TW471016B - Defect detection using gray level signatures - Google Patents

Description

471016 A7 厂___.__B7__ 丨丨*^^ -- —— 五、發明說明（) 發明領域：. 本發明係關於一種用以檢視於製造半導體元件中微 影標記的方法，特別是用以檢視孤立的微影標紀。本發明 可特別應用於在次微米製程中，做線上的許七κ t W知圮檢測。 發明背景： 為了滿足目前對元件積集度與操作性能的需求，極大 型積體電路(ULSI)需要使用次微米的製程、提高電晶體與 電路速度、以及獲得更佳的可靠度。這樣的需求使得元，件 的製作需要更高的精確度與均勻性，而這些特質則需要仔 細的檢視步驟予以配合。 微影製程即為一種需要仔細檢視的製程，其中光罩或 標記（Reticle)細用以轉移特定的電路圖案至半導體晶圓 上。一般而言，一系列的標記會依照一定順序而予以使 用。每個微影標記包含精細的幾何圖案，或對應於晶圓上 之電路元件的圖案，如玻璃基板上的鉻金屬所形成之圖 案。在某個系列中’每個標記皆用以傳遞一特定的圖案至 光感應層上（如光阻層），而光感應層則預先塗佈於薄膜之 上’如形成於碎晶圓上的多晶硬層或金屬層。傳統上，這 些標記圖案的轉移程序一般皆透過掃描儀或步進機來完 成，這些機器可發出光束穿過標記而對光阻進行曝光。之 後對光阻進行顯影以形成光罩，而其下的多晶矽層或金屬 層’則依據此光罩而於晶圓上形成特定的圖案，如線或閘 等。 第2頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 装-------一訂·--I---=—線' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 471016

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（） 依據製程與設計的條件，標記將會依據預定之設計規 則而I迨。這些设计規則定義了元件與内連線之間的間隔 松度，以及導線自身的寬度，以確定導線間不會重疊，彼 此間亦不會發生不良的交互影響。 沒些設計上的限制則稱為，，關鍵尺寸"（Critical Dimension)，其定義方式則為元件製造過程中所允許之最 小線寬或相鄰導線間的最小間距。對於多數之極大型積體 電路而言’其設計尺寸則是一個微米的分數。 ▲ 又片尺寸收縮以及製程窗口（ p r 〇 c e s s W i n d 〇 w s)縮小 時’對於標記圖案的檢視與量測則顯的更為重要，因為任 何製程上的微小變異，將會對最終的半導體元件造成不良 的影響。舉例而言’位於標記表面的圖案包含相對較大的 圖案’如延伸於標記表面之導線以形成内連線或閘、以及 小方塊或I型圖案（如用以形成内連線），其最大尺寸則僅 為2 /z m或更小之尺寸。這些特別容易受到尺寸變異的影 響之微小的圖案則稱之為孤立圖案（Is〇lated Features)。 第1 A-1 D圖描述了一項孤立圖案之典型缺陷。第1 A 圖顯示了尺寸不足之孤立圖案’其中非缺陷圖案的尺寸則 由虛線表示。第1 B圖則顯示了孤立圖案在角落處具有延 伸區域。第丨C圖與第1 D圖則分別顯示了在角落與側邊具 有缺口的孤立圖案。 習知技藝者明暸這些標記缺陷，如第1 A-1 D圖中微小 圖案中多出或缺少的路金屬，將會在製程中重複的轉移至 晶圓上，因此將會嚴重的影響生產線的產出。故，對於標 第3頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) *农--------訂--------—線' 471016 A7 B7 五、發明說明（） I - 記之缺陷的檢測將顯的十分重要。缺陷檢測一般皆透過光 于系統丁 以執行’如由 Applied Material of Santa Clara，CA， USA所出產之RT8200或ARIS-i等標記檢視系統。在製造 光罩與標記的公司之中，此一檢測系統將用以掃描光罩， 並將所得之影像與用以製造光罩之資料庫進行比較。影像 與資料庫比較後之不同處則標記為懷疑區域。 更特別地’在典型的習知檢視機制中，標記的表面係 透過電荷耦合元件（CCD)予以檢視，其所成像之陣列的每 個單元即稱為一畫素，每一畫素則對應其受電荷耦合元件 掃描時的穿透度而編派了 一個特定的灰階值。易言之，每 個畫素皆被編派了一個正比於標記某處之光穿透性的灰 階值。舉例而言’依據掃描時所使用的光照技術，位於白 色圖案中央之晝素將具有非常高的灰階值，而位於標記間 之畫素則具有非常低的灰階值。一般;而言，每個畫素將會 依序的予以分析’並與其對應之資料庫之值予以比對，以 判定缺陷是否存在。所檢視之標記的畫素的灰階值，亦與 相鄰畫素之灰階值進行比對’以偵測圖案的邊緣而獲得尺 寸量測的效果。 不幸的是’傳統之標記檢視工具無法總是精確地或可 靠地偵測位於微小之孤立圖案中的缺陷。傳統之檢视工具 缺少必須的靈敏度，因為這些工具每時僅能針對某一畫素 做區域性的分析。此外，傳統的標記檢视工具需要對檢視 資料之畫素流與參考資料庫之間做完全的登錄或同步化 處理’以執行其分析功能。這些登錄顯得十分複雜與花時 第4頁 本紙張尺度適用中罔國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 表--------訂-------1*線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 471016 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（ 間’因此減緩了檢视步驟以及降低了產出。 "故，目前盈需要提出—種簡單、快速、與符合成本效 益的方法以檢损辨、r ^ 榇记，進而精確的偵測出孤立圖案之缺 發明目的及： 本發明〈優點為在孤立圖案或其他有限區域中，在不 增加檢視時間的前提下，可靠地偵測缺陷。 依據本發明，藉由—個用以檢視形成於表面的目標圖 术勺方法可以邵份的達成本發明之前述與其他的優點。 该万法包含成像此目標圖案以產生一個或多個代表目標 圖案之目標資料單元，每個 决― 节似Η知貝枓早兀則具有灰階以及 關連於相對表面位罾的资 —丄 置）f訊。精由加總對應目標圖案之目 “貝料單兀的灰階值，以計算出目標圖案之能量值。接著 計算目標圖案的平衡中心，與沿著目標圖案中不同方向之 多個分散值。 目標圖案透過對應目標參考圖案而辨識，目標圖案之 能量與分佈值則與關料目標參考圖案之先前檢視圖案 >考資料庫之牝量與分佈值相比對’以決定此目標圖案 中是否存有缺陷。 本發明之另-個面向則為用以f現上述方法的檢視 裝置。 習知技藝者在對照後文之詳細說明之後’將可明瞭本 發明額外之優點，其巾僅提^發明之最佳實施例以介紹 第5頁 -------------^--------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 471016 A7 _B7___ 五、發明說明（）

I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明之精神。然而必須加以說明的是，本發明亦可應用 於其他的實施例中，而在不脫離本發明之精神下，將可對 本文之實施例做適當的調整。故，本文僅用以說明本發明 之精神，而非限定本發明之範圍β 圖式簡單說明： 後文將對照圖例而予以說明，其中不同圖例中相同的 標號則代表相同的元件，其中： 第1A-1D圖 為標記之圖案上可能的缺陷。 : 第2圖 為本發明實施例之方法中各步騾的流程圖。 第3圖 為本發明實施例之的方塊圖。 第4圖 為用以執行本發明之實施例之影像製作程序。 第5圖 為本發明實施例中用以轉換化畫素為孤立格式 之方法的流程圖。 第6圖 為本發明實施例中用以偵測孤立圖案之方法的 流程圖。 第7A-7D圖 描述了本發明實施例中用以偵測孤立圖案 — 之畫素幅度。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖 考 參 與 案 圖 立 孤 合 配 以 用。 中圖 例程 施流 恭貞 的 明法 發方 本之 為案 8 第 圖 圖 ο 9 1 第 第 其 算 〕It 以 用 度 幅 素 畫 之 中 例。 施值 實估 明預 發之 本外 了向 述點 描原 素 畫 隔 分 之 案 圖 立 孤 及 以 值 階 灰 素 畫 了 述。 描框 第 本紙張尺度適用中.國國家標準<CNS)A4規格（210 X 297公釐） ο 1 7 4

3 1〇影像儀 3 3 0 顯示器 3 50 資料庫 1 304 中央處理器 1 3 0 8 唯讀記憶體 1314 輸入裝置 A7 B7 五、發明說明（）

I 第U圖為本發明實施例中用以偵測缺陷之方味 ， 、 刀成的流程 圖。 第1 2圖描述了本發明實施例中辨識圖案之方塊圖。 第13圖為本發明實施例之方塊圖。 圖號對照說明： 3 00 檢視工具 320 .處理器 340 ’記憶體 1 302 匯流排 13 0 6 主記憶體 13 10 儲存裝置 13 16 游標控制器 發明詳細說明： 傳統用以檢視微影標記表面缺陷的方法，並無法产確 地、可靠地、以及經濟地偵測位於孤立圖案上的缺陷，如 尺寸小於2μπι之電路接點。本發明藉由隔離所欲進行巨觀 檢視之圖案，而克服上述傳統之問題，即與傳統局部性一 個畫素接著一個畫素的檢視方法有所不同。藉著巨觀的分 析圖案而不是對單一畫素進行分析，整個孤立圖案之對缺 陷敏感之檢視參數（如沿著特定軸線之能量分佈），將由本 發明所提出之方法予以計算。所計算得到的檢視參數，將 會被用做為所檢視之圖案的"辨識資料”或特徵向量，並與 第7頁 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS〉A4規格（21〇 χ 297公釐） —-------一----1--装 ---------訂--------—線， ί請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁} 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 丄U16 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（ 對應的已知非缺陷圖案進行比對，以可靠地與精確地偵測 出缺陷。因為所使用的參數並非依賴於檢視與參考圖案畫 素流之登綠關係，本發明將不須進行複雜而花時間的登綠 牙呈序’故而降低了顯示時間與增加了產出。 依據本發明所述之方法，標記係透過傳統的檢視工具 予以檢查，如RT 8200或ARIS-i，這些裝置將標記轉換成 由畫素陣列所組成的影像（如電荷耦合元件所掃描而得的 陣列）’其中每個畫素則具有一定的灰階值。首先依據傳 統的方法執行邊緣偵測’以決定任意圖案所佔據的畫素谭 域的百分比’接著將百分比乘上畫素的灰階以以得到屬於 圖案之晝素陣列的灰階值（後文稱之為孤立格式灰階值）^ 之後分析所選取之包含部份圖案的畫素，與其相鄰之畫素 (如在13 X 1 3幅度之内的晝素），以藉由嘗試尋找包圍選取 晝素之圖案的背景晝素圖框（如代表圖案標記之間的間 隔）’以決定這些畫素是否為該孤立圖案之一部分。若此 一圖框存在，則位於其内的畫素則代表了孤立圖案。 當孤立圖案偵測完畢以及其如前文所述之元件畫素 辨識完成之後’將接著計算孤立圖案所選取之辨識參數。 這些參數可以包含孤立圖案的尺寸特徵值，如寬度、長 度、與直徑等，以及數學特徵值和影像處理推導特徵值（如 頻率）。在本發明的實施例中，屬於孤立圖案之畫素的加 權灰階將予以加總以得到能量參數。接著計算孤立圖案相 對於原點的平衡中心（即質量中心），此圖案沿著畫素陣列 中多個通過原點之軸線（如，，X，，，以及直交的正斜線與 第8頁 本紙很尺度週用中，國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱)—'------- ----I--I I I I--^ --------訂---I I--^--\ 4 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁} 471016 Α7 Β7 五、發明說明（ 反斜線）的慣量，以及此圖案沿著晝素陣列中多個通過平 衡中心之軸線的慣量。最後，計算此圖案沿著多個通過原 點或平衡中心之軸線的分佈。 所檢視之孤互圖案的參數值（如能量值與分佈值），將 與對應之先前所檢視過同類之圖案且儲存於歷史資料庫 中的參數值進行比對’以偵測所檢視之孤立圖案的缺陷。 若任何檢視圖案之計算參數與歷史資料庫之值的差異，大 過一定的起始值，則所檢視的孤立圖案將被視為缺陷。影 像的每一個畫素的灰階將被轉換成孤立格式灰階，因而释 立格式灰階將可予以加總，故僅可以獲得單一孤立圖案之 所有相關孤立格式灰階的資訊。因為孤立圖案的檢視參數 係就整體圖案計算，而非使用晝素接畫素的方式進行（如 散佈值係以圖案的平衡中心為基礎’而能量則不依附於圖 案的位置）’故將這些參數與歷史資料比對時，將不須進 行參考資料庫的登錄。此外，對於每個參數而言，其可能 參數值的範圍可用以決定不同形式的孤立圖案。舉例而 言，能量值的範圍可用以決定1 μπι的方形接觸點、丨.5 μπι 的方形接觸點、以及1 μπι的I形圖案等。這些資訊則使用 於本發明之方法中’以比對所檢視的孤立圖案（如，丨μιη 的方形接觸點、與1.5 μιη的方形接觸點等）與歷史資料庫 中典型的參數。 能量參數與分佈參數包含沿著多個軸向（水平、垂 直、或相對於畫素陣列直交之正斜線與反斜線）的分佈 值，對於偵測孤立圖案標記之缺陷將顯得特別有用，因為 第9頁 本紙張尺度適用中，國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 裝--------訂---I ---- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 471016

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（） 這些參數對於圖案尺寸的變異將特別敏感，並且對於圖案 之額外多出或不足的邵份亦顯得十分敏感。第1 A-1 D圖顯 示了不同本質之缺陷間的差異。第1A圖中所示之不足尺 寸所造成的缺陷’將會造成圖案能量的改變，以及在χ方 向上分佈的改變’但其對於y方向上之分佈所造成的改變 則甚小。就另一方面而言，第1B圖所示之角落處的延伸 區域，對能量值所造成的影響將十分微小，但卻對於反斜 線方向上的分佈造成較大的影響。相似地，若第1 C圖中 角落處的缺口十分微小時，這樣的缺陷將不會對能量造成 太大的影響’但沿著反斜線方向的分佈則會減少。而由於 第1 D圖中邊緣上的缺口與圖案的中心相距不遠，並同時 影響的許多的晝素，故將會造成沿著x方向上之能量與分 佈的降低。 '、/第2-1 3圖描述了本發明中利用孤立圖案之能量與分 佈值之實施例。如第3圖所示，本發明可實現為檢視工具 3 〇〇，其中包含影像儀3 1 〇以於高速之下擷取標記R之表 面影像’如使用光學乘法管（Photo Multiplier Tube)或電荷 耦合元件與光源，如燈或雷射。標記R，一般包含位於透 明基板上的金屬圖案（如破璃表面上之絡金屬層），可以藉 由傳送光線經由基板至電荷耦合元件，或由電荷耦合元件 接收反射自基板的光線。檢視裝置300更包含可以電子方 式執行分析運算之處理器320，以及用以顯示處理器320 之分析結果的顯示器3 3 0。處理器3 2 0可以輿傳統之標記 參考設計資料庫350，以及記憶體340(如半導體記憶體） 第10頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公楚） --------------^--------^----------線"一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 471016 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（ 溝通。處理器320的功能可由硬髀抓 ^ , 又把叹汁，（如邏輯閘）予以 只現，以改善相較於軟體設計的執行速度。 、/第2圖為本發明之缺陷偵測裎 私序的I構圖。本發明之 程序具有兩條幾乎完全相同之路緩. 衣.具中包括位於上方的 參考（資料庫）路線，以及位於下方 乃的知視路線。在第2圖 之步驟200a中，標記R透過影像儀 队儀3 1 0依傳統的方式成 像’並由處理器320接收此影像，纟中處理器32〇所處理 之多個單it則稱之為畫f ’而每個畫素則具有與其圖案位 置相關的灰階。當畫素含有灰階日#，處理器32〇於步驟 2〇〇b處自資料庫350接收對應於標記圖案之二進位參考 資訊。 第4圖顯示了理想之標1己尺上的標記圖案4⑼，其中 具有邊界EUE4以及表面S。方塊陣列代表了晝素如何的 形成’並顯示了每個畫素Pl-Pl2的可能灰階值。標記r 對應於圖案400之實際圖案，—般之外觀皆近似於圖案 4 0 0發生微小變異後之結果’如圓角與近似效應等。晝素 P 1-P 1 2則為代表灰階之數值矩陣。 在步驟2 1 0a中’標記R之影像圖案的晝素經由處理 器3 2 0轉換而成絕緣晝素格式，其處理方式則是藉由傳統 方式偵測每個晝素P 1-P 1 2之邊緣E 1-E4的位置，以及每 個晝素P1-P12中圖案400所佔據的面積百分比與該畫素 之灰階的乘積。在步驟210b中，來自資料庫3 50之二進 位資料被轉換成孤立畫素格式。由於邊界的位置係包含於 資料庫3 5 0中，因此步驟2 1 0 b將不須要進行邊緣偵測的 第11頁 Μ氏張尺度適用尹國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） I ------I I--；--威·-------訂--------.--V (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 1 0中，利用 471016 五、發明說明（ 步驟。 ！’ 在步驟220a與220b之中，&，w 时 為了顯現孤立圖案，#棚 态3 2 0將會檢視兩條通路中的素 里 是否有缺損圖案出現，以及步二^ 是否為有效的孤立圖案。若為有效的孤立圖案時二: 320將會計算來自步驟24〇3與2之孤立圖案的畫素:: 預測值，之後於步驟250 a與240b之中計算能量、重、、 與多個散佈參數。 〜、 所計算得到的能量與來自參考路線的散佈參數，將為 處理器320所使用，並於步驟26〇中辨識孤立圖案。與辨 識圖案相關之先前檢視圖案的能量與散佈參數的歷史資 料庫’將於步驟2 7 0中與檢視圖案之能量與分佈值進行比 對’以決定檢視圖案中是否則有缺陷。若撿視圖案中不具 有缺陷，其能量與分佈值將於步驟280中加入歷史資料庫 中。 步驟2 1 〇a ’其中來自欲檢視之標記的畫素，藉由整合 圖案邊緣檢測以及晝素灰階的方式，被轉換成孤立晝素形 式’其細節將參照第4圖與第5圖之流程而予以說明。在 此步驟中，每一個屬於圖案晝素之灰階將予以決定，因此 允許孤立圖案的辨識與缺陷的分析。 v在步驟5 00中，所選定的畫素，如第4圖中的晝素P2 ’ 將使用傳統之邊界偵測法進行分析，如精密（cann3〇法，以 決定圖案邊緣El、E2是否落於畫素P2之中。接著於步鄕 來自步驟5 0 0之邊緣位置貪訊’依據畫素的 第12貰 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） *11 — — — — — — — ^— — —. ^ ' — — 1 — ^ »[ — — — — 11— ' (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 471016

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（） 述’標記通常包含位於玻璃表面之鉻金屬圖案，如圖案 400 ’ g其受光線照射而成像’透光之玻璃表面所成之像 係為白色’而受鉻金屬阻擋使得光線無法穿透的區域（如 圖案400)則為黑色。因此處理器32〇可以傳統的方式對白 色與黑色區域進行量測，而依據其為黑或白，所測得之結 果將被分派一對應的極性。在步驟5 2 〇中，書素p 2的灰 階將乘以來自步驟5 1 0之百分比，以求得書素p 2之孤立 格式灰階。 、第2圖或步驟220a、220b之孤立圖案偵測程序，將 於第6圖與第7圖中做更仔細的描述。當標記R的表面透 過電荷耦合元件成像時，來自資料庫35〇代表無缺陷之標 記表面的資料由處理器320所接收時’其結果則為代表表 面义圖案以及分隔圖案之間距的晝素陣列。於步驟22〇a 與220b之中，來自步騾210a、21〇b之孤立畫素格式中的 畫素’將依序的檢查以決定是否這些畫素屬於孤立圖案之 中。 於步驟600中，選定一個畫素。接著於步驟61〇中基 於畫素的灰階值指派一個二進位值’以辨識其為部份圖案 之晝素，或為部份圖案間距之畫素。舉例而言，所選定的 晝素將與預定的起始灰階進行比對，此畫素將被判定為黑 色或白色晝素（如對應於圖案之間隔處的畫素），若其灰階 小於起始灰階時。 ' 之後於步驟620中，-段環繞現存畫素之畫素將被選 —i i n - - - I— n - - n ---1 —Λ > I 1 - - n I— 1^1 I— I 一^J· I I -- -- n - - i.. i I Λ V (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第13頁

471016 Α7 Β7 五、發明說明（ 取分析。此段畫素則為畫素陣列，如中央為現存畫素之 11XU或UX13的畫素陣列。若選定的段落較大，則較大 的孤立圖案可以由本發明予以分析。然而，本發明偏愛以 硬體的方式實現（如處理器320可為多個邏輯閘之組合）， 而越大的選取段落將會造成越複雜的電路。 為了說明起見，假设白色的圖案存在於黑色的背景 中。然而本發明亦可應用不同顏色之極性的實施例中。在 步驟.630中’分析所選取段落之晝素以辨識相鄰黑色畫素 之圖框’這些畫素係圍繞對應於孤立圖案之一個或多個灰 色或白色畫素的窗口。舉例而T，若存在該黑色圖框，所 有環繞現存畫素之圖框將予以檢視以找出黑色圖框，而奋 高寬尺寸為奇數時其現存晝素將恰位於中央，而當高寬尺 寸為偶數時此畫素將自窗口中央向左上方移動。第7a_7D 圖描述了這些圖框’其中現存畫素則被標記為c。第7 a 圖顯示了高度與寬度為奇數之圖框（5x7)。第7B圖顯示了 高度與寬度為偶數之圖框（4x6)。第7c圖則顯示了高度為 偶數而寬度為奇數之圖框（4x5卜第7d圖則顯示了高度為 奇數而寬度為偶數之圖框（5x4)。第7A-7D圖顯示了黑色 圖框環繞白色的畫素。然而依據不同之圖案，内部的畫素 可以為黑色，而圖框則可以為白色。 當步騾630檢視完所有的圖框之後（如1〇〇之規模 1 1 X 1 1的圖框）’若連績的圖框被尋到，最小的圖框將可以 選取為阻擒圖框（如步驟6 4 0)’而内部的畫素將可以被標 1己為屬於孤立圖案以利更進一步的處理，如利用孤立圖案 第Η頁 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衮---- 訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 471016 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（ 指示位元（見步驟650)。而不屬於孤立圖案之晝素亦透過 孤立圖案指示位元而予以標記。 再次參閱第2圖，執行完步驟22 0a與2 20b(如執行完 參考與檢視路線之圖案隔離）後’步驟230將進行孤立指 示資料處理。此一步驟將詳述於第8圖中。此步觸的目的 在於檢查圖案缺陷時，同步化參考路線與檢視路線，並確 保給定的圖案僅做一次的檢查而非多次的檢查。錯誤登綠 可發生於資料庫的圖素流與檢視影像之間（如一個或兩個 圖素的平移）。若此類的錯誤登錄發生時，檢視影像的擇 记圖素將不會位於其預期之與資料庫圖素對應的位置 上。於步驟230中，處理器320將搜尋孤立檢視圖案，若 孤立圖案於參考資料庫中尋到時，可以應用位於參考路線 或檢視路線中之孤立圖案指標◎若孤立檢视圖案未於其對 應之資料庫中尋到時，則代表了圖案發生缺陷。 如同.前文所述’在傳統的標記檢視方法中兩個畫素資 料流’一個來自受檢視之範例，另一個來自參考資料庫， 必須予以同步化以適當的執行缺陷偵測。一般而言，這樣 複雜與花費時間的製程包含執行於畫素階段做巨觀的登 錄’若兩個資料流完美的對正時，之後則藉由估計所檢視 畫素的灰階而執行子畫素登錄。相反的，本發明之方法僅 需要於參考與檢視路線之間，依據圖案之間的鄰近程度做 概略的對準，並且可容許相對較大的誤差。舉例而言，對 準可以是一個或兩個畫素"off"，只要受檢视標記的圖案不 小於四個分離的畫素。此一登綠對誤差的容許程度，將是 第15頁 I ----------；---裝---------訂--------線 (請先閲讀背面之注急事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 471016 五、發明說明（ 本發明的一個主要優點，因為如此可大幅簡化檢視的程 序’同時大幅減低檢視時間。 參閱第8圖’於步驟8〇〇中，對於現存畫素之檢視路 線孤立圖案指標Π，其規模可為nxn個畫素（其中pi，3, 或5)圍繞著現存晝素，並且這些畫素的孤立圖案指標將於 步驟8 1 0中予以檢查。若參考路線孤立指標Ir為，，1，，，代 表孤乂圖案應該位於受檢視的標記中，當η X n個畫素中沒. 有沒有"1π時’缺少的圖案缺陷將受到定義，除非解除訊 號D從參考資料庫傳送出來（如步驟82〇)。當資料庫中的 圖案太大而無法隔離時，訊號D將會發出。此即意味著一 般略小於上述步驟620之規模，若其大於所預定的尺寸規 模時。 再次參閱第2圖，若於檢視標記R之適當位置中找到 孤立圖案，對於參考資料庫以及檢視通路的孤立圖案之灰 階的預測，將於步驟240a與240b中予以計算。此預測即 為所有在行、列、對角線之晝素灰階的總和。第9圖為用 以表示孤立圖案之U X U畫素陣列的範例，其中位於括號 中的值則為行與列之值。於後文中，j代表行值、丨代表列 值、k代表對角值。其預測的計算方式如下：

Pxj為總規模中第j行之灰階總和（j = 1 _ i i)

Pyi為總規模中第i行之灰階總和

Pbsk為自左上方畫素（1，i)起始之反斜對角線中第k 個元素的總和（k= 1-21) 之後於步驟250a與250b中，利用上述的預測值計算 第16頁 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐 ----------^---- 裝--------訂-------V--線 (請先閱讀背面之注音心事項再填寫本頁) ο

五、 發明說明（ 出平衡中央與分佈。以第9圖之11x 11陣列為例， 可由下列公式計算而得：

能量E η=Π E-^Pxi 相對於原點（〇，Ο )的平衡中心可計算如下 xe Ε ye Ε 相對於通過於點（〇,〇)之軸χ、y、與反斜向的慣量^、 Iy、lbs可計算如下： 1 2/1-22 Ix = ^i2Pxi ^^YfPyj Ibs = ^Hkl、Pbsk v/ i j ^ k=2 相對於通過於平衡中心（xe,ye)之軸x、y、與反斜向的 慣量Ixcm、Iycm、與ibscm可計算如下： {靖先閱讀背面之ii音？事項再填寫本頁) 裝--------訂-----—，—線 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製

Ixcm = /χ - xe1 * Ε lycm = fy — ye2 · Ε Ibscm = lbs - * E 2 相對於通過於平衡中心（xe，ye)之軸x、y、斜向、與反 斜向的分佈Sx、Sy、Sbs、與Ssl可計算如下·· Λ：

Ixcm 7

Sy:

Iycm

Sbs 二

Ibscm E

Ssl = Sx + Sy 〜sbs 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公爱） 471016 A7 B7 五、發明說明（ 為了方便將本發明實現於硬體之中， ! T 逐礅將上述的公 式組合，因此使冑能量與分佈值（這錢為本發明中所需 要偵測缺陷之相關參數值）可直接由下列公式計算得到·

Sy-

E

E Δ\ + 1)2. Pbsk (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Sbs /:-1 2Ε 0‘5. Ε 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 參閱第1 Ο圖，後文顯示了上述公式的計算結果範例’ 其中每個單元中的數值代表了其對應畫素的灰階。首先， 各預測值可計算如下： 9Pxj : .0, 0, 0,（16 + 40 + 12 = 68)，（47 + 55 + 22二 124)， (14 + 20+1 0 = 44)，0, 〇, 0 9Pyi ··0,0,0,（1 6 + 47+1 4 = 77)，（40 + 55 + 20二 115), (12 + 22+10二44)，0，0，〇 17Pbsk : 0, 0, 〇, 〇, 〇, 〇，16,（40 + 47 = 87)，（12 + 55十14==81)， (22 + 20 = 42)，10, 0, 0, 0, 〇, 〇, 〇 能量E可計算如下： ‘紙張尺度適用中.國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 裝--------訂-------！!線 471016 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明說明（）

! F E-68+124+44-236 分怖可計算如下··

Sx= (42χ68 + 52χ124 + 62χ44)/2 36 - ((4x68 + 5x124 + 6x44) /236)2 = 0·4642 '

Sy的計算方法與Sx相似

Sbs- (82χ6+92χ87 + 102x81+ 112x42 + 122x1〇)/(2x236) —0.5((4x68 + 5x 1 24 + 6x44 + 4x77 + 5M15 + 6x44)/236)2 = 0.4645 ' , 如第2圖所示，當孤立參考與檢視圖案之能量與分佈 參數於步驟2 5 0 a、2 5 0 b中計算得到之後，此5個參考圖 案參數（如能量與四個分佈參數），以及參考圖案未於電荷 耦合元件上的位置（如偵測圖案之二極體位置）將會用於辨 識圖案’如步驟260所示。此步驟將詳述於第1 1圖與第 12圖。於步驟no〇中，參考圖案之5個參考參數與位置 資訊將與稱之為"辨識圖案組塊（IFB)"之參考參數相互比 較’如第1 2圖所示。每個辨識圖案組塊對應於預期在標 記R上找到的孤立圖案。舉例而言，如1 μπα之電路接點、 2μτη之電路接點、ί型圖案、2μηι之I型圖案等。 舉例而言’在第1 2圖中，8個圖案可以予以辨識。每個辨 識圖案組塊皆與前次關連之圖案的能量與分佈參數之資 料庫（即儲存於記憶體360中）相對應。若孤立參考圖案可 於此步驟中予以辨識，所檢視圖案之參數將可與適當的歷 第19頁 本紙張尺度適用中卿家標準（CNS)A4規格⑽χ挪公楚） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--------訂-------,—線 471016 A7 B7 五、發明說明（） I < 史资料庫相比車父’以決定是否所檢視的圖案具有缺陷。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 每個參考參數皆於步驟π 〇 〇中，分別與相對應之辨 識圖案組塊對應之參數進行比對，並將其間的差異與預設 之起始值進行比對。此外，位於電荷耦合元件上參考圖案 之位置亦與辨識圖案組塊可於電荷耦合元件上出現位置 之預設範圍進行比對。對每個辨識圖案組塊而言，若任何 參數比較之差異值大於預設之起始值，或所檢視的位置超 過預設的位置範圍之外’則辨識圖案組塊將不會辨識該圖 案。就另一方面而言，若參數與位置符合其預設的範園 時，則該圖案將予以辨識，同時辨識圖案組塊該位元亦予 以設定。 在本發明的一個實施例中，若於步驟U〗〇中，沒有 任何辨識圖案組塊符合參考圖案，一個新的辨識圖案組塊 將會於步驟1 1 20中加入啟用，並使用孤立參考圖案之能 I與分佈值作為新的辨識圖案組塊之參考參數設定。於步 驟1 1 j 0中，新的歷史資料庫加入啟用，並孤立檢視圖案 之能量與分佈值。因此，在新的標記設計中，不存在於資 料庫中的新圖案的歷史資料將可加入新的辨識圖案組塊 中0 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 右孤土參考圖案獲得辨識（若其參數符合辨識圖案組 塊足參數），則在步驟丨丨40中符合辨識圖案組塊的歷史資 料將會由處理器320取回，而孤立檢视圖案之能量與分佈 值，將與歷史資料庫中的對應值進行比對（見步驟115〇)。 步驟1150對應於第2圖之步驟270。於步驟U6〇中，決 第20頁 本紙張尺度_ 家各(2ϋ㈤------- 471016

五、發明說明（ 疋是否孤立檢視圖案的參數，符合於歷史資歷庫中對應之 具有預設缺陷起始值之參數。若五個參數之任一個落於缺 陷起始值之外，圖案將於步驟n 7 〇中被視為缺陷。 若五個檢視能量與分散值非位於缺陷起始值内，步驟 1 1 80將決定是否每個參數皆位於預定之更新起始值内，而 所謂的更新起始值即代表檢視參數值與用以更新之歷史 資料參數值之間’最大的容許差異。若每個檢視圖案參數 與與犀史資料庫中對應的參數間的差異小於更新起始 值’則檢視圖案參數將足以依據加權公式而更新歷史資料 庫。然而’若此差異大於更新起始值，此檢視參數將不會 用於更新歷史資料庫（見步驟11 80a)，因為這些資料將會 對歷史資料庫造成不良的影響。 '本發明上述之實施例依據孤立圖案能量以及分佈 值’決定是否缺陷存在於孤立圖案之中。然而其他由孤立 圖案計算出之參數值’亦可用於替換或附加於能量與分佈 參數使用。舉例而言’孤立圖案的尺寸，如其直徑、周長、 半徑、高度、或寬度可以使用並依據所計算參數對於相關 圖案之特徵變異的敏感度’如由本發明之使用者所夹— 、第13圖為第3圖所示本發明之實施例的方塊圖。如 第3圖所示，依據此一實施例’處理器32〇包含訊號線13〇2 或其他用以溝通訊號的機制，中央處理單元（CPU) 1 3〇斗與 訊號線1 3 0 2相搞合用以處理資訊。處理器3 2 〇亦勺本 訊號線1 302相耦合之主記憶體1 306，如隨機存取記憶體 (RAM)或其他動態徵存裝置，用以儲存中央處理 ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) d *---- IT-------線' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第21頁

471016 A7 B7 經 濟 部 4° 慧 財 產 局 消 費 合 作 社 印 製 五、發明說明（ 所儲存之資訊與指示。主記憶體1 306可用以儲存中央處 理單元1 304與處理指令的過程中暫態的變數或其他的資 訊。處理器320更包含唯讀記憶體（ROM) 1 308，或其他與 匯流排1 302所耦合靜態儲存裝置，用以處理中央處理單 元1 304之靜態的指令與資料。儲存裝置1 3 1 0，如磁碟或 光碟’亦與匯流排1 302相耦合以儲存資料或指令。儲存 裝置1 3 1 0亦可做第3圖之記憶體340使用。 處理器320經由匯流排1 302與顯示器3 3 0(見第3圖） 相連接’如陰極射線管（CRT)，用以顯示資訊供使用者觀 看。輸入裝置1 3 1 4包含數字鍵與其他按键，與匯流排1 302 Μ合’用以傳輸資訊與選取指令至中央處理器1 304。其他 形式的使用者輸入裝置如由標控制裝置1 3 1 6，如滑鼠、執 跡球、或游標指示鍵，亦可用以傳輸資訊與選取指令至中 央處理器1 3 04，以控制顯示器3 3 0上的游標。 影像儀310(見第3圖）輸入正處於檢視狀態下之標記 的影像資料至匯流排1 3 0 2。這些資料也可儲存於主記憶體 1306與儲存裝置340之中以供中央處理器13〇4使用以執 行各式指令。影像儀3 1 0亦可接收由中央處理裝置1 3 〇 4 經由匯流排1 3 02所傳來的指令。 相似地，資料庫3 50(見第3圖）輸入代表無缺線之標 記資料至匯流排1 302。這些資料儲存於主記憶體13〇6之 中’與儲存裝置340之中’並為中央處理裝置13〇4執行 指令時所使用。 味發明係關於處理器320的使用，以檢視標記的表 第22頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

0 I n n n n n n 口、i n n It n n nvt— I B7 五、發明說明（） (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) =—依據本發明之實施例’處$里器320係因應於中央處理 T兀1 304，執行一個或多個儲存於主記憶體1 306之中的 ?、檢视私圮的表面。這些指令可由其他電腦可讀取 媒阮如儲存裝置1 3 1 0讀入主記憶體1 306之中。執行主 记隐版丨3 06中的指令序列，將可以使得中央處理單元執 仃上逑的步騾。位於多重處理配置之處理器，可選用以執 行儲存於主圮憶體1 306中的指令。如前文所述，在等效 的實施例中硬體線路可用以替代或配合軟體指令以實現 本發明。因此’本發明之實施例將不限定於特定之硬體電 路與軟體之組合。而本發明之裎式則可由習知技藝者予以 το成，以貫現第2、5、6、g、與1 1圖中的流程圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 、、此處所稱之電腦可讀取媒體則泛指任何媒體，以提供 中央處理單元1 3 〇4用以執行的指令。這樣的媒體可以是 任何的形式，包含但不限定於非揮發媒體、揮發媒體、與 傳輸媒體。非揮發媒體包含光碟或磁碟，如儲存裝置 1 3 1 0。揮發媒體包含動態記憶體，如主記憶體丨3 〇6。傳輸 媒體包含同軸電纜、銅導線、光纖，以及組成匯流排1302 的導線·。傳輸媒體可為聲波或光波的形式，如在射頻與紅 外線資料傳輸過程中所產生的訊號。一般形式的電腦可讀 取媒體包含軟碟、彈性碟（Flex[ble Disk)、硬碟、磁帶、 其他的磁性媒體' 光碟、DVD、其他的光學媒體、打洞卡' 紙帶、任何具有孔洞的實體媒體、隨機存取記憶體、可程 式唯讀記憶體（PROM)、可電除可程式唯讀記憶體 (EPROM)、快閃記憶體、任何的記憶晶片與卡匣、或任何 第23頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 471016 Α7 Β7 五、發明說明（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 可供電腦讀取的媒體。 多種電腦可讀取記憶體可用於傳遞一個或多個指令 至中央處理單元1 304以供執行。舉例而言，指令可起始 於磁碟或遠端電腦之上。遠端電腦可儲存指令於其動態記 億體中，並經由數據機以及電話線傳送指令。連接於處理 .器320的數據機可接收於電話線上的指令，並使用紅外線 傳輸器將資料轉換成紅外線訊號。耦合於訊號線丨3〇2的 紅外線偵測器可接收由紅外線訊號所傳遞的資料，並將資 料傳遞於訊號線13〇2中。訊號線13〇2傳遞資料至主記憶 體1 306，自其中中央處理單元13〇4可接收並執行指令。 由王記憶體U 06接收之指令可選擇性的於中央處理單元 1 J 0 4執行利或執行後，儲存於儲存裝置1 3 1 0之中。 因此，本發明之方法可對孤立圖案進行精確與可靠的 檢測，藉由辨識孤立圖案之所有畫素，並計算重要的圖案 參數（如能量或分佈值）以獲得圖案的辨識結果。此方法避 免了傳統標記檢視工具中一個晝素接著一個晝素的比 較，而此傳統工具將會在微小圖案上發生失誤，或得到不 精確的結果。此外，當檢視標記時，藉由計算標記特定位 =上之參考圖案的比較特徵值，檢視圖案將會被辨識為預 設之圖案集合之特定形式的孤立圖案，而不須要於參考路 線與檢視路線中做完美的登錄，因而降低了檢视時間。檢 視圖案的參數接著與先前檢視圖案之歷史資料庫中的比 較參數進行比對以偵測缺陷，#未價測出缺陷日寺，則這些 資料可加入歷史資料庫中β此外，若檢視與參考孤立圖案 第24貰 本紙張尺國家標準（(：ϋ規格（胁297 --------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衷i 訂------- 線 A7 B7 五、發明說明（ 無法於圖案集合中予以辨，去、， ！ · ^ 、 辨減時，這些ϋ案可加入集合中作 為新圖案的代表。 本發明可應用於檢损 k視任何用於製造半導體元件的微 影標記，以及特別於高密度半 、 干’隨几件以及次微米設計圖 案中標1己的線上檢測特別有效。 本發明可使用傳統的材料、 <竹 万法、與設備予以實現。 因此’這些材料、設備 '與方法々 A、 /、万忐的細即將不會於此處詳述。 在的文的描述中，随明Y每夕 、 . w 1¾明了 4多特定的實施細節，如特定的 材料、結構、化學物質、製#錾 Ά It ’以提供對本發明完整的 了解。然而，本發明亦可不用求助於前文所述的細節而予 以實施。在一些例子中，未仔細描述之f知的處理結構， 係為了避免使本發明之說明顯得重複而累贅。 前文僅揭露了本發明之較佳實施例以及少數的範 例。而習知技藝者在不脫離本發之精神下，當可對本發明 所提及的實施例做等效的修正與替換。 ί ____ I------1--裝--------訂-----------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第25頁 本紐尺度_ t國國家標準（CNS)A4規袼（210 X 297公爱）

Claims (1)

1. 471016 六 申請專利範圍

   058 0095 ABCD J. 法 方 該 法 方 的 案 圖 標 目 之 面 表 於 成 形 測 檢 以 ： 用 含 種包 1 少 值 數 參 之 案 圖 ;標 案目 圖離 標分 目該 離算 分計 者 具 否 是 案 圖 標 目 該 定 決 值 數 參 案 圖 標 目 該 應 因 陷 缺 及 : 以 含 * ’ 包案 更圖 ’ 標 法 目 方之 之案 述圖 所考 項 參 1標 第 目 圍於 範 應 利對 專識 請辨 .t. 如 2 值 案 圖 考 參 標 目 之 。 應中 對案 與圖 值標 數目 參於 案在 圖存 標否 目 是 對陷 比缺 定 決 第 圍 範 利 專產 請以 申案 如 玄到 3 生 擦單 目料 該資 像標 成 含 包 更 ， 圖 法標 方 目 之表 述代 所個 項多 或 個 2 目 之 案 相 的 面 表 該 於 應 對 並 階 灰 有 具 元 單 料 資 標 目 該 個 。 每置 ， 位 元對 C請先閲讀背面之注意事頊再填寫本 --- ^-------t 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4. 如申請專利範園第3項所述之方法’更包含以電荷耦合 元件（CCD)成像該目標圖案。 5. 如申請專利範圍第4項所述之方法，更包含投射光線經 過目標圖案至電荷耦合元件，或反射光線至電荷耦合元 件，以成像該目標圖案。 第26頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 >^ 297公愛） 471016 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 6. 如申請專利範圍第3項所述之方法，其中該目標圖案包 括圖案表面與邊緣，而每個該目標資料元件則代表至少 一個與該目標資料元件灰階與該目標圖案之邊緣的圖 案表面，其中更包含： 決定該目標資料單元中的目標圖案邊緣； 計算每個該目標資料單元中，所含有據以決定目標 圖案邊緣之目標圖案所佔的百分比；以及 .將目標資料元件之百分比乘以灰階，以獲得對應於 目標圖案之目標資料單元加權灰階。 ·、 7. 如申請專利範圍第6項所述之方法，更包含使用精巧方 法（canny method)以決定該目標圖案邊緣。 8. 如申請專利範圍第3項所述之方法，其中計算該目標圖 案參數值包含： 藉由加總對應於該目標圖案之該目標資料單元的 灰階，以計算該目標圖案的能量值；以及 —依據該目標圖案之平衡中心計算該目標圖案之分 佈值。 9. 如申請專利範圍第8項所述之方法，更包含： 計算該目標圖案中每個目標資料單元之預測值； 依據每個目標資料單元之預測值，計算出相對於原 點之目標圖案平衡中心； 第27頁 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -I fi n n I ( n 一alt I MO am 诵 I i I n n n n n n n n HI <1— n n I n i I u I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 471016 A8BBC8D8 六 、申請專利範圍 ! * 及 計算目標圖案相對於通過原點之軸的慣量； 計算目標圖案相對於通過平衡中心之軸的慣量.^ 計算目標圖案相對於通過平衡中心之站沾八 干日▽分佈 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 10·如申請專利範圍第3項所述之方法，其中計算目標 參值包含，藉由加總對應於該目標圖案之該目標資料單 元的灰階值以求得該目標圖案之能量值，與依據兮 圖案之平衡中心而計算出該目標圖案之多個分佈值，— 個該分佈值階依該目標圖案中預設的方向而計算； 其中計算該散佈值包含： 計算在目標圖案之預定方向中每個目標資料單 元之預測值； 依據該目標單元之預測值計算相對於原點之目 標圖案的平衡中心； 計算目標圖案沿著預定通過原點之軸線的慣 量；- 計算目標圖案沿著預定通過平衡中心之軸線的’ 慣量；以及 計算目標圖案沿著預定通過平衡中心之軸線的 散佈值。 U .如申請專利範圍第1 0項所述之方法，其中該目標圖案 第28頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4规格（21〇 χ 297公愛） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂——|丨 線丨 471016 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利把圍 I | 中之預定方向包含多變方向（Arbitrary Directions)。 1 2.如申請專利範圍第1 〇項所述之方法，其中該目標圖 案中之預定方向包含水平方向、垂直方向、斜向、與 反斜向。 13. 如申請專利範圍第6項所述之方法，其中該表面包含 .多個包含目標圖案之分離圖案，該方法包含： 成像多個圖案以產生代表該圖案之圖案/資料箄 元陣列，以及代表分離圖案之背景資料單元； 選取一個該目標資料單元； 藉由分析環繞該選取目標資料單元之該資料單 元，而決定代表該目標圖案之所有該目標資料單元， 以辨識僅環繞所有該目標資料單元之鄰近背景資料 單元的圖框。 14. 如申請專利範圍第1 3項所述之方法，更包含指派第 一二進位值給該背景資料單元，以及第二二進位值給 該圖案資料單元，並基於其相對之灰階至該決定步 驟，其中該決定步驟包含藉由搜尋具有第一二進位值 之資料單元以辨識該圖框。 15. 如申請專利範圍第1 3項所述之方法，辨識對應於該 貝標參考圖案之目標圖案的步驟包含： 第29頁 n n n n n i n n n 1 n i n n n n n II νϋ 0 n n n n n n K.I 1 —L I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 471016 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 1 自參考資料庫接收參考資料單元的陣列，該參考 資料單元代表多個分離圖案，其中包括該目標參考圖 案，與代表分隔該圖案間隙之空間的背景資料單元， 每個參考資料單元具有灰階，該目標參考圖案資料單 元對應於與該目標資料單元之該表面基本上相當的 位置； 選取一個該目標參考資料單元； . 藉由分析環繞該選取目標參考資料單元之該資 料單元，而決定代表該目標參考圖案之所有該資料旱 元，以辨識僅環繞所有該目標參考資料單元之鄰近背 景資料單元的圖框； 選取位於該圖框中的目標參考資料單元； 選取對應於該選取目標參考資料單元之該位置 的圖案資料單元；以及 分析該選取圖案資料單元與多個環繞該選取圖 案資料單元之圖案資料單元，以決定是否該選取圖案 資料單元或該多個週邊圖案資料單元為目標圖案資 料單元。 16. 如申請專利範圍第1 5項所述之方法，包含判定該表 面存有漏失圖案缺陷，當該選取圖案資料單元或該多 個週邊圖案資料單元，皆非目標圖案資料單元。 17. 如申請專利範圍第15項所述之方法，其中當該選取 第30頁 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 471016 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 AS B8 C8 D8六、申請專利範圍 ι 1 圖案資料單元或該多個週邊圖案資料單元，為目標圖 案資料單元時，該方法包含計算該目標參考圖案參數 值。 18. 如申請專利範圍第2項所述之方法，其中該目標參考 圖案參數值係接收自先前檢視目標圖案之歷史資料 庫，該方法包含決定存在於該目標圖案中的缺陷，當 該目標圖案參數值自對應之歷史資料庫參數值偏離 超過一個預定的起始值。 19. 如申請專利範圍第1 7項所述之方法，其中包含： 比對該目標參考圖案參數值與多個圖案辨識參 數值，每個該圖案辨識參數值關連於先前檢視目標圖 案的參數值之歷史資料庫；以及 決定存在於該目標圖案之缺陷，當該目標參考圖 案參數值符合於該圖案辨識參數值，以及該目標圖案 參數值自與該符合圖案辨識參數值相關之該歷史資 料庫參數值，偏離超過預設之起始值。 20 .如申請該專利範圍第1 9項所述之方法，包含加入該 目標圖案參數值至與該符合圖案辨識參數值相關之 該歷史資料庫，當沒有缺陷存在於該目標圖案中時， 以及該目標圖案參數值自與該符合圖案辨識參數值 相關之該歷史資料庫參數值，未偏離超過預設之起始 第31頁 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · ft n 1 In I ! I 一 I mu It n n n I I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 471016 C8 -----D8 _____ 六、申請專利範圍 j / 值時。 C請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 1.如申請該專利範圍第丨9項所述之方法，其中當該目 標參考圖案參數值未符合該圖案辨識參數值時，該方 法包括： 基於該S標參考圖案參數值，形成額外圖形辨識 參數值； . 基於該目標圖案參數值，形成關連於該額外圖案 '辨識參數值之額外歷史資料庫。 ’ 22 .如申請該專利範圍第1 7項所述之方法，其中計算該 目標參考圖案參數值包含： 藉由加總對應於該目標參考圖案之該目標參考 資料單元的灰階，以計算該目標圖案的能量值；以及 依據該目標參考圖案中預定的方向，計算該目標 參考圖案之分佈值。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 3.如_申請該專利範圍第1項所述之方法，其中該目標圖 案參數值對應至少一個該目標圖案之高度、至少一個 該目標圖案之寬度、該目標圖案之周長、該目標圖案 之直徑、該目標圖案之半徑、該目標圖案之該能量、 與該目標圖案之分佈值。 V 24. 一種承載指令之電腦可讀取媒體，用以檢視形成於表 第32頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 471016 A8 B8 CS D8 、申請專利範圍 25 面的資料圖案 處理器執行T判的步騾： 孤立該目樣圖案； ，當該指令執行時，可造成一個或多個 計算該狐立目標圖案之參數值； 因應該 有缺陷。 目襟圖案參數值決定該目標圖案是否具 如令請專利範圍第24項所述之電腦可讀取媒體，當 該指令執行時，可造成一個或多個處理器執行下列的 步驟： 辨識對應於目標參考圖案之該目標圖案；以及 比對目標圖案參數值與對應之目標參考圖案之 參數值，以決定缺陷是否存在於該目標圖案中。 -------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 27. 26.如申請專利範圍第25項所述之電腦可讀取媒體，當 該指令執行時’可造成一個或多個處理器控制影像儀 以成像該目標圖案以產生一個或多個代表目標圖案 之目標資料單元’每個該目標資料單元具有灰階旅對 應於該表面的相對位置° 如申請專利範圍第26項所述之電腦可讀取媒體’其 中該目標圖案包括圖案表面與邊緣’而每個圖案資料 單元代表至少一個關連於該.目標資料單元灰階以及 該目標圖案邊界之至少一個圖案表面，當該指令執行 第33頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公愛） 471016 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 I - 時，可造成一個或多個處理器執行下列的步驟： 決定該目標資料單元中的目標圖案邊緣； 計算每個該目標資料單元中，所含有據以決定目 標圖案邊緣之目標圖案所佔的百分比；以及 將目標資料元件之百分比乘以灰階，以獲得對應 於目標圖案之目標資料單元加權灰階。 28. 如申請專利範圍第27項所述之電腦可讀取媒體，當 該指令執行時，可造成一個或多個處理器使用精巧方 法（canny method)以決定該目標圖案邊緣。 29, 如申請專利範圍第26項所述之電腦可讀取媒體，當 該指令執行時，可造成一個或多個處理器執行下列步 驟： 藉由加總對應於該目標圖案之該目標資料單元 的灰階，以計算該目標圖案的能量值；以及 依據該目標圖案之平衡中心計算該目標圖案之 分佈值。 3〇,如申請專利範圍第29項所述之電腦可讀取媒體，當 該指令執行時，可造成一個或多個處理器執行下列步 驟： 計算該目標圖案中每個目標資料單元之預測 值； 第34頁 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 乂------- 訂------------線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 471016 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 1 依據每個目標資料單元之預測值，計算出相對於 原點之目標圖案平衡中心； 計算目標圖案相對於通過原點之軸的慣量； 計算目標圖案相對於通過平衡中心之軸的慣 量；以及 計算目標圖案相對於通過平衡中心之軸的分佈 值。 3 1.如申請專利範圍第26項所述之電腦可讀取媒體，f 該指令執行時，可造成一個或多個處理器藉由加總對 應於該目標圖案之該目標資料單元的灰階值以求得 該目標圖案之能量值，與依據該目標圖案之平衡中心 而計算出該目標圖案之多個分佈值，每個該分佈值階 依該目標圖案中預設的方向而計算； 當該指令執行時，可造成一個或多個處理器依下 列步驟計算該散佈值： 計算在目標圖案之預定方向中每個目標資料單 元之預測值； 依據該目標單元之預測值計算相對於原點之目 標圖案的平衡中心； 計算目標圖案沿著預定通過原點之軸線的慣 量； 計算目標圖案沿著預定通過平銜中心之軸線的 慣量；以及 第35頁 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) * n n I n n n 一一OJi n n n n 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 471016 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 ]· 計算目標圖案沿著預定通過平衡中心之軸線的 散佈值。 3 2.如申請專利範圍第3 1項所述之電腦可讀取媒體，其 中該目標圖案中之預定方向包含多變方向（Arbitrary Directions)。 3 3 .如申請專利範圍第31項所述之電腦可讀取媒體’其 '中該目標圖案中之預定方向包含水平方向、垂直方 向、斜向、與反斜向。 34.如申請專利範圍第27項所述之電腦可讀取媒體，其 中該表面包含多個包含目標圖案之分離圖案，當該指 令執行時，可造成一個或多個處理器執行下列步驟： 控制該影像儀以成像多個圖案以產生代表該圖 案之圖案資料單元陣列，以及代表分離圖案之背景資 料單元； ~ 選取一個該目標資料單元； 藉由分析環繞該選取目標資料單元之該資料單 元，而決定代表該目標圖案之所有該目標資料單元， 以辨識僅環繞所有該目標資料單元之鄰近背景資料 單元的圖框。 3 5 .如申請專利範圍第3 4項所述之電腦可讀取媒體’當 第36頁 本ϋ尺度適用中國國家標準YCNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---------訂-------Ί" · 471016 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 、申請專利範圍 [- 該指令執行時，可造成一個或多個處理器執行下列步 驟： 指派第一二進位值給該背景資料單元，以及第二 二進位值給該圖案資料單元，並基於其相對之灰階至 該決定步驟；以及 藉由搜尋具有第一二進位值之資料單元以辨識 該圖框。 36.如申請專利範圍第34項所述之電腦可讀取媒體，’賞 該指令執行時，可造成一個或多個處理器依據下列步 驟辨識對應於該目標參考圖案之目標圖案： 自參考資料庫接收參考資料單元的陣列，該參考 資料單元代表多個分離圖案，其中包括該目標參考圖 案，與代表分隔該圖案間隙之空間的背景資料單元， 每個參考資料單元具有灰階，該目標參考圖案資料單 元對應於與該目標資料單元之該表面基本上相當的 位置； ' 選取一個該目標參考資料單元； 藉由分析環繞該選取目標參考資料單元之該資 料單元，而決定代表該目標參考圖案之所有該資料單 元，以辨識僅環繞所有該目標參考資料單元之鄰近背 景資料單元的圖框； 選取位於該圖框中的目標參考資料單元； 選取對應於該選取目標參考資料單元之該位置 第37頁 (請先閱讀背面之注意事項再填窵本頁) 乂 ---- 訂i n n n n n I 線丨 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210 X 297公釐） 471016 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 I - 的圖案資料單元；以及 分析該選取圖案資料單元與多個環繞該選取圖 案資料單元之圖案資料單元，以決定是否該選取圖案 資料單元或該多個週邊圖案資料單元為目標圖案資 料單元。 37. 如申請專利範圍第36項所述之電腦可讀取媒體，當 該指令執行時，可造成一個或多個處理器判定該表面 '存有漏失圖案缺陷，當該選取圖案資料單元或該多1固 週邊圖案資料單元，皆非目標圖案資料單元。 38. 如申請專利範圍第36項所述之電腦可讀取媒體，其 中當該選取圖案資料單元或該多個週邊圖案資料單 元，為目標圖案資料單元時，當該指令執行時，可造 成一個或多個處理器執行計算該目標參考圖案參數 值的步驟。 3 9.如申請專利範圍第25項所述之電腦可讀取媒體，其 中該目標參考圖案參數值係接收自先前檢視目標圖 案之歷史資料庫，當該指令執行時，可造成一個或多 個處理器決定存在於該目標圖案中的缺陷，當該目標 圖案參數值自對應之歷史資料庫參數值偏離超過一 個預定的起始值。 .第38頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 471016 A8B8C8D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 i 40.如申請專利範圍第3 8項所述之電腦可讀取媒體，當 該指令執行時，可造成一個或多個處理器執行下列步 驟： 比對該目標參考圖案參數值與多個圖案辨識參 數值，每個該圖案辨識參數值關連於先前檢視目標圖 案的參數值之歷史資料庫；以及 決定存在於該目標圖案之缺陷，當該目標參考圖 案參數值符合於該圖案辨識參數值，以及該目標圖案 ‘參數值自與該符合圖案辨識參數值相關之該歷史資 料庫參數值，偏離超過預設之起始值。 4 1，如申請專利範圍第4〇項所述之電腦可讀取媒體，當 該指令執行時，可造成一個或多個處理器加入該目標 圖案參數值至與該符合圖案辨識參數值相關之該歷 史資料庫，當沒有缺陷存在於該目標圖案中時，以及 該目標圖案參數值自與該符合圖案辨識參數值相關 之該歷史資料庫參數值，未偏離超過預設之起始值 時。 42 _如申請專利範圍第28項所述之電腦可讀取媒體，其 中當該目標參考圖案參數值未符合該圖案辨識參數 值時，當該指令執行時，可造成/個或多個處理器執 行下列步驟： 基於該目標參考圖案參數值，形成額外圖形辨識 第39頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 — I1II1II — 1I1— - ^ - — — III — — ·!ιιιιιί— I ^ ΐ J (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 471016 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 參數值； 基於該目標圖案參數值，形成關連於該額外圖案 辨識參數值之額外歷史資料庫。 43 .如申請專利範圍第38項所述之電腦可讀取媒體，當 該指令執行時，可造成一個或多個處理器依下列步驟 計算該目標參考圖案參數值： . 藉由加總對應於該目標參考圖案之該目標參考 資料單元的灰階，以計算該目標圖案的能量值；以及 依據該目標參考圖案中預定的方向，計算該目標 參考圖案之分佈值。 44.如申請專利範圍第24項所述之電腦可讀取媒體，其 中該目標圖案參數值對應至少一個該目標圖案之高 度、至少一個該目標圖案之寬度、該目標圖案之周 長、該目標圖案之直徑、該目標圖案之半徑、該目標 圖案之該能量、與該目標圖案之分佈值。 淖5. —種用以偵測位於表面之標記圖案的檢視工具，該檢 視工具至少包含： 影像儀用以成像該目標圖案以產生一個或多個 代表目標圖案之目標資料單元，每個該目標資料單元 具有灰階並對應於該表面的相對位置；以及 處理器用以孤立該目標圖案，計算該孤立目標圖 第40貫 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂----——[ά— ^ n n n n n a— It n 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（210 X 297公釐） 471016 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 } J 案之參數值，以及因應該目標圖案參數值決定該目標 圖案中是否存有缺陷。 46. 如申請專利範圍第45項所述之檢視工具，其中該處 理器進一步依據目標參考圖案辨識該目標圖案，該檢 視工具更包含比較器用以比較該目標圖案參數值與 關連於目標參數圖案之對應參數值，以決定該目標圖 案中是否存有缺陷。 47. 如申請專利範圍第45項所述之檢視工具，其中該影 像儀包含電荷耦合元件（CCD)。 48. 如申請專利範圍第47項所述之檢視工具，其中該影 像儀係透過投射光線經過目標圖案至電荷耦合元 件，或反射光線至電荷耦合元件，以成像該目標圖 案。 49. 如申請專利範圍第46項所述之檢視工具，其中該目 標圖案包含圖案表面與邊緣，而每個目標資料單元代 表至少一個關連於該目標資料單元灰階，以及該目標 圖案邊界之圖案表面，其中該處理器可用於： 決定該目標資料單元中的目標圖案邊緣； 計算每個該目標資料單元中，所含有據以決定目 標圖案邊緣之目標圖案所佔的百分比；以及 第41頁 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

   本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 471016 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 將目標資料元件之百分比乘以灰階，以獲得對應 於目標圖案之目標資料單元加權灰階。 5 0 ·如申請專利範圍第49項所述之檢視工具，其中上述 之該處理器可使用精巧方法（canny method)以決定該 目標圖案邊緣。 5 K如申請專利範圍第45項所述之檢視工具，其中上述 之處理器可用於： ’、 藉由加總對應於該目標圖案之該目標資料單元 的灰階，以計算該目標圖案的能量值：以及 依據該目標圖案之平銜中心計算該目標圖案之 分佈值。 5 2.如申請專利範圍第5 1項所述之檢視工具，其中上述 之處理器可用於： 計算該目標圖案中每個目標資料單元之預測 值； 依據每個目標資料單元之預測值，計算出相對於 原點之目標圖案平衡中心； 計算目標圖案相對於通過原點之軸的慣量； 計算目標圖案相對於通過平衡中心之軸的慣 量；以及 計算目標圖案相對於通過平衡中心之軸的分佈 第42貫 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 471016 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 值。 5 3 .如申請專利範圍第45項所述之檢視工具，其中上述 之處理器可，藉由加總對應於該目標圖案之該目標資 料單元的灰階值以求得該目標圖案之能量值，與依據 該目標圖案之平衡中心而計算出該目標圖案之多個 分佈值，每個該分佈值階依該目標圖案中預設的方向 而計算； 其中處理器可藉由下列方法計算目標圖案參敦 值： 計算在目標圖案之預定方向中每個目標資料單 元之預測值； 依據該目標單元之預測值計算相對於原點之目 標圖案的平衡中心； 計算目標圖案沿著預定通過原點之軸線的慣 量； 計算目標圖案沿著預定通過平衡中心之軸線的 慣量；以及 計算目標圖案沿著預定通過平衡中心之軸線的 散佈值。 54.如申請專利範圍第53項所述之檢視工具，其中該目 標圖案中之預定方向包含多變方向（Arbitrary Directions)。 第43頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 線. 471016 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 六、申請專利範圍 ; 5 5 .如申請專利範圍第5 3項所述之檢視工具，其中該目 標圖案中之預定方向包含水平方向、垂直方向、斜 向、與反斜向。 5 6.如申請專利範圍第49項所述之檢視工具，其中該表 面包含多個包含目標圖案之分離圖案； 其中該影像儀係用以成像多個圖案以產生代表 .該圖案之圖案資料單元陣列，以及代表分離圖案之背 '景資料單元；以及 ， 其中該處理器係用以選取一個該目標資料單 元，與藉由分析環繞該選取目標資料單元之該資料單 元，而決定代表該目標圖案之所有該目標資料單元， 以辨識僅環繞所有該目標資料單元之鄰近背景資料 單元的圖框。 57.如申請專利範圍第56項所述之檢視工具，其中該處 理器係用以指派第一二進位值給該背景資料單元，以 及第二二進位值給該圖案資料單元，並基於其相對之 灰階至該決定步驟，其中該決定步驟包含藉由搜尋具 有第一二進位值之資料單元以辨識該圖框。 5 8.如申請專利範圍第5 6項所述之檢視工具，其中該處 理器係依據下列步驟辨識對應於該目標參考圖案之 目標圖案： 第林頁 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I r m In It ί 1« I 一5,_ I .n n K n n I I - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 471016 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 自參考資料庫接收參考資料單元的陣列，該參 資料單元代表多個分離圖案’其中包括核目標參; 案’與代表分隔該圖案間隙之空間的背景資料單—· 每個參考資料單元具有灰階’肖目標I考圖案資料單 元對應於與該目標資料單元之該表面基本上相當: 位置； 選取一個該目標參考資料單元； 藉由分析環繞該選取目標參考資料單元之該資 料單元’而決定代表該目標參考圖案之所有該資料單 元，以辨識僅環繞所有該目標參考資料單元之鄰近背 景資料單元的圖框； 選取位於該圖框中的目標參考資料單元； 選取對應於該選取目標參考資料單元之該位置 的圖案資料單元；以及 分析該選取圖案資料單元與多個環繞該選取圖 案資料單元之圖案資料單元’以決定是否該選取圖案 資料單元或該多個週邊圖案資料單元為目標圖案資 料單元。 59.如申請專利範圍第58項所述之檢视工具，其中該處 理器係用於判定該表面存有潙失圖案缺陷，當該遽取 圖案資料單元或該多個週邊圖案資料單元’皆非目標 圖案資料單元。 第45頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） >n ^it I n n f— n n n «I , · m n I— 1 n n 訂丨 n m3· n n n »i I —r I I n n (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 471016 A8B8C8D8 六 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 申請專利範圍 6 0.如申請專利範圍第58項所述之檢視工具，其中當該 選取圖案資料單元或該多個週邊圖案資料單元，為目 標圖案資料單元時，該方法包含計算該目標參考圖案 參數值。 61. 如申請專利範圍第46項所述之檢視工具，其中該目 標參考圖案參數值係接收自先前檢視目標圖案之歷 史資料庫； 其中該處理器係用於決定存在於該目標圖案f 的缺陷，當該目標圖案參數值自對應之歷史資料庫參 數值偏離超過一個預定的起始值。 62. 如申請專利範圍第60項所述之檢視工具，其中該比 較器係用於比對該目標參考圖案參數值與多個圖案 辨識參數值，每個該圖案辨識參數值關連於先前檢視 目標圖案的參數值之歷史資料庫；以及 其中該處理器係用於決定存在於該目標圖案之 缺陷，當該目標參考圖案參數值符合於該圖案辨識參 數值，以及該目標圖案參數值自與該符合圖案辨識參 數值相關之該歷史資料庫參數值，偏離超過預設之起 始值。 63. 如_請專利範圍第62項所述之檢視工具，其中該處 理器係用於加入該目標圖案參數值至與該符合圖案 第46頁 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂——------l·—線！ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 471016 A8 B8 C8 D8 六 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印制农 申請專利範圍 辨識參數值相關之該歷史資料庫，當沒有缺陷存在於 該目標圖案中時，以及該目標圖案參數值自與該符合 圖案辨識參數值相關之該歷史資料庫參數值，未偏離 超過預設之起始值時。 64. 如申請專利範圍第62項所述之檢視工具，其中當該 目標參考圖案參數值未符合該圖案辨識參數值時，該 處理器可用於： 基於該目標參考圖案參數值，形成額外圖形辨識 參數值； 基於該目標圖案參數值，形成關連於該额外圖案 辨識參數值之額外歷史資料庫。 65. 如申請專利範圍第60項所述之檢視工具，其中該處 理器可藉由下列方法計算該目標參考圖案參數： 藉由加總對應於該目標參考圖案之該目標參考 資料單元的灰階，以計算該目標圖案的能量值；以及 依據該目標參考圖案中預定的方向，計算該目標 參考圖案之分佈值。 6 6.如申請專利範圍第45項所述之檢視工具，其中該目 標圖案參數值對應至少一個該目標圖案之高度、至少 一個該目標圖案之寬度、該目標圖案之周長、該目標 圖案之直徑、該目標圖案之半徑、該目標圖案之該能 第47頁 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) V 丁 1-'· n v^i n n n n ^ 3 Ϊ n n* —a— n •線- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 471016 ABCD 六、申請專利範圍量、與該目標圖案之分佈值。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第幼頁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉