TWI306388B - - Google Patents

Description

1306388 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係屬於一種玻璃基板載具，尤指一種防止靜電 聚集之玻璃基板載具。 【先前技術】 輕薄的液晶螢幕已成為時下的主流商品，普遍應用於 各種場合之中。

液晶螢幕的核心元件為玻璃基板，在液晶面板的製造 過私中，必須在玻璃基板上製作薄膜電晶體及相關線路， 其中的黃光製程即是在玻璃基板上塗佈一層均勻的光阻， 接著在後續步驟中配合光罩在光阻層上形成電路圖案，以 便能進行曝光顯影等後續步驟。 目前在玻璃基板上塗佈光阻的方式係先令該玻璃基板 設放^於一旋轉式光阻塗佈機上，接著在玻璃基板中心滴 上適量的光阻液’接著啟動光阻塗佈機以高速旋轉玻璃基 反使光阻液觉到離心力作用而徑向向外擴散至塗滿整個 破璃基板上表面，同時凝固。 ^通常光阻塗佈完成後，在玻璃基板邊緣會留有過度擴 政而凝固的光阻液所形成的毛邊，因此必須利用一載具將 光阻塗佈機上的玻璃基板運送到一毛邊去除機上，以毛邊 去除機來去除毛邊，該載具係主要在_可水平移動的基架 亡突伸有二相向的水平托架’各托架上設置有複數襯墊， :托架透過管線而連接一真空泵，令襯墊可提供真空吸力 /吸附玻璃基板，令玻璃基板牢固在托架上而可被載具運 1306388 送到毛邊去除機。 ▲載具將破璃基板運送到達毛邊去除機而令玻璃基板 脫離襯墊瞬間，該襯墊上產生的靜電可達】5_】6千伏特 (ΚίΙονοΙί，κν)，並將損壞玻璃基板上半導體元件及線路， 嚴重時可能造成破璃基板整個報廢，因此大大降低了破璃 基板的良率。 【發明内容】 本發明人鑒於現有載具與玻璃基板脫離瞬間容易產生 高壓靜電而損壞玻璃基板上原有半導體元件及線路的缺 點，改良其不足與缺失’進而發明出一種可有效排放聚集 靜電之破璃基板載具。 本發明係提供一種防止靜電聚集之玻璃基板載具，A 可避免過量靜電聚集於載具與玻璃基板相接觸的部位，進 而防止玻璃基板脫離載具的瞬間’高量靜電損壞玻璃基板 上電路元件之意外，有效提高破璃基板的良率。 為達上述㈣，係令前述玻璃基板載具包含有： -基架，係接地而可水平移動，在基架上形成有二直 立座，該等直立座為導體，在各直立座上分別水平突 二相對的门形托架，該等托架為導體，各托架末端的兩側 分別突伸有至少-承托部’料承托部為導體；及 複數襯塾，係分別設置在承托部上，具有彈性 體；藉此，襯墊、承托部、托架 ”、、導 /及直立座係構成一靜電排 放路徑’可避免過量靜電聚集而傷 基板電路。 1306388 藉由上述技術手段，各槻墊、承托部、托架及直立座 所構成的靜電排放路徑，可避免靜電聚集於襯墊與玻璃基 板之間，故當玻璃基板脫離襯墊時，不會有過量靜電損壞 =基板上的原有電路，藉此可避免破璃基板報廢，因而 施提升玻璃基板良率及降低玻璃基板成本。 前述襯墊係由含碳材料構成而具備導電特性。 前述各襯墊含有石墨而具備導電特性。 前述各襯墊含有金屬而具備導電特性。 前述各襯墊的電阻係為1〇3-1〇5歐姆（Ω)/平方 (ohms/sq) ° 前述各承托部上貫穿形成有一貫孔，各概塾上貫穿形 成有一與相對應貫孔連通的穿孔，藉此可令承托部透過管 線而外接一真空泵，以便令襯墊產生真空吸力、 前述各承托部頂面分別形成有一容納相對應概塾的固 前述各襯墊係由—下襯墊、-〇形環及-上襯墊所組 成，該下襯墊係為環形’設置在相對應承托部的固定栌内， 在下襯墊内壁形成有一内環形突緣，肖〇形環係設；在下 襯墊内纟ο ρ衣外壁上形成有一與内環形突緣相扣合的 2形突緣，該上婦心套在Q形環了貞部，在上概塾上 貫穿形成有至少-與承托部貫孔相連通的通孔。 【實施方式】 請參照第-圖，本發明防止靜電聚集之玻璃基板載具 係可在-光阻塗佈機（8 〇 )與一毛邊去除機（9㈧2 1306388 間來回水平移動，藉此 G j將一位於光阻塗佈機 的玻璃基板運送到毛邊去除機（9〇)上。（80)上 該防止靜電聚集之破 〇 )及複數襯墊（2 0 ) 。土 八匕3有：—基架（1 該基架（1(3)_水平㈣而接地 上形成有二以直立座（ 暴木（1 0 ) r，/夂古η , 亥等直立座（1 5 )為導 體，在各直立座. 上刀別水平突伸有二相對的门形 托架（11)，該等托牟兔 哥托木為導體，各托架（1 兩側分別突伸有至少—以導 · Λ导體構成的承托部2)，各 承托^ ( 1 2 )上分別貫穿形成有一貫孔（1 2 1 )，且 各承托( 1 2 )頂面分別形成有一與貫孔（工2 1 )連 通的固定槽（1 2 3 ) ’此外，各承托部（χ 2 )的貫孔 ^ 1 2 1 )可透過複數f線與—真线連接連接，藉此， 當真空泵啟動而抽氣時’可令貫孔（丄2工）產生吸力。 複數襯墊（2 0 )係為導體，設置在各承托部（丄2 ) =固定槽（1 2 3 )内’係以彈性材料及導電材料混合製 w ’具備彈性及導電性，彈性材料可為橡膠，導電材料可 ^含碳材料、石墨或是金屬’藉此，襯墊（2 〇 )、承托 邛（12)、托架（11)及接地的直立座（15)構成 靜電排放路徑，使得靜電可順利透過接地而排放於基架 之外，較佳者，襯墊（20)可具有一 1〇M〇5歐姆（Ω) /平方（ohms/sq)的電阻，各襯墊（2 〇 )上係貫穿形成至少 與相對應貫孔（1 2 1 )相連通的穿孔。 較佳者’各襯墊（2〇)可由一下襯墊（2 1 )、— 1306388 0形環（2 3 )及一上襯墊（2 5 )餅知* 、乙ο )所組成；該下襯墊（2 1 )係為環形’設置在承托部（1 2、 、丄匕）的固定槽（123) 内，具有-中心孔’在下襯墊（21)内壁形成有一内環 形突緣（211);該0形環（23)係設置在下襯墊（2 1 )内，具有一中心孔，在〇形環（2 3 )外壁上形成有 —與内環形突緣（2 1 1 )相扣合的外環形突緣（2 3丄）； 該上襯墊（2 5 )係穿套在〇形環（2 5 )頂部，在上襯 墊（2 5)上貫穿形成有至少一與承托部（丄2)貫孔（工 2 1 )相連通的通孔（2 5 χ )，該通孔（2 5 i )配合 〇形環（2 3)與下襯墊的中心孔’共同構成襯墊（2 〇) 的穿孔。 當以玻璃基板載具運送玻璃基板時，令玻璃基板置放 在襯墊（20)上，接著啟動真空泵而在各襯墊（2〇) 的穿孔處產生真二吸力以便吸附玻璃基板，當玻璃基板被 運送到達毛邊去除機（90)時，停止真空泵，並且使玻 璃基板載具脫離玻璃基板，由於襯墊（2〇)、承托部（工 2)、托架（11)及接地的直立座（1〇)構成一靜電 排放路徑，其可有效排放襯墊（2 0 )與玻璃基板瞬間脫 離時所產生的靜電，避免靜電聚集於襯墊（2 〇)與玻璃 基板之間，故當玻璃基板脫離襯墊（2〇)時，不會有過 量靜電損壞玻璃基板上的原有電路，藉此可避免玻璃基板 報廢’因而能提升玻璃基板良率及降低玻璃基板成本。 【圖式簡單說明】 第一圖係本發明與光阻塗佈機及毛邊去除機的立體外 1306388 觀圖。 第二圖係本發明襯墊的立體分解圖。 第三圖係本發明襯墊的側視剖面圖。 【主要元件符號說明】 (10)基架 (1 1 )托架 (12)承托部 (1 2 1 )貫孔 (1 2 3 )固定槽 (1 5 )直立座 (2 0 )襯墊 (2 1 )下襯墊 • ( 2 1 1 )内環形突緣（2 3 ) 〇形環 (2 3 1 )外環形突緣（2 5 )上襯墊 (2 5 1 )通孔 （8 0 )光阻塗佈機 (9 0 )毛邊去除機

Claims (1)

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十、申請專利範圍·· 1 ’ ：種防止靜電聚集之玻璃基板載具，其包含有： 基架’係接地而可水平移動，在基架上形成有二直 該等直立座為導體，在各直立座上分別水平突伸有 一相對的门形把架，兮望加 v . '^等托木為泠體，各托架末端的兩側 刀=伸有至少一承托部，該等承托部為導體，各承托部 頂面分別形成有一容納相對應襯 複數觀塾，係分別設置在承托部二有彈性且為導 體，各襯墊係由—下襯墊、—〇形環及一上襯墊所組成， 該下襯墊係為環形，設置在相對應承托部的固定槽内，在 下襯塾内壁形成有—内環形突緣，該0形環係設置在下襯 墊内在〇形壤外壁上形成有一與内環形突緣相扣合的外 f形突緣，該上襯塾係穿套在〇形環頂部，在上襯墊上貫 牙开/成有至/肖承托部貫孔相連通的通孔；藉此，概塾、 承托部、托架及直立座係構成一靜電排放路徑，可避免過 量靜電聚集而損害置放在載具上的玻璃基板。 2如申明專利範圍第1項所述防止靜電聚集之玻璃 基板載具，其中各襯墊含有含碳材料而具備導電性。 3、.如申請專利範圍第丄項所述防止靜電聚集之玻璃 基板載具，其中各襯墊含有石墨而具備導電性。 4如申明專利範圍第1項所述防止靜電聚集之玻璃 基板載具，其中各襯墊含有金屬而具備導電性途。 5 .如申請專利範圍第工到4項中任一項所述防止靜 電聚集之玻璃基板載具，其中各襯墊的電阻係為ι〇3_ι〇5 10 l3〇6388 歐姆（ Ω ) /平方（ohms/sq) 請專利範圍第l5lj4項中任—項所述防止靜 孔來π之破璃基板載具’其中各承托部上貫穿形成有一貫 各概塾上貫穿形成有一與相對應貫孔連通的穿孔，藉 此可7承托部透過管線而外接一真空泵，以便令襯墊產生 真空吸力。 十一、圖式： 如次頁 11