膜片8向密接於凹 部23〜25之方向移動而縮小各閥室及計量室之容積，或向 101176.doc -28· 1335381 離開凹部23〜25之方向移動而增大各閥室及計量室之容 積，藉以施行對各閥室内及計量室之液體之吸入或由各閥 室及計量室之液體之喷出。 [各泵（3支推壓桿）之動作說明] 其次，以插入第1導孔43八、第2導孔44八、第3導孔45八 之第1推壓桿73、第2推壓桿74、第3推壓桿75之動作為 例，說明有關構成隔膜泵1之各泵之動作。 又’在以下之說明中’凸輪5丨係執行對圖2所示之凹部 形成面21向反時針方向旋轉（凸輪面511側觀察凸輪51之情 形’為順時針方向旋轉）’由凹部形成面2 1之外周側之空 間；33吸入液體，由中心之口 22喷出液體之動作。 圖8A及圖8B係第1推壓桿73之滚珠79位於凸輪面511之0。 位置之情形《此際，第2推壓桿74係被配置於比第1推壓桿 73慢30°之位置’故其滾珠79位於凸輪面511之33〇。位置。 同樣地’第3推壓桿75係被配置於比第2推壓桿74慢3 0。之 位置’故其滾珠79位於凸輪面511之3 00。位置。 因此，第1推壓桿73係呈現變位〇，即，推壓膜片8使其 密接於第1凹部23A ’第1凹部23A及膜片8之凹部對應部所 劃分之吸入側閥室處於密閉狀態。第2推壓桿74呈現變位 〇.25，即，移動至移動衝程之一半之位置。第3推壓桿75 也呈現變位0.25，即，移動至移動衝程之一半之位置。各 推壓φρ 74、75位於此等之位置時，第2凹部24A、第3凹部 25A及膜片8之凹部對應部所劃分之計量室及噴出側閥室之 容積成為對應於各推壓桿74、75之位置之容積。 10H76.doc •29· 1335381 由圖8A及圖8B之狀態，凸輪51旋轉15°時，成為圖8C及 圖8D之狀態。即，第1推壓桿73之滾珠79到達凸輪面511之 15°位置，但因其間之凸輪面511A為平面，故第1推壓桿73 不變位，一直處於密閉吸入侧閥室之狀態。 此際，第2推壓桿74之滾珠79由凸輪面511之330。移動至 345 °，第2推壓桿74向膜片8側移動變位0.25 mm至〇 mm之 位置。隨著此移動，計量室之容積徐徐變小，故計量室内 之液體介著連通溝283而被輸送至噴出側閥室側。 又，第3推壓桿75之滾珠79由凸輪面511之300。移動至 315 ’第3推壓桿75向離開膜片8之方向移動變位0.25 mm 至0.5 mm之位置。隨著此移動，喷出侧閥室之容積徐徐增 大’故由計量室被輸送之液體被吸入至喷出側閥室。因 此’在圖8A〜圖8D間實施第2輸送步驟。 由圖8C及圖8D之狀態，凸輪51旋轉12。時，成為圖9A及 圖9B之狀態。即，第1推壓桿73之滾珠79到達凸輪面511之 15°至27°位置，第1推壓桿73向離開膜片8之方向移動變位 0 mm至1/6 mm之位置。隨著此移動，吸入側閥室之容積 徐徐增大’故液體由凹部形成面21之外周面之空間33經連 通溝281被吸入至吸入側閥室。 此際’第2推壓桿74之滾珠79由凸輪面511之345。移動至 357 ，第2推壓桿74 —直處於向轴方向變位0 mm之位置而 不移動。因此，膜片8持續密接於第2凹部24A，計量室維 持被进閉狀態’故不會經由計量室施行液體之移動。 又’第3推壓桿75之滾珠79由凸輪面511之315。移動至 iOU76.doc -30· 1335381 327°，第3推壓桿75向接近於膜片8之方，向移動變位05 mm 至1/3 mm之位置。隨著此移動，喷出側閥室之容積徐徐變 小，故喷出側閥室内之液體經由連通溝284被輸送至吸入 至口 22。因此，可由口 22之端部之噴嘴構件27喷出對應於 喷出側閥室之容積減少之液體》 因此’在圖8B〜圖9B間同時實施液體之吸入步驟及喷出 步驟。 接下來雖省略圖示’但當凸輪51旋轉至第1推歷桿73之 滾珠79到達凸輪面511之27。至33。位置時，第1推壓桿73向 離開膜片8之方向進一步移動變位丨/6 mm至1 /3 mm之位 t 置。隨著此移動，吸入側閥室之容積徐徐增大，故液體由 凹部形成面21之外周側經.連通溝281被吸入至吸入側閥 室，繼續執行吸入步驟。 此際，第2推壓桿74之滾珠79由凸輪面511之357β移動至 3 ，第2推壓杯74 —直處於向軸方向變位〇 mm之位置而不 移動。因此，膜片8持續密接於第2凹部24A ,計量室維持 被密閉狀態，故不會經由此計量室施行液體之移動。 又，第3推壓桿75之滾珠79由凸輪面511之327。移動至 333 °，第3推壓桿75向接近於膜片8之方向進一步移動變位 1/3 mm至1/6 mm之位置。隨著此移動，喷出側閥室之容積 進一步變小，故繼續進行噴出側閥室内之液體對口 22之輸 送及由喷嘴構件27之液體噴出，繼續進行喷出步驟。 當凸輪51進一步旋轉，第1推壓桿73之滾珠79到達凸輪 面511之33。至45。位置時，成為圖9C及圖9D所示之狀態。 101176.doc -31· 1335381 即’第1推壓桿73向離開膜片8之方向移動變位1/3 mm至 0.5 mm之位置。第1推壓桿73達到0.5 mm之位置時，成為 對凸輪5 1側之移動衝程終端，吸入側閥室之容積增至最 大’完成由空間33對吸入側閥室之液體吸入步驟。 此際’第2推壓桿74之滾珠79由凸輪面511之3。移動至15。 之位置’第2推壓桿74 —直處於向轴方向變位〇 mm之位置 而不移動。因此，計量室維持被密閉狀態。 又，第3推壓桿75之滾珠79由凸輪面511之333。移動至 345 °，第3推壓桿75向接近於膜片8之方向移動變位1/6 mm 至0 mm之位置。隨著此移動，喷出側閥室之容積進一步變 小，故在第3推壓桿75之滾珠79移動至凸輪面511之345。位 置以前’繼續進行喷出侧閥室内之液體對口22之輸送及由 喷嘴構件27之液體喷出。而，在第3推壓桿75之滾珠79移 動至凸輪面511之345。位置時，膜片8密接於第3凹部25 A， 喷出侧閥室處於被密閉狀態，故由喷出側閥室，亦即由液 體流路280對口 22之液體噴出停止，完成液體喷出步驟。 因此，液體吸入步驟及液體喷出步驟由圖犯實施至圖 9D。 當凸輪51進一步旋轉，第i推壓桿73之滾珠79到達凸輪 面511之45。至57。位置時，成為圖1〇A及圖1〇B所示之狀 態。 即，第1推壓桿73向接近於膜片8之方向移動變位〇.5 mm 至1/3 mm之位置。隨著此移動，吸入側閥室之容積徐徐變 小，故液體由吸入側閥室介著連通溝282而被輸送至計量 101176.doc •32- 1335381 室。 - 此際，第2推壓桿74之滚珠79由凸輪面511之15。移動至 27°之位置，第2推壓桿74向離開膜片8之方向移動變位〇 mm至1/6 mm之位置《隨著此移動，計量室之容積徐徐增 大，故液體由吸入側閥室介著連通溝282而被輸送至計量 室。因此，實施第1輸送步驟。 又，第3推壓桿75之滾珠79由凸輪面511之345。移動至 357 ，第3推壓桿75 —直處於向轴方向變位〇 mm之位置而 不移動。因此’喷出側閥室維持被密閉狀態，由喷出側閥 室對口 22之液體喷出維持於停止狀態。 接下來雖省略圖示，但當凸輪51旋轉至第丨推壓桿73之 滾珠79到達凸輪面511之57。至63。位置時，第1推壓桿73向 接近於膜片8之方向進一步移動變位1/3 mmi1/6 mm之位 置。隨著此移動’吸入側閥室之容積進一步縮小，故仍繼 續執行由吸入側閥室對計量室之液體輸送（第1輸送步驟）。 此際，第2推壓桿74之滾珠79到達凸輪面511之27。至33。 位置時，第2推壓桿74向離開膜片8之方向移動變位1/6 mm 至1 /3 mm之位置。隨著此移動，計量室之容積徐徐增大， 故仍繼續執行由吸入側閥室對計量室之液體輸送（第1輸送 步驟）。 又，第3推壓桿75之滾珠79由凸輪面511之357。移動至3。， 第3推壓杯75 —直處於向軸方向變位〇 mm之位置而不移 動》因此，維持噴出側閥室被密閉狀態，由噴出側閥室對 口 22之液體噴出被維持於停止狀態β 10ll76.doc •33· 1335381 當凸輪51進一步旋轉，第1推壓桿73之滾珠79到達凸輪 面511之63°至75。位置時，成為圖i〇c及圖10D所示之狀 態。 即’第1推壓桿73向接近於膜片8之方向進一步移動變位 1/6 mm至0 mm之位置。隨著此移動，吸入側閥室之容積 進一步變小’繼續執行由吸入側閥室對計量室之液體輸 送’在第1推壓桿73移動至變位〇 mm之位置之時點，膜片8 密接於第1凹部23 A，吸入側閥室處於被密閉狀態，液體輸 送也停止，完成第1輸送步驟。 此際’第2推壓桿74之滾珠79由凸輪面511之33。移動至 45之位置’第2推壓桿74向離開膜片8之方向移動變位1/3 mm至0.5 mm之位置。因此，繼續執行由吸入側閥室對計 篁室之液體吸入’直到第2推壓桿74移動至〇 5 mm之位置 為止，在到達0.5 mm之位置之時點，完成第丨輸送步驟。 又，第3推壓桿75之滾珠79由凸輪面511之3。移動至15。， 第3推壓;|干75 —直處於向軸方向變位〇 mm之位置而不移 動因此，噴出側閥室維持密閉狀態，由喷出側閥室對口 22之液體噴出維持於停止狀態。 因此，由圖9C至圖1〇D實施第1輸送步驟，在到達圖1〇c 及圖10D之時點，吸入側閥室及喷出側閥室被密閉，液體 被计里至劃分’液體以計量室之容積被計量，以實施計量 步驟。 當凸輪51進—步旋轉，第1推壓桿73之滚珠79到達凸輪 面5U之75至90。位置時’回到圖8A及圖8B所示之狀態。 101176.doc •34- 即，第i推壓桿73—直維持變位〇 mm位置而不移動。因 此’吸入側閥室維持被密閉狀態，對計量室之液體輸送也 維持停止狀態。 此際，第2推壓桿74之滾珠79由凸輪面511之45。移動至 6〇 ’第2推壓桿74向接近於膜片8之方向移動變位〇5 mm 0.25 mm之位置。隨著此移動，計量室之容積徐徐變 小，故液體由計量室被輸送至喷出側閥室。 又，第3推壓桿75之滾珠79由凸輪面511之15β移動至30。， 第3推壓桿75向離開膜片8之方向移動變位〇 〇1〇1至〇25爪爪 之位置。隨著此移動，喷出侧閥室之容積徐徐增大，故由 °十量至被輸送之液體被吸入至喷出側閥室。因此，在圖 10D〜圖8C間實施第2輸送步驟。 凸輪面511之9(Γ至180。、丨80。至270。、270。至360。係呈 現與0至90。相同之形狀。即，第！推壓桿73之滾珠79位於 凸輪面511之90。位置之狀態與圖8八及圖8B相同，故其後 重複前述動作。因此，省略其說明。 以上說明之各推壓桿73〜75之對旋轉角度之變位量之變 化如圖11之圖表所示。 又’在圖11中’為便於說明，將前述之15。至1〇5。之9〇。 之範圍以0至90加以說明。又，在圖11中，在凹部形成 面21，將配置於外周側之第1推壓桿73表示為「外」，將配 置於内周側之第3推壓桿75表示為「内」，將配置於各推壓 桿73、75間之第2推壓桿74表示為「中」。 如圖11之所示’在第1推壓桿73到達0。至12。（在前述說 101176.doc •35· 1335381 明中，為15。至27。）以前，以等加速度運動向離開膜片8之 方向移動》此際，將單位角度（例如1。）之變化量設定成徐 徐變大。 接著’在第1推壓桿73到達12。至18。（在前述說明中，為 27°至33 °)以前，以等速度運動向離開膜月8之方向移動。 此情形，單位角度之變化量一定。 另外’在第1推壓桿73到達18。至30。（在前述說明中，為 33°至45°)以前，以等加速度運動向離開膜片8之方向移 動°此情形，將單位角度之變化量設定成徐徐變小。 又’在第1推壓桿73到達30。至42。（在前述說明中，為45。 至57。）以前，以等加速度運動向接近於膜片8之方向移 動。此際’將單位角度之變化量設定成徐徐變大。 接著’在第1推壓桿73到達42。至48。（在前述說明中，為 57至63。）以前，以等速度運動向接近於膜片8之方向移 動。此情形’單位角度之變化量一定。 另外，在第1推壓桿73到達48。至60。（在前述說明中，為 63至75 )以前，以等加速度運動向接近於膜片8之方向移 動°此情形’將單位角度之變化量設定成徐徐變小。 又’在第1推壓桿73到達60。至90。（在前述說明中，為75。 至1〇5。）以前’停止於變位量〇之位置。 另一方面’第2推壓桿74以比第1推壓桿73慢3〇»施行同 一動作。即，第2推壓桿74在0。至30。以前停止，但在30。 至90之範圍，則執行與第i推壓桿乃之^至的。之範圍相 同之動作。 10H76.doc • 36- 1335381 又’第3推壓桿75也以比第2推壓桿74慢30。（比第1推壓 桿73慢60。）施行同一動作。即，第3推壓桿75在30。至60。 以前停止，但在60。至30。之範圍，則執行與第1推壓桿73 .之〇。至60。之範圍相同之動作。 在執行此種動作之際，對口 22之液體喷出如前所述，係 在第3推壓桿75變位0.5 mm至0 mm之間（前述圖11之〇。至30。 之間）執行。 | 因此，凸輪5 1旋轉90。之間由各喷出侧閥室（第3凹部 25 A〜25E)之液體喷出量之變化如圖12之圖表所示。又，在 圖丨2中’由各喷出側閥室（第3凹部25A〜25E)之液體噴出量 分別以1〜5之號碼表示。 對應於第3凹部25A之第3推壓桿75在0。至12。之間，係以 單位角度之變化量徐徐變大之等加速度運動移動，故如圖 12所示’液體之喷出量也會徐徐增加。因此，可實施喷出 量增大步驟。 參 又’在12。至18。之間，第3推壓桿75係以單位角度之變 化量一定之等速度運動移動，故液體之喷出量也一定。因 此’可實施喷出量一定步驟β 另外’在18°至30。之間，第3推壓桿75係以單位角度之 變化量徐徐變小之等加速度運動移動，故液體之噴出量也 會徐徐減少。因此’可實施喷出量減少步驟。 另一方面’由喷出側閥室（第3凹部25Β)之液體喷出由於 各第3推壓桿75有72。之角度之偏移，且凸輪51之凸輪面 »又疋母90呈現相同凸輪面，故如圖η所示，在a。至 I01176.doc •37- 1335381 48。之範圍，施行與第3凹部25A相同之喷出動作。而在由 第3凹部25A之液體喷出量徐徐減少（喷出量減少步驟）之 際，由第3凹部25B之液體噴出量會徐徐增大（喷出量增大 步琢）’ϋ以使此等合計喷出4 一定方式設定各凸輪面 51卜同時，也將此合計喷出量設定為與各第3推壓桿以以 等速度運動移動而喷出一定噴出量之情形(例如第3凹部 25A之12°至18。之喷出量）相同。 由其他嘴出側閥室（第3凹部25C〜25E)之液體噴出也同樣 地以每18β相位互異之狀態執行動作，故如圖以所示，可 由隔膜泵1噴出一定量之液體。 而，隔膜泵1係構成具有5個作為泵機能之液體流路 280,凸輪面511每旋轉90。執行丨次往復動作，故凸輪“旋 轉1次之際，可使20個份之泵執行動作。而，在此期間， 可連續地喷出ms量之液體，歸無脈動且連續之 吸入及喷出》 又，在隔膜果1中，凸輪51每旋轉1次之嘴出量一定，故 可藉調整凸輪51之轉速，控制單位時間之喷出量。 依據此種本實施型態，可獲得如下之效果。 (1)在凹部形成面21形成複數之凹部23a〜23E、 24A-24E、25A〜25E，配置蓋此等凹部23A〜23E、 24A〜24E ' 25A〜25E之膜片8,對應於各凹部23A〜23E、 24A〜24E、25A〜25E而設置複數之推壓桿73、74、75，以 形成5個泵，利用凸輪51設定各推壓桿73〜75之動作，故可 將配合凸輪51之旋轉之液體之吸入量及噴出量，即輸送量 10H76.doc •38· 1335381 控制於一定，以一定速度使驅動單元6旋轉時，即可無脈 動且連續地輸送一定量之液體。 尤其，具有密閉吸入側閥室、喷出側閥室而在計量室劃 分液體之計量步驟，故即使為微量之液體，也可高精度地 予以輸送。 而且，僅利用驅動單元6之旋轉速度，即可調整隔膜泵ι 之單位時間之輸送量，故可非常容易地進行控制。 (2)雖使用膜片8’也可構成無脈動之連續泵，故可喷出 之液體種類之限制少，可廣泛地利用於各種用途。即，接 液部分僅為基本區段2、保持環區段3、膜片8，故只要適 宜地選擇此等零件之材質’即可輸送各種種類之液體。更 由於膜片8係利用可彈性變形之橡膠等構成，故即使屬於 銀膏或焊料膏等液體’也可在粒子不受破壞之情況下予以 喷出，並加以輸送而不會對液體造成傷害。 又，如柱塞泵一般，使密封材料擋接於柱塞以防止漏液 之情形’柱塞會對密封材料擦動’故液體會對柱塞及密封 材料發生摩擦。因此，在輸送與UV硬化性接著劑或厭氧 性接著劑等密封材料發生摩擦時容易聚合之液體之情形， 一旦液體之一部分因聚合而凝固等時，容易對液體造成傷 害。對此’在本實施型態中，因使用膜片8,故不需要密 封材料’且無與液體摩擦之部分，UV硬化性接著劑或厭 氧性接著劑等等之液體也可加以輸送而不會造成傷害。 因此’隔膜系1可輸送各種液體，可利用於化學、半導 體、印刷等廣泛之領域》 101176.doc -39· 1335381 (3) 各液體流路280之各閥室、計量室之至少1個必定會 因膜片8密接於凹部23〜25而被密閉，故即使不使用抗流 閥，也可防止逆流。因此，使凸輪51反方向旋轉’也可將 液體由口 22側輸送至凹部形成面21之外周側之空間33，容 易構成可逆流之隔膜泵1。 又，有抗流閥之情形，抗流閥之液體供應側與喷出側有 壓力差時，在抗流閥部分會發生漏液，故不能對液體供應 侧加壓以壓送液體。對此，在本實施型態中，由於可密閉 凹部23〜25而不需要抗流閥，故可對液體供應側加壓，或 在液體喷出側為負壓狀態之情形等，即使有壓力差，也可 加以利用。因此，可加壓供應液體，一面將液體無間隙地 填充於液體流路280内，一面加以輸送，故也可提高液體 之輸送精度。而且也可輸送高黏度之液體，故可更進一步 增加可輸送之液體種類，廣泛利用作為各種液體之分散 器。 (4) 利用膜片8劃分推麗桿73〜75及凸輪5 1等驅動部側與 輸送液體之泵部側’不需要另外設置防止對驅動部側之漏 液之密封材料等。另外，推壓桿73〜75只要執行以〇.5 mm 之衝程往復驅動之簡單之動作即可，可簡易構成，容易小 良化因此，可形成執行極微量之液體喷出之小型之泵 1 ’在半導體等之製造線中，也可安裝於機器人手臂上使 用。 (5) 由於以口 22為中心將凹部23a〜23E、24A~24E、 25A〜25E及推壓桿73〜75配置成螺旋狀，故可精簡凹部形 101176.doc •40· 1335381 成面21之面積。因此，可使隔膜泵1小型化。 (6) 另外’第1推壓桿73、第2推壓桿74、第3推壓桿75必 /頁錯開相位而使其執行動作。錯開相位之情形雖也可利 用在凸輪面511中’錯開對應於各推壓桿73〜75之區域方式 加以實現’但凸輪之製造較為繁雜。對此，在本實施型態 中’由於在以口 22為中心之旋轉方向將第1凹部 23八〜23£、第2凹部24人〜24£、第3凹部25八〜25£各錯開30。 加以配置，故在凸輪5丨之凸輪面5丨丨中，無必要錯開對應 於各推壓桿73〜75之區域’可直線狀地形成，故容易製造 凸輪51。 (7) 模片8只要使用覆蓋凹部形成面2丨之大小之1片即 可’故容易製造’且可降低成本。而且，在一般的隔膜泵 1中’利用往復驅動整個膜片8以施行液體喷出，故可能因 膜片8本身之變形而引起噴出誤差，難以高精度地輸送極 微量之液體。 對此’在本實施型態中，並非利用往復驅動整個膜片8 以施行液體噴出，而僅往復驅動對應於第1凹部 23A〜23E、第2凹部24A〜24E、第3凹部25A〜25E之部分（凹 部對應部）即可，故可追隨推壓桿73〜75之動作，而高精度 地驅動膜片8。由於移動對應於各凹部23〜25之膜片8之一 部分’即面積僅驅動較小之部分以輸送液體，故輸送量也 可控制於微量。因此’可實現可高精度輸送極微量之液體 之泵’故也可利用作為極微量用液體喷出裝置（分散器 而且’膜片8因流路區段密接面及推壓桿擋接面分別為 101176.doc • 41· 1335381 平面狀之單純之形狀，故可廉價製造，在膜片8磨損等之 情形，也可以低成本更換膜片8。 (8) 擋接於凸輪面511之凸輪從動件係由具備有推壓桿 73〜75、與保持於此推壓桿73〜75之滾珠79所構成，故可將 凸輪面5 11及凸輪從動件所構成之驅動部分小型化。即， 取代滾珠79而使用滾輪之情形，需要旋轉自如地支持滾輪 之旋轉軸，此旋轉軸必須向外周方向突出，故滾輪沿著凸 輪面之移動（公轉）軌跡之直徑也會增大。對此，在本實施 型態中，由於使用滾珠79，不需要滾輪，相對地，可縮小 移動軌跡之直徑，可將隔膜泵1小型化。 (9) 使用滾輪之情形，平面凸輪與滾輪之間會發生橫滑 現象’故有必要以含油樹脂形成平面凸輪以減少滾輪之磨 損’因此，與滾輪壓接時之含油樹脂之變形，會發生柱塞 之衝程量之誤差，降低液體之喷出精度。 對此，在本實施型態中使滚珠79擋接於凸輪面5丨丨，將 推麼桿73〜75與滚珠79之摩擦係數設定於低於滚珠79與凸 輪面511之摩擦係數，故即使隨著公轉，與圓周方向等之 力量施加至滾珠79 ’其力量也會被推壓桿73〜75與滾珠79 之滑動所吸收。因此’在凸輪面511與滾珠79間不會發生 橫滑等現象，可使滾珠79轉動而不會對凸輪面511滑動。 因此’不必像以往般需考慮摩擦因素而以含油樹脂等形成 凸輪面511 ’可利用金屬等硬構件形成，且滾珠79也可利 用硬構件構成’故可減少推壓桿73〜75之衝程量之誤差， 提尚液趙之噴出精度。 101176.doc •42- 1335381 另外，推壓桿73〜75之進退可由凸輪面511之形狀單一意 義地加以設定，故藉由適宜地設定凸輪面511之形狀，可 正確地控制推壓桿73〜75之動作，施行無脈動之正確之喷 出0 (10)，另外，推壓桿73〜75雖由樹脂等比滾珠79柔軟之 構件構成’但因利用可收容滾珠79之約半球部分之半球狀 之凹部保持著滾珠7 9，故滚珠7 9及凹部間發生滑動之情

形’可利用凹部之寬面積支持其滑動所生之力，可防止推 壓桿73〜75之變形。 藉此，不會發生推壓桿73〜75之移動量之誤差，可正確 地控制推壓桿73〜75之動作，即使液體之輸送量極微量， 也可高精度予以輸送。 (11)設置螺旋彈簧78，使各推壓桿73〜75向凸輪面511側 施力，故可確實使各推壓桿73〜75確實追從凸輪面511。另

外，藉碟形彈簧57，使整個凸輪51向膜片8側施力，故可 以某種程度自動對正於各推壓桿73〜75變位〇之位置，即， 將膜片8推壓於凹部23〜25之情形之位置。即，以某種程度 之力將推壓桿73〜75推壓於膜片8時，在膜片8密接於凹部 23〜25，且被壓縮某種程度之時點，可與前數推壓力取得 平衡而決定推壓桿73〜75之位置。因此，如本實施型態 般’利用間隔圈56之高度尺寸等，將凸輪51預先概略地對 正於設計上所決定之位置時，其後，藉碟形彈簧57，將凸 輪51向膜片8側推壓，即可自動地調整各推壓桿73〜75之位 置。因此，即使各零件之加卫精度不太高，在隔膜果以 101176.doc -43· 配時’也可正確地設定凸輪51之位置，故可提高加工作業 性’且較廉價地予以製造。 (12) 僅利用旋轉驅動源之驅動單元6使凸輪51旋轉，即 可使各推壓桿73〜75追隨凸輪面執行往復驅動。因此，可 將推壓構件驅動控制部簡素化，可實現小型、輕量之隔膜 泵1。因此，在各種製品之生產線中，在利用於接著劑或 各種膏等之喷出之際，也可將隔膜泵丨安裝於機器人之手 臂而使其尚速、高加速度移動，可實現生產線之流水作業 時間之縮短’有助於生產性之提高。 (13) 另外，在本發明中，只要利用馬達等構成之驅動單 元6使凸輪51旋轉’即可在特定時間重複使各推壓桿73〜75 執行動作。此際，可將各推壓桿73〜75之每丨循環動作之液 體輸送量設定於一定，故只要調整凸輪51之轉速，即可調 整單位時間之液體輸送量。因此，隔膜泵1之液體輸送量 之控制非常簡單’故可實現使用方便性良好之隔膜泵i(分 散器）。 [第2實施型態] 其次，參照圖13、圖14明有關本發明之第2實施型態》 第2實施型態之隔膜泵1A之基本區段2A、膜片8A之構成 異於前述第1實施型態之隔膜泵即，在基本區段2A中， 膜片8A密接之膜片密接面21A異於形成有第1實施型態之 凹部23〜25、連通溝281〜284之凹部形成面21，呈現未形成 有溝或凹部之平面（扁平面）。 又’膜片8A係具有面對基本區段2 A側之流路區段密接 10U76.doc -44 - 面81、及面對推壓桿73〜75侧之推壓桿擋接面82而形成略 圓板狀。 流路區段密接面81並非如第1實施型態之膜片8所示之平 面狀，而係如圖14B、圖14C所示，形成凹部23〜25與連通 溝281〜284。即，與第1實施型態之凹部形成面21同樣地形 成凹部23〜25與連通溝281〜284 » 又，在推壓桿擋接面82，如圖14A所示，在對應於各凹 部23〜25之位置形成球面狀之凸部83〜85。藉此，如圖14B 所示，構成使形成凹部23〜25之部分之膜厚也相同於其他 部分。此膜片8A為橡膠製，可利用橡膠模（橡膠成型用模 具）成型。 膜片8A如圖13所示，被基本區段2A及保持環區段3構成 之流路區段與引導區段4挾持固定。又，各凸部83〜85係配 置於引導區段4之導孔43〜45之位置，可擋接各推壓桿 73〜75 。 因此，可藉膜片8A之凹部23〜25及基本區段2A之膜片密 接面21A所劃分形成之空間構成吸入側閥室、計量室、喷 出側閥室。又，藉各連通溝281〜284及膜片密接面21A所劃 分形成之空間構成各連通路。 又’推壓桿73〜75之膜片8A側之端面呈平面狀，可有效 地壓入各凸部83〜85整體。但，也可使用與第1實施型態同 樣之端面呈球面狀之推壓桿73〜75。 在此種本實施型態中，在膜片8A及膜片密接面21A間形 成各閥室、計量室、連通路之點及各閥室及計量室之容積 101176.doc •45- 1335381 會隨著推壓桿73〜75之進退而變動之點與第1實施型態相 同’故以與第1實施型態相同之動作執行液體之輸送動 作。 在此種本實施型態申，除可發揮與第1實施型態相同之 作用效果外，也可獲得以下之效果。 即’將凹部23〜25、連通溝281〜284形成於膜片8A，而 非形成於基本區段2A ’故可抑制初期投資費用，隔膜泵 1A之生產數量較少量之情形’可降低成本，並容易執行極 微量之液體之輸送。即，如第1實施型態般，在金屬製之 基本區段2形成凹部23〜25等之情形，有必要製成模具而加 以成型，或利用工作母機予以加工。使用模具時，基本區 段2之生產成本雖可降低，但由於模具本身之製造會增加 成本’故初期投資費用會增大。另一方面，利用工作母機 加工之情形’加工成本會升而’在加工之理由上，難以縮 小凹部23〜25之容積。 對此，將凹部23〜25、連通溝281〜284形成於膜片8A之 情形，橡膠製之膜片8A只要利用橡膠模成型即可β此橡膠 模比成型金屬製品之模具廉價，故可抑制初期費用，且利 用橡膠模時，也可縮小計量室及流路，故極微量之液體之 輸送也可容易進行。 [第3實施型態] 其次，參照圖15〜圖24說明本發明之第3實施型態。 第3實施型態之隔膜果1Β之流路區段130、凸輪150與第1 實施型態之隔膜泵1不同。即’流路區段13 〇係以金屬製之 101176.doc • 46 - 1335381 基本構件131、與聚丙烯等之合成樹脂製之擋接構件i32所 構成。 擋接構件132具有作為供膜片8密接之膜片密接面之凹部 形成面132A。在凹部形成面132A形成有如圖2所示之第1 實施型態之凹部形成面21之凹部23〜25及連通溝281〜284。 又’在擋接構件132形成有複數之突起132B，將此突起 132B插入基本構件13 1之嵌合孔13 1A，以施行定位。 另外’在擋接構件132之中心轴部分形成作為口 22之貫 通孔。在此口 22中，壓入不錄鋼等構成之喷嘴連結構件 133 ° 喷嘴連結構件133係利用被螺絲定於流路區段π〇之喷嘴 構件2 7固定於流路區段13 0。而，藉由將此喷嘴連結構件 133壓入擋接構件132之口 22，將擋接構件132固定成密接 於基本構件131之狀態。 又’在喷嘴連結構件133與擋接構件132之間配置漏液防 止用之Ο型環。 而構成可使由作為噴出流路之擋接構件132之口 22被噴 出之液體經由喷嘴連結構件133及喷嘴構件27喷出泵外 部0 在流路區段130，以蓋形螺帽固定著安裝供應液體之管 或谷器之連結具160。而在流路區段130，形成連通於連結 具160之液體供應路161之貫通孔32、與連通於此貫通孔32 且沿著膜片8之外周形成之空間3 3。 在前述擋接構件132外周側形成連通空間33與凹部23之 101176.doc •47· 1335381 缺口溝構成之連通溝281，在本實施型態中，也利用空間 33構成吸入流路。 膜片8係被基本構件131及機殼區段1〇所挾持。在機殼區 段10之中心軸部分形成貫通孔，在此貫通孔部分保持著引 導區段4〇引導區段4之構成與第丨實施型態相同，故省略 其說明。 又，引導區段4係經由配置於安裝區段$之内部貫通孔之 圓筒狀之推壓構件12，被碟形彈簀11向流路區段13〇側施 力’構成以特定之壓力擋接於膜片8。 在驅動單元6之輸出軸61固定花鍵軸53，在花鍵軸53喪 合著花鍵軸套52。花鍵轴套52係經由滾珠軸承55被迴動自 如地支持於推壓構件12。又，花鍵轴套52係被壓入凸輪 150，而構成可與凸輪150成一體地旋轉。 凸輪150經由花鍵轴套52及滾珠轴承55，被碟形彈脊57 向引導區段4側施力。 另一方面’被引導區段4導動之推壓桿73〜75，被螺旋彈 簧78向凸輪15 0側施力。因此，設於推壓桿73〜75而具有作 為凸輪從動件之機能之滾珠79可藉特定壓力常時擋接於凸 輪150之凸輪面。 正交於凸輪150之旋轉軸之端面，如圖16A及圖16B所 示，形成有以旋轉中心軸為中心之形成略同心圓狀之3條 凸輪溝151~153。 第1凸輪溝151係導動第1推壓桿73之滾珠79之凸輪溝， 亦如圖17A所示，形成於凸輪150之最外周側。 10U76.doc •48- 1335381 第2凸輪溝152係導動第2推壓桿74之滾珠79之凸輪溝， 亦如圖17B所示，形成於凸輪溝15 1之内周側。 第3凸輪溝153係導動第3推壓桿75之滾珠79之凸輪溝， 亦如圖17 C所示，形成於凸輪溝15 2之内周側，即，形成於 凸輪150之最内周側。 各凸輪溝151〜153之凸輪線圖如圖18~20所示〇各凸輪線 圖之y軸係表示在以凸輪150之之端面之平面部分為y=〇之 際’滾珠79擋接於凸輪溝151〜153之底面部分，即凸輪面 之高度位置（深度），在凸輪溝151〜153之底面中，最接近 於膜片8側之部分（溝之較淺部分）為凸輪最低位置 (y=0.2) ’最遠部分（溝之較深部分）為凸輪最高位置（在本實 施型態之一例中’例如y=〇.7 mm)。另一方面，X軸係表示 第1推壓桿73之滾珠79擋接於凸輪最低位置（y=〇.2)之狀態 為〇時’距離該位置之凸輪15〇之旋轉角度，即對滾珠79 之&輪面之相對旋轉角度。又，在凸輪線圖中’也記載滾 珠79之中心位置之移動軌跡。 又’在本實施型態中’各凸輪溝m〜153之凸輪面係以 90 為 1 循環 ’ 90。至 180。、180。至 270。、270。至 360。為其 重複’故以0 °至90。之部分加以說明。 凸輪溝151之凸輪線圖如圖18所示，在凸輪15〇之旋轉角 度〇至30°之凸輪面係一直保持最低位置（y=〇2)之狀態。 即，凸輪面係以與凸輪15〇之旋轉軸正交之平面所構成。 30至39之凸輪面係例如以y=(x—3〇)2/81〇+1/5表示之 二次曲線。 10U76.doc •49· 1335381 3 9至4 8之凸輪面係例如以y=x/45 — 17/30表示之直線。 48 ° 至 57 ° 之凸輪面係例如以 y= - (X — 52.5)2/405 + 11/20 表示之二次曲線。 57至66°之凸輪面係例如以y=x/4 5+53/30表示之直線。 66°至75 °之凸輪面係例如以y=(x— 75)2/810+1/5表示之 -一次曲線。 75°至90°，凸輪面係一直保持最低位置（y=〇.2)之狀態。 凸輪溝152之凸輪線圖如圖19所示，在凸輪150之旋轉角 度〇至9之凸輪面係一直保持最低位置（y = 〇 . 3 )之狀態。 9°至18°之凸輪面係例如以y=(x — 9)2/810+3/30表示之二 次曲線。 1 8至2 7 °之凸輪面係例如以y=x/4 5表示之直線。 27°至36°之凸輪面係例如以y= — (X- 36)2/810+7/10表示 之二次曲線。 36 °至54 °之凸輪面係例如以y=〇.7表示之直線。 54 °至63 °之凸輪面係例如以y= — (X- 54)2/810+7/10表示 之二次曲線。 63至72 °之凸輪面係例如以y=-x/45+2表示之直線。 72°至81 °之凸輪面係例如以y=(x — 81)2/810+3/10表示之 二次曲線。 81至90 ’凸輪面係一直保持y=〇.3之狀態。 凸輪溝153之凸輪線圖如圖20所示，在凸輪150之旋轉角 度0至15之凸輪面係一直保持最低位置（y=〇.2)之狀態。 15 °至24 °之凸輪面係例如以y=(x 一 15)2/810+1/5表示之 101176.doc •50- 1335381 二次曲線。 24。至33。之凸輪面係例如以y=x/45-7/30表示之直線。 33。至 42。之凸輪面係例如以 y= — (X — 37.5)2/405 + 11/20 表示之二次曲線。 42 °至5 1 °之凸輪面係例如以y=-x/45+43/30表示之直線。 51至60 °之凸輪面係例如以y=(x — 60)2/8 10+1/5表示之 二次曲線。 60°至90°，凸輪面係例如以y=0.2表示之直線。 因此，藉驅動單元6旋轉花鍵軸53、花鍵軸套52、凸輪 150時，沿著前述各凸輪溝151〜153之凸輪面之形狀，前述 滾珠79及推壓桿73〜75會向轴方向進退。 當推壓桿73〜75向凹部23〜25側移動時，對應於膜片8之 凹部23〜25之部分（在膜片8中，推壓桿73〜75所擋接之凹部 對應部）及凹部23〜25所劃分形成之各閥室及計量室之容積 會減少，以施行容積減少動作。又，滚珠79擋接於 y=〇.2(基準深度）之位置時，凹部對應部密接於凹部 23〜25 ’以施行各閥室等之密閉動作。 推壓桿73〜乃向離開凹部23〜25之方向移動，而膜片8之 凹部對應部脫離原來密接之凹部23〜25之内面時，施行各 閥至之開放動作。另外，推壓桿73〜75向離開凹部23〜25之 =向移動時，施行凹部23〜25及膜片8間所劃分形成之各閥 室及計量室之容積增大動作。 其次，參照圖21〜24說明第3實施型態之作用。 [推壓桿之動作說明] 101176.doc • 51 · 1335381 首先，說明有關各推壓桿73〜75本身之動作。各推壓桿 73〜75係依照凸輪150之各凸輪溝151〜153之形狀執行動 作。此際’各推壓桿73〜75係與前述第1實施型態同樣地各 錯開第1設定角度’即錯開30。被配置。因此，推壓桿73之 滾珠79在圖18中位於60 °之位置時，推壓桿74之滚珠乃位 於在圖19中30。之位置，推壓桿75之滾珠79位於在圖2〇中〇。 之位置。 此等各推壓桿73〜75之變位以圖表表示時，如圖2丨所 示。在圖21中，第1推壓桿73之變位以「入口」表示，第2 推壓桿74之變位以「計量」表示，第3推壓桿75之變位以 「出口」表示。 [各泵（3支推壓桿）之動作說明] 其次，以插入第1導孔43A、第2導孔44A、第3導孔45A 之第1推壓桿73、第2推壓桿74、第3推壓桿75之動作為 例’說明有關構成隔膜泵1之各泵之動作。 又，在以下之說明中’凸輪150係與前述第1實施型態同 樣地執行對凹部形成面132A向反時針方向旋轉（凸輪面側 觀察凸輪150之情形，為順時針方向旋轉），由凹部形成面 132A之外周側之空間33吸入液體，由中心之口 22喷出液體 之動作。 圖22A及圖22B係第1推壓桿73之滾珠79位於凸輪面之0。 位置之情形。此際，第2推壓桿74係被配置於比第1推壓桿 73慢30°之位置，故其滾珠79位於凸輪面之33〇。位置。同 樣地’第3推壓桿75係被配置於比第2推壓桿74慢30。之位 101l76.doc •52- 1335381 置，故其滾珠79位於凸輪面之300。位置。 因此’第1推壓桿73係呈現變位y=〇,2，即，推壓膜片& 使其密接於凹部23A ’第1凹部23A及膜片8之凹部對應部 所劃分之吸入側閥室處於密閉狀態。第2推壓桿74移動至 變位0.6556之位置。第3推壓桿75也移動至變位〇 4333之位 置。因各推壓桿74、75位於此等之位置，故第2凹部24 A、 第3凹部25A及膜片8之各凹部對應部所劃分之計量室及噴 出侧閥室之容積成為對應於各推壓桿74、75之位置之容 積。又，計量室及喷出侧閥室係經由連通路283、284連通 於口 22。 由圖22A及圖22B之狀態’凸輪150旋轉21。時，成為圖 22C及圖22D之狀態。即，第i推壓桿73之滾珠79到達凸輪 面之2Γ位置，但因其間之凸輪面為平面，故第i推壓桿73 不變位，一直處於密閉吸入側閥室之狀態。 此際’第2推壓桿74之滾珠79由凸輪面之330。移動至351。， 第2推壓桿74向膜片8侧移動變位〇.6556 mm至〇.3 mm之位 置。隨著此移動，計量室之容積徐徐變小，故計量室内之 液體介著連通溝283而被輸送至喷出侧閥室。 又’第3推壓桿75之滾珠79由凸輪面之300。移動至321。， 第3推壓桿75向離開膜片8之方向由變位0.4333 mm暫且移 動至0.55 mm之位置後，再度向膜片8側移動至〇·3 mm。隨 著此移動’喷出側閥室之容積暫且增大而由計量室吸入液 體》其次’計量室之容積徐徐變小，故液體由噴出側閥室 向口 22被噴出。又’在噴出側閥室之容積減少之際，計量 10ll76.doc -53- 1335381 室之容積也常小於喷出側閥室之方式逐次減少，且因吸入 側閥室維持於閉塞狀態’故在喷出側閥室之容積減少之 際’液體不會逆流至計量室側，可逐次向口 22側被喷出。 由圖22C及圖22D之狀態，凸輪15〇旋轉9。時，成為圖 23A及圖23B之狀態。即，第1推壓桿73之滾珠79到達凸輪 面之21 °至30。位置。在此30。之前，第1推壓桿73維持變位 0.2 mm，吸入側閥室維持被密閉狀態。 又’第2推壓桿74之滾珠79由凸輪面之351。移動至360。。 在此期間’第2推壓桿74維持變位〇.3 mm。變位〇.3 mm之 情形，膜片8不密接於第2凹部24A，而形成有間隙，故計 量室維持特定之容積之狀態。 又’第3推壓桿75之滾珠79由凸輪面之321。移動至33〇。， 第3推壓桿75向膜片8側移動變位〇.3 mm至0.2 mm之位置。 隨著此移動，喷出侧閥室被密閉。 因此，由圖22A至圖23B，液體由口 22被逐次喷出，以 實施喷出步驟。又，在變成圖23A及圖23B之狀態時，嗔 出側閥室被密閉，故結束噴出步驟。 凸輪150由圖23A及圖23B之狀態旋轉9。時，變成圖23C 及圖23D之狀態。即，第1推壓桿73之滾珠79由凸輪面之30。 移動至39°位置。因此，第1推壓桿73向離開膜片8之方向 移動變位0.2 mm至0.3 mm之位置，吸入側閥室之容積會增 大。隨著此容積之增大’液體由空間33經連通溝28 i被逐 次吸入至吸入側閥室。 又’第2推壓桿74之滚珠79由凸輪面之36〇。移動至9。， I01176.doc -54- 1335381 第2推廢杯74維持於變位〇 3 mm之位置。因此，計量室維 持特定之容積之狀態。 又’第3推壓桿75之滾珠79由凸輪面之330。移動至339。， 第3推壓桿75維持於變位〇·2 mm之位置。隨著此移動，喷 出侧閥室維持被密閉狀態。 當凸輪150由圖23C及圖23D之狀態旋轉27。時，變成圖 24A及圖24B之狀態。即，第！推壓桿73之滚珠79由凸輪面 之39°到達66°位置。此際，第i推壓桿73向離開膜片8之方 向由變位0.3 mm暫且移動至〇.55 mm(52.5。）之位置後，再 度向膜片8侧移動至〇.3 mm之位置。 又’第2推壓桿74之滚珠79由凸輪面之9。移動至36。，第 2推壓桿74向膜片8侧由變位〇.3 mm移動至〇·7 mm之位置。 隨著此移動，計量室之容積徐徐增大。 又，吸入側閥室之容積暫且增大後會再減少。因此，液 體由空間33被吸入至吸入側閥室β其後，由吸入側閥室喷 出。此際，計量室之容積逐次增大，故由吸入侧閥室喷出 之液體會被吸入計量室。 又’第3推壓桿75之滾珠79由凸輪面之339。移動至6。， 第3推麼桿75維持於變位〇.2 mm之位置。因此，喷出側閥 室一直維持被密閉狀態。 凸輪150由圖24A及圖24B之狀態旋轉9。時，變成圖24C 及圖24D之狀態。即，第】推壓桿73之滾珠79由凸輪面之66。 到達75 °位置。此際，第i推壓桿73向膜片8側由變位〇.3 mm移動至〇·2 mm之位置，吸入侧閥室被密閉。 101176.doc -55· 1335381 又’第2推壓桿74之滾珠79由凸輪面之36。移動至45。， 第2推壓桿74維持於變位0.7 mm之位置。因此，計量室之 容積不變。 另外’第3推壓桿75之滾珠79由凸輪面之6。移動至15。， 第3推壓桿75維持於變位02 mm之位置。因此，喷出側閥 室維持被密閉狀態。 因此，由圖24A至圖24D，即，第1推壓桿73之滾珠79由 凸輪面之30°移動至75。位置，吸入側閥室之容積由密閉狀 態徐徐增加’其後減少，而在再度密閉以前之期間實施吸 入液體之吸入步驟。 又，在圖24C及圖24D之狀態，即，吸入側閥室被密閉 時，結束吸入步驟。 另外’在圖24C及圖24D之狀態中，吸入側閥室及喷出 側閥室被密閉’故液體被吸入侧閥室及喷出側閥室，具體 上被劃分於計量室及連通溝282、283部分之特定容積空間 内。從而’可實施將液體劃分於特定容積空間而計量之計 量步驟。 凸輪150由圖24C及圖24D之狀態旋轉15。時，返回圖22A 及圖22B之狀態。即，第1推壓桿73之滾珠79到達凸輪面之 75。至90。位置。此際’第！推壓捍73維持變位〇 2 置，吸入側閥室也維持被密閉狀態。 又，第2推壓桿74之滾珠79由凸輪面之45。移動至60。位 置，第2推壓桿74由變位〇.7 mm移動至0.6556 mm之位置。 因此，計量室之容積徐徐減少。 101176.doc -56- 1335381 另外，第3推壓桿75之滾珠79由凸輪面之15。移動至3〇。 位置，第3推壓桿75由變位〇·2 mm移動至〇 4333 mm之位 ‘ 置。因此，噴出側閥室呈開放狀態，其容積徐徐增大，液 t 體由計量室被吸入喷出側閥室。 凸輪面之90。至180。、180。至270。、27〇。至36〇β係呈現 與0°至90°同一形狀。即，第丨推壓桿73之滾珠79位於凸輪 面之90。位置之狀態與圖22Α及圖22Β相同，故其後重複前 述動作。因此，省略其說明β 鲁 在本實施型態中，與第1實施型態同樣地，由各噴出側 閥室（第3凹部25Β)之液體喷出由於各第3推壓桿75有72。之 角度之偏移，且凸輪150之凸輪面設定每9〇。呈現相同凸輪 面，故以每18。相位不同之狀態施行動作。因此，也可由 隔膜泵1Β噴出一定量之液體。 而，隔膜泵1Β係構成具有5個作為泵機能之液體流路 28〇,凸輪面每旋轉90»執行丨次往復動作，故凸輪15〇旋轉 Φ 1次之際，可使20個份之泵執行動作。而，在此期間，可 連續地喷出及吸引一定量之液體，執行脈動少且連續之吸 入及噴出。 又，在隔膜栗1B中，凸輪150每旋轉1次之喷出量一定， 故可藉調整凸輪150之轉速，控制單位時間之喷出量。 . 在此種本實施型態中，在膜片8及擋接構件132間形成各 • @室、計量室、連通路之點及各閥室及計量室之容積會隨 著推壓桿73〜75之進退驅動而變動之點與前述第1實施型態 相同，故以與前述第1實施型態相同之動作執行液體之輸 101176.doc •57· 1335381 送動作。 在此種本實施型態中，除可發揮與第1實施型態相同之 作用效果外，也可獲得以下之效果。 即，流路區段130係以基本構件131及擋接構件132所構 成’在聚丙烯等之合成樹脂製之擋接構件132形成凹部 23〜25、連通溝281〜284，故可以樹脂成型品構成擋接構件 132，與在金屬區段形成凹部及連通溝之情形相比，可減 少製造成本》 又’在第2推壓桿74最接近於流路區段130侧之情形，也 不會使膜片8密接於第2凹部24，故可減輕膜片8與擋接構 件132之磨損等，故可謀求隔膜泵1Β之壽命之延長。 另外’計量室雖未被密閉，但各閥室之一方必定處於密 閉狀態，故可確實防止由吸入流路直通至喷出流路，確實 維持作為泵（分散器）之機能。 又’因使用滾珠79作為凸輪從動件，故凸輪15〇之凸輪 溝151〜153只要使用底面彎曲之圓溝即可，也可利用球磨 機加工等形成。因此’也可抑制凸輪150之製造成本，可 廉價製造隔膜泵1Β » 又’本發明並不限定於前述各實施型態，可達成本發明 之目的之範圍之變形、改良等均包含於本發明。 例如’在前述實施型態中，將凹部23Α〜23Ε、 24Α〜24Ε、25Α〜25Ε配置成螺旋狀，但如圖25所示，也可 配置成放射狀。此情形，只要在凸輪51之凸輪面511中， 將對應於第1凹部23Α〜23Ε之第i凸輪面 '對應於第2凹部 101176.doc -58- 1335381 24A〜24E之第2凸輪面、對應於第3凹部25A〜25E之第3凸輪 面分別錯開30。形成即可。例如，只要將凸輪面形成環 狀’並錯開30。而加以組合即可。又，如第3實施型態所 示’在凸輪150形成凸輪溝之情形，只要錯開相位而形成 凸輪溝即可。 但’前述各實施型態具有可縮小凹部形成面21之直徑， 可精簡製造隔膜泵1~1B之優點》又，如前述實施型態之螺 旋狀之凹部23A〜23E、24A〜24E、25A〜25E之加工與放射 狀之加工雖有較困難之情形，但使用近年來之數控工作母 機時’可較容易地予以加工。另外，凹部23A〜23E、 24A〜24E、25A〜25E係由球面之一部分所構成之曲面，具 有輕微之凹度，可施行模具成型，故只要準備模具，即可 容易加以製造。 另外，也可將凹部23〜25形成於膜片或流路區段之一 方’將連通溝281〜284形成於膜片或流路區段之他方。要 吕之’只要將膜片及流路區段構成可藉膜片及流路區段劃 分形成吸入側閥室、計量室、喷出側閥室及連通路組成之 液體流路即可。 液體流路280，即各個泵之數並不限定於如前述實施型 態之5個’只要3個以上即可。即，在各泵中’具有停止液 體輸送之狀態、液體輸送量徐徐減少之狀態、液體輸送量 徐徐增加之狀態，利用1個泵輸送液體時，會發生脈動。 因此’泵有2個之情形’因不能由2個栗同時設定輸送液體 之狀態’故不能消除脈動。因此，最低限度需要3個泵》 101176.doc •59 1335381 另一方面，增多泵數時，可藉複數之泵同時施行液體輸 送，故難以受到各泵之液體輸送量之增減之影響，可施行 脈動更少之一定量之液體輸送。但，泵數多時，凹部 23~25及推壓桿73〜75之數也會增加，會使隔膜泵1大型 化。因此，如前述實施型態般設置5個時，可使隔膜果較 小型化’且可實現脈動少而一定量之液體輸送，此點甚屬 理想。

又，設於液體流路280之凹部23〜25數不限於3個，也可 為4個以上’但，有3個時，即可構成防止逆流之泵，故在 小型化之點上，以設置3個為宜。 另外’凹部23〜25間之第1設定角度及第2設定角度並不 限定於前述實施型態之3 0 °、7 2。’只要依照凹部之數、液 體流路280之數設定即可。

凸輪51、150之凸輪面511之形狀並不限定於前述實施型 態之凸輪線圖之形狀。例如也可將使各推壓桿73〜75等加 速度運動之凸輪面部分形成正弦曲線之凸輪面等，要古 之，只要以使各推壓桿73〜75輸送之液體輸送量之合計值 維持一定之方式設計各凸輪面即可。 流路區段之構成與各凸輪51、15〇之組合亦不限定於前 述實施型態之組合，例如’纟第i實施型態中，既可使用 形成第3實施型態之凸輪溝151〜153之凸輪15〇，亦可在第3 實施型態中使用第1實施型態之凸輪51。 作為驅動凸輪51 述實施型態之構造 15〇之驅動機構之構造並不限定於前 例如既可不使用花鍵轴套52及花鍵軸 101176.doc •60- 1335381 53而將凸輪51、150直接固定於輸出軸，亦可不使用碟型 彈簧等而將凸輪51、150定位。 又’作為馬達，可利用步進馬達、伺服馬達、同步馬 逹、DC馬達、感應馬達、可逆式馬達、氣動馬達等各種 馬達。 另外，在第1、第2實施型態中，也可設置將與第3實施 型態同樣之引導區段4向膜片8側施力之施力手段。又，施 力手¥又之構成可在實施之際適當地加以設定，例如，如圖 26所示，只要在機殼區段1〇之内侧將引導區段4配置成可 向轴方向移動’構成可藉碟形彈簧11及圓筒狀之推壓構件 12組成之施力手段向膜片8側施力即可β 又’在圖26之例中’將樹脂製之導動環13壓入機殼區段 10之内周側’使形成在此導動環13之内周之齒 '與形成在 引導區段4之外周之齒相嚙合，而構成使引導區段4部旋轉 而僅向轴方向移動》且將凸輪51、花鍵軸套52、滾珠軸承 55、碟形彈簧57配置於推壓構件12之内周側。 5又置使引導區段4向膜片8側施力之施力手段時，基本區 段2及引導區段4之加工精度即使略低，亦可防止液體之輸 送量之精度之降低。即，如第丨、第2實施型態所示，在由 基本區段2、保持環區段3、引導區段4之加工精度所設定 之基本區段2及引導區段4之間隙配置膜片8之情形，其間 隙尺寸若大於膜片8之厚度尺寸，膜片8無法密接於凹部形 成面21而會發生漏液，液體之輸送量之精度會降低。又， 前述間隙尺寸若過小於膜片8之厚度尺寸而使膜片8過於變 101176.doc 61 1335381 形時，膜片8之一部分會向凹部23〜25及連通溝281〜284内 突出而塞住液鱧流路280，以致有不能輸送液體之虞。因 此，在前述第1、第2實施型態中，有必要提高基本區段2 及引導區段4之加工精度，而高精度地設定前述間隙尺 寸。 對此’如第3實施型態及圖26所示之例般，構成使引導 區段4向膜片8側施力時，基本區段2及引導區段4之加工精 度即使不太高，亦可確實使膜片8密接於基本區段2,並可 防止膜片8過於變形而塞住液體流路280，故可防止液體之 輸送量之精度降低，且確實輸送液體。 又，在前述實施型態中，將連通溝281〜284之寬尺寸縮 小至凹部23〜25之寬尺寸（直徑）之1/6程度，但也可設定為 凹部23〜2 5之寬尺寸之1/2程度或相同於凹部23〜25之寬尺 寸’只要依照輸送之液體之種類等加以設定即可。又，擴 大連通溝281〜284之寬尺寸時，膜片8過於變形之際，膜片 8會向連通溝281〜284内突出而容易塞住液體流路280。因 此，擴大連通溝281〜284之寬尺寸時，最好提高基本區段2 及引導區段4之加工精度，提高基本區段2及引導區段4間 之間隙尺寸精度，或設置使引導區段4向膜片8側施力之施 力手段》 另外’其他之部分之形狀、構造、材質等也不限定於前 述實施型態，可施行種種之變形。 又’本發明之隔膜果1〜1B也可藉使凸輪51逆向旋轉而逆 流，故不限定於由口 22側喷出液體之情形，也可利用於由 101176.doc -62· 1335381 口 22側吸入液體之用途。 另外，隔膜泵1〜1B如前述實施型態所示，可藉設置喷嘴 構件27而利用作為亦體喷出裝置（分散器）以外，也可利用 * 於依照流通特定液體之線路之流量計測值等，向線路内喷 出微量液體使其混合，或由線路進行抽樣之情形。 另外，也可在流通特定液體之線路介設隔膜泵丨〜⑺而啟 動驅動單元6,使泵前後之線路之壓力等處於平衡狀態， _ 由該平衡狀態之驅動單元ό之旋轉量及脈衝數等測定流 置。尤其，本發明之隔臈泵卜⑺由於適於吸引、噴出極微 量之液體’故可利用作為極微量流量計。 又’膜片8之材質不限於橡膠製品，也可使用積層含氟 樹脂等與橡膠等之構成。依據此種構成，利用耐藥品性能 較命之含免樹脂等構成膜片8接觸液體之面，可大幅增加 可使用之液體種類，利用於各種用途。要言之，作為膜片 8 ’只要屬於可藉推壓桿73〜75之推壓力變形，且在解除推 % 壓彳于73〜75之推壓力之際可恢復原來狀態之可彈性變形之 材料即可。 又’在使用比含氟樹脂等橡膠難以變形之材質之情形， 只要構成例如將凹部23〜25之深度尺寸縮小至例如〇.1 mm 程度’或從形狀等設法使變形量少之膜片8也能密接於凹 4 23 25即可。要言之，四部23〜25之形狀、尺寸只要依照 使用之膜片8之材質及液體之輸送量適當地加以設定即 * 可。 又’在前述實施型態中，凹部23~25之寬尺寸係形成大 101l76.doc •63· 1335381 ·—--- 於連通溝281〜284之寬尺寸，但也可將各寬尺寸設定於相 同。例如，如圖27所示，只要由形成於流路區段之中心軸 之口 22呈放射狀形成凹溝即可。凹溝只要形成刮面圓弧狀 且寬尺寸一定之溝即可。在此種構成中，只要配合凹溝之 位置而配置各推壓桿73〜75，使推壓桿73〜75向凹溝（流路 區段）側移動，即可使膜片8密接於凹溝，並封閉凹溝。 又，使推壓桿73〜75向離開凹溝之方向移動時，可使膜片8 離開凹溝而開放凹溝。因此，在寬尺寸一定之凹溝中，可 實質地形成各凹部23〜25及連通溝28 1〜284，即形成各閥室 及計量室、連通路。 依據此種構成，只要在流路區段形成複數之寬尺寸一定 之凹溝即可，只要簡單之加工即可，可降低成本。又，由 於液體流路之溝寬較大且一定，即使高黏度之液體 ，也容 易喷出。但’如圖27所示’膜片8對凹溝在其溝長度方向 之正交方向密接於線上，故密接面積小於前述實施型態。 因此’前述實施型態具有液體流路之密閉性能較高之優 點。 又’本發明之隔膜泵也可組裝於電子零件之製造裝置使 用。即’電子零件之製造裝置只要包含前述之隔膜泵、對 此隔膜泵之前述吸入流路供應液體之液體供應手段、設於 前述喷出流路之喷嘴、及控制前述隔膜泵之驅動手段之控 制器所構成’將前述液體供應手段所供應之液體經由前述 隔膜泵由喷嘴噴出以製造電子零件即可。 在此種電子零件之製造裝置中，因使用可高精度地輸送 101176.doc -64- 1335381 極微量之液體之前述之隔膜泵，故可由前述喷嘴高精度地 噴出極微量之液體’且即使為含銀粉或矽石粉等粒子之液 體’也可在粒子不受破壞之情況下予以喷出。因此，町將 前述隔膜泵利用作為接著劑及樹脂等之各種液體之分散 器’可利用於使用此種分散器之各種電子零件之製造裝 置。尤其，可高精度地噴出含極微量且粒子之液體，故最 適於使用銀膏等之接著劑而將半導體晶片接著於基板之接 合及以含矽石粉等之樹脂封入LED晶片之LED製造裝置等 之電子零件之製造裝置。 【產業上之可利用性】 本發明可利用於可實現無脈動且一定量之液體輸送之隔 膜泵。又，可利用於使用由隔膜泵噴出之銀膏等之接著劑 而將半導體晶片接著於基板之接合及以由隔膜泵喷出之樹 脂封入LED晶片之LED製造裝置等之電子零件之製造裝 置。 " 【圖式簡單說明】 圖1係表示本發明之第1實施型態之圖。 圖2係表示前述實施型態之基本區段之凹部形成面之 面圖。 圖3係表示刖述實施型態之要部之剖面圖。 圖4係凹部形成面之凹部之配置之說明圖。 圖5係表示前述實施型態之引導區段之平面圖。 圖6A係前述實施型態之凸輪之剖面圖。 圖6B係表示前述實施型態之凸輪面之平面圖。 I0II76.doc -65- 1335381 圖7係前述實施型態之凸輪之凸輪線圖。 圖8A係表示前述實施型態之第1推壓桿位於凸輪面之〇» 位置之狀態之剖面圖》 圖8B係表示前述圖8A之狀態之平面圖。 圖8C係表示前述實施型態之第1推壓桿位於凸輪面之15。 位置之狀態之剖面圖。 圖8D係表示前述圖8C之狀態之平面圖。 圖9A係表示前述實施型態之第1推壓桿位於凸輪面之27» 位置之狀態之剖面圖。 圖9B係表示前述圖9A之狀態之平面圖。 圖9C係表示前述實施型態之第1推壓桿位於凸輪面之45。 位置之狀態之剖面圖。 圖9D係表示前述圖9C之狀態之平面圖。 圖10A係表示前述實施型態之第丨推壓^單位於凸輪面之57。 位置之狀態之剖面圖。 圖10B係表示前述圖1QA之狀態之平面圖。 圖i〇c係表示前述實施型態之第丨推壓桿位於凸輪面之75。 位置之狀態之圖。 圖10D係表示前述圖10C之狀態之平面圖。 圖11係表示前述實施型態之第1〜第3推壓桿對凸輪旋轉 角度之變化量之圖表。 圖I2係表示前述實施型態之液體之輸送量之變化之圖 表。 圖13係表示本發明之第2實施型態之要部之剖面圖。 101176.doc -66- 1335381 圖14A係表示第2實施塑態之膜片之推壓桿擋接面之平面 圖。 圖14B係沿著前述圖14A之A-A線之剖面圖。 圖14C係表示第2實施型態之膜片之流路區段密接面之平 面圖。 圖15係表示第3實施型態之要部之剖面圖。 圖16A係表示第3實施型態之凸輪之剖面圖。 圖16B係表示第3實施型態之凸輪面之平面圖。 圖17A係表示第3實施型態之第1凸輪溝之圖。 圖17B係表示第3實施型態之第2凸輪溝之圖。 圖17C係表示第3實施型態之第3凸輪溝之圖。 圖18係表示第3實施型態之凸輪之第1凸輪溝之凸輪線 圖。 圖19係表示第3實施型態之凸輪之第2凸輪溝之凸輪線 圖。 圖20係表示第3實施型態之凸輪之第3凸輪溝之凸輪線 圖。 圖21係表示第3實施型態之第丨〜第3推壓桿對凸輪旋轉角 度之變化量之圖表。 圖22A係表示第3實施型態之第j推壓桿位於凸輪面之〇β 位置之狀態之剖面圖。 圖22B係表示前述圖22A之狀態之平面圖。 圖22C係表示第3實施型態之第i推壓桿位於凸輪面之21。 位置之狀態之剖面圖。 101176.doc -67- 1335381 圖22D係表示前述圖22C之狀態之平面圖。 圖23A係表示第3實施型態之第1推壓桿位於凸輪面之3〇。 位置之狀態之剖面圖。 圖23B係表示前述圖23A之狀態之平面圖。 圖23C係表示第3實施型態之第1推壓桿位於凸輪面之39» 位置之狀態之剖面圖。 圖23D係表示前述圖23C之狀態之平面圖。

圖24A係表示第3實施型態之第i推壓桿位於凸輪面之 位置之狀態之剖面圖。 圖24B係表示前述圖24A之狀態之平面圖。 圖24C係表示第3實施型態之第i推壓桿位於凸輪面之乃。 位置之狀態之剖面圖。 圖24D係表示前述圖24C之狀態之平面圖。 圖25係本發明之變形例之要部之平面圖。 圖26係本發明之另一變形例之要部之斷面圖。

圖27係本發明之另一變形例之要部之平面圖。 【主要元件符號說明】

1，1A，1B 2, 2A 3 4 5 6 8, 8A 隔膜泵 基本區段 保持環區段 引導區段 安裝區段 驅動單元 膜片 101176.doc -68- 1335381

10 機殼區段 11 碟形彈簧 12 推壓構件 13 導動環 21 凹部形成面 22, 31 a 23 〜25 凹部 23A 〜23E 第1凹部 24A〜24E 第2凹部 25A〜25E 第3凹部 27 喷嘴構件 28 凸緣 30 液體輸送用管 32 貫通孔 33 空間 34 密封材料 35 凹溝 43 〜45 導孔 43A 〜43E 第1導孔 44A 〜44E 第2導孔 45A 〜45E 第3導孔 46 小徑孔部 47 大徑孔部 51, 150 凸輪 •69- 101l76.doc 1335381

52 花鍵軸套 53 花鍵軸 54 被銷 55 滾珠軸承 56 間隔圈 57 碟形彈簧 61 輸出轴 73 〜75 推壓桿 76 小徑部 77 大徑部 78 螺旋彈簧 79 滾珠 81 流路區段密接面 82 推壓桿擋接面 83 〜85 凸部 130 流路區段 131 基本構件 131A 嵌·合孔 132 擋接構件 132A 凹部形成面 132B 突起 133 喷嘴連結構件 151〜153 凸輪溝 160 連結具 101176.doc -70- 1335381 161 液體供應路 281〜284 連通溝 511，511A〜511G 凸輪面

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Claims (1)

1335381 十、申請專利範圍： 1. 一種隔膜泵，其特徵在於其係包含流路區段、密接設置 於此流路區段之膜片、及往復驅動此膜片之駆動手:段 者；而 設有被前述流路區段及膜片劃分形成，且連通液體之 吸入流路及喷出流路之至少3條以上之液體流路； 前述流路區段係，吸入流路或噴出流路之—方形成-前述膜片密接之膜片密接面之中心軸部分，吸入流路^ 噴出流路之他方形成於前述膜片密接面之外周側； 在各液體流路之途中，分別設有連通於前述吸入流^ 之吸入側閥室、連通於前述噴出流路之喷出側閥室、^ 形成於吸入側閥室及喷出側閥室之間而連通於各閥室;之 計量室； 前述驅動手段係包含 相對於前述吸入側閥室挾持膜片而配置而對應於前滅 吸入側閥室設置之吸入側推壓構件； 相對於前述噴出側閥室挾持膜片而配置而對應於前述 噴出側閥室設置之喷出側推壓構件； 相對於前述計量室挾持膜片而配置而對應於前述計章 室設置之計量用推壓構件；及 控制前述各推壓構件之驅動之推壓構件驅動控制部雨 構成； 前述推壓構件驅動控制部係包含旋轉驅動源、被此旋 轉驅動源所驅動之凸輪、及使前述各推壓構件擋接於丨凸 101176.doc 1335381 輪之凸輪面之施力手段； 並可利用旋轉驅動源使前述凸輪旋轉而使各推壓構件 追隨凸輪面而使之往復驅動，藉以依照設定於各推壓構 件之特定時間執行下列各種動作： 使前述吸入側推壓構件向接近於流路區段之方向移動 而使對應於膜片之吸入側閥室之部分移動至密接於流路 區段為止而密閉前述吸入側閥室之吸入側閥密閉動作； 使前述喷出側推壓構件向接近於流路區段之方向移動 而使對應於膜片之喷出側閥室之部分移動至密接於流路 區段為止而密閉前述喷出側閥室之喷出側閥密閉動作； 使前述吸入側推壓構件向離開流路區段之方向移動而 使對應於密接於流路區段之膜片之吸入侧閥室之部分離 開流路區段而開放前述吸入側閥室之吸入側閥開放動 作； 使前述噴出側推壓構件向離開流路區段之方向移動而 使對應於密接於流路區段之膜片之喷出側閥室之部分離 開流路區段而開放前述噴出側閥室之喷出側閥開放動 作； 使計量室用推壓構件向接近於流路區段之方向移動而 使對應於膜片之計量室之部分接近於流路區段而徐徐縮 小前述計量室内之容積之容積減少動作；及 使計量室用推壓構件向離開流路區段之方向移動而使 對應於膜片之計量室之部分離開流路區段而徐徐増大前 述計量室内之容積之容積增大動作。 101176.doc 1335381 2·如請求項1之隔膜泵，其中 前述各閥室用推壓構件及計量室用推壓構件係包含， 形成於前述凸輪面側之端面之略半球狀之凹部、配置於 前述凹部而可擋接於前述凸輪面之滾珠；且 滾珠與前述凹部之摩擦係數係設定於小於前述凸輪面 與滾珠之摩擦係數者。 3.如請求項丨之隔膜泵，其中 前述推壓構件驅動控制部係使執行 吸入步驟，其係使對應於前述計量室設置之計量室用 推壓構件向接近流路區段之方向移動而使對應於膜片之 計量室之部分密接於流路區段而密閉計量室，且使對應 於吸入側閥室設置之吸入側推壓構件向離開流路區段之 方向移動而使對應於膜片之吸入側閥室之部分離開流路 區段而由吸入流路吸入液體至吸入側閥室者； 第1輸送步驟’其係使對應於喷出側閥室設置之喷出 侧推壓構件向接近於流路區段之方向移動而使對應於膜 片之噴出側閥室之部分密接於流路區段而密閉喷出側閥 室’且使前述計量室用推壓構件向離開流路區段之方向 移動而使對應於膜片之計量室之部分離開流路區段而增 大計量室之容積，並使吸入側推壓構件向接近於流路區 段之方向移動而使對應於膜片之吸入侧閥室之部分向流 路區段側移動而減少吸入側閥室之容積而由吸入侧閥室 將液體輸送至計量室者； 計量步驟’其係在一直密閉前述噴出側閥室之狀態 101176.doc -3- 1335381 下’使前述吸入側推壓構件向接近於流路區段之方向移 動而使對應於膜片之吸入側閥室之部分密接於流路區段 而密閉吸入側閥室，在吸入側閥室與喷出侧閥室間，劃 分液體而加以計量者； 第2輪送步驟，其係在一直密閉前述吸入側閥室之狀 態下’使前述計量室用推壓構件向接近於流路區段之方 向移動而減少計量室之容積，並使喷出側推壓構件向離 開流路區段之方向移動而增大喷出側閥室之容積而由計 量室將液體輸送至喷出側閥室者；及 喷出步驟，其係密閉前述計量室，使喷出側推壓構件 向接近於流路區段之方向移動而減少喷出侧閥室之容積 而由喷出側閥室將液體輸送至喷出流路者。 4. 如請求項3之隔膜泵，其中 前述推壓構件驅動控制部係在密閉計量室之狀態下， 藉由使吸入側推壓構件向離開流路區段之方向移動而由 吸入流路將液體吸入至吸入側閥室，並使喷出側推壓構 件向接近於流路區段之方向移動而由喷出側閥室將液體 輸送至噴出流路，以同時執行吸入步驟及噴出步驟者。 5. 如請求項1之隔膜泵，其中 前述推壓構件驅動控制部係使執行 吸入步驟，其係在一直密閉前述喷出側閥室之狀態 下’使對應於吸入側閥室設置之吸入側推壓構件向離開 流路區段之方向移動而使對應於膜片之吸入側閥室之部 分離開流路區段而使吸入流路與計量室連通，使對應於 101I76.doc 1335381 前述計量室設置之計量室用推壓構件向離開流路區段之 方向移動而使對應於膜片之計量室之部分離開流路區段 而增大計量室之容積而由吸入流路經吸入側閥室將液體 吸入至記量室者； 計量步驟，其係在一直密閉前述喷出側閥室之狀態 下’使前述吸入側推壓構件向接近於流路區段之方向移 動而使對應於膜片之吸入側閥室之部分密接於流路區段 而密閉吸入側閥室，在吸入側閥室及喷出侧閥室間劃分 液體而加以計量者；及 喷出步驟’其係在一直密閉前述吸入側閥室之狀態 下’使噴出側推壓構件向離開流路區段之方向移動而使 °十量至與噴出流路連通’使對應於前述計量室而設置之 计里至用推壓構件向接近於流路區段之方向移動而減少 。十量至之容積而由計量室經喷出側閥室將液體輸送至喷 出流路者。 6.如請求項3至5中任一項之隔膜泵，其中 前述推壓構件驅動控制部係 +備有徐徐地増大噴出量之喷出量增大步驟與徐徐地減 夕喷出量之噴出量減少步驟而構成前述噴出步驟； 在由則述複數之噴出側閥室之噴出步驟中，其 喷出側閥室之啥 噴出步驟為噴出量增大步驟之情 另1個噴出側間玄♦為， 將 Μ、 + 之噴出步驟設定為喷出量減少步驟， 藉以將噴出量維持於—定量者。 7.如請求項1至5中任一 項之隔膜泵，其中 101176.doc 1335381 形成於前述各液體流路之吸入侧閥室、計量室、喷出 側閥室係互相在以膜片密接面之中心轴為中心之圓周方 向以各錯開第1設定角度而形成，且以距離前述中心軸 之尺寸相異之狀態而形成； 形成於前述各液體流路之吸入側閥室彼此、計量室彼 此'噴出侧閥室彼此係互相在以膜片密接面之中心軸為 中心之圓周方向以各錯開第2設定角度而形成； 前述各閥室及計量室係自膜片密接面之中心轴而被配 置成螺旋狀者。 8. 如請求項7之隔膜泵，其中 前述第1設定角度為30。，前述第2設定角度為72°，前 述液體流路、吸入側閥室、計量室、喷出側閥室係設置 5組。 9. 如請求項1至5中任一項之隔膜泵，其中 形成於前述各液體流路之吸入側閥室、計量室、喷出 側閥室係互相在以膜片密接面之中心軸為中心之圓周方 向形成直線狀’且以距離前述中心軸之尺寸相異之狀態 而形成； 形成於前述各液體流路之吸入側閥室彼此、計黉室彼 此、喷出側閥室彼此係互相在以膜片密接面之中心轴為 中心之圓周方向以各錯開第2設定角度而形成； 則述各闕室及計量室係自膜片密接面之中心軸被配置 成放射線狀者。 10. 如明求項1至5中任一項之隔膜泵，其中 l〇U76.do, 1335381 於前述流路區段之膜片所密接之膜片密接面形成凹 溝； 前述膜片之密接於流路區段之流路區段密接面係形成 為平面狀； 前述液體流路係被流路區段之凹溝及膜片之流路區段 达、接面劃分形成者。 U·如請求項1至5中任一項之隔膜泵，其中 前述流路區段之膜片所密接之膜片密接面係形成為平 面狀； 於前述膜片之密接於流路區段之流路區段密接面形成 凹溝； 前述液體流路係被流路區段之膜片密接面及膜片之凹 溝劃分形成者。 12. 如請求項10之隔膜泵，其中 前述凹溝係包含分別劃分形成吸入側閥室、計量室、 喷出側閥室之吸入側閥室用凹部、計量室用凹部、噴出 側閥室用凹部、及連通前述吸入側閥室用凹部及前述吸 入流路之連通溝、及連通前述噴出側閥室用凹部及噴出 流路之連通溝 '及連通各閥室用凹部及計量室用凹部間 之連通溝而構成者。 13. 如請求項11之隔膜泵，其中 前述凹溝係包含分別劃分形成吸入側閥室、計量室、 喷出側閥室之吸入側閥室用凹部、計量室用凹部、噴出 側閥至用凹部、及連通前述吸入側閥室用凹部及前述吸 101176.doc U35381 :路之連通溝、及連通前述喷出側閥室用凹部及噴出 *·路之連通溝、及連通各閥室用凹部及計量室用凹部 之連通溝而構成者。 曰 14_如明求項1至5中任一項之隔膜泵，其中 前述凸輪之凸輪面係包含正交於凸輪之轉軸之平面， 在此平面形成配置成以凸輪之旋轉中心轴為中心之同心 圓狀之3條凸輪溝者。 ^ 15. —種電子零件之製造裝置，其特徵在於包含如請求項夏 至5中任一項之隔膜泵、對此隔膜泵之前述吸入流路供 應液體之液體供應手段、設於前述喷出流路之喷嘴、及 控制前述隔膜泵之驅動手段之控制器而構成； 將前述液體供應手段所供應之液體經由前述隔膜泵由 噴嘴噴出而製造電子零件者。

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