TW202408688A - 金屬粉末之製造方法及金屬粉末之製造裝置 - Google Patents

Abstract

金屬粉末之製造方法係在反應容器內所配置之密閉型坩鍋內，將投入至該坩鍋內之金屬原料的至少一部分予以加熱熔融，儲存金屬熔湯的同時，使該金屬熔湯之至少一部分蒸發而生成金屬蒸氣，使該金屬蒸氣與導入至上述坩鍋內之載體氣體一起從上述坩鍋朝向冷卻管移動並冷卻。金屬粉末之製造方法係從上述反應容器外導入至上述反應容器內的氣體從上述坩鍋吸熱，藉以將該坩鍋冷卻，同時將該氣體升溫，將該已升溫之氣體的至少一部分當作上述載體氣體而導入至上述坩鍋內。根據本發明，可以提供一種金屬粉末之製造方法及製造裝置，其係解決稱為坩鍋劣化、金屬粉末之雜質污染的課題，同時也能夠有助於金屬粉末之製造成本的降低。

Description

金屬粉末之製造方法及金屬粉末之製造裝置

本發明係關於製造金屬粉末之金屬粉末之製造方法及金屬粉末之製造裝置。

作為製造細微金屬粉末的方法之一，已知有利用電漿之方法(例如，參照專利文獻1)。該方法係利用電漿，使金屬原料在密閉型坩鍋內熔融並蒸發之後，將金屬蒸氣與載體氣體(也稱為稀釋氣體)一起從坩鍋轉移輸送至冷卻管，於冷卻管中，將金屬蒸氣予以冷卻，該金屬蒸氣以微粒子形式凝結，藉以獲得金屬粉末。載體氣體係為了將金屬蒸氣的局部凝聚設為最小，而在經加熱至相當於坩鍋內之金屬蒸氣的溫度之夠高的溫度(至少1000K以上)之狀態下，噴射至電漿室內。

於此，對於儲存有成為金屬熔點以上之高溫的金屬熔湯的坩鍋，係要求高耐火性、耐熱性，因此而研究：作為坩鍋之構成材料，使用銅等之金屬，以金屬坩鍋並未熔融的方式使用水冷機構、油冷機構，將坩鍋予以冷卻。

然而，當如此使用水冷機構、油冷機構時，製造設備整體的構成會複雜化，設備費用和維修費用等會增加，甚至與屬於製造物之金屬粉末的成本上升有所關聯。

而且，在金屬坩鍋內，於因上述冷卻機構而受到冷卻的部位與和金屬熔湯直接接觸的部位之間產生大的溫度差，而在兩者之間熱應力變大，所以即使是在金屬坩鍋之耐久面上也會產生問題。另一方面，以重視金屬坩鍋之耐久面，且不會產生上述熱應力的方式，而將金屬坩鍋予以過度冷卻時，源自於所儲存之金屬熔湯的蒸發受到抑制，金屬粉末之製造效率下降。

因為有如此問題，故而大多會使用耐火性、耐熱性優於金屬坩鍋之氧化物系陶瓷坩鍋(尤其是二氧化鋯系坩鍋)。一般來說，相較於金屬坩鍋，陶瓷坩鍋係耐火性、耐熱性優異，即便如此，當持續長時間曝曬於高溫下時，其劣化會提早，坩鍋的交換頻率變高，而影響到生產性，不僅如此，陶瓷坩鍋之構成成分會溶出於金屬熔湯，會變成雜質滲入至金屬粉末中。因此，即便是陶瓷坩鍋，為了要延長其壽命而以冷卻為佳，而為了將陶瓷坩鍋冷卻，係使冷卻氣體直接或間接的接觸到坩鍋外面，藉以冷卻坩鍋。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利3541939號公報

(發明所欲解決之問題)

另一方面，如上所述，將金屬蒸氣從坩鍋內移送至冷卻管的載體氣體係為了加熱(預熱)到至少1000K以上的高溫，故必須供給至坩鍋內，因此，基於製造成本的觀點，無法無視載體氣體在加熱上所需要的能量。

本發明之目的係在於提供一種金屬粉末之製造方法及製造裝置，其係有效率地施行載體氣體之加熱與反應容器內(尤其是坩鍋)之冷卻，而能夠解決坩鍋劣化、金屬粉末之雜質污染的課題，同時也有助於金屬粉末在製造成本上的降低。 (解決問題之技術手段)

上述課題係可藉由以下製造方法及製造裝置解決。亦即，本發明(1)之金屬粉末之製造方法係在反應容器內所配置之密閉型坩鍋內，將投入至該坩鍋內之金屬原料的至少一部分予以加熱熔融，儲存金屬熔湯的同時，使該金屬熔湯之至少一部分蒸發而生成金屬蒸氣，使該金屬蒸氣與導入至上述坩鍋內之載體氣體一起從上述坩鍋朝向冷卻管移動並冷卻，藉以製造金屬粉末， 從上述反應容器外導入至上述反應容器內的氣體從上述坩鍋吸熱，藉以將該坩鍋冷卻，同時將該氣體升溫， 將該已升溫之氣體的至少一部分當作上述載體氣體而導入至上述坩鍋內。

本發明(2)之金屬粉末之製造方法係如(1)中所記載之方法，其中，上述坩鍋在其上部具備通氣孔，經由該通氣孔，將上述已升溫之氣體當作上述載體氣體而導入至上述坩鍋內。

本發明(3)之金屬粉末之製造方法係如(2)中所記載之方法，其中，上述坩鍋由儲存上述金屬熔湯的坩鍋本體與覆蓋住該坩鍋本體之上面的覆蓋體所構成，上述通氣孔形成於該覆蓋體上。

本發明(4)之金屬粉末之製造方法係如(1)中所記載之方法，其中，在上述坩鍋之外面的至少一部分附設隔熱部，上述氣體從該隔熱部吸熱，藉以將上述坩鍋冷卻。

本發明(5)之金屬粉末之製造方法係如(1)中所記載之方法，其中，在上述反應容器內之上述坩鍋的更下方的位置上，將上述冷卻用氣體朝上述反應容器內導入。

本發明(6)之金屬粉末之製造方法係如(1)至(5)中任一項所記載之方法，其中， 該覆蓋體為具備突出於上述坩鍋內部側之氣流引導部的形狀， 藉由該氣流引導部導入至上述坩鍋內之上述載體氣體受到誘導而朝向該金屬熔湯。

本發明(7)之金屬粉末之製造裝置係具備： 反應容器； 電漿產生系統，其生成電漿； 坩鍋，其係配置於上述反應容器內，嵌入插著上述電漿產生系統之至少一部分的密閉型坩鍋，藉由上述電漿而將被投入至該坩鍋內之金屬原料的至少一部分予以熔融，作為金屬熔湯而儲存著，同時該金屬熔湯之至少一部分蒸發，產生金屬蒸氣； 冷卻管，其從上述坩鍋內朝上述反應裝置外連通，將藉由載體氣體由該坩鍋內搬送出之金屬蒸氣予以冷卻，製造金屬粉末；及 氣體導入部，其從上述反應容器外朝上述反應容器內導入氣體； 將上述坩鍋配置在從上述氣體導入部所導入之上述氣體導入並移動至上述坩鍋內的流動路徑內，使用上述氣體由該坩鍋吸熱，藉以冷卻該坩鍋，同時將該氣體升溫，將該已升溫之氣體的至少一部分當作上述載體氣體而導入至上述坩鍋內。

本發明(8)之金屬粉末之製造裝置係如(7)中所記載之金屬粉末之製造裝置， 其中，上述坩鍋於其上部具備通氣孔，通過該通氣孔而將上述已升溫之氣體作為上述載體氣體導入至上述坩鍋內。

本發明(9)之金屬粉末之製造裝置係如(8)中所記載之金屬粉末之製造裝置， 其中，上述坩鍋由儲存上述金屬熔湯之坩鍋本體與覆蓋住該坩鍋本體上面之覆蓋體所構成，上述通氣孔形成於該覆蓋體。

本發明(10)之金屬粉末之製造裝置係如(7)中所記載之金屬粉末之製造裝置， 其中，上述坩鍋之外面的至少一部分上附設有隔熱部，藉由上述氣體由該隔熱部吸熱而將上述坩鍋予以冷卻。

本發明(11)之金屬粉末之製造裝置係如(7)中所記載之金屬粉末之製造裝置， 其中，上述氣體導入部被配置在上述反應容器內較上述坩鍋更為下方的位置。

本發明(12)之金屬粉末之製造裝置係如(7)至(11)中任一項所記載之金屬粉末之製造裝置， 其中，上述覆蓋體為具備有突出於上述坩鍋之內部側的氣流引導部之形狀， 藉由該氣流引導部而導入至上述坩鍋內的上述載體氣體受到誘導而朝向該金屬熔湯。 (對照先前技術之功效)

根據本發明，係可以提供一種金屬粉末之製造方法及製造裝置，其係有效施行載體氣體之加熱與反應容器內(尤其是坩鍋)之冷卻，而能夠解決上述課題，即能夠解決坩鍋劣化、金屬粉末之雜質污染的課題，同時也有助於金屬粉末在製造成本上的降低。

以下，參照圖面，針對金屬粉末之製造裝置及使用其之金屬粉末之製造方法進行說明。作為一例，下述實施形態之金屬粉末之製造裝置係採用與專利文獻1中所記載之裝置相同的移行型DC電弧電漿系統，使金屬塊熔融而生成金屬熔湯，從該金屬熔湯使金屬蒸氣產生，將該金屬蒸氣連同載體氣體一起搬送至冷卻管並予以冷卻，藉此而可以製造金屬粉末。移行型DC電弧電漿系統係相較於其他電漿系統，係可有效利用伴隨著製造所產生之能量而明顯降低金屬粉末在製造上的成本。 [第1實施形態]

如圖1所示，金屬粉末之製造裝置11具有：反應容器12、橫跨反應容器12內外而設置可在反應容器12內側生成電漿29的電漿產生系統13、設置在反應容器12內側之可以儲存金屬原料之金屬熔湯14的坩鍋本體15、及覆蓋著坩鍋本體15上側的覆蓋體16，藉由坩鍋本體15及覆蓋體16而構成本發明之密閉型坩鍋。再者，製造裝置11係具備有：將坩鍋冷卻時使用的氣體(以下，也有單純稱為冷卻氣體的情形)從反應容器12之外部朝內部導入的氣體導入部17；將在覆蓋體16上所設置之反應容器12內與坩鍋內予以連通的通氣孔18；從坩鍋延伸至反應容器12外的冷卻管21；保持住坩鍋外面之至少一部分的隔熱部22。再者，雖未圖示，但是製造裝置11係具備有為了將成為金屬原料之金屬塊投入至坩鍋內之與記載於專利文獻1上之物相同的金屬原料投入路徑。 作為冷卻氣體，可以適當使用空氣、二氧化碳、甚至是氮氣、氬氣等之低活性/非活性氣體、該等之混合氣體等。

作為可投入至坩鍋之金屬原料，可以是銀、金、鎘、鈷、銅、鐵、鎳、鈀、鉑、銠、釕、鉭、鈦、鎢、鋯、鉬、鈮、以及該等之合金。

電漿產生系統13係在本實施形態中，由移行型DC電弧電漿系統所構成，當然也可以是其他種類的電漿產生系統。在為移行型DC電弧電漿系統的情形時，電漿產生系統13係如本業界所熟知般(參照例如專利文獻1)，具有電漿炬26、在電漿炬26內之並未圖示之第1正極及負極、及坩鍋側之第2正極27，從並未圖示之供給管供給電漿生成氣體，就電漿炬26而言，在將負極當作陰極、將第1正極當作陽極而使電漿產生之後，將陽極轉移至第2正極27，藉以在電漿炬26與第2正極27之間生成電漿29。 反應容器12(收納容器)係可由耐火性、耐熱性良好的金屬材料而形成，也可由陶瓷材料和其他耐火材料而形成。

坩鍋係具備坩鍋本體15與覆蓋體16。就坩鍋本體15之形狀而言，並未特別限定，作為一例，雖未圖示，可為壺(pot)狀，於其底部中央配置有第2正極27，可構成為能夠與坩鍋本體15內之金屬原料導通。就坩鍋本體15而言，一邊從前述之金屬原料投入路徑而投入屬於金屬原料之金屬塊，一邊藉由覆蓋體16來覆蓋住坩鍋本體15上面，而構成有對於外部來說幾乎密閉的密閉型坩鍋。覆蓋體16係如可覆蓋坩鍋本體15上面，則其形狀沒有特別限定，作為一例，為如圖示之上下倒置之深凹盤狀。另外，就此例而言，坩鍋15及覆蓋體16係以圖中虛線而以可分離之其他構件來構成，兩者亦可為一體性構成。

電漿炬26之至少一部分從覆蓋體16上部之未圖示之開口嵌插至坩鍋內，藉以可於已密閉之坩鍋內由電漿炬26之前端產生電漿29。然後，藉由電漿29之熱使坩鍋內之金屬原料之至少一部分加熱熔融，以金屬熔湯的狀態儲存在坩鍋內，同時，金屬熔湯之至少一部分透過進一步的加熱而蒸發，成為於密閉型坩鍋內產生金屬蒸氣的狀態。

作為一例，坩鍋本體15及覆蓋體16係可均由具有耐火性之陶瓷材料等而形成。更詳細來說，坩鍋15及覆蓋體16係可為例如石墨、碳化鉭、碳化矽、碳化鈦等之碳化物(carbide)，也可為氧化鎂、氧化鋁、二氧化鋯等之氧化物，亦可為氮化鈦、氮化鉭、氮化鋯、氮化硼等之氮化物。又，可為二硼化鈦、二硼化鉭、二硼化鋯等之硼化物，也可為鎢、鉭、鉬、鈮等之耐火材料、高熔融溫度之材料。 然後，如圖所示，在覆蓋體16之上部，設置有將反應容器12內與坩鍋內連通的通氣孔18。

由氣體導入部17從反應容器12外部朝內部導入之冷卻氣體係在使用於坩鍋冷卻之後，由通氣孔18進入坩鍋內，反應容器內之流動路徑受到確保。導入至坩鍋內之後，該冷卻氣體扮演搬送坩鍋內之金屬蒸氣之載體氣體的角色。

對於通氣孔18之位置、形狀、個數等來說，並未特別限定，作為一例，透過模擬器等求得在反應容器12內之氣體的流動路徑(氣流)，藉此而能夠決定有效地導入至坩鍋內的位置、形狀、個數。

冷卻管21係貫通反應容器12而與坩鍋連通，藉由電漿29之熱而由金屬熔湯14所產生之坩鍋內的金屬蒸氣係藉由前述載體氣體而搬送至冷卻管21內。然後，金屬蒸氣係在冷卻管21內冷卻，在金屬之凝結核於氣相中(載體氣體中)生成之後，藉由粒成長而製造出金屬粉末，以冷卻管21外之捕集部23捕集。作為一例，冷卻管21係由耐熱性良好的金屬材料、陶瓷材料等而構成，因應情況也可作成為在冷卻管21周圍設置冷卻機構並透過水等流體自外部來加以冷卻。

作為其他冷卻管之構成，除了記載於專利文獻1中施行二階段冷卻者，亦可為記載於日本特開2013-112893公報之具備有內徑不同之2個以上區間者、記載於國際公開WO2013/084650之在內壁上具備有凸部和凹部者。

於本發明中雖非必要，但較佳為對於坩鍋外面之至少一部分附設隔熱部22。藉由附設隔熱部22，則可以抑制來自氣體導入部17之冷卻氣體直接接觸到坩鍋外面，能夠緩和或預防因前述冷卻而與在坩鍋上所生成之熱應力有關的問題。

隔熱部22係如圖示，可以附設在反應容器12內而幾乎完全覆蓋坩鍋外面，亦可僅覆蓋該外面的一部分。又，可以附設為將隔熱部22覆蓋直至覆蓋體16之外面。再者，僅將隔熱部22附設於坩鍋外面之周邊，透過未圖示之其他構件而保持住隔熱部22，藉以固定住坩鍋相對於反應容器12的位置。

隔熱部22(隔熱材料)之素材並未特別限定，可利用例如氧化鋁氈、石墨氈、二氧化鋯氈、石墨層狀物等之耐火材料，又，可使用砂石狀、砂狀、粒狀或氈狀等之各種形狀者。隔熱部22係具備通氣性為佳，藉此，冷卻氣體係可以通過隔熱部22內而流通在反應容器12內。

另外，在本發明中，也有將冷卻氣體直接接觸到坩鍋外面之冷卻稱為「直接性冷卻」，將冷卻氣體並未直接接觸到坩鍋外面之冷卻稱為「間接性冷卻」的情形。例如，在將隔熱部附設於坩鍋外面的情形，通常是間接性冷卻，即便是該情形，也可以是藉由隔熱材料之通氣性而一部分的冷卻氣體通過隔熱材料內部而接觸到坩鍋外面的直接性冷卻。在本發明中，無論是直接性冷卻或間接性冷卻，如冷卻氣體可由坩鍋吸熱而將坩鍋冷卻即可。另外，直接性冷卻與間接性冷卻係以藉由金屬熔湯之溫度、所使用坩鍋之素材、形狀等條件而分別採用為佳，因情形不同而亦可合併使用該等。 接著，針對採用本實施形態之金屬粉末之製造裝置11的金屬粉末之製造方法來加以說明。

首先，為了於坩鍋本體15內準備金屬材料，係打開覆蓋體16而直接將金屬原料添加至坩鍋本體15內即可，包含覆蓋體16及坩鍋本體15一體成形的情形，也可以作成為不打開覆蓋體16而由前述金屬原料投入路徑將金屬原料之金屬塊投入。接著，驅動電漿產生系統13，使電漿29產生於坩鍋內。藉由電漿29所產生的熱，金屬原料之至少一部分熔融，金屬熔湯14在坩鍋本體15內生成。與此同時，藉由電漿29所產生之熱，金屬熔湯14之至少一部分蒸發，而於坩鍋內生成金屬蒸氣。

另一方面，雖未圖示，透過風扇或吹風器等而冷卻氣體由氣體導入部17依圖中箭頭方向被導入至反應容器12內。圖中之箭頭係表示冷卻氣體及/或載體氣體之流動路徑的一例。坩鍋係藉由配置在該流動路徑內，而冷卻氣體直接或間接地接觸到坩鍋外面的至少一部分，自坩鍋吸熱而使坩鍋冷卻。與此同時地，冷卻氣體係被加熱，升溫至對於載體氣體所要求之1000K以上的高溫。然後，已升溫之冷卻氣體係可以沿著反應容器12內之氣體流動路徑而由通氣孔18導入至坩鍋內，當作是載體氣體來加以利用。

作為載體氣體而導入至坩鍋內的氣體係將從金屬熔湯14所產生之金屬蒸氣搬送至冷卻管21內，在冷卻管21內，金屬蒸氣被冷卻。藉此，載體氣體中(氣相中)大量的凝結核會從金屬蒸氣開始生成，凝結核進一步成長，藉以製造出粒徑整齊之真球度高的金屬粉末，金屬粉末被捕集於捕集部23中。

本發明之特徵係起初用以冷卻坩鍋而由氣體導入部17導入之氣體因冷卻坩鍋而升溫，將此導入坩鍋內並當作載體氣體來加以利用。習知係分別準備坩鍋冷卻用氣體(冷卻氣體)與金屬粉末搬送用氣體(載體氣體)，透過本發明，則無需準備複數個氣體，又，也可以將製造裝置內之氣體用配管簡化，甚至能夠降低金屬粉末的製造成本。又，藉由冷卻坩鍋，除了可以延長其壽命、進一步降低金屬粉末之製造成本，還可以抑制對於金屬粉末的污染，有助於金屬粉末的品質提升。再者，由於載體氣體因與坩鍋之熱交換而被加熱，故可減少製造時所使用之能量的量。 [第2實施形態]

以下，主要僅說明與上述第1實施形態不同的部分，與第1實施形態相同的部分則予以省略。 如圖2所記載，在第2實施形態中，覆蓋體16具有在其內側朝坩鍋內部方向突出之形狀的氣流引導部24，又，具備有連通反應容器12之內外的排氣部25。

氣流引導部24係配置在將通氣孔18周圍包圍的位置上，設置成將從通氣孔18導入至坩鍋內的氣體當作載體氣體而朝向金屬熔湯14方向進行誘導。藉此，可以增加在坩鍋內朝向金屬熔湯14之載體氣體的流量，能夠促進來自於金屬熔湯14之金屬蒸氣的蒸發，同時變得容易將金屬蒸氣承載於載體氣體流上，可以增加金屬粉末的產量。另外，較佳雖為氣流引導部24係以使用與覆蓋體部16相同的材料而一體化形成，亦可為可分離。

排氣部25係因為要將從氣體導入部17所導入之氣體的一部分當作冷卻氣體排出至反應容器12外而設置。相較於為了要搬送金屬蒸氣所需要之載體氣體的流量，用以冷卻坩鍋所需要之冷卻氣體的流量較多的情形，反應容器12內會變得氣體過多，因而升溫後之冷卻氣體的一部分由排氣部25排出至反應容器12外，剩餘的冷卻氣體當作載體氣體而加以利用。另外，在由排氣部25排出已升溫之冷卻氣體之際，較佳的是透過熱交換器等而取出冷卻氣體中之熱能並予以再利用。 上述實施形態係可以施加各種取代、變化而予以實施。又，當然也可適當地組合上述實施形態彼此而實現發明。

11:製造裝置 12:反應容器 13:電漿產生系統 14:金屬熔湯 15:坩鍋本體 16:覆蓋體 17:氣體導入部 18:通氣孔 21:冷卻管 22:隔熱部 23:捕集部 24:氣流引導部 25:排氣部 26:電漿炬 27:第2正極 29:電漿

圖1係示意性顯示第1實施形態之金屬粉末之製造裝置的剖面圖。 圖2係示意性顯示第2實施形態之金屬粉末之製造裝置的剖面圖。

11:製造裝置

12:反應容器

13:電漿產生系統

14:金屬熔湯

15:坩鍋本體

16:覆蓋體

17:氣體導入部

18:通氣孔

21:冷卻管

22:隔熱部

23:捕集部

26:電漿炬

27:第2正極

29:電漿

Claims (12)

1. 一種金屬粉末之製造方法，其係在反應容器內所配置之密閉型坩鍋內，將投入至該坩鍋內之金屬原料的至少一部分予以加熱熔融，儲存金屬熔湯的同時，使該金屬熔湯之至少一部分蒸發而生成金屬蒸氣，使該金屬蒸氣與導入至上述坩鍋內之載體氣體一起從上述坩鍋朝向冷卻管移動並冷卻，藉以製造金屬粉末， 從上述反應容器外導入至上述反應容器內的氣體從上述坩鍋吸熱，藉以將該坩鍋冷卻，同時將該氣體升溫， 將該已升溫之氣體的至少一部分當作上述載體氣體而導入至上述坩鍋內。
2. 如請求項1之金屬粉末之製造方法，其中，上述坩鍋在其上部具備通氣孔，經由該通氣孔，將上述已升溫之氣體當作上述載體氣體而導入至上述坩鍋內。
3. 如請求項2之金屬粉末之製造方法，其中，上述坩鍋由儲存上述金屬熔湯的坩鍋本體與覆蓋住該坩鍋本體之上面的覆蓋體所構成，上述通氣孔形成於該覆蓋體上。
4. 如請求項1之金屬粉末之製造方法，其中，在上述坩鍋之外面的至少一部分上附設隔熱部，上述氣體從該隔熱部吸熱，藉以將上述坩鍋冷卻。
5. 如請求項1之金屬粉末之製造方法，其中，在上述反應容器內較上述坩鍋更下方的位置，將該冷卻用氣體朝上述反應容器內導入。
6. 如請求項1至5中任一項之金屬粉末之製造方法，其中，上述覆蓋體為具備突出於上述坩鍋內部側之氣流引導部的形狀， 藉由該氣流引導部導入至上述坩鍋內之上述載體氣體受到誘導而朝向上述金屬熔湯。
7. 一種金屬粉末之製造裝置，其具備： 反應容器； 電漿產生系統，其生成電漿； 坩鍋，其係配置於上述反應容器內，嵌入插著上述電漿產生系統之至少一部分的密閉型坩鍋，藉由上述電漿而將被投入至該坩鍋內之金屬原料的至少一部分予以熔融，作為金屬熔湯而儲存著，同時該金屬熔湯之至少一部分蒸發，產生金屬蒸氣； 冷卻管，其從上述坩鍋內朝上述反應裝置外連通，將藉由載體氣體由該坩鍋內搬送出之金屬蒸氣予以冷卻，製造金屬粉末；及 氣體導入部，其從上述反應容器外朝上述反應容器內導入氣體； 將上述坩鍋配置在從上述氣體導入部所導入之上述氣體導入並移動至上述坩鍋內的流動路徑內，使用上述氣體由該坩鍋吸熱，藉以冷卻該坩鍋，同時將該氣體升溫，將該已升溫之氣體的至少一部分當作上述載體氣體而導入至上述坩鍋內。
8. 如請求項7之金屬粉末之製造裝置，其中，上述坩鍋於其上部具備通氣孔，通過該通氣孔而將上述已升溫之氣體作為上述載體氣體導入至上述坩鍋內。
9. 如請求項8之金屬粉末之製造裝置，其中，上述坩鍋由儲存上述金屬熔湯之坩鍋本體與覆蓋住該坩鍋本體上面之覆蓋體所構成，上述通氣孔形成於該覆蓋體。
10. 如請求項7之金屬粉末之製造裝置，其中，上述坩鍋之外面的至少一部分上附設有隔熱部，藉由上述氣體由該隔熱部吸熱而將上述坩鍋予以冷卻。
11. 如請求項7之金屬粉末之製造裝置，其中，上述氣體導入部被配置在上述反應容器內較上述坩鍋更為下方的位置。
12. 如請求項7至11中任一項之金屬粉末之製造裝置，其中，上述覆蓋體為具備有突出於上述坩鍋之內部側的氣流引導部之形狀， 藉由該氣流引導部而導入至該坩鍋內的該載體氣體受到誘導而朝向上述金屬熔湯。