TW449676B - Variable height sensor tree - Google Patents

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A7 B7 449676 五*、發明說明（/ ) 月背景 [1 f 1 I I n n l 1 I I Λ i n (請先閱讀背面之注^事項木填寫本頁> 1、 發明領域 本發明係相關於一種新穎的可變位置感應器裝置。該 感應器裝置所具有特定的應用性係爲將例如是液體高度感 應器或是濃度感應器等等感應器設定在一個液化容置容槽 中所期望之位置處。 2、 相關前技之說明 線 在半導體製造業中，液體化學藥品係被廣泛使用在晶 圓淸潔以及蝕刻程序中。程序貯槽以及其他液體容納容槽 係可以包括有一個或是多個感應器，用以監視例如是液體 高度或是在該液體容納容槽所容置之液體溶液中某成分之 濃度。在傳統上，此等感應器係被固定地附接至液體容納 容槽上，或者是被固定地附接至感應器保持器上，而該感 應器保持器係接著被固定至該容槽上。爲了改變傳統感應 器或是位於該容槽上感應器保持器之位置，液體必須從該 容槽排出，穿孔必須被鑽在該液體容納容槽中感應器所置 放之每一位置處，並且改應器或是感應器保持器必須藉由 一種適當的固定鍵而使其被固定在適切位置處。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 感應器以上述傳統方式之重新定位係非常不具效率並 且昂貴者。就這一點而論，感應器係無法在使容槽不停止 服務一段時間來重新調整感應器之位置的情況下而能夠移 動至一個新的位置。在半導體製造程序中，容槽之淸潔是 必需的’以便能夠確保被容內於其中之液態化學藥品不會 被污染。此等淸潔程序係可能會導致多方面程序的停工， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 4 49 6 7 6 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（>) 而可能造成相當大的開支。 因此，本發明之目的係爲提出一種可變高度感應器樹 狀結構，其係能夠容許以一種快速且靈巧之方式來置放及 調整感應器。 發明槪要 根據本發明的第一方面，一種可變位置感應器裝置係 被提出。該裝置係包括有一個被附接至一軌道保持器之固 定軌道。一個可調整式感應器保持器係適合於容置一個感 應器，並且係能夠滑動及鎖入該固定軌道上的適切位置中 〇 根據本發明之第二方面，一個可變位置感應器裝置係 包括有一個容置容槽，該容置容槽係具有一個被附接至其 上之固定軌道，並且該容置容槽係具有一個適合於容置一 感應器之可調整式感應器保持器。該可調整式感應器保持 器係能夠滑動及鎖入該垂直軌道上的適切位置中。 圖示簡單說明 本發明之目的與優點將從下文中較佳實施例之詳細說 明，並參照伴隨之圖示而將變得更爲顯明，其中相同的元 件符號係標示相同的元件，該等圖示係爲： 第一A圖至第一C圖係說明了根據本發明之一個代表 性可變位置感應器裝置的分解圖； 第二圖係爲可滑動地與一軌道相銜接之代表性可變位 4 I 1^1 1^1 I l^i n u- n I ^ If ^^1 J ^^1 1^1 4 ^^1 n In ^^1 ^^1 —1 n I fn K r (請先閱讀背面之注兔事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格 (210 x 297公釐） α 49 6 76 Α7 Β7 _____ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（>) 置感應器裝置之誇大視圖； 第三A圖以及第三B圖係爲代表性可變位置感應器裝 置之固定軌道的立體圖及前視圖； 第四圖係爲根據本發明代表性之方面而被附接至一容 置容槽之可變位置感應器裝置的立體圖；以及 第五圖係爲根據本發明一個方面之容槽，其係包括有 一個軌道並有四個感應器保持器被附接於其上。 齩佳窗施例詳細說明 本發明將參照第一A圖至第一C圖來加以說明，其中 第一A圖至第一 C圖係說明了根據本發明—方面之代表性 可調整式感應器保持器1 0 0之分解圖。 可調整式感應器保持器1 0 0係包括有一個基部端1 〇 2、一個上方部分1 〇 4、以及一個末梢端1 〇 6。該 感應器保持器1〇 〇係具有一個穿透孔1 Q 8，該穿透孔 1 0 8係可以用來容置一個感應器。感應器係可以爲任何 類型之感應器。舉例來說’在液態'溶液的狀況中，感應器 係可以爲一液體高度感應器’或者是被使用來測量或是監 視在液體溶液中成分濃度之感應器。 一個穿透孔1 1 0係被形成在該感應器保持器1〇 〇 之上方部分1 〇 4中。一個額外的穿透孔1 1 6亦被形成 在該感應器保持益1〇 〇中’該穿透孔1 16係爲從該穿 透孔1 1 0延伸至基部端1 〇 2者。例如是在第〜B圖中 所說明之帶槽指輪閉鎖裝置1 1 2的一個閉鎖機構係被容 5 I i n f— n f— n ^-/^I 1— n J4 n n i I (請先閱讀背面之注*事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 4 49676 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明) 置在該穿透孔1 1 0中。該閉鎖裝置1 1 2係與一個螺釘 1 1 4相配合，或是與能夠藉由閉鎖機構而進行延伸或縮 回之其他類型固定機構相配合。 參照第二圖以及第三A圖-第三B圖，一個固定軌道 2 ◦ 2係被固定地附接至一個軌道保持器2 0 0。該固定 軌道2 0 2係包括有一個沿其長度方向上之開口 2 0 4， 以及一個從該固定軌道繼續延伸之溝槽2 0 6，用以滑動 地銜接一個或是多個感應器保持器1 0 0之基部端1〇2 。感應器保持器1 0 0之基部端1 0 2係被構型而能夠相 應於固定軌道2 0 2中之開口，並且經由該溝槽2 0 6而 能夠滑動地配合在該軌道中。 在該軌道中開口 2 0 4之形狀係被設計成能夠配合感 應器保持器之基部端1 0 2的形狀，用以容許進行可滑動 之調整並且鎖入感應器保持器之適切位置中。該基部端1 〇2較佳係被構型爲一丁形形狀，在該狀況中，該開口 2 0 4係可以爲矩形截面者。該溝槽2 0 6係被安置而與該 開口連接，並且面向感應器保持器1 0 0，用以銜接基部 端 1 0 2。 隨著建立感應器保持器1 0 0之一個期望位置…保持 器係可以藉由在一第一方向上旋轉指輪閉鎖裝置112而 被鎖入固定軌道2 0 2之適切位置中。固定機構1 1 4係 延伸通過該基部端1 0 2之穿透孔1 1 6，而進入到固定 軌道之開口 2 0 4之中，並且接觸到固定軌道之壁部2 0 8。當固定機構1 1 4連續在第一方向上旋轉時，基部端 6 -I I I ti n n ϋ n I d 1 n n n n 一-口，· ϋ n n I I n I (_請先閱讀背面之注s事項^填寫本頁) 本紙張尺度過用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 449676 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印*1^ 五、發明說明（ς ) 1 0 2之後側1 1 8係被迫使抵住固定軌道之壁部2 1 0 ’從而將感應器保持器1 0 〇所入軌道2 0 2上的適切位 置中。爲了使保持器開鎖並使其滑動地移至軌道2 0 2上 的一個新位置處，該指輪閉鎖裝置係在一個相反於該第一 方向的方向上旋轉。固定機構1 1 4係縮回進入該基部端 1 0 2，從而釋放了介於基部端與固定軌道之間的繃緊銜 接。 參照第四圖，本發明之另~方面將在此予以說明，其 中上述之可變位置裝置係被接至一個液體容置容槽4 0 0 。在這一個實施例中，先前所述之感應器保持器1 0 0以 及固定軌道2 0 2係可以被附接至該容置容槽4 0 0，而 例如是一個液體高度感應器或是濃度感應器係被附接至改 應器保持器1 0 0。 達成本發明目的之一種特別有利的方式係爲將複數個 不同高度之前述可調整式感應器保持器1 0 0整合在一個 單一軌道2 0 2上。本發明之此一目的將參照第五圖來加 以說明，其中第五圖係說明了一個如同可以被運用至一液 體容置容槽4 0 0中之多感應器裝置5 0 0。本發明之此 一方面係找到了在一液體容室容槽中對於液體高度進行感 應之特定運應用。對於此等應用來說，利用電容式近接開 關作爲感應器係爲吾人所期望者。 當對於液體高度進行感應時，一個高液體高度感應器 以及一個低液體高度感應器係被典型地使用。當液體高度 達到該高液體高度感應器之高度時，感應器信號係被送至 7 請先閱讀背面之注意事項异填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 449676 B7__ 五、發明說明（L ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一個控制器中，用以關閉一個液體供應閥門’從而切斷了 進入容槽中液體之供應。在另一方面’當液體高度下降至 低於該低液體高度感應器之高度時’感應器信號係致使控 制器打開一個液體供應閥門’用以對液體容槽進行充塡’ 直到達到該高液體高度感應器之高度爲止。一個附加的高 液體高度感應器以及一個附加的低液體高度感應器亦可以 被使闬在高液體高度感應器或是低液體高度感應器並未運 作之狀況中。 在此等構型中，一個第一感應器保持器5 0 2係被置 放在該容槽上一個所期望的位置處’用以容置附加的該低 液體高度感應器。一個第二感應器保持器5 0 4係被置放 在該感應器保持器5 0 2上方的一個所期望位置處，用以 容置該低液體高度感應器。在該感應器保持器5 0 4上方 係被安置有一個第三感應器保持器5 0 6，用以容置該高 液體高度感應器，而在該第三感應器保持器5 0 6的上方 則係安置有一個第四感應器保持器5 0 8，用以容置附加 的該高液體禹度感應器。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 除了上述之單一軌道-多感應器保持器配置之外，數 個軌道-單一或數個軌道-多感應器保持器配置亦爲可想 像者。此等配置係可以爲所期望者’舉例來說，在同一'相 對位置處係希望存在有附加感應器之狀況中。 在本發明係已參照特定實施例來加以詳細說明之同時 ，不同之修正與改變對於熟係此項技術者而言係能夠在不 離開所附申請專利範圍之範疇下完成。

___ S 本'^張尺度適用中國國家標f (CNS)M規格（21〇x297公釐）

Claims (1)

1. 49 6 7 6 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利乾圍 1、 一種可變位置感應器裝置，其係包括有： 一個固定軌道’其係被附接至軌道保持器，以及一個 可調整式感應器保持器，其係適合於容置一個感應器，並 且能夠滑動及鎖入該固定軌道上的適切位置中。 2、 根據申請專利範圍第1項中所述之可變位置感應 器裝置’其更包括有一個被該感應器保持器所容置之感應 器。 3、 根據申請專利範圍第2項中所述之可變位置感應 器裝置’其中，該感應器係爲一個近接開關。 4、 根據申請專利範圍第1項中所述之可變位置感應 器裝置’其中，該可調整式感應器保持器係包括有一個對 於該固定垂直軌道之基部端、一個上方部分、以及一個末 梢端，其中該基部端係被構型而能夠滑動地配合在該固定 軌道上。 5、 根據申請專利範圍第1項中所述之可變位置感應 器裝置，其中，該固定軌道係包括有一個開口，而該開口 其中係帶有一個溝槽，用以容置該可調整式感應器保持器 之該可調整基部端。 6'根據申請專利範圍第5項中所述之可變位置感應 器裝置，其中，該垂直軌道該開口大致上係爲矩形之造型 ，而該溝槽係被座落在該矩形開口外側部分上的長度之中 ，用以使得該可調整式感應器保持器能夠滑動地移動。 7、根據申請專利範圍第4項中所述之可變位置感應 器裝置，其中，該基部端係被構型成一大致上T形之造型 ______1__一___------ 本紙张尺度適用中鷗國家標準（CNS〉A4洗格（210X297公釐） (请先閲讀背面之注意Ϋ項再填寫本瓦) 訂 線 4496 7 6 A8 B8 C8 m 六、申請專利範圍 ，而適合於滑動地配合在該固定軌道上。 8、 根據申請專利範圍第4項中所述之可變位置感應 器裝置’其中，該可調整式保持器係包括有一個指輪閉鎖 元件，該指輪閉鎖元件係被安置在該可調整式保持器之上 方部分上’用以將該可調整式保持器鎖在沿著該固定軌道 之一個鎖期望位置處，以及從該位置處開鎖。 9、 根據申請專利範圍第1項中所述之可變位置感應 器裝置，其中，該軌道保持器係形成一個容置容槽的一個 部分。 10、 一種可變位置感應器裝置，其係包括有： 一個容置容槽，其係具有一個固定軌道，該固定軌道 係被附接至軌道保持器，並且該容置容槽係具有一個可調 整式感應器保持器，該可調整式感應器保持器係適合於容 置一個感應器，並且能夠滑動及鎖入該垂直軌道上的適切 位置中。 1 1、根據申請專利範圍第1 0項中所述之可變位置 感應器裝置，其中更包括有一個被該感應器保持器所容置 之感應器。 1 2、根據申請專利範圍第1 1項中所述之可變位置 感應器裝置，其中，該感應器係爲一個近接開關。 1 3、根據申請專利範圍第1 0項中所述之可變位置 感應器裝置，其中，該可調整式感應器保持器係包括有一 個對於該固定垂直軌道之基部端、一個上方部分、以及一 個末梢端’其中該基部端係被構型而能夠滑動地配合在該 本紙承尺度適用中國國家揉準（CNS )以規為（210X297公釐） (請先^讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-·* 7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 449676 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 固定軌道上。 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本瓦) 14、根據申請專利範圍第1〇項中所述之可變位置 感應器裝置’其中，該固定軌道係包括有一個開口，而該 開口其中係帶有一個溝槽，用以容置該可調整式感應器保 持器之該可調整基部端。 1 5、根據申請專利範圍第1 4項中所述之可變位置 感應器裝置’其中，該垂直軌道該開口大致上係爲矩形之 造型’而該溝槽係被座落在該矩形開口外側部分上的長度 之中’用以使得該可調整式感應器保持器能夠滑動地移動 〇 16'根據申請專利範圍第13項中所述之可變位置 感應器裝置’其中，該基部端係被構型成一大致上T形之 造型’而適合於滑動地配合在該固定軌道上. 經濟部智慧財度局員工消費合作社印製 1 7、根據申請專利範圍第1 3項中所述之可變位置 感應器裝置，其中，該可調整式保持器係包括有一個指輪 閉鎖元件’該指輪閉鎖元件係被安置在該可調整式保持器 之上方部分上，用以將該可調整式保持器鎖在沿著該固定 軌道之一個鎖期望位置處，以及從該位置處開鎖。 1 8、根據申請專利範圍第1 〇項中所述之可變位置 感應器裝置，其中，該軌道保持器係形成一個容置容槽的 一個部分3 __I _ 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（2i〇x297公釐）