TW202404884A - 用於晶圓運輸的高架運輸（ｏｈｔ）系統及其安裝方法 - Google Patents

Abstract

本揭露提供一種根據不同的軌道平面圖安裝軌道總成的方法。根據本揭露的方法包括組裝高架滑道模組，高架滑道模組包括多個第一層階滑道及多個第二層階滑道，所述多個第一層階滑道沿第一方向延伸，所述多個第二層階滑道沿垂直於第一方向的第二方向延伸，所述多個第二層階滑道中的每一者被緊固至所述多個第一層階滑道；提升高架滑道模組至鄰近於天花板；將高架滑道模組安裝至天花板；以及將軌道總成緊固至所述多個第二層階滑道，軌道總成沿第一方向縱向延伸。高架滑道模組沿第二方向的寬度是軌道總成沿第二方向的寬度的至少三倍。

Description

用於晶圓運輸的軌道系統

製造半導體裝置涉及到使用各種高科技生產工具及計量工具以一定次序且通常在一定時間段內實行一系列製程步驟。在晶圓製作設施（wafer fabrication facility）或「製作廠（fab）」中，晶圓物流系統（wafer logistics system）的主要功能是在正確的時間將晶圓遞送至每一工具，以及在整個製程中追蹤晶圓的位置及狀態。在晶圓製作廠中應用自動化物料搬運系統（「automated material handling system，AMHS」），以相較於藉由人工方式而言更高效、更一致及更安全地施行自動化功能。

AMHS包括高架運輸（overhead transport，OHT）系統，所述OHT系統包括裝設至製作廠樓層的天花板的軌道。OHT運載工具可沿軌道行進以在不同工具的不同裝載埠之間運輸晶圓。在一些現有技術中，軌道及支撐軌道的結構根據軌道平面圖被逐一組件（component-by-component）地安裝至天花板上的不同位置。當對製作廠做出改變以適應不同的製作製程時，現有的軌道平面圖可能不再適用，且必須根據新的軌道平面圖將軌道從當前位置卸下且重新安裝至新的位置。此種現有的做法可能會導致安裝前置時間（installation lead time）及製作準備時間（fab ramping time）延長，進而可能會導致生產成本增加。因此，儘管現有的OHT系統及安裝方法一般已經足以滿足預期目的，然而並非在所有方面皆完全令人滿意。

以下揭露內容提供用於實施所提供標的物的不同特徵的諸多不同實施例或實例。以下闡述組件及排列的具體實例以簡化本揭露。當然，該些僅為實例且不旨在進行限制。舉例而言，以下說明中將第一特徵形成於第二特徵之上或第二特徵上可包括其中第一特徵與第二特徵被形成為直接接觸的實施例，且亦可包括其中第一特徵與第二特徵之間可形成有附加特徵進而使得第一特徵與第二特徵可不直接接觸的實施例。另外，本揭露可能在各種實例中重複使用元件標號及/或字母。此種重複使用是出於簡潔及清晰的目的，而不是自身表示所論述的各種實施例及/或配置之間的關係。

為易於說明，本文中可能使用例如「位於…之下（beneath）」、「位於…下方（below）」、「下部的（lower）」、「位於…上方（above）」、「上部的（upper）」及類似用語等空間相對性用語來闡述圖中所示的一個裝置或特徵與另一（其他）裝置或特徵的關係。所述空間相對性用語旨在除圖中所繪示的定向外亦囊括裝置在使用或操作中的不同定向。設備可具有其他定向（旋轉90度或處於其他定向），且本文中所使用的空間相對性描述語可同樣相應地進行解釋。

此外，當使用「約（about）」、「近似（approximate）」等來闡述數值或數值範圍時，所述用語旨在慮及如此項技術中具有通常知識者所理解的在製造期間固有地出現的各種變化而囊括處於合理範圍內的數值。舉例而言，基於與製造具有與所述數值相關聯的特性的特徵相關聯的已知製造容差，所述數值或數值範圍囊括包括所闡述的數值的合理範圍，例如處於所闡述的數值的+/–10%以內。舉例而言，厚度為「約5奈米」的材料層可囊括介於4.25奈米至5.75奈米之間的尺寸範圍，其中此項技術中具有通常知識者知道與沈積材料層相關聯的製造容差為+/–15%。再者，本揭露可能在各種實例中重複使用參考編號及/或字母。此種重複使用是出於簡潔及清晰的目的，而不是自身表示所論述的各種實施例及/或配置之間的關係。

半導體代工廠（semiconductor foundry）可包括諸多製作廠。在製作期間，晶圓可在單個製作廠內遠距離傳送。製作廠中晶圓的運輸通常由AMHS施行。一般而言，AMHS是在製作廠中的任何電腦控制系統，其在工作站（或處理工具）之間或者在工作站與儲存位置之間移動晶圓（或工件）。在運輸時，晶圓（或工件）被放置於晶圓載具（例如，前開式統一晶圓盒（front opening unified pod，FOUP））中，且晶圓載具由AMHS所引導的運載工具來載送。在一些實例中，運載工具是包括導軌網路的OHT系統的一部分。運載工具沿導軌行進及停止以拾取及遞送晶圓（或工件）。由於FOUP、晶圓及運載工具的重量，導軌由堅固的材料製成，且固定至製作廠天花板。在一些現有的技術中，軌道平面圖是基於製作廠佈局設計來設計，使得運載工具可在處理工具的裝載埠之上行進且直接停靠於裝載埠正上方。一旦確定了軌道平面圖，便將導軌及其支撐結構（例如吊架及滑道）逐一組件地安裝至天花板位置以執行軌道平面圖。當需要新的製作廠平面圖來適應製程變化或製作新產品時，將需要新的軌道平面圖。為了實施新的軌道平面圖，導軌及支撐結構需要自其當前的天花板位置移除且重新安裝至新的天花板位置。卸下及重新安裝導軌及其支撐結構可能會導致安裝前置時間及製作準備時間增加，進而導致成本增加及彈性降低。

本揭露提供安裝高架滑道模組（raceway module）的方法及結構，當需要新的軌道平面圖來服務新的製作廠樓層平面圖時，所述方法及結構提高了彈性。本揭露包括幾個態樣。在一態樣中，用於導軌的支撐結構（例如滑道及吊架）在被安裝至製作廠天花板之前被預組裝成模組。在另一態樣中，每一個滑道模組比其支撐的導軌更寬，以便包括多於一個沿垂直於軌道長度方向的方向的安裝位置。所述多個安裝位置使得導軌移位以適應不同的裝載埠位置，而無需卸下支撐結構。在又一態樣中，滑道模組可包括滑軌，使得導軌可在滑道模組上的不同的安裝位置之間滑動。本揭露中的方法及結構縮短了安裝前置時間，縮短了準備時間，降低了成本且增加了樓層平面圖彈性。

現在將參照附圖更詳細地闡述本揭露的各種態樣。在此方面，圖1是示出根據本揭露實施例的實施不同的軌道平面圖的方法100的流程圖。方法100僅為實例且不旨在將本揭露限制於方法100中明確示出的內容。可在方法100之前、期間及之後提供額外的步驟，且對於所述方法的額外的實施例，可替換、消除或移動所闡述的一些步驟。為了簡潔起見，本文中未詳細闡述所有步驟。下面結合圖2至圖17闡述方法100，圖2至圖17是方法100的操作的示意性或代表性圖示。在本申請案通篇中，相同的元件標號表示相同的特徵，除非另有說明。X、Y與Z方向在圖2至圖17中被一致使用且彼此垂直。圖18及圖19包括替代實施例，其中滑軌被實施成使導軌在不同的安裝位置之間滑動。圖20及圖21示出實施圖18及圖19所示替代實施例的實例性滑軌設計。

參照圖1及圖2，方法100包括方塊102，在方塊102中接收第一軌道平面圖160。在圖2所示的一些實施例中，第一軌道平面圖160是製作廠佈局設計150的一部分。製作廠佈局設計150包括中心通道152及多個處理艙154。處理艙中的每一者可包括一或多個處理工具。在一些實施方式中，處理艙154中的每一者包括鄰近於中心通道152的晶圓儲料器156。晶圓儲料器156中的每一者被配置成容納多個標準機械介面（standard mechanical interface，SMIF）晶圓盒或前開式統一晶圓盒（FOUP）。SMIF晶圓盒及FOUP中的每一者可載送多個晶圓。中心通道152包括能夠在不同的處理艙154之間移動晶圓的艙間高架運輸（OHT）導軌162。處理艙154中的每一者包括艙內OHT導軌164。艙內OHT導軌164中的每一者在處理艙154內提供晶圓運輸。艙間OHT導軌162及艙內OHT導軌164的平面圖或佈局可統稱為第一軌道平面圖160或第一導軌平面圖160。可看出，第一軌道平面圖160取決於處理艙154的數目及位置或者處理工具的尺寸。

參照圖1、圖3及圖4，方法100包括方塊104，在方塊104中對滑道模組200進行預組裝。艙內OHT導軌164及艙間OHT導軌162可由滑道模組200支撐，滑道模組200包括幾個組件，例如吊架202、第一層階滑道204及第二層階滑道206。吊架202被配置成安裝或裝設至製作廠的天花板。第一層階滑道204中的每一者沿X方向縱向延伸。第二層階滑道206中的每一者沿Y方向縱向延伸。X方向垂直於Y方向。如上所述，該些組件可基於第一軌道平面圖160逐一組件地安裝於製作廠天花板上。舉例而言，吊架202首先被緊固至製作廠天花板上的指定位置。然後，第一層階滑道204被緊固至吊架202。此後，第二層階滑道206被緊固至第一層階滑道204。在本揭露中，吊架202、第一層階滑道204及第二層階滑道在安裝之前被預組裝至位於製作廠樓層上的滑道模組200中。所組裝的滑道模組200然後被抬高至鄰近製作廠天花板的水平高度以用於安裝。換言之，根據本揭露，滑道模組200是預組裝的且是逐一模組安裝的。

滑道模組200中的每一者明顯大於其中的任何組件。亦即，滑道模組200不能太大，否則其將太重而不能被安全地抬高至天花板水平高度或者將太大而不能在製作廠周圍被操縱。在一些實施例中，滑道模組200可具介於約150公分與約210公分之間的X方向長度，例如約180公分。滑道模組200可具有介於約150公分與約210公分之間的Y方向寬度，例如約180公分。在所繪示的實施例中，第一層階滑道204以約30公分的第一節距P1設置，且第二層階滑道206以約30公分的第二節距P2設置，如圖3所示。為了提供足夠的機械支撐，吊架202中的每一者被緊固至一個第一層階滑道204與一個下伏的第二層階滑道206相交的交叉點，如圖3中的虛線箭頭所示。圖4示出包括圖3所示所有組件的滑道模組200。

參照圖1、圖5及圖6，方法100包括方塊106，在方塊106中根據第一軌道平面圖160將模組200安裝至天花板300。在方塊106處，預組裝的滑道模組200被提升或抬高至鄰近天花板300以用於安裝。在一些情況下，使用如圖5所示的動力剪式升降機（power scissor lift）10或其他升降工具來抬高預組裝的滑道模組200。應注意，動力剪式升降機10並非按比例繪製，且其影像僅用於說明目的。動力剪式升降機10可為電動的且可為自驅動（self-powered）的以在製作廠周圍移動。滑道模組200的緊固可使用例如螺栓、螺釘或螺母等緊固件來達成。在實例性製程中，滑道模組200被動力剪式升降機10抬高。一旦滑道模組200根據第一軌道平面圖160被調平且就位，便將位於滑道模組200上的吊架202緊固至天花板300。相較於現有的逐一組件安裝而言，吊架202是在被緊固至製作廠天花板300之前緊固至第一層階滑道。儘管在附圖中未明確示出，然而一旦第一滑道模組200安裝至天花板300，第二滑道模組200便被抬高至緊鄰第一滑道模組200的位置以用於安裝。兩個鄰近的滑道模組200的第一層階滑道沿X方向對齊。方塊106處的滑道模組200的安裝可重複幾次以完成第一軌道平面圖160。圖6提供在安裝滑道模組200之後滑道模組200及天花板300的局部剖視圖。

參照圖1及圖7至圖17，方法100包括方塊108，在方塊108中安裝軌道總成400。如圖7及圖8所示，軌道總成400包括多個軛構件402及具有共面表面的兩個軌道404。如圖8所示，所述多個軛構件402沿X方向等距間隔開且被配置成機械地支撐沿X方向縱向延伸的軌道404。在一些實施例中，軛構件402及軌道404可由鋁形成。軌道404機械地固定至軛構件402。在一些實施方式中，軌道404藉由螺母、螺栓或其他合適的緊固件被緊固至軛構件402。軌道404被配置成嚙合運載工具500的輪子506，使得運載工具500可沿軌道404行進。如圖7及圖8所示，輪子506被配置成在嚙合軌道404的頂表面的同時旋轉。為了進行安裝，軛構件402可藉由緊固件406固定至第二層階滑道206。緊固件406可為螺栓、螺釘或其他合適的緊固件。運載工具500包括經由支撐構件504耦合至輪子506的容器502。在一些實施例中，運載工具500可包括四個輪子506，其中的兩者跨接於一個軌道404上，而其中的另兩者跨接於另一軌道404上。

現在參照圖7。沿Y方向，第二層階滑道206較軛構件402寬。如圖7所示，第二層階滑道206具有第一寬度W1，且軛構件402中的每一者具有第二寬度W2。在一些實施例中，第一寬度W1是第二寬度W2的至少三倍（例如在3倍與約5倍之間），使得第二層階滑道206可容納軛構件402的整數個安裝位置。在一些情況下，第一寬度W1介於約150公分與約210公分之間（例如180公分），且第二寬度W2介於約50公分與約70公分之間。儘管第二層階滑道206可能具有大於第二寬度W2的五倍的第一寬度W1，然而如此寬的第二層階滑道206可能會導致大的滑道模組200而難以安裝至天花板300。

應理解，儘管附圖中所示的軌道總成400包括其中兩列輪子跨接於兩個平行延伸的軌道上的雙軌道設計，然而軌道總成400亦可包括單軌道設計。相較於雙軌道滑道模組而言，單軌道滑道模組可更窄且可包括更小的佔地面積（footprint）。然而，採用雙軌道設計具有優勢。當製作廠建在容易發生地震的地理位置時，雙軌道設計提供更大的穩定性。另外，雙軌道設計的軌跡變化機制通常比單軌道設計的軌跡變化機制更為簡單。應注意，當軌道總成400包括單軌道設計時，軌道總成400可包括更多的安裝位置。

舉例而言，圖7及圖9至圖16示出沿Y方向分佈的五個安裝位置。圖7及圖9示出安裝位置A，安裝位置A使運載工具500能夠直接位於處理工具604的裝載埠606之上。運載工具500可將容器502降低至裝載埠606以裝載及卸載晶圓。參照圖9，當沿Z方向觀察時，軛構件402的垂直投影區域與天花板300的最左側部分交疊。圖10及圖11示出安裝位置B，安裝位置B使運載工具500能夠直接位於製作廠樓層602上的處理工具604的裝載埠606之上。運載工具500可將容器502降低至裝載埠606以裝載及卸載晶圓。參照圖11，當沿Z方向觀察時，安裝位置B的垂直投影區域與安裝位置A的垂直投影區域部分地交疊。圖12及圖13示出安裝位置C，安裝位置C使運載工具500能夠直接位於處理工具604的裝載埠606之上。運載工具500可將容器502降低至裝載埠606以裝載及卸載晶圓。參照圖13，當沿Z方向觀察時，安裝位置C的垂直投影區域與安裝位置B的垂直投影區域部分地交疊。圖14及圖15示出安裝位置D，安裝位置D使運載工具500能夠直接位於製作廠樓層602上的處理工具604的裝載埠606之上。運載工具500可將容器502降低至裝載埠606以裝載及卸載晶圓。參照圖15，當沿Z方向觀察時，安裝位置D的垂直投影區域與安裝位置C的垂直投影區域部分地交疊。圖16及圖17示出安裝位置E，安裝位置E使運載工具500能夠直接位於製作廠樓層602上的處理工具604的裝載埠606之上。運載工具500可將容器502降低至裝載埠606以裝載及卸載晶圓。參照圖17，當沿Z方向觀察時，安裝位置E的垂直投影區域與安裝位置D的垂直投影區域部分地交疊。如圖7及圖10至圖17所示，由於滑道模組200較軌道總成400寬以提供實例性安裝位置A至E，因此軌道總成400的位置可沿Y方向移位而無需卸下滑道模組200。

參照圖1，方法100包括方塊110，在方塊110中判斷是否存在軌道平面圖改變。一些事件可能會需要進行軌道平面圖改變。舉例而言，製作廠佈局設計150的修訂、處理艙154（圖2所示）中的任一者的工程設計改變、額外的處理艙154的安裝或中心通道152（圖2中所示）的工程設計改變可能均會導致軌道平面圖改變。當方塊110確定不需要軌道平面圖改變（「否」）時，方法100進行至方塊112。當方塊110確定需要軌道平面圖改變（「是」）時，方法100進行至方塊114。

參照圖1，當方塊108確定第一軌道平面圖沒有改變時，方法100進行至方塊112，發佈第一軌道平面圖160。本文中所述的軌道平面圖的發佈是指示開始加速生產（ramping up）的里程碑（milestone）或檢查標記（checkmark）。由於第一軌道平面圖160是製作廠佈局設計150的一部分，因此第一軌道平面圖160的發佈通常意味著製作廠佈局設計150的發佈。

參照圖1，當方塊112確定第一軌道平面圖160有改變時，方法100進行至方塊114。一旦方塊110確定需要改變軌道平面圖，便在方塊114處接收第二軌道平面圖。儘管在附圖中未明確示出，然而第二軌道平面圖體現了對第一軌道平面圖160做出的改變。如下面將進一步闡述，第二軌道平面圖包括要求軌道總成400進行的Y方向移動的改變。

參照圖1、圖7及圖9至圖17，方法100包括方塊116，在方塊116中對軌道位置進行移位。如上所述，第二軌道平面圖可要求軌道總成400沿第二層階滑道206進行的Y方向移動。舉例而言，第二軌道平面圖的實施方式可要求軌道總成400在安裝位置A至E之間移位。在圖7及圖9至圖17所示的實施例中，將軌道總成400固定至第二層階滑道206的緊固件406鬆開以將軌道總成400自當前安裝位置釋放。一旦根據第二軌道平面圖將軌道總成400移動至新的安裝位置，便將軌道總成400固定至新的安裝位置。應注意，由於軌道總成400僅在同一第二層階滑道206上的不同的安裝位置之間移動，因此在方塊116處進行的軌道位置移位不涉及滑道模組200或其任何部分的移除或重新安裝。相較於需要卸下滑道及吊架來實施軌道平面圖改變的一些傳統技術而言，方塊116處的操作更具有時間效率並減少許多需要進行的卸下操作。

參照圖1，方法100包括方塊118，在方塊118中發佈第二軌道平面圖。隨著根據第二軌道平面圖將軌道總成400重新安裝至新的安裝位置，軌道平面圖可準備好發佈，進而可開始加速生產。應注意，儘管第一軌道平面圖160及第二軌道平面圖在軌道組裝位置方面不同，然而它們共享安裝於相同位置處的相同的滑道模組200。

除了示出圖1中的方法100的操作之外，圖7、圖10、圖12、圖14及圖16亦示出包括滑道模組200、軌道總成400及運載工具500的彈性軌道系統700。由於軛構件402是軌道總成400中最寬的組件，因此其寬度（即，第二寬度W2）被視為軌道總成400的寬度。如上所述，滑道模組200的第一寬度（W1）是軌道總成400的第二寬度（W2）的3倍至約5倍。滑道模組200的較寬的寬度使軌道總成400具有多個安裝位置，進而使得當軌道平面圖有改變時，軌道總成400可沿垂直於軌道長度方向的方向快速移位。滑道模組200在安裝至製作廠的天花板300之前進行預組裝。運載工具500被配置成跨接於軌道總成400上。換言之，軌道總成400被配置成支撐運載工具且使運載工具沿導軌行進。

圖18及圖19示出替代實施例，其中第二層階滑道206包括頂部滑軌208，且軛構件402中的每一者包括底部滑軌4022以嚙合頂部滑軌208。為了便於參考，包括頂部滑軌208的滑道模組200被稱為滑動道模組（slide raceway module）200’。底部滑軌4022被配置成可相對於頂部滑軌208沿Y方向滑動。

在圖18所示的實施例中，第一滑軌總成400’的底部滑軌4022可在頂部滑軌208上沿Y方向在安裝位置A、B、C、D以及E之間滑動。在一些實施方式中，一旦第一滑軌總成400’滑動至期望的安裝位置，便可啟用閂鎖408以將第一滑軌總成400’固定至頂部滑軌208。閂鎖408防止頂部滑軌208與底部滑軌4022之間的滑動。可看出，滑軌的使用使得能夠快速改變安裝位置，且閂鎖408的使用使第一滑軌總成400’的快速位置鎖定成為可能。在圖1中的方法100的方塊110處確定出軌道平面圖改變的情形中，閂鎖408被解鎖以使第一滑軌總成400’能夠滑動。第一滑軌總成400’然後根據新的軌道平面圖自其當前位置滑動至新的位置。閂鎖408然後重新嚙合以將第一滑軌總成400’鎖定於滑動道模組200’上的新的位置中。滑動道模組200’、第一滑軌總成400’及運載工具500可被稱為第一滑軌系統800。

在圖19所示的實施例中，第二滑軌總成400’’的底部滑軌4022可在頂部滑軌208上沿Y方向在安裝位置A、B、C、D以及E之間滑動。在一些實施方式中，一旦第二滑軌總成400’’滑動至期望的安裝位置，便可將鎖銷410穿過頂部滑軌208及底部滑軌4022插入以將第二滑軌總成400’’固定至頂部滑軌208。鎖銷410防止頂部滑軌208與底部滑軌4022之間的Y方向滑動。頂部滑軌208可與第二層階滑道206整合於一起，且因此可包括於滑道模組200中。可看出，滑軌的使用使得能夠快速改變安裝位置，且鎖銷410的使用使第二滑軌總成400’’的快速位置鎖定成為可能。在圖1中的方法100的方塊110處確定出軌道平面圖改變的情形中，移除鎖銷410以使第二滑軌總成400’’可滑動。第二滑軌總成400’’然後根據新的軌道平面圖自其當前位置滑動至新的位置。鎖銷410然後被重新插入以將第二滑軌總成400’’鎖定於其位於滑動道模組200’上的新位置中。滑動道模組200’、第二滑軌總成400’’及運載工具500可被稱為第二滑軌系統900。

頂部滑軌208及底部滑軌4022可具有不同的互補形狀以提供垂直支撐及側向支撐。頂部滑軌208提供垂直支撐，乃因其承載底部滑軌4022及與底部滑軌4022連接的結構的重量。頂部滑軌208提供側向支撐，乃因其限制底部滑軌4022的側向移動。當沿平行於Y方向的第二層階滑道206的長度方向觀察時，最佳地示出該些互補的形狀。在圖20所示的一個實施例中，頂部滑軌208具有倒T形狀，且底部滑軌4022具有C形狀以跨接於頂部滑軌208上。如圖20所示，底部滑軌4022包繞頂部滑軌208。頂部滑軌208包括面對頂部的表面2082以嚙合底部滑軌4022的面對底部的表面且支撐運載工具500的重量。如此一來，當底部滑軌4022沿頂部滑軌208沿X方向移動時，底部滑軌4022可懸掛於頂部滑軌208上。頂部滑軌208亦包括側壁2084以限制底部滑軌4022的側向移動。如此一來，頂部滑軌208可引導底部滑軌4022的滑動。在圖21所示的另一實施例中，頂部滑軌208及底部滑軌4022中的每一者具有J形狀或鉤形狀。如圖21中代表性地示出，底部滑軌4022的J形狀顛倒排列使得底部滑軌4022可懸掛於頂部滑軌208上。像圖20中的頂部滑軌208一樣，頂部滑軌208包括面對頂部的表面2082以嚙合底部滑軌4022的面對底部的表面且支撐運載工具500及側壁2084的重量，以引導底部滑軌4022的滑動。在圖20及圖21所示的實施例中，將底部滑軌4022懸掛於頂部滑軌208上的能力顯著地簡化了軌道變化過程，乃因當在不同的安裝位置之間移動軌道總成400時，安裝人員不需要支撐軌道總成400。

儘管並非旨在進行限制，然而本揭露的一或多個實施例提供模組化滑道模組（modularized raceway module），所述模組化滑道模組是在逐個模組的基礎上進行預組裝及安裝。滑道模組較軌道總成寬且包括用於軌道總成的多個安裝位置。軌道總成可被緊固至不同的安裝位置或者可在不同的安裝位置之間滑動。本揭露的特徵使得能夠快速實施軌道平面圖改變，而無需卸下及重新安裝滑道模組。本揭露的各態樣提高了佈局彈性，減少了製作廠加速生產時間，且最小化由軌道平面圖改變帶來的生產線影響。

本揭露提供諸多不同的實施例。在一個示例性態樣中，本揭露涉及一種高架運輸（OHT）系統。所述OHT系統包括被配置成安裝至天花板的滑道模組、包括沿第一方向延伸的至少一個軌道的軌道總成。滑道模組包括第一寬度（W1），且軌道總成包括第二寬度（W2）。第一寬度（W1）大於第二寬度（W2）。滑道模組包括沿垂直於第一方向的第二方向的多個安裝位置。軌道總成被配置成緊固至多個安裝位置中的任一者。

在一些實施例中，第一寬度（W1）對第二寬度（W2）的比率介於3與5之間。在一些實施方式中，滑道模組包括多個第一層階滑道及多個第二層階滑道，所述多個第一層階滑道沿第一方向延伸，所述多個第二層階滑道沿第二方向延伸且設置於所述多個第一層階滑道下方。軌道總成更包括多個軛構件，且所述多個軛構件在所述多個安裝位置中的一者中被機械地緊固至所述多個第二層階滑道。在一些情況下，所述多個第二層階滑道中的每一者包括頂部滑軌，所述多個軛構件中的每一者包括底部滑軌，且底部滑軌以可滑動方式嚙合至頂部滑軌，使得所述多個軛構件中的每一者可在所述多個安裝位置之間滑動。在一些實施例中，當沿第二方向觀察時，頂部滑軌包括倒T形狀，且當沿第二方向觀察時，底部滑軌包括C形狀以包繞頂部滑軌。在一些實施例中，當沿第二方向觀察時，頂部滑軌包括J形狀，且當沿第二方向觀察時，底部滑軌包括鉤形狀使得頂部滑軌在垂直方向上及在側向上支撐底部滑軌。

在另一示例性態樣中，本揭露涉及一種方法。所述方法包括：組裝高架滑道模組，所述高架滑道模組包括多個第一層階滑道及多個第二層階滑道，所述多個第一層階滑道沿第一方向延伸，所述多個第一層階滑道中的每一者被緊固至多個吊架，所述多個第二層階滑道沿垂直於第一方向的第二方向延伸，所述多個第二層階滑道中的每一者被緊固至所述多個第一層階滑道且包括上部支撐軌道；藉由將所述多個吊架緊固至天花板來將高架滑道模組安裝至天花板；以及將軌道總成以可滑動方式附裝至所述多個第二層階滑道。軌道總成包括被配置成嚙合上部支撐軌道的下部支撐軌道。

在一些實施例中，軌道總成沿第一方向縱向延伸且具有沿第二方向的寬度，並且高架滑道模組沿第二方向的寬度至少是軌道總成的寬度的三倍。在一些實施方式中，所述方法可更包括在以可滑動方式附裝之後，啟用閂鎖機構以將軌道總成鎖定就位。在一些情況下，高架滑道模組包括沿第一方向的長度及沿第二方向的寬度。長度介於約150公分與約210公分之間，且寬度介於約150公分與約210公分之間。在一些實施方式中，所述多個第一層階滑道在多個交叉點處與所述多個第二層階滑道在垂直方向上相交且所述多個吊架直接設置於所述多個交叉點之上。

在又一示例性態樣中，本揭露涉及一種方法。所述方法包括：接收第一軌道平面圖；組裝包括用於軌道總成的多個安裝位置的高架滑道模組；將高架滑道模組安裝至天花板；根據第一軌道平面圖將軌道總成安裝至所述多個安裝位置中的一者；接收與第一軌道平面圖不同的第二軌道平面圖；以及根據第二軌道平面圖將軌道總成重新安裝至所述多個安裝位置中的另一者，而不用從天花板卸下高架滑道模組。

在一些實施例中，根據第二軌道平面圖將軌道總成安裝至所述多個安裝位置中的另一者不包括從天花板卸下高架滑道模組。在一些實施方式中，組裝包括：接收多個吊架、多個第一層階滑道以及多個第二層階滑道，所述多個第一層階滑道沿第一方向縱向延伸，所述多個第二層階滑道沿垂直於第一方向的第二方向縱向延伸；以及將所述多個第一層階滑道緊固至所述多個第二層階滑道。在一些情況下，高架滑道模組沿第二方向的寬度至少是軌道總成沿第二方向的寬度的三倍。在一些實施例中，所述多個安裝位置沿第二方向分佈。在一些實施例中，所述多個第二層階滑道中的每一者包括上部滑軌，軌道總成包括下部滑軌，且軌道總成的安裝包括將下部滑軌以可滑動方式嚙合至上部滑軌。在一些情況下，重新安裝包括沿上部滑軌滑動下部滑軌。在一些實施方式中，軌道總成的安裝包括啟用防止下部滑軌沿上部滑軌滑動的閂鎖機構。在一些情況下，當下部滑軌嚙合上部滑軌時，上部滑軌的面對頂部的表面嚙合下部滑軌的面對底部的表面。

以上概述了實施例的幾個特徵，以使熟習此項技術者可更佳地理解本揭露的態樣。熟習此項技術者應理解，他們可容易地使用本揭露作為設計或修改其他製程及結構的基礎來施行與本文中所介紹的實施例相同的目的及/或達成與本文中所介紹的實施例相同的優點。熟習此項技術者亦應認識到，此種等效構造並不背離本揭露的精神及範圍，而且他們可在不背離本揭露的精神及範圍的條件下對其作出各種改變、取代及變更。

10:動力剪式升降機 100:方法 102、104、106、108、110、112、114、116、118:方塊 150:製作廠佈局設計 152:中心通道 154:處理艙 156:晶圓儲料器 160:第一軌道平面圖/第一導軌平面圖 162:艙間高架運輸（OHT）導軌 164:艙內OHT導軌 200:滑道模組/模組/第一滑道模組/第二滑道模組 200’:滑動道模組 202:吊架 204:第一層階滑道 206:第二層階滑道 208:頂部滑軌 300:天花板 400:軌道總成 400’:第一滑軌總成 400’’:第二滑軌總成 402:軛構件 404:軌道 406:緊固件 408:閂鎖 410:鎖銷 500:運載工具 502:容器 504:支撐構件 506:輪子 602:製作廠樓層 604:處理工具 606:裝載埠 700:彈性軌道系統 800:第一滑軌系統 900:第二滑軌系統 2082:表面 2084:側壁 4022:底部滑軌 A、B、C、D、E:安裝位置 P1:第一節距 P2:第二節距 W1:第一寬度 W2:第二寬度 X、Y、Z:方向

藉由結合附圖閱讀以下詳細說明，會最佳地理解本揭露。應強調的是，根據行業中的標準慣例，各種特徵並非按比例繪製且僅用於說明目的。事實上，為使論述清晰起見，可任意增大或減小各種特徵的尺寸。 圖1是示出根據本揭露各種態樣的用於實施不同的軌道平面圖的方法100的流程圖。 圖2至圖17是示出根據本揭露各種態樣的示意圖，其示出圖1中的方法100的不同操作。 圖18及圖19示出根據本揭露各種態樣的滑軌系統的不同實施例。 圖20及圖21示出根據本揭露各種態樣可在圖18及圖19所示的滑軌系統中實施的滑軌的實例性實施例。

200:滑道模組

206:第二層階滑道

300:天花板

400:軌道總成

402:軛構件

404:軌道

406:緊固件

500:運載工具

502:容器

504:支撐構件

506:輪子

602:製作廠樓層

604:處理工具

606:裝載埠

700:彈性軌道系統

A:安裝位置

W1:第一寬度

W2:第二寬度

X、Y、Z:方向

Claims (20)

1. 一種高架運輸（OHT）系統，包括： 滑道模組，被配置成安裝至天花板；以及 軌道總成，包括沿第一方向延伸的至少一個軌道， 其中所述滑道模組包括第一寬度（W1）且所述軌道總成包括第二寬度（W2）， 其中所述第一寬度（W1）大於所述第二寬度（W2）， 其中所述滑道模組包括沿垂直於所述第一方向的第二方向的多個安裝位置， 其中所述軌道總成被配置成緊固至所述多個安裝位置中的任一者。
2. 如請求項1所述的高架運輸系統，其中所述第一寬度（W1）對所述第二寬度（W2）的比率介於3與5之間。
3. 如請求項1所述的高架運輸系統， 其中所述滑道模組包括多個第一層階滑道及多個第二層階滑道，所述多個第一層階滑道沿所述第一方向延伸，所述多個第二層階滑道沿所述第二方向延伸且設置於所述多個第一層階滑道下方， 其中所述軌道總成更包括多個軛構件， 其中所述多個軛構件在所述多個安裝位置中的一者中被機械地緊固至所述多個第二層階滑道。
4. 如請求項3所述的高架運輸系統， 其中所述多個第二層階滑道中的每一者包括頂部滑軌， 其中所述多個軛構件中的每一者包括底部滑軌， 其中所述底部滑軌以可滑動方式嚙合至所述頂部滑軌，使得所述多個軛構件中的每一者在所述多個安裝位置之間可滑動。
5. 如請求項4所述的高架運輸系統， 其中當沿所述第二方向觀察時，所述頂部滑軌包括倒T形狀， 其中當沿所述第二方向觀察時，所述底部滑軌包括C形狀以包繞所述頂部滑軌。
6. 如請求項4所述的高架運輸系統， 其中當沿所述第二方向觀察時，所述頂部滑軌包括J形狀， 其中當沿所述第二方向觀察時，所述底部滑軌包括鉤形狀，使得所述頂部滑軌在垂直方向上及在側向上支撐所述底部滑軌。
7. 一種方法，包括： 組裝高架滑道模組，所述高架滑道模組包括： 多個第一層階滑道，沿第一方向延伸，所述多個第一層階滑道中的每一者被緊固至多個吊架， 多個第二層階滑道，沿垂直於所述第一方向的第二方向延伸，所述多個第二層階滑道中的每一者被緊固至所述多個第一層階滑道且包括上部支撐軌道； 藉由將所述多個吊架緊固至天花板來將所述高架滑道模組安裝至所述天花板；以及 將軌道總成以可滑動方式附裝至所述多個第二層階滑道， 其中所述軌道總成包括被配置成嚙合所述上部支撐軌道的下部支撐軌道。
8. 如請求項7所述的方法， 其中所述軌道總成沿所述第一方向縱向延伸且具有沿所述第二方向的寬度， 其中所述高架滑道模組沿所述第二方向的寬度是所述軌道總成的所述寬度的至少三倍。
9. 如請求項7所述的方法，更包括： 在所述以可滑動方式附裝之後，啟用閂鎖機構將所述軌道總成鎖定就位。
10. 如請求項7所述的方法， 其中所述高架滑道模組包括沿所述第一方向的長度及沿所述第二方向的寬度， 其中所述長度介於約150公分與約210公分之間， 其中所述寬度介於約150公分與約210公分之間。
11. 如請求項7所述的方法， 其中所述多個第一層階滑道在多個交叉點處與所述多個第二層階滑道在垂直方向上相交， 其中所述多個吊架直接設置於所述多個交叉點之上。
12. 一種方法，包括： 接收第一軌道平面圖； 組裝高架滑道模組，所述高架滑道模組包括用於軌道總成的多個安裝位置； 將所述高架滑道模組安裝至天花板； 根據所述第一軌道平面圖將所述軌道總成安裝至所述多個安裝位置中的一者； 接收與所述第一軌道平面圖不同的第二軌道平面圖；以及 根據所述第二軌道平面圖將所述軌道總成重新安裝至所述多個安裝位置中的另一者，而不用從所述天花板卸下所述高架滑道模組。
13. 如請求項12所述的方法，其中所述根據所述第二軌道平面圖將所述軌道總成安裝至所述多個安裝位置中的另一者不包括從所述天花板卸下所述高架滑道模組。
14. 如請求項12所述的方法，其中所述組裝包括： 接收多個吊架、多個第一層階滑道及多個第二層階滑道，所述多個第一層階滑道沿第一方向縱向延伸，所述多個第二層階滑道沿垂直於所述第一方向的第二方向縱向延伸；以及 將所述多個第一層階滑道緊固至所述多個第二層階滑道。
15. 如請求項14所述的方法，其中所述高架滑道模組沿所述第二方向的寬度是所述軌道總成沿所述第二方向的寬度的至少三倍。
16. 如請求項14所述的方法，其中所述多個安裝位置沿所述第二方向分佈。
17. 如請求項14所述的方法， 其中所述多個第二層階滑道中的每一者包括上部滑軌， 其中所述軌道總成包括下部滑軌， 其中所述軌道總成的所述安裝包括將所述下部滑軌以可滑動方式嚙合至所述上部滑軌。
18. 如請求項17所述的方法，其中所述重新安裝包括沿所述上部滑軌滑動所述下部滑軌。
19. 如請求項17所述的方法，其中所述軌道總成的所述安裝包括啟用防止所述下部滑軌沿所述上部滑軌滑動的閂鎖機構。
20. 如請求項17所述的方法，其中當所述下部滑軌嚙合所述上部滑軌時，所述上部滑軌的面對頂部的表面嚙合所述下部滑軌的面對底部的表面。

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