1332928 % 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種自動倉儲系統,尤指自動倉儲置放 於機台與機台之間的空間者。 【先前技術】 在半導體晶圓廠中,晶圓之製程必須在各個製程區 間,或是在各個機台間移動,而晶圓之搬運種類可分為: @ 機台間搬移(Intertool Transport ),其係指晶圓於各晶圓製 程處理系統,或是製程群集工具(Cluster Tools)間移動; 機台内搬移(Intratool Transport ),其係指晶圓於單獨之一 • 晶圓製程處理系統,或是單一的製程室内移動;同一製程 ^ 區内自動化物料搬移系統(Intrabay AMHS),其係指晶圓 於同一製程區内移動;以及,製程區間自動化搬移系統 (Interbay AMHS ),其係指晶圓在不同的製程區之間移動。 φ 一般晶圓廠的自動化物料搬移系統可分為兩大部份: 一為製程區間搬移系統,主要是負責晶圓在不同的製程區 之間的搬運任務;二為同一製程區内搬移系統,主要是負 責晶圓於同一製程區内的搬運任務。 第一圖為一示意圖,用以顯示習知技術之自動倉儲系 統。如第一圖所示,自動化物料搬移系統4,在同一製程 區(intrabay)系統4 1與製程區間(interbay )系統4 2 整合的環境下,將同一製程區系統4 1與製程區間系統4 2之軌道予以連接。其中,製程區間系統4 2之執道係採 5 脊椎式的設計方式’而在同—製程區系統41 π :轉運’以利同一製程區内的搬運,系統中具有自二倉: 5以=為暫時存放晶舟或是轉運的功能。 機台::=區自!化(intrabay aut°mation),負責機台與 軌Γ ,同一製程區系統41的搬運。益 軌式的自動化搬運車可自行判斷前進方向二 但只適合中低量,約小於每小時12批次的:= 量,雖二2車、則可提供約每小時50抵她運 …、支的弹性較小,但其設計簡單且搬運息 合大量的搬運任務。 .里大’i 製程區間自動化(interbay automation ),負責曰 , 私區間系統4 2的傳送。晶舟透過無人懸吊 送至下—個製程的自動倉儲5暫存,再透過作業 ^間自動化系統將晶舟取出,送至製程機台前等二= 不論何種型態之半導體晶圓廠,如何能快 提商機台產能利料是目前半導體晶圓廠之重 效地 ,提咼機台產能利用率,就必須加強晶圓之運送, 而 取短時間及最省人力之條件下,快速送達機合端,因^ 於同-製程區系統4丄與製程區間系統4 2 合蚀收Η , 1丨文用之自動 旦啫將疋目則半導體8吋晶圓廠及12吋晶圓廠之重要 置因素。 自動倉餘乃依照製程所需而分佈於各製裎區,其容量 大小取決於製程區實際需求。自動倉儲除了作為存放晶舟 1,332928 之外,亦做為晶舟進出製程區的出入口,可視為於製程區 中之晶圓的轉運媒介。當晶舟完成一道製程程序後,即是 經由自動倉儲的轉運,將晶舟送至正確的製程區。 第二圖為一示意圖,用以顯示習知技術之自動倉儲。 如第二圖所示,一般而言,自動倉儲5之裝置與主要功能 可分為:輸入/出口 5 1,其藉以作為作業員或是製程區間 自動化系統存放晶舟6進出之用;搬運車介面5 2,其作 為搬運車5 3與自動倉儲5間的存取介面;條碼讀取裝置 (圖未示),其讀取晶舟6上的識別條碼,藉以判斷出晶舟 6搬運之目的地;儲位5 4,其作為存放晶舟6之用;以 及,機械手臂5 5,其作為輔助晶舟6於自動倉儲中移動 之裝置。 自動倉儲數量之多寡,係依無塵室之格局規模及生產 線之組合需求而定,自動倉儲之數目將影響到生產線之運 作,因而,自動倉儲之數量及擺放位置必須與每個製程區 搭配,但常由於自動倉儲本身之尺寸及運作方式,致使在 無法調整機台位置及無法調整每個製程區之區域面積大小 之情況下,無法視實際需求將自動倉儲之數量及所在位置 作調整,因而於生產上發生一些問題。 是故,如何能解決在無需調整機台位置及在不影響且 無需調整每個加工製程區所佔區域面積大小之情況下’依 無塵室之格局規模及生產線之組合需求,搭配適當數目之 自動倉儲,而不至影響甚而能改善生產線之運作,乃是待 解決的問題。 7 1332928 【發明内容】 本發明之主要目的便是在於提供一種自動倉儲系統, 係應用在自動化物料搬運系統中,本發明之自動倉儲系統 係由一個以上之自動倉儲採用模組化型式所組成,於同一 製程區内搬運及/或自一製程區至另一製程區之製程區間 搬運環境下,在無需調整機台位置及在不影響且無需調整 每個加工製程區所佔區域面積大小之情況下,本發明之自 動倉儲系統可依機台與機台之間實際的空間及/或空隙予 以置放,並可做模組化的延伸。 本發明之另一目的便是在於提供一種自動倉儲系統, 其係應用在自動化物料搬運系統中,於同一製程區内搬運 及/或自一製程區至另一製程區之製程區間搬運環境下,能 加強晶圓之運送,使其於最短時間及最省人力之條件下快 速送達機台端,而能快速及有效地提高機台產能利用率。 根據以上所述的目的,本發明提供了一種新穎之自動 倉儲系統,該自動倉儲系統包含至少一自動倉儲,其置放 於機台與機台間之一空間,該自動倉儲以模組化之型式於 該空間中左右或前後延伸組合設置,且該自動倉儲之一輸 入口及一輸出口位於該自動倉儲之上方,以使至少一晶舟 進出該自動倉儲。 由於本發明之自動倉儲系統之該自動倉儲的輸入/出 口係位於自動倉儲之上方處,是故,可利用模組化之型式, 利用一個以上之自動倉儲而組成該自動倉儲系統,且由於 一個以上之該自動倉儲的輸入/出口係位於其上方處,因 1332928 而,一個以上之該自動倉儲相互之間不會有任何牽制影 響,而各別之自動倉儲均可發揮其最大效能。 況且,由於本發明之自動倉儲系統採用模組化型式, 係由一個以上之自動倉儲所組成,每一個自動倉儲之尺寸 大小均較習知之自動倉儲為小,是故,可以單一自動倉儲 及/或多個自動倉儲之組合型式,於同一製程區内之搬運及 /或於製程區間之搬運環境下,在無需調整機台位置及在不 影響且無需調整每個加工製程區所佔區域面積大小之情況 下,本發明之自動倉儲系統可依機台與機台之間實際的空 間及/或空隙予以置放,並可做模組化的延伸。 利用本發明之模組化自動倉儲系統,於同一製程區内 及/或於製程區間之搬運,能加強晶圓之運送,使其於最短 時間及最省人力之條件下快速送達機台端,而能快速及有 效地提高機台產能利用率。 【實施方式】 爲使熟悉該項技藝人士瞭解本發明之目的、特徵及功 效,茲藉由下述具體實施例,並配合所附之圖式,對本發 明詳加說明如後: 第三圖為一示意圖,用以顯示本發明之自動倉儲系 統。如第三圖所示,自動倉儲系統1包含一個以上之自動 倉儲2,在此,依機台3與機台3之間實際的空間,自動 倉儲2可以模組化之型式於空間中左右或前後延伸組合設 置,例如,置放一個自動倉儲2、左右延伸置放二個自動 9 1332928 启儲2、别後延伸置放三個自動倉儲2或左右延伸再前後 延伸置放六個自動倉儲2…等。在此,自動倉儲系統工所 包含之自動倉儲2之數目,可依機台3與機台3之間實際 的空間予以決定。 第四圖為一示意圖,用以顯示本發明之自動倉儲結 構。如第四圖所示’自動倉儲2包含一輸入/出口 2 1工、 一搬移機構2 1及一館存區2 2。輸入/出口 2 1 1設於自 動倉儲2之上方,以使晶舟2 3進出自動倉儲2。搬移機 構1 1具有一升降機構2 1 2及一平移機構2丄3,升降 機構2 1 2可以馬達(圖未示)驅動滾筒(圖未示)帶動 皮帶2 12 1而形成,平移機構2 1 3具有一承載平台2 1 3 1及一輸送皮帶2 1 3 2,承載平台2 1 3 1之一側 設於皮帶2 1 2 1並於第三方向z升降,承載平台2工3 1内可以馬達(圖未示)驅動滾筒(圖未示)帶動含有支 撐件(圖未不)之皮帶(圖未示),支撐件(圖未示)通過 承載平台2 1 3 1之開口2 1 3 1 1支撐輸送皮帶2工3 2,經由含有支撐件(圖未示)之皮帶(圖未示)的帶動 使輸送皮帶2 132可於第二方向γ移動,輸送皮帶2工 3 2可以馬達(圖未示)驅動滾筒2 i 3 2丄帶動皮帶^ 1322而形成。儲存區22設於搬移機構2 1之一側, 儲存區2 2具有至少-館位2 2 ^以储存晶舟2 3,儲位 1 2 1内設有—輸送皮帶2 2 1 1以輸送晶舟2 3於第-方向X進出儲位2 2 1,輸送皮帶2 2 1 1同樣可以馬達 (圖未示)驅動滾筒2 2 1 i i帶動皮帶2 2工工2而形 1332928 成。本發明之自動倉儲2,晶舟23藉由儲位221内的 輸送皮2 1 1及搬移機構2 1的輸送皮帶2 1 3 2於 第一方向X進出儲位221,再藉由搬移機構21的升降 機構2 1 2於第三方向ζ升降而往來於儲位2 2丄及輸入 /出口2 1 1之間’另外’亦可藉由承載平台2丄3丄内經 由馬達(圖未示)驅動滾筒(圖未示)帶動含有支撲件(圖 未示)之皮帶(圖未示)’於第二方向γ往來於相鄰的儲位 2 2+1之間。再者,該-三方向χ,γ,ζ相互垂直。 第五圖為一示意圖,用以顯示本發明之另一自動倉儲 結構。如第五圖所示,如機台之間的空間足狗,則可再於 搬移機構2 1的另-側設置儲存區2 2 ’即,搬移機構2 1位於一儲存區2 2之間,以增加儲存晶舟2 3的空間。 由於本發明之自動倉儲系統1之自動倉儲2的輸入/ 出口2 1 1係位於自動倉健2之上方處,是故,可利用模 組化之型式,利用-個以上之自動倉健2組成該自動倉儲 糸統1,且由於一個以上之自動倉儲2的輸入/出口2 u 係位於自動倉儲2之上方,因而,—個以上之自動倉㈣ 任何牽制影響,而各別之自動倉儲2均可 ^且纟於本發明之自動倉儲系統1採用模組化型 赌2:== =所組成’每一個自動倉 知之自動倉儲為小,是故,可以 =動倉儲2及/或多個自動倉儲2之組合型式,於同一製 °品内及/或於製程區間之搬運環境下,在無需調整機台位 1332928 置及在不影響且無需調整每個加工製程區所佔區域面積大 小之情況下,本發明之自動倉儲系統1可依機台3與機台 3之間實際的空間及/或空隙予以置放並可做模組化的延 伸。 綜合以上之實施例,可得到本發明之一種自動倉儲系 統,其係應用在自動化物料搬運系統中,由於本發明之自 動倉儲系統採用模組化型式,其係由一個以上之自動倉儲 所組成,於同一製程區内及/或於製程區間之搬運環境下, 在無需調整機台位置及在不影響且無需調整每個加工製程 * 區所佔區域面積大小之情況下,本發明之自動倉儲系統可 依機台與機台之間實際的空間予以置放,並可做模組化的 調整。本發明之一種自動倉儲系統包含以下優點: - 1、 該自動倉儲系統可依機台與機台之間實際的空間予以 ^ 置放,並可做模組化的延伸。 — 2、 於同一製程區内及/或於製程區間之搬運,能加強晶圓 之運送,使其於最短時間及最省人力之條件下快速送達 籲 機台端,而能快速及有效地提高機台產能利用率。 以上所述僅為本發明之較佳實施例而已,並非用以限 定本發明之範圍,凡其它未脫離本發明所揭示之精神下所 完成之等效改變或修飾,均應包含在下述之專利範圍内。 【圖式簡單說明】 第一圖為一示意圖,用以顯示習知技術之自動倉儲系 統0 12 1332928 < 第二圖為一示意圖,用以顯示習知技術之自動倉儲。 第三圖為一示意圖,用以顯示本發明之自動倉儲系統。 第四圖為一示意圖,用以顯示本發明之自動倉儲結構。 第五圖為一示意圖,用以顯示本發明之另一自動倉儲 結構。 【主要元件符號說明】 1 ......自動倉儲系統 2 .....•自動倉儲 2 1.....搬移機構 2 1 1 · · · ·輸入/出口 - 2 1 2 · · · ·升降機構 ^ 2121···皮帶 — 2 1 3 · · · ·平移機構 2131···承載平台 • 2 1 3 1 1 ··開口 2 1 3 2 · · ·輸送皮帶 2 1 3 2 1 ··滾筒 2 1 3 2 2 ··皮帶 2 2.....儲存區 2 2 1 · · · ·儲位 2 2 1 1 · · ·輸送皮帶 2 2 1 1 1 ··滾筒 2 2 1 1 2 ··皮帶 13 1332928 2 3.....晶舟 3 · · •機台 4 · · •自動化物料搬移系統 4 1 · •同一製程區系統 4 2 · •製程區間系統 5 · · •自動倉儲 5 1 · •輸入/出口 5 2 · •搬運車介面 5 3 · •搬運車 5 4 · •儲位 5 5 · •機械手臂 6 · · •晶舟 X · · •第一方向 Y · · •第二方向 Ζ · · •弟_—方向 14