TW277007B - - Google Patents
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- Publication number
- TW277007B TW277007B TW83105409A TW83105409A TW277007B TW 277007 B TW277007 B TW 277007B TW 83105409 A TW83105409 A TW 83105409A TW 83105409 A TW83105409 A TW 83105409A TW 277007 B TW277007 B TW 277007B
- Authority
- TW
- Taiwan
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Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5254681A JP3066691B2 (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | マルチチャンバー処理装置及びそのクリーニング方法 |
| JP25468093A JP2741156B2 (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | マルチチャンバー処理装置のクリーニング方法 |
| JP25468293A JPH0786188A (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | 搬送室及びそのクリーニング方法 |
| JP5256506A JP2881371B2 (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | 真空処理装置及び真空処理装置集合体のクリーニング方法 |
| JP25650793A JPH0794489A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | 処理装置のクリーニング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW277007B true TW277007B (cs) | 1996-06-01 |
Family
ID=51397368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW83105409A TW277007B (cs) | 1993-09-17 | 1994-06-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| TW (1) | TW277007B (cs) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8398813B2 (en) | 1999-08-13 | 2013-03-19 | Tokyo Electron Limited | Processing apparatus and processing method |
-
1994
- 1994-06-15 TW TW83105409A patent/TW277007B/zh active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8398813B2 (en) | 1999-08-13 | 2013-03-19 | Tokyo Electron Limited | Processing apparatus and processing method |