TW524996B - Optical filter assembly and the method of stabilizing the filtering characteristics of the interference filter - Google Patents

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524996 A7 B7 五、發明説明（f ) Μ濟部中央標準局員工消費合作社印製 發明領域： 本發明係關於光學濾波器，特別是關於溫度補償光學 濾波器組件，其具有触干麵、波:纽件沉積在上面。 先前技術說明： 光學濾波裔通常使用於科學以及工業界，其依據頻率 4擇性地衰減光學訊號。例如，沿著單—光纖傳送具有一 組多個分$多玉光學訊號之通訊系統通常依靠光學渡波器 將傳送訊鮮:Mb。_地，鱗濾、波器使用絲減或反 射所有但是狹窄之歸，财稱騎賴娜，其能夠使相 關頻率分量由被傳送光學訊號隔離出，使得被隔離頻率分 里運載之資訊能夠以非干涉方式處理。 -般光學濾波|§組件包含麵基質，干涉濾波器沉積 於玻璃基質以及支撐基質之支座上。特継，玻璃基質結 構性支撑干涉濾波n包含_㈣個_以層狀地沉積於玻 璃基質上。除此，支座連結玻璃基質另外一個表面，其中兩 個表面在相對兩側。 當導引輸入寬廣頻帶光學訊號入射於干涉濾波器時， 干涉濾波為藉由利用已知反射，繞射，以及干涉原理選擇性 地將訊號衰減。特職，t訊號在每—層干涉濾波器產生 反射以及折射時輸人訊號初始地細分為多個寬廣頻帶組成 份。因而，每一組成份沿著獨特光學路徑長度運行，其界定 為實際，《度乘崎射介質之折料，使得每—組成份 頻率分i產生與相位相關之頻率變化。除此，在濾波器折 射介質内運行經過不同白勺光學路徑長度後，t終離開最後 本紙張尺度適财酬家轉 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部中央標準局0貝工消費合作社印製 524996 A7 ___ ____ B7 五、發明説明（η) 廣之次組祕財料«再讀以產生透誠波輸出訊號 。同樣地，關最前面層練再錢職反雌波輸出訊 號。 因而，濾、波相由干涉驗酶—薄麟射率以及厚度 以及輸入訊號相對於干涉濾波n之人射角度決定出。因而 使用干涉滤波器以目視地進行任何特定濾波操作，例如為 帶通渡波帶排斥濾波n，其使用具有適當折射率之適 當尺寸薄膜。除此，干涉濾波器能夠操作作為反射裝置以 及傳送裝置使得反射及傳送訊號能夠彼此互補。 不過，已知光學濾波器組件通常對溫度變化相當靈敏 。特別是，由於溫度變化將改變薄膜特性，薄膜厚度以及折 射率通常隨著溫度而改變。除此，由於玻璃基質以及干涉 濾波器通常具有不同的熱膨脹係數，玻璃基質通常施加熱 不相匹配應力於沉積薄膜上，其通常促使薄膜厚度產生與 溫度相關之變化。由於濾波特性決定於薄膜厚度以及折射 率，溫度變化通常改變濾波器之濾波特性。 因而，與溫度相關之濾波器組件限制依靠該裝置之光 學系統性能。特別是，已知的濾波組件與溫度相關之濾波 特性限制傳送具有第一頻率範圍之訊號能力，同時衰減或 反射另外一個具有第二頻率範圍之訊號。由於這些裝置通 常置於改變溫度條件之環境，其在光學系統設計為需要的， 該系統使用該裝置以補償先前溫度相關性。 例如，在先螂所提及多工光纖通訊系統情況下，傳送訊 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) M規格（210><297公釐） I -----010------"、訂------·· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 524996 A7 ------：_ B7 五、發明説明（2> 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 所需要間距為相當大以配合據波組件溫 又相關之^特性。由於能朗時地沿著單—光纖傳送訊 號之取大數目錢地躲小鮮間_ 滤波器組件同樣地限制同一時間訊號之數目 傳送通過光纖線纜。 、-般業界減小先前溫度相關問題所使用之方式為沉積 干f濾波n於補償綱基質。制地，選擇玻絲質材料 使得由基冑&加於薄膜上不相匹配熱應力導致改變薄膜厚 度使得濾波减波雜對溫度變化具錄小$敏性。不過 ，雖然該方式制來減小與溫度侧之濾波特性，實質上通 常保持為熱相關性。除此，纟於補償玻璃基質通常由相當 昂貴玻璃材料所構成，該光學濾波器製造費用相當昂貴。 因而由先前說明，人們了解存在具有頻譜效應之光學 濾、波為需求，該頻譜效應較不受到溫度變化影響。關於該 方面，存在光學濾波器組件之需求，其能夠更進一步減小濾 波裔光學路徑長度因溫度引起之變化。亦需要簡單方式掣 造裝置，其製造費用較為便宜。除此，亦存在一項需求能^ 較小尺寸製造出以及使用於受空間限制之光纖系統中。 發明大要： 先前所提及之需求能夠由本發明之光學裝置加以滿足 。依據本發明一項，光學裝置包含光學透射性基質，支座， 以及干涉濾波器沉積於基質表面上以及黏附至支座表面。 選擇基質及支座具有不同的熱膨脹係數以在一個溫度範圍 施加補償應力於濾波器上。在一項實施例中，固定器以及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ΦΦ ——丨11! 524996

五、發明説明（士） 經濟部中央標準局β；工消費合作社印製 if Z由黏__在—起，該黏接劑部份地隔離渡波 為免由於支座隨著溫度變化產生尺寸變化所導致之應力 。在另外—項實施例中，濾波器由多層電/磁致伸縮材料所 構成。 〜本發明另外一項包括光學裝置，其包含輸入端淳以沿 者光線路徑接收光線以及干涉濾波器由·級伸縮材料 所構成。濾波器位於該路徑中使得光線投射於該層上。更 進步包含電/磁場產生器以施加電/磁場至該材料。優先 地，包含一個控制器以控制電/磁場產生器。 本發明另外一項包含一種穩定干涉濾波器濾波特性之 方法。該方法包含施加一組多個與溫度相關之應力於干涉 濾波器以減小干涉濾波器隨著溫度變化產生之偏差偏離所 需要濾波特性。 在一項實施例中，穩定干涉濾波器濾波特性之方法包 含產生一組多個機械相關之應力。在另外一個實施例中 方法更進一步包含使用電/磁場產生至少一組應力。 優先實施例之光學裝置過濾輸入光學訊號使得濾波特 性貫質上不受溫度影響。優先實施例之這些以及其他優點 將隨著附圖詳細加以說明。 附圖簡單說明： 第一圖A(圖1A)為本發明實施例溫度補償濾波組件之 側視圖。 第一圖B(圖1B)為本發明實施例溫度補償濾波組件之 側視圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I ·1#! (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) '11 524996 A7 B7 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 五'發明説明（ς) 第二圖（圖2)為本發明使用電/磁致伸縮材料實施例之 濾波組件側視圖。 第三圖（圖3)為使用圖ία及2濾波組件之光纖連接組件 側視圖。 第四圖（圖4)為本發明實施例之濾波組件側視圖，其包 含主動性應力管理控制系統。 第五圖（圖5)為方塊圖，其示意性地顯示圖4濾波組件 之控制系統。 附圖元件數字符號說明： 光學裝置30;輸入訊號32;支座34;裝置表面36;基 貝40;基質第一及第二表面42, 44;干涉濾波器46;輸出 訊號54;薄膜層60, 62, 64, 66;開孔68;黏接劑70;光學 裝置130;支座134;干涉濾波器146;干涉濾波器16〇^占 接劑170;電/磁場180;電/磁場產生器182;控制系統…. 184;控制器186;溫度感測器188;光纖濾、波裝置19〇;輸 入訊號191;光線導引器192;輸出訊號193;光線導弓j = 194;陡度折射率透鏡195;第—光纖196;陡度折射率透鏡 197;第二光纖198;中央區域199;内部外殼構件2〇〇;外 部外殼構件202;光學裝置230;支座234;基質240;第一 表面242;干涉濾波器246;輸入裝置248;電/磁場28〇· 電/磁場產生杰281，282;控制系統284;控制器286·⑽诗 感測器288。 w殿度 詳細說明： 現在參考附圖，其中相同數字表示相同的零件 特別 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（2丨〇)<297公釐） 524996 A7 B7 7 五 發明説明（b) 地，圖1A顯示光學震置3〇,其提供改善渡 =:地’裝置3_性地依據頻譜相關衰減二度得當裝置3〇產生溫度變化時衰減曲線保 持為未改k。如底下詳細說明，藉由施加第—及第二熱不 相匹配應力於光學|謂之干涉毅_上提供改善之熱補償。 "' 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 如圖1A所示，光學裝置3〇包含具有裝置表面36之固定 器，光學透_質具有姆之第—及第二表面4級44，以及 干涉濾波器46位於基質4〇與支座34之間。基質4〇第一表 面42作為輸入端埠使得進入其中光線藉由光學裝置3〇選擇 性地哀減σ長:供光學裝置3〇部份濾波能力之干涉濾波器46 >儿積於基貝40第一表面44上以及黏附性地黏附至支座34按 裝表面36將基質40與支座連結。因而，如底下詳細說明，與 溫度相關第一及第二熱不相匹配應力分別地由基質3〇以及 支座34施加於干涉濾波器。 如圖1Α所示，光學裝置30優先地放置在基質4〇第一表 面42處以接收輸入光學訊號，使得輸入訊號沿著垂直於表 面42—條路徑投射於第一表面42上。輸入訊號32再通過基 質40以及在第二表面44處離開基質40。輸入訊號32再進入 干涉濾波器46,其中輸入訊號32再轉變為反射輸出訊號(並 未顯示出），其再回到基質40以及透射輸出訊號54,其由基 質40離開。 不過，人們了解光學裝置30假如旋轉180度將以相同方 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2l〇x 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) i-i·· mu--IT 1·11 «ϋϋ 、言 I#—· 524996 Α7 Β7 五'發明説明（η ) 式發輝功能。特別地，放置光學裝置3〇使得具有與圖丨八輸 入訊號32相反方向之輸入光學訊號在進入基質4〇前直接地 投射於干涉濾波器46上。因而，在另外一項構造中反射輸 出訊號將導引離開基質40以及透射輸出訊號進入基質。 如圖1Α所示，形成支座34具有開孔68,其由裝置表面36 延伸能夠使輸出訊號54通過，如圖1Α虛線所示。除此，固定 為3 4能夠旋轉地按裝於任何適當結構以提供一種調整光學 裝置30頻譜效應之方法。 如圖1Β所示，干涉濾波器46由一組多個光學透射性薄 膜層60所構成，其以先前熟知方式沉積於光學透射性基質 40上。特別地，一組多個薄膜層6〇包含前端薄膜層62沉積 於基質40第二表面44上，後端薄膜層64沉積於前端層62遠 側上，以及内側薄膜層66沉積於其中。除此，由於基質4〇以 及渡波恭46具有不同的熱膨脹係數，第一熱不相匹配應力 藉由基質40施加於濾波器62前端層上。 如圖1Α及1Β所示，黏接劑層7〇滿溢地置於干涉濾波器 46後端層64以及支座34按裝表面36之間。特別地，選擇黏 接劑層70以固定地將干涉濾波器46與支座34連結。因而 由於支座34熱膨脹係數與濾波器46熱膨脹係數不同，支座 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 間接地經由黏接劑7 〇施加第二熱不相匹配應力於濾波器 46後端層64上。 如先前所說明，一些先前干涉濾波器藉由支撐基質改 變施加於渡波器上之單一熱不相匹配應力達成一些溫度補 償使得濾波器光學路徑熱引起之變化將減小。不過，此要 本紙張尺度適财關家標準（CNS ) Α4規格（21GX297公釐） 524996 A7 ______ B7 五、發明説明（义） 經濟部中央標準局e貝工消費合作社印製 求基質由具有狹窄範圍熱膨脹係數材料所搆成。因而該 方法通常產生不充份溫度補償以及通常要求基質由相者 宜材料所構成。 不過，在優先地改善熱補償藉由施加第二不相匹配應 力以及第一不相匹配應力達成。特別地，改變裝置3〇使得 第二不相匹配應力更進一步改變濾波器46薄膜6〇厚度以1 進一步減小薄膜60光學路徑長度熱引起之變化。因而第 二應力產生額外的自由度能夠使裝置3〇由較為狹窄範圍之 熱膨脹係數形成，因而能夠使裝置30以較低價袼製造出。 在-項實施例中，支座34由-種材料所構成，其熱膨脹 係數使支座34隨著溫度改變產生適當尺寸之變化。除此 第二應力經由黏接劑70形成，黏接劑7〇物理尺寸以及彈性 特性亦決定出第二應力大小。因而，例如高彈性厚度黏接 劑70亦產生相當小第二應力而施加於濾波器奶上，因而非 彈性薄黏接劑產生相當大之第二應力。因而，藉由形成支 座34具有適當熱膨脹係數及藉由形成黏接劑7〇胃具有適當厚 度以及彈性模式，支座3 4能夠改變以經由黏接劑刊形成第 二應力於濾波器46上使得濾波器46濾波特性產生之熱引起 變化為相當小。因而，由於第二應力藉由支座34熱膨脹係 數以及黏接劑70實際尺寸與彈性特性界定出，形成第二應 力值與溫度相關，其在相當大之範圍内。 在圖1A光學裝置30實施例中，基質4〇與干涉濾波器46 匹配不良。特別地，基質40施加第一應力於干涉濾波器上 隨著溫度變化反向地影響干涉濾波器。不過在該實施例中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（21〇X297公釐） 丨丨丨Γ丨_：----------·φ-----'玎-----i·—·— 9 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 524996 五、發明説明（ ，使用支翅以及轉_使得以該 力與第-應力產生影響為相反的。哪成之弟-應 在另外-個實施财，制另外―鶴力補償之方法 。特別地’利用一些據波器材料固有限制特性以提供額外 自由度以調節光學健之舰特性。特魏，人們了解一 些材料呈現出_特性使得當暴露於適當場時這些材料尺 寸將產生變化。例如，電致伸縮材料亦藉由外部地施加電 場產生作用，磁致伸縮材料亦藉由外部地施加磁場產生作 用。 、f該應财，電/磁致伸騎料亦呈現出電致伸縮特性 =及沒些材料呈現出磁致伸縮特性。除此，在利用電致伸 縮特性情況下電/磁場亦稱為電場，或在利用磁致伸縮特性 情況下稱為磁場。 由於人們败出—些折雛㈣呈現出電/磁致伸縮 性，其可能由該材料形成干涉渡波器。因而，如底下詳細說 明，改變該干涉濾波器具有濾波特性，該特性受到外部施加 電/磁場影響。 現在參考圖2,其通常顯示出光學裝置130之-項實施 例，其使用電/磁致伸縮材料例如電/磁致伸縮氧化物以更 進-步調節渡波特性。特別地，光學裝置13〇實質上與圖u 光學裝置30相同，除了干涉濾波器146層16〇由電/磁致伸縮 氧化物材料所形成。 在一項實施例中，在形成光學裝置13〇過程中預先施加 應力於黏接劑170。特別地，在形成干涉濾波器146後，干涉 X 297公釐） »2. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) M規格（21〇 524996 Α7 Β7 五、發明説明（1〇 經濟部中央標準局工消費合作社印製 濾波器146暴露於適當電/磁場以改變干涉濾波器146之拉 伸尺寸。黏接劑層17〇再沉積出以及利用紫外線加以固化 。再移除電/磁場使得干涉濾波器146拉伸尺寸回復至其初始值。因而，黏接劑170產生相對尺寸變化，其由於黏接劑 170施加預力所形成。 在一項實施例中，濾波器146連續性地暴露於電/磁場 180。特別地，光學裝置更進一步包含電/磁場產生器， 其使用來形成電/磁場180。因而，除了由基質4〇以及支座 134施加第一及第二不相匹配應力於干涉濾波器146，由尺 寸變化產生之電/磁致伸縮提供另外一種補償機制以作為 對滤波器146提供熱補償。 如圖2所示，電/磁場產生器182優先地放置於支座134 内。不過，在另外一個實施例中，電/磁場產生器182能夠放 置於另外一個位置，只要由其中產生之電/磁場足以有效地 操作電/磁致伸縮干涉濾波器146。除此，電/磁場產生器 182此夠包含一組多個充電板以產生適當的電場或運載電 流電線以產生適當磁場。 在另外一個實施例中，光學裝置更進一步包含主動控 制系統184,其包含控制器186以及溫度感測器188如圖^ 示。使用控制态186以已知的方式控制電/磁場產生器182 。除此，使用控制器186監測溫度感測器188使得控制器186 能夠與溫度相關方式改變電/磁場以有效地保持均勻:濾 波特性。 現在參考圖3,其顯示出熱補償光纖濾波裝置歷。特

本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格（2l〇^297^t") 丨 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 524996 A7 12 ΓΓ； Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 別地，滤波裝置190可包含圖1及2之熱補償濾波組件30以及 130以促使苐—光纖1 gg之輸人訊號1 gi立即地轉變為淚波 輸出訊號193,其沿著第二光纖198傳送。 如圖3所不，裝置19〇更進一步包含光線導引器192，其 光學地與將第—光纖19啸合，及第二光線導引ϋ194,其光 學地與將H額8_合。光線導引㈣2包含陡度折射 率透鏡195,將輸入訊號ι91聚焦至裝置19〇之中央區域199 。除此，光線導引器194包含陡度折射率透鏡197，其在離開 中央區域199時將輸出訊號193聚焦。 如圖3所示，濾波組件3〇, 130位於裝置190之中央區域 199以位於第一與第二光線導引器192之間，使得第一光纖 196之輸入訊號191導引朝向濾波器組件3〇, 13〇。特別地， 支座34,134按裝至第二光線導引器194使得基質4〇之第一 表面42面對第一光線導引器192。除此，由濾波器組件30, · 130之透射輸出訊號193被導引通過第二光線導引器194使 得其連續至第二光纖198。 如圖3所示，裝置190更進一步包含内部外殼構件2〇〇以 及外部外殼構件202。内側外殼構件200圍蔽第一及第二光 線導引器192以及194以保持第一及第二光線導引器192及 194為預先對準。除此，外側外殼構件2〇2圍蔽内部外殼構 件200以及第一以及第二光纖196及198終端。 參考圖4,其顯示出光學裝置230另外一個實施例。光 學裝置230與圖2主動控制光學裝置130類似，除了干涉濾波 器246沉積於基質240第一表面242上以與支座234隔離。除 I---------------IT------^_· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇><297公釐） 524996 A7 B7 五、發明説明（丨» 此，結合電/磁致伸縮感應應力機構以及由基質240施加之 第一不相匹配應力將在底下詳細加以說明。 在一項實施例中，使用光學裝置230使得濾波特性隨著 溫度改變之變化為相當小。特別地，控制器286導引電/磁 場產生器282以改變電/磁場280使得電/磁致感應應力機構 將合併‘第一熱致不相匹配應力以對裝置23〇提供補償。 在另外一個實施例中，使用光學裝置230具有控制系統 284,其能夠使濾波特性在第一濾波特性與第二濾波特性間 變化。特別地，能夠調整中央波長於第一波長與第二波長 之間，其詳細說明如下。 如圖4所示，裝置230之控制系統284實質上與圖2控制 系統184類似。特別地，控制系統284包含控制器286以及溫 度感測器288。除此，光學裝置230之控制系統284包含使用 者輸入裝置248例如為電壓計。除此使用控制器286以接收 使用者輸入裝置248之輸入以促使使用者改變光學裝置之 濾波特性。依據使用者輸入裝置248產生之訊號，控制器286 導引電/磁場產生器281以改變電/磁場280,其將提供干涉 渡波裔246具有所要求之遽波特性。 參考圖5,其通常顯示出圖2及4主動性控制光學裝置 130以及230之控制系統184以及284。如圖5所示，使用控制 器186, 286以接收溫度感測器188, 288之輸入訊號Sa，其表 示溫度感測器188, 288之溫度。除此，導引訊號Sa沿著通訊 路徑Pa,其利用控制器186, 286連接溫度感測器188, 288。 如圖5所示，更進一步使用控制器286以接收使用者輸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3 11 I--------··· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 、11 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 524996 A7 --^----------- B7 五、發明説明（丨$ ) 14 經濟部中央標準局&貝工消費合作社印製 入裝置248之控制訊號Sb，其表示所要求之濾波特性。特別 地，讯1虎Sb沿著通訊路徑Pb導引，其利用控制器286連接使 用者輸入裂置248。 如圖5所示，使用控制器186, 286以傳送控制訊號义至 電/磁場產生器182, 282。特別地，控制訊號Sc沿著通訊路 徑Pc傳送，其利用電/磁場產生器182, 282連接控制器186, 286。除此，由於接收控制訊號Sc，電/磁場產生器182, 282 產生電/磁場180, 280,其強度相當於訊號sc。 人們了解在圖1A實施例中，干涉濾波器46薄膜層β 〇折 射率與溫度相關效應實質上藉由將濾波器46藉由將濾波器 46暴路於苐一及苐二不相匹配應力而減小。特別地，選擇 支座34熱膨脹係數以及黏接劑7〇之彈性特性使得第二不相 匹配應力能夠與第一不相匹配應力結合以產生改良之熱補 償作用。· … 人們了解在一項實施例中，光學裝置30能夠由相當便 宜以及一般可利用具有相當不良熱補償之光纖形成。特別 地，該由基質40以及沉積於基質上干涉濾波器奶所構成之 濾波器能夠具有濾波特性，其實質上對溫度變化相當靈敏 。不過先前所對圖1Α及1Β所說明方式藉由將光纖按裝至支 座34將提供濾波器46具有補償第二不相匹配應力，光學裝 置30將改變濾波特性，其對溫度變化較不靈敏。 人們了解在另外一個貫施例中，利用干涉濾波器Mg 246之電/磁致伸縮特性以提供另外一個自由度嘗試對濾波 器146, 246作熱學補償。特別地，在製造處理過程可對電/ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 11 (请先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) pf 524996 A7 I----— 1五、發明説明（14) 磁致伸細濾、波g§146施加預力。可加以變化，渡波薄Mg 246能鋪崎續⑽缝波輯露於可控&/磁場主動 地施加應力。除此，主綺理電/_謂岭溫度感測器 188, 288連通之控制器186, 286加以控制。 人們了解在另外-個實施例中使用澹波器246之電/磁 致伸縮特性以產生可變化舰紐。制地，決定於使用 者界面248產生之訊號，控制器286導引電/磁場產生器2犯 以產生電/磁場，其提供濾波器246具有所要求之濾波特性。 雖然本發明優先實施例已顯示出，說明以及指出本發 明之基本新穎特性，人們了解所列舉各種裝置之替代及變 化能夠由热知此技術者了解但是並不會脫離本發明之精神 。因而，本發明範圍並不受限於先前說明，以及由下列申請 專利範圍界定出。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 用 適 度 張 一紙 I本 I準 I榡 一家 國 一國 釐 公 7 29Γ7

Claims (1)

1. 52499601年II邦》日修正/u/補^ II 六、申請專利範圍 A8 D8 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 1· 一種光學濾波器組件，其包含 光學傳送基質； 支座；以及 干涉濾波器位於基質表面上以及黏附至支座表面， 其中基質以及支座具有經選擇之不同鱗職數以在一 個溫度範圍内施加補償應力於濾波器上。 2·依據申請專利範圍第i項之光學濾波器組件，其中支座以 及濾波器藉由黏接劑黏附在一起，該黏接劑部份地隔離濾 波支座溫引起尺寸變化產生之應力。 3·依據申請專利範圍第2項之光學濾波器組件，其中濾波器 包含一組多層電/磁致伸縮材料。 4. 依據申咕專利範圍第3項之光學濾波器組件，其中一組多 層電/磁致伸縮材料藉由暴露於電/磁場預先地施加應力。 5. 依據申請專利範圍第3項之光學濾波器組件，其中附加性 地包含電/磁場產生器以對電/磁致伸縮材料施加電/磁場。 6. 依據申睛專利範圍第5項之光學濾波器組件，其中電/磁場 產生為'形成於支座内。 7·依據申請專利範圍第5項之光學濾波器組件，其中附加性 地包含控制器對電/磁致伸縮材料改變電/磁墙。 8·依據申睛專利範圍第7項之光學濾波器組件，其中包含溫 度感測器，感測器控制電/磁致伸縮材料中隨著溫度變化之 應力。 9· 一種光學濾波器組件包含： 表紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) Ad規袼（210X297公瘦) wan·! MM···* ΜΜΜ·· WMM WHMM· In (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -- 524996 A8 B8今W年"月6曰修正/見正g88 六、申請專利範圍 經濟部中央榣準扃舅工消費含作社印製.*·' 輸入端埠以沿著光線路徑接收光線； 干涉濾波器，其具有一組多層電/磁致伸縮材料，濾波器 放置於路徑中使得光線投射於一組多層上；以及 電/磁場產生器對濾波器施加電/磁場。 10·依據申請專利範圍第9項之光學濾波器組件，其中更進 一步包含控制器以控制電/磁場產生器。 11·依據申請專利範圍第10項之光學濾波器組件，其中驅動 控制器在一個溫度範圍内保持均勻的濾波特性。 12·依據申請專利範圍第1〇項之光學濾波器組件，其中控制 器改變電/磁場使得渡波器滤波特性在第一與第二濾波器特 性之間變化。 13. —種具有頻譜特性之光學濾波器組件，其表示光學濾波 器能力以選擇性地由輸入光學訊號過滤優先範圍之光學頻 率，光學濾波器組件包含： 光學透射性基質，其具有第一表面以及第二表面，其中第 一表面接收輸入光學訊號； 支座，其具有第一表面； 薄膜組件，其具有一組多個薄膜連續地彼此以堆疊形式 沉積於頂面上，其中一組多個薄膜包含第一薄膜，其沉積於 透射基質第二表面以及第二薄膜層上，第二薄膜沉積遠離 第一薄膜，其中光學透射基質施加第一熱相關不相匹配應 力於薄膜組件上，其中光學濾波器組件頻譜特性決定於分 佈整個薄臈組件之機械應力；以及 黏接劑層，其將光學透射性基質黏接至支座，其中黏接劑 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁j 丨 · 、τ 524996 、 彳|年ί/月6 8修正 8 8 8 8 ABCD 六、申請專利範圍 經濟部中央標率扃負K消費合作社印製 層滿溢地位於薄膜組件第二薄膜與支座第一表面之間，其 中形成黏#劑層以傳送第二熱相關不相匹配應力由固定器 至薄膜組件使得第二不相匹配應力結合第_不相匹配應力 以穩定光學濾波器隨著溫度變化之頻譜特性。 14 ·依據申請專利範圍第13項之光學濾波器組件，其中薄膜 組件之一組多個薄膜包含一組多個施加預力之薄膜使得當 光學濾波器隨著溫度變化時更進一步穩定光學濾波器頻譜 特性。 15. —種熱學補償之光學瀘波器組件，其使用來選擇性地衰 減輸入訊號以產生輸出光學訊號，其中濾波器組件依據頻 率相關衰減曲線選擇性地衰減輸入光學訊號，濾波器組件 包含： 光學透射基質，其具有第一表面以及第二表面； 薄膜濾波器堆疊，其包含一組多個薄膜連續性地以層狀 沉積，其中一組多層薄膜包含第一薄膜，其沉積於光學透射 基質第二表面以及第二薄膜上，第二·薄膜沉積遠離第一薄 膜，其中薄膜濾波器堆疊界定出衰減曲線，其中第一溫度相 關熱不相匹配應力由光學透射性基質施加於薄膜堆疊上； 支座，其具有第一表面；以及 黏接劑層，其連結光學透射性基質與支座，其中黏接劑層 滿溢地位於薄膜濾波器堆疊之第二薄膜與支座第一表面之 間，其中黏接劑層形成具有彈性模數將第二溫度相關之熱 不相匹配應力由支座轉移至薄膜濾波器堆疊，其中形成基 質，黏接劑，以及支座，使得第一以及第二不相匹配應力提 木紙張尺度適用中國國家楯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -1 1 _ Α8 Β8 C8 D8 524996 9/年"月13¾修正/更正/補戈厂 #、申請專利範圍 供光學組件具有溫度補償。 Hi將干涉舰⑸紐雜穩奴枝，财法包含施 且^與度相關之應力至干涉據波器以減小干涉遽 =之偏移，該偏鑛隨著溫度變化偏離所需要之遽波特 據帽專利綱細項之方法，其帽加性地包含機 械性地產生一組多應力。 18·依據申請專利範圍第17項之方法其中附加性地包含使 用電/磁場產生至少一組多個應力。 19. 依據申請專利範圍第16項之方法，其中施加一组多個盘 熱相關之應力於干賴波器包含杨—組錄餘關應力、 至干涉濾波器之相對表面。 20. 依據申請專利細第19項之方法，其中施加一組多個熱 相關應力於干㈣波器之撕表面喊小干輯波器光學 路徑長度熱引起之變化。 21. 依據申請專利範圍第16項之方法，其中施加一組多個熱 相關應力於干涉濾波器包含施加一組多個熱相關應力至干 涉濾波器使得一組多個應力效應彼此抵消。 I---襄-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本育) ---訂— —線 經濟部中央標率局負工消費合作社印製·