TW496782B - Appliance for changing roller sponge - Google Patents

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496782 A7 B7_ 五、發明說明（1 ) 發明之背景 1. 發明之領域 本發明係關於一種柱狀海綿體換裝輔助器，尤其係關於一 種用以對一應用於CMP(化學機械研磨）中用以清洗晶圓的清洗 滚筒上之中空柱狀海綿體，進行更換用之輔助器。 2. 先前技藝之說明 在半導體製程中，常利用所謂CMP(化學機械研磨）法進行各 半導體層之表面研磨，且在研磨之後，必須進行表面清洗， 以利下一製程之進行。其中一種所謂「清洗滚筒」即被用來 作為清洗之用。該清洗滚筒主要包含一心軸，以及一套在該 心軸上受其帶動而旋轉俾清洗晶圓表面的中空柱狀海绵體。 海綿體之材質一般是由聚乙婦醇（PVA ; Polyvinyl Alcohol)所構 成，該材質有一定之壽命；磨損後，一般之作法是換掉整支 清洗滚筒。然而，心軸實際上仍可使用，因而在更換時若能 只更換套在外侧之海綿體，將有利於成本之降低與環保之維 護。惟海绵體之拆除容易，安裝困難。 坊間曾經揭露有一種用以更換海綿體之工具，其係以一具 有兩夾持具之橫向基座進行換裝。亦即，其中一夾持具用以 橫向地夬持心軸，另一夾持具裝設有環狀細鋼絲，環狀細鋼 絲外圍供安裝中空柱狀海綿體。換裝時，再於心軸前端加設 一錐形頭，然後將心軸向另一夾持具之細鋼絲中央部位橫向 推進，並於該錐形頭欲插入海綿體中時，以該細鋼絲逐漸將 海、綿體撐開，以利該心轴之插入。惟，由於該心軸之插入海 綿體係屬橫向推進組合，且其安裝座佔空間且造價高，攜帶 一 4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------裝-----r---訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 496782 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（2 不便，機動性差，而不利於在現場進行海綿體之組裝更換。 發明之概诫 本發明I王要目的在於提供一種簡單、價廉、便於操作、 易於更換成功，且利於攜帶而能隨地進行柱狀海綿體之更 換，並把提局海綿體更換速度的柱狀海綿體換裝輔助器。 為達成上述目的，本發明揭示一種柱狀海綿體換裝辅助 器，供用以換裝一位於一心軸上之柱狀海綿體，其包含：一 縱長套持體，其具有縱向接績之一套筒部與一推拔部；該套 筒部具有一縱長筒身部以及一位於該筒身部中且朝向其中_ 侧開口之縱長中空部，該筒身部之外徑略大於該柱狀海绵體 未擴張下之内徑，且該中空部之内徑為一可供該心軸自該其 中一侧插入之大小；該推拔部自一與該筒身部之另一侧—體 連結之較大侧部，向一相反於該開口之方向成推拔狀縮小之 較小侧部延伸。 藉由上述構成，由於構造簡單，因而造價便宜，且具有相 當同之機動性，並可提升海绵體之換裝速度，成功率亦高。 在進步較佳實施例中，該輔助器並包含一基座，供載立 該心軸，藉此將使海綿體之換裝更為容易。 在另一進一步較佳實施例中，該縱長套持體並包含一抓取 部，俾利於將套持體抽離心軸。 本發明之上述以及其它目的、特徵、優點在經由下述配合 圖式所作較佳實施例之說明後，將會更為明瞭。 1式之簡單說明 圖1為一根據本發明之第一實施例而成之輔助器之立體示意 I -----r---^--------- - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

X 297公釐） ^6782

五、發明說明（3 ) 圖 圖 圖2為一根據本發明之第二實施例而成之辅助器之立體示意 〇 圖3為一根據本發明之第三實施例而成之輔助器之立體示意 圖4 a〜4 d分別為顯示本發明所揭輔助器用於換裝海綿體時之 各步驟的操作示意圖。 圖式符號之說明 la 軸頸部 1 lb2 心軸 驅動孔 海绵體 111，211，311 套筒部 11 la，21 la，31 la 筒身部 lllc，311c 隙縫 112a 凹槽 221,321.凹孔 lc 扣環 110,210,310 套持體 220,320 基座 lllb，211b，311b 中空部 112,212,312 推拔部 213,313 抓取部 經 濟 部 智 慧 財 產 局 消 費 合 社 印 製 322 插銷 輕佳具體實例之說明 本發明之輔助器所應用之心軸丨，如圖4a所示，通常呈圓 柱狀，在其兩端各具有一軸頸部la，且在各軸頸部h中具有 一驅動孔lb，供驅動軸（未圖示）之嵌入與帶動。海绵體^則亦 如圖4a所示，呈—中空柱狀體。基本上，海綿體：之内徑在未 擴張下，應略小於心軸丨之外徑，俾能密合心軸工。 圖1顯示-根據本發明之第一較佳實施例而成之柱狀海綿 體換裝辅助器。在第一實施例中，輔助器由一縱長套持體HO 一 6 張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格⑵〇 χ撕公爱 -------I----•裝-------訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 五、 發明說明（4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 所構成。套持體110最好由鐵氟龍材料所構成，或在外表披覆 —層鐵氟龍層，然亦可由一為鐵氟龍所包覆之鋼絲網等構 成’其包含縱向連結成一體之一套筒部ηι與一推拔部112。 套筒部111具有一筒身部llla，以及一位於筒身部中且朝向 其中一侧開口的中空部mb。筒身部ma之外徑略大於中空柱 狀海綿體2未擴張下之内徑，且在其筒身部^。上設有兩相隔 180度之縱向隙缝1Uc。中空部丨丨沁之内徑設定成一可供心軸工 插入之大小。又，套筒部Π1之長度略短於心軸1之縱長，亦 即中空部mb之内部深度比心軸丨長度短，俾使套筒部ln套 入心軸1後，仍有部分心軸丨外露突伸出套筒部lu之底部，供 與海绵fa 2直接接觸。另，該隙缝丨丨lc係大致沿中空部丨丨化之 、’從向全長L伸，一則用以排氣一則用以使筒身部111 a在心轴1 插入以及拔離心軸時具有擴張彈性；惟當套持體11()以鋼絲網 構成時’亦可不設置該隙缝lllc。 推拔部112自筒身部丨丨^之另一侧向一相反於該開口之方向 成推拔狀縮小延伸。在其推拔表面上並形成有多數徑向環繞 之凹槽112a，俾利於抓持操作該輔助器（套持體11〇)。 圖2顯示一根據本發明之第二實施例而成之輔助器之立體 示意圖。在本實施例中，輔助器包含一縱長套持體21〇與一基 座220。套持體21〇包含縱向連結成一體之一套筒部211、一推 拔邵212、以及一抓取部213。 基座220呈圓板狀，其中一上表面内設有一凹孔221，供嵌 持心軸1之軸頸部la(如圖4a所示）。 推拔邵212略呈圓錐狀，而有一較大側部與一較小侧部， 一 7 — (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 「裝 訂---- # 496782 五、發明說明（5 ) 其較大侧部之外捏約格等於中空柱狀海缔體2之内徑，而可供 碑绵體2由較小側部順利套人’再為較大侧部所撐開。、 抓取部213略呈圓凸粒狀’其自推拔部212之較小侧部相反 ^大㈣略為擴大延伸’惟其最大外径仍小於推拔部212之 較大侧邵（外徑’俾利於往上抽取且不防礙海綿體 持體210中。 ^ 套筒部2U具有—筒身部2Ua，以及_位於筒身部仙中且 朝向其中-側開口的中空部2Ub。筒身部2na由三片自推拔部 2U之較大側部縱向延伸而出之爪所構成，各爪所形成之外徑 略等於海綿體2之中空内徑，而各爪之間所形成之中空部㈣ 之内控大小恰可供心軸1插入其中。 訂· 圖3顯示-根據本發明之第三實施例而成之辅助器之立體 示意圖。在本實施例中’辅助器包含-縱長套持體310與一基 座320。套持體包含縱向連結成一體之一套筒部3ΐι、一推 拔邰312、以及一抓取部313。 基厘32Q呈圓板狀，其中一上表面内形成有-凹孔321，供 提持心軸！之軸頸部1&(如圖4a所示），以將心㈣支擇成直立 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 狀在凹孔321中並突出有一插銷322，供嵌入軸頸部la中之 驅動孔lb，俾更穩定地載立心軸1。 推拔4 312略呈圓錐狀，而有一較大侧部與一較小侧部， 其較大侧部之外徑約略等於中空柱狀海綿體之内徑，而可供 海绵體由較小側部順利套入，再為較大側部所撐開。 抓取邵313呈圓柱狀，其自推拔部312之較小侧部相反於較 大侧部同徑延伸，供抓取用。 - 8 - 本紙張尺度適用中國國豕標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公爱 五 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496782 A7 _-_ B7 發明說明（6) 套筒邵311具有一筒身部311a，以及一位於筒身部31 ia中且 朝向其中一側開口的中空部311b。筒身部31 la之外徑約略等於 中空柱狀海绵體2之内徑，且在其筒身部311a上設有一條縱向 隙缝31 lc。中空部31 lb之内徑設定成一可供心軸1插入之大 小0 圖4a〜4d顯示本發明所揭輔助器用於換裝海绵體2時之流 程，並以第三實施例為例作說明。圖4a顯示一待裝海绵體之 心軸1、一海綿體2、以及一用以輔助安裝之套持體31〇與基座 320。心轴1具有兩端転頭部ia以及轴頌邵ia内侧之扣環I。。 首先’如圖4b所示’將圖4a所示心轴1拆掉上方扣環ic， 並將軸頸部la插入凹孔321使心軸1直立於基座320上；在此步 騾中，相對於第一實施例之情形，亦可不用基座，此時，以 手持心軸1亦可進行換裝操作。 其次，如圖4c所示，將套筒部311套入心軸1上。此時，由 於套筒部311之内徑略大於心軸1外徑，因而可輕易套入；且 因套筒部311之長度，亦即中空部311b之内部深度小於心軸i 之長度，因而心軸1之底部將外露於套筒部311。接著，將中 空柱狀海綿體2由抓取部313，經推拔部312，套入套筒部311 外侧，並推擠到底。 最後，以手夹住海綿體2底部與心軸1直接接觸之部位，亦 即心軸1外露於套筒部311下端之部份，再握持抓取部313，而 將套持體310向上抽離心軸1與海綿體2。在抽離套持體31〇之 同時’海綿體2之上端亦會隨著上升，終而覆蓋整個心軸1， 而如圖4d所示’完成換裝。將換裝完成之清洗滚筒取離基座 一 9 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） I - I -----------裝-----：----訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 496782 A7 五、發明說明（7 ) 320並裝回扣環lc，即可供安裝回機器使用。 如上所述，本發明所揭輔助器不僅構造簡單，且容易使 用，因而不僅造價便宜、機動性高、且換裝成功率高。而有 助於清洗滚筒之成本降低與環保之維護。 惟，以上雖例舉許多實施例作說明，犬 、 ”、、在本發明所揭技 術内容下之各種等效變更都應在本發明之保護範園内 ------------裝-----r---訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 496782 ^_____I__ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 、申請專利範圍 L 一種拄狀海绵體換裝輔助器，供用以換裝一位於一心軸上 之中S枉狀海綿體，其包含：一縱長套持體，其具有縱向 接績之一套筒部與一推拔部；該套筒部具有一縱長筒身部 以及一位於該筒身部中且朝向其中一側開口之縱長中空 部’該筒身部之外徑略大於該柱狀海綿體未擴張下之内 徑，且泫中空部之内徑為一可供該心軸自該其中一侧開口 插入（大小；該推拔部自一與該筒身部之另一侧一體連結 之較大侧邵，向一相反於該開口之方向成推拔狀縮小之較 小侧部延伸。 2.如申請專利範圍第1項之輔助器，其還包含一基座，該基 座具有一凹孔，而可供嵌持該心軸之一軸頸部而直立地固 持該心軸。 3·如申請專利範圍第2項之輔助器，其中該凹孔中還設有一 插銷，供插入該軸頸部中之一驅動軸孔。 4·如申請專利範圍第1項之輔助器，其中該中空部自開口侧 至底侧.之内部深度略短於該心軸之長度。 5. 如申請專利範圍第1項之輔助器，其中該筒身部具有至少 一縱向隙缝，該缝隙沿中空部之縱向全長延伸。 6. 如申請專利範圍第1項之輔助器，其中該縱長套持體還包 含一抓取部，其縱向接續該推拔部之一較小侧部，而向一 相反於該套筒部之方向延伸。 7. 如申請專利範圍第1項之輔助器，其中該推拔部上設有多 數徑向環繞之凹槽。 8. 如申請專利範圍第1項之輔助器，其中該套持體係由鐵氟 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -♦裝 ----訂i 496782 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 龍材料所構成。 9.如申請專利範圍第1項之輔助器，其中該套持體之套筒部 外表面塗覆有鐵弗龍材料。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）