JP2010272797A - 検査結果解析方法および検査結果解析装置、異常設備検出方法および異常設備検出装置、上記検査結果解析方法または異常設備検出方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、並びに上記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
検査結果解析方法および検査結果解析装置、異常設備検出方法および異常設備検出装置、上記検査結果解析方法または異常設備検出方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、並びに上記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】製造ラインの或る工程において、その工程を実行する設備に対して過去に検査された基板が装荷された第1の基板装荷方向と解析対象基板が装荷された第2の基板装荷方向との差を表す角度を算出する(S101)。その角度を解消するように第2の基板面内特性分布情報を回転させる(S102)。回転された第2の基板面内特性分布情報を、第1の基板面内特性分布情報と照合する(S103)。
【選択図】図1
Description
基板に対して1つ以上の工程をそれぞれその工程を実行可能な1機以上の製造設備を用いて実行する製造ラインで、過去に検査された基板の検査結果を表す第1の基板面内特性分布情報と現に検査された解析対象基板の検査結果を表す第2の基板面内特性分布情報とが一致するかどうかを解析する検査結果解析方法であって、
上記製造ラインの或る注目工程において、その工程を実行する設備に対して上記過去に検査された基板が装荷された第1の基板装荷方向と上記解析対象基板が装荷された第2の基板装荷方向との差を表す角度を算出する角度算出工程と、
上記角度を解消するように上記第2の基板面内特性分布情報を回転させる回転工程と、
上記回転工程で回転された上記第2の基板面内特性分布情報を、上記第1の基板面内特性分布情報と照合する検査結果照合工程とを有する。
上記過去に検査された基板に関して、少なくとも上記第1の基板面内特性分布情報と、上記注目工程として過去に設備異常が発生した工程を特定する情報と、上記第1の基板装荷方向を特定する情報とを関連付けて過去事例として記憶し、
上記解析対象基板に関して、少なくとも上記第2の基板面内特性情報と上記解析対象基板を特定する情報とを上記製造ラインから収集し、
上記角度算出工程は、上記製造ラインから収集された情報を用いて、上記注目工程において上記解析対象基板がその工程を実行する設備に対して装荷された第2の基板装荷方向を特定して、上記角度を算出することを特徴とする。
上記製造ラインの各工程に設けられた各設備に対する基板装荷方向は、上記製造ラインにおける上記各設備のレイアウトに対応して一定になっており、
上記各工程毎に上記各設備に対する基板装荷方向をその設備の名称と関連付けて記憶部に記憶し、
上記第1の基板装荷方向を特定する情報として、上記過去事例で上記設備異常が発生した設備の名称を用いるとともに、上記第2の基板装荷方向を特定する情報として、上記設備異常が発生した前歴をもつ上記注目工程で上記解析対象基板が処理された設備の名称を用い、
上記角度算出工程では、上記設備異常が発生した設備の名称と上記解析対象基板が処理された設備の名称とから、上記記憶部の記憶内容を参照して上記第1および第2の基板装荷方向を求めて、上記角度を算出することを特徴とする。
複数の過去事例を記憶し、
上記過去事例毎に上記角度算出工程から上記検査結果照合工程までを繰り返すことを特徴とする。
基板に対して1つ以上の工程をそれぞれその工程を実行可能な1機以上の製造設備を用いて実行する製造ラインにおいて発生した設備異常を検知する異常設備検出方法であって、
上記の検査結果解析方法を実行し、
上記検査結果照合工程によって上記第1の基板面内特性分布情報と上記第2の基板面内特性分布情報とが一致したと判断された場合に、上記注目工程において上記解析対象基板に対してその工程を実行した設備に異常が発生したことを検出する異常検出工程を有することを特徴とする。
基板に対して1つ以上の工程をそれぞれその工程を実行可能な1機以上の製造設備を用いて実行する製造ラインで、過去に検査された基板の検査結果を表す第1の基板面内特性分布情報と現に検査された解析対象基板の検査結果を表す第2の基板面内特性分布情報とが一致するかどうかを解析する検査結果解析装置であって、
上記製造ラインの或る注目工程において、その工程を実行する設備に対して上記過去に検査された基板が装荷された第1の基板装荷方向と上記解析対象基板が装荷された第2の基板装荷方向との差を表す角度を算出する角度算出部と、
上記角度を解消するように上記第2の基板面内特性分布情報を回転させる回転部と、
上記回転工程で回転された上記第2の基板面内特性分布情報を、上記第1の基板面内特性分布情報と照合する検査結果照合部とを有する。
上記過去に検査された基板に関して、少なくとも上記第1の基板面内特性分布情報と、上記注目工程を特定する情報と、上記第1の基板装荷方向を特定する情報とを関連付けて過去事例として記憶する過去事例記憶部と、
上記解析対象基板に関して、少なくとも上記第2の基板面内特性情報と上記解析対象基板を特定する情報とを上記製造ラインから収集する検査結果収集部とを有し、
上記角度算出部は、上記製造ラインから収集された情報を用いて、上記注目工程において上記解析対象基板がその工程を実行する設備に対して装荷された第2の基板装荷方向を特定して、上記角度を算出することを特徴とする。
基板に対して1つ以上の工程をそれぞれその工程を実行可能な1機以上の製造設備を用いて実行する製造ラインにおいて発生した設備異常を検知する異常設備検出装置であって、
上記の検査結果解析装置を備え、さらに、
上記検査結果照合部によって上記第1の基板面内特性分布情報と上記第2の基板面内特性分布情報とが一致したと判断された場合に、上記注目工程において、上記解析対象基板に対してその工程を実行した設備に異常が発生したことを検出する異常検出部を備える。
この検査結果解析装置1700では、入力装置1201、過去事例記憶部1202、履歴収集部1203、製造装置1204、検査結果収集部1205、検査装置1206、角度算出部1207、回転部1208、検査結果照合部1208および出力装置1210は、上述の検査結果解析装置(図12参照)のものと同一である。
照合結果記憶部1701は、検査結果照合部1209から解析結果を受け取り、各過去事例で設備異常が発生した設備毎に、各解析対象基板についての第2の基板面内特性分布情報が各過去事例における第1の基板面内特性分布情報に一致するか否かを記憶する。
異常検出部1702は、照合結果記憶部1701の記憶内容を参照することによって、過去に設備異常が発生した前歴をもつ工程において、解析対象基板に対してその工程を実行した設備について、その解析対象基板が検査された時期の直近の或る期間内に、別の解析対象基板についての第2の基板面内特性分布情報が上記過去事例における第1の基板面内特性分布情報に一致した頻度(つまり、該当頻度)を算出する。そして、その該当頻度が既定値以上であるか否かを判断して、その該当頻度が既定値以上であれば、上記設備を異常設備として検出する。
C1 検査装置
W,W1,W2,W3,W11,W12 基板
202,702 欠陥
203,703 欠陥密集領域
Claims (12)
- 基板に対して1つ以上の工程をそれぞれその工程を実行可能な1機以上の製造設備を用いて実行する製造ラインで、過去に検査された基板の検査結果を表す第1の基板面内特性分布情報と現に検査された解析対象基板の検査結果を表す第2の基板面内特性分布情報とが一致するかどうかを解析する検査結果解析方法であって、
上記製造ラインの或る注目工程において、その工程を実行する設備に対して上記過去に検査された基板が装荷された第1の基板装荷方向と上記解析対象基板が装荷された第2の基板装荷方向との差を表す角度を算出する角度算出工程と、
上記角度を解消するように上記第2の基板面内特性分布情報を回転させる回転工程と、
上記回転工程で回転された上記第2の基板面内特性分布情報を、上記第1の基板面内特性分布情報と照合する検査結果照合工程とを有する検査結果解析方法。 - 請求項1に記載の検査結果解析方法において、
上記過去に検査された基板に関して、少なくとも上記第1の基板面内特性分布情報と、上記注目工程として過去に設備異常が発生した工程を特定する情報と、上記第1の基板装荷方向を特定する情報とを関連付けて過去事例として記憶し、
上記解析対象基板に関して、少なくとも上記第2の基板面内特性情報と上記解析対象基板を特定する情報とを上記製造ラインから収集し、
上記角度算出工程は、上記製造ラインから収集された情報を用いて、上記注目工程において上記解析対象基板がその工程を実行する設備に対して装荷された第2の基板装荷方向を特定して、上記角度を算出することを特徴とする検査結果解析方法。 - 請求項2に記載の検査結果解析方法において、
上記第1および第2の基板装荷方向を、上記注目工程に設けられたいずれかの設備に対する基板装荷方向を基準として定めることを特徴とする検査結果解析方法。 - 請求項2または3に記載の検査結果解析方法において、
上記製造ラインの各工程に設けられた各設備に対する基板装荷方向は、上記製造ラインにおける上記各設備のレイアウトに対応して一定になっており、
上記各工程毎に上記各設備に対する基板装荷方向をその設備の名称と関連付けて記憶部に記憶し、
上記第1の基板装荷方向を特定する情報として、上記過去事例で上記設備異常が発生した設備の名称を用いるとともに、上記第2の基板装荷方向を特定する情報として、上記設備異常が発生した前歴をもつ上記注目工程で上記解析対象基板が処理された設備の名称を用い、
上記角度算出工程では、上記設備異常が発生した設備の名称と上記解析対象基板が処理された設備の名称とから、上記記憶部の記憶内容を参照して上記第1および第2の基板装荷方向を求めて、上記角度を算出することを特徴とする検査結果解析方法。 - 請求項2から4までのいずれか一つに記載の検査結果解析方法において、
上記第1、第2の基板面内特性分布情報は、それぞれ上記過去事例における上記基板の面内、上記解析対象基板の面内の不良の分布を表す情報であることを特徴とする検査結果解析方法。 - 請求項2から5までのいずれか一つに記載の検査結果解析方法において、
複数の過去事例を記憶し、
上記過去事例毎に上記角度算出工程から上記検査結果照合工程までを繰り返すことを特徴とする検査結果解析方法。 - 基板に対して1つ以上の工程をそれぞれその工程を実行可能な1機以上の製造設備を用いて実行する製造ラインにおいて発生した設備異常を検知する異常設備検出方法であって、
請求項2から6までのいずれか一つに記載の検査結果解析方法を実行し、
上記検査結果照合工程によって上記第1の基板面内特性分布情報と上記第2の基板面内特性分布情報とが一致したと判断された場合に、上記注目工程において、上記解析対象基板に対してその工程を実行した設備に異常が発生したことを検出する異常検出工程を有することを特徴とする異常設備検出方法。 - 基板に対して1つ以上の工程をそれぞれその工程を実行可能な1機以上の製造設備を用いて実行する製造ラインで、過去に検査された基板の検査結果を表す第1の基板面内特性分布情報と現に検査された解析対象基板の検査結果を表す第2の基板面内特性分布情報とが一致するかどうかを解析する検査結果解析装置であって、
上記製造ラインの或る注目工程において、その工程を実行する設備に対して上記過去に検査された基板が装荷された第1の基板装荷方向と上記解析対象基板が装荷された第2の基板装荷方向との差を表す角度を算出する角度算出部と、
上記角度を解消するように上記第2の基板面内特性分布情報を回転させる回転部と、
上記回転工程で回転された上記第2の基板面内特性分布情報を、上記第1の基板面内特性分布情報と照合する検査結果照合部とを有する検査結果解析装置。 - 請求項8に記載の検査結果解析装置において、
上記過去に検査された基板に関して、少なくとも上記第1の基板面内特性分布情報と、上記注目工程を特定する情報と、上記第1の基板装荷方向を特定する情報とを関連付けて過去事例として記憶する過去事例記憶部と、
上記解析対象基板に関して、少なくとも上記第2の基板面内特性情報と上記解析対象基板を特定する情報とを上記製造ラインから収集する検査結果収集部とを有し、
上記角度算出部は、上記製造ラインから収集された情報を用いて、上記注目工程において上記解析対象基板がその工程を実行する設備に対して装荷された第2の基板装荷方向を特定して、上記角度を算出することを特徴とする検査結果解析装置。 - 基板に対して1つ以上の工程をそれぞれその工程を実行可能な1機以上の製造設備を用いて実行する製造ラインにおいて発生した設備異常を検知する異常設備検出装置であって、
請求項9に記載の検査結果解析装置を備え、さらに、
上記検査結果照合部によって上記第1の基板面内特性分布情報と上記第2の基板面内特性分布情報とが一致したと判断された場合に、上記注目工程において、上記解析対象基板に対してその工程を実行した設備に異常が発生したことを検出する異常検出部を備える異常設備検出装置。 - 請求項1に記載の検査結果解析方法または請求項7に記載の異常設備検出方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
- 請求項11に記載のプログラムを記録したことを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
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