TWI245995B - System, method and computer readable storage medium for automated equipment automation program (EAPp) refresh - Google Patents

Description

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發明所屬之技術領域 此發明是一種程式更新 造工廠中，自動更新機台自 Automation Program; ΕΑΡ) 系統及方法，特別是一種於製 動化程式（Equipment 的糸統及方法。 先前技術 —程式更新系統被使用於多樣的程式更新程序中，用以 安全及快速地自動更新或進行程式改版。 在一半導體製造領域中，一製造執行系統

(Manufacturing Execution System; MES)以及機台間會 透過多台管控（Host)電腦來溝通。第丨圖係表示習知技術 之製造自動化系統之架構示意圖。製造執行系統丨丨〇連結 管控電腦120、121，管控電腦12〇連結機台13〇、ι31。機 台自動化程式（Equipment Automation Program; ΕΑΡ)内

嵌於官控電腦中’用以於製造執行系統以及機台間傳遞訊 息以及發佈指令。操作人員於機台自動化程式撰寫特定之 程式碼’用以控制機台、查詢資料以及從機台接收訊息。 機台自動化程式是以事件驅動來驅動的程式，用以從製造 執行系統或接收事件並採取適當的回應行動。詳而言之， 製造執行系統會依循一標準流程步驟傳送相應之訊息予機 台自動化程式，之後，機台自動化程式會根據其訊息控制 機台。例如，當機台自動化呈是從製造執行系統接收到查 詢機台狀態之訊息時，機台自動化程式會發出一查詢狀離 指令予機台，並將結果回傳給製造執行系統。

1245995 五、發明說明（2) ^ H目動化聚适朋间，a兮五個階段，運麟 請求（online request)、載入（loading)、處理 (pr〇CesSlng)、載出（unloading)以及離線請求（0ffnne request)。在連線請求階段的一開始，管控電腦，亦即是 機台自動化程式，會準備進行製造程序。爾後，機台會依 1 =入載入、處理以及載出等階段。當機台結束了所有的 製ie工作 會彳T止並進入離線階段。在每個階段的一開 :：台會遞送適當訊息給管控電腦，用以報告目前之狀 匕 口在衣造過程中，通常會回報製造資料以及重要資

訊，例如，率過低(1〇w yield)或重大錯誤 並：ί f之管控電腦。當機台停止整個自動化製造 訊息給管控電腦核式”它們會遞送-離線請求 過去，是以人工作豐古斗也、知y 新。操作人員經由電： = = :機台自動化程式之更 控電腦，並且發出—命人：：的機台自動化程式至冠 換之後’使用一重新啟；程序機台自動化程式。置 重新啟動程序通常需要執行機台自動化程式。 入資料。增加程式功能或 呈^式，並且在必要時輸

新機台自動化程式。 王武馬’會導致經常需要更 於機台自動化裎式更新日夺 機台正在工作之時，μ 歡個問碭需要被解決。當 4 貝然進行機A &去 風險的，可能會危害自動；？化程式更新是充滿 生之重要資訊。所以，、g捏&〈作業或損失製造過程中羞 選擇適切之時機來進行機台自動介

1245995 五、發明說明（3) 程式更新是相當重 '^^〜 以及控制機台的多樣性 因於機台自動化程式的版士 期的錯誤或無法；;期：·:點的更新失誤都， 為克服上述的S期；致不預 程式之前’要求現場作業必須在更新機台自動化 手動的方式更新機台自動化程；:清除在製A，變於以 機台二雖然此解決方法可行，：：n *新啟動—個個 先，需要耗費現場作業人 遇疋1^留了些問題。首 品。除此之外，必須耗費過^力進行停機以及清除在製 之機台自動化程式的版本，間來檢查及監控每一機台 常，更新版本所花費的更新時須追縱其進度，通 後，為了要進行機台自動=^過修改程式碼的時間。最 作業，降低機台的生產力。巧之更新，必須中斷自動化 化程:巧-可靠及有效率之機台自動 產能外，可於更新期間提以時間、增加機台 發明内容 有鑑於此，本發明 更新系統及方法，J = ”提供一種機台自動化程式 間點進行版本更新作^降低更新時間以及可於一安全之時 、'杰ί i f t述目。ϋ ’本發明之機台自動化程式更新系統 5又一司服器單元、一管控單元（host unit)以及一 機台。

1245995_ 五、發明說明（4) "~"" " ' -- 伺服器單元用以儲存機台自動化程式不同版。 碼與版本紀錄，並且傳送新版之機台自動化程 总秩式 元。機台是一個自動化半導體製造設備，例二二暖二=單 一蝕刻機，用以執行一系列之半導體製造作業：：=機或 用以偵測機台狀態，偵測新機台自動化程式版本^ =早元 使用之機台自動化程式置換為新機台自動化程 會目前 動程式，偵測由新機台自動化程式傳來二 ，啟 以及發送命令予伺服器單元，要求更新程以 實施方式 第2圖係表示本發明實施例之機台自動化程式 (Equipment Automation pr0gram; EAp)更新系統之系統 方塊圖。此系統架構包含一伺服器單元2丨〇、一管控單元 (host uni t) 220以及一機台230。伺服器單元21〇用以儲存 機台自動化程式不同版本之程式碼與版本紀錄，並且傳送 新版之機台自動化程式至管控單元22〇。伺服器單元21〇可 以實施於一個人電腦、.工作站或大型主機，於最佳之情況 下，管理多個管控單元220，將有助於有效管理機台自動 化程式之版本。管控單元220可以實施於一個人電腦、工 作站或大型主機。機台230是一個自動化半導體製造設 備，例如一曝光機或一蝕刻機，用以執行一系列之半導體 製造作業。一管控單元220透過機台自動化程式由製造執 行系統或機台接收訊息，並根據其訊息採取適當動作。伺 服器單元210透過一通訊協定，例如NetBElH或TCp/Ip與管

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控單元進行溝通。 傳送單元213以及—：：;：>，庫211、—儲存體212、- 多筆機台自動化程^督早H14。#料庫211，用以儲存 個攔位，冑台識別i i錄，於最佳之情況下’包含四 、μ 0 歲別馬、機台自動化程式識別碼、程式版太 :中1:::識別碼。•台自動化程式識別碼欄位為資料 用以硪別機台自動化程式於最佳之情況 I、、其程式標案名稱相同。機台識別碼搁 r用以識別機台自動化程式所管理之機 二 ϋ;搁位為：外來鍵1以储存機台自動化程式 程式之版本資„，資機台自動化 之起始"月。儲存裝置212:'/上一曰期，用以指出程式 後續傳送之用，可以為一電;^暫里存機一台/動化程式，供 路徑之目錄。當機台自動化：5：路徑或一虛擬 後，新版本之機台自動：程；m:新功能或錯誤修正完 中。於最佳之情況，機台自㈡裝f12 八交；S目丨丨—#々山 勒化&式之植案名稱會依循一 名原則’在棺名中包含機台以及版本資訊，例如， TT18SL01.TAP之機台自動化未口 — 义 ΤΤ1 〇ςί ηι ^ Α ^ , L %式目丽正被使用來管理 TT18SL0W 0，除此之外，TT18sl〇i new 化程式為TT18SL〇l.TAP機台自動化程式之 機二自動 相應於ΤΠ 8SL(H j隱P以自動化n 果 ;值?CP2P=，：此新程式會被傳送到cpm!管控 早兀。傳达早心3 k供-圖形化介面（Graphic User

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五、發明說明（6)

Int^ace; GUI)，以便更易於傳 並提供設定參數功能， 初化私式，其 元等。監督單元214從資料庫;11中适二開：：：：：單 (ODBC)驅動程式，使用標準查詢語故貝八枓庫連線 =表供使用參考。棄總報表包括未更新機?報/气 式之報表。 更新明細表或其他有關機台自動化程 官控早兀220包含儲存裝置221以及程式 222。儲存裝置221儲存現在正在使用 二： :及’從伺服器單元或使用者接收來之新機！= 式。程式更新單元222為系統之 元'機口、自動化程 狀態，積測新機台自動化程式版本，將 以偵测機台 動化程式置換為新機台自動化程弋舌斜料使用之機台自 賴台自動化程式傳來==成=啟= 予伺服器單元210 ’要求更新程式版本紀錄。毛达〒々 私式更新單元2 2 2藉由從機台傳來 1 ^ ^ ^ ^ /ιΛ Λ ^ ^ ^ 求（online request)、載入（1〇ading)、處理7別為連線請 (processing)、載出（unloading)以及二杜 request)。離線請求訊息是偵測 ，明，（offhne 之版本更新程序。於載入、處理及載二比二便：展開後續 動化程式更新會影響自動化製造流程或二D:機'自 如良率過低、產品破損，或其他重大資’。貧訊，諸 段，程式更新會使機台浪費過多時間等待版連線請求階 寻待版本更新完成。

:5Θ78〕Ί^Ρ( NI); TSMC2002-1256; snowball, ptd 第11頁 後姨，式更新單元222在偵測到離線靖长1自；^ # 後續之更新作業。f先，於娃=線°月求戒息後，使展開 °自動化程式檔名或從程;石:二置221中’藉由比斜機 於進入離線階段機台之新版本資訊來找出相應 土動化程式後，貝4將現有 2 : ?至丨新機 機台傳來之訊息。“作；程序並繼續侦测從 使用之程4，然後將新；：：：名：以先刪除目前 之檔*，重新啟動機台名成代表現正使用 -帶有更新曰期：ΐϊ之新機台自動化程式會發送 重新啟息給程式更新單元m，用以表示兑 又動成功0联後，转彳审虹口口一 〆、 錄請求予伺服$ 式更新早凡222會發送一更新紀 機^ 要求更新程式版本紀錄。 以通知；押單、元貝二'入其他階段時，發出適當訊息，用 會發請求訊:彳。如，當其被切換到手動物^ 法之圖示本發明實施例之機台自動化程式更新方 ，伺服器單元m，首先，如步驟如，傳送單 Γ=Π偵：新版本之機台自動化程式。除… 版夕卜，插作人員亦可使用圖形化使用介面來選定新 自動务口。自動化程式。有數種方法可用以偵測新版之機台 "NFWTa^，式，例如，掃描儲存裝置2 1 2並偵測副檔名為 • P”之檔案。之後，如步驟S32，傳送單元透過ftp

1245995 五、發明說明（8) 或NetBEUI通訊協定，上傳 220。 料機口自動化程式至管控單元 於管控單元220中，如+驟^ ^ 送單元213接收新機台自動二式並將7:/二單元22由傳 22卜之後，持續追縱由機台2 來的錯存至儲存裝置 新單元222從機台230接收 息。當程式更 ⑽所示，其會她蝴如步驟 ^匕：式’如步驟S35。相新戌。之新機台自 法，包括進行檔名比對或動化轾式之可行方 現存之機台自動化程式會被：丨於：於步驟S36中， 啟動新版之機台自動化程 ^並於γ驟奶中，重新 到由新版程式所傳來之=:= 驟T所示’當其接收 請求予飼服器單元21。要新广傳送-更新紀錄 成通知及更新紀錄請求中 人知式版本紀錄。更新完 再:本識:碼以及程式版本資上：自動化 式’上述電腦程式用以實用：儲存—電腦程 方法，行如上所述之；；機台自動化程式更新方法，此 弟4圖係表不本發明實 法之儲存媒體示意儲’:之機台自動化程式更新 式包含五個二 自動化程式更新方法。复雷ί遂 ' ΛΙ Λ "，J ^ ^ 健存新機台自動化鞀 八蜂輯 邏輯413、更# # $ p + p式碡輯412、偵測離線請求4

TSMC2002-1256； 更新新版私式邏輯414以及重新啟動新/吼息 1245995 丨丨丨丨丨丨__丨丨丨·丨丨丨丨 .............................................................................. 1 ..................................... .....................................................，丨· 1 五、發明說明（9) 化程式邏輯4 1 5。 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以 限定本發明，任何熟悉此項技藝者，在不脫離本發明之精 神和範圍内，當可做些許更動與潤飾，因此本發明之保護 範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

0503·9780Τ^Ρ(ΝΡ : TSMC20C2-1256;snowball.ptd 第14頁 1245995 圖式簡單說明 為使本發明之上述目的、特徵和優點能更明顯易懂 下文特舉實施例，並配合所附圖示，進行詳細說明如下： 第1圖係表示習知技術之製造自動化系統之架構示意 圖， 第2圖係表示本發明實施例之機台自動化程式更新系 統之系統方塊圖； 第3圖係表示本發明實施例之機台自動化程式更新方 法之方法流程圖； 第4圖係表示本發明實施例之機台自動化程式更新方 法之儲存媒體示意圖。 符號說明 1 2 1〜管控電腦 11 0〜製造執行系統；1 2 0 、131〜機台； 資料庫； 傳送單元； 管控單元； 程式更新單元 130 211 213 220 222 S31 400 410 2 1 0〜伺服器單元 2 1 2〜儲存裝置； 2 1 4〜監督單元； 221〜儲存裝置； 2 3 0〜機台； S39〜操作步驟 S32、… 儲存媒體； 機台自動化程式更新電腦程式 4 1卜接收新機台自動化程式邏輯； 4 1 2〜儲存新機台自動化程式邏輯； 4 1 3〜偵測離線請求訊息邏輯；

m(Nl) ; TSMC2002-1256;snowball.ptd 第15頁 1245995

0503-9780T^F( Ν’：）： TSMC2002-1256; snowball, ptd 第16頁

Claims (1)

1245995 交 I —種機台自動化程式 —伺服器單元，包含—f新系統，包括： 裝置以及一傳送單元，程式版本資科庫、— 版本紀錄，！、+、Μ 迷程式版本資料庙 邊存 述傳送罩元用4 ^ —儲存裝置儲存-第存複數程式 早兀用以傳送上述新弟自動化程式，上 置以及—葙十s ^稱接於飼服器單元，包入j及 動化程心ΐίϋ單元，上述第二儲存裝U二Γ裝 八从及由上述伺服哭 Τ衣罝儲存一第二自 ί，ΐΐί第：自動化輕式為上述第：d第；自動化程 :卞息，上述程式更新單元於：述Ϊ台所傳出之-離線 機台之上述第二自動式白取代相應於上述 弟一自動化程式所產生之—更新完早凡追蹤由上述 錄請求給上述伺i 3g _ 知，傳达一更新紀 述程式版本，據以更新相應於上述機台之上 ,2·如申請專利範圍第丨項所述之機台 糸統’其中上述機台傳送一機台狀態給上述管 ' 4 夺统3·Π請專利範圍第2項所述之機台自動化工程。 糸、、先，其中上述機台為一半導體製造機台。 ，斤 系球4· 請專利範圍第丨心述之機/自動化程式更新 ^丄 Τ，工 早兀使用上述第一 口自動化程式以及上述第二機台自動化程式中之一者， 機 糸、.先：於上述管控單元中，丨述管控單元使用上述'第一、 管 上述第二機台自動化4*、rb «V 1 第17頁 0503-9780TWF2(Nl).ptc 1245995 _ 案號 92128814

六、申請專利範圍 理上述機台。 5 ·如申晴專利範圍第1項所述之機台自動化程式更 =、、先於上述伺服态單元中，更包含一監督單元，用χ 生匯總報表。 Μ產 6·如申請專利範圍第1項所述之機台自動化程式更 二統’於上述伺服器單元中，更包含一應用程式 ’二 圖形化使用者介面傳送上述第—機台自動化程式。— 系μ 7.如申明專利範圍第1項所述之機台自動化程式更寺斤 匕於上述資料庫中，上述程式版本紀錄包含-機Λ 丄一機台自動化程式識別碼攔位、-管控單：ΐ 另J碼欄位以及一目前版本攔位。 平兀4 系統8: i : ί J Ϊ?第1項所述之機台自動化程式更新 線請求訊息後：於上所傳來之上述離 台之上述第一自動化程式。 、置中偵測相應於上述機 系統9:=口;:單;匕所，機台自動化程式*新 更新曰期以及一版本資料。 上述更新完成通知包含一 Η) · —種機合白 一儲存裝f 私式更新系統，包括· =式之新a述 一程式更辦單^，以及 設備所傳出之〜 & ，上述程式更新單元 狀態資訊，

第-自述儲存襄置館存-第二自動… ^弟自動化程式為上述第二自 上述…新：：：上收：第製一造 第〗8頁 1245995 _____案號 921j^l4_ _ 年 j-----_____1 六、申請專利範圍 、 儲存裝置中偵測相應於上述機台之上述第一自動化程式， 取代相應於上述機台之上述第二自動化程式為上述第一自 動化程式，重新啟動上述第一自動化程式。 1 1 ·如申請專利範圍第1 〇項所述之機台自動化程式更 新系統，更包括一機台，傳送上述機台狀態給上述管控單 元。 1 2 ·如申請專利範圍第1 1項所述之機台自動化程式更 新系統，其中上述機台為一半導體製造機台。 13·如申請專利範圍第1 1項所述之機台自動化程式更 新系統’其中，使用上述第一機台自動化程式以及上述第 二機台自動化程式中之一者管理上述機台。 1 4 ·如申請專利範圍第11項所述之機台自動化程式更 新系統，、^述程式更新單元於接收上述機台所傳來之上述 離線請求訊息後，於上述儲存裝置中偵測相應於上述機台 之上述第一自動化程式。 15·種機台自動化程式更新方法，其方法包括下列 於一伺服器單元中，a > 本之-第-機台程:{較-程式版本纪錄以偵測新版 由上述伺服器里 管控單元； 專上述第一機台自動化程式至一 於上述管控單-中 二 一儲存裝置； 疋 儲存上述第一機台自動化程式至 於上述管控單元中， 攸一機台接收一離線請求訊息；

1245995 曰 ---篆!虎 92128SU 正 月 六、申請專利範圍 於上述管控單亓由 ^ 台自動化程式為上述筮取代相應於上述機台之一 自動化私式為舊版本程式； 上述第二機台 於上述管抟罝；° 式；以及 ，重新啟動上述第-機台自動化裎 。印於上述嘗控單元中，傳送一更新紀錄★主卡 器單元’用以更新上述程式版本紀錄。至上述词服 If·如申請專利範圍第之 ;方法’更包含-步驟，於上述管控單元中動：程式更 存裝置中之上述第—機台自動化程式。 i則上述儲 1八如申請專利範圍第丨5項所述之機台 :方法’更包含一步驟，於上述管控單元中動化程式更 弟一機台自動化程式所產生之一更新完成通知。由上述 18.如申請專利範圍第17項所述之機台自動化 4方法，上述更新完成含一更新日 式更 料。 A M及—版本資 斩方1H申^專利範圍第15項所述\機台自動化程式更 新方法’其中於傳送上述更新紀錄請求至上述伺服哭置 m，上述程式版本紀錄包含，機台璣別碼攔位了 - ϊ 口=;式識別碼襴位、-管控單元識別瑪欄位以及： 目刖版本攔位。 2〇·如申請專利範圍第丨5項所述之機台自動化程式更 新方法，上述機台為一半導體製造機台。 21· 一種機台自動化程式更新方法，其方法被一電

第20頁 0503-9780TWF2(Nl).ptc 1245995 92128814 六、申請專利範圍 載入執行’包括下列步驟

接收 第一機台自動化穋式 儲存上述第—機台自動化#《至—儲存裝置 從一機、A &儿 从·，、上丄：机息’ 機台接收一離線請求訊 ^取代相應於上述機台之〆第 > 钱σ自動化程式為上述 第一機台自動化程式，上述第> 程式；以及 重新啟動上述第一機台自動牝 22·如申請專利範圍第21頊 口 新方法，其中上述第一機台自動化程式由一伺服器傳來。 23·如申請專利範圍第21頊所述之機台自動化程式更 新方法’其中上述第一機台自動化程式由一使用者傳來。 2 4 ·如申請專利範圍第2 1項所述之機台自動化程式更 新方法’其中上述機台為一半導體製造機台。 2 5.如申請專利範圍第2 1項所述之機台自動化程式更 新方法，更包含一步驟，偵測上述儲存裝置中相應於上述 機台之上一述第一機台自動化程式。 ' /、用於機台自動化程式更新之電腦可讀取之紀 ;; 以被一電腦載入執行機台自動化程式更新方 法，其方法包括下列步驟： 接收一第一機台自動化程式； 儲存上述第一機台自動化程式至一儲存裝置； 從一機台接收一離線請求訊息； 取代相應於上述機台之一第二機台自動化程式為上述 機台自動化程式為舊版本 程式。 戶斤述之機台自動化程式更

0503-9780TWF2(Nl).ptc 第21頁 1245995 _案號92128814_年月曰 修正_ 六、申請專利範圍 第一機台自動化程式，上述第二機台自動化程式為舊版本 程式；以及 重新啟動上述第一機台自動化程式。 2 7.如申請專利範圍第2 6項所述之用於機台自動化程 式更新之電腦可讀取之紀錄媒體，其中上述第一機台自動 化程式由一伺服器傳來。 2 8.如申請專利範圍第2 6項所述之用於機台自動化程 式更新之電腦可讀取之紀錄媒體，其中上述第一機台自動 化程式由一使用者傳來。 2 9.如申請專利範圍第2 6項所述之用於機台自動化程 式更新之電腦可讀取之紀錄媒體，其中上述機台為一半導 體製造機台。 3 0.如申請專利範圍第26項所述之用於機台自動化程 式更新之電腦可讀取之紀錄媒體，更包含一步驟，偵測上 述儲存裝置中相應於上述機台之上述第一機台自動化程 式0

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