1310121 A7 B7 五、發明説明（1) 【發明的技術領域】 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係關於顯像液供給裝置，尤其是和從液晶基板 及印刷基板之顯像工序回收之顯像液的鹼性濃度及溶解樹 脂濃度之管理、同時將重新調節至一定濃度之顯像液供給 至顯像工序之顯像液供給裝置相關。 【習知技術】 液晶基板及印刷基板之製造步驟的光阻顯像中，使用 氫氧化四甲胺（Τ ΜΑ H : tetramethyl ammonium hydro oxide )等鹸性水溶液當做顯像液。此類顯像液因最近之 基板尺寸大型化及工序之進步而被大量使用，且從降低成 本等觀點，而對顯像工序實施回收供給。 經濟部智慧財4局員工消費合作社印製 另一方面，如前面所述之顯像液，在重複使用中，樹 脂中的酸產生反應、及和空氣中的二氧化碳或氧產生反應 而降低鹼性濃度，又，顯像處理時之光阻用樹脂的溶解而 使樹脂濃度上昇，故爲了確保光阻圖案之尺寸精度及未曝 光部之膜厚精度，必須對顯像液之鹼性濃度實施管理使其 保持一定程度’並對溶解樹脂濃度實施管理使其保持在一 定程度以下。 顯像液之濃度管理方面，例如，日本特許第 2 5 6 1 5 7 8號公報所示之「顯像液管理裝置」，係光 阻顯像所使用之鹼性系顯像液的管理裝置，除了對顯像裝 置循環供給顯像液以外，還同時管理循環顯像液之驗性濃 度、及顯像液中之溶解樹脂濃度雙方，防止顯像性能之劣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） "4 - 1310121 A7 ______B7_ 五、發明説明（为 化。 前述顯像液管理裝置，係利用吸光光度計檢測顯像液 中之溶解樹脂濃度，以導電率計檢測顯像液之鹼性濃度， 並以液面高度計檢測裝置內之顯像液液面高度，然後，爲 了使溶解樹脂濃度、鹼性濃度、及液面高度保持一定，而 排出裝置內之顯像液並補充鹼性系顯像原液及純水、或補 充預先調合之新顯像液。 前述顯像液管理裝置，係相對於傳統方式：以批次方 式實施鹼性濃度及溶解樹脂濃度之測量、及新顯像液之替 換操作，而以即時測量及連續管理顯像液中之溶解樹脂濃 度及鹼性濃度，來提高顯像之光阻圖案的尺寸精度、及未 曝光部之膜厚精度，同時消除因液體更換而降低運轉率。 例如，被當做顯像液使用之前述T M A Η濃度，通常調節 於2 . 3 8重量百分率，而前述顯像液管理裝置會對 ΤΜΑΗ濃度進行管理，使其處於2.38±0.02重 量百分率之範圍內。 【發明所欲解決之問題】 在液晶基板及印刷基板之顯像工序中’爲了進一步提 高圖案精度及膜厚精度’且改善廢料率，一直希望有更高 品質之顯像液。然而’前面所述之傳統顯像液管理裝置中 ，從顯像液之溶解樹脂濃度及鹼性濃度的測量精度問題' 到以高精度調節顯像液濃度問題都有其困難。 亦即，利用吸光光度計檢測顯像液中之溶解樹脂濃度 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（21〇Χ297公釐） -5- 1310121 A7 _ B7__________ 五、發明説明（3) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 時，顯像液中之溶解樹脂的吸收波長峰値多數分佈在紫外 光至可見光之波長範圍內，且各峰値會隨樹脂濃度之變化 而變動，吸收波長峰値亦會隨著樹脂濃度之提高而成重疊 狀態，故除了測量波長之選擇的問題外，尙有無法避免檢 測精度下降的問題。因此，想要使顯像液中之樹脂濃度的 管理精度超過目前之水準實有其困難，又，樹脂濃度昇高 時，利用導電率之測量因檢測精度問題，亦很難提高鹼性 濃度之檢測精度，故鹼性濃度之管理精度亦處於無法超越 目前水準之困境。 本發明有鑑於前述情形，係針對從液晶基板及印刷基 板之顯像工序回收之顯像液，進行鹼性濃度及溶解樹脂濃 度之管理，並將重新調節爲一定濃度之顯像液供給給顯像 工序之顯像液供給裝置，而以提供可以更高精度檢測顯像 液之各成份濃度、且可以將調節爲更正確濃度的顯像液供 給至顯像工序之顯像液供給裝置爲目的。 【解決問題之手段】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 爲了解決前述課題，本發明在檢測回收之顯像液的鹸 性濃度及溶解樹脂濃度時，因係使用多成份濃度計，故可 依據溫度及各成份濃度而同時測量不會因爲濃度變動而導 致測量精度變動之超音波傳播速度及電磁導電率，而可以 更高之精度檢測鹼性濃度及樹脂濃度，並且可以更高之精 度管理顯像液之濃度。 亦即，本發明之要旨，係將由鹼性水溶液構成之顯像 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6 - 1310121 A7 B7 五、發明説明（4) 液供給至顯像工序的顯像液供給裝置，且具有，供給貯槽 :用於暫存必須供給之顯像液；回收液供給機構：具有將 回收之已使用顯像液溫度調節至一定溫度的溫度調節手段 且將已使用顯像液輸送至前述供給貯槽；原液供給機構： 用於將新顯像液原液輸送至前述供給貯槽；及濃度計：用 於檢測利用前述回收液供給機構輸送之一定溫度已使用顯 像液的鹼性濃度及樹脂濃度，前述濃度計係以量測之顯像 液超音波傳播速度及顯像液電磁導電率、和預先設定之特 定溫度及特定濃度的超音波傳播速度及電磁導電率間之關 係爲基礎，實施鹼性濃度及樹脂濃度檢測的多成份濃度計
I ，且可以依據前述濃度計之檢測濃度，控制前述原液供給 機構之顯像液原液的輸送。 【發明之實施形態】 利用圖面說明本發明相關之顯像液供給裝置的一實施 形態。第1圖係本發明相關顯像液供給裝置之主要構成要 素的流程圖。第2圖係即時確認多成份濃度計之檢測精度 的圖表。在以下之實施形態說明中，將顯像液供給裝置簡 記爲「供給裝置」。 本發明之供給裝置係針對包有顯像工序中使用之旋轉 顯像（SPIN DEVELOPER )裝置等之顯像裝置之顯像工序 ，供給由鹼性水溶液構成之顯像液的裝置，除了管理從顯 像工序回收之顯像液的鹼性濃度及溶解樹脂濃度，並且有 將重新調節至一定濃度之顯像液供給至顯像工序的機能。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝·
、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印t 1310121 A7 B7 五、發明説明（$ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本1) 本發明中，鹼性系顯像液可以爲氫氧化鉀、氫氧化鈉 、磷酸鈉、矽酸鈉等無機鹼單獨或混合物所構成之無機鹼 性水溶液、或氫氧化四甲胺（T M A Η )、氫氧化三甲基 乙醇胺(trimethyl monoethanol ammonium hydro oxide )( 胆鹼：choline)等有機鹼性水溶液等。 本發明之供給裝置如第1圖所示，其主要構成係，供 給貯槽（1 ):用於暫存必須供給之顯像液給顯像工序顯 像裝置（9 9 );回收液供給機構（2 ):具有將回收之 已使用顯像液溫度調節至一定溫度的溫度調節手段且將已 使用顯像液輸送至供給貯槽（1 );原液供給機構（3 ) :用於將新顯像液原液輸送至供給貯槽（1 );及濃度計 (5 )(以下簡稱爲「第1濃度計」）：用於檢測利用回 收液供給機構（2 )輸送之一定溫度已使用顯像液的鹼性 濃度及樹脂濃度。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 供給貯槽（1 )係將顯像液濃度調節至一定之目標値 ，同時配合必要將調節濃度後之顯像液供給至顯像裝置（ 99)的緩衝槽，例如，100〜2000公升容量之耐 蝕性容器。供給貯槽（1 )內，爲了將儲存於槽內之顯像 液調節並維持於均一濃度，設有由泵（7 1 )及循環流路 (9 6 )構成之顯像液攪拌手段。循環方式之上述擾拌手 段，和槽內設置螺旋槳等之攪拌裝置相比，產生之粒子較 少，亦可減少顯像液之污染。儲存於供給貯槽（1 )之顯 像液會經由泵（1 2 )及流路（9 7 )供給至顯像裝置（ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8- 1310121 A7 B7 五、發明説明（自 回收液供給機構（2 )係由暫時儲存已使用顯像液之 回收液貯槽（2 1 )、將儲存之已使用顯像液供給至供給 貯槽（1 )側的泵（2 2 )、以及流路（9 1 )等所構成 。回收液貯槽（2 1 )係如5 0 0〜3 0 0 0公升容積之 耐鈾性容器。回收液貯槽（2 1 )可以爲直接承接顯像裝 置（9 9 )排出之已使用顯像液，亦可以爲承接以其他方 法暫時儲存之已使用顯像液。 回收液貯槽（2 1 )內，爲了使承接之已使用顯像液 的濃度能均一化，設置由泵（2 4 )及循環流路（9 2 ) 構成之攪拌手段。循環方式之上述攪拌手段和供給貯槽（ 1 ) 一樣，產生之粒子較少，且可減少顯像液之污染。 泵（2 2 )及流路（9 1 )係經由如混合器（4 )及 流路（9 4 )，連接於通至供給貯槽（1 )之後述原液供 給機構（3 )的流路（9 3 )上。回收液供給機構（2 ) 之溫度調節手段，係爲了使後述之第1濃度計（5 )能正 確測量已使用顯像液之濃度而設置，例如，其構成上可以 在流路（9 1 )之中途配置恒溫槽（2 3 )。亦即，回收 之已使用顯像液在流路（9 1 )之中途的恒溫槽（2 3 ) 會被調節至一定溫度（例如，2 5 °C )，然後再被輸送至 供給貯槽（1 )。又，圖上雖然未標示，一般，回收液供 應機構（2 )設有清淨路，當回收之已使用顯像液的樹脂 濃度過高時可以淸淨部份已使用顯像液。又’亦可以爲可 對回收液貯槽（2 1 )提供稀釋水之構成。 從顯像裝置（9 9 )回收之已使用顯像液’會因和光 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -9 - 1310121 A7 B7 五、發明説明（1) 阻中的酸產生反應、及和空氣中的二氧化碳或氧產生反應 ’而降低鹼性濃度，且因光阻用樹脂的溶解而使樹脂濃度 上昇，故本發明之供給裝置，可以配合必要，利用原液供 給機構（3 )對已使用顯像液添加新顯像液原液。 原液供給機構（3 )之主要構成爲儲存高濃度顯像液 原液——例如儲存濃度2 0〜2 5重量百分率之原液的原 液貯槽（3 1 )、將儲存之顯像液原液供給至供給貯槽（ 1 )的泵（3 2 )及流路（9 3 )。原液貯槽（3 1 )係 和前述回收液貯槽（2 1 )相同1 ，例如，爲5 0 0〜 3 0 0 0公升程度容積之耐蝕容器。流路（9 3 )經由混 合器（4)及流路（94)連接至供給貯槽（1)。混合 器（4 )係內建固定螺旋槳之攪拌器，其目的則是將新顯 像液原液，混入經由回收液供給機構（2 )之流路（9 1 )輸送的已使用顯像液內。 又，前述供給貯槽（1 )、回收液貯槽（2 1 )、及 原液貯槽（3 1 )爲了避免顯像液或顯像液原液和空氣接 觸，以氮等鈍氣進行密封。又，本發明之供給裝置中，爲 了確保系統內之液體量保持一定，在適當的部位設置供給 顯像液原液時可以過剩已使用顯像液排出系統外之機構。 圖上並未標示，例如，在回收液貯槽（2 1 )上附設含控 制閥在內之排放用流路或溢流裝置。 爲了檢測輸送至供給貯槽（1 )之一定溫度已使用顯 像液的濃度，前述第1濃度計（5 )係配置於如恒溫槽（ 2 3 )之後段側流路（9 1 )的中途。本發明供給裝置爲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -β 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
-10- 1310121 A7 B7 五、發明説明（弓 了在不受已使用顯像液中之溶解樹脂濃度變動的影響，而 且可以高精度檢測樹脂濃度及鹼性濃度，故使用特定濃度 計。具體而言，前述第1濃度計（5 )係使用多成份濃度 計，可量測顯像液之超音波傳播速度及顯像液之電磁導電 率，並依據其和預先擬定之特定溫度及特定濃度的超音波 傳播速度及電磁導電率關係（矩陣），檢測鹼性濃度及樹 脂濃度。 前述多成份濃度計係利用測量一定溫度之溶液中的超 音波傳播速度及電磁導電率’而可同時即時測量3成份系 統溶液之2成份濃度的濃度計。亦即：，多成份濃度計之原 理，係只要溶液之溫度一定，即可對應各成份之濃度來特 定液中之超音波傳播速度及電磁導電率，其主要構成爲超 音波變換器、超音波傳送器、電磁導電率變換器、電磁導 電率傳送器、及實施特定演算之微處理器》 多成份濃度計使用於前述顯像液之濃度測量時，必須 預先以矩陣方式，表示一定溫度條件下、針對鹼性濃度及 溶解樹脂濃度之各種組合、預先測量之超音波傳播速度及 電磁導電率的關係，亦即，將其寫入微處理器，然後，依 據前述矩陣，從測量側正確推算鹼性濃度及溶解樹脂濃度 。前述所述之多成份濃度計，最好能採用富士工業公司製 、商品名稱爲「FUD-1 Model-51」、十分有名之液體用超 音波多成份濃度計。 本發明之供給裝置，可以依據前述第1濃度計（5 ) 之測量濃度，控制原液供給機構（3 )之顯像液原液的輸 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝_ 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -11 - 1310121 A7 B7 經濟部智慧財產笱員工消費合阼杜卬製 五、發明説明（令 送。顯像液原液之輸送控制係利用後面所述之控制裝置（ 圖上省略）實施。利用此方式’可以補償已使用顯像液之 鹼性濃度降低及樹脂濃度上昇，實施使儲存於供給貯槽（ 1 )之顯像液的鹼性濃度隨時保持一定之管理，並實施使 樹脂濃度隨時保持在一定濃度以下之管理。 然而，想要以更高精度管理供給至顯像裝置（9 9 ) 之顯像液的濃度，則最好直接檢測供給貯槽（1 )之顯像 液濃度。又，回收液供給機構（2 )輸送之已使用顯像液 的溶解樹脂濃度若超過容許値時，原液供給機構（3 )會 供給顯像液原液，使溶解樹脂濃度維持在特定値以下，然 而，顯像液原液之供給量可能使供給貯槽（1 )之鹼性濃 度超過目標値。 因此，本發明之供給裝置具有供給稀釋水給供給貯槽 (1 )之稀釋水供給裝置。而且，爲了實施顯像液之鹼性 濃度的最後微調，供給貯槽（1 )具有第2溫度調節手段 :用於將供給貯槽（1 )之顯像液溫度調節至一定溫度、 及第2濃度計（8 ):用於檢測供給貯槽（1 )之一定溫 度顯像液的鹼性濃度及樹脂濃度。本發明之供給裝置可依 據第2濃度計（8 )之檢測濃度，利用後述之控制裝置實 施原液供給機構（3 )之顯像液原液輸送、及前述稀釋水 供給機構之稀釋水輸送。 前述稀釋水供給機構通常使用純水製造裝置（6 )， 可以從純水製造裝置（6 )經由流路（9 5 )對供給貯槽 (1 )供給超純水。前述第2溫度調節手段係爲了更正確 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 線 1310121 絰濟郎暂慧时產苟員L冶費"乍"中泛 A7 B7五、發明説明（1)〇 測量顯像液濃度而設置，例如，可以利用配置於顯像液攪 拌手段之循環流路（9)中途的恒溫槽（72)來構成。 亦即，在供給貯槽（1 )中，可以利用使循環途中之顯像 液暫時停留於恒溫槽（7 2 )內，而使顯像液保持一定溫 度。又，第2濃度計（8 )係使用和第1濃度計（5 )相 同之多成份濃度計。 顯像液原液及稀釋水之供給控制，係依據前述第2濃 度計（8 )之檢測濃度，實施原液供給機構（3 )之顯像 液原液供給量、及稀釋水供給機構（純水製造裝置（6 ) )之稀釋水供給量的級聯控制。此類控制可以採用如日本 特開平1 0 — 1 8 0 0 7 6號公報所示、所謂漸近法之「 酸或鹼性原液之稀釋方法及稀釋裝置」。 具體而言，利用前述漸近法之供給貯槽（Γ)的鹼性 濃度調節，在對鹼性濃度降低（或鹼性濃度昇高）之供給 貯槽（1 )內顯像液添加高濃度顯像液原液（或稀釋水） 調節至特定濃度時，除了執行濃度測量步驟：利用第2濃 度計（8 )測量顯像液濃度；及調製步驟：依據濃度測量 步驟測量之濃度値及目標濃度値的差，演算顯像液原液之 不足量（或稀釋水之添加量），並供給相當於計算之不足 量（或添加量）的8 5〜99%——最好爲92〜98% 。同時，直到測量濃度値成爲預先設定之目標濃度値域內 之値爲止，會重複前述濃度測量步驟及調製步驟。利用此 方式，可以對供給貯槽（1 )之顯像液中的鹼性濃度進行 更高精度的管理。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 線 1310121 A7 B7 五、發明説明（咖 本發明之最 顯像液濃度能有 之恒溫槽（7 2 (圖上省略）。 機能，在檢測供 可依據前述溫度 亦即，如前 ，表不針對驗性 溫度條件下、預 關係，再依據該 算供給貯槽（1 本發明之供 ，尙設有具備演 述第1濃度計（ 以及，依據第2 釋水之輸送控制 執行各量測機器 式控制器及電腦 裝置之控制信號 本發明之供 液供給機構（2 液達到一定溫度 送至供給貯槽（ 1濃度計（5 ) 佳實施形態中，爲 更高精度之管理， )內，設置檢測顯 此外，第2濃度計 給貯槽（1 )之鹼 檢測計檢測之顯像 述之多成份濃度計 濃度及溶解樹脂濃 先測量之超音波傳 矩陣及檢測之實際 )之顯像液鹼性濃 給裝置上，除了裝 算機能之控制裝置 5 )之測量實施顯 濃度計（8 )之測 。此種控制裝置係 信號之數位變換； 等；及輸出裝置： 的類比變換。 給裝置，以恒溫槽 )之回收液貯槽（ 後，經由流路（9 1 )。此時，利用 測量已使用顯像液 了使供 應在第 像液溫 (8 ) 性濃度 液溫度 ，必須 度之各 播速度 顯像液 度及溶 置整體 (圖上 像液原 量實施 含有， 演算處 用於執 給貯槽 2溫度 度之溫 應具有 及樹脂 實施補 預先以 種組合 及電磁 溫度， 解樹脂 之運轉 省略） 液之輸 顯像液 輸入裝 理裝置 行來自 (1 )之 調節手段 度檢測計 補償演算 濃度時’ 償演算。 矩陣方式 及複數之 導電率的 更正確推 濃度。 控制以外 ，依據前 送控制， 原液及稀 置：用於 :用於程 演算處理 (2 3 )使儲存於回收 2 1 )內的已使用顯像 1 )及流路（9 4 )輸 設於流路（9 1 )之第 之驗性濃度及樹脂濃度 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
1310121 經濟部智慧財產局員工消費合阼钍印製 A7 B7_五、發明説明（位 。結果，第1濃度計（5 )測得之鹼性濃度低於基準値時 、或樹脂濃度超過基準限界値時，經由流路（9 3 )、流 路（9 4 )’將儲存於原液貯槽（3 1 )之高濃度顯像液 原液輸送至供給貯槽（1 )。 供給顯像液原液時，利用設置於流路（9 1 )及流路 (9 3 )後段之混合器（4 )，混合已使用顯像液及顯像 液原液。而且，在供給貯槽（1 )，利用由泵（7 1 )及 循環流路（9 6 )構成之攪拌手段進行混合，使儲存之顯 像液獲得更均一之濃度。 如上面所述，本發明之供給裝置中，以第1濃度計（ 5 )測量已使用顯像液之鹼性濃度及樹脂濃度時，會將液 溫設定於一定溫度，而且，因第1濃度計（5 )係使用多 成份濃度計，故可更正確檢測已使用顯像液之鹼性濃度及 樹脂濃度，利用此方式，可以對供給貯槽（1 )內之顯像 液進行更確實之管理，使其維持在容許濃度以下，亦可以 實施高精度之鹼性濃度。前述多成份濃度計係依據測量之 超音波傳播速度及電磁導電率、及預先擬定之特定關係（ 矩陣），同時檢測鹼性濃度及樹脂濃度之兩者。 此外，本發明之供給裝置，利用附設於供給貯槽（1 )之恒溫槽（7 2 )(第2溫度調節手段），·可使顯像液 之溫度維持一定，並利用第2濃度計（8 )測量循環之顯 像液--亦即供給貯槽（1 )內之顯像液的鹼性濃度及樹 脂濃度。結果，樹脂濃度超過容許値時，由純水製造裝置 (6 )(稀釋水供給機構）經由流路（9 5 )對供給貯槽 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 線 1310121 A7 B7 五、發明説明（伯 (1 )供給稀釋水。又，第2濃度計（8 )測量之鹼性濃 度低於目標値時，和執行和上述相同之操作，原液供給機 » ( 3 )會對供給貯槽（1 )供給原液貯槽（3 1 )之高 濃度顯像液原液，而鹼性濃度高於容許値時，則純水製造 裝置（6 )會對供給貯槽（1 )供給稀釋水。 本發明之供給裝置如上面所述，會將經過濃度調節之 供給貯槽（1 )顯像液液溫設定於一定溫度，以和第1濃 度計（5 )同樣爲多成份濃度計之第2濃度計（8 )，再 度實施高精度之鹼性濃度及樹脂濃度測量，並實施顯像液 之鹼性濃度及樹脂濃度的微調。而且，此時會利用具有特 定演算機能之控制裝置，依據逐漸接近目標濃度之前述漸 近法，控制顯像液原液或稀釋水之供給量。因此，可以更 確實地對供給貯槽（1 )內之顯像液樹脂濃度實施管理， 使其處於容許濃度以下，並以更高精度調節鹼性濃度。結 果，利用本發明之供給裝置，可以對顯像裝置（9 9 )供 給以更高精度實施濃度調節之高品質顯像液。 爲了確認本發明之供給裝置當做濃度計使用之多成份 濃度計的檢測精度，在流路（9 1 )連續測量被當做已使 用顯像液回收之TMAH之水溶液的TMAH濃度，結果 如第2圖之圖表所示的2·376(平均値）土 0005重量百分率，可以高精度檢測TMAH濃度。 又，溶解樹脂濃度之管理目標値設定爲1 0 0 0 P P m。 在本發明之供給裝置的供給貯槽（1 )中，最後將顯像液 調節爲2 _ 380±0 . 〇〇5重量百分率之TMAH濃 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝_ 訂 經濟邹智慧財產苟員工消費合阼社印製 -1R- 1310121 A7 B7 五、發明説明（1)4 度、1 000± 1 50ppm之樹脂濃度。 【發明之功效】 如上述說明所示，利用本發明相關之顯像液供給裝置 ’因使用特定多成份濃度計直接測量超音波傳播速度及電 導電率而可以尚精度檢測顯像液各成份濃度，故可對顯 像工序供給以更高精度進行濃度調節之高品質顯像液。 【圖式之簡單說明】 第1圖係本發明相關顯像液供給裝置之主要構成要素 的流程圖。 第2圖係即時確認多成份濃度計之檢測精度的圖表。 【元件符號之說明】 1 : 供給貯槽 2 : 回收液供給機構 2 1 : 回收液貯槽 2 3 ·· 恒溫槽（溫度調節手段） 3 : 原液拱給機構 3 1 : 原液貯槽 3 2 ••泵 4 : 混合器 5 : 濃度計（第1濃度計） 6 : 純水製造裝置（稀釋水供給機構） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X29*7公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
-17 - 1310121 、發明説明（ 1)5 7 2 ： 恒溫槽 8 : 第2濃 9 1 ： 流路 9 2 ·· 循環流 9 3 ： 流路 9 4 ： 流路 9 5 : 流路 9 6 ： 循環流 9 7 ： 流路 9 9 : 顯像裝 A7 B7 (第2溫度調節手段） 度計 路 路 置 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18 -