TW586339B - Micro electro-mechanical system method - Google Patents

Description

586339 政、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明一般係關於微機電系統（MEMS)方法及裝置。 【先前技術】 MEMS元件及裝置在此項技術中已為吾人所熟知。對於一 般採用半導體材料及處理技術的小（僅幾微米）系統已做了大 里的工作（取得的商業突破卻極少）。最近還有人提議印刷線 路板及相應製造技術可用以實現中尺度MEMS結構（例如乃 至1〇〇微米等級）。例如，與此申請案相同的受讓人於2〇〇1 年8月14日所申請之美國專利申請案號〇9/929,75〇說明可採 用同猞度互連基板技術在一印刷線路板之背景内製造的一 微機電系統。 在孩領域需要考慮的一具體有用結構包括一懸臂樑。此 種結構可用以影響各種有用元件，例如包括射頻開關、可 交包今⑨寺。It人遺憾的是至今仍未做出能讓人接受的提 議：：現此種機構，從而使工作達到採用有機印刷線路板 及同达度互連基板技術的中尺度等級。 【發明内容】 又杜田非導電材料形 又 ΠΤ7 二 …叩刷深路板上 而至少部分由聚合物材料形成的—懸臂樑附於該支柱 該懸臂樑之—端最近或離該懸臂樑之-端最遠)，使 樑懸於該印刷線路板上。一 '^心* ^個導电表面可彼此相向β 开山』;“樑及印刷線路板上，以形成電 封閉墊及其他有用機構。 m ^ 1 84483 586339 【實施方式】 在-項具體實施例中，該懸臂樑至少具有部分聚合物材 料貫穿其整個長度。在另—項具體實施例中，㈣臂操長 度之至少一部分包括一非聚合物材料，如一導體。此等元 件可採用普通印刷線路板技術（包括高密度互連技術）形成， 以便低成本實現中尺度細猶元件。諸如射頻開關及可調電 容器之類的元件（包括高頻元件）可輕易而低價形成。下述具 體實施例將藉由說明不同開關（如射頻及天線開關）之架構說 明此等方法，但是應瞭解，此種裝置僅係用於說明之目的， 而且此等方法不以任何方式限於此種元件。 參知、附圖，具體而言參照圖丨，提供具有一聚合物載體⑺ 及一導電表面12的一印刷線路板實質上可採用任何適用材 料，包括FR-2至FR-6、聚醯亞胺、CEM]至CEM-8、(一 裱氧樹脂/玻璃纖維材料）、改性環氧樹脂、Βτ環氧樹脂、 氰酸酿、聚四氟乙缔（Teflon，即鐵氟龍）等。該導電表面12 採用傳統印刷線路板技術印刷並蝕刻，以定義並產生一第 一電容電極21及二導電線路22及23，其包括如圖2所示的射 頻開關之各極（在一具體實施例之實際工作中，此等線路U 及23當然會與其他線路及/或元件耦合，為了清楚之目的此 處並未顯示該等方面）。若需要，則該電極21可採用已知技 術打薄，以使其高度低於該等電極線路22及23(在替代方案 :’或與其結合時’該等導電線路可藉由傳統電鍍技術增 回）(這有助於確保在連接該等二電極線路22及23時該等電容 器電極不會相互接觸，此點在下文將更加清楚）（若需要，則 84483 還可在該電極21上置放一薄介電質塗層）。參照圖3，一犧 牲層3 1 (包括光成像樹脂如Probelec 8 1或可能為光成像聚醯 亞胺）置放於該載體10及該等導電元件21、22及23上，該樹 月曰3 1之一部分4丨（如圖4所示）根據所熟知的先前技術曝光於 糸外光下，以便在該樹脂3 1之大部分後來移除時形成一非 it ^ i 1' 守兒文柱。 參照圖5 ’將說明形成一懸臂樑的一第一方法。一導體 5 〇(如銅箔）採用一光成像介電質6丨（如Pr〇belec 8丨）（如圖6所 示）’至怖。如此設定組態後，該導體5 〇就當作該介電質$ 1材 料之一處理主機或載體。一所需聚合物絕緣體7丨如圖7所示 成像於該介電質61上，而且其餘介電質材料如圖8所示可移 除’以僅剩餘該聚合物絕緣體71。（該聚合物絕緣體71之形 成也可採用一適當聚合體或不銹鋼絲網印刷材料藉由絲網 .印刷方式印刷一非光成像樹脂）。該聚合物絕緣體71(以下將 更清楚）當作一合成懸臂樑長度之一結構部分，並進一步用 以電絕緣該懸臂樑上的一電容器電極與處在該光成像懸臂 樑上其他位置的一接點條（contact bar)。 參照圖9，其中與圖5至8相比該導體50顯示為顛倒狀態， 一狹槽91成像並貫穿該導體50蝕刻，而且對面的聚合物絕 緣體7 1處於一適當位置，以更好地確保該電容器電極（未在 圖中頻示）與该接點條（也未在圖中顯示）之間的電絕緣。然 後，該導體50/聚合物絕緣體71組合置放並層壓（導體5〇在下 面）至圖4之樹脂3 1表面裝配件上，如圖1 〇所示。（若需要， 該等二裝配件之精確對準可採用已知標定技術加以保證， 84483 586339 包括但不限於採用標定穿孔）。如此設定組態後，該聚合物 絕緣體71定位於該電容器電極2 1及該等電極線路22及23 上，該等線路原先形成於該聚合物載體1 〇上，而此時在該 方法中置放於該樹脂3 1内。 然後採用傳統印刷、钱刻及剝離步驟以從該導體5 0上定 義並形成一電容器電極112、一接點條11丨及一或多個懸臂 樑元件113，在該具體實施例中，該等懸臂樑元件耦合該電 么電極112與該支柱41。若需要，則該導體5 〇可在實施該等 步驟前打薄，以提供一具有適當薄度的材料（薄型材料，具 體而言在該懸臂樑區域113内，一般需要確保懸臂樑可相對 於支柱4 1輕易移動）。如圖11所示，該聚合物絕緣體7丨實體 上輕合該電容器電極112與該接點條π 1，因此其組成該懸 臂樑總長之一部分，該懸臂樑從支柱41延伸至該接點條 Π 1。還可看出，此相同聚合物絕緣體7丨電絕緣該電容器電 極112與該接點條111。 然後，該整個結構經過加熱，以聚合該支柱4 1，而且該 剩餘犧牲樹脂3 1接著採用傳統技術移除，以產生如圖丨2所 示的結構。在此項具體實施例中，該合成結構具有一非導 電支柱41，其支撐由導電部分（113及112)及一聚合部分71所 組成之樑。該懸臂樑懸於該印刷線路板上，使該懸臂樑上 的電容器電極112與該載體1 〇上的該電容器電極2 1實質上相 向而配置；而且在該懸臂樑上的接點條1丨丨與該載體10上的 電極線路22及23實質上相向而配置。如此設定組態的該電 容器可受到控制（藉由控制線路，為了更清楚顯示上述結構 84483 而未在圖中顯示該等控制線路）以引起該懸臂樑朝該載體10 彎曲，因而使該接點條111橋接該等二電極線路22及23，從 而使開關閉合。同樣地，上述做法可反過來以將該懸臂樑 從該載體1 〇移開’從而切斷該開關接觸。 元件（如上述該元件）可採用所引用的已知技術按25至5〇微 米或稍大之尺度而輕易形成。這大於傳統矽基MEMS尺度元 件，但是同其他可由此方法替代的分立組件相比仍很小（而 且很便宜）。採用上述方法製造的元件經過大量彎曲運動證 實還具有回彈性而且堅固耐用。此外具體而言，用以形成 如上所述的一射頻開關時，高頻信號可進行很好的調節， 以便在該等射頻信號與該等直流控制信號之間具有良好絕 緣。 如上所述，孩懸臂樑包括如引用數位丨丨3所述導電材料之 二狹窄線性部分。亦可使用其他替代方案。例#，僅一單 H泉f生#刀可對木些應用有效’而其他應用則可能得益 於=或多個此類線性部分。參照圖13，也可以採用非線性 邛刀1 3 1。事貝上，因為具有更好的回彈性，所以較佳具體 貫施例將可能包括-或多個此類非線性部分。如上所述， 可以採用-較簡單的非線性蜿蜒模式。其他模式當然也可 以考慮，包括形成於三或更多獨立懸臂樑區内内的模式。 八上述具體實施例#_導體用作該合成懸臂樑長度之一部 :。若需要，則該懸臂操可在結構上由聚合物材料組成其 長度W如，參照圖14，一光成像介電質142塗佈於包 套—導體14U在該具體實施例中也為㈣）的—處理主機上 84483 586339 :且標準處理技術用以定義—懸臂樑區域143。移除周園聚 。物2料142，以形成一合成懸臂樑151，如圖15所示其包 、K S物材料142及该導體14 1。還可触刻或鑽出一通道 152(該通道將最終提供要形成於該懸臂樑151上的一電容= 板與邊懸臂樑151之對面上的導體之間的—電連結）。圖中 僅顯示一通道152，但是其他通道只要適合於該應用則當蚨 也可以採用。 田…、 參照圖1 6，導電材料係選擇性沈積於該懸臂樑1 5 1上，以 形成:電容器板161及一接點條162。或者，導電材料可電 鍍在占懸臂樑丄5 i之整個部分或大部分上，然後選擇性移除 以形成此等特徵。接著進行以上根據圖1()所說明的層壓。 參照圖17,見該懸臂樑151之對面’該原始導體材料ΐ4ι 經過成像並蝕刻，以形成一控制表面及一控制線路172。後 者將允許直流控制電壓施加於該電容器電極161，因而方便 上所述懸臂樑151之控制，以便在該懸臂樑151附於上述一 支柱後，即可連接及切斷開關與該接點條162。例如，如圖 12所示，該懸臂樑15 1可附著並懸空。 如此設定組態後，可實現由聚合物材料組成其整個長度 的一懸臂樑，其可用於某些應用中。 參照圖18，將說明包括一單刀雙擲開關的另一項示範性 具體實施例。如上所述，一懸臂樑結構可採用層壓方法形 成。在此項具體實施例中，該懸臂樑包括一主體部分ΐ8ι， 其具有延伸部分184及185配置於其各端。在此項具體實施 例中，該主體部分181本身有效包括—導體（如銅），而且具 84483 -11 - 586339 有一長度約100密耳，一寬度約60密耳及一厚度約〇·8密耳。 該等延伸部分184及185可由聚合物材料組成，而且可以具 有一寬度約20密耳，並延伸超出該主體部分181之端部約2〇 密耳。一導體186及187(如銅）分別配置於該等延伸部分184 及185上，以當作一開關接觸表面，以下對此將作更詳細的 說明。 在此項具體實施例中該主體部分181還包括自其橫向延伸 的二扭轉樞軸部件182及183。在此項具體實施例中，此等 扭轉樞軸部件182及183由與該主體部分ΐ8ι相同的材料組 成’而且事實上係與其整合。此等扭轉樞軸部件182及in 用以從機械上將該懸臂樑朝一特定方向偏轉，以下將對此 作更詳細的說明。但是同時若該偏轉並不非常有力，則回 應時間、所需驅動電壓及其他重要設計標準都會得到很好 的滿足。因此，在一項較佳具體實施例中，為在一相對較 大的區域内分配該扭轉力，該等扭轉樞軸部件182及⑻均 足形為一碗蜒組態。此種組態尤其有利，部分是因為該合 成邵件之整體勁度因數可藉由改變該長度、寬度及厚度之 任：個而輕易調整。用於相同端的其他組態若需要而且適 合於一特定應用則當然也可以採用。 參照圖19’此項具體實施例還提供一印刷線路板10，其 上面具有各種特徵。具體而言，一導電控制表面⑼係配置 此處該控制表面將適當放置，以吸引因而影 曰樑，以下將對此作更詳細的說明。此項具體實施 例-包括由非導電聚合物材料所組成的二支柱ΐ9ι及Μ以 84483 -12- 586339 及二對導電線路196/1 97及194/195，每對都包括一連續裂 縫，使電流無法通過。該等導電線路對之一 194/1 95相對較 居（例如厚度約為2 · 0密耳），而該剩餘對導電線路1 96/1 97相 對較薄（例如厚度約為1 ·〇密耳）。該厚度差異之目的將在以 下作更清楚的說明。（應瞭解還有其他方法來達到該高度差 異。例如，該等導電線路之厚度可相等，但是其中之一可 配置在非導電材料之凸起邵分的頂上）。 參照圖20，如圖1 8所述的懸臂樑結構經過顛倒並配置在 如圖19所述的印刷線路板結構上，以便該等非導電支柱i9i 及192支撐該等二扭轉樞軸部件ι82及ι83之端部（在一項較 佳具fa貫施例中，該等支柱及樞軸部件採用適當的層壓技 術或其他適用的固定及/或吸引方法而彼此附著）。如此設定 組態後，該懸臂樑便在二方向上相對於所形成的樞軸配置 並懸於該印刷線路板上。 具體而言，該導電控制表面i 93係配置於該懸臂樑之主體 部分181下，二者之間的間隔約為〇 8密耳。此外，該等開 關接觸表面之一 187配置於該等導電線路之一對中的該連婧 裂缝上並進一步實體並電接觸組成該導電線路對的該等線 路194及195(此定位從圖22看也許更清楚）。如此橋接該連續 裂缝，電流便可輕易從一線路丨94流向另一線路1 95。相反 地，當該剩餘開關接觸表面186對應該剩餘導電線路對 及197也配置於該連續裂縫上時，該剩餘開關接觸表面us 並不實體接觸該等導電線路196及197本身因為該等導電線 路196及197相對較薄。在此項具體實施例中，該等導*表 84483 -13- 586339 面彼此分開約0.8密耳。因此該開關接觸表面1 86此時並不 橋接該連續裂缝（從圖2 1看這可能更清楚）。因此該第二導電 線路對196/197表現為一斷路。 如此設定組悲後，在一第一操作模式中，當該導電控制 表面193未通電，因此該元件實際上處於休眠狀態時，該等 扭轉樞軸邵件1 82及1 83將推動該懸臂樑向右轉動（如此等圖 式所示），以便該第一對導電線路194/195將採用該對應的開 關接觸表面187橋接其連續裂缝。相反地，在一第二操作模 式中當該導電控制表面193通電時，該控制表面193將吸引 該懸臂樑之主體部分181，因而引起該懸臂樑對抗該等扭轉 樞軸邵件182及183之機械扭轉，並轉動直至該反向連續 缝已藉由該對應開關接觸表面186橋接。同時，該第一開關 接觸表面187將移除與對應的導電線路194及195之實體接 觸，從而斷開該連續裂縫。 如此設定組態後，當„、、塔於# μ _ ’原k唬供給該寺二導電線路丨94及

19 6而且該等剩餘導電繞跋1 Q 泉路195及197分別與單獨的輸出核合 時便獲得一單刀雙擲開關。 4開關可用作一天線開關以使 一天線可在一發射哭血_拉 口口 /、接收器之間有選擇性地切換。此 等相同基本概念當然也可用 ^ 奋又疋其他開關的組態。例如， 上述開關可如圖23所述進杆你并 列如 >改’使二開關接觸表面23 1及 232足位於該懸臂樑之—业 衣四dl及 用#分上，從而分別一 對導電線路233及234以及—松 问妾弟一 弟二對導電線路235及。户 用該方式便輕易獲得一雙 36知 以設定具有其他對稱方式& p ^ 休用此寺原理 式的開關之組態。例如，若需要則 84483 -14- 586339 式形成，以便該開關在該轉動懸 。如此設定組態後，便可輕易提 -關及關-開）的開關。 一開關可採用雙面對稱方 臂樑之雙面都實質上相同 供具有三種狀態（關-關、開 /悉技術人士應瞭解’上述各種具體實施例可進行各種 變更、修改及組合n ’除上述射頻開關以外的許多其 他元件（包括如-可變電容器）可採用如此形成的懸臂揉而形 成邊等笑更、修改及组合不再說明，因為其超出本發明 之適當範疇。 【圖式簡單說明】 此而要及其他需要係實質上藉由提供本文所述的微機電 系統方法而達到。完全查看並研究以上說明後，尤其是當 結合附圖時，此好處及其他好處將更加清楚，其中： 圖1至4包括說明一第一具體實施例之一部分的系列描 述； 圖5至12包括說明一第一具體實施例之一附加部分的系列 描述； 圖13包括說明另一具體實施例之一詳細頂視平面圖； 圖14至17包括說明一第二具體實施例的系列描述； 圖1 8至22包括說明另一具體實施例的系列描述；及 圖23包括另一具體實施例之一透視詳圖。 熟悉技術人士應明白圖中的元件是為簡化及清楚之目的 而說明’並不一定按照比例繪製。例如，相對於其他元件， 圖中部分元件的尺寸可能過度放大，以利於更容易瞭解本 發明之各種具體實施例。此外，部分共同元件可能因保持 84483 -15 - 586339 重點及清楚之目的而未顯示。 【圖式代表符號說明】 10 載體 12 導電表面 21 電容器電極 22 線路 23 線路 31 犧牲層 41 部分 50 導體 61 介電質 71 絕緣體 91 狹槽 111 接點條 112 電容器電極 113 懸臂樑元件 131 非線性部分 141 導體 142 介電質 143 懸臂樣區域 151 懸臂樑 152 通道 161 電容器板 162 接點條 84483 - 586339 172 控制線路 181 主體部分 182 扭力樞軸部件 183 扭力樞軸部件 184 延伸部分 185 延伸部分 186 導體 187 導體 191 支柱 192 支柱 193 導電控制表面 194/195 一對導電線路 196/197 一對導電線路 231 開關接觸表面 232 開關接觸表面 233/234 第一對導電線路 235/236 第二對導電線路 84483 -17

Claims (1)

1. 586339 修正 ^ 092107385號專利申請案 肀文申請專利範圍替換本(93年2月） 拾、申請專利範園： —種用以形成-微機電系統裝置之方法，其包括： -提供至少部分包括聚合物材料的一印刷線路板； -形成一非導電支柱於該印刷線路板上，· -形成至少邵分為聚合物材料的一懸臂樑； -將孩懸臂樑附於該非導電支柱，使該懸臂樑懸於該印 刷線路板上。 2.如中請專利範圍第β之方法，且進—步包括形成至少一開

   豐攀 式信號線路於該印刷線路板上。 || 3·如申清專利1巳圍第2項之方法，其中形成至少部分為聚合物 |条 #料的-懸臂樑，其包括形成至少部分為聚合物材料且包 I；3 括一導電部分的一懸臂樑。 S年 1¾ 4·如申請專利範圍第3項之方法，其中將該懸臂樑附於該非導 私支枉，使該懸臂樑懸於該印刷線路板上，其包括將該懸 臂樑附於孩非導電支柱，而使該懸臂樑懸於該印刷線路板 ^ 上，且使該懸臂樑之該導電部分與該開式信號線路相向而

   配置於該印刷線路板上。 5 ·如申請專利範圍第1項之方法，且進一步包括形成一導電表 面於該印刷線路板上，且其中： -形成至少邵分為聚合物材料的一懸臂樑，其包括形成 至少部分為聚合物材料且包括一導電部分的一懸臂樑；及 -將該懸臂樑附於該非導電支柱，使該懸臂樑懸於該印 刷線路板上，其包括將該懸臂樑附於該非導電支柱，使該 懸臂樑懸於該印刷線路板上，且使該懸臂樑之導電部分與 84483-930217.doc 成導包表面貫質上相向而配置於該印刷線路板上。 6·:申請專利第丨項之方*，且進一步包括形成1 — 兒表面及-第二導電表面於該印刷線路板上，且其中.導 -形成至少邵分為聚合物材料的一懸臂樑，其包捂來、 至少邵分為聚合物材料，且包括一第一導電部分及〜第成 導電部分之懸臂樑；及 苹二 -將孩懸臂樑附於該非導電支柱，使該懸臂樑懸於兮芒 刷線路板上，其包括將該懸臂樑附於該非導電支柱，使Z 懸臂樑懸於該印刷線路板上，且使該懸臂樑之該第—導兩 邵分與該第一導電表面實質上相向而配置於該印刷線路板 上’該懸臂樑之該第二導電部分與該第二導電表面實質上 相向而配置於該印刷線路板上。 7 ·如申請專利範圍第1項之方法，其中形成至少部分為聚合物 材料的一懸臂棣包括形成具有一長度的一懸臂樑，該長度 包括聚合物材料之一鄰近部分。 8·如申請專利範圍第1項之方法，其中形成具有包括聚合物材 料之一鄰近部分的一長度之一懸臂樑包括形成具有一長度 的一懸臂樑，該長度包栝聚合物材料之一鄰近部分及一導 電材料，該導電材料從該懸臂樑之最近的一第〜端配置旅 至少部分沿該懸臂樑之該長度延伸。 9·如申請專利範圍第1項之方法，其中形成至少部分為聚合物 材料的一懸臂樑包括形成具有一長度的一懸臂樑，其中該 長度之一部分包括該聚合物材料，而且該長度之一部分包 括一不同材料。 84483-930217.doc 10.如申請專利範圍第9項之方法，其中形成具有一長度的一 懸臂樑，其中該長度之一部 、 刀匕括邊永合物材料，且該長 =之一部分包括一不同材料’包括形成具有-長度的^懸 S樑，其中該長度之一部分 、 ^ 匕括这永a物材料而且該長度 <一邵分包括一導電金屬。 Π.如專利範圍第啊之方法，其中形成具有其長度包括 導％金屬足一邵分的一懸臂樑，其 包括複數個導電金屬懸臂樑之-部分的—懸臂揉 12.如申請專利範圍第u項之方$，其中形成具有其長度包括 複數個導電金屬懸臂樣之—部分的一懸臂樑，其包括形成 具有其長度包括複數個導電金屬懸臂揉之—部分的一縣臂 操，其中該等導電金屬懸臂樣之至少一個具有至少一部分 係由一非線性方法成形。 13·如申請專利範圍第丨項之方法，其中將該懸臂樑附於該非 導電支柱，其包括將該懸臂樑之一最接近端附於該非導電 支柱。 其中將該懸臂樑附於該非 一較遠端附於該非導電支 14.如申請專利範圍第丨項之方法， 導電支柱，其包括將該懸臂樑之 柱0 15.如申叫專利範圍第14項之方》去，其中形成一懸臂樣包括形 成具有至少一扭轉樞軸部件的一懸臂樑。 16·如申叫專利範圍第15項之方法，其中形成具有至少—扭轉 框轴邵件的一懸臂樑包括形成具有至卜扭轉樞軸部件的 懸身樑’其中該扭轉樞軸部件之至少一部分具有—畹蜒 84483-9302l7.doc 586339 17括如申請專利範圍第15項之方法，其中形成-非導電支柱, 括形成至少二非導電支柱於該印刷線路板之上。 18.如申請專利範圍第1?項之 ”中將该懸臂樑附於該非 導廷支柱包括將該懸臂樑附於該等至少二非導電支柱之至 少二個。 b.—種形成一有機微機電系統裝置之方法，其包括： -提供至少部分包括聚合物材料的_印刷線：板；

   -沈積一聚合物材料於該印刷線路板上； •部分固化該聚合物材料之-第-部分於該印刷線路板 上； -姓刻該聚合物材料之至少某些未固化部分於該印刷線 路板上，以形成一非導電支柱於該印刷線路板上； -形成至少邵分為聚合物材料的一懸臂樑； -將忒懸才樑附於該非導電支柱上，使該懸臂樑懸於該 印刷線路板上。 20.如申請專利範圍第19項之方法，且進一步包括形成至少一 開式信號線路於該印刷線路板上，且其中： -开> 成至！/邛分為聚合物材料的一懸臂樑，其包括形成 至少部分為聚合物材料的一懸臂樑，且其包括一導電部分； -將該懸臂樑附於該非導電支柱，使該懸臂樑懸於該印 刷線路板上包括將該懸臂樑附於該非導電支柱，使該懸臂 樑懸於該印刷線路板上，並使該懸臂樑之該導電部分與該 84483-930217.doc -4- 586339 開式信號線路相向而配置於該印刷線路板上。 21·如申請專利範㈣19項之方法，且進—步包括： -沈積一導體於該印刷線路板上；及 -蝕刻該導體之至少，分從 該印刷線路板上； 4 ^表面區域於 以及其中： •形成至少部分為聚合物材料的_懸臂樑，其包 至少部分為聚合物材料且包括—導電部分之—懸臂樣；及 -將該懸臂樑附於該非導電支柱，使該懸臂樑懸於該印φ 刷線路板上包括將該懸臂樑附於該非導電支柱，使該懸臂 樑懸於該印刷線路板上，並使該懸臂樑之該導電部分與該 導電表面區域實質上相向而配置於該印刷線路板上。— 22.—種形成一有機微機電系統裝置之方法，其包括： . _ k供至少邵分包括聚合物材料的一印刷線路板； -形成一非導電支柱於該印刷線路板上； -提供一導電金屬載體； -採用一聚合物塗佈該導電金屬載體之至少一部分； -固化在該導金屬載體上的該聚合物之至少一部分以定 義一懸臂樑之至少一部分； . -將該聚合物之至少一部分從該導電金屬載體上蚀刻 掉，以形成至少部分包括該聚合物的一懸臂樑； -將該懸臂樑附於該非導電支柱上； -移除該聚合物之至少一部分，使該懸臂樑懸於該印刷 線路板上。 84483-930217.doc 586339 23·如申請專利範圍第22項之方法，其中固化在該導電金屬載 體上的該聚合物之至少一部分，以定義一懸臂樑之至少一 部分包括固化在該導電金屬載體上的該聚合物之至少一部 分以定義該懸臂樑。 24·如申請專利範圍第23項之方法，且進一步包括·· -沈積導電金屬於該導電金屬載體上的該聚合物之至少 一部分上。 25.如申請專利範圍第24項之方法，且進一步包括： -經由該懸臂樑形成至少一導電通道，以電連接所沈積 的該導電金屬之至少一部分與該導電金屬載體之至少一部 分。 26·如申請專利範圍第24項之方法，且進一步包括： -將該導電金屬載體之一部分姓刻掉，以僅剩餘該導電 金屬載體之一部分於該懸臂樑上。 27.如申請專利範圍第26項之方法，其中將該懸臂樑附於該非 導電支柱，使該懸臂樑懸於該印刷線路板上之步驟包括將 該懸臂樑附於該非導電支柱，使該懸臂樑懸於該印刷線路 板上，並使在該懸臂樑上該導電金屬載體之該部分移離該 印刷線路板。 2 8 ·如申請專利範圍第2 6項之方法，其中將該懸臂樑附於該非 導電支柱，以便該懸臂樑懸於該印刷線路板上之步驟包栝 將該懸臂樑附於該非導電支柱，以便該懸臂樑懸於該印刷 線路板上，及以便在該懸臂樑上的該導電金屬載體之該部 分移向該印刷線路板。 84483-930217.doc 586339 29·如申請專利範圍第22項之方法，其中固化在該導電金屬載 體上的該聚合物之至少一部分，以定義一懸臂樑之至少一 部分包括固化在該導電金屬載體上的該聚合物之至少一部 分’以提供定義該懸臂樑之僅僅一部分的已固化聚合物。 3 0·如申請專利範圍第29項之方法，且進一步包括移除最接近 該已固化聚合物的該導電金屬載體之一部分。 3 1 ·如申請專利範圍第30項之方法，且進一步包括蝕刻該導電 金屬載體從而形成該懸臂樑之一剩餘部分。 32·如申請專利範圍第3丨項之方法，其中將該懸臂樑附於該非 導電支柱，以便該懸臂樑懸於該印刷線路板上，包括將包 括違導電金屬載體的該懸臂樑之該剩餘部分附於該非導電 支柱，以便包括該已固化聚合物的該懸臂樑之一部分懸於 該印刷線路板上。 33· —種中尺度開關，其包括： -一印刷線路板，其至少部分包括聚合物材料； -至少二非導電支柱，其配置於該印刷線路板上； 導電控制表面，其配置於該印刷線路板上； -複數個導電線路，配置於該印刷線路板上，其中該等 導電線路之至少二個具有一連續裂縫； -一懸臂樑，包括： -一主體，其具有一第一及第二扭轉樞軸配置於其任 一面上，該第一扭轉樞軸係配置於該等非導電支柱之一 個的頂上，而泫第一扭轉樞軸係配置於該等非導電支柱 之另一個的頂上； 84483-930217.doc 586339 一一第一導電部分，其至少部分與該導電控制表面相 向而配置； -一第二導電部分，其至少部分與在該等導電線路之 一第一個中的該連續裂缝相向而配置；及 -一第三導電部分，其至少部分與在該等導電線路之 ，一第二個中的該連績裂缝相向而配置； 其中該等第一及第二扭轉樞軸偏轉該懸臂樑以便·· -在該導電控制表面不通電時保持靜止，該第二導電 部分實體及電橋接在該等導電線路之該第一個中的該 連續裂缝，而且該第三導電部分並不實體及電橋接在該 等導電線路之該第二個中的該連續裂縫；及 -在該導電控制表面不通電時保持靜止，該第三導電 部分實體及電橋接在該等導電線路之該第二個中的該 連續裂縫，而且該第二導電部分並不實體及電橋接在該 等導電線路之該第一個中的該連續裂縫。 34. 如申請專利範圍第33項之中尺度開關，其中該等第一及第 二扭轉樞抽之至少一邵分具有一蜿挺形狀。 35. —種中尺度開關，其包括： -至少一第一導電線路，其具有形成於其中的一連續裂 缝； -具有一電導體的一樞軸懸臂樑，該導體至少部分與該 第一導電線路之該連續裂缝相向而配置，其中該電導體在 一第一操作模式中係採用機械方式朝著關於該連續裂缝的 一第一部分推進，而在一第二操作模式中係採用電方式朝 著關於該連續裂缝的一第二位置推進。 84483-930217.doc 586339 第、092107385號專利申請案 中文圖式替換頁(93年2月）

   煩-fil·、· erl 貨听提^! 5#''JF.4^·/—！Λ,, 乂 Γί^γρ 修Άβ

   圖17 586339 第092107385號專利申請案 中文圖式替換頁(93年2月）

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