TWI286695B - System and method for storing and accessing information via smart knowledge agents - Google Patents

Description

•1286695 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有種半導體製造技術，特卿韻於—種概念式資訊 擷取及資訊組態的系統和方法。 【先前技術】 半導體碰電離轉_ α触，以下冑_為IQ工業正經歷快速 的成長ic材料和设§十在技術上的進步造就了不同忙世代，而每個κ世 代具有比前-世代更小和更複雜的電路，而，這麵步會增MC在製造 和處理上的娜度，因此在實作上需要進-錄展相_ IC製造和處理的 技術。例如，製造IC時使用了某個製程步驟在基底上製作—㈣多個元件 (例如電路元件）’則當此元件的幾何結構縮小時，IC上的主動元件密度 (active deviee density，即單位IC面積上的元件數量）以及和功能密度 (fimcti〇naldensity，即#IC面積上的相互連接元件數量）則會受限於此 製程步驟。 另外，隨著1C工業逐漸成熟，製造IC所需的各種工作可能交由單一 A司内的不同部門’或者由專精於特定製造領域的不同公司來執行。當公 司和它的客戶不僅僅在地理位置上分開，甚至是在不同時區，有效溝通會 變的更加困難，這也增加了製造IC的複雜度。舉例來說，第一家公司（如 ^設計公司）設計-個新1C，第二家公司（如IC晶圓代卫廠）提供處理 叹備用來貫作此設計’以及第三家公司組裝和測試製造完成的IC。第四家 公司則控管整個IC製造過程，包括協調設計、處理、組裝，和測試運作。 ，複雜半導體元件的製造過程需要使用到許多製造步驟，所以統合這些 製造過程可能要花費好幾则的時間。在半導體製造系統内，具有大量有 關於局P皆半導體製造的資料。特定資料可以經由連接到資料庫的搜索引擎 所取知’亦即，提供有關於資料的特定關鍵字，則搜索引擎可以提供與此

0503-A31027TWF Ϊ286695 特定關鍵字相關的資訊。 ▲目前已有許多大眾化_料庫射？|擎，也_可以使祕製造产 境。大部分的搜㈣擎是依賴_字或輸人資制的崎_取資料。二 而’在高階铸體製造魏中存在著許多未知原騎顺，並且需要廣^ 戦以胁發現和解決這些問題。這㈣題可能是因為製程整合或粒^污

染所造成。傳_鍵字搜索或資料比對的方式通常無法從資料庫中银 與這些問題最相關的資訊。 X 因此，在技術上需要-種能夠解決以上_的系統和方法。 【發明内容】 士有，於此，本發明提出一種電腦系統和處理方法，用以错存和存取資 =。在貫施例中，上述系統包括内部智慧型代理器(S酬柳）、連接到該 一内部智慧型代理器之内部知識樹、以及外部資料源。該内部智慧型代 理器，在存取該外部資料源以提供資訊之前，詢問該内部知識樹。 【實施方式】 用以it須說明的是，於下揭露内容中所提出之不同實施例或範例，係 以本發騎揭示之獨技術職，其述之狀範例或排列係用 J1發明’然非用以限定本發明。此外，在不同實施例或範例中可能 相同之參考數子與符號，此等重覆使用之參考數字與符號係用以 =所揭示之内容’而咖以表示不同實施例或範·之關係。 1茶照第1圖，其表示本發明第—實施例之系統，其用以儲存或抽取資 ^且域不同資訊组間的關係。系統觸包括一個虛擬ic製造系統脱 擬無塵室聰’）。系統丨⑻也包括代理器組如胸^娜轉。代理 rtr包括了複數個實體，用於傳輸指令和由複數資料庫（未圖示）接 厂代理為、组104可以包括個別或複數個帶有軟體程式之硬體設備，

0503-A31027TWF 玟86695 用以通過網路到另外的電腦實體。代理器組104可藉由使用者而來的指令 : 組’由資料庫收集資訊。代理器組104中的代理器可互相交換由特定資料 ； 庫抽取的資訊，或可匯集擷取的資訊到該使用者的本地資料庫。代理器組 、 104可儲存或擷取相關於方法或系統的資訊。該方法或系統可共用於客戶， 、 曰曰圓製造薇，組裝設備，子承包商，或其他實體間。 代理器組104可經由虛擬無塵室102，接收指令或擷取資訊。例如，使 用者可藉由電腦設備或虛擬無塵室1〇2，及相關的代理器組1〇4互動，且以 指令組詢問複數資料庫（未圖示）。代理器組104可接收該指令，或搜尋 鲁 該複數資料庫内的相關資訊。代理器組1〇4可以建造，或使用使用者資料 庫或矩陣1〇6。該矩陣1〇6可以為知識樹。上述矩陣1〇6可以包括複數檢索， 或關係資料庫，或可以在矩陣1〇6内分類的概念。該關係資料庫可以包括 複數資訊或資賴麵造。該娜造可赠結到上输念。該齡可以由 上述樹構造的叢集(cluster)產生。該齡的產生方式可以為由習知技術的統 計方法，或狀玉方式雜資料喊為概念，或包括自較顯著人工分 類的混合方式。概念可以更由上述代理器或使用者分派，且叢集的樹構造 可以經由該代職組刚，由資訊和顧的修正，而自動產生。規則可以提 供給矩陣106，該矩陣痛可以定義資訊或資訊群組間關係。 矩庳觸可以包括複數相互連接的資料庫，計算機設備，軟體程式， 和到程式代理H的介面。上述矩陣⑽的索引可以由制者定義，或由該 矩陣觸的概念關係資料庫發展的相關自動赶。上標和概念關係資 枓庫可以由該代理器組104的動作動態和自動修正。上述代理器組刚的 ~ ^可以由代理器組崩以序列方式，平行方式，或和矩陣靡合作方式 提供。 參照第2圖，虛擬1C製造系統(虛擬無塵室）為可用以實現第i 圖的系統_應用_卜虛擬無塵室細包括複數實體由_個或多 個内部實體2〇2，及可由通訊網路212連接的一個或多個外部實體216代

0503-A31027TWF 1286695 表。通訊網路212可為單獨網路或可為多個不同網路，例如内部網路和網 . 際網路，且可包括有線和無線通訊通道兩者。 ； 每個内部實體2G2，或外部實體216可包括—個❹個計算機設備，例 ： 如個人電腦，個人數位助理咖rsonal di_ assistant)，傳呼器①㈣，蜂巢 電話phone) ’以及類似元件。例如，該内部實體2〇2被放大，用以 * '顯示中央處理器(Central Processing _，CPU)222，記憶體#224，輸入/ 輸出(hput/output，I/O)元件226 ’和外部介面228。該外部介面可為，例如， 數據機，無線收發機(transceiver)，或一個或多個網路介面卡㈣丽k # interface card，MC)。上述元件222·228由匯流排系統23〇互相連接。這裡要 瞭f的是該内部實體202可以由許多不同方法配置，且每個上述列出的元 件貫際上可以代表許多元件。例如，該中央處理器222可實際上代表多個 處理器(multi-pr〇cessor)，或分配(distributed)的處理器系記 可包括不同資料儲存元件，.該輸入/輸出元請可包括監控器(=t〇r)， 鍵盤，及其類似元件。 該内部實體202可經由有線或無線連結24〇，或經由該中間網路242， 或伺服器214,而連接到通訊網路矩陣212。中間網路2幻可以為‘完整網 路或區域網路(local areanetwork)的子網路(subnet)，公司範圍的内部網路， 鲁 或網際網路。在本發明實施例中，該中間網路242可包括伺服器214。該内 郤貝體202可由位址或位址組合，例如相關於該外部介面228的媒體控制 存取(media access contr〇l，mac)位址，和網際網路協定(intemetpr〇t〇c〇Up) 位址，在一個戒上述網路212及242兩者中辨識。因為該内部實體2〇2可 - 連接到中間網路242，在某些時候，某些元件可和其他内部實體一起共用。 因此，這裡可以預期到該内部實體202配置的大幅靈活度。更有甚者，在 某些構成中，該伺服器214可提供支援至多數内部實體2〇2 (未圖示）。在 某些實現中，一個或多個伺服器和電腦的組合可由單數實體表示。 在本發明實施例中，上述内部實體202代表直接負責製造最終產品的

0503-A31027TWF 1286695 某些實體，例如一組光罩，一個晶圓，或獨自測試的1(：:元件。另一方面， ·· 該内部實體202的例子包括工程師，客戶服務人員，自動系統程序，設計 • 或製造設備，或晶圓廠相關設備。該晶圓廠相關設備可以為加工材料，送 貝，組裝或測試。該外部實體216的例子包括客戶，設計提供者，和其他 非直接相關或於該無塵室之下的設備。另外，更多的無塵室和虛擬無塵室 可包括上述内部或外部實體。每個實體可以和其他實體互動，並且可提供 服^務到其他實體，或由該其他實體接收服務。 上述實體202，216可集中於單一位置或可為分散，且某些實體可合併 籲至其他實體。另外，每個實體202，210可與系統辨識資訊結合，根據相關 於每個識別資料的職權等級，控制允許該系統内資訊的存取。 為了 1C製造和服務提供的目的，虛擬無塵室2〇〇使上述實體2〇2，216 中的互動置於致能狀態。在本發明實施例中，IC製造可包括一個或多個下 列步驟： 接收或改變客戶的1C訂單價格，運送，或數量； 接收或改變1C設計； 接收或改變程序流程； 接收或改變電路設計； # 接收或改變光罩改變； 接收或改變測試變數； 接收或改變組裝變數；以及 接收或改變該1C的運送。 _ 由負5孔代理器接收或改變資訊；以及 接收或改變概念關係資料庫或矩陣内的資訊。 由虛擬減室提供的_個或錄服務可允許相互合作，和資訊存 取，例如在設計，工程和後勤(logistics)的領域。例如，在上述設計領域中， 在外部貫體216的上述客戶，、經由虛擬無塵室2〇〇，可以給予到資訊和工具

0503-A31027TWF 9 1286695 的管道。該資訊和工具相關於該客戶的的產品設計。上述資訊和工具，可 ； 使得在外部實體216的該客戶，執行成品加強分析(yield enhancement 一 analysis) ’檢視佈局㈣㈣資訊，和獲得類似資訊。在工程領域，外部實體 ： 216的工程師可和其他工程師合作（其他工程師可在外部實體216，在内部 只體戍7、他位置），使用關於先導成品生產&ii〇t yiew則^)，危機分 ^ 析，品質，或可靠度的資訊。外部實體216的上述工程師，可與外部實體 216互動，以提供詢肖到該程式代理器，和到第i圖中系統1〇〇的矩陣⑽。 該後勤領域可提供在外部實體216 戶製造狀態，測試結果，訂單處理， 或出貨日期。這裡可以瞭解岐這些領域為舉例說明，而且經由虛擬無塵 室200，可提供所想要的更多或更少資訊。 另-個由虛擬無塵室200提供的服務，可整合設備間的系統，例如内 部實體216和内部實體202 @。此種整合使得設備協調他們的動作。例如， 整合内部實體216和内部實體202，可使得由外部實體216而來的設計資 訊，以更有效率的納入内部實體202的製造過程。為了評價及整合設計，' 上述整合也可允許内部實體202的製造過程的資料，回應給外部實體216。 筝照第3圖’虛擬無塵室3〇〇顯示第2圖中上述虛擬無塵室2〇〇之更 詳細的實施例。然而要瞭解的是，第3圖所提及和描述的細節只為實施例 > 而提供，其他實施例也可用於此。虛擬無塵室300包括複數實體3〇2，3〇4， 306，308，310和312，且由通訊網路314連接。如同所顯示的，實體3〇2 代表服務系統，實體304代表客戶，實體306代表工程師，實體3〇8代表 用於1C設計和麟的設計實驗室設備，㈣代表無塵室設備，以及實 體312代表無塵室設備310的内部，或於另外設備的程序（例如，自動^ 造程序）。每個實體可與其他實體互動，且可提供服務到其他實體，或: 上述其他實體接收服務。 ' 服務系統302提供介於客戶3〇4，和上述1C製造操作程序的介面。例 如，服務系統302可以包括服務系統人員316,用於處理和追縱訂單的後勤 0503-A31027TWF 10 1286695 系統318，和使得客戶直接存取各方面訂單的客戶介面32〇。 . 後勤系統318可以包括正在進行(Work in Progress以下皆稱為WIP)存 _· t.%^324 il(ProductDataManageme^^^ , t#t • 管理系統(L〇tS C〇ntro1細⑽，LCS)328，和製造執行系統(Manufacturing Execution System，MES)330。Μρ存貨系統324可使用資料庫（未圖示）追 . 蹤工作批。產品資料管理系統326可管理產品資料，和維護產品資料庫（未 圖示）。上述產品資料庫可包括產品種類（例如，零件，零件編號，和相 關為吼），和相關於產品的每個種類的程序階段的組合。貨批管理系統328 ^ 可轉換程序階段到其相對應之程序步驟。 製造執行系統330可為表示上述方法或工具的整合電腦系統。製造執 行系統330可用以完成製造。在本發明實施例中，製造執行系統33〇可包 括即時收集資料，管理或儲存上述資料於集中資料庫，工作訂單管理，工 • 作站管理，程序管理，存貨追蹤，和文件控管。製造執行系統33〇連接到 • 其他於服務系統3〇2内部，及服務系統302外部兩者的系統。製造執行系 、、充 330 之貝施例包括 promis( jy^assachuse^s 的 B〇〇ks Automations Inc.)， Workstream (California 的 Applied Materials，Inc·)，Moseidon(New Yor^ IBM Corporation)，和 Mirl-MES (Taiwan 的 Mechanical Industry Research 鲁 Laboratories)。每個產品皆常用於半導體製造工業中的一個或多個特定應 用。例如，Mirl-MES常用於牵涉到封包，液態晶體顯示器(Liqui(i Clystal Display，LCD)，和印刷電路板(printed circuit Board，PCB)的相關應用。而 Promis’ Workstream，Poseidon 常用於 IC 晶圓製造(fabrication)和薄膜電晶體 (ThinFilm Transistor，TFT)應用。製造執行系統330可包括，針對每個產品 的程序步驟順序的資訊。製造執行系統33〇可經由虛擬無塵室ι〇2 (見第1 圖）相互連結到代理器組104和矩陣1〇6，其中資料或資訊可連續地經由代 理裔組104 ’輸入至矩陣1〇6。 客戶介面320可包括線上系統332，或訂單管理系統334。線上系統332 0503-A31027TWF 11 1286695 可作為介面，用以和客戶304，服務系統302内之其他系統，支援資料庫（未 圖示），和其他實體306-312溝通。訂單管理系統334可管理客戶訂單，和 可相關於支援資料庫（未圖示），用以維持客戶資訊或相關訂單資訊。 服務系統302的一部份，如同客戶介面320，可與電腦系統322結合， 或可有自己的電腦系統。在某些實施例中，電腦系統322可包括多數電腦， 其中某些可做為伺服器，以提供服務給客戶304或其他實體。服務系統3〇2 也可提供如同作為識別驗證和存取控制的服務，兩者都用於避免非授權使 用者存取資料，和禮定授權使用者可存取他們自己的資料。 透過電腦系統336，且經由虛擬無塵室300，客戶304可獲得關於他的 ic的製造資訊。在本實施例中，經由服務系統3〇2提供的客戶介面， 客戶304可存取虛擬無塵室300的多個實體302，306-312。然而，在某些 狀況下會偏好將客戶304置於致能狀態中以存取其他實體，而不經由客戶 介面320。例如，客戶304可直接存取無塵室設備31〇，以獲得製造相關資 訊。 、 工程師306可在上述1C製造程序中，與其他虛擬無塵室3〇〇内使用電 腦系統338實體相互合作。虛擬無塵室3〇〇實體使得工程師3〇6，和其他工 程師，或ic設計和測試的設計/實驗室設備308相互合作，以監管在無塵室 設備310的製造程序，和獲得關於測試製造扣贫成品以w屮等等的資 訊。在某些實施例中，工程師306可經由虛擬無塵室3〇〇，直接和客戶3〇4 溝通，提出設計問題和其他關切。 經由虛擬無塵室300，設計/實驗室設備提供可由其他實體存取的 ic設計或測試服務。設計/實驗室設備3〇8可包括電腦系統34〇，或許多圮 設計和測試工具342。1C設計和測試工具342可以包括軟體或硬體兩者。 無塵室設備310使致能上述Ic的製造。上述製造過程的許多方面的控 制，以及在該製造程序中的資料收集，可以經由虛擬無塵室卿存取。無 塵室設備310可包括電腦系統344和許多製造硬體和軟體工具和設傷祕’。、

0503-A31027TWF 12 ⑧ 1286695 例如無塵至5又備310可包括離子植入(〗〇η丨呵丨肪加⑹)工具，化學蒸、、左、 澱(chemical vap〇r deposition)工具，熱氧化(thema丨 〇xidati〇n)工具、= (spmtermg)工具，各種光學影像(〇ptical imaging)系統，和用以、， 和儀器的軟體。 種具 當使用者和虛擬無塵室3〇〇互動時，他們是經由與虛擬無塵室_說 接的電腦系統互動。使用者可以包括客戶，設計者，卫程師，管理者 想要和上述揭露系統互動，以由其獲得資訊的其他人。，，使用者”_詞不只’ 於描述上述㈣統請求資訊的人員，也可用於圖形化描述的上述電腦= 或I/O元件。上述客戶經由該電腦系統或1/〇元件和該系統互動。… 。私序3U可代表發生於虛擬無塵冑3〇〇内的任意程序或操作。例如， 私序312可為經由服務系統3G2，由客戶綱接收或填入冗訂單的 序。無塵室設備31〇峨行的製造程序，由工程師3〇6執行，使用二= 驗室設傷308❸設計程序，或幫助各種實體·12間的溝通又具 上述虛擬無塵室300的實體购12，和他們描述的相互連結口 =目=。例如，可以看到更多或更少實體可存在於虛擬無塵室3〇〇。該實體 可^為内部或外部兩者，且某些實體可整合人其他實體或分散歹、 務系統302可分散於多個^19 ' ，服 耦接至,丨、心々 序12可包括製造儀器，或其他 =到通_路314的非儀器相關製造步驟。程序312步驟之間的時: 以=4鱗間。該等候咖可以包括儲存於_庫的數 程序祀步驟的等候時間可經由通訊網路314存取，並且可由°電=: 36，或客戶304的電腦系統338，或工程師3〇6分別分析。 … 电門於其他實施例中’顯示了為了抽取資訊或提供不同資訊 。系統4。。的通訊網路314可 ‘ C未圖不）或外部實體（未圖示），用 禮 =訊根據制者賊理驗__提供。“ : 輸入/輪出轉〇)’代理請频代理器侧）和矩陣彻。矩ς 2

0503-A31027TWF 13 d) 1286695 1包=索引組内，帶有複數概念樹構造的複數索引祀到χ (索引 I/O·可包括至少一組内部或外部實體，用以和代理器柳 2互動。I/O 可包括複數電子元件或其他軟難式，用以和代理哭 -Ν或矩陣410互動。1/04〇1可提供搜索資訊給代理器抓ν。 代理器402-Ν可每個包括複數個軟體程式，用以抽取資訊。代理哭 獅可以包括根據關鍵字的搜索引擎，統計樣式，或其他變數。代理二 侧可經由通訊網路别或任何内部或外部實體（例如，虛擬無塵室^ 2〇〇或獨的實體）互動。代理器侧可以合作方式，並列㈣姻）方 式或各自方式操作資訊。代理器4〇2_Ν可更_到矩陣。代理器柳Ν 可位於系統彻内的許多位置，且由任何介面，端點，舰，或無線元件 可麟指令。代理器侧可_者，客戶，工程師，或可存取虛擬無 塵室102，200 ’和綱的其他實體產生。代理器4〇2_ν可操作指令或資訊， 包括關鍵字’資料庫關，自動化工作，程序工作，或事件序列。代理器 Ν可包括階級資訊，其中單獨或複數代理器4〇2_ν可包括相對於其他代 理器402-Ν的更高優先順序。代理$ 4〇2_Ν間的溝通經由虛擬無塵室脱， 200，和300，經由通訊網路3Μ，經由矩陣彻，或直接由代理器者間發生。 矩陣410可包括複數索引412_χ。複數概念樹構造可存在於每個索引 412-Χ。代理器402-Ν可以單獨或叢集(duster)方式，和任何傾互動。 該互動方式y為序列，並列，或合作方式。矩陣之索引化-X内的樹 構造可包括複數資料領域。該雜領域侧於代理器4Q2_N提供的資訊。 =2-N提供的貧訊或資料可包括半導體元件電性資料，製程資料，製造流程 為料或任何虛擬無塵室1〇2，2〇〇，和300内可用的可錄製資訊。 矩陣410可由概念關係提供群組，其中概念可包括指定概念，關鍵字， 或可輸入相關統計關連資訊叢集。概念可於矩陣内以規則發展。該規 則可由代心4G2_N指派到㈣412·Χ，雜何矩陣41G喃構造的元件。

0503-A31027TWF 14 1286695 資訊或資料可由代理器402-N加入矩陣410。 矩陣410可根據複數質詢進化，或可根據上述慨念的擴張，或經由系 統4〇〇發展的知識，在接下來的質詢允許資料或資訊存取。上述資訊可根 據可由代理器402-N或由可由統計相關和上定規則隨意結合決定的矩 陣410，指定的概念動態群組。例如，應用規則可相關於特定程序如同金屬 氧化化學蒸汽沈殿(metal oxide chemical vapor depositi〇n，M〇CTO)，㈣ layer deposition, ALD) ^ (physical vapor deposition, PVD) ^ (chemical vapor deposition，CVD)，（chemical mechanical _

planarization，此後全部稱“⑽”或其他製心其中概念可訂定以代表薄 膜厚度，記量組成，製程週期_，產品成品，粒子數量，或實施例中末 端程序電子元件娜間侧。其他規射朗於許多不畴程，方法和實 現。規則可由上述根據統計相關的樹構造統計凝集而產生。指定規則可^ 幫助建立矩陣410内的概念產生。 矩陣410包括開放可存取介面，其中資料或資訊可於矩陣41〇的索引 4似内被加入或更改。索引412_χ可包括可由代理器4〇2_N，實體泌和 216 (如第2圖）定義的複數概念種類。矩陣41〇可由觀察，認知，或由上 述代理器402-N或虛擬無塵室細的實體2〇2和216，提供資料或資訊的新 種類辨別，製造索引412-X。 在操作上’使用者（無顯示）可經由上述代理器4〇2_n (例如，代理哭 4〇4)之-執娜肖。例如，如果上述個者對，，物_㈣當作基底，，的 主題感興趣，代理器404將先存取矩陣猶已決定是否矩陣猶包括相關 上述主題的㈣，上述主題”鍺當作基底，，哺料可經由代㈣，回應給 者。如果矩陣彻沒有包括侧上述主題的㈣，代理器可 接部主題N (例如，”糊基底，，）。未來的制者然後可直 接由矩陣彻，而不需存取外部資料庫，存取新主題n上的資訊。 頻第5圖，於另外之實施例中，顯示為矩陣彻（見第4圖）的代理

0503-A31027TWF 15 1286695 器402-N之上述主要元件的圖500。圖5〇〇顯示上述群組或概念5〇2_5〇6的 形成。概念502-506可包括統計資料，關鍵字，或其他資訊。概念5〇2_5〇6 可由代理器402_N，實體2〇2和216(第2圖），或矩陣分派。概念5〇2福 可由上述共同資料或資訊的凝集產生，其中的樹構造5〇8_512可包括複數概 念或統計相關資訊。樹構造508_512決定概念5〇2_5〇6的結論，或可於矩陣 410内發展概念502-506。概念502-506可更相互相關，且可更與上述複數 索引412-X相關。概念502_506可由實體2〇2或216檢視。概念5〇2_5〇6可 根據上述舊資訊或上述添加新資訊，和由代理器4〇2_N而來的資料，修正

自動改變，或可由授權内部和外部使用者（例如’上述實體2〇2或216的 使用者）人工改變。 々現在參考第6a-C圖的流程圖，在另外的實施例中，顯示為方法_可 於第1圖的系統100内執行。方法6⑻由矩陣或代理器4〇2_n (第4 圖）提供資訊傳遞，也更新和同步虛擬無塵室細（見第2圖）的實體2〇2， 216，以矩陣410或代理器4〇2_N。 方法600由步驟602起始，其中矩陣，索引4ΐ2_χ，概念5〇2_5〇6， 和樹構造5〇8_512可於虛擬無塵室102，200，或300内建立。 步驟604可提供由矩陣而來的關連，或例外規則之上述分派，其 中上述規則可由虛擬無塵室1G2，綱，或細的實體2G2和216分派。上 述規則可包括相關於製程’電性參數，或任何可由矩陣·同化的其他資 减心的#日派。上述基本規則的製造可允許匯集複數由步驟⑼6之資料或 f 基礎樹構造。_構造可包純數基礎概念或總體特性。 在步，_中，代理器侧可產生與矩陣猶或實體2〇2和⑽介 :。^理②4G2_N可為可收集或傳輸資訊的硬體或軟體程式，且可由使用 或Λ體202和216接收指令。代理器4〇2_N可提供矩陣彻 其中上述樹構造根據上述提 、次貝 或貝在寬度上進化。資料或資訊 了由代理益卿不斷更新到矩陣，其中資料或資訊可由各種來源提

0503-A31027TWF 16 ® 1286695 供。該來源可包括在虛擬無塵室1〇2，200，和300内的資料庫，如同位於 • 半導體製造系統或客戶資料庫内外部之多數資料系統。或者，來源可包括 、 網際網路内的資料庫或搜索引擎，如同資訊服務提供者(inf〇rmati〇n service • Provid⑽，以下皆稱為ISP)或加值資料庫(value added database，以下皆稱為 ^人^) ， 如 同 LEXIS-NEXIS(http://www.lexis.com>)， (KX)GLE(http://www.g〇0glex〇m)，或任何其他網際網路或内部網路為基礎 的搜索引擎料庫，網站，或網路飼服器。步驟61〇的代理器4〇2_n可經 由矩陣410投射，以提供慨念樹或構造間的比較分析。代理器4〇2·Ν可於 虛擬無塵室1〇2，200，和300的複數資料庫或搜索引擎内，比較資料或資 訊構造。 在任何時刻，實體202和216可在步驟612，以合作式地，並列式地， 或串列式地提供詢問至代理器402-Ν。詢問可更由代理器4〇2_Ν提供，其中 上述規則可以進化或觸發例外規則。該規則和和矩陣41〇耗接。該例外規 則由步驟6Μ中的貫體逝和2丨6設定。上述例外規則可以包括提供資料 或資訊的特定組。該資料或資訊可以缺席於特定時間。而該特定時間可以 相關於特定概念5G2_5G6。另外，餅酬可侧於概念5G2_5()6。上述概 念502-506提供統計上的重要概念，其於矩陣41〇内決定。 春 在步驟614，代理器402-N可提供統計相關矩陣41〇資料或資訊，經由 虛擬無塵室102，200和300，到實體202或216。統計相關矩陣資料 可以包括重要概念502-506。該重要概念5〇2领、經由樹構造5〇8_512和概 念502-506的結合，由矩陣41〇決定。 • 在步驟616，實體202和216的詢問經由代理器4〇2_N，可以決定這裡 可以沒有相對應的同源資料或資訊。該同源資料或資訊由矩陣製造。 矩陣 _同源資訊的存在可以導致通知的發出。麵知發出“述資 訊的使用者或實體2〇2和別。然而，如果相對應同源的資料或資訊缺席: 則上述詢問的程序可由矩陣410或代理器402-N繼續。 0503-A31027TWF 17 1286695 在步驟618，上述詢問經由到矩陣41〇的代理器.N，可寄出到其他 代理器402-N。該其他代理器4〇2_N耦接於其他isp 在步驟620，上述詢問可以經由Isp，彻，或虛擬無塵室ι〇2，綱 $ 300的實體202和216投射，以比較矩陣41〇的麵造如。資料或 貝Λ可由上述ISP和VAD收集，以整合入矩陣41〇的概念5〇2_5〇6的樹構 造508-512。當矩陣410擴張，新的索引412-χ可以由矩陣41〇產生或互相 關連。該索引可以經由統計重要性測試，或習知方法產生。 在步驟622，代理器402_Ν可由矩陣410提供資料或資訊，或矩陣41〇 的樹構造5〇8-Μ2内比較的幫忙詢問，關於由Isp，VA〇，或虛擬無塵室 102 ’ 200 ’ 300的實體202和216的上述資料或資訊。 相對應於概念502-506或矩陣410的樹構造508_512的其他資料或資訊 在步驟624接收，上述詢問資料或資訊可經由代理器4〇2_n寄送，已在^ 驟626中結合矩陣的樹構造鮮512。在上述相關資料或資訊的注入報 矩陣彻之後’代理器402_N可存取矩陣彻，其中同源資料或資訊可經由 概念502-506或樹構造508-512而匯集。 上述如同於矩陣410匯集的資料，用步驟628，可回饋到代理器4〇2_n， 其中上述匯缝料或資訊可由使用者和步驟⑽巾的虛擬無塵室.綱， 300的貫體202和216接收。 如同第6C圖顯示，在其他實施例中，上述方法6〇〇可更包括，同步代 理器402-N，矩陣410，和虛擬無塵室102，2〇〇或3〇〇的實體2〇2和216 的步驟。第6C圖的方法_可包括，和第6A圖相同的步驟6〇2到步驟㈣。 步驟63=到步驟646顯示用以同步系統卿之實施例的綠。同步可包括 給其他貫體’關於動作的初始或完成的通知，以及，給系統觸的改 知。 . 同步化方法600可於步驟602初始，其中矩陣41〇，索引412_χ，概余 502-506，或樹構造508_512可建立在虛擬無塵室1〇2,2〇〇，或3〇〇之内:

0503-A31027TWF 1286695 步称604可提供為了上述針對矩陣41〇的相關規則的分派，其中上述 ·、 規則可由虛擬無塵室1〇2，200，或300的實體202或210分派。該規則可 罐 包括相關於製程，電性參數，或矩陣410内類似的其他資訊的概念分派。 • 上述基礎規則的產生，於步驟606中，可允許包括資料或資訊的複數 基礎樹構造508-512。該基礎樹構造5〇8_512可包括複數基礎概念，和整體 特性。 在步驟608中，代理器4〇2·Ν可被產生。該代理器402-N可界面於矩 陣410，和實體202和216間。代理器402-Ν可包括可由或傳輸資訊的硬體 • 和軟體程式，或可由實體202或216接收指令。當樹構造508_512根據上述 提供的資料或資訊，在廣度上演進，代理器4〇2_Ν可以提供帶有上述資訊 和貝料的矩陣410。資料或資訊可以從許多來源，由代理器4〇2_Ν提供到矩 陣。該來源可以包括虛擬無塵室1〇2，2〇〇，或3〇〇内的資料庫。這些 :貝料庫位於半導體製造系統的許多内部資訊系統，或外部資訊形式。該外 邛貝訊形式可以為客戶的資料庫。或者，來源可包括資料庫，搜索引擎， 7站’或網賴服器。這些來源可由上述網際網路存取，例如，資訊服務 提供者ISP’VAD’和其他網際網路或畴網路為基礎的搜索引料資料庫。 、步驟610賊理器4㈣可經由矩陣41〇投射，以提供概念樹資料或 構造間的比較分析。代理器输N可比較資料或資訊關於虛擬無塵室脱， 200，和300的複數資料庫或搜索引擎内。 一在步驟632中，上述彻，lsp，或實體搬和216可提供更新資訊或 Ik由代理為402-N ’以新的或更新的資訊和矩陣41〇同步。 " 在乂驟634巾上述VAD，ISP，或實體202和216經由代理器4〇2-N， 了k供任何改變的通知或到矩陣41〇的插入。 由VAD，ISP或實體2〇2和训而來的通知，可沿續傳送，或和 636的代理器402-N同步。 在步驟⑽中，矩陣410可以與代理器402-N同步。這個同步可以對

0503-A31027TWF 19 1286695 於改變通知，或矩陣彻内的改變通知。該矩陣猶内的改變通知可以由 • 該資訊，資料，和同源資料或資訊產生。 : 在步驟640中，允許代理器402_N和矩陣互動，用以同步由VAD， • ISP ’或虛擬無塵室脱，施，或·中實體2〇2和加接收的資訊，或由 • 使用者或其他虛擬無塵室102，，或300中的實體202和216詢問資訊。 ’ 龍或資财雜驟642巾’由代理器⑽训或矩陣驗證，其中 包括上述接收者的驗證通知的傳送。 在步驟644中，驗證可由矩陣410提供到代理器4〇2_n。 • 在步驟646中，初始詢問到代理器4㈣的使用者和實體2〇2和⑽， 可經由代理器402-N ’將驗證和通知同步。在實施例中，矩陣41〇的更新在 由代理1 402-N來的全新或更新資訊接收時，由矩陣彻或代理器4〇2_n 自動提供。 在另外實施例中，矩陣41G的更新可由使用者，或實體施和216人 工提供，其中從代理器402-N而來的新增或更新資訊可被接收。在上述新 增或更新資訊提供到矩陣410之前，使用者或實體2〇2和216可接受，或 拒絕上述全新或更新資訊。 現在參照第7圖，700顯示内部實體202和外部實體210可與第i圖的 曝系、統100互動的介面實施例。這裡瞭解的是許多介面可表示為第i圖中的 系統100。 如同顯示的，700包括載入按鍵702，儲存按鍵7〇4，詢問按鍵7〇6， 移除按鍵708，檢查按鍵710，寄送按鍵712，新增按鍵714，複製按鍵716， - 和替換按鍵718。該線上介面7GG也可包括提供該客戶功請求配置和出光 罩的樣版720。該樣版720可在該設計過程，由工作請求的規格更新，以確 定該工作請求為正確的。另外，該工作請求系統規格可在該工作請求的配 置完成之後，應用於該樣版720。該樣版720可更代表瀏覽器螢幕，複數選 擇螢幕，和經由系統100的代理器402-N和矩陣410可操作的即時工作請 20

0503-A31027TWF 1286695 求追蹤或選擇螢幕。 702 ’ 704提供給上述使用者，矩陣41〇_N，或任何其他有該載入資料 或負Λ的選項，和經由虛擬無塵室3〇〇，從系統1〇〇抽取資訊的實體和 216。詢問按鍵706可以寄送複數指令到代理器4〇2_Ν，初始上述詢問。該 移除按鍵708將該使用者，或實體2〇2和216置於致能狀態，用以移除由 系統100來的資汛。該檢查按鍵71〇將上述使用者或實體2〇2和216置於 致月b狀恶，用以執行驗證方法，代理器4〇2_Ν和矩陣MO的狀態。寄送按 鍵712將上述使用者或實體2〇2和216置於致能狀態，經由虛擬無塵室1〇2， 2〇〇或300，用以寄送資料或資訊，到其他實體2〇2和216。 該新增按鍵714可用以寄送和接收電子郵件通知到代理器組1〇4。該複 製按鍵716可將上述使用者或實體2〇2和216置於致能狀態，用以複製資 料或貧訊由通訊網路314 (例如，詢問指令，詢問結果，概念資訊，等等） 内的複數資料庫。該替換按鍵718可將該選取的元件置於致能狀態，以由 另外的元件替換。 攻裡要了解該按鍵和功能只為顯示，且許多其他按鍵和功能可被提 供。例如，由點選滑鼠按鍵(未圖示)或由使用鍵盤(未圖示），内容導向(content sensitive)選單可被選取。據上所述，該線上介面7〇〇可如同所想要的，延伸 其功能及加強上述使用者或實體2〇2和216的支援而加以改變。 茶考第8圖，在某些實施例中，顯示的是系統800。系統800包括使用 者802 ’第一智慧型代理器804，知識樹806，第二智慧型代理器808，外 部貧料庫810，和外部知識樹812。顯示之虛線820分割内部部分（802， 804 ’ 806 ’和808)和外部部分（810和812)。如同顯示，使用者802為 貝料官理系統800内部，而在另外的實施例中，使用者8〇2則為外部。第8 圖和第9圖中’該使用者一詞不只作為上述由系統請求資訊的人員，也當 作電腦系統或元件，或由上述系統 ，經由其詢問，回應和其他資訊可寄送 或接收的元件。

0503-A31027TWF 21 1286695 在操作中，使用者802可能對學習一種資訊，或存取資料，例如牵涉 要用哪種摻雜物在矽上感興趣。使用者8〇2寄送詢問到第一智慧型代理器 綱’如箭頭822。第一智慧型代理器8〇4和知識樹8〇6比較上述詢問，如 果資料存在的話，用以決定是否上述資料或資訊可由知識樹8〇6存取，如 同笳頭824所示。如果上述資料或資訊存在，知識樹⑽6將寄送該請求之 資料和資訊，到第一智慧型代理器804，如同箭頭826所示。 如果第一智慧型代理器804有接收到足夠的資料，上述程序將會結束， 且第一智慧型代理器804寄送上述結果到使用者8〇2，如圖箭頭84〇所示。 另外，資料或資訊可由知識樹806直接寄送到使用者802，如同箭頭842所 示。

如果第一智慧型代理器804沒有接收到足夠的資料，第一智慧型代理 器804將寄送詢問到第二智慧型代理器8〇8，如同箭頭828所示。第二智慧 型代理器808接著可以由外部資料庫810，或外部知識樹812，請求上述資 料或資訊’如同箭頭830和箭頭832所示。合適的外部資料庫和外部知識 ;W包括 LEXIS-NEXIS (http://www.lexis.com ^ ， GOOGLE (http://www.google.com) ^ YAHOO (http://www.yahoo.com) ^ United States Patent and Trademark Office databases (http://www.uspto.g〇v>> ^ academic and professional journals ， European Patent Office databases (http://ep.espacenet.com/) ^ World Intellectual Property Organization databases (http://www.wipo.org/)，或其他私人或公眾網站，網路伺服器，或資料庫。 外部資料庫810寄送上述結果到第二智慧型代理器8〇8，如箭頭834所 示。外部知識樹812寄送該結果到第二智慧型代理器8〇8,如箭頭836所示。 第一冬慧型代理為808匯集上述由外部資料庫81〇和外部知識樹si〕而來 的結果，且提供上述結果到第一智慧型代理器8〇4，如箭頭838所示。第一 智慧型代理器804將結果交給使用者8〇2，如箭頭840所示。如顯示，第二 智慧型代理器804和第二智慧型代理器808為系統8〇〇的兩個不同部分。 0503-A31027TWF 22 1286695 中’上述第一智_理_和第二智_理_的 功月b，可由早獨仲介執行。 ㈣otZ 1圖，在另外的實施例中，顯示用以更新知識樹的系統900。系 ^包括使用者902，第一智慧型代理器904，知識樹906，第二智慧型 外ΐΓν，外部:_ _，和外部知識樹912。虛線92_内部部分 t 5 902 900 ° r便用考902為糸統900外部。

如同irt t部資料庫910或外部知識樹912以新的資料或資訊更新。 928 頊924顯示，該更新送到第二智慧型代理器卿。箭頭 9〇4，°^l h (例如’對使用者902有興趣的）到第-智慧型代理器 &頭926帛—智慧型代理_ 904提供上述更新到知識樹906，如 、所以知識树内的主題可改變或根據該更新改變。上述新增或改變 的主題，寄回第—智慧型代理器咖，如箭獅顯示，且然後 902，如箭頭932所示。 如同顯示的，根據外部更新，知識樹9G6自動由第—智慧型代理器9〇4 在另外的例子中，使用者9G2由第—智慧型代理議接收所提議 1文到知識樹906 ’且使用者9〇2可接$或拒絕上述所提議的改變 。以這 種方法，使用者902可濾掉錯誤資訊。 口此柄明貝施例加入用以儲存和存取資訊的系統。在實施例中， =系統可包括第-内部智慧型代理器，連接到該内部智慧型代理器的内 和識樹，和包括至少_個外部資料庫和外部知識樹的外部資料源。上述 糸統也可包括内部智慧型代理器。該内部智慧型代理器，在存取上述外部 資料源以提供資訊之前，可_壯勒部知識樹。 f個心例中，用以儲存和存取資訊的揭露系統，包括内部智慧型 、,w和連接到上述内部智慧型代理器的内部知麟。一個外部資料源 由群、、且做k擇該群組包括外部資料庫，和外部知識樹。在存取該外部資 0503-A31027TWF 23 @ 1286695 料源以提供資訊之前，該内部智慧型代理器詢問該 * 也可包括連接到該内部智慧型代理器的使用者。兮系5 &。上述系統 :部使用者。該外部使用者連接到該内部智慧型代=、包括授權的外 .裝於轉體製代理心上述纽更可以安 .用以本揭露提供存取請麵訊，包括詢問内部知識樹， 用以靖求W的方法。上述綠也可詢問外部知識源， /、々 被上述内部資料樹接收的提醒。該方法也 ^m 接收的f、十、>主七…欠％ i ^木由該内部知識樹 •;收的上“求㈣，和上述外部資料源，到-組資訊。該方法更包括提 供上述組資訊給使用者，其中該使用者可以包括内部使用者。不^^ 用者也可以包括外部使用者。 …、以使 在-個實施财本發明揭露提供麟内部知職的方法 括由外部來源接收資料片段。如果該資料 μ方法匕 神資粗紅 内部資料樹相關，且使 用該貝枓仏更新該内部資料樹，上述方法也可以提供給上述決定。 ==^____者。在實施财，該方法也包 括允料使用者決定是否用該資料片段更新該知識樹。 f外一個實施例中’本揭露包括為了抽取資訊，和提供半導體製造 ^ 1 _組之間的關係的系統。該系統可包括第—群组指令^ 以建立帶有複數實體的虛擬無塵室，第二群組指令，用以建立代理料， = 幽叫虛擬無塵 多個辦體來齡 代理器組做為介面，及一個或 •柳=;該第一，第二，或第三群組指令。該系統可更包括-個 .或第三群組指令以介面該—轉個記憶體，以及執行該第―，第二， 1勺Ll/方法錢例，用靖存和存轉訊。這個實補可包括方法， ” 弟1部智慧型代理器。該方法也可提供用以維持内部知識

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24 W 1286695 樹，連接到該第-内部智慧型代理器。該方法也可提供外部資料源，包括 ^個外部㈣庫和外部知識樹。在存取該外部資料源以提供資訊之 月j該方法可更提供内部智慧型代理器，用以使致能詢問該内部知識樹。 2外-個實施例，用以更新内部知識_方法，可包括，由外部來源 =收身料，然後決定是否該資料和勒部知識樹相關，且然後用該相關資 ’更新該内部知識樹的步驟。該綠可更包括提供該畴知識 新的通知給传用去。

本揭露也提供-齡統練資·令，和提供半導體製造環境 不同資訊組_係。該系統可包括第—群組指令，用以建立帶有複數 實體的虛擬無塵室。該實體也可包括第二群組指令，用以建立代理哭组， 以及第μ組齡’用以建立矩陣。該矩陣和上述虛擬無塵室的複^部 和外心體相互此和’且域代理驗做為介面，及— 儲存該第-，第二，或第三群組指令。 夕固此體來 以上所示提供許多不同實施例及實現不同本發畴點的實施例 7 了特定實關的元件和過程以幫助瞭解本發明。這些只是實 非用以限定本發明。 χ 雖Λ,、本發明已啸佳實關揭露如上，财並非用聰定本發明，任 何熟習此技綠，林_本個之簡诚_，當可料許 潤飾’因此本㈣之保護細當視_之⑽翻範騎界定 ，、

0503-Α31027TWF 25 ⑧ 1286695 【圖式簡單說明】 第1圖係顯林發明貫施例巾，抽取資訊和提供不同資訊組間關係的 系統概要圖。 第2圖係顯示本發明實施例中，虛擬積體電路（1C)製造系統的概要 圖。 第3圖係顯示本發明中，另一個實施例的虛擬冗製造系統的概要圖。 第4圖係顯示本發明實施例中，多個仲介和第2圖虛擬製造系統内的 矩陣的概要圖。 第5圖係顯示本發明中，第4圖之實施例的概要圖。 第6a-6c圖係顯示本發明實施例中，由第4圖之矩陣，用以儲存和擷取 資訊的流程圖。 第7圖係顯示本發明實施例中，使用者可與資訊儲存及擷取系統互動 之介面的螢幕顯示。 第8圖係顯示本發明實施例中，用以接收資訊的系統概要圖。 第9圖係顯示本發明實施例中，用以更新知識樹的系統概要圖。 【主要元件符號說明】 102-虛擬無塵室； 106-矩陣； 2〇2_内部實體； 伺服器； 222_中央處理器； 226-輪入/輪出元件； 230-匯流排系統； 242-中間網路； 100-系統； 104-代理器組； 200-虛擬無塵室； 212-通訊網路； 216-外部實體； 224-記憶體單位； 228-外部介面； 240-有線或無線連結； 0503-A31027TWF 26 Φ 1286695

300-虛擬無塵室； 304-客戶； 308-設計/實驗室設備; 312-程序； 316-服務系統人員； 320-客戶介面； 324-WIP存貨系統； 328-貨批管理系統； 332-線上系統； 336-電腦系統； 340-電腦系統； 344-電腦系統； 400-系統； 402-N-代理器； 412-X-索引； 508-512-樹構造； 602〜646-步驟； 702-載入按鍵； 706-詢問按鍵； 710-檢查按鍵； 714-新增按鍵； 718-替換按鍵； 800-糸統； 804-智慧型代理器一； 808-智慧型代理器二； 812-外部知識樹； 302-服務系統； 306•工程師； 310_無塵室設備； 314-網路； 318-後勤系統； 322-電腦系統； 326_產品資料管理系統; 330-製造執行系統； 334-訂單管理系統； 338-電腦系統； 342-IC設計和測試工具; 346-工具和設備； 401-1/0; 410-矩陣； 502-506-概念； 600-方法； 700-線上介面； 704-儲存按鍵； 708-移除按鍵； 712-寄送按鍵； 716-複製按鍵； 720-樣版； 802-使用者； 806-知識樹； 810-外部資料庫； 820-虛線； 0503-A31027TWF 27 1286695 822〜842-箭頭； 902-使用者； 906-知識樹； 910-外部資料庫; 920-虛線； 900-糸統； 904-智慧型代理器一; 908·智慧型代理器二; 912-外部知識樹； 922〜932-箭頭。

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Claims (1)

1. 修正日期：95.11.15 1286695 帛94115874㈣料利範匡b 十、申請專利範園1r L一種資訊儲存及存取系統，其包括： 第内部智慧型代理器(smart agent> · 樹，連接到該第一内部智慧型代理器;以及 資料源以提供銳之前，該第m2卩知在存取該外部 2. 如申請專利範圍第丨項所該内部知識樹。 智慧型代理器，耦接到職名儲存及存取系統，更包括第二内杳 3. 如申請專利細第丨項所述之資 問貝矾。 者輸入輸“件，連接到該第— H、m括内部使用 和接收資訊。 # 4代理15，用以使得使用者寄送 4. 如申請專利範圍第！項 外部使用雜續4元件，連接到該^^及智^=’更包括-個授權 外部使用者寄送和魏卩日慧贱理1^’用以使得- 5. 如申請專利範圍第丨 部智慧型代理器和内部知識峨在;：存製=统’其中上述^ =15和内部知識樹存在於連接咖_簡至少-個外部實想 内。 識树存在於連接到網路的至少-個内部實體之 &-種資簡存及存取方法，執行於 提供第-畴智慧型代理器；、. 維護連接到該第一内部智慧型代理器之一内部知識樹；以及 0503-A31027TWF1/Kathy 29 第94出874號申請專利正束q修嚷^替換頁 !286695 .H ^ ^ … 修正曰期：95.11.15 外部至少；^和外部知識樹，在存取該 9如申咬糾、^訊之刖’該第—内部智慧型代理器詢問該内部知識樹 坦Μ專利^圍帛8項所述之資訊儲存及存取方法，更包括： 提供第二内部智慧型代理器，耦接到該第一 、〇 從該外部資料源，門。卩日°慧型代理器’用以 詢問資訊 第—内部智慧载理器肋從簡部知識樹 10.如申請專利範圍第8項所述之資訊儲存 一畴方法更匕括.建iz 使用者寄送和接收=。 第—内部智慧型代理器，用以使得 -授==Γ:項所述之資訊齡及存取方法，更包括， 使得一外部使用者寄送和接收資訊 〇 該外獅— 13·如申請專利範圍第8項所述之資 由該内部知識樹和該外部知識樹接收的資訊到 1組:法，更包括：匯集 組資訊給使用者/ia圍第13項所述之資訊館存及存取方法，更包括提供該 田外π貝枓源，接收一資料片段； 決定是否該資則段和該畴知識樹相關； =相關的該資料片段’更新該内部知識樹·以及 提供該内部知識樹的更新通知給使用者 物概圍第15項所述之内部知識樹的更新方法，更包括··允 命m疋是否以該資料片段，更新該内部知識樹。 允 .貝雜取系統，用以提供在半導體製造環境中，不同資訊組之 0503-A31027TWFl/Kato 30 1286695 、 第94115874號申請專利範圍 [mu …-

   修正日期：95.11.15 間的關係，該系統包括： 虛擬無塵室，帶有複數實體； 代理器組，耦接到上述虛擬無塵室； 矩陣，耦接到上述代理器組，該矩陣和上述虛擬無塵室的複數内部和 外部實體相互混和，且由該代理器組做為介面。

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