TWI228170B - Method for closing fluid passage, water hammerless valve and water hammerless closing device - Google Patents

Description

1228170 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種能夠完全地防止流體通路之緊急閉 鎖時之水錘產生之水錘產生防止系統之改良、不受限於流 體壓力之大小且不產生水錘而能夠迅速且確實地將流體通 路予以閉鎖之流體通路的閉鎖方法、及使用於此之無水錘 閥裝置、以及無水錘閉鎖裝置。

【先前技術】 在急劇地閉鎖水等之液體所流通之通路時，由閉鎖部 位開始而呈振動地上升上游側通路內壓之所謂引起水錘係 廣泛知道之狀態。 此外，在產生該水錘時，由於上游側通路之內壓上升 而引起連接於這個之機器•裝置類發生破損等之各種意外 〇 因此，就防止水錘發生之對策而言，從以前開始就開 發各種技術。 但是，不論任何一種技術係也說是在基本上，成爲： (1 )稍長地設定流體通路之閉鎖時間；或者是（2 )使得 通路內之所產生之振動壓力來開放於旁接通路而逃脫至外 部，或被吸收至另外設置之蓄壓器內；在前者之方法，於 流體通路之閉鎖上，花費時間而無法應付於緊急閉鎖之要 求，此外，在後者，會有附帶設備費高漲之問題產生。 此外，前述水錘之問題係在目前爲止之處理比較大流 -5- 1228170 (2) 量之流體之產業領域’成爲主要問題，但是，在近年來， 即使是在處理小流量流體之領域、例如半導體製造之砂濕 式氧化膜處理之領域或藥品製造之領域等，也由於設備之 保存或製品品質提高等之方面來看的話，來強烈地要求供 應流體之緊急閉鎖時之水錘產生之防止。 〔專利文獻1〕日本特開平1 — 1 9 0 2 3 5 〔專利文獻2〕日本特開2000 — 10602 〔專利文獻3〕日本特開2002— 295705 【發明內容】 〔發明之揭示〕 〔發明所欲解決之課題〕 本發明係解決：正如從前水錘產生防止技術之前面敘 述之問題、也就是（1 )在以若干稍長地設定流體通路之 遮斷時間來作爲基本之對策，無法充分地應付緊急性要求 ;以及’ （2 )在以吸收或脫逃振動壓力來作爲基本之對 策’無法解決附帶設備費用高漲等之問題；此外，提供一 種可以藉由以多階段動作來進行介設於流體通路上之閥閉 鎖而不產生水錘並且即使是極短時間（例如1 000msec以 內）也能夠緊急閉鎖流體通路之流體通路的閉鎖方法、及 使用於此之無水錘閥裝置、以及無水錘閉鎖裝置。 此外，本發明係提供一種可以藉由現實地進行閥閉鎖 測試而預先地求出能夠進行流體通路之無水錘閉鎖之閥閉 鎖條件並且藉由利用記憶該閉鎖條件之電空轉換裝置來啓 -6- 1228170 (3) 動閥本體之調節器而可以迅速且確實地進行流體通路之無 水錘閉鎖之流體通路的閉鎖方法以及使用於此之無水錘閉 鎖裝置。 〔用以解決課題之手段〕 本案發明人等係著眼於藉由將通路鎖閥之閥體急速地 移動至閉閥前面之既定位置爲止並且在經過短時間後而將 閥體移動至閉閥位置之多階段方式所造成之閥閉鎖方法， 同時，使用該閉鎖方法而進行數目多之水錘產生機構之解 析試驗。 此外，本案發明人等係由前述試驗之結果而得知：在 閥閉鎖，藉由使得閉閥時之第1階段之閥體停止裝置，成 爲特定範圍內之位置，而防止水錘之產生。 本發明係以前述意見作爲基礎而創作的；申請專利範 圍第1項之發明係在藉由介設於管路內壓槪略呈一定之流 體通路之調節器啓動式閥而閉鎖流體通路之方法，首先， 增加或減少對於前述調節器之驅動用輸入至既定之設定値 爲止’移動閥體至閉閥方向，在將對於調節器之驅動用輸 入呈短時間地保持於前述設定値後，藉由還增加或減少該 驅動用輸入，使得閥成爲全閉狀態，而不產生水錘，來閉 鎖流體通路；來成爲發明之基本構造。 申請專利範圍第2項之發明係在藉由介設於管路內壓 槪略呈一定之流體通路之調節器啓動式閥而閉鎖流體通路 之方法’首先’藉由增加或減少對於前述調節器之驅動用 -7- 1228170 (4) 輸入’移動閥體至閉閥方向，而使得閥行程保持於既定之 設定値附近’接著，在該閥行程呈短時間地保持於設定値 後’藉由還增加或減少前述驅動用輸入，使得閥成爲全閉 狀態’而不產生水錘，來閉鎖流體通路·，來成爲發明之基 本構造。 申請專利範圍第3項之發明係在藉由介設於管路內壓 不一定之流體通路之調節器啓動式閥而閉鎖流體通路之方 法’首先’藉由增加或減少對於前述調節器之驅動用輸入 ’移動閥體至閉閥方向，而使得閥行程保持於既定之設定 値附近，接著，在該閥行程呈短時間地保持於設定値後， 藉由還增加或減少前述驅動用輸入，使得閥成爲全閉狀態 ，而不產生水錘，來閉鎖流體通路；來成爲發明之基本構 造。 申請專利範圍第4項之發明係在申請專利範圍第1、 2或3項之發明，使得閥，成爲經常閉鎖型氣壓啓動式隔 膜閥，或者是在閥啓動時，來成爲閥內容積不發生變化之 定容積•經常閉鎖型氣壓啓動式隔膜閥。 申請專利範圍第5項之發明係在申請專利範圍第1、 2、3或4項之發明，使得閥閉鎖時間，成爲極短時間， 同時，使得流體通路之壓力上升値，成爲閥閉鎖前之壓力 値之1 〇 %以內。 申請專利範圍第6項之發明係藉由以下而構成··閥本 體；驅動閥本體的調節器；調整輸入至調節器之驅動力的 自動驅動力控制器；檢測閥本體之閥行程的閥行程檢測器 1228170 (5) ;以及，輸入閥開關指令訊號S、閥行程檢測訊號Sp 閥行程設定訊號S G同時輸出驅動力控制訊號S R至前 自動驅動力控制器並且透過調節器來使得閥本體之閥行 呈短時間地保持於設定値後而使得閥本體成爲全閉的控 電路；來成爲發明之基本構造。 申請專利範圍第7項之發明係在申請專利範圍第6 之發明，使得閥本體，成爲隔膜式閥，同時，使得調節 ，成爲氣壓啓動式調節器。 申請專利範圍第8項之發明係在申請專利範圍第6 或第7項之發明，使得閥本體，成爲經常閉鎖型隔膜式 ，同時，使得調節器，成爲氣壓啓動式調節器，並且， 得控制電路之閥全閉時間，成爲極短時間。 申請專利範圍第9項之發明係具備：無水錘閥裝置 係藉由閥本體、驅動閥本體的調節器、調整輸入至調節 之驅動力的自動驅動力控制器、檢測閥本體之閥行程的 行程檢測器、以及輸入閥開關指令訊號S、閥行程檢測 號Sp和閥行程設定訊號SG同時輸出驅動力控制訊號 至前述自動驅動力控制器並且透過調節器來使得閥本體 閥行程呈短時間地保持於設定値後而使得閥本體成爲全 的控制電路所構成；以及，演算記憶裝置，係具備：檢 一次側流通路之流體壓的壓力檢測感測器、輸入來自前 壓力檢測感測器之流體通路內壓之壓力檢測訊號P ,和 自閉鎖時間檢測感測器之閉鎖時間檢測訊號T和容許壓 上升値設定訊號P Μ和閉鎖時間設定訊號T S同時進行 和 述 程 制 項 器 項 閥 使 器 閥 訊 SR 之 閉 測 述 來 力 前 1228170 (6) 述壓力檢測訊號p !和容許壓力上升値設定訊號PM間之 比較以及閉鎖時間檢測訊號T和閉鎖時間設定訊號TS間 之比較的比較電路、保持對應於閉鎖時間之壓力上升値和 行程設定値之關係資料的記憶電路、及由比較電路之比較 結果而選擇最適合於容許壓力上升値設定訊號P Μ和閉鎖 時間設定訊號TS之行程設定値的演算電路；來成爲發明 之基本構造。 申請專利範圍第1 0項之發明係在申請專利範圍第9 項之發明，對於無水錘閥裝置之控制電路，來輸入閉鎖時 間設定訊號TS，藉由閥本體之閉閥啓動時之調節器之啓 動速度之調整而成爲可控制流體通路之閉鎖時間之構造。 申請專利範圍第1 1項之發明係：閥本體、驅動閥本 體的調節器 '可自由裝卸地固定於閥上游側配管路的振動 感測器、輸入閥開關指令訊號同時藉由預先記憶於該資料 記憶部之控制訊號S c而控制輸入至調節器之調節器啓動 壓Pa的電空轉換控制裝置、以及具備輸入來自前述振動 感測器之振動檢測訊號Pr和供應至調節器之步進壓力設 定訊號P s和步進壓力之保持時間設定訊號T s和容許上限 振動壓力設定訊號Prm同時進行前述振動檢測訊號Pr和 容許上限振動壓力設定訊號Prm間之比較並且修正前述步 進壓力設定訊號P s的比較演算電路而且將由前述保持時 間設定訊號Ts和修正之步進壓力設定訊號P s所構成之控 制訊號S c來輸出至前述電空轉換控制裝置之資料記憶部 的演算控制裝置；來成爲發明之基本構造。 -10- 1228170 (7) 申請專利範圍第1 2項之發明係在申請專利範圍第1 1 項之發明，分別構成演算控制裝置，在由步進壓力設定電 路 '保持時間設定電路、容許上限振動壓力設定電路、振 動壓檢測電路和比較演算電路所構成同時使得調節器啓動 壓來進行步進變化後之馬上之振動檢測訊號Pr超過容許 上限振動壓力設定訊號Prm之狀態下，修正於沿著上升步 進壓力設定訊號Ps之方向，並且，在使得調節器啓動壓 由中間之步進啓動壓開始至成爲零後之馬上之振動檢測訊 號Pr超過容許上限振動壓力設定訊號Prm之狀態下，修 正於沿著下降步進壓力設定訊號P s之方向。 申請專利範圍第1 3項之發明係在申請專利範圍第1 1 項之發明，構成電空轉換控制裝置，由記憶來自演算控制 裝置之控制訊號S c之資料記憶部和訊號轉換部和電空轉 換部所構成，同時，根據在不產生資料記憶部所預先記憶 之水錘時之控制訊號S c ’而由訊號轉換部，來輸出調節器 啓動壓控制訊號S e，並且，由電空轉換部，來輸出調節 器啓動壓Pa。 申請專利範圍第1 4項之發明係：介設於流體通路的 調節器啓動式閥、對於調節器啓動式閥來供應2階段狀之 調節器啓動壓Pa的電空轉換裝置、可自由裝卸地固合於 前述調節器啓動式閥之上游側管路的振動感測器、以及輸 入藉由振動感測器所檢測之振動檢測訊號P r同時對於電 空轉換裝置來輸出控制前述2階段狀之調節器啓動壓pa 之步進啓動壓Ps’大小之控制訊號Sc並且藉由該控制訊號 -11 - (8) 1228170 s c之調整而由電空轉換裝置來輸出使得振動檢測訊號P r 幾乎成爲零之步進啓動壓P s ’之2階段狀之調節器啓動壓 Pa的調諧箱；來成爲發明之基本構造。 申請專利範圍第1 5項之發明係：在介設於流體通路 之調節器啓動式閥之上游側，可自由裝卸地安裝振動感測 器，將來自振動感測器之振動檢測訊號Pr，輸入至調諧 箱，同時，將來自調諧箱之控制訊號S c，輸入至電空轉 換裝置，藉由前述控制訊號Sc而將在電空轉換裝置所產 生之2階段狀之調節器啓動壓Pa，來供應至調節器，在 藉由2階段啓動而閉鎖調節器啓動式閥之流體通路之閉鎖 方法，在前述調諧箱，將供應至調節器之2階段狀之調節 器啓動壓Pa和振動檢測訊號Ρι·間之相對關係，進行對比 ，在第1段之調節器啓動壓Pa減低時而發生振動之際， 上升步進啓動壓Ps’，並且，在第2段之調節器啓動壓pa 減低時而發生振動之際，下降步進啓動壓Ps，，藉由重複 地進行複數次之利用前述步進啓動壓P s ’之上升或下降所 造成之調整而求出使得振動檢測訊號Pr幾乎成爲零之2 階段狀啓動壓P a之步進啓動壓p s，，根據在由電空轉換裝 置來輸出使得該振動發生幾乎成爲零之步進啓動壓P s，之 2階段狀之啓動壓P a時之控制訊號S c之資料，而閉鎖前 述調節器啓動式閥；來成爲發明之基本構造。 此外’申請專利範圍第1 6項之發明係：在介設於流 體通路之調節器啓動式閥之上游側，可自由裝卸地安裝振 動感測器，將來自振動感測器之振動檢測訊號Pr，輸入 -12- (9) 1228170 至調諧箱，同時，將來自調諧箱之控制訊號Sc，輸入至 電空轉換裝置，藉由前述控制訊號S c而將在電空轉換裝 置所產生之2階段狀之調節器啓動壓p a，來供應至調節 器’在藉由2階段啓動而閉鎖調節器啓動式閥之流體通路 之閉鎖方法，在前述調諧箱，將供應至調節器之2階段狀 之調節器啓動壓Pa和振動檢測訊號Pr間之相對關係，進 行對比，在第1段之調節器啓動壓Pa上升時而發生振動 之際’下降步進啓動壓Ps’，並且，在第2段之調節器啓 動壓Pa上升時而發生振動之際，上升步進啓動壓Ps，，藉 由重複地進行複數次之利用前述步進啓動壓Ps’之下降或 上升所造成之調整而求出使得振動檢測訊號Pr幾乎成爲 零之2階段狀啓動壓Pa之步進啓動壓Ps’，根據在由電空 轉換裝置來輸出使得該振動發生幾乎成爲零之步進啓動壓 Ps’之2階段狀之啓動壓Pa時之控制訊號Sc之資料，而 閉鎖前述調節器啓動式閥；來成爲發明之基本構造。 申請專利範圍第1 7項之發明係在申請專利範圍第15 項或申請專利範圍第1 6項之發明，將在輸出使得振動發 生幾乎成爲零之2階段狀之啓動壓P a時之控制訊號S c之 資料來輸入至電空轉換裝置之記憶裝置後，拆卸振動感測 器及調諧箱。 申請專利範圍第1 8項之發明係在申請專利範圍第1 5 項或申請專利範圍第1 6項之發明’將振動感測器’設置 在由調節器啓動式閥之設置位置開始之1 0 0 0 m m以內之上 游側位置。 -13- (10) 1228170 申請專利範圍第1 9項之發明係在申請專利範圍第1 5 項之發明，設定2階段狀之啓動壓P a之步進啓動壓保持 時間t，更加小於1秒鐘。 〔發明之效果〕 在本案方法之發明，在流體壓力呈一定之狀態下’藉 由將對於調節器之驅動力保持在設定値，或者是調整對於 調節器之驅動力，將閥之閥行程△ G保持在設定位置，而 以最初之閉閥動作，來使得閥體之移動，一旦短時間地停 止在既定位置，然後，藉由使得閥體轉移至全閉位置之閉 鎖方法而閉鎖閥，因此，可以藉由使得前述驅動力之設定 値或閥行程△ G之設定値，成爲適當範圍値，而在極短時 間（例如3 00〜1 000msec )內，卻並無產生水錘，安全地 閉鎖流體通路。 同樣地，在本案之方法，在流體壓力發生變動之狀態 下，使得閥行程△ G成爲控制要素，在預先設定之閉閥時 ，在到達至不引起水錘之範圍之閥行程△ G時，呈短時間 地停止閉閥動作，然後，由該閥行程△ G之方面來看的話 ，則成爲將閥體轉移至閉閥狀態（閥行程△ G = 0 )之閉 鎖方法，因此，可以不受限於閥本體之材質或構造，一直 進行穩定之無水錘之流體通路之緊急閉鎖。 此外，在本案裝置之發明，檢測閥本體之閥行程△ G ，將這個回饋至控制電路，在閥本體之閉鎖時，更加迅速 且正確地將該閥行程△ G，到達至既定之設定値，同時， -14- (11) 1228170 藉著由設定之閥行程△ G之點開始馬上將閥體轉移至全閉 位置之閉閥啓動，而成爲進行閥閉鎖之構造。 結果，也不受限於簡單之構造，能夠在極短時間內’ 進行無水錘之流體通路之閉鎖，能夠完全地除去由於管路 內壓之振動上升所造成之各種問題。 在本案之無水錘閉鎖裝置，成爲將由於壓力檢測感測 器P C所造成之壓力檢測値P!和由於閥本體1 〇之閉鎖時 間檢測感測器TC所造成之閉鎖時間檢測訊號T來回饋至 演算•記憶裝置1 5並且將輸入至無水錘閥裝置之控制電 路1 3之行程設定訊號S G來控制成爲設定之閉鎖時間之 最適當之行程設定訊號的構造。 結果，在流通路之閉鎖時而萬一流通路之內壓超過容 許壓力上升値之狀態下，使得行程設定訊號S G自動地修 正成爲最適當値，藉此而完全地防止超過後面之流體通路 閉鎖時之容許最大壓力上升値之水錘發生° 此外，在本發明之無水錘閉鎖裝置，藉由在配管路 L,，可自由裝卸地安裝振動感測器1 8，將藉由振動感測 器1 8所檢測之振動檢測訊號Pr，回饋至演算控制裝置1 6 ，透過電空轉換控制裝置1 7而控制施加至閥本體1 〇之調 節器1 1之調節器啓動壓Pa，以便於成爲達到無水錘閥閉 鎖之構造° 結果，即使是在閥本體1 0不設置行程位置檢測裝置 ，或者即使是在配管路L ^不介設壓力檢測器，也可以達 成無水錘閥閉鎖，同時，如果就成爲對象之配管路L1而 -15- (12) 1228170 求出最適當之無水錘閥閉鎖之條件（也就是調節器啓動壓 P a之控制條件）的話，則可以卸下振動感測器1 8或演算 控制裝置1 6而適用於其他配管路，也極爲有利於經濟上 〇 . 此外，在本發明之無水錘閉鎖裝置，藉由在實際啓動 狀態下之配管路之閥本體1 〇之附近，設置振動感測器1 8 ，同時，由電空轉換裝置2 0開始，將既定之2階段狀之 調節器啓動壓P a，施加至閥本體1 0之調節器1 1，而現實 地對於閥本體1 〇，來進行開關啓動，藉由閥本體1 0之實 際啓動而選定前述2階段狀調節器啓動壓P a之步進啓動 壓Ps’之最適當値，並且，將選定之調節器啓動壓Pa，來 記憶至電空轉換裝置2 0之記憶裝置。 結果，可以藉由來自電空轉換裝置2 0之調節器啓動 壓Pa而更加確實且迅速地在流體通路，不產生水錘，來 對於閥本體1 〇，進彳了緊急閉鎖。 此外，前述2階段狀調節器啓動壓P a之選定•設定 (調諧）係也可以藉由5〜6次之閥本體1 〇之實際啓動而 簡單地結束，並且，可以藉由使得具有適當大小之步進啓 動壓PS’之調節器啓動壓Pa ’施加至調節器]1，而抑制在 更加低於第1次閥本體1 0之實際閉鎖時之壓力振動之振 幅値之更低値，可以不對於配管路來加入極大之不良影響 ，預先正確地求出前述調節器啓動壓Pa之最適當値。 此外，不僅是能夠_昔$ '活用個人電腦而極爲簡單且迅 速地進行前述2階段狀調節器啓動壓Pa之選定·設定（ -16- (13) 1228170 調諧），並且，可以更加便宜地製造無水錘閉鎖裝置。 【實施方式】 〔發明之最佳實施形態〕 首先’本案發明人等係爲了調查半導體製造裝置之水 分供應系統之水錘產生狀況，因此，使用氣壓啓動隔膜閥 ，觀察流體流通路由全開開始至切換成爲全閉之狀態下之 流路壓力變動。 第1圖係使用於前述調查之試驗裝置之電路構造圖； 在第1圖，圖號1係水槽，2係水槽加壓源，3係壓力感 測器，4係閥，5係電空轉換裝置，6係閥驅動用氣體源 ，7係訊號產生器，8係儲存示波器。 前述水槽1係具有大約3 0 1容量之密閉構造型，在其 內部，儲存大約2 5 1之流體（2 5 °C的水）。 此外，水槽1係藉由來自加壓源2之N2而在1 00〜 3 0 0KPaG之範圍，呈自由調整地進行加壓。 前述壓力感測器3係能夠藉由高感度而檢測閥4上游 之水壓之感測器，在本試驗裝置，使用擴散半導體方式之 壓力感測器。 作爲前述閥4係使用隔膜式空壓閥，其規格係流體入 口壓力 O.IMPa、流體出口壓力 〇.3MPa、流體溫度 10〜 100°C、CV値0.27、操作氣壓0.3〜0.6MPa、接液部之材 質（閥體P T F E、隔膜P T F E )、通路內徑4 m m。 也就是說，該閥4係使得常閉型合成樹脂隔膜來成爲 - 17- (14) 1228170 閥體之氣壓啓動式隔膜閥，藉由彈簧（省略圖示）之彈力 而使得隔膜閥體一直應付於閥座，保持在閉閥狀態。此外 ，藉由啓動用氣壓之供應而啓動調節器4 a，藉著由閥座 來使得隔膜閥體呈離座而保持在開閥狀態。 因此，爲了閉閥該常閉型空氣啓動式隔膜閥，因此， 必須減少由於開閥而供應至調節器4 a之啓動氣壓。 此外’在本發明，當然也可以使用常開型空氣啓動式 隔膜閥’來取代前述常閉型空氣啓動式隔膜閥，在該狀態 下’藉由上升供應至調節器4 a之啓動氣壓而閉鎖閥。 前述電空轉換裝置5係用以將對應於指示閥開度之輸 入訊號之驅動壓力（氣壓）來供應至閥4之調節器4a， 在本試驗裝置，使用正如第2圖所示構造之電空轉換裝置 5 ° 也就是說，在將輸入訊號I來輸入至控制電路A畤， 供氣用電磁閥B係成爲打開，使得供應壓力C之一部分 ，通過供氣用電磁閥B，成爲輸出壓力Pa而供應至閥4 之調節器4 a。 該輸出壓力P a係透過壓力感測器E而回饋至控制電 路A，進行修正動作而一直到成爲對應於輸入訊號I之輸 出壓力P a爲止。此外，在第2圖，F係排氣用電磁閥，G 係排氣，Η係電源，J係對應於輸入訊號I之輸出訊號， 該輸出訊號J (也就是輸入訊號I )係成爲輸入電壓而輸 入至後面敘述之儲存示波器之C Η 2。 第3圖係顯示前述電空轉換裝置5之輸入訊號I値（ -18- 1228170 (15) 輸入電壓V )和輸出壓力p a間之關係之線圖；在 壓5 V (啓動用氣壓P =大約5 k g f / c m2 · G )，閥 持在全開狀態。 在前述閥啓動用空氣源6，使用壓縮機，供應 之空氣。此外，前述訊號產生器7係生成輸入至電 裝置5等之輸入訊號I等，所要求之電壓輸出係成 訊號I而輸出至電空轉換裝置5。 此外，前述儲存示波器8係輸入來自壓力感測 上游側管路L】內之檢測壓力訊號P !(電壓V )或 電空轉換裝置5之輸入訊號I (輸入電壓V )，觀 錄管路L】之壓力Pi之變動或輸入訊號（輸入電歷 之變動等。 此外，在本試驗裝置，利用儲存示波器8，時 讀取係5 0 〇 m s e c / 1刻度。 參考第1圖，首先，將水槽1內之壓力PT， 3kgf / cm2· G 之一* 定壓力，供應 5kgf/cm2· G P a至調節器4 a，使得閥4成爲全開狀態。此外， 閥4和水槽1間之配管路L〗之內徑係4.0 mm，長 約2.5 m，水流量係成爲Q二大約3.4 5 1 / m i η。 分別就由該狀態開始而使得閥4對於調節器4 應氣壓Pa作爲（a )成爲5kgf/ cm2 · G (全開） / c m2 · G (全閉）時、（b )成爲 5 — 1 · 9 — 0 時、（ 爲 5— 1.66— 0 時、（e)成爲 5— 1.65— 0 時、（f 5— 1.62— 0時及（g)成爲5— 1.50— 0時，來藉由 輸入電 4係保 既定壓 空轉換 爲輸入 器3之 輸入至 測•記 I v) I 間軸之 保持在 之氣壓 此時之 度係大 a之供 —0 k g f :c )成 )成爲 儲存示 -19- (16) 1228170 波器8而觀測上游側管路L !之內壓P !之變化。 第4圖係顯示該觀測結果；由前述第4圖之（a )〜 (f)而明白地顯示：在經過5kgf / cm2· G (全開）—0 (全閉）之過程而使得閥4成爲全閉之狀態下，正如第4 圖之（a)所示，表示最大9.15kgf/cm2· G振幅之壓力 P 1之變化。

相對於此，得知：在供應壓力Pa變化成爲5— 1.65 — 〇 (第4圖之（^ ))之狀態下，於管路壓力P!，幾乎不 發生變動，完全地防止水錘之產生。 另一方面，在供應壓力Pa變化成爲5— 1.5 0— 0(第 4圖之（f))之狀態下，於管路壓力P!，發生最大振幅 2.90kgf/ cm2 · G 之振動。

由前述之各個試驗結果而得知：在該閥4之狀態下， 在使得閥4由全開而切換成爲全閉之際，可以藉由使得對 於調節器4 a之啓動氣壓P a，經過5 V (全開）-> 1 . 6 5 V ( 閥開度 〇.〇72mm/ 1.93 mmxlOO = 3.73% ) θ〇(全閉）之 過程，進行閉鎖而完全地防止水錘之產生。 也就是說，得知：在管路L !之內壓Ρ !呈一定之狀態 下，（1 )可以由全開狀態開始至某一定之閥開度爲止， 瞬間地緊急關閉，然後，藉由經過短時間，成爲全閉狀態 ，而在大約5 00〜100 〇msec間，不產生水錘，來閉鎖流體 通路；以及’ （2 )即使是前述最初之閥體停止位置、也 就是閥開度更加大於或小於一定値，也無法防止水錘之產 生。 -20- (17) 1228170 第5圖係使用相同之閥4而在相同於第4 樣條件下，對於在重複地進行閥之全開—全閉 路內壓P ;之上升狀況來進行圖案化；不論是 試驗，在管路L!之內壓P!呈一定（3kgf/ cm 在使得對於用以最初（第1段）一旦停止閥體 供應氣壓Pa成爲大約l„65kgf/ cm2 · G時，1 之壓力上升値係槪略成爲〇。 第6圖係在前述第4圖之試驗，顯示對5 之供應壓P a和閥行程△ G ( mm )間之關係， 在管路L,之內壓PpSkgf/cm^GC —定） 3.45 1/ min (—定）下，藉由多階段式閉鎖而^ 進行閉閥。 此外，閥行程△ G ( mm )係使用電位計而 將由上方來擠壓隔膜閥體之閥軸之全閉位置開 向之移動量，規定成爲閥行程△ G ( mm )。 由第6圖之（a )〜（f)而明白地顯示： 器4a之供應氣壓Pa成爲1.9kgf/cm2· G時之 (m m )係 0 · 7 8 2 m m，在 P a = 1 · 6 6 時，成爲△ 在 Pa 二 1.65 時，成爲 /^0=0.072 mm。 此外，由第6圖之（d )而也明白地顯示 △ G= 0.072mm(閥開度 0.072/1.93x100=3. 水錘之產生係槪略成爲〇。 也就是說，在管內壓力Pi呈一定下之多 ，不論即使是閥開度△ G更加大於或小於前述 圖狀態之同 試驗時之管 在任何一種 2 · G )時， 之調節器之 吏得內壓P I 令調節器4 a 試驗條件係 、流量Q二 討於閥4來 進行測定， 始至開閥方 在對於調節 .閥行程△ G G = 0.1 0 8， ，在閥行程 73% )時， 階段式閉鎖 0.072 ，也 -21 > (18) 1228170 產生水錘。 第7圖係顯示在相同於前述第6圖之同樣條件下而改 變對於調節器4 a之供應壓P a之狀態之閥行程△ G和管路 之壓力上升△ P !間之實測値之線圖；不論是在使得最初（ 第1段）一旦停止閥體之位置來成爲閥行程△ G =大約 0.07mm左右之位置時，使得水錘之產生係槪略成爲0。 接著，就改變水槽1之內壓P T之狀態下之水錘產生 防止而言，使用第1圖之試驗裝置而進行試驗。 第8圖之（a )〜（c )係顯示其結果，在槽內壓P T 成爲3kgf/ cm2 · G時，在使得對於調節器之供應壓Pa成 爲5— 1.65- 0之多階段式閉鎖，並無看到管路內壓P1之 振動上升（第6(a)圖）。 但是，在槽內壓P T發生變化時，由第8 ( b )圖及第 8 ( c )圖之箭號A而明顯地得知：在管路內壓PI，產生 若干之壓力變動。 第9圖係在前述第8圖之試驗時，藉由電位計而計測 在調節器4a之啓動壓Pa成爲1 .65kgf/ cm2 · G時之閥行 程△ G ;藉由施加在閥4之隔膜閥體之流體（水）之壓力 而即使是對於調節器4a之供應壓（1 .65kgf/ cm2 · G )成 爲相同，也改變閥行程△ G，結果，正如前述第8圖之（ b) 、 （c)之 A所示，在管路內壓P】，產生振動之變動 〇 第1 0圖係在閥之多階段式閉鎖而顯示槽內壓PT和能 夠防止管路內壓P !變動之調節器啓動壓力p a間之關係之 -22- (19) 1228170

線圖；曲線 A 3係顯示槽內壓P T = 3 k g f / c m 2 · G時，曲 線A 2係顯不P a = 2，曲線A】係顯示P a = 1時，得知：能 夠防止水錘產生之調節器壓力P a之範圍係由於槽內壓P T 而大幅度地發生變動。 也就是說，由第5圖及第7圖之試驗結果而也明白地 顯示：在槽內壓PT、也就是管路L!之內壓P!槪略呈一 定之狀態下，可以藉由控制閥4供應至調節器4a之啓動 壓Pa之多階段式閉鎖（在本實施形態之經常閉鎖型氣壓 啓動隔膜閥、Pa=5kgf/cm2· G->1.65kgf/cni2· G— 0 之多階段式閉鎖）約5 00〜1 000msec之短時間內，槪略完 全地防止水錘之產生，並且，對於管路L;進行高速閉鎖 〇 但是，在槽內壓PT (也就是管路內壓P!)發生變動 之狀態下，由前述第1 0圖而也明白顯示的，在僅控制對 於調節器4 a之空氣供應壓P a，於多階段式閉鎖，不容易 完全地防止水錘之產生。 因此，本案申請人係改變對於前述調節器4 a之供應 壓P a之控制，使得閥4之閥行程△ G成爲控制要素，進 行以槽內壓PT作爲參數之許多之多階段式閉鎖試驗。 此外，試驗裝置係槪略相同於前述第1圖之狀態，僅 有將計測閥4之閥行程△ G之電位計來附加於此之方面係 變得不同。 第1〗圖係使得閥4成爲多階段式閉鎖之狀態下之以 槽內壓PT作爲參數之閥行程△ G和管路壓力上升△ P】之 -23· (20) 1228170 關係，第1 2圖係第1圖之要部擴大圖。 此外，在第Π圖及第12圖，分別使得a3、a3，顯示 槽內壓 PT 成爲 3kgf/ cm2 · G 時，a2、A2,顯示 pT= 2kgf / c m 2 · G 時，A !、A ! ’顯示 p Τ = ][ k g f / c m 2 · G 時。 由第1 2圖而也明白地得知：可以在藉由控制閥行程 △ G而進行閥4之多階段式閉鎖之狀態下，不限制於管路 L〗內之內壓P!之大小’在閥行程△ G成爲0.07〜〇 〇8mm 間，一旦呈短時間地停止閉閥啓動，然後，藉由成爲全閉 狀態而在大約5 0 0〜8 0 0 m s e c之短時間內，不產生水錘， 使得閥4由全開開始至全閉，來進行緊急閉鎖。 第1 3圖係顯示根據前述第1 1圖及第丨2圖等之試驗 結果而構成之本發明之無水錘閥裝置之方塊構造圖。 在第1 3圖，1 0係閥本體，1 1係調節器，1 2係自動 驅動力控制器，1 3係控制電路，1 4係閥行程檢測器。 前述閥本體1 〇係介設於配管路L !內，在本實施形態 ，使用具備隔膜閥體之閥本體1 0。 此外，當然閥本體本身係可以是任何一種型式，可以 是具備碟片閥體之碟片閥等。 此外，在本實施形態，使用閥座內徑4.0 0 m m之隔膜 閥，來作爲閥4，但是，閥4之大小係可自由地選定至 10A〜100A左右爲止。 前述調節器1 1係閥本體1 0之驅動部，在本實施形態 ，氣壓汽缸係利用作爲調節器，藉由利用彈簧1 1 a而使得 活塞1 1 b擠壓至下方向，來閉鎖閥本體1 〇，此外，相反 •24- (21) 1228170 地，藉由自動驅動力控制器1 2而供應驅動壓P a，藉由抵 抗於彈簧1 1 a之彈力，使得活塞1 1 b上壓至上方，而開放 閥本體1 〇。 此外，在本實施形態，作爲調節器Π係使用氣壓汽 缸，但是，當然也可以是油壓汽缸型調節器Π或者是電 動式（螺線管或馬達、壓電元件）之調節器Π。 此外，在本實施形態，使用經常閉鎖型閥4，但是， 可以是經常開放型閥4，此外，在本實施形態，藉由增加 供應至調節器4a之驅動壓Pa而進行閉閥，但是，也可以 成爲藉由減少供應至調節器4 a之驅動壓P a而進行閉閥之 構造。 自動驅動力控制器係調整供應至調節器4 a之供應驅 動力，在本實施形態，使用將來自壓縮機（省略圖示）等 之加壓源之供應氣壓Pao來控制成爲既定之壓力pa並且 將該壓力P a之氣壓來供應至調節器1 1的自動壓力控制器 〇 此外，在調節器I 1來使用電動式調節器之狀態下， 當然該自動驅動力控制裝置係成爲電輸出之控制器。 對於前述控制電路1 3，來輸入來自閥行程檢測器]4 之閥行程△ G之檢測訊號S p、對於閥本體]〇之開關指令 訊號S以及多階段式閉鎖之中間停止位置（也就是控制閥 行程△ G )之設定訊號S G等，同時，對於自動驅動力控 制器1 2 ’來輸出用以賦予既定之閥行程△ G所需要之控 制壓力p a之壓力控制訊號S R。 -25- (22) 1228170 也就是說，在控制電路1 3，比較來自閥行程檢測器 1 4之閥行程檢測訊號s p和中間停止位置之設定訊號S G ，調整對於調節器1 1之供應氣壓P a而使得兩者之差異成 爲零。 此外，在本實施形態，顯示控制電路1 3和自動驅動 力控制器1 2，成爲不同個體，但是，當然也可以使得兩 者成爲一體化。 參考第1 3圖，在定常狀態下，由自動驅動力控制器 1 2，來供應既定之壓力（例如5 k g f / c m2 · G )之氣壓P a 至調節器1 1，藉由抵抗於彈簧1 1 a而使得活塞1 1 b上壓 至上方，以便於使得閥本體1 0成爲全開。

現在，在緊急時，在輸入閥閉鎖指令訊號S至控制電 路1 3時’閥本體丨〇係藉由所謂多階段式閉鎖而進行緊急 閉鎖。也就是說，首先供應至前述調節器1 1之供應氣壓 力Pa係瞬間下降至藉由閥行程設定訊號s G所賦予之壓 力値（例如 1.65kgf/ cm2 · G )爲止，藉此而使得活塞 U b ’來利用彈簧1 1 a之彈力，以便進行下降，使得連結 於軸1 1 c之閥體（省略圖示），下降至既定之閥行程△ G 之位置爲止，在此，停止於短時間（例如 3 00〜5 0 0msec )° 在閥本體1 0之啓動時，來自閥行程檢測器1 4之行程 檢測訊號Sp係輸入至控制電路1 3，藉由該行程檢測訊號 s P和閥行程設定訊號S G間之對比而進行控制氣壓p a之 _整，閥本體]〇之閥行程△ G係在]〇 〇〜2 0 0 m s e c間，保 -26- (23) 1228170 持於既定之設定位置。 呈短時間（ 3 0 0〜5 0 0mse〇地停止於既定閥行程 之位置上之閥軸1 c係藉由然後透過自動驅動力控制器1 2 ，來使得氣壓P a下降至0，而瞬間地下降至全閉鎖位置 爲止。 藉此而使得閥本體1 0，不產生所謂水錘，成爲全閉 ，全閉所需要之時間係在本實施形態（管路徑1 〇 A )，成 爲大約3 0 0〜1 0 0 0 m s e c間。 此外，在前述實施形態，主要就使用閥座內徑 4 · 0 0 m m之隔膜式空氣啓動閥而作爲閥之狀態，來進行說 明，但是，當然本發明係也可以適用於更加大型（例如 25〜100 A )之球形閥或圓盤閥。 第1 4圖係顯示本發明之流體通路之無水錘閉鎖裝置 之第1實施例之基本構造，在前述第1 3圖所示之無水錘 閥裝置，附加閥閉鎖時間T和容許壓力上升値PM來作爲 控制要素。也就是說，在該無水錘閉鎖裝置，將一次側壓 力之檢測感測器P C和閥閉鎖時間之檢測感測器τ C及輸 入來自各個檢測器P C、T C之檢測値P】、T之演算·記憶 電路1 5，附設在前述無水錘閥裝置。 此外’閉鎖時間設定訊號TS係構成爲也輸入至無水 錘閉鎖裝置之控制電路1 3，藉著調整由控制電路1 3來輸 出至自動驅動力控制器1 2之驅動力控制訊號SR之輸出 狀態，而控制調節器1 1之啓動速度（也就是啓動壓p a對 於調節器]1之施加狀態），藉此而調整由閥本體]〇之全 -27- (24) 1228170 開開始至全閉爲止之時間。 前述閥閉鎖時間檢測感測器TC係設置在調節器 檢測由閥軸1 1 C之啓動開始（開閥）至啓動停止（閉 爲止之時間T，將此輸入至演算·記憶電路I 5。 此外，前述壓力檢測感測器PC係設置在一次側 路L !，將流體壓力之檢測値P !，輸入至演算·記憶 15° 在前述演算·記憶電路1 5，分別設置壓力比較 、時間比較電路、演算電路及記憶電路，在壓力比較 ，進行容許壓力上升値設定訊號PM和壓力檢測訊号 間之比較，此外，在時間比較電路，進行閉鎖時間設 號TS和閉鎖時間檢測訊號T間之比較。 此外，在前述記憶電路，記憶許多之預先藉由實 求出之閥本體之使得閉鎖時間T成爲參數之行程設定 壓力上升値間之關係資料。 此外，前述演算電路係在壓力檢測訊號P 1超過 壓力上升値設定訊號PM之狀態下，配合閉鎖時間T 超過閉鎖時間設定訊號T S，而使得記憶於前述記億 之閉鎖時間T更加短於閉鎖時間設定訊號T S，並且 定在最接近於這個之狀態下之壓力上升値和行程設定 資料，由該資料中，來選定使得壓力檢測値PI成爲 壓力上升値設定訊號PM以下之行程設定訊號S G， 輸入至控制電路1 3。 此外，前述閉鎖時間設定訊號TS之最小値係由 1卜 閥） 流通 電路 電路 電路 % Pi 定訊 測所 値和 容許 是否 電路 C已B 値之 容許 將此 於閥 -28- (25) 1228170 本體〗〇或調節器1 1之啓動特性而受到限制，但是，通常 係設定在1〜3 s e c之値。 此外，閥本體1 〇之閉鎖時間設定訊號T S係儘可能稍 長地選定在容許之範圍。爲何如此，由於閉鎖時間T越長 ，則越不容易產生水錘之緣故。 在該無水錘閉鎖裝置之使用時，輸入閉鎖時間設定訊 號TS及容許壓力上升値設定訊號PM。藉此而由演算· 記憶裝置1 5之記憶電路，來輸出適當之行程設定訊號S G ，輸入至控制電路1 3。 在流體流路L;之閉鎖時，閥關閉指令訊號S係輸入 至控制電路1 3，藉此而使得閥本體1 〇，由全開切換成爲 全閉。 此時，萬一是在一次側流通路之內壓P!由於水錘之 產生而發生振動之狀態下，來自壓力檢測感測器PC之壓 力檢測訊號P】係進行回饋而比較於容許壓力上升値設定 訊號，萬一是在壓力檢測訊號P!超過容許壓力上升設定 値ΡΜ之狀態下，藉由演算電路而選定新的行程設定訊號 S G，輸入至控制電路1 3。 結果，閥本體1 〇之桿棒1 1 c係瞬間回復到新的行程 位置，在下一次之閥本體1 〇之開關啓動時，使得由於前 述水錘所造成之壓力上升係抑制至容許最大壓力上升値 ΡΜ以下。 第1 5圖及第1 6圖係顯示本發明之流體通路之無水錘 閉鎖裝置之第2實施例之基本構造，正如第]4圖之第1 -29- (26) 1228170 實施例之狀態所示’主要利用在不容易對於已經設置之上 游側配管L】來安裝壓力檢測器Pc或者是對於閥本體！ 〇 來安裝閥行程檢測器（位置檢測器）之狀態下。 參考第1 5圖及第1 6圖，該無水錘閉鎖裝置係可以組 合：由第1 3圖之無水錘閥裝置而卸除閥行程檢測器1 4之 狀態之閥本體1 〇、調節器〗1、電空轉換控制裝置1 7、能 夠控制調節器啓動壓P a之階段性切換及切換後之壓力保 持時間Ts等之演算控制裝置1 6、以及可自由裝卸地固定 於上游側配管路L !之振動感測器1 8 ;能夠適當地選定施 加在閥本體1 〇之調節器1 1之調節器啓動壓P a之階段性 切換（由第16(a)圖之Pamax至ps之切換（步進壓力 P s ))或步進壓力P s之保持時間T s，預先對於能夠進行 無水錘閉鎖之閥本體1 0之閉鎖條件，來進行設定記憶。 也就是說，在第1 5圖及第1 6圖，1 6係演算控制裝 置，1 7係電空轉換控制裝置，1 8係振動感測器，6係閥 驅動用氣體源，1 0係閥本體，1 1係調節器，來自閥驅動 用氣體源6之驅動壓pao (本實施例之狀態係大約〇.6 MPa )係藉由電空轉換控制裝置1 7而轉換成爲正如第1 6 ( a )圖所示狀態之階梯狀啓動壓力Pa，施加至調節器1 1。 此外，施加至調節器1 1之調節器啓動壓Pa或其保持 時間T s係藉由後面敘述之方法，藉著由預先在閥上游側 配管路L !之每！條來利用閥本體1 〇之閉鎖啓動試驗所求 出之演算控制裝置1 6之控制訊號Sc，以便於進行控制， 如果g亥振動感測器]8及演算控制裝置1 6完成藉由閥本體 -30- (27) 1228170 1 0之閉鎖啓動試驗所造成之前述控制訊號s C之選定的話 ，則由上游側配管路L !來進行卸下。 也就是說，在前述演算控制裝置1 6 ’設置：步進壓 力設定P s之設定電路1 6 a、壓力保持時間設定訊號之設 定電路1 6b、容許上限振動壓力設定訊號Prm之設定電路 16c、管路之振動壓檢測電路16d及比較演算電路i6e等 ;分別輸入：因爲藉由振動感測器1 8所檢測之閥本體1 〇 閉鎖時之內壓P !變動而造成之振動檢測訊號Pr、步進壓 力設定訊號Ps、步進壓力保持時間設定訊號Ts和容許上 限振動壓力設定訊號Prm。 接著，在前述比較演算電路1 6e，在比較振動檢測訊 號Ρι·和容許上限振動壓力設定訊號Prm而在兩者間產生 差異之狀態下，正如後面敘述，修正步進壓力設定訊號 P s ’包含該修正之步進壓力設定訊號P s和保持時間設定 訊號Ts之控制訊號係輸出至電空轉換控制裝置1 7之資料 記憶部。 此外，在前述電空轉換控制裝置1 7，設置資料記憶 部1 7a、訊號轉換部1 7b (訊號產生器7 )、電空轉換部 1 7e (電空轉換裝置5 )等，藉由將來自訊號轉換部1 7b ；^調節器啓動壓控制訊號S c，輸入至電空轉換部1 7c，而 將供應至調節器1 1之調節器啓動壓Pa，正如第1 6圖之 (a )所示，呈階段性地進行切換。 此外，對於該電空轉換控制裝置1 7，來輸入閥開關 令訊號S及用以對應於閥本體1 0啓動狀況（NO或NC. -31 - 1228170 (28) )之切換訊號S 〇。 爹考第1 6圖’首先在配管路L!，固定振動感測器！ 8 。接著，對於演算控制裝置1 6，來輸入適當之步進壓力 設定訊號Ps、步進壓力保持時間設定訊號Ts及容許上限 振動壓力設定訊號Prm，同時，適當地設定電空轉換控制 裝置1 7之閥本體切換訊號So及調節器啓動用流體供應壓 P a 〇 〇 然後，輸入閥開關指令訊號S，在閥本體1 0之調節 器1 1 ’供應例如第1 6圖之（a )所示形態之調節器啓動 壓P a 〇 現在，在時刻11，在使得調節器啓動壓p a由p a m a x 開始下降至P s爲止時，閥本體1 0之流體通路係閉鎖至中 間位置爲止，並且，在經過設定保持時間Ts之時刻t2， 藉由使得調節器啓動壓P s成爲零而使得閥本體1 〇，成爲 全閉狀態。 在該期間，在由於水錘之產生而改變配管路L;之內 壓P 1時，該變化狀態係藉由振動感測器1 8而進行檢測， 振動檢測訊號Pr係輸入至演算控制裝置1 6。 在演算控制裝置1 6，比較檢測訊號pr和容許上限振 動壓力設定訊號P r m，在A】之位置（時刻t!)，不產生 振動或者是振動之大小成爲容許値內，但是，在A 2之位 置（時刻t2 )，在振動超過容許値Prm之狀態下，修正步 進壓力設定訊號Ps而稍微下降調節器啓動壓Ps，使得該 修正之步進壓力設定訊號Ps及其保持時間設定訊號丁s， -32- (29) 1228170 成爲控制訊號S c，由演算控制裝置1 6開始來輸出至電空 轉換控制裝置1 7，然後，再度地進行同樣閥本體1 〇之閉 鎖啓動試驗。 此外，相反地，即使是在A ]位置（時刻t !)所產生 之振動超過容許上限振動壓力設定訊號Prm之狀態下，也 沿著稍微上升前述步進壓力設定訊號P s之方向，來修正 設定訊號Ps，由演算控制裝置16開始，成爲控制訊號Sc 而輸出至電空轉換控制裝置1 7，然後，再度地進行同樣 閥本體1 〇之閉鎖啓動試驗。 藉由重複地進行前述00 7 0及007 1所記載之啓動試驗 ，而使得設置振動感測器1 8之配管路L!之無水錘閉鎖所 需要之調節器1 1之中間啓動壓力Ps (步進壓力設定訊號 Ps )就既定之步進壓力保持時間設定訊號Ts (閥閉鎖時 間 Ts )來進行選定，該選定之不引起水錘之最適當之步 進壓力設定訊號Ps以及賦予其保持設定時間Ts之控制訊 號Sc係記憶在電空轉換控制裝置1 7之資料記憶部1 7a， 以後之管路L !之閉鎖係藉由根據該記憶之控制訊號Sc來 控制調節器啓動壓Pa而進行。 此外，在前述第1 5圖及第1 6圖之實施例，控制調節 器啓動壓Pa而切換成爲2階段，但是，當然也可以在必 要之狀態下，進行3階段或4階段之切換。 此外，步進保持時間設定訊號Ts係通常設定在〇·5〜 1秒鐘間，當然隨著該時間Ts變短而不容易發現無水錘 閉鎖之條件。 -33- (30) 1228170 第1 7圖係顯示本發明之流體通路閉鎖方法及使用於 此之無水錘閉鎖裝置之之第3實施例。 在第1 7圖，L1係配管路，1 0係閥本體，1 1係空氣 調節器，1 8係振動感測器，1 9係調諧箱，20係電空轉換 裝置，作爲無水錘閉鎖裝置之基本構造係幾乎相同於第 1 5圖所示之第2實施例之狀態。 前述調諧箱1 9係使得來自安裝於閥本體1 〇上游側之 振動感測器1 8之振動檢測訊號Pr成爲回饋訊號而進行輸 入，由該檢測訊號Ρι·來檢測水錘之產生，同時，藉由將 調節器啓動壓控制訊號S c，輸出至電空轉換裝置2 0，而 使得供應至空氣調節器1 1之2階段狀之調節器啓動壓P a ’成爲最適當化。具體地說，正如後面敘述，演算第2 1 圖之調節器啓動壓Pa之步進啓動壓Ps，之大小及步進啓動 壓保持時間t之最適當値，使得用以將該調節器啓動壓Pa 由電空轉換裝置2 0輸出至調節器1 1之控制訊號S c，來 輸出至電空轉換裝置2 0。 此外，在該調諧箱]9，設置用以對應於閥本體1 〇之 空氣調節器1 1之啓動型式（N . 0 .或N . C .)而切換控制訊 號S c的切換開關。 第1 8圖係顯示形成調諧箱]9主要部分之個人電腦畫 面顯示之某一例子；閥本體1 〇之開關狀態、對於空氣調 節器Π之調節器啓動壓Pa、配管路l之振動狀況、步進 啓動壓P s ’及配管振動値、自動調諧之條件設定、手動開 H之條件設定、以及閥本體1 0之啓動型式等之畫面顯示 -34- 1228170 (31) 係成爲可能 前述電 器，正如第 閥F、壓力 具有幾乎相 也就是 之氣壓，0 -Pa而輸出至 此外， 板A 1和外| A〇，設置2 器A c，來9 電壓輸入或 98 1KPaG ) 19。 第20 ，此外，第 動壓P a和努 此外， 而加入2階 參考第 固定於配管 ]0 0 0 ni m 以 上游側之位 構造。 空轉換裝置2 0係組合訊號轉換器和電空轉換 1 9圖所示，由供氣用電磁閥B、排氣用電磁 感測器E和控制電路a等而構成，在基本上， 同於第2圖之（a)及（b)所示者之構造。 說’對於供氣用電磁閥B來供應0.6 Μ P a以上 ^(K5MPa之氣壓係成爲調節器啓動壓控制壓力 :空氣調節器Π。 在該電空轉換裝置2 0之控制裝置A，設置基 沿輸出入介面A〇等，此外，在外部輸出入介面 個電子連接器Ac、Ad。接著，對於電子連接 接供應電源（DC24或12V )、開關訊號I ( 無電壓輸入）及壓力監視器（0〜5DCV、〇〜 ’此外，對於電子連接器 Ad，來連接調諧箱 圖係顯示該第3實施例之自動調諧之實施流程 2 1圖係顯示加入至空氣調節器1 ]之調節器啓 艮動產生間之相對關係。 作爲調節器啓動壓P a係相同於第1 6圖之狀態 段狀之調節器啓動壓Pa。 2 0圖，正如第1 7圖所示，將振動感測器1 8 路L之既定位置（由閥本體1 〇開始之大約 內之上游側位置、最好是離開於100〜1 〇〇〇mni 置），同時，分別安裝調諧箱]9及電空轉換 -35- (32) 1228170 裝置20。 接著’在藉由自動調諧開始訊號之輸入（步驟S ]) 而保持在閥全開狀態大約2秒鐘（步驟S 2 )後，藉由加 入2階段狀之調節器啓動壓Pa而進行控制（步驟S3 )。 此外，步進啓動壓Ps，之保持時間t係正如後面敘述，設 定在0.5〜lsec。 藉由閥本體1 〇之閉鎖而發生於配管路L之振動係藉 由來自振動感測器1 8之振動檢測訊號Pr而進行檢測及確 認（步驟S4 )，確認振動是否發生在第2 1圖之A點或者 是發生在B點（步驟S 5 S 6 )，在發生於A點之狀態下， 增加調節器啓動壓P a之步進啓動壓P s，（步驟S 7 )，並 且’在發生於B點之狀態下，減少前述調節器啓動壓p s， (步驟S 8 )。 藉由重複地進行前述閥本體1 0之閉鎖控制（通常係 數次〜1 5次）而最後得到具有完全不產生振動之最適當 之步進啓動壓Ps’之調節器啓動壓pa，藉由將輸出能夠完 全地防止利用該自動調諧所得到之振動之2階段狀之調節 器啓動壓P a之控制訊號S c，輸入至電空轉換裝置2 0，以 便於閉鎖閥本體1 0。 加入於前述自動調諧時之2階段狀之調節器啓動壓 Pa之步進啓動壓保持時間t係越短，則狀況越好，但是， 最好是在空氣啓動式調節器1 1，成爲t = 1秒鐘以下。 此外，在前述第2 0圖及第2 1圖，就藉由使用常閉型 空氣啓動式隔膜閥來供應調節器啓動壓P a而對於開閥中 -36- 1228170 (33)

之閥本體〗〇進订閉鎖之狀態’來進行說明，但是，當然 也可以耢由使用吊開型空氣啓動式隔膜閥，將調節器啓重力 壓Pa，分成爲2階段，進行上升，而進行無水錘閉鎖， 在該狀態下，調節器啓動壓Pa之步進啓動壓Pa，之調整 係相反於卽述常閉型之狀態’在第1段之調節器啓動壓 Pa之上升時，於產生振動時，下降步進啓動壓Pa，，並且 ，在第2段之調節器啓動壓Pa之上升時，於產生振動時 ，上升步進啓動壓Pa’。 第22圖係顯不：使用閥開關時之內容積無變化型之 氣壓啓動閥（19.05mm )，在使用調節器啓動壓p a成爲 0.490MPaG — 0.19MPaG — OPaG之2階段狀啓動壓pa來閉 鎖液體線之壓力〇.〇98MPa、0.198MPa及〇.294MPa之三

種配管路時之步進啓動壓保持時間t和液體線之壓力上升 値△ P ( MPAG )間之關係。得知：如果步進啓動壓保持 時間t成爲1秒鐘以上的話，則能夠使得壓力上升△ p幾 乎成爲零，但是，在t成爲0 · 5秒鐘以下時，使得壓力上 升△ P變大。 此外，結束前述自動調諧，如果求出能夠進行配管路 L之無水錘閉鎖之控制訊號S c (也就是用以輸出能夠進行 無水錘閉鎖之2階段狀調節器啓動壓Pa之控制訊號Sc ) 的話，則將前述控制訊號S c (也就是啓動壓P a )之資料 ，轉送至電空轉換裝置2 0，另外記憶這個。接著，卸下 自動調諧1 9及振動感測器1 8。 在需要閥本體10之緊急閉鎖之狀態下，使用預先藉 -37- (34) 1228170 由自動調諧所求出之前述控制訊號S c之資料，而由電空 幸^換置2 0 ’將能夠進行無水鍾閉鎖之2 fe：狀調卽器 啓動壓Pa，來輸出至閥本體1 〇之調節器丨1。 在前述第1 7圖之實施例，如果結束自動調諧操作的 話’如果決定調節器啓動壓Pa (步進啓動壓力Ps ’及其保 持時間t )的話，則將關於該啓動壓p a之資料，轉送至電 空轉換裝置2 0，然後，振動感測器1 8及調諧箱1 9係完 全卸下，但是，當然也可以使得調諧箱1 9成爲小型化而 一體化於電空轉換裝置2 0。 應配、特圓 供用路，晶 之水管中或 等熱應其置 體供供在裝 氣· } 是室 、 水體使之 氣供液即用 蒸之及。造 或庭體等製 水家氣路體 。 配般丨管導罾 之一體應半置 用於流供在裝 業用之體用刻 工適廠流適蝕 是以 工之合 種 僅可造廠適各 不也 製工也 、 係，體業係置 明且導工明裝 發並半品發淨 本，、藥本洗 路路學是之 管管化別等 【圖式簡單說明】 第1圖係使用在流體通路之水錘產生狀態之調查上之 試驗裝置之電路構造圖。 第2圖係使用在試驗裝置上之電空轉換裝置之說明圖 ;(a )係基本構造圖，（b )係方塊構造圖。 第3圖係顯示電空轉換裝置5之輸入訊號I (輸入電 壓V )和輸出壓力Pa ( kgf/ cm2 · G )之關係之線圖。 第4圖係在使得管路內壓P !呈一定之多階段式閉鎖 -38- 1228170 (35) 而顯示在改變對於調節器之供應壓Pa之狀態下之閥上游 側管路L1之內壓P !之變化狀態之線圖；（a )係顯示使 得Pa由5kgf/ cm2 · G開始直接地閉鎖至Okgf/ cm2 · G 時之狀態，（b )係顯示使得Pa由5 kgf/ cm2 · G開始降 低至1 .9kgf/ cm2 · G後而成爲0之狀態，（c )係顯示成 爲5— 1.66— 0之狀態，（d )係顯示成爲5— 1·65~> 0之 狀態，（e )係顯示成爲5— 1.62— 0之狀態，（f)係顯 示成爲5— 1.62— 0之狀態，（g )係顯示成爲5— 1 .50— 0 之狀態。 第5圖係顯示使得管路內壓P!呈一定之多階段式閉 鎖之對於調節器之驅動壓力P a和壓力上升△ P !之關係之 線圖。 第6圖係在使得管路內壓p I呈一定之多階段式閉鎖 而顯示在改變對於調節器之空氣供應壓Pa之狀態下之閥 行程△ G變化之線圖；（a )係顯示使得pa成爲5kgf/ cm2 · G (全開）—〇 (全閉）之狀態，（b )係顯示成爲 5kgf/ cm2 · G (全開）開始至 1 .9kgf/ cm2 · G (中間開 度）後而成爲〇 (全閉）之狀態，（c )係顯示成爲5 — 1 · 6 6 — 0之狀態，（d )係顯示成爲5 —6 5 — 0之狀態， (e )係顯示成爲5—〗.62— 〇之狀態，（f)係顯示成爲5 —1 ·5 0~> 〇之狀態。 第7圖係顯示使得管路內壓Ρ !呈一定之多階段式閉 鎖之閥行程△ G ( mm )和管路L !之壓力上升△ Ρ 1之關係 之線圖 ° -39- (36) 1228170 第8圖係顯示在改變槽壓（管路內壓p !)之狀態下 之多階段式閉鎖（Pa = 5 — 1.65 — Okgf/ cm2 · G )之管路 內壓P】之變化狀況之線圖；分別使得（a )係顯示槽內壓 P〗=3kgf/ cm2 · G時之狀態，（b )係顯示P! = 2之狀態 ，（c )係顯示p , = 1之狀態。 第9圖係顯示第8圖之試驗之調節器啓動壓p a和閥 行程△ G之關係之線圖·，分別使得（a )係顯示槽壓力ρ τ 成爲3 k g f / c m2 · G時，（b )係顯示ρ τ = 2時，（c )係 顯示P T = 1時。 第1 0圖係顯示閥之多階段式閉鎖之槽內壓P T和能夠 防止水錘之調節器啓動壓力Pa之關係之線圖。 第1 1圖係使得閥之多階段式閉鎖之槽內壓P T成爲參 數之閥行程△ G和管路壓力上升△ p }之關係線圖。 第12圖係第11圖之要部擴大圖。 第13圖係本發明之無水錘閥裝置之整體構造圖。 第1 4圖係本發明之流體通路之無水錘閉鎖裝置之第 1實施例之整體構造圖。 第1 5圖係本發明之流體通路之無水錘閉鎖裝置之第 2實施例之整體構造圖。 第1 6圖係顯示第1 5圖之無水錘閉鎖裝置之調節器啓 動壓Pa之控制（第1 6圖之a )和振動產生之某一例子（ 第1 6圖之b )之說明圖。 第1 7圖係本發明之第3實施例之無水錘閉鎖裝置之 整體系統構造圖。 -40 - 1228170 (37) 第1 8圖係調諧箱之Pc畫面顯示之槪要圖。 第1 9圖係電空轉換裝置之構造槪要圖。 第2 0圖係自動調諧操作之流程圖。 第2 1圖係自動調諧操作之驅動壓力p a和所產生之振 動間之關係之說明圖。 第2 2圖係顯示步進狀驅動壓力p a之步進壓力保持時 間t和壓力上升値△ P間之關係之線圖。 〔圖號說明〕 A :控制電路 A〇 :外部輸出入介面 A1 :基板

Ac :電子連接器

Ad :電子連接器 B :供氣用電磁閥 C :供應壓力 E :壓力感測器 F :排氣用電磁閥 G :排氣 △ G :閥行程 Η :電源 I :輸入訊號 J :輸出訊號 L!:閥上游側管路 -41 - (38) (38)1228170 P !:管路內壓（壓力檢測訊號）

Pa :調節器啓動壓

Pao :空氣供應壓力 PM :容許壓力上升値設定訊號

Pr :振動檢測訊號

Prm :容許上限振動壓力設定訊號

Ps :步進壓力設定訊號

Ps’ ：步進啓動壓 P T :水槽內壓 S :閥開關指令訊號

Sc :控制訊號

Sc’ ·_控制訊號

Se :調節器啓動壓控制訊號 S G :閥行程設定訊號

So :閥之NO · NC切換訊號

Sp :閥行程檢測訊號 SR :驅動力控制訊號 T :閉鎖時間檢測訊號 t :步進壓力保持時間 TC :閉鎖時間檢測感測器 T S :閉鎖時間設定訊號

Ts :步進壓力保持時間設定訊號（閉鎖時間設定訊號） 1 :水槽 2 :水槽加壓源 -42- (39) (39)1228170 3 :壓力感測器 4 :閥 4a :調節器 5 :電空轉換裝置 6 ·_閥驅動用氣體源 7 :訊號產生器 8 :儲存示波器 1 0 :閥本體 1 1 :調節器 1 2 :自動驅動力控制器（自動壓力控制器） 1 3 :控制電路 1 4 :閥行程檢測器（位置檢測器） 1 5 :演算·記憶裝置 1 6 :演算控制裝置 1 6 a :設定電路 1 6 b :設定電路 1 6 c :設定電路 1 6 d :設定電路 〗6 e :設定電路 1 7 :電空轉換控制裝置 17a :資料記憶部 17b :訊號轉換部 1 7 c :電空轉換部 1 8 :振動感測器 -43- (40) 1228170 1 9 :調諧箱 2 0 :電空轉換裝置 -44 -

Claims (1)

1. l228l70 (1) 拾、申請專利範圍 第92 1 35839號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 1 1月16日修正 的閉鎖方法， •定之流體通路 首先，增加或 .設定値爲止， !動用輸入呈短 ;減少該驅動用 :，來閉鎖流體 的閉鎖方法， 定之流體通路 首先，藉由增 ，動閥體至閉閥 近，接著，在 還增加或減少 不產生水錘， 93年 1 . 一種流體壓槪略呈一定之流體通路 其特徵爲：在藉由介設於管路內壓槪略呈-之調節器啓動式閥而閉鎖流體通路之方法， 減少對於前述調節器之驅動用輸入至既定5 移動閥體至閉閥方向，在將對於調節器之i 時間地保持於前述設定値後，藉由還增加窜 輸入，使得閥成爲全閉狀態，而不產生水鐘 通路。 2 . —種流體壓槪略呈一定之流體通路 其特徵爲：在藉由介設於管路內壓槪略呈-之調節器啓動式閥而閉鎖流體通路之方法， 加或減少對於前述調節器之驅動用輸入，卷 方向’而使得閥行程保持於既定之設定値阳 該閥行程呈短時間地保持於設定値後，藉S 前述驅動用輸入，使得閥成爲全閉狀態，币 來閉鎖流體通路。 3 · —種流體壓不一定之流體通路的閉鎖方法，其特 徵爲：在藉由介設於管路內壓不一定之流體通路之調節器 啓動式閥而緊急地閉鎖流體通路之方法，首先，藉由增加 1228170 (2) 或減少對於前述調節器之驅動用輸入，移動閥體至閉閥方 向’而使得閥行程保持於既定之設定値附近，接著，在該 閥行程Μ短時間地保持於設定値後，藉由還增加或減少前 述驅動用輸入，使得閥成爲全閉狀態，而不產生水錘，來 閉鎖流體通路。 4 ·如申請專利範圍第1、2或3項所記載之流體通路 的閉鎖方法，其中，使得閥，成爲經常閉鎖型氣壓啓動式 _ β吴閥’或者是在閥啓動時，來成爲閥內容積不發生變化 之定容積經常閉鎖型氣壓啓動式隔膜閥。 5 ·如申請專利範圍第1、2或3項所記載之流體通路 的閉鎖方法，其中，使得閥閉鎖時間，成爲極短時間，同 時’使得流體通路之壓力上升値，成爲閥閉鎖前之壓力値 之〗〇 %以內。 6 · 一種流體通路閉鎖用之無水錘閥裝置，其特徵爲 :藉由以下而構成：閥本體；驅動閥本體的調節器；調整 輸入至調節器之驅動力的自動驅動力控制器；檢測閥本體 之閥行程的閥行程檢測器；以及，輸入閥開關指令訊號s 、閥行程檢測訊號SP和閥行程設定訊號SG同時輸出驅 動力控制訊號S R至前述自動驅動力控制器並且透過調節 器來使得閥本體之閥行程呈短時間地保持於設定値後而使 得閥本體成爲全閉的控制電路。 1'如申請專利範圍第6項所記載之無水錘閥裝置， 其中’使得閥本體，成爲隔膜式閥，同時，使得調節器， 成爲氣壓啓動式調節器。 -2- 1228170 (3) 8 .如申請專利範圍第6或7項所記載之無水錘 ’其中’使得閥本體，成爲經常閉鎖型隔膜式閥， 使得調節器，成爲氣壓啓動式調節器，並且，使得 路之閥全閉時間，成爲極短時間。 9. 一種流體通路之無水錘閉鎖裝置，其特徵 由以下而構成： 無水錘閥裝置，係藉由閥本體、驅動閥本體的 、調整輸入至調節器之驅動力的自動驅動力控制器 閥本體之閥行程的閥行程檢測器、以及輸入閥開關 號S '閥行程檢測訊號Sp和閥行程設定訊號S G同 驅動力控制訊號SR至前述自動驅動力控制器並且 節器來使得閥本體之閥行程呈短時間地保持於設定 使得閥本體成爲全閉的控制電路所構成；以及， 演算記憶裝置，係具備：檢測一次側流通路之 的壓力檢測感測器、輸入來自前述壓力檢測感測器 通路內壓之壓力檢測訊號P 1和來自閉鎖時間檢測 之閉鎖時間檢測訊號T和容許壓力上升値設定訊號 閉鎖時間設定訊號TS同時進行前述壓力檢測訊號 許壓力上升値設定訊號PM間之比較以及閉鎖時間 號T和閉鎖時間設定訊號TS間之比較的比較電路 對應於閉鎖時間之壓力上升値和行程設定値之關係 記憶電路、及由比較電路之比較結果而選擇最適合 壓力上升値設定訊號PM和閉鎖時間設定訊號TS 設定値的演算電路。 閥裝置 同時， 控制電 爲：藉 調節器 、檢測 指令訊 時輸出 透過調 値後而 流體壓 之流體 感測器 PM和 Pi和容 檢測訊 、保持 於容許 之行程 -3- 1228170 (4) ]〇.如申請專利範圍第9項所記載之流體通路之無水 錘閉鎖裝置，其中，對於無水錘閥裝置之控制電路，來輸 入閉鎖時間設定訊號T S，藉由閥本體之閉閥啓動時之調 節器之啓動速度之調整而成爲可控制流體通路之閉鎖時間 之構造。 11. 一種無水錘閉鎖裝置，其特徵爲：由以下而構成 閥本體； 調節器，係驅動閥本體； 振動感測器，係可自由裝卸地固定於閥上游側配管路 電空轉換控制裝置，係輸入閥開關指令訊號，同時， 藉由預先記憶於該資料記憶部之控制訊號s C而控制輸入 至調節器之調節器啓動壓P a ;以及， 演算控制裝置，係具備：輸入來自前述振動感測器之 振動檢測訊號Pr和供應至調節器之步進壓力設定訊號ps 和步進壓力之保持時間設定訊號Ts和容許上限振動壓力 設定訊號Prm同時進行前述振動檢測訊號Pr和容許上限 振動壓力設定訊號Prm間之比較並且修正前述步進壓力設 定訊號P s的比較演算電路，將由前述保持時間設定訊號 Ts和修正之步進壓力設定訊號Ps所構成之控制訊號Sc， 來輸出至前述電空轉換控制裝置之資料記憶部。 12.如申請專利範圍第〗1項所記載之無水錘閉鎖裝 置，其中，分別構成演算控制裝置，在由步進壓力設定電 -4- 1228170 (5) 路、保持時間設定電路、容許上限振動壓力設定電路、振 動壓檢測電路和比較演算電路所構成同時使得調節器啓動 壓來進行步進變化後之馬上之振動檢測訊號Pr超過容許 上限振動壓力設定訊號Prm之狀態下，修正於沿著上升步 進壓力設定訊號P s之方向，並且，在使得調節器啓動壓 由中間之步進啓動壓開始至成爲零後之馬上之振動檢測訊 號Pr超過容許上限振動壓力設定訊號Prm之狀態下，修 正於沿著下降步進壓力設定訊號Ps之方向。 13.如申請專利範圍第1 1項所記載之無水錘閉鎖裝 置，其中，構成電空轉換控制裝置，由記憶來自演算控制 裝置之控制訊號S c之資料記憶部和訊號轉換部和電空轉 換部所構成，同時，根據在不產生資料記憶部所預先記憶 之水錘時之控制訊號S c ’而由訊號轉換部，來輸出調節器 啓動壓控制訊號S e，並且，由電空轉換部，來輸出調節 器啓動壓P a。 1 4 . 一種無水錘閉鎖裝置，其特徵爲··由以下而構成 調節器啓動式閥，係介設於流體通路； 電空轉換裝置，係對於調節器啓動式閥，來供應2階 段狀之調節器啓動壓P a ; 振動感測器，係可自由裝卸地固合於前述調節器啓動 式閥之上游側管路；以及， 調諧箱，係輸入藉由振動感測器所檢測之振動檢測訊 號P r，同時，對於電空轉換裝置，來輸出控制前述2階 -5- 1228170 (6) 段狀之調節器啓動壓Pa之步進啓動壓ps，大小之控制訊號 S c，藉由软控制訊號S c之調整而由電空轉換裝置，來輸 出使彳守振動檢測訊號P r幾乎成爲零之步進啓動壓p s，之2 階段狀之調節器啓動壓P a。 1 5 ·〜種流體通路之閉鎖方法，其特徵爲：在介設於 流體通路之調節器啓動式閥之上游側，可自由裝卸地安裝 振動感測器，將來自振動感測器之振動檢測訊號p r，輸 入至調諧箱，同時，將來自調諧箱之控制訊號s c，輸入 至電空轉換裝置，藉由前述控制訊號S c而將在電空轉換 裝置所產生之2階段狀之調節器啓動壓，來供應至調 節器’在錯由2階段啓動而閉鎖調節器啓動式閥之流體通 路之閉鎖方法，在前述調諧箱，將供應至調節器之2階段 狀之調節器啓動壓P a和振動檢測訊號p r間之相對關係， 進fT 2彳比’在弟1段之調f卩器啓動壓p a減低時而發生振 動之際，上升步進啓動壓Ps，，並且，在第2段之調節器 啓動壓P a減低時而發生振動之際，下降步進啓動壓p s，， 藉由重複地進行複數次之利用前述步進啓動壓Ps，之上升 或下降所造成之調整而求出使得振動檢測訊號Pr幾乎成 爲零之2階段狀啓動壓pa之步進啓動壓ps’，根據在由電 空轉換裝置來輸出使得該振動發生幾乎成爲零之步進啓動 壓之2階段狀之啓動壓Pa時之控制訊號Sc之資料， 而閉鎖前述調節器啓動式閥。 16· 一種流體通路之閉鎖方法，其特徵爲：在介設於 流體通路之調節器啓動式閥之上游側，可自由裝卸地安裝 >6- 1228170 (7) 振動感測器，將來自振動感測器之振動檢測訊號Pr，輸 入至調諧箱，同時’將來自調諧箱之控制訊號S c ’輸入 至電空轉換裝置，藉由前述控制訊號S c而將在電空轉換 裝置所產生之2階段狀之調節器啓動壓Pa ’來供應至調 節器，在藉由2階段啓動而閉鎖調節器啓動式閥之流體通 路之閉鎖方法，在前述調諧箱，將供應至調節器之2階段 狀之調節器啓動壓Pa和振動檢測訊號Pr間之相對關係， 進行對比，在第〗段之調節器啓動壓Pa上升時而發生振 動之際，下降步進啓動壓Ps’，並且，在第2段之調節器 啓動壓Pa上升時而發生振動之際，上升步進啓動壓Ps’， 藉由重複地進行複數次之利用前述步進啓動壓Ps’之下降 或上升所造成之調整而求出使得振動檢測訊號Pr幾乎成 爲零之2階段狀啓動壓P a之步進啓動壓P s ’，根據在由電 空轉換裝置來輸出使得該振動發生幾乎成爲零之步進啓動 壓Ps’之2階段狀之啓動壓Pa時之控制訊號Sc之資料， 而閉鎖前述調節器啓動式閥。 1 7 ·如申請專利範圍第丨5或1 6項所記載之流體通路 之閉鎖方法，其中，將在輸出使得振動發生幾乎成爲零之 2階段狀之啓動壓P a時之控制訊號S c之資料來輸入至電 空轉換裝置之記憶裝置後，拆卸振動感測器及調諧箱。 i 8 ·如申請專利範圍第】5或〗6項所記載之流體通路 之閉鎖方法，其中，將振動感測器，設置在由調節器啓動 式閥之設置位置開始之]〇 〇 〇 m m以內之上游側位置。 1 9.如申請專利範圍第1 5或】6項所記載之流體通路 -7- 1228170 (8) 之閉鎖方法，其中，設定2階段狀之啓動壓Pa之步進啓 動壓保持時間t，更加小於1秒鐘。

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