TW418303B - Burner manifold apparatus for use in a chemical vapor deposition process - Google Patents

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418303 A7 B7 五、發明説明（，/ ) 發明領域: .本發明係關於新穎的燃撓器歧管裝置。.特別是關於微 細機器加工之燃燒器，例如為微細機器加工矽燃燒器。 形成各種物體例如為坩堝，管件，透鏡，以及先學波導 藉由將前身產物在燃燒器火焰中反應以產生粉塵以及再沉 積粉塵於承受器表面上而形成。該處理過程特別適合作為 形成光學波導預製件，其由接雜及未掺雜碎石之粉塵製造 出，其包含平面波導以及波導纖維。 波導形成處理過程通常包含將含石夕之前身產物置於燃 燒器火焰中反應，該火焰由燃燒氣體例如為甲貌以及氧氣 氣肽形成，以及沉積梦石粉塵於適當形狀承受器表面 上。在該處理過程中，含石夕材料通常在遠離燃燒器一個位 置處汽化。汽化原料藉由運載氣體傳送至燃燒器。其被汽 化以及水解以產生粉塵顆粒。粉塵顆粒再收集於承受器表 面ΐ。在平面波導製造情況下承受器表面為平坦基板，在 波導^維製造汽化軸向沉積(VAD)情況下為旋轉啟始桿件 (引取S件)，或在波導纖維製造之外側汽相沉積法情 況下為旋轉心軸β 許多燃燒器設計6發展出以使跡汽相傳輸前身產物 ^過財，以騎慮觀少—雛轉輪騎產物處理 程，如揭不於Hawt0f等人之相關專利申請案。不論前身 2是否贼相歧相形式_，峨締受均勻地分配 氣流為相當地重要4考慮在波導製造以形成精 崔折射率分佈之過程中為特別地重要。 本纸狀度逑用下^描準210Χ 297公瘦了— 418303 A7 ______· ____B7五、發明説明（π ) .最近，金屬氧化物粉塵沉積燃燒器已被提岀，其具有‘為 小尺寸開孔以及俣應溝槽.。在這些燃燒器中溝槽以及開孔 寬度或直徑小於150微米，例如揭示於本公司之美國第6〇/〇 68, 255破專利中，該專利發明名稱為”gurner and Method For Producing Metal Oxide Soot'該專利在此加入作為 參考之用。 . > 因此產生燃燒器歧管之需求;其能夠共同使用於這些 微細機器加工燃燒器以及能夠均勻地分配至燃燒器。在傳 統大尺寸燃燒器_，這些均勻性藉由相等地大的同心圓環 達成。該處理方式對使用於微細機器加工之燃燒器並不實 際。 發明大要： 對微細機器加工燃燒器之出現，需要具有燃燒器歧管， 其均勻地分配流體（氣體或液體)至微細機器加工燃燒器。 本發明燃燒器歧管裝置包含流體入口，流體出口，以及 一組多個流體通道。流體通道延伸於流體入口以及流體由 口以傳送反應劑到達化學汽相沉積法燃燒位置。流體通道 朝向彼此由流體入口至流體出口集中，其中流體通道入口 相隔較遠而大於流體通道岀口處。該排列使反應劑前身產 物由較大尺寸傳輸系統至微小尺寸燃燒器之傳送變為容易 。流組通道在出口處優先地為較小斷面而小於其入口處。 流體通道通常彼此隔離使得一些流體通道傳送反應劑 前身產物原料以及其他流體通道傳輸燃燒物質。在流體出 口處流體遒道優先地成形與燃燒器幾何形狀相匹配。在優 本夂^ 7- _________ 尺度適用中：U园家標準（CNS ) Λ4^格（210X 297公澄） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁}

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Ml .—nt UK nn 418303 Αν -_B7 五、發明說明（》） . : 先實施例中，流體茁口為細縫形狀或形成為系列線性圓形 洞孔。'燃燒器.歧管裝置更進一步包含至少一個產生壓力限 制裝置使通過其中流體為均勻分配狹窄延伸之流束。產生 壓力限制裝置放置於流.體入口與流體出口之間。產生壓力 限制裝置優先地包含平板，其具有一系列細縫或線性排列 開孔以由其中喷出流體為均勻液滴線性流束。 本發明一項實施例包含歧管底座，其具有項部，底部， 前端壁板，後側壁板，以及兩個側邊壁板。歧管底座界定出 水平通道，其延伸於侧邊壁板之間，垂直通道由歧管底座延 伸至歧管底座頂部，以及流體入口端埠6每一流體入口端 埠位於歧管底座之前端壁板或後側壁板上，以及與至少一 個水平及垂直通道流體相連通。水平通道優先地平行於歧 ，管底座頂部及底部，以及垂直通道優先地平行於歧管底座 之侧邊壁板。 第一實施例燃燒器歧管裝置亦包含平板裝置於歧管底 座頂部。平板界定出一組多個通過其中之開孔。至少一個 開孔位於每一歧管底座垂直通道出口上方處使流體由垂直 通道通過平板。 歧管底座垂直通道對稱於傾斜歧管底座頂部中心軸。 垂直通道優先地包含中央垂直通道以及一對垂直通道，每 一對與第一t心軸等距離相隔之兩個垂直通道界定出》每 一對通道相交一個特定水平通道以形成一個陣列通道於歧 管内以分散流體對稱於第一中心軸。 第一貪施例裝置更進一步包含燃燒器歧管支架裝置於 本纸張尺度適用中囷國家榇準（CNS ) Λ4规格（210X297公痊） 4 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 装. 訂 -技_

B 418303 A7 -----— _ B7 五、.發明説明（屮） 平板頂部。燃燒器歧管支架界定出流體通道，其由燃燒器 歧管支架底球延伸至燃燒器歧管支架頂部。這些流體通道 構造會聚使得相鄰流體通道間之距離在歧管燃燒器架出口 處為較大而大於歧管燃燒器架出口處。 燃燒器歧管裝置更進一步包含第一墊圈位於歧管底座 與平板之間。第一墊圈中具有細缝與歧管底座頂部溝槽對 齊。第二墊圈優先地位於平板與歧管燃燒器架之間。該第 二墊圈具有細缝與第一墊圈中細缝對齊。燃燒器墊圈位於 歧管燃燒器架上。燃燒器墊圈具有細縫與歧管燃燒器架流 體通道岀口對齊。 固定元件例如為夾頭可裝置於歧管燃燒器架頂部可釋 除地將燃燒器固定於歧管燃燒器架a每—夾頭具有外側邊 緣以及内側邊緣·，以及内側邊緣具有擴大燃燒器之肩部。 除此，每一夾頭内側邊緣具有漸變表面，其由歧管燃燒器支 架頂部逐漸變細β 主要燃燒器歧管裝置之第二實施例包含一組多個歧管 元件位於底座元件頂部為堆疊排列。歧管元件彼此藉由其 中之流體通道相連通。每一歧管元件具有不同數目流體通 道，優先地藉由位於堆疊中較高處每一連續性元件增加兩 個。流體通道朝向彼此會聚於歧管裝置出〇處。每一歧管 元件至少具有一個流體入口端埠，以及優先地具有兩個，除 了最低元件外。 流體通道優先地為線性的以及垂直地延伸通過歧管元 件。每一土管元件最外側流體通道與流體入口端埠連通， 本纸乐尺度適用中SI囤家標準（CNS ) Λ4規格（2!GX297公釐） 4 18 3 0 3 A7 B7 五、發明説明（$ ) . - 以及内側流體通道與最外側流體通道隔離使加入不同歧營 元件之流體相隔離。相鄰歧管元件流體通道為垂直對準。 類似第一實施例燃燒器架中流體通道，該第二實施例流體 :通道對稱於中央流體通道。^ 墊圈放置於相鄰歧管元件之間。墊圈具有細缝能夠使 流體通過。墊圏優先地由黏彈性原料所構成。 在本發明第三實施例中，_燃燒器歧管包含逐漸變化區 段，其真有第一端部以及第二端部，其中第一端部具有較大 表面積而大於第二端部處。流體入口位於歧管第一端部處 ，以及流體出口位於歧管第二端部處。漸變區段優先地具 有倒置錐形》 燃燒器歧管可包含頂部區段與漸變區段共同延伸。頂 部區段具有第一端部相鄰於漸變區段第二端部，以及第二 端部以支撐燃燒器。 該第三實施例漸變區段以及頂部區段界定出一組多個 流體通道通過其中以傳送流體由漸變區段第一端部到達漸 變區段第二端部。在優先實施例令，流體通道彼此平行地 延伸以及由漸變區段第一端部處流體入口至頂部區段第二 端部處之流體出口處朝向彼此會聚^所選擇一個流體通道 能夠加以封閉以選擇提供流體流動之通道。 在該第三實施例中，燃燒器歧管藉由擠製處理過程形 成。由第一端部至第二端部之燃燒器歧管漸變段具有漸變 區段而位於第一端部與第二端部之間。此能夠藉由平行溝 槽(蜂巢體墓質）預製件彈性地轉變為漏斗狀溝槽而達成。 本纸佐尺度適用中_樣举（^5774“（ 21GX297公旋） 6 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) '11 .4 18303 .A7 _ -____________________________________________________________________________________ — B7五、發明説明（ζ ) 雨個適當轉變處理過程為加熱抽拉以及減小擠製。《加熱 抽拉"為對黏滯性燒結預製件進行之黏滯性形成處理過程 以及說明於本公司美國第60/09Π0?號專利申請索令，該專 d發明名稱為 Redrawn Capillary Imaging Reservoir'1, 該專利在此加入作為參考之用。”減小擠製為對未燒結顆 粒預製件進行之塑膠形成處理過程，其說a月於c〇ni i ng苐 Pl〇569專利申s青案中，該專利名稱為《The manufacture of Celiular Honeycomb Structures"，該專利在此加入作為. 參考之用。金屬，塑膠,陶瓷及/或玻璃顆粒加以混合以及 擠製而製造岀預製件。歧管頂部區段能夠為圓柱形，長方 形，或任何其他形狀適合作為裝置燃燒器。 .本發明第四實施例包含一組多個燃燒器支架，一組多 個平板，以及車一歧管底座。歧管厚度尺寸界於前端壁板 與後端璧板之間，其大於燃燒器架以及平板厚度尺寸使得 一組多個燃燒器支架/平板組合可裝置於歧管。 本發明燃燒器歧管裝置達成許多優點而優於傳统燃燒 器歧瞢。例如，燃燒器歧管裝置跨越傳統歧管巨形以及微 細機器加工矽晶片燃燒器間之界面。 另外一個優點為燃燒器歧管裝置能夠連同使用於線性 架構陣列燃燒器，該燃燒器均勻地分配流體通過歧管以及 燃燒器線性火焰陣列之任何一侧。 另外一個優點為燃燒器歧管裝置可固定地以及精確地 裝置微細機器加工燃燒器晶片。 本發明燃燒器歧管裝置可排列相鄰於其他組件以形成 本紙張尺度適用中國国家標毕（CNS ) Λ4規格（2丨0X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 一 _一 ；.-418303 五、發明説明（7 ) 一個陣列相鄰燃燒器，其產生非常靠近相鄰燃燒器火焰。 另外一個優點在於燃燒器歧管裝置可藉由擠製疼理過 程形成，或加熱抽拉處理過程製造出。 燃燒器歧管裝置另外一個盔點在於燃燒器可藉由陽極 黏接劑裝置於燃燒器支架，而不需要夾頭或其他機械性連 接構件。 ’ 本發明歧管亦能夠促使以及容易使用微小機器加工之 燃燒器於沉積砍石粉塵之應用，其特別適合;於製造光學波. 導製造處理過程f所使用高純度粉塵。 本發明其他優點亦揭示於說明中，及部份可由說明變 , 為清楚，或可藉由實施本發明變為清楚。本發明優點可藉 由實施及組合申請專利範園所揭示出方式而了解及達成。 附圖簡單說滷： .構成本發明說明書一部份之附圖顯示忠本發明優先地 實施例，以及隨著上述所列一般說明以及下列優先實施例 詳細說明以解釋本發明原理。 第一圖（圖1)為本發明使用於微細機器加工晶片之燃 .燒器歧管裝置分解透視圖。 ’ 第二圖（圖2)為燃燒器歧管裝置以及微細機器加工燃 燒盗晶片之部份斷面側視圖。 第二圖（圖3)為燃燒器歧管裳置頂部平面圖，其中燃燒 器裝置於其中。 ...... 第四圖（圖4)為依據本發明燃燒器歧管裝置之燃燒器 歧管平面圖。 各紙浪尺度則:縣（⑽）a嫩 /( (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) H - ------- I----- ίί ^ IJ ,1TIn . ▼ I - . -il 1 —I— · 418303 A7 B7 五、發明説明（分） 第五圖（圓5)為沿著圖4斷面線B-B展開之燃燒f歧管 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 斷面侧視圖。 第六圖（圖6)為本發明燃燒器歧管裝置塵力板頂部平 面圖。 第七圖（圖7)為本發明燃燒器歧管裝置第二實施例展 .開透視圖。 ' 第八圖（圖8)為顯示於圖7中燃燒器歧管裝置之組件斷 面側邊示意圖，其具有流體配件。 第九圖（圖9)為顯示出圖7燃燒器歧管裝置頂視層。 第十圖（圖_ 10 )為本發明燃燒器歧管第三實施例側視圖。 第十一圖（圖11)為顯示於圖10燃燒器歧管底部平面層。 第十二甲圖（圖12A)及第十二乙圖（圖12B)為顯示於圖 10第三實施例另外一種設計之頂部平面層。 第十三圖（圖13)為本發明燃燒器歧管裝置第四實施例 展開透視圖。 附圖元件數字符號說明： 燃燒器歧管裝置10;歧管底座12;壓力板14;歧管燃 燒器支架16;頂部18;底部20;前端壁板22;後側壁板 23;側邊壁板24;通道26, 27;垂直通道30a-30f;入口端 埠32a，32b;溝槽34;墊圏36;孔徑38;細縫40;墊圏42 '細縫44;頂部46;底部48;出口 49;流體通道50;後側壁 板52;前端壁板54;燃燒器58;墊圈60;細縫62;細縫 64;夾頭66;螺絲68;彈簧圈69;洞孔71;外側邊緣70; 内側邊緣72;肩部74;表面76;溝槽78;螺絲80;歧管裝 本紙張尺度適用中國固家標準（CNS ) Λ4规格（2Ι0Χ297公釐） (1 d 1 8303 , A7 ———-———,« __ B7五、發明説明（g ) 置82;底座元件84;歧管元件g6,86a-86f;流體通道88; 端槔90;塾圈92;細縫94;前端壁板98;後侧壁板98;開 孔100;開孔101;燃燒器歧管1〇2;漸變區段104;頂部區 段106;端部1〇7，1〇8,11〇, 112;流體通道iu;頂部區段 115;流體通道116;前端壁板ι18;後側壁板120。 _優先實施例詳細說明： .微細機器加工燃燒器，例如為本公司Hawtof等人之美 國第60/068255號專利申請案揭示出，具有新穎的複雜燃燒 器歧管裝置$類似需求以引導流體流量至微細機器加工之 燃燒器。這些微細機器加工燃燒器通常製造為晶片以及以 小尺寸製造出。例如，所使用作為製造波導纖維預製件矽 石粉塵之燃燒器約為1英吋長及]英吋寬。燃燒器長度及寬 度能狗為較小或較大，由半導體晶片製造處理過程限制。 這些晶片燃燒器製造忠具有精確通道或開口 ^其寬度 或直徑通常分別小於150微米，以及在某些實施例中小於 微米β通道或開口優先地以微細機器加工處理成線性陣列 通過燃燒器。該微細機器加工能夠使用製造積體電路所使 用傳統方法例如為光石版印刷法，遮罩，蝕刻，光化學處理 過程，活性離子姓刻（RIE)，超音波機器加工，垂直壁被微細 機器加工，以及結晶蚀刻達成=所使用特定方法決定於燃 燒器材料，特別是結晶構造以及指向。 由於叙細機器加工燃燒器相當小而小於傳統燃燒器及 線性地對稱於其中心，傳統歧管無法發輝功能a對於適合 於新穎的11微細1 ‘線性陣列晶片燃燒器之燃燒器歧管已產生 本.¾&尺度这用中國囷家捃準（CNS ) Λ4坭格（210X 297公釐） 13 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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ΤΛ 五、發明説明（丨t?) 需求，其表示傳統巨大環狀燃燒器產生顯著的變化。 ΐ m. Hi I · __ s^nr —^ϋ ^^1 (請先閲讀背面之注意亊項再填寫本頁) 本發明燃燒器歧管裝置包含流體入口，流體出口，以及 一組多個流體通道延伸於流體入口與流體出口之間。流體 通道由流體入口朝向彼此集中。例如長方形斷面之流體通 道之縱向軸在通道入口處為彼此分隔使前身產物反應物由 巨大傳輸系統至優先採用微細燃燒器之傳送變為容易。在 战情況下，較為寬廣分隔之入口容易清理管線，.因而閉合分 隔出口能夠與微細燃燒器開孔對準。同樣地，流體通道在. 流體出口處優先地具有較小斷面而小於流體入口處。因而 ，燃燒器歧管裝.置特別適合使用於微細機器加工燃燒器。 現在參考附圖，其中相同數目表示相同的零件，以及首 先參考圖1，其可看到燃燒器歧管裝置1〇之第一實施例。燃 燒器歧管裝置10通常包含歧管底座12,壓力板14,以及歧管 燃燒器支架16。顯示於圖1中歧管底座12具有一個頂部18, 底部20,前端壁板22,後側壁板23(圖4中），及側邊壁板24。 水平通道例如通道26及27(參閱圖2及5)，延伸於歧管底座 12側邊壁板24之間。歧管底座12亦具有垂直通道3〇a~30f (參閱圖4-5)，其由歧管底座12内一個位置延伸至歧管底座 12頂部18。除了特定中央垂直通道3〇a,每一垂直通道3〇b-30f相交以及由特定水平通道向上延伸，其將在底下更詳細 地加以說明。 人們了解能夠建造出水平以及垂直通道使得水平以及 垂直通道彼此並不相互垂直。除此，所顯示水平以及垂直 通道優先為線性的，其亦能夠製造具有曲率以及波浪形 本纸任尺度適用中S國家標準（CNS ) Λ4规格（210X297公尨）

五、發明説明（【丨） A7 B7 12 狀。 歧管底座12更進一步具有流體入口端埠32a，32b位於 前端壁板(32a)或後端壁板(32t〇上《流體入口端埠作為流 體管線端埠將氣體及/或液體加入歧管内。每一流體入口 端埠與至少一個水平以及垂直通道流通地相互連通。水平 通道，垂直通道，以及流體入口端埠彼此相交使流體在歧管 内對稱地分佈。 參閱圖2,4及5,垂直通道30a-30f對稱於第一軸A-A傾 斜於歧管底座i2頂部18。垂直通道包含中通道30a以及一 對垂直通道30b-30f。每一對通道30b-30i由兩個垂直通道 界定出，其與第一中心軸A-A等距離以使流體對稱於第一中 心軸分佈。每一對通道30b-30f與特別水平通道相交以形 成一系列流體通道於歧管底座12内。在另外一個實施例中 ，成對通道30b-30f可對稱於中央通道30a，其偏離第一中心 軸A-A。 垂直通道30b~30f位於歧管内不同斷面處，其中這些平 面與斷面B-B平行以及延伸經過歧管頂部至底部。垂直通 道30a以及30b位於相同平面上，如圖4所示。垂直通道30a 以及30b位於剖線β-Β上，通道30c以及30d偏離剖線B-B更靠 近歧管底座12前端壁板22;以及通道30e以及30f偏離剖線 B-B靠近歧管底座12後端壁板23。垂直通道30b-30f(以及 其相關水平通道）彼此並不相通使得第一流體流過垂直通 道30b以及第二流體能夠通過垂直通道30(^熟知此技術者 了解歧管底座1?内垂直通道確實位置能夠加以改變，只要 本纹張尺度適用中囡囡家標準（CNS ) Λ4规格（2丨OX29?公釐）(r (請先閱讀背面之注意事項再+¾¾本頁) t·

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、1T i\ i C) b U A7 __ _______； B7 五、發明説明（卜） 3 1Λ 其能保持對稱於第—中心軸A-A。 - 關於水平通道例如為通道26以及27,其位於歧管底座 12中不同高度處尽橫跨歧管底座12於側邊壁板24之間·。水 .平通道高度位置由顯示於圖2流體入口端埠32a，32b位置標 記出。例如圖2顯示出水平通道26位於最低入口端埠32b標 記高度處以及水平通道27位於另外一個入口端埠32b標記 高度處。每一水平通道由單一流體入口端埠32a，32b所供 應。除此，每一流體入口端淳32a，32b與特定水平通道相交 ，除了與中央垂直通道30a相交之流體入口端埠（以及流體 入口端埠顯示於圖2中入口端埠32a最上方）。藉由該排列， 單一流體供應管線在歧管中分散流體以均勻地分配於兩個 垂直通道間，其位於與中央垂直通道30a等距離處。 在圖2中我們只顯示出兩個代表性水平通道，雖然在歧 ,管底座12優先實施例中具有五個水平通道，其位於五個較 低入口知,32a，32b所標記高度處。我們已經以不同虛線 形式顯示出水平通道26及27以特別顯示水平通道位於不同 前後平面中歧管底座12内。例如水平通道26位於由圖4截 線β-β界定出之t央平面處。在該實施例#水平通道2?與 垂直通道30f為連通的，叾位於靠近歧管底座12後側壁板烈平面中。, 除此，垂直通道30b-30f並非相同長度。垂直通道3〇b_ 30ί長度為可變化的，其決定於與垂直通道.斯相交之 水平通道Μ列如圖2所顯示，肖水平通道2?相$之垂直通 比與水平通道26相交之垂直通道施短。 ^ Si iS ( 2! 0X297/^ §：)(L· ' (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) £ 1 -- _ 1

'1T -----气---- 1 一- « 1 I · 4 1830 3 .A7 _： _ B7 五、發明説明（I]) .-… 與先前所說明些微地不相同，在歧管中通道與端埠指 向針對x-y-z座標系統加以說明（其顯示於圖2側）垂直通道 30a-30i延伸於y方向以及相對彼此沿著X軸與y軸延伸。例 .如圖2令範例26及27之水平通道沿著x方扃延伸以及沿著y .軸及Z軸彼此相對偏移。最終，流體入口端埠32a，32b沿著Z 軸向延伸以及沿著X軸及z軸彼此相對偏移。 為了防止流體流出歧管水平通道利用封塞33裝置於每 一端部處，如圖5所示。 本發明因而提供提供複雜以及有效陣列流體通道於歧 管底座内以確保經由輪入端埠之各個加入流體均勻分散於 第一中心軸A-A兩側。 歧管底座12頂部18包含溝槽34位於垂直通道30a-30f 出口處。溝槽34為延伸的以及延伸方向與歧管底座12側邊 壁板平行·。溝槽34表示垂直通道入口分隔之位置，其中流 體通道30a-30f為流體入口。 顯示於圖6中頂面之壓力板14位於歧管底座12頂部。 壓力板14藉由第一墊圏36與歧管底座12分隔，如圖1所示。 為了讓流體通道由歧管底座12到達壓力板第一墊圈36 包含細縫40,其與歧管底座12頂部18之溝槽34對準。壓力 板14依次包含一個陣列開孔38與溝槽34對準。孔徑38尺寸 為較小的而小於垂直通道30a-30f之出口。這些孔徑38相 當小足以產生相當高背向壓力以及使流體均等地流過位於 第一 _心轴A-A每一側。例如對於垂直通道3〇f，流體入口 端埠32b與右邊通道30f比較為更加靠近左邊通道30f。麼 4 1 (請先閲讀背而之注意事項再填寫本頁) 装- 訂 •级 本.¾張尺度適用肀固國家#準（CNS ) Μ現格（210 X 297公沒：）ιΊ 4 18 3 0 3 ’ a? ' —丨.~~~_____ B7 五、發明説明（卬） _ 力板14確保通過入口端埠32b之加入流體更快速地移動至 .左邊通道3〇f而先於古邊通道3时，其無阻礙地均勻地分散 於兩個通道之間。壓力板Μ有效地藉由一條最小阻抗路徑 .对閉住歧管底座丨2之流體快速出口。因而，流體離開歧管 底座12經由壓力板η以均勻开j式及固定壓力通過每一孔徑 38而對稱於第一中心轴。 在所顯示實施例令，歧管底座丨2頂部18具有切開部份， .其大小可容納第一墊圈36,壓力板14,以及至少一部份第二 墊圏42,如圖2所顯示。第二墊圈42將壓力板14與歧管底座 支架16隔離。類似第一墊圈邡，第二墊圈42具有細鏠44。 這些細縫44與第一墊圈36對準，以及再對準於歧管底座12 中溝槽34以及壓力板1钟孔徑陣列38。 歧管燃燒器支架16位於第二墊圈42上方。歧管燃燒器 支架16具有頂部46以及底部48以及包含流體通道50,其由 頂部46延伸至底部48。由第二墊圈42到達流體通道5〇之入 口52對準於第二墊圈42中細縫44以及壓力板14中孔徑38。 經由塵力板14流體運行至歧管燃燒器支架16中流體通道5〇 。流體通過壓力板14時對稱地分散，以及在通過歧管燃燒 器支架到達裝置其中之微細機器加工燃燒器時保持為均 勻地分散。在圖2實施例_，兩個最外側垂直通道3〇f為備 闬垂直通道以及並不鄰接燃燒器支架令任何流體通道5〇; 不過，人們了解最外側垂直通道30f可使闱於具有其他流體 通道之燃燒器支架。 如先前所課明，歧管燃燒器支架16設計使芾於微細機 15 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---^裝

Mi 訂--------—"·—J i— - I ----- i _ . B7 五、發明説明 器加工燃燒器，優先地具有小尺寸溝槽或開孔之微細機器 加工燃燒器。為了易於使闱，放置流體通道50將使在歧管 燃燒器支架底部處相鄰流體通道50間距離為較大而大於其 頂部46處◊流體通道50優先地為線性的以及在歧管燃燒器 支架頂部46處為發散而不相交，在該處流體通道與延伸通 過微細機器加工燃燒器58之垂直通道相會合，如圖2所示。 延伸通過燃燒器58通道之指向顯示於圖2及3中。 類似通過燃燒器58之通道，通過歧管燃燒器支架16之. 流體通道50通常為長方形，其具有縱向中心軸延伸於後側 壁板52與前端壁板54之間。流體通道50出口49形成線性陣 列，對稱於中央流體通道。該線性陣列形成一個或多個線 性流束到達燃燒器58,該燃燒器裝置在歧管燃燒器支架16 上方，以及當流束會合時燃燒器58產生火焰。中央流體通 道50通常作為矽石/推雜劑前身產物通過(其能夠為液體或 氣體)，以及其餘流體通道50作為氣體通過，其與石夕石及摻 雜劑作用及燃燒。 ‘管燃燒器支架16獨特結構跨越歧管巨大部份與微細 機器加工矽晶月燃燒器間之界面。流體通道50出口49聚集 使其分離更靠近在一起比流體通道5〇入口更加靠近。 歧管燃燒器支架16可藉由柱棒放電機器(EDM)技術製 造’其使用電線或柱棒，其揮發金屬與柱棒頂部接觸。 本發明第一實施例燃燒器歧管裝置1 〇更進一步包含燃 燒器墊圏其裝置於歧管燃燒器支架1 δ頂部46與燃燒器 58之間。燃燒器墊圈60具有細縫62與流體通道50出口對準 本纸张尺度適用中固囚家#準（CNS ) Λ4说格（2!ΟΧ297公逄） (9 'r 41830ο A7 -------」 . B7 ·** ·-! I I.m, .... 五'發明説明（) 17 ，其包含中央通道於歧管燃燒器支架丨δ中。這些細縫62亦 ^準於細腿，其在崎獅Ψ形成紐陣.歧管燃燒 為支架16頂部46具有切口以承受燃燒器墊圈6〇以精確地放 置及對準於墊圈60。 一在第一實施例中燃燒器支架裝置1 〇亦包含燃燒器固定 元件6〇裝置於歧管燃燒器支架頂部站。這些固定元件66 優先地包含一對夾頭藉由螺絲肋及彈簧圈關可釋除地固定 至歧管燃燒器支架16之頂部46 ^彈簧圈69位於夹頭66與燃 燒器支架頂部46之間。夾頭66具有螺絲洞孔71以承受螺絲 68。彈簧圈69直徑較夹頭郎中洞子L71及燃燒器支架頂部46 共同延伸洞孔大一些。 每一夹頭邸具有外側邊緣7〇以及内侧邊緣72。每一夾 頭66内側邊緣72具有向下肩部74如圖2所示，其與燃燒器58. 相對側邊啣接以夾住燃燒器58於適當位置而靠在燃燒器墊 圈60。高於肩部74,内側邊緣72具有遠離燃燒器58之漸變 表面76部份。 爲了固定歧管燃燒器支架16至歧管底座12,裝置10包 含溝槽78,華完全地延伸通過歧管底座丨2,相鄰於側邊壁板 24,以及經過至少一部份歧管燃燒器支架邙。裝置iq更進 一步包含由溝槽78承受之螺絲8〇以連接歧管底座12至歧管 燃燒器支架16。 當完全組裝時，燃燒器支架裝置10通常為長方形構造， 其厚度為前端壁板22至後側壁板23。如圖13所示，歧管底 座Π 6可在ζ方向延伸使得數個燃燒器以及燃燒器支架組件

本紙&尺度適用中囡囚家橾準（CNS ) Λ4現格（210X 297公及：） 久D (请先閱讀背面之注意事項蒋填需本瓦) I ... -» · I - : I-*-, — — -1 I n^i ι '- - _ i -'----I— 1. Μ9 、τ ! ' Ji —Hi ]^i 418303 at _______ B7 五、發明説明（(Π ) 可側邊靠著側邊裝置於其上面〇在優先實施例令，三個流 體線路可加入於燃燒器歧管118之前端壁板118以及後側壁 板120處，總共為六條流體管線。洞孔32延伸於前端壁板 118與後側壁板120之間，其在歧管中供應數個垂直通道30a -30卜 .該實施例能夠使流體傳送至數個不同燃燒器支架，其 由相鄰燃燒器形成數個線性陣列火焰。加入歧管底座116 之流體均勻地分散於整個歧管底座Π6,使得燃燒器產生均 勻燃燒火焰。. 圖7-9顯示出主要燃燒.器歧管裝置之第二實施例。如 圓8所顯示，該燃燒器歧管裝置犯包含底座元件84以及一組 多個歧管元件86a-86f位於底座84上方為堆疊構造。底座 84優先地為實心，如圖8斷面所示。每一歧管元件86£t-86f 具有不同數目流體通道88,增加靠近堆疊頂部每一元件流 體通道88之數目。例如，最低側歧管元件86a具有單一流體 通道，其甴通過端埠90單一流體傳送線路所供應。流體通 道彼此隔離，兩個新的外侧流體通道由底部至頂部加入連 續性歧管元件。例如，歧管元件86b具有三個流體通道，歧 管元件86c具有5個流體通道等。在該情況下，流體保持為 谷納其中持績到其到達最頂部歧管元件秘f以及燃燒器（益 未顯示出）。 每一歧管元件86b-86f具有兩個端埠9〇而這些元件8¾ . ·· · -86 f均需要兩個流體供施管線。端埠9〇朝著每一連續性歧 管元件86b-86f相對方向以容易連接流體供應管線。流體 本紙佐尺度適用中国因家標準（CNS )八4規格（2I0X 297公漦） Μ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) --訂 _ Μ,--- 4 ^303 --------—' B7 __五 '發明説明（丨& ) … 均勻地分散於每一歧管元件86b-86f兩個端埠90之間。此 .與第一實施例不同，其中特定淥體藉由單—流體輸入端埠 加入燃燒器支架及再内部地分散至燃燒器支架相對侧邊。 該第二實施例歧管裝置82更進一步包含墊圏於相鄰歧 管元件86a-86f之間（墊圏並不顯示於圖8中）。墊圏92可由 點彈性材料例如為DuP〇nt D〇w EjLast〇mer產品Vit〇n所構 成。塾圈包含細缝94,其與歧管元件86a-86i中流體通道對 齊。所有墊圈92可形成具有相同之細縫94數目，如圖7中所 .威示兩個墊圈，只有這些細縫對準所使用之流體通道(例如 只有使用t央細縫作為墊圈而位於元件8如與86b之間。類 似流體通道骀之細缝94形狀為長方形。 ' 圖9顯示出為堆疊構造最上側歧管元件86之頂視圖。 .在此所顯示流體通道88形狀為長方形，其縱向中心軸延伸 於歧管元件86f前端壁板96與後側壁板98之間。流體通道 形成線性陣列使得位於最上側歧管元件86f上方之燃燒器 例如圖1燃燒器58將形成線性火焰。同時第一實施例中流 體通道對稱於中央流體通道以及會聚於流體通道之流體出 口。除此，埤體入口斷面大於相關流體出口斷面。 歧管元件86a-86f由四個長的桿件（並未顯示出）可釋 ，地連接，在垂直方向之每一溝槽通過一組多個形成於歧 音π件86a-86f每一角落中之開孔100,底座元件84，以及墊 圈92。桿件穿過承受螺帽每一端部以固定桿件於最上側歧 官元件86f以及底座元件84上適當位置處β同時顯示於圖9 頂部為開允1〇19承受對準錨釘(並未顯示出）^ (请先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Λ _ 本紙&尺度適用中國囡家摞準（CNS )如规格（2ι〇χ297公菝） 4 18 3 0 3 A7 B7 .. _ ιπ . _ 五、發.明説明（於） .-.. 類似第一實施例，可使用該第二實施例具有微細機器 加工燃燒器以形成線性火焰使用於火趨水解處理過程中。 圖10-12顯示出本發明第三實施例。燃燒器歧管1〇2提 .供類似腹板或蜂巢體結構，其鼪夠使用於微細機器加工石夕 晶片燃燒器。燃燒器歧管102包含一個漸變區段1〇4及頂部 區段106。燃燒器可裝置於頂部區域106之第二端部。 漸變區段104具有第一端部110及第二端部U2。第一 .端部110具有較大直徑而大於第二端部112。頂部區段1〇6. 第一端部107鄰接於漸變區段104之第二端部112。 漸變區H 04以及頂部區段106界定虫一組多個流體通 道通過其中。流體通道114傳輸流體由漸變區段1〇4之第一 端部Π0至頂部區段106第二端部。流體通道114在漸變區 段104會聚但是保持彼此相互*離以及到達頂部區段1⑽之 流體通道保持為發散的，如圖1Q所示。 如圖Π所示，流體通道為形成為長方形細縫，類似於最 先兩個實施例中通道形狀。頂部區段丨⑽為長方形斷面；人 們了解頂部區段106可為任何構造適合使用於微細機器加 工燃燒器。例如，頂部區段可為圓柱形，如圖12A所示以及 ’標示為115。該圓柱形頂部區段115具有流體通道116。 本發明一項為選擇流體通道填充或塞入填充材料以封 閉通過其中流體通道。封閉所選擇流體通道有可能形成任 何斷面形狀之流體通道。例如，所選擇流體通道可加以封 閉以形成類似於顯示於圖Π之長方形細缝，每一長方形細 縫可由數個未封閉流體通道所構成並由封閉流體通道圍繞 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ' - n 111......* 訂------ 〆<--- >3 — ΚΙ Β7 418303 五.、發明説明（β ) 著，如圆12B所顯示。未封閉通道116可組合形成長方形斷 面。 該第三實施例亦可形成只具有漸變區段。漸變區段具 有第一端部以承載微細機器加工燃燒器以及第二端部，第 一端部具有較小表面積而小於第二端部。漸變區段界定忠 一組多個流體通道通過其中以傳送液體由第一端部至第二 端部，以及所選擇一個流體通道可加以封閉以防止流體通 過其中。’ 燃燒器歧管102可藉由減小擠製及/或熱抽拉處理過程 製造出以及優先地由玻璃材料例如為PYREX所構成，使得硬 燃燒器能夠直接地藉由黏接劑黏接至第二端部1〇8，而漸缓 需要夾頭以固定燃燒器至歧管。可加以變化，燃燒器歧管 102可由矽石材料或陶瓷材料所構成。矽石及陶瓷歧管能 夠藉由冷式減小擠製方式形成。 通常為了製造圖10-12之歧管，平行預製件溝槽（蜂巢 體）由特定材料混合液體添加物擠製出。在特別非晶質顆 粒情況下歸性燒結預製倾_祕_録二製造 出漸變漏般情況下，特定賴件(減以及

性相匹配以使組合結構（塑膠複合物) 在其擠製成為所需要歧管形狀鑄模時以自行相 性地變形。適當特殊材料包含玻璃，陶瓷，金屬 。在背向填充蜂巢體 行相類似方式塑 金屬及/或塑膠 預製件減小補後，背向填充由溝槽 418303 at _______ -_—_ B7 五、發明説日) ~~~~~~— ~ 去除，以及對特絲魏段麟。財大辦職槽 擇溝槽能夠永久性地填充或贿以方便地形成所發要，絲 樣式通段。在該情況下，流體通道整體‘“ 任何圖素化形狀，其決定於那些通遒被封閉以及那些通道 並不被封閉。背向填充枋料為可去除的（藉由一些方法）以 遺留一個陣列流體通道，或其為永久性的以形成二個陣列 纖維，或兩種組合。 藉由擠製第三實施例之製造為特別方便之方法以擠壓 漸變區段於蜂巢體結構上，以及能夠由適當支撐圍蔽體藉 由施加力量於蜂巢體部份進入或通過所需要角柱形，圓柱 形，或其他漸變形式漸變捅狀，鑄模或擠製模。擠製路徑優 先地具有入口斷面閉合大小以及類似原先蜂巢體支撐圍蔽 體°擠製路程優先地提供光滑過渡區域到達出口或容器， 其具有不同的斷面尺寸及/或形狀，其相對於最終蜂巢體產 物之預先決定溝槽大小及形狀。 實施於模入口與出口間之任何尺寸減小將在再成形產 物中限定小室之密度以及小室壁板厚度整體地減小^同時 出口形狀任何變化將改變在該產物中最終小室形狀及/或 小室壁板厚度分佈。兩者達成而沒有損及任何溝槽整體性 ，因為流體路徑並不相交。 其他優點以及變化為熟知此技術者了解。因而，本發 明廣泛地並不會受限於特定詳細說明之範例以及在此加所 說明之裝置。因而能夠作各種變化而並不會脫離下列申請 專利範圍所界定出本發明之範圍或精神。 冬泛乐尺度適用中闽囚家標準（CNS ) AWL格（21ϋ><297公釐）

Claims (1)

1. 4 18 3 0 3 發 C8 _______________ DS六、申請專利範圍 24 1，一種燃燒器歧管裝置，其傳送反應劑至化學汽相沉積處 瑝之燃燒位置，該裝置包含： 流體入口，流體出口，以及一組多個流體通道延伸於流體 入口與流體出口之間，流體通遠由流體進入口至流體出口 朝向彼此地聚集。 2. 依據申請專利範圍第1項之燃燒器歧管裝置，其中在流體 出口處流體通道具有較小斷面而小於流體入口處。 3. 依據申請專利範圍第1項之燃燒器歧管裝置，其中在流體 通道彼此隔離使得所選擇一個流體通道傳送反應劑前身產 物材料以及選擇不同之流體通道傳送燃燒材料。. 4依據申請專利範圍第I項之燃燒器歧管裝置，其中在流體 出口處之流體通道為細縫形狀。 5. 依據申請專利範圍第1項之燃燒器歧管裝置，其中更進一 步包含至少一個產生限制壓力裝置使傳送流體以狹窄拉伸 流束之通過，至少一個產生限制壓力裝置位於流體入口與 流體出口之間。 6. 依據申請專利範圍第5項之燃燒器歧管裝置，其中至少一 個產生限制壓力裝置包含一個板，其具有一組細缝或線性 構造開孔在其中以使由該處流出之流體為一般線性流束。 7. 依據申請專利範圍第1項之燃燒器歧管裝置，其中燃燒器 歧管裝置包含： 歧管底座，其具有頂部，底部，前端壁板，後端壁板，以及 兩個側扳， 流體通道包含水平流體通道，其延伸於側邊壁板以及由 4:¾¾尺度通扣中國同家從华（CNS )八4说格{ 21 0X 297公龙）2,6 C#先間讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 llUJtl n 1 -- - i - I- I — - f - - I - ·1! If —i 1 ------- _ _ '4 1 8 3 0^ 申請專利範園 A8 BS C8 D3 25 經濟部中央榡準局®c工消f合作社印裒 一個位置延伸出之垂直流體通道，該位置在到達歧管底座 ’頂部之歧管内，以及 流體入口，其包含流體入口端痒，每一端埠位於至少一個 前端壁板上以及歧管底座後端壁板上以及每一入口與至少 一個水平及垂直流體通道相及流通； 裝置於歧管底座上之平板f該平板界定出一組多個通過 其中平板，至少一個孔徑位於每一歧管底座垂直流體通道 出口上方以使流體由垂直流髒通道通過平板;以及 歧管燃燒器支架連接至平板， 流體通道更.進一步包含歧管燃燒器架，其由歧管燃燒器 架底部延伸至歧管燃燒器架頂部以及終止處為流體出口， 歧管燃燒器架流體通道排列使得相鄰歧管燃燒器架流體通 ，道間距離在歧管燃燒器架底部為較大而大於歧管燃燒器架 頂部情況，歧管燃燒器架流體通道對稱地排列於中央位於 歧管燃燒器架頂部處乂 8. 依據申請專利範圍第7項之燃燒器歧管裝置，其中垂直流 體通道對稱於第一中心軸而傾斜於歧管底座。 9. 依據申請專利範圍第7項之燃燒器歧管裝置，其中垂直流 體通道並不對稱於第一中心軸而傾斜於歧管底座。 10. 依據申讀專利範圍第7項之燃燒器歧管裝置，其令垂直 流體通道包含巾麵直通道以及成靜规道，每—對通 ，由兩個垂直通遒所界定出而與第一中心軸等距地相隔， 每一對通道相交出制水平流體通道以形成 一個陣列於歧 管底座内以對稱於第—中心、軸分散流體。 Λ4現格（210X297公货） (請先閲讀背而之注意事項再填寫本頁) -_ ! n ! _ i 丁 I I — ! -5* . > - - - - - — n-li ρι^ϋ tn^i 六、申請專利範園 11. 依攄申請專利範圍第1 〇項之燃燒器歧管裝置，其中每一 對t直通道以及特別水平流體通道與其他每一對垂直通道 以及特別水平流體通道為彼此相互獨立的。 .* 12. 依據申請專利範圍第7項之燃燒器歧管裝置，其中每一 水平流體通道合併為單一流體輸入端埠。 13. 依據申請專利範圍第7項之燃燒器歧管裝置，其中歧管 燃燒器支架流體通道為線性的。 14. 依據申請專利範圍第7項之燃燒器歧管裝置，其中歧管 底座之頂部包含溝槽，每一溝槽位於一個垂直流體通道出 口處。 15. 依據申請專利範圍第14項之燃燒器歧管裝置，其中在歧 管底座中垂直流體通道出α以及歧管底座頂部中相對溝槽 對準於到達歧管燃燒器支架流體通道之線性出口。 16. 依據申請專利範圍第7項之燃燒器歧管裝置，其中平板 具有一個線性陣列開孔，以及線性陣列之線對準於歧管底 座中垂直流體通道之出口 ρ及歧管燃燒器支架流體通道之 線性入口。 Π.依據申請專利範圍第16項之燃燒器歧管裝置，其中平板 孔徑尺寸為較小而小於垂直流體通道之出口，其將使得平 板運作為壓力板以均勻對稱地分配流體通過歧管底座。 18. 依據申請專利範圍第7項之燃燒器歧管裝置，以及更進 一步包含裝置於歧管燃燒器架之固定元件以固定燃燒器。 19. 依據申請專利範圍第18項之燃燒器歧管裝置，其中固定 元件包含一對可釋出之夾頭而固定於歧管燃燒器架頂部每 本钱汉尺度这用中围囤家標卒（CNS ) Λ_4见格（210Χ297公犮） ABCD 4 18303 六、申請專利範圍. 一倒上以固定燃燒器於歧營燃燒器支架流體通道上。 20, 依據申讀專利範圍第19項之燃燒器歧管裝置，其中每一 夾頭具有外側邊緣以及内側邊緣，肉側邊緣具有肩部，其與 燃燒器啣接以裝置於歧管燃燒器支架。 21. 依據申請專利範圍第2〇項之燃燒器歧管裝置，其t每一 爽頭内侧邊緣具有漸變表面，其由歧管燃燒器架頂部開始 漸變。. . 22·依據申請專利範圍第19項之燃燒器歧管裝置，更進一步 包含彈簧裝置於每一夾頭以及歧管燃燒器架之間。 .23.依據申請專利範圍第7項之燃燒器歧管裝置，其中歧管 底座，平板，以及歧管燃燒器架一般為長方形。 24依據申請專利範圍第23項之燃燒器歧管裝置，其中燃燒 器歧管裝置包含一組多個燃燒器架，一組多個平板，以及單 一歧管，單一歧管在前端壁板與後端壁板間具有一個厚度 ，單一歧管厚度大於燃燒器架厚度以及平板將使得一組多 個燃燒器架/平板組合件可裝置至歧管。 .25,依據申請專利範圍第7項之燃燒器歧管裝置，其中流體 入口端埠位於歧管前端壁板上.。 26. 依據申請專利範圍第7項之燃燒器歧管裝置，其中流體 入口端埠位於歧管後端壁板上。 27. 依據申請專利範圍第7項之燃燒器歧管裝置，其中苐— 组流體入口端埠位於歧管後端壁板上，以及第二組流體入 口端痺位於歧管後端壁板上。 28. 依據申請專利範圍第1項之燃燒器歧管裝置，其中更進 本紙疚尺烀试州中同国家操準（CNS ) Λ4见格（210Χ：297公浼） - 彳 A8 B8 C8 D8 4 18303

   一步包含： 一組多個歧管元件放置成堆疊構造使得流體通道延伸通 過歧管元件以及終止於流體出口處，歧管元件流體地藉由 流體通道彼此連通，每一歧管元件具有較大數目流體通道 而大於堆疊下方歧管元件使得最頂部歧管元件具有較大數 目通過其中之流體通道以及使得流體通道會集於流體出口 處。 29.依據申請專利範圍第28項之燃燒器歧管裝置，其中每— 歧管元件包含至少一個流體入口端璋。 _ 30·依據申請專利範圍第29項之燃燒器歧管裝置，其令最下 方歧管元件具有單一流體入口端埠以及其餘歧管元件具有 兩個流體入口端埠。 31. 依據申請專利範圍第30項之燃燒器歧管裝置，其中在其 餘歧管元件中，流體平均地分配於兩個流體入口端埠。 32. 依據申請專利範圍第29項之燃燒器歧管裝置，其中流體 通道為線性以及垂直地延伸通過歧管元件> 33. 依據申請專利範圍第32項之燃燒器歧管裝置，其中每— 歧管元件最外側流體通道與結合流體輸入端琿流通，以及 内側流體通道與最外側流體通道隔離。 34. 依據申請專利範圍第33項之燃燒器歧管裝置，其中每相 鄰歧管元件流體通道為垂直對準。 35. 依據申請專利範圍第33項之燃燒器歧管裝置，其中内侧 流體通道為垂直長方形細縫。 36. 依據申請專利範圍第29項之燃燒器歧管裝置，其t流體 衣紙張尺度適用囚家標荜（CNS )八4览洛（2i〇X 297公釐）

   418303 一 _ 一—"" r ~—-六、申請專利範園 ABCD 29 通道對稱於中央流體通道。 37. 依據申請專利範圍第丨項之燃燒器歧管裝置，其中更進 一步包含： 漸變區段具有第一端部界定虚流體出口以及第二端部界 定岀流體入口，第一端部具有較小表面區域而小於第二端 部。 38. 依據申請專利範圍第37項之燃燒器歧管裝置，其中選擇 一個流體通道被封閉以防止流體通過其中。 39. 依據申請專利範圍第χ項冬燃燒器歧管裝置，其令更進 、一步包含： 漸變區段，其具有第一端部界定出流體入口以及第二端 部，第一端部具有較大表面而大於第二端部；以及 頂部區段，其具有第一端部與漸變區段之第二端部流體 地連通以及第二端部界定出流體出口， 其中流體通道延伸通過漸變區段以及頂部區段以傳送流 體由漸變區段之第一端部至頂部區段之第二端部。 40. 依據申請專利範圍第39項之燃燒器歧管裝置，其中頂部 區段與漸變區段有相同範圍。 41. 依據申請專利範圍第39項之燃燒器歧管裝置，其中燃燒 器歧管藉由擠製處理過程形成。 &、依據申請專利範圍第39項之燃燒器歧管裝置，其申燃燒 '器歧管藉由抽拉處理過程形成。 依據申請專利範圍第39項之燃燒器歧管裝置，其中選擇 —個流體通道被封閉。 尺度边用中国図家標準（CNS ) Λ4说格（2!〇Χ 297公浼） PI (請先M讀背而之注意事項再填寫本頁) hi 訂 1" -i me In

   六、申請專利範国 418303 ABCD 30 44·依據申請專利範圍第43項之燃燒器歧管裝置，其中選擇 一個通道填充固體材料。 45.依啤申請專利範圍第43項之燃燒器歧管裝置，.其中固體 材料為環氧樹脂以及矽氧化物之一種。 视依據申請專利範圍第39項之燃燒器歧管裝置，其中燃燒 器歧管由玻璃材料所構成。 47.依據申請專利範圍第39項之燃燒器歧管裝置，其令燃燒 器歧管裝置由陶瓷材料所構成。 48‘依據申請專利範圍第39項之燃燒器歧管裝置，其中燃燒 器歧管裝置由矽石材料所構成。 49. 依據申請專利範圍第39項之燃燒器歧管裝置，其令頂部 區段為圓柱形^ 50. —種製造燃燒器歧管之方法，該燃燒器歧管使用於化學 汽相沉積處理過程中，該方法包含： 擠製蜂巢體基質之塑膠複合體至少部份通過具有漸變區 段之擠製做得歧管第-端部具妹小表_削、於歧^ 第二端部。 51. 依據申請專利範圍第50項製造燃燒器歧管之方法，其中 更進一步包含： ’八 在擠製步驟前，利用填充枒料填充蜂巢體基質。 52. 依據申請專利範圍第50項製造燃燒器歧管之方法，其中 更進一步包含： 在擠製步驟後，將填充材料由蜂巢體基質移除材料 將蜂巢體基質燒結；以及 ’ ' (請先閱讀背面之注意带項再"填寫本頁) l·-----Jp紧—— 一. 1 1 I i · - --_ p * -i-· M f i fl»^i

   3 .〇 3 8 園 範 利 專 請 4 / 申 ABCD 1 3 r利周另外一種填充材料封閉蜂巢體基質經選擇之通道。 於，依據申請專利範園第52項製造燃燒器歧管之方法，其中 更進一步包含： 在擠製步驟後，將燃燒器密封至歧管之第一端部。 54. ~種燃燒器歧管級件裝置,該組件使用於化學汽相沉積 處理過程中，該裝置包含： 歧管，其具有流體通道通過其中以及一組多個流體入口 端埠； 一組多個燃燒器架裝置於歧管及具有流體通道與歧管流 體通道連通，每一燃燒器架具有線性陣列細縫位於其頂部 以由其中噴出流體，燃燒器架細縫與相鄰燃燒器架對準;及 一組多個流體限制裝置放置於歧管與每一燃燒器架間。 55. 依據申請專利範圍第54項之裝置，其中一組多個流體限 制裝置包含一組多個壓力板，其具有開孔通過其中，開孔對 準於歧管流體通道以及燃燒器架流體以由歧管喷出流體進 入燃燒器支架。 56· 一種燃燒器歧管組件，該組件傳輸反應劑至化學汽相沉 積處理過程之燃燒位置，該組件包含： 燃燒器歧管裝置，流體入口，流體出口，以及一組多個流 體通道延伸於流體入口與流體出口之間，流體通道由流體 進入口至流體街口朝向彼此地聚集；以及 .燃燒器裝置至燃燒器歧管裝置，燃燒器具有線性陣列至 少一個細縫以及開孔，線性陣列與流體通道連通於流體出 口處。 本紙依尺度通用中囡3家樣羋（CNS ) Λ4規格（2丨0Χ297公釐） (請先Itl讀背面之注意事項异填瑪本1 ) I - ί· - 1 -=- I 一 、n - - - - I ^nn - J ^^^^1 * t hj