TWI276829B - Locating arrangement, in particular batch box localization system, identification unit and location determining method - Google Patents

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1276829 五、發明說明（1) 說明 本發明係有關可被用來決定至少一識別單元位置之定 位裝置。識別單元係被連接至如包含將以相同方式處理半 導體晶片之複數工件之所謂製造批箱。批箱係包含如約5〇 或25半導體晶片，也就是兩支架或一支架。 本發明之目的係明定可促進高定位精度之之簡單定位 裝置。特別是，亦可被用於通信之系統資源係被預期承受 最小可能範圍。再者，欲明定將被定位之識別單元及定位 方法。 有關定位裝置之目的係藉由具有被詳列於申請專 圍第1項特徵之裝置來達成 因為仏號傳播時間很短所造成電路處理時間之過度嚴 格要求’本發明係以近範圍電磁波，如無線電波或光或紅 外線:之定位係為技術上可能被允許但電路型式則很複雜 之考量為基礎。室溫下具有空氣傳播速度約340公尺/每秒 ί超ϋ ΐ t穩定。因⑶，近範圍信號傳播時間小於50毫 t。5亥傳播日守間可以合理電路支出來偵測。 立波發:月之定位裝置係包含複數沿著路徑排列之超 曰/皮傳輸裔，如5小二 ,, 量測，即使沿荖、查二二、/、或九個超音波傳輸器3藉由此 出來f执。每π曰成百公尺之路徑，傳輸器仍可以合理支 或i:;少；=僅需鄰接將被放置物體之兩個最接近 均等：ίΐ::二傳輸器被以相互鄰接傳輸器間之相互 離°者連續區段排列，則決定位置之決定方法係特 1276829 五、發明說明（2) 計算方法特別與位置無關，也就是不同位置者永 16八一Λ展卜該距離具有從3公尺至1公尺範圍，特別是 产值。所-於少量超音波傳輸器，高空間解析 又及短傳播時間決定間具有良好折衝。 道被：：發；：士！輸器係通道，特別是沿著工刪通 道破女置。積體電路之半導护曰 理於工廠建築中。ν體印®或其他基板係較佳被處 另一發展中，定位裝置係包含一 超音波脈衝被傳輸於傳輸停頓二二^動=兀，其係依據 輸器。超音波脈衝係特別作模式來驅動傳 輸器：：：=傳：：=週；性運作促使被產生用於傳 不同部件被驅動之至少兩s': 一週期係包含各傳輪器 之傳播時間可被連續；πί:”此方式，不同傳輪器 ，見複數參數，如所互每週期之區段 時間及硬體條件而定，如12個：：：：精度，通信所需 動單元’所以12倍數傳輸：被連接至一驅 36週期或48週期。 叙‘ &擇。例如合適週期數係為 下一發展中，驅動w 1 於各例中視輪入信浐早兀較佳包含複數組驅動單元， 此，驅動複雜性可ϋ生用於複數傳輸器之驅動信泸二 一發展中，J错此被降低。 就。因 傳輸器間之相互均=音連皮y器被以相互鄰接 /σ者另一連績區段排列。若兩路 第6頁 1276829

置可以簡單方式來偵測。 一座標沿著路徑，而另一 兩傳輸器同時傳輸，所以 相對於兩路徑之一，若— 輪器於一路徑對另一路徑 輪器之間，則此可被特另^ 徑彼此平行，則平行通道中之位 然而，兩因次位置偵測亦可行， 座標視定位被實施之路徑而定。 一發展中，不同路徑上至少 影響情況係被排除或大大降低。 個以上或三個以上或六個以上傳 平行放置之後位於兩同時傳輸傳 達成。 下一發展中，無傳輸器之超音波信號或僅有被上 減超音波信號穿透之區域係位於兩路徑之間。該區域 如定位被實施之雨通道間之另一通道。因此，半導體製造 設施中，維護通道係被安置於無塵室通道中。無晶圓^ = 置於維護通道中σ 一發展中，具有至f三個額外超音波傳輸器被以相互 鄰接傳輸器間之相f均等距離沿著連續主區段排列，該主 區段係橫跨至少兩次級區段。結果，定位亦可被執行^連 接橫向通道之主適道中° 一發展中，定，裝^係包含以相互鄰接輻射接收器間 之相互均等距離沿著連續區段排列之至少三個特別是用於 如射頻（R F )之電遂幸田射之接收器，或無線接收器或紅外線 接收器。鄰接接收器間之距離至少為鄰接傳輸器間之距離 兩倍。一改進中’接收裔可與將被放置之物體通信。該通 信必須儘快實施，否則超音波將太慢。一改進中，接收器 係另外被用於粗略疋位’接收位準係被評估以取代傳播時 1276829 ------- 五、發明說明（4) 1二ί、隹粗略定位例中之電路支出亦很低。 大於发侦姑針對將被定位之單元來決定接收俨號頗 來實施。 之接收器’使得粗略定位可以簡單及可靠 上，則31ψ t接收器被安置於相同於傳輪器之區段 輸器之間，較佳=兩欠器於各例中被安置於兩傳 -發展中，相同距離處，則遮蔽很低。 天線模組_彳土勺入、、杈組被知作處各具有複數連接單元， 器。_改進二匕二接收天線及複數傳輸器，如三個傳輸 由乙太網路：連接接if係經由區域資料傳輸網路，如經 況。 拉，、且化結構可輕易適應不同空間情 部横向支$展中，超音波傳輸器及射頻天線係被固定至頂 安置於：ί:之ΐ ΐ裝置係包含具有彼此不同識別號且被 別ΐ ϋ聲波輕射範圍中之至少1⑽少1 500識 :如，廠房建築中係具有被放置用於積體電路複 数基板之插座上述數量。 双 儲力^ Ϊ明另外有關包含一記憶單元之識別單元，其中被 別二^ 5分該識別單元及被相同建構之其他識別單元之識 ;被。:”單元另外包含一超音波接收器，一輕射傳輸气 :二；11及一控制單元。嗔元可視被輻射接 °°之同步彳§被來執行超音波傳播時間量測，並藉助 第8頁 1276829 五、發明說明（5) 輻射傳輸器傳出該結果。 一改進中，識別單元係包含一省電雙穩定字元顯示單 元’其可顯示即使操作電壓已被關閉之後將被呈現之内 容。可替代或另外，識別單元包含可經由至少輻射接收 ’如發光二極體來驅動之至少一照明單元。該照明單元 可辨識如將被優先或特別快速處理之識別單元。即使位置 大約已知，目前所見之識別單元亦可藉由照明單元，特別 ，由閃燦照明單元與即使相距若干公尺之其他識別單元區 分來促進搜尋。例如，所見識別單元可以半公尺半徑内輕 易k二個識別單元被選出。搜尋係經由如驅動單元被輸 ^ x明另外有關一位置決疋方法，具有以下步驟： ^ :至少一路徑建構包含複數超音波傳輸器之定位裝置 自兩輻射接收器或輻射傳輸器，其於各例中接收 自被傳輸發出聲音之至少一區域之輕射， 中將至少-識別單元引進被至少兩傳輪器發出聲音之區域 '•執行從至少兩傳輸器至識單 並決定至少一傳播時間資料， <曰波傳播時間量測 =播時間資料來決定識別單元之精確位置， 略：置兩輕射傳輸器或輕射接收器來決定識別單元之 Π丨合,該精確位置及該粗略位置來行程位置資料 特別適用於半導體製造設施之強力 貝：。 万忐係被產生。 1276829 五、發明說明（6) 該方法之一發展中，以下步驟係被執行： -藉由對包含超音波傳輪器被排列且包含識別單元之區段之 平面作三角量測來決定精確位置， -僅藉由一空間座標來決定精確位置。 與並非永返需要之三因次及兩因次定位處理相較下， 被執行之一因次定位處理可被執行地非常精確且低支出。 本發明另外有關批箱定位系統，具有可廣泛偵測用於複數 生產5又備間之複數批箱之傳輸路徑，並以低於2公尺或低於 1公尺之精度來定位該批箱之定位裝置。特別是，依據本發 明或其發展之一之該定位裝置係被用於批箱定位系統中。 一發展中，批箱定位系統係包含輸出生產資料及/或傳 輸資料之一通信系統至被固定至該批箱之輪出單元。 結果，不僅可於批箱儲存時間，如架上期間收集定位 資訊及輸出資訊，並可動態支援全部傳輸處理。用於此之-重要原理係為特別是沿著通道或所謂指頭之縱軸中心之天· ί ί ϊ ί器設備之線性概念。藉由此原理，天線密度可被 1用ϋί定位及位置獨立通信所需效能被達成之程度。 線間之同步通信協定中，低天線密度可達成 超曰波傳輸器及識別單元及一 者，藉由超音波節省精確定位定時間片段 時間可保留用於無線通信處理。°上之呀間，所以頂之 不可1於ί:刀精度/σ著指頭縱輛來定位批箱。相對地， : =…通道或指頭寬度，也就是三因次位置 …位置決定。然而’因為可經由如覆點⑴ipd〇t)或

第10頁 1276829 五、發明說明（7) f爍或連續照明發光二極體（LED)或識別單元燈型式之光信 =精確定位批箱’所以實際上三因次位置㈣對於° 得輪期間之指引功能並非必要。 因J ’可重要增加全系統效能且沿著幾何線被裝設之 置ίΓΐ，係可以簡單方式被裝設且大部分獨立於支架重 置或生產建築相對小轉換來裝設。 理2明因此解決彈性製造，特別是晶圓製造之傳輸處 如輪㈣，最適化及監視技術問題。晶圓盒係藉由 導：m動傳輸’或藉由如運送車被人工傳輸。顧客 本支出1=衣造程式例中，因為缺乏傳輸處理彈性及高資 王自動固定傳輸系統之使用通常不能以合理支出 a只也。此限制現在因每批箱傳輸偵測及生產 =及匕輪=執行於傳輸處理中任何預期時點“被 i為無時間控制干預。此可能性亦被 輸緊急批箱 f °因此可例如經由簡單方式生產來傳 音波可整合藉由全製造建築中之無線及超 效傳遞或有效傳輸批箱 顯示器之4;=:;:如具有被固定至批箱之雙穩定 气別如單以元'更㈣釋，該系統包含如以下組件： -為別早7L或距離轉頻 用於精確定位之敕入如立、距離彳不幟（DlsTaS)，可當作具有 正口 U 9波接收器及用於顯示資料之雙穩

第11頁 1276829 五、發明說明（8) 定顯示器之主動無線轉頻器， -廣:且模組化之天線模組，包含射頻天卜 及整合控制裝置， 反得輸斋 -可控制廣泛定位及動態通信-包含傳輪路徑之 V及生產資訊之輸出資訊之資料處理备 輸引 器。 处理系統或盒追蹤伺服 考慮、藉由生產建築内之交接原、理 空間位置及可能通信於任何時點，該解特別具 -具有向下至幾公分精度之廣泛精確定位， -以分散式方式於任何時點輸出菸哇 紙化製造)處之生產及傳輸偵以位置，也就是批箱(無 -輸出如保留，批箱訊息或緊急批 該資訊係被直接顯示於批箱本身（ ：%目’因為 協助處理。 “、、、，、氏化衣造），所以其可 -生產檢修時間可經由批箱搜尋，傳輸 置其上Λ生產機器電容器使用最適化來縮短 來解；追蹤系統為基礎 —片線性之路徑區i。道’但本發明亦可被用於一片 1276829 五、發明說明（9) 走g 2 =二弋，也就是通信及定位兩者效能非常高。當使用 11^ 日可’盡量不允許顯著超音波信號時程緊迫處理 為彳挑戰。相對於無線波束傳播之光速，聲音速度約 二須尺/秒。為了藉由超音波決定類比位置資訊項目， 時;妾11ΐ離轉頻器，距離標幟中之超音波接收器不會同 ^，和立源不能被區別之兩超音波信號。依據反碰撞情 / ’· σ S波傳輸器係從此遵循不被允許同時被傳輸，其 Ύ 八 角介度於上其接範收圍:咸藉由超音波傳輸器範圍及超音波接收器於該 一 〃 破感性重要地決定之特定鄰近區域，及 ㈣係抵於達最為大止預定時間所決定之特娜 之情況，且ί ί免兩超音波佗號於此時間限制内被接收 ^ 不可靶分配特定超音波傳輸器之信號。如”每30- 秒更新所有批箱之空間位¥，， 母3 0 僂於哭必須站m f 旎要求例中，複數超音波- „ I ^ /皮同打驅動而不會彼此信號碰撞。此係|έ由# 同時驅動之所有超音波傳輸器均被分配至共用叢集Π被 成二§亥方ί係以同時傳輸叢集之超音波傳輸器之間給予最 ;、ί: Γ離為基礎。此條件以下亦被稱為叢集條件。因為 配被接收傳播時間至所有叢集之天線，所以叢集：：式2 就是兩叢集之超音波傳輸器之間距離之最佳設計係可 ，碰撞條件及無線粗略定位品質來決定。粗略定；： 區域之分配，係藉由如來自將被定位之距離轉頻器，Β銳

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五、發明說明（10) 標幡之信號最強接收位準得知無線天線位置來實施。 再者，因為如同步通信協定中可得知之”無線時間π太 少’所以3 0秒内連續傳輸之超音波傳輸器數必須彳艮小，必 須考慮： # -距離轉頻器，距離標幟所回授之傳播時間及識別號； -連接單元（以下被更詳細解釋）及距離轉頻器，距離標之 間通信。 實施例中，包含後續傳播時間量測之傳輸超音波信號 時間總共僅四分之一週期。 這些限制之結果係並非所有超音波傳輸器均可藉由其 於通信協定中之超音波發射暫時位置來區分。因此，僅^ ，音波傳輸時間為基礎之絕對定位係不可能。因此，粗略 定位係藉由無線電場強度量測，也就是絕對座標來執行， Τ精確定位係經由超音波量測傳播時間，也就是決定相對 座標來執行。 第1圖顯示依據叢集條件之線性概念之工廠建築1〇〇之 涌域刀支。工廠建築1 〇 〇係依據該線性概念被分類為主 二匕^2及線性通道1〇4、1〇8，且亦被分類為藉由點標示之 中係通道110。考慮定位可得之最大時間，其於實施例 波傳^ ^秒，及因冗餘而必須被轉換週期三次之所有超音和 彳 =裔之條件，該結果係為最大叢集數36。 a、b及多么考以下更詳細解釋之第2圖，三個超音波傳輸器 接超立L例係針對每無線天線120至162被組合，各例中鄰 " 傳輪夯丨3至7b係介於1.6公尺距離。有了這些先決 1276829 五、發明說明（ll) 條件，各例中每週期星一 天線係可經由通道中^皮二個超音波傳輸器之最大1 2無線 24，相同叢集之超音:你^ =次。然而，經由使用叢集1至 120至162及三個超立.專輸态係可同時被轉換。無線天線 被稱為裝置（dev天線或超音波傳輸器13至几此後係 主通道1 0 2係被編號為 、 號為指頭ff 〇 1 ”。橫而、s二曰y 。検向通道1 0 4係被編 等。結果，可采道104係被編號為指頭” 02，，，等 〇13a， & 皮天線之識別號，如識別號： 用於標示橫向通道1〇4筮-姑里+ _ 每^由弟二裝置中之第一超音波傳輸器。 ^ 〇1 w ^通道102及橫向通道104、106、110均具 — 尺長度，而杈向通道108具有33公尺長 度。 _ f有無線天線12〇至126之裝置及另一裝置17〇(無圖示） ，、不女β置於主通道1 〇2中。超音波傳輸器係被標示為列 172，從1a，lb，lc，2a，2b等開始。列174表示明定主通 02中之超音波傳輪器之叢集相關數。因此，超音波傳輸 裔1 a被與叢集1 5產生相關，超音波傳輸器丨b被與叢集〗6產 生相關等等。至多36個可能叢集僅24個被使用，所以主通 道102中’超音波傳輸器4b係被與叢集1產生相關，而超音 波傳輸器4c係被與叢集2產生相關等等。 横向通道106從主通道1〇2之超音波傳輸器la處之主通 道102分出。橫向通道104中之第一超音波傳輸器la係被分 1276829

五、發明說明（12) 配至叢集1 ’由於超音波脈衝傳輪期間之偏移 同通道之超音波信號。相同地，橫向通道108中：：：二： 波傳輸器1 a係被分配至不同叢集，氺 弟超曰 接近該超音波傳輸器la之主通道^/超7^^5 ’d接著最 3a、3b ’這些超音波傳輸器係分別被分配曰至心H、 22。ΪΓΛ24之超音波傳輸器係以遞增順序被驅動。 八有”、、線天線130至136之装置係被安置於橫向 中。超音波傳輸器被標示為列182，從“ : 04 專至4c開始。列184表示明定主通道中夕 夕f隹如扣批 ^ 中之超音波傳輸器 之叢集相關數。因此，超音波傳輪器“被與叢產生 關，超音波傳輸器lb被與叢集2產生相關等等/、 具有無線天線150至162之裝置係被安置於橫向通道1〇8 中超音波傳輸器係被標示為列192，從la、lb、&、“、 2^)等至7b開始。列194表示明定主通道1〇2中之超音波傳輸 器之叢集相關數。因此，超音波傳輸器丨a被與叢集丨5產生 相關’超音波傳輸器1 b被與叢集1 6產生相關等等。至多3 6 個可能叢集僅2 4個被使用，所以主通道丨〇 8中，超音波傳輸 器4b係被與叢集1產生相關，而超音波傳輸器杬係被與叢集 2產生相關等等。 橫向通道104及108之間亦安置具有叢集偏移之工具以 避免干擾超音波量測。該偏移總共十叢集，所以通道之九 超音波傳輸器永遠介於一通道對其他通道之平行放置事件 中個別同時傳輸叢集之超音波傳輸器之間。 第2圖顯示表示相同被建構裝置120至162、170、180及

第16頁 1276829 、發明說明（13) 1 90之安置方式來形成具有無線天線丨3〇之裝置之定位裝置 1 9 8。通道裝置係一個接一個沿著直線被排列。實施例中， 該裝置係被裝設於頂部或牆上。 超音波傳輸器la及超音波傳輸器lb之間係具有丨· 6公尺 之距離A3。超音波傳輸器lb及超音波傳輸器卜之間係具有 1 · 6公尺之相同距離A4。無線天線1 30係以被安置距超音波 ，輸器lc之0.8公尺之距離A6，因此精確地位於超音波曰傳輸 益1 b及1 c之間中央。鄰接裝置之無線天線丨32係距無線天線 130之4· 8公尺距離。 … 、 第3圖顯示驅動及評估單元22〇之組件，除了如wind〇ws 2 0 0 0操作系統為基礎之資料處理系統（無圖示）之外，直 包含以下組件： 〃 網路之交換器

-資料處理系統亦被操作之所謂資料傳輸 222， 被連接至父換裔2 2 2之複數連接單元，其中四個連接單元 230至236係被描繪於第3圖。被連接至交換器23 6之另一 接單元2 3 8係以點來標示。 -具，各無線天線丨3 〇至丨3 6及各例中三個超音波傳輸器之^ 數裝置或天線模組，各例中四個裝置係被 230至238。 文咬妖早tl

-被包含於各裝置或天線模組中且於各例中驅動一裝置之_ 個波傳輸器之驅動單元24〇至246，如具有無線天線“ 之装置之驅動單元240係可驅動超音波傳輸器丨a、U及“ -可供應電源至連接單元23〇至238及驅動單元24〇至246電

1276829 五、發明說明（14) 源供應單元2 4 0。 第4圖顯示識別單元3 0 0或具有外殼之距離轉頻器3 0 2， 距離標幟’其被裝配可代表字母數字正文之五線3 08至316 之顯示器3 0 4。另外，識別單元3 〇 〇亦包含四個可當作如手 冊選擇鑰匙之操作鑰匙300。

再者，識別單元3 0 0包含一超音波接收器330，傳播時 間量測可藉助其來實施。兩發光二極體3 32及334分別可辨 識被搜尋之批箱及辨識緊急批箱。識別單元另外包含可與 無線天線1 2 0至1 6 2通信之傳輸/接收天線3 〇 2。識別單元3 0 0 係藉由内部電池，蓄電池及可能為太陽能電池來饋送。被 放置於識別單元3 〇 〇内者係為可提供識別單元功能之電路， 特別是： 一包含同步之傳播時間量測， -傳輸該傳播時間量測結果， 一接收被呈現於顯示器3 〇 4上之訊息。 第4圖中’識別單元3 0 〇之識別係被顯示於顯示器3 〇 4之 ,左上角或線路3 0 8中。實施例中，對應如批箱號之識別 π 1 2 3π係被顯示。

顯不态3 0 4中，線路3 1 〇，，，位置π文字係被表示於目前 冊k擇中。線路3丨2係包含正文指頭〇 2 ”，也就是識別單 几3〇〇>目前被放置之指頭或橫向通道1〇8之具體說明。 第#四條線路314係顯示正文”χ = 34·50πιΠ，因為識別單元 篦石/頁向通道1〇8開始處間之34· 50公尺距離係已被決定。 秦路3 1 6係可顯示控制符號3 5 〇至3 5 *以操作識別單元

1276829 五、發明說明（15) 3 0 0 ° 第5圖顯示決定線性位置之三角基本原理。為了以批箱 追蹤系統同時達到最大效能，也就是最大通信速率及精確 定位，超音波傳輸器密度，也就是每單位面積之超音波傳 輸器數必須盡可能被降低。針對此，指頭/通道104、106、 1 0 8縱向之超音波傳輸器共線性排列係被實施，其例中僅指 頭/通道104、106、108縱向中之位置被精確及明確規範。

半徑係被以超音波傳輸器7a及識別單元30 0間及另一超 音波傳輸器7b及識別單元3 0 0間之超音波傳輸時間來計算之 兩球體4 0 0及402，係可產生垂直指頭或通道縱軸之環狀物 4 0 4。距各傳輸器之距離係藉由公式以各傳播時間計算出： 傳播時間*超音波速度=距離。 攝氏2 1度時’傳播時間總計為3 4 3 9 6公尺/秒。 超音波傳輸器鄰接超音波傳輸器或傳輸器僅被與一介 =音波傳輸器相隔，如指頭”02"中之橫向通道1〇8'超 器7a及7b。實施例中，當識別單元目前被精確放 :超曰，輸：7a及7b中間時，球體4〇〇及4〇

2+:rl、r2。其他位置處，球體4〇。及402係具有不同半 二然：，以下幾何考量對所有 計算識別單元3〇0之精確位/兩超音波傳輸時間已足夠 各例中被以1 · 6公尺固定拓_ T y 二 向補、爸in。丄 巨離L平行通道方向安置於和 问通道108中央。若具有預定距M *丄 值嫉η士 &距離LM之兩超音波傳輪哭之 得播時間量測係被呈現給 ^久得輙為之 已離轉頻器，距離標幟，其例今

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LM=L*n為真，其中自然數，則可藉由將區段4ι〇、 412(來自傳輸器7a之超音波脈衝傳播時間所決定之距離轉 頻姦，距離標幟3 0 0及傳輸器7 a間之距離）及4丨4，及區段 410、41 6(及來自傳輸器7b之超音波脈衝傳播時間所二定之 距離轉頻器，距離標幟30 0及傳輸器713間之距離）及418所形 成右偏角三角形之公式表示畢達哥拉斯（Pythag〇ras)理 論’來計算橫向通道1〇8中之距離轉頻器，距離標幟3〇〇位 置。區段41 4可標示距傳輸器7a之X距離。區段41 8可標示距 傳輸器7b之X距離。 區段414及418可藉由距離LM及位置X彼此依靠，其例第 5圖中，以下區段414長度等於X為真·· 區段41 4長度= LM-x。區段41 0長度不必被決定。因此，位 置X可從被明定之關係來計算。該計算係與橫向通道1〇8中 之識別單元300之y位置（縱軸之側面橫向）或z位置（高度）。 若位置以每週期一識別單元被重複計算，則可避免錯 誤決定位置。有效值僅被定義於識別單元所決定之對應位 置。例如，3 0秒主週期係再被分為各1 〇秒之三個子週期。 藉由此程序，目前移動中之識別單元3〇〇可不被定位直到移 動結束為止。再者，反映及其他干擾來源影響該結果較輕 微。 第6圖顯示計算識別單元位置之方法步驟。方法步驟 5 0 0及502中，傳播時間係藉由識別單元來決定且經由無線 天線120至162被報告至中央資料處理系統。方法步驟5〇〇 中’被接收超音波信號之傳播時間係藉由距離轉頻器，距

第20頁 1276829 五、發明說明（17) 離標幟來決定，如具有識別號（ID) 123之距離轉頻器，距離 標幟3 00決定時槽13之12微秒傳播時間及時槽18之14微秒傳 播時間。時槽1 3係與如橫向通道1 〇 8中之超音波傳輸器7a相 關’而時槽1 8係與如橫向通道1 〇 8中之超音波傳輸器7 b相 關。方法步驟50 2中，被決定之傳播時間係以電報型式被無 線傳輸至資料處理系統。 接績方法步驟5 0 4中’場強度係藉由連接單元2 3 〇至2 3 8 來決定。例如，有了上述專有名詞，無線天線162或天線射 頻020 7係可以45dB位準來接收來自距離轉頻器，距離標幟 3 〇 〇之接收信號。實施例中，具有次強接收位 具有3〇dB接收位準之天線16〇，也就是天線射頻〇2=線係為 此後，方法步驟5〇6至510中，粗略定位係藉由亦被稱 ^比^追蹤飼服器（BTS)之資料處理系統來實施。方法步驟 6中，檢查確定最強接收位準之場強度是否大於次 度有1〇dB。若此為該例，則方法步驟506係直接 距：轉頻器，距離標幟之電報係被 :配至廠房建柴佈局中之射頻天線。實 益，距離標蛾3〇〇之電報係被分配至指 之射頻天線7或162處之超音波傳輸器a。“、向通道1财 相對地’若方法步驟5 〇 6中確定位準你 不同定位方法可# #田+ + / 旱條件未被完成，則 之下一個電報接收可被等待。 褥頭為，距離彳示幟 接繽方法步驟5 1 2及5 1 4中，夢a & ^ 蹤伺服器來實施。如第！圖 係可藉由批箱追 口所不方法步驟512中，批箱追

1276829 發明說明7^7 從伺服器可以廢房奢 162。接綠方本半_建 佈局資料為基礎來決定天線 接績方法步驟5 j 4中，也y μ / , 五圖所解釋之計算。相^飼服器可執行參考第 5公尺Γ執行1位正文"指頭02，、=34 係猎由批相追蹤伺服器來創造。 · 係做出‘ =5」6至^2〇接著被執行’其中批箱追蹤伺服界 文出發布決疋。方法步驟5 / 口口 盗，距離標幟300之位置自從丄f檢查確疋距離轉頻 若此為兮彳I f 上個週期之後是否已被改變。 G马違例，則方法步驟5 J 8中， 夂 中且定位正文係被僖鈐s m 孩位置係被更新於資料庫 地，若位罟维桩i π別距離轉頻器，距離標幟300。相對 右位置維持相同，則方法步驟 ㈣’其中資料庫更新^位正文發布並不^循方法步驟 如達2 0 0 0距離轉頻器，扣雜μ以 & 據如已知分槽A L Ο Η A方法來執/ H之傳—料間通信係依 ^ ^ t ^ /Λ νΛ 100 ^ ^ 同建構及相同操作距離轉頻哭、距離刀配，雖然被相 :頻器，距離標幟均傳輪於隨機決 使= =，距離標幡：多數可傳輸被決定之傳； 離轉頻器’距離標幡被分配；用而可使用各距

第22頁 1276829 圖式簡單說明 第1圖顯示依攄考慮叢集情況之線性概念之 ^圖顯示形成一裝置之定位裝置區段， 域分支 第3圖顯示驅動及評估單元之組成部件， 第4圖顯示位置將被決定之識別單元， =5圖顯示決定線性位置之三角基本原理，及 第6圖顯示計算識別單元位置之方法步驟。 102 106 110 170 198 220 元件符號說明： 1至1 0 叢集 01至18指頭 主通道 維持通道 橫向通道 裝置 定位裝置 評估單元 230至238 連接單元 250 電源供應單元 302 外殼 3 08至314 線路 3 3 0 超音波接收器 340 天線 1 a至7 c 超音波傳輸器 10 0 薇房建築 104 橫向通道 10 8 橫向通道 120至160 無線天線 172至194 列 A3至A6 距離 222 交換器 240至246 驅動單元 30 0 識別單元 304 顯示器 320至326 操作鑰典 332、334 發光二捧# 3 5 0至3 5 4 控制符# 第23頁 m

1276829 圖式簡單說明 5 0 0至5 20 方法步驟 rl、r2 半徑

第24頁

Claims (1)

1. ^月〉/ ΕΓ修(更)正本 1276829 六、申請專利範圍 1·一種定位裝置(198)， 具有衩數沿著路徑(104)排列之超音波傳輸器（1&至如），鄰接超 音波傳輸器（la，lb)間之距離(A3)係大於1公尺。 2.如申明專利氣圍第_之定位裝置⑽），其中該傳輸器(減 4c)係以相互鄰接傳輪器(la，此)間之相互均等距離(八3，入4)排 列，該距離(A3，A4)較佳介於！公尺至3公尺之範目，較佳介 於1·5 △尺至2公尺之範圍，制是16公尺，及/或其巾該傳輸 器(1 a至4c)係沿著一直線區段(丨〇4)而排列。 3·如申請專利範圍第丨項之定位裝置(198)，其中該傳輸器❿至 4c)係沿著一通道(104) ’特別是沿著廠房建築(100)中之-通道 (104)而排列’用於積體電路之半導體晶圓或其他基板較佳係 被處理於該廠房建築中。 4· ^申二專利範圍第2項之定位裝置⑽），其中該傳輸器至 C)係/口著通卻⑽）’特別是沿著廠房建築(⑽)中之一通道 (104)而排列’用於積體電路之半導體晶圓或其他基板輕佳係 被處理於該廠房建築中。 ^申請專利範嶋至4射任-項之定位裝擊8)，其具有 一驅動單元(22G)，其係依據超音波脈衝於傳輸停顧傳輸之 脈衝#作模絲轉轉輪㈣加純）。 6·如申請專利範_項之定位裝置_，其具有-驅動單元 1276829 (220) ’其週期性運作且可為該傳輸器（匕至如)產生挑動傳輸超 音波脈衝之驅動信號， 週期’包含各该傳輸|§(la至4c)不同部件可被驅動之至少兩 區段， 及戎驅動單元(220)較佳包含複數組驅動單元(23〇至238)，其於 各例中可視輸入信號而產生用於複數傳輸器加至如)之該驅動 信號。 7·如申請專利範圍第6項之定位裝置(198)，其具有至少三個額 外超音波傳輸器(la至7C)，沿著另一路徑(1〇8)，較佳沿著另一 直線區段且較佳以相互鄰接傳輸器（la，lb)間之相互均等距離 (A3，A4)而排列，該兩路徑(1〇4，1〇8)彼此平行或彼此 (102 ， 104)。 ” 8·如申請專利範圍第7項之定位裝置（198)，其中該兩路徑 (104，108)係被彼此平行安置， 且其中平行放置中之一路徑(1〇8)係完全或至少5〇%該長度重 疊於另一路徑(1〇4)。 9·如申請專利範圍第8項之定位裝置(198)，其中不同路徑 (104 ’ 108)上之至少兩傳輸器（la，牝)係同時傳輸，其較佳為 平行放置後介於該兩傳輪器(la，4b)之間係為—個以上傳輪器 或二個以上傳輪II或六個以上傳輸器。 10·如申請專利範圍第9項之定位裝置(198)，其中無該傳輸器 1276829 (la至4c)之超音波信號或僅大部分衰退超音波信號貫穿之區域 (106)係介於該兩路徑(1〇4，108)之間。 η·如申請專利範圍第10項之定位裝置(198)，其具有至少三個 額外超音波傳輸器加至坤，較佳沿著直線主路徑(1〇2)以相互 鄰接傳輸器(la，lb)間之相互均等距離⑷，㈣而排列，該主 路4工(102)係特別以9〇度角橫越至少兩次要路徑(1⑽，1〇8)。 I2·如申請專利翻fll項之定位裝置⑽），其財特別用於 電磁輻射之至紅侧外輻雜收器⑽至136)，沿著路徑 (104)，4寸別是直線路徑（104)較佳以相互鄰接輻射接收器 (130 ’ 132)間之相互均等距離而排列， 鄰接接收器(130，132)間之距離係為鄰接傳輸器(la，叫間之 該距離至少兩倍， 且鄰接接收器(13G，132)間之該距離較佳小於鄰接傳輸器(la， lb)間之該距離五倍。 11如申請專利範圍第8項之定位裝置_，其中無該傳輸器 (la至4c)之超音波信號或僅大部分衰退超音波信號貫穿之區域 (106)係介於該兩路徑(1〇4，1〇8)之間。 14·如申請專利範圍第1至4項中任-項之定位裝置(198)，其具 有驅動單凡㈣）’其週期性運作且可為該傳輸器至如)產 生挑動傳輪超音波脈衝之驅動信號， k’、月各忒傳輸裔（la至4c)不同部件可被驅動之至少兩 1276829 區段， 及該驅動單元(220)較佳包含複數組驅動單元(230至238)，其於 各例中可視輸入信號而產生用於複數傳輸器（13至如)之該驅動 信號。 15.如申請專利範圍第14項之定位裝置(198)，其具有至少三個 額外超音波傳輸器(la至5a)，較佳沿著直線主路徑(1〇2)以相互 鄰接傳如為（la ’ lb)間之相互均等距離(A3，A4)而排列，該主 路從(102)係特別以90度角橫越至少兩次要路徑(IQ#，。 16·如申請專利範圍第丨項之定位裝置(198)，其具有特別用於 電磁輻射之至少三個額外輻射接收器（13〇至136)，沿著路徑 (1〇4) ’特別是直線路徑（104)較佳以相互鄰接輻射接收器 (130，132)間之相互均等距離而排列， 鄰接接收器(130 ’ 132)間之距離係為鄰接傳輸器加，化)間之 該距離至少兩倍， 且鄰接接收器⑽，吻間之該距離較佳小於鄰接傳輸器加， lb)間之該距離五倍。 Π·如申請專職圍第_之定位裝置(携），其中提供至 下特徵之一： 夕 相互鄰接接收n(13()，132)間之該距離係大於3公尺且小於7八 尺， A 相互鄰接接收器(13()，m)間之該轉係大於4公尺且小於^ 1276829 公尺， 相互鄰接接收器（130，132)間之該距離係為4.8公尺， 该接收器（130至136)係安置於相同於該傳輸器（la至4c)之區段 上， 一接收器（130)係較佳以距兩傳輸器（ia，lb)之相同距離(A6)被 安置於該兩傳輪器(la，lb)之間。 18·如申請專利範圍第16項之定位裝置(198)，其具有一評估單 元(220)，其可以視該接收器（13〇至136)處之該接收信號而定之 粗略解來決定(5〇6至510)位置， 且其可以藉助較佳儲存識別號於電子記憶單元中之識別單元 (300)中之至少兩傳輸器（la，化)所決定之傳播時間量測為基礎 來執行相對該粗略解之較精確空間解(512，514)， σ亥接收為（130至136)較佳亦可從將被定位之該物體接收資料。 二如申請專利範圍第16項之定位裝置(I98)，其具有複數連接 單70(230至238)，複數天線模組係於各該複數連接單元(23〇至 238)中操作， 1 ^天線杈組，較佳包含一接收天線(13〇)及複數傳輸器(丨&至 X連接單元(23〇至236)較佳經由區域資料傳輸網路(222)來連 接。 20·如申睛專利範圍第16項之定位裝置(19幻，其具有至少5⑻或 1276829 值於，紙㈣單切⑻）’其具有相互不同識別號且其係以該 」輪器（la至4c)之該超音波輻射範圍被安置， =哉別單乂佳被’至用於積體電路之複數基板之容 ?§ 〇 別單元⑽），具有—記憶單元，其中係儲存可區分 〆識別單7L(3(K))及其他相同建構之識別單元()之識別號， 具有一超音波接收器(330)， 具有一輻射傳輸器(340)， 具有一輻射接收器(34〇)， t有！空制單兀，其可視由該輕射接收器(34〇)接收之同步 <口遽來執订超音波傳播時間量測及藉助該輻射傳輸器㈣)傳 輪該結果。 22.如申請專利範圍第21項之識別單元_)，其至少具以下特 徵之一 I 雙％疋予7L顯不單元(利，其可顯示即使該操作電壓已被 關閉之後將被呈現之内容； 可經由棘射接收器_)之至少_照明單元(332，334)。 23· —種位置決定方法·· 具有以下步驟·· 建構-定位裝置(198)，包含沿著至少一路徑(搬至1〇8)之複數 超音波傳輸器(la至4c)， I276829 建構至少兩輻射接收器（130至136)或輻射傳輸器，其接收來自 由傳輸器（la至如)以聲音發出之至少一區域之輻射， 執仃從至少兩傳輸器加至4〇至該識別單元(3〇〇)之超音波傳播 衧間量測及決定至少一傳播時間資料， 硯该傳播時間資料來決定該識別單元(3〇〇)之精確位置， 错助至少兩輕射傳輸器〇3〇至I36)或輻射接收器(13〇至岡來 决疋該識別單元(3〇〇)之粗略位置， 、、且合该精確位置及該粗略位置來形成位置資料。 24·如申請專i利範圍第23項之方法，其步驟為： 執行邊識別單元(3 〇〇)中之該傳播時間量測， 鉍由輻射接收器（130至136)將該傳播時間資料從該識別單元 (300)通信至決定該位置資料之評估單元， 及接收至少兩輻射接收器(13〇至136)處之傳播時間資料時較佳 乂1"亥接收後、度為基礎決定該粗略位置。 25·如申請專利範圍第幻項之方法，其中係使用如申請專利範 圍第1至20項中任一項之定位裝置及/或如申請專利範圍第u戋 22項之識別單元(300)。 $ 26_如申請專利範圍第25項之方法，其至少具以下步驟之一： 藉由包含超音波傳輸器(la至4c)被排列其中之一區段及包含嗦 識別單元(300)之平面中之三角計算來決定該精確位置，人 僅藉由一空間座標來決定精確位置。 1276829 27·如申請專利範圍第24項之方法，其中係使用如申請專利範 圍第1至20項中任一項之定位裝置及/或如申請專利範圍第21或 22項之識別單元(3〇〇)。 28·如申請專利範圍第27項之方法，其至少具以下步驛之一： 藉由包3超音波傳輸器（la至4c)被排列其中之-區段及包含該 識別早tl(3GG)之平面巾之三肖計算來決定補確位置， 僅藉由一空間座標來決定精確位置。 29·如巾請專利範圍第Μ或％項之方法，其至少具町步驟之 藉由G 3 S音波傳輸器如至如)被排列其中之—區段及包含該 戢別單元(3GG)之平面中之三角計算來決定該精確位置， 僅藉由一空間座標來決定精確位置。 3〇·—種批箱定位系統， /、有疋縣置(19幻，其可廣泛地為複數生產設備間之複數 減偵戦顧频，及則、於兩公尺或小於-公尺之精度來 疋位該批箱。 ^如申睛專鄕11第3G項之雜箱定位线，其具有-通信 山' ^ 可‘出生產資料及/或傳輸資料至被固定至批箱之輸