TW402800B - Chip brink washing wide observer - Google Patents

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經 部 中 央 標 準 為 員 工 消 費 入 社 印 製

(CNS ) Λ4ή1^ 40^800 發明説明（ 發明領域： 本發明是關於-種晶片洗邊寬度觀察器，尤指一種用以 辅助目視量測晶片洗邊寬度是否符合標準之簡便工具者。 發明背景： 按’在半_工射，—般之触覆蓋機於晶片完成光 =上膜後，均會將晶片邊緣清洗出寬度社5mm左右之邊 壞，此後之設備即統-以此規袼邊_之晶片進行後序之製 程’而為因應可能之誤差，故常設定15麵±〇 5麵之可接受 ，圍；料論造成翁厚度差異之因料何，日W洗邊後， 右其邊％之寬度落在此可接受範圍内，則可視為符合標準， 而若是超出此可較麵外，取晶片視衫良品，需 再進行必要之修補或重新加工。 習知用以檢視此-邊環規格之卫具，最精確者乃為顯微 :·，然-般為求檢視之效率，現場之鑑識人貝常以目測代 ，惟’目測絲可提高檢視之效率，然對於符合標準邊緣 =2· 0_· 〇喊格附近）之產品，卻饒有爭議，若是判 曰誤’ _為產生賴縣之誤差（料符娜者判定為 ^規格），即為徒增重新加工之困擾（將符合規格者= 為不符規格）’鶴地，二者料致成本與工時之浪費。 發明概述： 士發明之主要目的，枚在提供—種晶片洗邊寬度觀察 。稭由夕數條規格線之幫助，輔助目視量測一晶片之洗邊 21UX297 公漦

402800 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（>) 邊環寬度是否在可接受之範_，以達到有效檢驗並省時省 工之目的。 本發明之—種晶片洗邊紐觀察ϋ，制以檢視-晶片 之洗邊邊環寬度之規格’包括一透光片及一支撐部；其中之 透光片’係為-平面可透光板體，其上並具有用以構好數 個同心圓形之檢驗線組，以辅助檢視晶片之邊環寬度；而支 樓部’係用以將透W固定在—適當位置上，並與透光片間 形成一晶片之檢驗空間。 在本發明中’檢驗線組係用以構成多數個虛擬或實際線 圓、以方便界定-晶片之洗邊邊環厚度是否符合容許之尺 寸，其實施可包括-上限線及—下限線，用以分別界定晶片 邊環寬度之容許上限與下限範圍，其又可包括—中間值線， 用以界定晶片之邊環寬度之標準值，並可用以清楚分別邊環 寬度是接近下限或是接近上限，贼做置膽之依據；在 最佳實施狀況下’檢麟_形成為—組實際之同心檢驗線 圓。 在本發明之-實施例中，透光片又可向檢驗空間突出至 少二細以構成-虛擬g形之頂塊，藉由頂塊抵於晶片之邊 緣上，可避免晶片直接碰觸到透光片；而在頂塊之實施中， 其底面係共平面、且與透光片平行，並應存在至少一組三個 頂塊可用以構成一銳角三角形，以平穩地抵頂於晶片上，其 最佳係可為分度設置之頂塊。 在本發明之-實施例中，支樓部係又可包括至少一支樓 架及-底座，底座係與透光片間構成晶片之檢驗空間，而支 --------I--裝------訂------^線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺ϋ用中國國家標準（cn_s ~~· 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 402800 、發明説明（j) 揮架則用以連接透光片與底座。 附近讀部之實財，支縣與透光片結合處及其 片署L、透光片形成—直角結構，而支擇架之設置乃以晶 置入檢驗空間時，晶片之邊緣抵頂於接近透光片之支樓架 =緣時’恰可利用檢驗線組進行邊環寬度之檢視作業，此一 。又置之條件乃在使讀架成為晶#檢驗時之治具，便利晶片 於檢驗m中之罐；其實施可將續架之崎製作為與晶 片邊緣之弧度姻之_者，亦或是將錄個支料用以抵 頂晶片之⑽所聯合構狀弧度鶴域W邊緣之孤度 相同，亦即可將支撐架之内緣製作成與晶片之邊緣形成外切 之狀況。 為使責審查委員對於本發明能有更進一步的了解與 認同，效配合圖式作一詳細說明如后。 圖式之簡單說明： 圖-係為本發明晶片洗邊寬度觀察器一實施例之立體 示意圖； 圖二係為圖一中A區之局部放大圖； ®二係為本發明晶片洗邊寬度觀察器另一實施例之立 體示意圖；及 圖四係為圖三中之實施例運用於晶片邊環厚度檢視之 側視圖。 裝------、玎-------M (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) - . 本纸張尺 ^^^國家標準（CNS ) :\4钆格（ :1〇\297公1:, 402800 A7 B7 16頂塊 30檢驗空間 50持取工具 203下限線 五、發明说明（ 圖號說明： 1、 la晶片洗邊厚度觀察器 10、l〇a透光片 12、12a底座 14、14a支撐架 20、20a檢驗線組 40晶片 201上限線 205中間值線 請參閱圖一所示，係為本發明晶片洗邊寬度觀察器一實 施例之立體示意圖，乃包括一透光片10、以及一可包括至少 一支撐架與一底座12之支撐部；其中之透光片10，係為一平 面可透光板體，其上並具有用以構成多數個同心圓形之檢驗 線組20，以輔助檢視晶片之邊環寬度；而支撐部，係用以將 透光片10固定在一適當位置上，並與透光片1〇間形成一晶片 之檢驗空間30。 在本發明中’檢驗線組20係用以構成多數個虛擬或實際 線圓（如圖一所示）、以方便界定一晶片之洗邊邊環厚度是 否符合容許之尺寸。 請參閱圖二所示，係為圖一中A區之局部放大圖；如圖所 不’檢驗線組20係至少應包括一上限線201及一下限線203， 用以分別界定晶片邊環寬度之容許上限與下限範圍，當然， 其亦可包括一中間值線2〇5，用以界定晶片之邊環寬度之標 準值’並可用以清楚分別邊環寬度是接近下限或是接近上 本祕 --------------、訂----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _ 經濟'部中央標隼局員工消費合作钍印製 (CNS ) Λ4規格（：i〇x297公邊） 402800 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 —______B7__ 五、發明説明（) 限’以提供裝置調整之依據；在以背景說明所敘述之例子 中’上限線201、中間值線205、及下限線203係用以分別標 定2. 0麵、1. 5mm、及1. 〇醒之邊環寬度線；在檢驗線組2〇之 表佳實施狀況下，檢驗線組2〇係如圖一所示、形成為一組實 際之同心檢驗線圓。 在檢驗線組20之實施中，並不需要界定晶片之範圍即可 實施’因其主要考慮之重點乃在該晶片邊環之内環圓位置 (亦即光阻或上膜層之外緣位置），而非晶片之尺寸，故本 發明在透光片10之外形上，並不作特別之要求，其可為如圖 示之圓形、橢圓、方形、亦或是其他可提供一晶片利用其進 行本發明量測之構形者。 再請參閱圖三所示，係為本發明晶片洗邊寬度觀察器另 一實施例之示意圖，其構形係與圖一所示實施例之構形類 似，故於圖三中，若有相同於圖一中之元件者，乃利用相同 圖號但於其後加註一 “a”表示。 如圖三所示，晶片洗邊寬度觀察器la，亦包括一透光片 ίο、以及一可包括至少一支樓架14a與一底座12a之支樓部； 透光片10上亦具有用以構成多數個同心圓形之檢驗線組 20a ’而支樓部之底座12a與透光片1〇a間係形成一晶片之檢 驗空間30a。 在此實施例中’透光片10a又可向檢驗空間施突出至少 三個用以構成-虛則形之概16,藉由職腿於晶片之 邊緣上，藉此可避免晶片直接碰觸到透光片1〇a ;而在頂塊 16之實施中’其底面係、共平面、且與透光片施平行，並應 ® ® t-m ( cins ) ------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· tm 1- f HI Id. 403800 A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作社印装 五、發明説明（4~ 存在至少一組三個頂塊16可用以構成一銳角三角形，以平穩 地抵頂於晶片上，其最佳係可為分度設置之頂塊16。 一 在圖一與圖三之實施例中，亦可使用支撐架丨4與丨4a作為 晶片檢驗時之治具’以便利晶片於檢驗空間3〇與3〇a中之調 整；而其治具功能之實施，係將支撐架14與14a作適當之位 置安排，並將其與透光片10與l〇a之結合處及其附近製作為 一與透光片10與l〇a成直角連接之結構，以於晶片置入檢驗 空間30與3〇a中時，晶片之邊緣可靠抵於支撐架14與i4a之内 緣，並使於此時、恰可利用檢驗線組2〇與2〇a進行邊環寬度 之檢視作業；在上述之實施中，乃可將支撑架14與14&之内 緣製作為與晶片邊緣之弧度相同之構形者，亦或是將多數個 支撐架14與14a用以抵頂晶片之内緣所聯合構成之弧度安排 為與晶片邊緣之弧度相同’亦即可將支撐架14與14&之内緣 2作成與晶片之邊緣形成外切之狀況；當然，支撐架14與i4a 设置之最基本要求，即是不影響晶片於檢驗空間3〇與3〇&中 之進出。 再凊參閱圖四所示，係為圖三中之實施例運用於晶片邊 環厚度檢視之側視圖；其中之晶片40係以一如吸筆之持取工 具50置放於檢驗空間30a中，並將晶片4〇之邊緣靠抵於作為 治具之支樓架14a内緣，且晶片40之上緣面係以多數個頂塊 16與透光片l〇a之下緣間隔出一極小之距離，檢視人員即由 透光片10a之上緣、藉由檢驗線組、進行晶片4〇上光阻或上 膜層之規格檢驗。 本發明藉由形成圓形線之檢驗線組之輔助，可便捷地目 L ________-7- 尺及適用中國國家標準（OS's ) A4現格（2:0X297公~ ---- {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 線 402800

發明説明（ 視罝測-Βθ片之洗邊邊環寬度是否在可接受之翻内，可有 效達到洗邊檢驗省時省工之發明目的。 別Λ上所，_—較佳實施例詳細說明本發明，而非限 =發明之_ ’而域知_技藝人士皆能 作些微的賴及_，_不絲剌 = 離本發明之精神和翻。 t麟* π不脫 综上所述，本發明實施之具體'1·生，誠已符合專利法中所 ::::明她件，謹請貴審查編 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 裝. 訂· 經濟部中央標導局員工消費合作社印製 (CNS Λ4規格⑺〇:< 297公羞） 本纸張

(CNS

Claims (1)

1. 402800 Λ8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1. 一種晶片洗邊寬度觀察器，係用以檢視一晶片之洗邊邊環 寬度之規格5包括： 一透光片’係為一平面可透光板體，其上並具有用以 構成多數個同心圓形之檢驗線組’以輔助檢視該晶片 之該邊環寬度；及 一支撐部’係用以將該透光片固定在一適當位置，並 與該透光片間形成一該晶片之檢驗空間。 2. 如申請專利範圍第1項所述之晶片洗邊寬度觀察器，其中 所述之該檢驗線組又包括一上限線及一下限線，用以分別 界定該晶片該邊環寬度之容許上限與下限。 3. 如申請專利範圍第1項所述之晶片洗邊寬度觀察器，其中 所述之該檢驗線組又包括一上限線、一中間值線、及一下 限線，用以分別界定該晶片該邊環寬度之容許上限、標準 值、及容許下限。 4. 如申請專利範圍第1項所述之晶片洗邊寬度觀察器，其中 所述之該檢驗線組係為一組同心檢驗線圓。 5·如申請專利範圍第1項所述之晶片洗邊寬度觀察器，其中 所述之該透光片又向該檢驗空間突出至少三個用以構成 一圓形之頂塊，藉由該頂塊抵於該晶片之邊緣上，以避免 該晶片直接碰觸到該透光片；而在該頂塊中，存在至少一 組三個頂塊可用以構成一銳角三角形。 6.如申請專利範圍第1項所述之晶片洗邊寬度觀察器，其中 所述之該支撐部係又包括至少一支撐架及一底座，該底座 與該透光片間係用以構成該檢驗空間，而該支撐架係用以 本紙张尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------^裝------訂------泉 - * (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 經濟部中央揉率局貞工消費合作社印裝 40^800 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 連接該透光片與該底座。 7·如申請專利範圍第6項所述之晶片洗邊寬度觀察器，其中 所述之該支撐架與該透光片結合處及其附近係與該透光 片形成一直角結構，而該支撐架之設置乃以該晶片置入該 檢驗空間時，該晶片之邊緣於抵頂於接近該透光片之該支 撐架内緣時’恰可利用該檢驗線組進行該邊環寬度之檢視 作業。 又 8. 如申請專利範圍第7項所述之晶片洗邊寬度觀察器，其中 所述之該支撐架内緣係為一與該晶片邊緣之弧度相同之 構形者。 9. 如申請專利範圍第7項所述之晶片洗邊寬度觀察器，其中 所述之該支揮架用以抵頂該晶片之該内緣所聯合構成之 弧度係與該晶片邊緣之弧度相同。 10. —種，係用以檢視一晶片之洗邊邊環寬度之規格，包括： 一透光片’係為一平面可透光板體，其上並具有用以 構成多數個同心圓形之檢驗線組’以辅助檢視該晶片 之該邊環寬度； 一底座，係用以將該晶片洗邊寬度觀察器固定在—適 當位置上，並與該透光片間構成一檢驗空間；及 至少一支撐架’係用以連接該透光片與該底座。 11. 如申請專利範圍第10項所述之晶片洗邊寬度觀察器，其 中所述之該檢驗線組又包括一上限線及一下限線，用以分 別界定該晶片該邊環寬度之容許上限與下限。 12. 如申請專利範圍第1〇項所述之晶片洗邊寬度觀察器，其 本紙承凡及通相國冢棵準（CNS ) A4规格（2丨0X297公羞) ---------------、玎------,1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 經濟部中央標隼局貝工消费合作社印$L 402800 it C8 ______D8____ 六、申請專利範圍 中所述之該檢驗線組又包括一上限線、一中間值線、及一 下限線’用以分別界定該晶片該邊環寬度之容許上限、標 準值、及容許下限。 13·如申請專利範圍第10項所述之晶片洗邊寬度觀察器，其 中所述之該檢驗線組係為一組同心檢驗線圓。 14. 如申請專利範圍第項所述之晶片洗邊寬度觀察器，其 中所述之該透光片又向該檢驗空間突出至少三個用以構 成一圓形並分度設置之頂塊，藉由該頂塊抵於該晶片之邊 緣上’以避免該晶片直接碰觸到該透光片。 15. 如申請專利範圍第1〇項所述之晶片洗邊寬度觀察器，其 中所述之該支撐架係垂直於該透光片，而於該晶片置入該 檢驗空間時’該晶片之邊緣於抵頂於該支樓架内緣時，恰 可利用該檢驗線組進行該邊環寬度之檢視作業。 16. 如申請專利範圍第15項所述之晶片洗邊寬度觀察器，其 中所述之該支撐架内緣係為一與該晶片邊緣之弧度相同 之構形者。 17. 如申請專利範圍第15項所述之晶片洗邊寬度觀察器，其 中所述之該支樓架用以抵頂該晶片之該内緣所聯合構成 之弧度係與該晶片邊緣之弧度相同。 -11- >纸张尺度適用中ϋ揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) .裝. 、tr