1298771 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於一種閘閥裝置，特別是指一種安裝在真 空設備的兩個間隔腔座間，並用來封閉及打開該等腔座間 通道的真空設備的閘閥裝置。 【先前技術】 參閱圖1、2，習知真空設備之閘閥裝置1是架設在兩 個腔座10之間，並用來打開及關閉該等腔座1 〇的通道， 上述閘閥裝置1包含一個固定地安裝在該等腔座1 〇間的基 座π’上述基座11具有兩片左右間隔並各別開設一閥口 110的閥壁111，以及一個位在該等閥壁丨u間的控制室 112，而該基座11更包含：一架設在基座u上方的活塞機 構12、一位在控制室112内並受活塞機構12驅動而直線升 降之驅動板13、一位在控制室Π2内並與驅動板13平行之 封閉板14，以及連接封閉板14及驅動板13的數個上連板 15、數個下連板16(圖中只示意一個）。上述活塞機構12包 括一個架設在基座U頂端並界定出一活塞室121的活塞座 122、一支貫穿活塞室121及控制室112的活塞桿a]，而 該驅動板13即安裝在活塞桿123的底端。 習知閘閥裝置！位在圖i所示的一非封閉位置時，該 活塞桿123是位在一個内縮位置，亦即，在此狀態下，該 二動板13錢活塞座122，且封閉板14和驅動板η相貼 口’同時封閉板14並未封閉右側閥壁ιη的閥口⑽，而 兩個腔座1G的通道可以藉由該等閥口 m相通。當活塞桿 1298771 123帶動驅動板13下移，並使封閉板14底緣靠在基座u 之一底壁上時，持續下移的驅動板13會利用上下設置的兩 組連板15、16的連接，而將封閉板14往右側閥壁丨丨丨推， s封閉板14緊岔壓抵在閥壁111内側面時，該閘閥裝置2 即由圖1的非封閉位置轉換到圖2的一個封閉位置。 習知閘閥裝置1利用活塞機構12直線下移，以及驅動 板13及兩組上下設置之連桿15、16間的配合，而將封閉 板14頂向其中一個閥壁111的設計，雖然可以達到關閉閥 口 110的目的，但是就製造的角度，要使該封閉板14水平 精確地往閥壁111方向移動，並且密貼在閥壁内側面， 需要較佳的加工精度，亦即，在封閉板14壓向閥壁lu的 過程中，該封閉板14係以無彈性平行的方式往閥壁lu靠 合，此種沒有彈性的連接壓合設計，纟製造時元件間的精 度只要稍有偏差，就會造成橫長板狀之封閉板14翹曲，而 無法緊密地壓向閥壁111，故此種已知的閘閥裝置丨在製造 時元件間需要精確的尺寸及配合，在製造時比較困難。、 【發明内容】 本發明之目的係在提供一種結構創新，且製造較為容 易之真空設備的閘閥裝置。 本發明的閘閥裝置是架設在真空設備的兩個腔座間， 包含架設在所述腔室間的基座、—架設在基座上的驅 動機構、一受到驅動機構驅動而可在基座之一控制室内直 線升降的驅動座，以及-封閉機構，該基座包括兩片間隔 且各別具有一閥口的閥壁。 1298771 而該封閉機構包括：一平行於該驅動座之封閉板、至 少一個將封閉板以可擺動方式架設在驅動座上的樞擺單元 ，以及數個架設在該等驅動座及封閉板間並可將封閉板壓 向該等閥壁中的其中之一的迴力單元，前述迴力單元位在 該梅擺單元的上方及T方，藉由樞擺單元之單點搞接，以 及上下設置迴力單元的彈性抵接，可以改善習知雙組連桿 連接所產生的精度控制困難之問題，使該閘閥裝置在製造 較為容易。 【實施方式】 有關本發明之前述及其他技術内容、特點與功效，在 以下配合參考圖式之較佳實施例的詳細說明中，將可清楚 的呈現。 參閱圖3、4、5,本發明閘閥裝置之一較佳實施例，係 架設在一真空設備的一第一腔座21及一第二腔座22間， 並用來連通及關閉该等腔座21、22間的通道。上述閘閥裝 置包含：一個夾設在該等腔座21、22間的基座3、一安裝 在基座3上的驅動機構4、一可受到驅動機構4驅動而可直 線升降的驅動座5，以及一個與驅動座5連接並可執行打開 及封閉動作的封閉機構6。 本發明的基座3是橫臥的長矩形，包括：一片與第一 腔座21固定地結合的第一閥壁31、一片與第一閥壁3 i間 隔並和第二腔座22固定地結合的第二閥壁32、一片銜接在 該等閥壁31、32頂緣間的頂壁33、一片架設在該等閥壁 31、32底緣間的底壁34，以及兩片左右間隔地連接在該等 1298771 閥壁31、32間的側壁35，藉該等壁板 之控制室36。其中該第一閱壁3 ，長矩形 1具有個朝向控制室36 的内壁面311、一和第一腔座21貼靠的外壁面312,以及一 個沿著長度方向開設並貫穿該等壁面311、312的第一闊口 313’而第二閥壁32也是具有-沿著長度方向開設的第- Γ3二在底壁34 具有數個間隔並往上突出的抵塊 34卜而該相壁35皆具有_個朝向控制室％的内辟面 35i，以及兩條平行間隔並自内壁面351往控制室％ 的導執352,在該等導執352間界定出一條直向 另一側壁35的導槽353。 朝门 本實施例的驅動機構4包括兩個間隔地架設在頂壁33 上的驅動㈣4卜該等驅動· 41都具有—支穿入控 3 6内的缸軸411。 參閲圖4、5、6’本實施例之驅動座5是受到驅動機構 1驅動而可直線升降，同時受到基座3之該等導槽353限制 穩的移動。上述驅動座5包括—片橫長條狀之驅動板Η 丄此驅動板51具有—個朝向第—閥壁31之第—板面⑴、 一個與第一板面511間隔並朝向第二閥壁32之第二板面 512、二個連接在該等板自512底緣間的底面513、一個連 接在》亥等板面512頂緣間的頂面514、兩個分別朝向側壁 35之内壁面351的侧面515、數個貫穿該等板面511、512 、、#近側面515的輪安裝孔516、數個左右間隔地貫穿該等 面511 512並位在驅動板51中央高度位置的枢設孔517 ，以及貫穿該等板面511、512的數上長槽孔518、數下長 1298771 槽孔519，上述長槽孔518、519是對稱地位在樞設孔517 的上方及下方。 而該驅動座5還包括：數個安裝在底面513下方的底 罪輪52、數個安裝在第二板面512上的頂靠輪53、數個架 設在該等頂面514及底面515上並鄰近邊緣的第一轉輪54 ，以及數個安裝在該等輪安裝孔516上的第二轉輪55。上 述第一轉輪54可在驅動板51升降時貼靠在基座3之該等 内壁面351上，而該等第二轉輪55的輪面則可貼靠在基座 3之該等導執352間，藉此增進驅動板51升降時的順暢性 〇 本實施例之封閉機構6包括一片與驅動板5丨左右間隔 之封閉板61，上述封閉板61的寬度小於該驅動板5丨，具 有一個朝向第一閥壁31之内壁面311的封閉面611、一朝 向該驅動板51的安裝面612，以及一個位在該等封閉面611 及安裝面612底部間的底面613。而該封閉機構6還包括·· 數個安裝在驅動板51及封閉板61間並使封閉板61可以單 點擺動的樞擺單元62、數個固定地安裝在底面613上的底 滾輪63、數個上迴力單元64，以及數個下迴力單元64,。 上述底滾輪63可以沿著第一及第二閥壁31、32的方 向滾動，每個樞擺單元62都具有一個固定地安裝在安裝面 612上並具有兩片往驅動板51突出之翼片621的安裝座 622、一片藉一支軸623以可擺動方式架設在該等翼片621 間的樞擺頂件624、一支穿過該樞擺頂件624之一結合端 625的固定連桿626,以及兩支經驅動板51螺鎖在該固定 1298771 連桿626的兩個㈣端627間的螺絲628。而該等迴力翠元 - 64的構&相同’且對稱地位在該等樞擺單元62之上方 - 及下方，該等上迴力單元64都具有一支固定地結合在封閉 板^之安裝面612上的螺管641、一支穿過該驅動板η之 '^上長槽孔518中的其中之-並螺鎖在螺管641上的組 裝才干642以及-個穿套在組裝桿⑷上並頂撑在驅動板 ' 51及組裝桿642之-頭部643間的迴力彈簧644。 • 參閲圖3、4、6 ’本發明之閘閥裝置位在圖4的—個打 開位置時’該等驅動壓缸41之缸軸4ιι往呈内縮狀，亦即 ，受到缸軸411的連動，該驅動座5及封閉機構6是鄰近控 制室36上方，此時該封閉機構6之封閉板^的封閉面^ 未封閉第-閥壁31之第一閥口 313,因此，該等第一及第 一腔室21、22間可以益山够 了乂精由第一及弟二閥口 313、321相通 〇 多閱圖5 6 7，而當驅動壓紅41之知軸4ΐι往下突 • 出驅動該驅動座51同步下移時，由於該驅動座5的左右兩 側分別伸入基座3之該等導槽353内，且在伸入該等導槽 如的位置設有該等轉輪⑷^，因此，在下移的過料 ，該驅動座5可以順暢且不晃動地下移。當同步下移之封 •閉板61的底滚輪63靠在基座3之該等抵塊341上時，該 封閉板61就會無法持續下移，在此同時，受到驅動壓紅41 驅動下移的驅動板51仍會帶動樞擺頂件624之結合端625 下移，並因此將封閉板61往第一閥壁31的内壁面3ιι推壓 ，而在封閉板61往第—_ 31靠合的同時，分佈在該等 10 1298771 64、64’也會產生迴力 向第一閥壁31，並且 樞擺單元62上方及下方的迴力單元 的作用，而讓封閉板61具有彈性地壓 封閉第一閥壁31上的第一閥口 313。
亦即，本發明以單點樞接的方式來連接驅動板Η及封 閉板61 ’並且在兩者間設置數個具有彈力復位作用的迴力 單元64、64’，且該等迴力單元64、64，分佈在單點拖接部 位之上方及下方的設計，不僅未見習知真空設備之閑闕裝 置，该項設計更可改善雙組連桿架設方式所產生缺乏彈性 壓抵的缺點，藉此達到製造較為容易的目的。 准以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不 =以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明巾請專利 範圍及發明說明内容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍 屬本發明專利涵蓋之範圍内。 【圖式簡單說明】 圖1疋種習知真空設備之閘閥裝置的組合侧面剖視 圖’圖中該閘閥裝置位在一個打開位置； 圖2是一類似圖1的組合側面剖視圖，圖中該閘閥農 置位在一個封閉位置； 圖3疋本發明閘閥裝置之一較佳實施例之立體外觀圖 圖4是該較佳實施例的一側面組合簡圖，省略該閘閥 裝置之一基座上的兩條導軌，圖中該閘閥裝置位在一打開 位置； 圖5是該較佳實施例之一未完整的立體圖，省略該閘
11 1298771
閥裝置之一基座； 圖6是該較佳實施例之一局部立體分解圖，單獨顯示 該閘閥裝置之一驅動座及一封閉機構的部份構造；及 圖7是一類似圖4的側面組合簡圖，圖中該閘閥裝置 位在一個封閉位置。 12 1298771 【主要元件符號說明】 21 第一腔座 512 第二板面 22 第二腔座 513 底面 3 基座 514 頂面 31 第一閥壁 515 側面 311 内壁面 516 輪安裝孔 312 外壁面 517 樞設孔 313 第一閥口 518 上長槽孔 32 第二閥壁 519 下長槽孔 321 第二閥口 52 底靠輪 33 頂壁 53 頂靠輪 34 底壁 54 第一轉輪 341 抵塊 55 第二轉輪 35 側壁 6 封閉機構 351 内壁面 61 封閉板 352 導執 611 封閉面 353 導槽 612 安裝面 36 控制室 613 底面 4 驅動機構 62 樞擺單元 41 驅動壓缸 621 翼片 411 缸軸 622 安裝座 5 驅動座 623 支軸 51 驅動板 624 極擺頂件 511 第一板面 625 結合端 13 1298771 固定連桿 固定端 螺絲 底滾輪 上迴力單元 下迴力單元 螺管 組裝桿 頭部 迴力彈簧