TWI221982B - System and method for grating profile classification - Google Patents

Description

1221982 五、發明說明（l) -- 【參考文獻】 本申請案係與目前同在專利係屬中之下列美國專矛彳_ 請案（序號尚未指定）有關：2000年11月28曰提出， 發明人為Dodd i、Sri niva，標題為「用於資料壓縮之二群 方法」（Clustering For Data Compression)，处 王审 檔案編號為TMBR—P0 05，且由本案之受讓人所擁有。、 將該相關美國專利申請案列入參考。 於4 【發明領域】

本發明係關於光柵輪廓尺寸之測量與評鑑，特別 光拇輪廊資料之描繪、分類與使用。 、 ' 【相關技術】

分光反射儀與橢面儀係 量反射信號之光譜。近來的 中反射光之光譜係針對光柵 但即使僅針對一有限之輪廓 如果此種數據庫係使用經驗 即時之環境中此數據庫將非 輪廊數據庫及光譜資料可用 光譜資料比照配對，並取得 栅尺寸。 用於照射光線於光栅上，並測 作法基本上使用經驗法則，其 中特徵構造之已知寬度測量， 數據庫亦耗費時間且昂貴。而 上或經計算之光譜資料，則在 常有用。特徵構造尺寸之光柵 以與輸入自度量橫裝置之光柵 與相配的數據庫輪廓相關之光 然而 趣 狀 ，對光柵尺寸之基本測量感到 與製造變數相如果光栅特徵構造之 ^ 則製造業者可取得關於應基於何

第6頁 1221982 旦有一 資料與 之可接 光柵之可 徵描述亦 至一輪廓 執4亍時間 且昂貴之 輪廓形狀 種有效描 統計上的 受範圍及 %栅形 胃此， 丨— 五、發明說明(2) 進行校正動作 狀的知識與其 我們需要將輪 400, 0〇〇 至5〇〇 類雖然可行， 之描述及分類 之工作的方式 利用時，輪廓 光柵輪廓之尺 之資訊。於評鑑 他光栅輪廓的特 廓形狀資料關連 ，00 0輪廓之典型 但卻是一項耗時 應以可解決輸入 完成。一 數據庫之 寸及形狀 接受度 相當重要。 。將一大約 數據庫將以人1 工作。輪廓數據 資料此項耗費人 述輪廓的方法1 測量便可用以$ 容錯度。 【發明概要】 本發明係屬一種描述例如—光拇輪廓 廓資料之資料空間的方法與系統。 據庫之光柵奉 柵輪廓資料之方法包含要求對由光栅例中，描述3 光柵輪廓資料U做分類、將光柵、=點所組成4 些群集將輪廓形狀資料關連至每一2分群成為-廓形狀資料包含一輪廓形狀標示、一/群集。其中輕 以及一輪廓形狀敘述。 祁形狀圖解影像、 一用以冑光栅輪廓資料分類之系统包人 廓資料點之光柵輪廓資料空間、一俨^ 3 -含有光柵韓 器，其係利用一將輪廓形狀資料 aI以及一群集產生 相關之輪廊形狀資料連結至屬於每二個群集，並將 料點的分群演算法’自包含光柵輪廊點之光柵輪廓資 產生複數個光栅輪廓資料點之群集。/ 之資料空間， 五、發明說明（3) 五、發明說明（3) .鑑光柵輪廓 選定之最相 比較來自於 用而生之輪 對應用而生 柵輪摩設定 旗標。提供 像及/或一 狀資料超出 資料之方 符於所輸 光栅輪廓 廓資料的 之輪廓資 旗標；以 輪廓資料 主要輪廓 可接受之 以評鑑光柵輪廓形狀 儲存一輪廓群集之輪 一輪廓形狀評鑑器， 數據庫中被選定為最 輪廊形狀資料、比較 之可接受範圍、以及 組輪廓之可接受範圍 法，施例中，本發明包含-評 s光柵輪廓數據庫中所 數廟的事件存取輪廓資料； 可接受範圍.ϊ廓資料與一組針對應 # * ’如果輪廓資料係位於針 枓的該組可接森# Λ 3 T目办1, 又範圍外’則為輸入光 斑後/、。拇輪廓相關之輪廓資料與 =‘之動作包含顯示一輪麻形狀影 会奴枚 圓表’以及一識別輪廓形 參數範圍之警示。 本發明於一實施例中另包含一用 、統。此系統包含一電腦、一用以 ::狀資料的輪廓群集資料庫、以及 ί中該輪廊形狀評鑑器自一光柵輪廓 ，於所輸入之光柵輪廓之事件存取 f廓形狀資料肖針對應用組輪廓 如果輪廊形狀資料落於針對應用之該 夕時，為所輸入之光柵輪廓設定旗標

【較佳實施例之詳細說明】 主尊：，1D為例示數個不同之光柵特徵構造之輪廓與 截截面圖。圖1A為一具有矩形輪廓之光栅的橫 圖1BA且::特徵構造底部寬度Wl及特徵構造高度hl。 圖1B為一具有梯形輪廓之光柵的橫截面圖，其例示特徵構

五、發明說明（4) 五、發明說明（4)

式/P—1 /h ) *1〇〇計算而得之底部基腳高度百分比，以及 由計算式（p2/h) *1〇〇計算而得之圓形頂端高度百分 比。某些應用可能包含其他的輪廓測量數據以說明、τ形 頂、圓形、底切、凹狀側壁、凸狀侧壁與底層厚度。 圖2為一架構圖，例示依據本發明之一實施例之一 廓f類系統。一請求裝置10發出對-由輪廓資料點所組"成 之光桃輪廓資料空間執行輪廓分類之請求。該輪廓分類之 請求可包含一指定光柵輪廓資料空間之群集個數的參數。 光柵輪廓資料空間係由包含輪廓尺寸與相關經計算之光i 資料之執行時間輪廓數據庫30的事件搬移而成。光蚀次: 係為牵涉到多重波長之光學多頻信號，當中的每一 ^ ^ 由—例如超過1 0 〇個元件之向量代表，且一般可由來自白於1 光栅之反射光的數位化測量而得。經計算之光譜資料係由 解決一精確的光柵反射光數學樽型及其伴隨之二組給定尺 1221982 五、發明說明（5) 寸而取得。一執行時間輪廓數據庫3〇僅包含於一生產執行 期間中所預計之範圍内之輪廓事件，且為較大之主輪廊數 據庫之一子集合，其中該主數據庫一般用以包含針對一生 產地點之光柵輪廓的全部範圍。 輪廓分類系統20可使用例如k —means、k ―社仏⑽與匕 ^center等各種分群演算法之其中之一。針對本應用最適 者為k-center分群法。然而，如同其他分群法，k_ center不易解答。而為解決本問題，我們使用了 一試探 法，其產生一可信之近似最佳解。此類試探法之其中之一 敘述於1 985年理論電腦科學期刊第38期第293 — 3〇6頁之一 期刊文章T. Gonzalez之「將群集間距 化之分群法」（"Clustering t0 Mini. . L卞敢

Intercluster Distance*' ) t ( 法），並於此列入參考」演算 —演算法。…明之-實施例即使用 播於一輸出裝置4。之輪靡群集 =由於群集中之輪廓組與例如一梯形輪廊、頂輪 2或一矩形輪廓之一基本形狀相對應 集權相關之輪廓形狀資料===與每-個輪廓群 輪廓圖解影像與輪廓敘述。輪廓形:二包含輪廓標不、 例示及，夕。趴入壯t 狀#料之範例係於圖3 10可為分離之單元或置於相同之單0 请求裝f 統20 —同設置或置於分散之遠端。内，而與輪廓分類系

ΗΊ1

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挪认法。為一依據本發明之一實施例將光柵輪廓分類之步 二、、/爪程圖。將光柵輪廓分類可以將輪廓分群之方式完 田^或藉由利用構建法則之軟體實施的程式邏輯，用以利 r ί ί相同的法則而從一組參數編譯輪廓數據庫、分類輪 廓數據庫。於藉由分群將光柵輪廓分類時，首先決定由光 柵輪廓數據庫之事件所組成之資料空間的區劃大小100。 區劃大小為光柵輪廓之資料空間的群集數目。對於一給定 ,應用’區劃大小之決定可由輸入一基於歷史資料而生之 區劃大小的方式完成。於一實施例中，區劃大小係自用戶 所提供之區劃大小表指定。而預設之區劃大小為二。 選擇性地，區劃大小可由實施「空假說」（⑽j j hypothesis)概念之軟體來決定。一本1 988年由prentice Hal 1出版’包含α· κ· Jain與R· C· Dubes之「資料分群 演算法」（"Algorithms f0r Clustering Data”）之撰寫 關於空假說主題的書於此列入參考。 一資料空間中群集之 一最大值法則（M i η ~ M a X 下：「假設原本之集合將 SK }，則對於任何位於一 區劃大小）中具代表性之 所劃分成為之集合之數量 該具代表性之群集資料點 而，解決最佳之「最大半 使用已知最佳之演算法來 取八干住的敢佳值可由應 Rule )決定，其相關部分如 完全地劃分成為集合{S1，S2, 集合Si (其中1 ，而K等 群集資料點而言，原本之集合 之最大值將使任何群集集合S i 所形成之最大半徑最小化。」 徑」卻為一計算上之困難問題 計算既冗長且隨著區劃之數目

五、發明說明（7) 才曰^ ^化。於一實施例中，我們使用G〇nzales演算法為分 群’力算法。一非階層式劃分法G ο n z a 1 e s演算法產生一位於 最佳最大半徑内，不超過最佳最大半徑之二倍的半徑 1十對類似應用之Gonzales演算法之實作的完整討論包含於 ^於此列入參考之代理人案件編號TMM __ 申請之Doddl、一之標題為「用於= 壓縮之分群方法」之共同待審申請案。 何距：著並間中資料點之多維歐幾里得幾 艾選擇一具有二資料點之初始集合 及 光输趴Cr1UStei" RePreSentative ) 110。其中資料點传 A 二輪廓數據庫之光柵輪廟事件 中貝T“ 歐幾里得幾何距離（ED)可 〈γ〉-〈X〉代表，或 ~ 其中-給定點「X」之座標敎述可以—了= 維向量〈X〉表示，如 超維Ν度空間中之多 〈X〉=〈X" Χ2，χ3 〜Χη〉 及同樣的可以一多維向量〈γ〉表示 〈Y〉=〈y" y2，y3 ...yn〉 第-點「Y」’如 於歐幾里得幾何距離計算 代表之資料點作為下一個群集我們選擇-非群集 集代表與所有其他之前選定之群：集代表；計算此候 得幾何距離；而所計算出之 代表之間的歐幾里 得4何距離中的最小值 1221982 - _ 五、發明說明（8) ____ 則被選出並包含於& ^ ^120 ^ ^ ^ ,> ^ 程尚未完成130，即j集“，候選群集代表之選擇流 -步驟120。若已J:料空間中尚存在資料點1重覆前 集合中選擇對該群自歐幾里得幾何距離最小值的 定該資料點為之歐幾里得幾何距離，並指 15〇，則繼續執^進如果///到劃分大小 流程。若已達到，則儲 站了選出另一個群集代表之 料於包含於群集中j::目f:母-個群集代表之群集資 性66斗管 w I 斤有數據庫輪廓紀錄、執行戶斤右强 .° 、並處理例如輪廓形狀標示、輪廓形肤圖 充 j廓形狀敘述等輪靡形狀資料16〇。補充 圖解影像 所有可執行之選擇性的斗曾 的°十算包含 體例行程序。 的5十异’例如偵錯或其他選擇性之軟 舉例而言’一光栅輪廓數據 的輪廓。每一個輪廓均包含特徵^ ^ 00個個别 ^ tt # ^ ^ tf t # 〇 ^ „ ^5〇〇> 00 0^'//^/ ' ^ 狀的具有意義的輪廓標示是一項冗長且昂貴c 圖3所例不之分群流程可達丨〇〇個輪 如果 屬一群集之100個輪廓將共同使用：身枓：同 示一分群流程的結果的範例，其 輪^廓私不。表1顯 100個輪廓事件屬於標著「梯形A」輪廓二：：：：的頭 光栅輪廓數據庫接下來的100個輪 、群集1，而 形B」輪靡標示的群集2。表2 :=則屬於標著「梯 衣2顯不一包含1〇,〇〇〇筆群集紀 第13頁 1221982 五、發明說明（9) 錄之群集檔案的頭三筆盥太— ,^ 、不一筆紀錄。 圖4為於本發明之一實施 評鑑光柵輪廓之應用的架構圖 一使用輪廓分類資料 提供光柵光譜資料予輪廓產生考:分光光學度量衡裝置5〇 輪廓產生器應用伺服器60存取^ 伺服器（PAS) 60.。 自於執行時間數據庫76之事件:丁時間數據庫76以比較來 於分光光學度量衡裝置50之光舞=算之光譜資料與來自 服器60尋找與執行時間數據庫/:二：輪廓產$ 15應用伺 料最相符之光柵光譜資料，並產之經計舁之光譜資 用以立即即時評鑑或稍後的批：J::J :平J器8。 相符之數據庫中經計算之光譜柵輪廟紀錄。最 ，中經計算之光譜資料之間的 果之誤差矩陣係為和方差誤差矩陣，丨中最佳化之^ = 使光柵光譜資料與數據庫中經計算之光譜資料之間的誤差 化。⑨一實施例中’我們使用和方差對數誤差矩 陣。輪廓評鑑器8〇利用來自於光柵輪廓紀錄之輪靡標示存 取輪廓群集45，並擷取所有相關於群集之輪廓形狀資料。 輪廓評鑑器80比較輪廓形狀資料及輪廓尺寸與針對應用相 對應之可接受的範圍，並於輸出裝置84上產生顯示資料。 圖5A為一例示一矩形光栅輪廓與一偏離底切輪廓之分 佈的二度空間圖解視像。外表看來，輪廓X90具有一相較 於其底部寬度而言明顯較大之頂端寬度，且其總高度大過 於頂端寬度不少。對於明顯屬於偏離輪廓之例如輪廓义9〇 而a ’單單存在有光柵輪廓之圖解影像便可以使我們能夠

第14頁 ^21982 五、發明說明（ίο) 於製造期間發現光柵輪廓與平均尺寸之輪廓的誤差。 圖5B為一描繪一矩形光柵輪廓與一偏離梯形輪廓之分 佈的二度空間圖解視像。輪廓Υ92與輪廓Z94均i大多數其 :輪廓大不相同。輪廓Y92係為一具有一大底寬之梯形輪 =，而輪廓Ζ 94具有同樣的底部寬度但其總高度 。如 2 =告偏離輪廓與生產執行期間中之平均輪廓相較之 下的差異，則這些偏離不難發現。然而，如果的 以使光栅落於可接受之範圍以外•，那麼憑 : = :所不足。因此針對差異我們需要-量 ;5C為一光栅特徵構造主要尺寸之比例的二度空間圖 ，其例不偏離輪廓與平均輪廓之相異情形。頂 、在鄰接的圓點顯不於圖中之大多數的輪廊均具近 的比例。輪廓Χ90相異於他者而為二比例均大於}的輪 产92比為/端寬度，底部寬度比例接近°.5且總高度 / 了員多而莧►度比例超過1的給厳 0.5的輪廓。如圖5C般】：廓輪廓294止為二比例均接近 其輪廓標示可有效地用以：式顯不’柵輪^ 廒血说銘♦认士 生產執订期間期間指明偏離輪 所呀^之卩尺寸。我們也可以使用不同比例替代如上 。同時我們也可以採用其他用以顯示與 之原理及方法。 Μ量方式，而仍舊不脫於本發明 圖6A為一於生產執行期間期間中不同時間所製造之光

第15頁 1221982 五、發明說明（11) 柵輪廓的二度空間圖解視像。如果應用所建立之可接受之 輪廓的範圍僅為頂端寬度與底部寬度之比例為0 8至丨2， 而總高度與頂端寬度之比例為〇· 8至丨· 2之矩形或梯形的形 狀，則輪廓A32與輪廓B3 3將被設定旗標為位於可接受之範 圍外。圖6B係為以關鍵尺寸比例表示之輪廓形狀與相同關 鍵尺寸比例之可接受範圍的圖解呈現。於此例中，可接受 範圍的界線34係顯示為一圍住二比例之上界與下界的矩 形，然而，該界線34可以一圓形、一三度空間環境中之球 形、或自一參考點開始之一範圍來表示。輪廓A32與輪廓 B33透過圖表顯示出這些輪廓係位於可接受範圍之界線“ :夕卜，且將被設定旗標。於一實施例+，輪廓形狀與旗標 之呈現係藉由一顯示圖6人及/或圖6B二者之螢幕，其中於 :A32與輪廓B33可以不同的顏色或一閃爍的標誌顯示。： :U:A32與輪廓B33之旗標可基於用戶所選擇的應 用之實作選項，轉換為標準的影像或聲音警示。 柵_ 為一於生產執行期間期間中不同時間所製造之光 廓的二度空間圖解視像。如果應用所建立之可接受之 :廓的範圍係為頂端寬度與底部寬度之比例為〇 8至丨2， 於頂端寬度之比例為〇.8至U之梯形的形狀，由 廊會ίϊίΞί均位於可接受範圍内，將沒有任何光柵輪 狀標。’係為以關鍵尺寸比例表示之輪廓形 1 /、相同關鍵尺寸比例的可接受範圍的圖解呈現，可 界:圓形界線内之一組數值表示。可接受範圍的 、’糸顯不為一圍住二比例之上界與下界的圓形。雖然

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所有光柵仍然位於可接受範圍的界線36内，_ Ba & q月顯的朵；t冊 特徵構造的形狀與尺寸正趨向於可接受範圍的界線⑼了: 於顯示予以目視檢查將給予生產人員早期的警示 '装此 夠判斷流程偏移38的成因與執行必要的校正。、i ^ 巷於針斜鹿 用所選擇之實作選項，相似的影像與聲音警示可於每冬^ 程偏移38造成輪靡尺寸超過或接近於可接受範圍^界二μ 時啟動。 1 圖8為於本發明之一實施例中，一用以尋找最相符於 光柵光譜資料之數據庫輪廓之流程的流程圖。一開於，；如 圖2與圖3所述自執行時間輪廓數據庫形成輪廓群^並^ 入這些輪廓群集以供快速處理20 0。一般而言，導因於牵 涉到可能的冗長處理，輪廓群集之形成係於分開的電腦執 <亍週期元成。載入輪廊群集以供快速處理可利用將輪廊群 集載入記憶體，或任何能夠快速查詢輪廓群集並提供即時 使用的方式完成。 ^ ’ 接著，收集並處理光柵光譜資料2 1 〇。光柵光譜資料 係自为光光學度量衡裝置收集而來’並予以處理以使光譜 資料可供即時或批次使用。再接著選擇較之於來自輪廓^ 據庫之經计算之光谱資料最相符之光拇光譜資料2 2 〇。接 下來’自輪廓數據庫存取.相關於最相符之輪廓的輪廓形狀 資料2 3 0。輪廓形狀資料包含一輪廓標示、一圖解影像及 /或形狀之敘述。舉例而言，一光柵之輪廓形狀資料可為 「具基腳A之梯形」、一藉由圖像描繪出輪廓形狀之點陣 圖或電腦所產生之影像或數位化之圖形、與形狀之敘述例

1221982 五、發明說明（13) 如 梯形、總南度為底部寬度之一"倍、圓形頂端、基腳 A」等。 土 如果輪廓形狀資料位於針對應用所建立之輪廊的可接 受範圍以外，則為光柵輪廓設定旗標240。輪廓的可接受 範圍可僅指定為矩形或梯形輪廓，即不接受梯形頂或底&切 輪廓。除此之外，同樣不接受一形狀相似但位於某些預先 決定之尺寸之範圍外的輪廓。舉例而言，一具有圓^頂端 及底部基腳且圓形頂端高度百分比（（基腳高度/總高度 )*100)大於10%的梯形輪廓可能位於輪廓之可接受^圍 外。接下來，呈覌相關於光柵輪廓之輪廓形狀資 ^ 以〇。於-實施例中，輪廊主要尺寸之可接受範貝 線方面定義。輪廓形狀資料與旗標之顯示可藉由例如監視 器顯^螢幕等顯示裝置、報告及/或影像或聲音警示二舉 例，言，當光柵之輪廓形狀於製造執行期間期間超過可接 受範圍達一預先決定之數量或百分比，可響起聲音檠示。 如果輸入之光柵光譜資料之處理尚未完成26〇，則曰流B程繼。 續回到收集與處理步驟210，反之則結束此作業。 、 圖9為用以追蹤光.柵輪廓尺寸與形狀特徵之顯示 之時間的函數。顯示之元件包含光柵^ ，二如頂端寬度/底部寬度比脚與總高+ 光柵之關鍵尺寸比例、如頂端寬度33〇等 Ϊ =相 輪廓標示34°、輪廓圖解影像35°與如果 先柵輪廓超過針對應用所建立之可 爾輪廊形狀資料。…述類型之資料二外：：

1221982 五、發明說明（14) 輪廓尺寸與形狀資料被收集並隨後處理之，於其中我們應 用統計技巧尋找於製造執行期間中輪廓的分佈情形及/或 將輪廓形狀及/或尺寸關連至輸入之製造參數。 雖然於一實施例中所敘述之分群技巧應用非階層式 G〇nza 1 es演算法，但任何分群方法例如s i ng 1 e 1 i nk (包 含 SLINK 與 minimal tree spanning 演算法）'complete 1 ink、group average 1 ink、用於group average link 之 Voorhees演算法、與Ward’ s方法（包含用於Ward’ s方法之 reciprocal nearest neighbor演算法）等皆可應用。其 他演算法例如列入參考之敘述於1 9 8 3年五月號科學 (Science )第 6 7 1 - 680 頁第 220, 45 98 篇 S· Kirkpatrick， C· D· Gellatt與Μ· Ρ· Vecchi之「以模擬試煉法達成最 佳化」（Optimization by simulated annealing)，或 梯度下降法皆可應用以替代Gonzales演算法以解決最小一 最大值之問題。再者，所有分群演算法皆可應用以替代τ. Gonzal es演算法，例如1 988年美國電腦協會（ACM， Association for Computing Machinery)之計算理論座 談會（STOC ’Symposium on Theory of Computing)會議 紀錄第434至444頁Τ· Feder與D· Greene之論文「約略分 群之最佳演异法」（Optimal Algorithms for Approximate Clustering )等，並於此列入參考。 此外，雖然歐幾里得幾何距離為計算點與點之間的距 離時較推薦使用之矩陣，但於適當之情況下，可使用任何 矩陣，而不悖離本發明。再者，雖然一系列之圓形、球形

第19頁 1221982 五、發明說明（15) 或超球面可想像為定義特定群集 何子與所有特定拓樸皆可使用。 視用以建構與實作軟體之程 語 I，例如c、C++、Perl、Java 而定，該軟體可具有任何數量之 ，樣板、程式碼行數、程式碼 泛，一般為「一流程步驟」、「 體流程」、「功能模組」或「軟 與教授之連續階段實施本發明， 應用，或由其他軟體應用於内部 軟體模組可建構為應用中之一部 能，便如同物件導向程式語言中 )。反之亦然，因為複數個部分 功能，而仍然與一單一部分之程 明之流程步驟之任何階段，中間 以供程式稍後使用。 之幾何學，但所有特定幾 式語言（ 或其他類 類別、函 份數與建 步驟」、 體模組」 且其可為 使用或呼* 份程式碼 之實例（ 之程式碼 式碼功能 值、變數 其可為 似的程 數、物 構物（ 「區塊 )以按 一單機 叫。軟 執行複 即一複 能夠執 上相同 與資料 任何程式 式語言） 件、變 整體而 」、「軟 照所敘述 版之軟體 體流程或 數個功 載流程 行複數個 。於本發 可經儲存 欲將供作說明與敘述之用1非意 及明之功能性實作可以硬體、軟體、韌體 之ί ί 利用之功能性元件或基礎材料等效實作 發明，可能存在其他變異與實施㈣，因此本 後附之申請專利範圍界定，而非此實施例 五、發明說明（16) 表1 針對屬於群隹1 個事件顯示輪廓許、-，頭100個事件與屬於群集2之次100 頂梯形Β」之光冊^具&^之梯形」與輪廓標示「圓 尤柵輪廓數據庫。

5· 〇亳概米 4_ 5亳微米 10.0毫微米 4· 〇亳微米 3· 1亳微米 5· 〇亳微米 4·5亳微米 輪廓標示 具基腳A之 梯形 t 具基腳Α之 梯形 10.0毫微米 4· 1毫微米 3. 2毫微米 具基腳A之 梯形

99 5.0毫微米 4· 5亳微米 10.0毫微米 4、4亳微米 3.1毫微米 100 5. 0毫微米 4· 5亳微米 10.0毫微米 具基腳A之 梯形 101 4· 5亳微米 3. 2毫微米 具基腳A之 梯形 im

第21頁 1221982 五、發明說明（17) 表2 —包含1 0, 0 0 0筆群集紀錄之群集檔案的頭三筆與末 二筆記錄。

群集 編號 基腳 底部 寬度， wl 梯形 底部 寬度， w2 總高度， h 梯形 頂端 寬度， w3 圓形 頂端 寬度， w4 群集 輪廓 標不 群集 輪廓 圖解 影像 婵集 輪廓 敘述 1 5.0 亳微米 4.5 毫微米 10.0 毫微米 4.0 毫微米 3.0 毫微米 具基腳A 之梯形 點陣圖具 基腳A之 梯形 梯形、總高度 為底部寬度 之二倍、圓形 頂部、基腳A 2 5.0 毫微米 4.6 毫微米 11.0 毫微米 4.5 毫微米 3.5 毫微米 具基腳B 之梯形 點陣圖具 基腳B之 梯形 梯形、總高壚 為底部寬度 之二倍、圓形 頂部、基腳B 3 5.0 毫微米 4.7 毫微米 12.0 毫微米 5.0 毫微米 3.8 毫微米 具基腳C 之梯形 點陣圖具 基腳C之 梯形 梯形、總高度 為底部寬度 之二倍、圓形 頂部、基腳C • ·. •.. #擎· * · · • · · •春· • · · • · · • · · 9999 5.0 亳微米 N/A 10.0 毫微米 4.5 毫微米 3.0 毫微米 圓頂梯 形A 點陣圖圓 頂梯形A 梯形、總高度 為底部寬度 之二倍、圓形 頂部A 10000 5.0 亳微米 N/A 11.0 毫微米 5.0 毫微米 3.2 毫微米 圓頂梯 形B 點陣圖圓 頂梯形B 梯形、總兩度 為底部寬度 之二倍、圓形 頂部B

Hliil 第22頁 1221982 圖式簡單說明 圖1A至1 j)為也 尺寸的橫截面^。不固光柵輪廓與光柵特徵構造之主要 圖2為一举i塞ra 廓分類系統。 例不依據本發明之一實施例之一輪 步驟的流:程圖。康本I明之一實施例之將光柵輪廓分類之 # If II 5 圖 5 A 為-/r.J — L· * 佈的二度空間圖:視像$光柵輪廓與一偏離底切輪廓之分 佈的間形光柵輪廓與-偏離梯形輪廊之分 圖5C為一光栅特徵構造 表，m偏離輪廊與平均輪廊之相i “的二度空間圖 光柵輪廊的間期間中不同時間所製造之 尺寸為相關於關鍵尺寸比例的 < 接受範園之以關-ϊΐ示之輪廓形狀資料的圖解慕現。 光柵輪靡的二度空間圖解視^間期間中不同時間所製造之 圖7B係為相關於相同關 , =尺寸比例表示之輪廓形狀以= :受範圍之以 圓形界線内之一組數值表- 』接又軏 r 用以寻找最相符於輸

第23頁 圖8為於本發m施例不。 1221982 圖式簡單說明 入光柵光譜資料之數據庫輪廓事件，以及評鑑一光柵之可 接受度之流程的流程圖。 圖9為於本發明之一實施例中，一導因於光柵輪廓尺 寸之偏離而用以使用輪廓分類資料發出一警示之顯示格 式。 【圖式符號說明】 10 請求裝置 20 輪廓分類系統

30 執行時間輪廓數據庫 32 輪廓A

3 3 輪廊B 34 可接受範圍的界線 35 輸入裝置 36 可接受範圍的界線 3 8 流程偏離 3 0 0 收集時間 31 0頂端寬度/底部寬度比例 320總高度/頂端寬度比例. 330頂端寬度 340輪廓標示 350輪廓圖解影像 3 6 0 警示訊息 40 輸出裝置

第24頁 1221982 圖式簡單說明 45 輪廓群集 50 分光光學度量衡裝置 60 輪廓產生器應用伺服器 76 執行時間光柵輪廓數據庫 80 輪廓評鑑器 84 輸出裝置 86 電腦 90 輪廓X 92 輪廓Y 94 輪廓Z hi 高度 h2 南度 h3 總高度 h4 總高度 P3 未達圓形頂端之高度 wl 底部寬度 w2 底部寬度

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Claims (1)

1221982

六、申請專利範圍 I 一種光栅輪廓資料的分頻方法’包含· 一 一個群 卜類方 〜類方 施空假說 類方 ’貝算法執 類方 一輪靡形 請求將一光栅輪廓資科空間予以分類，其中 廓資料空間包含光柵輪廓資料點’ 將光柵輪廓資料點分婵成為某些群集；以及 將輪廓形狀資料關連奚光柵輪廓資料點的每

2·如申請專利範圍第1項所述之光拇輪廊資料的 法，其中群集之數量係由〆自動化方法決定。 3·如申請專利範圍第2項所述之光柵輪廓資料的： 法，其中該決定群集之數f之自動化方法係由實 概念之軟體達成。 4.如申請專利範圍第1項所述之光柵輪廓資料的d 法，其中光柵輪廓資料點之分群係使用G〇nzaies 行0 5 ·如申請專利範圍第1項所述之光柵輪廓資料的 法，其中該輪廓形狀資料包含一輪廓形狀標示、 狀圖解影像與一輪廓形狀救述。 6 · —種光柵輪廓資料的分類系統，包含： 一光柵輪廓資料空間，其包含光柵輪廓資料點之； 1221982

及 一群集產生器， 其中該群集產生器於啟動後藉 該包含光柵輪廓資料點之光栅4法自 之群集’該群集產生器將：；形狀i料Ξ; 至忒複數個光柵輪廓資料點之群集之每一個群集，且該 ^ 2將相關之輪廓形狀資料連結至屬於該複數“柵 輪廓-貝料點之群集之每一個群集之光柵輪廓資料點。 ^ ·如申請專利範圍第6,項所述之光柵輪廓資料的分類系 統’更包含一請求裝置，用以請求該群集產生器基於請求 參數將該光栅輪廓資料空間予以分類。 8.如申請專利範圍第7項所述之光柵輪廓資料的分類系 統，其中該請求參數包含該複數個光柵輪廓資料點之群集 之群集數目。 9·如申請專利範圍第7項所述之光栅輪廓資料的分類系 統，其中該請求裝置利用一網路傳送請求予該群集產生 器。 1 0 ·如申請專利範圍第6項所述之光柵輪廓資料的分類系 統，其中該包含光柵輪廓資料點之光柵輪廓資料空間包含 一光栅輪廓數據庫。

第27頁 申清專利範圍 統，其利、範圍第6項所述之光柵輪廓資料的分類系 、i刀群演算法為Gonza 1 es演算法。 統，其中^圍第6項所述之光拇輪廓資料的分類系 狀圖解影d ϊ資料包含一輪廓形狀標示、-輪廓形 像興一輪廓形狀敘述。 種光柵輪廓資料的評鑑方法，包含： 庫事入光柵輪廓最相符之光栅輪摩數據 干^ τ仔取數據庫輪廓資料，· 比較存取自該光柵輪廓數據庫事欠 料與::對應用之一組輪廓資料之可接受範圍' “及… 之可資料位於針對應用之該組輪廓資料 诗齡μ 2範圍外，則為該輸入光柵輪廓設定旗標、，或如果 該數據庠輪廓資料位於針對 ^ 範圍内，^ ^ τ奵應用之忒組輪廓資料之可接受 則為该輸入光栅輪廓設定旗標。 :，如其申λ專利，13項所述之光㈣ •其中存取數據庫輪廓資料更包含· 料；處理藉由分光光學度量衡裝置所收集之光柵光譜資 筧，，一包含有經判斷為與該光柵光譜資料最相符之經 计算之光譜資料的輪廓數據庫事件； 1^· 第28頁 ^21982 六、申請專利範圍 形狀榡 使用該選定之輪廓數據庫事件之一輪廓 取相關於該輪廓形狀標示之輪廓形狀資料。 1 5 ·如申請專利範圍第1 3項所述之光栅輪廓資 法’其中該輪廓資料包含一輪廓形狀標禾、 解影像與一輪廓形狀敘述。 料的 輪摩 評 方 形狀圖 1 6 ·如申請專利範圍第1 3項所述之光柵輪廓資料的、 法’更包含顯示相關於該輸入光栅輪廓之該輪、^^^監方 標。 那貝料與旗 I 1 7 ·如申請專利範圍第丨5項所述之光柵輪廓資料的評鑑方 法，其中該輪廓形狀資料與旗標之顯示包含該選定之輪廓 數據庫事件之一輪廓影像、及/或該選定之輪廓數據庫事 件之主輪廓尺寸之一二維圖表之顯系，以及一確認相關於 該輸入光柵輪廓之該輪廓形狀資料超過針對應用之該組可 接受範圍之警示。 1 8 · —種光柵輪廓資料的評鑑系統，包含 形狀資料 輪廓群集資料庫，其係用以儲存一輪廓群集之輪廓 光譜 ί 光柵輪廓數據庫，其係用以儲存由輪廊尺寸、 資料與一輪廓標示所組成之輪廓事件；以及 料庫與 一輪廓形狀評鑑器，其係連接炱該輪鄭群”貞

第29頁 山 1982 六、申請專利範圍 該光柵輪廓數據庫， 〜輪入 輪廓資 對應用 據庫輪 夕卜，為 科位於 入光柵 其中該輪廓形狀評鏗器於啟動後自一 =栅輪廓最相符之光栅輪廟數據庫事件存取數：： 枓，該輪廓形狀評鑑器比較該數據庫輪扉資料與= ^組數據庫輪廓資料之可接受範圍，且如果嗲 2料位於針對應用之該組輪廓資料之可 二 =入光栅輪廓設定旗標，或如果該數據 · 針對應用之該組輪廓資料之可接受範圍内，^ 輪廓設定旗標。 馬°亥輪 1 9 ·如申研專利範圍第丨8項所述之光柵輪廓 統，更包含-輸出裝置’其係用以呈現顯現該4的）鑑系 數據庫事件之-輪廓形狀影像、及/或主輪‘尺：j輪廓 維圖表之輪廓評鑑顯示，及//或一確認該輪入光柵；： 過針對應用之該組輪廓資料之可接受範圍之警示。w ° 20· 一種儲存輪廓資料之資料庫格式，包含： 一輪廓光譜資料 一輪廓形狀標示 一組主輪廓尺寸 一輪廓圖解影像；以及 一輪廓敘述。 21· —種呈現光栅評鑑資料之顯示格式，包含

第30頁 山 1982 六、申請專利範圍 組光柵輪廓尺寸與自代表一光柵輪廓之該組光柵輪 廓尺1所取得之經計算之數值； :輪廊標示’其係相關於該組光柵輪廓尺寸； 一輪廊圖解影像，其係相關於該組光柵輪廓尺寸； 輪廊敛述；以及 一警示旗標。 2 ’ _種提供光柵輪廓資料分類之服務的方法，包含： 程$戶與丁賣方訂約，由用戶針對使用系統、流程與 方，i11輪f資料點所組成之輪廓資料空間分類償付賣 盥程总夕六方提供用以將輪廓資料空間分類之系統、流程 裎序之存取權以酬謝用戶之償付； 請求2:2:ΐ:t統、流程與程序之存取權，以使用 生光柵輪廓形狀Ϊ:貝：點所組成之光柵輪廊資料空間產 數量之群隼，蔣#二十對该光柵輪廓資料空間決定某一 料空間之&數量=栽^輪廊資料點分群成為該光柵輪廓資 輪廊資料點之二:；集關連至光拇 及 卡寻’驟將輪廓資料空間分類；以 由用戶或用戶之受讓人、 方或賣方之代表所提供之，二人，破授權人使用由賣 資料分類。 、、机程與程序以將光栅輪廓 腦執行一將光柵輪 23.種電腦儲存媒體，其儲存使一電 _ 第31頁 1221982 六、申請專利範圍 廓資料分類之方法之步驟的電腦可讀取程式碼，該方法包 含： 請求自一由光柵輪廓資料點所組成之光柵輪廓資料空 間產生光拇輪廊資料， 針對該光柵輪廓資料空間決定某一數量之群集； 將該光柵輪廓資料點分群成為該光柵輪廓資料空間之 該數量之群集；以及 將輪廓形狀資料關連至光柵輪廓資料點之每一個群 集。

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