TW202321705A - 具垂直逆止的外殼 - Google Patents

Abstract

一種用於測試積體電路裝置的一測試系統的一接觸器組件包括一接觸件及包含一接觸件的一外殼。該接觸件可容納在該接觸槽中。該接觸件包含一尖端、一本體及一尾部，而且該接觸件配置為處於一自由狀態、一預載狀態及一致動狀態。該外殼包含一外殼逆止部。當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸件的一接觸逆止部偏置於該外殼逆止部上。

Description

具垂直逆止的外殼

本發明一般涉及測試微電路（例如，半導體元件、積體電路等的晶片）的領域。更具體地，本發明涉及一種接觸器組件，其外殼具有用於測試系統中的接觸位置的垂直逆止能力。

微電路的製造工藝不能保證每一個微電路都功能齊全。單一個微電路的尺寸非常微小，並且工藝步驟非常複雜，因此製造過程中的小故障或細微故障通常會導致有缺陷的設備。在電路板上安裝有缺陷的微電路成本相對較高。安裝通常涉及將微電路焊接到電路板上。一旦安裝在電路板上，移除微電路是有問題的，因為第二次熔化焊料的行為可能會損壞電路板。因此，如果微電路有缺陷，則電路板本身也可能損壞，這意味著此時添加到電路板的全部價值都將喪失。由於所有這些原因，通常在安裝到電路板上之前對微電路進行測試。每個微電路都必須以能夠識別全部有缺陷的設備的方式來進行測試，但不會將好的設備錯誤地識別為有缺陷的設備。任何一種錯誤，如果頻繁出現，都會給電路板製造過程增加大量的總體成本。

微電路測試設備本身相當複雜。首先，測試設備必須與每個緊密間隔的微電路接觸件（contact）進行準確且低電阻的暫態和非破壞性電接觸。由於微電路接觸件的尺寸以及它們之間的間距很小，即使是接觸件的小錯誤也會導致接連的錯誤。微電路測試設備中的另一個問題出現在自動化測試中。測試設備每分鐘可以測試一百個設備，甚至更多。大量的測試會導致測試儀接觸件磨損，因而在測試期間與微電路端子進行電氣連接。這種磨損會從測試儀接觸件和測試裝置（device under test, DUT）端子上去除導電碎屑，因而污染測試設備和 DUT 本身。碎屑最終會導致測試期間的電氣連接不良，並導致 DUT 有缺陷的錯誤指示。附著在微電路上的碎屑可能會導致組裝錯誤，除非從微電路中清除碎屑。去除碎屑會增加成本並在微電路本身中引入另一個缺陷來源。

其他考慮也存在。性能良好的廉價測試儀接觸件是有利的。盡量減少更換它們所需的時間也是可取的，因為測試設備很昂貴。如果測試設備因正常維護而長時間離線，則測試單個微電路的成本會增加。當前使用的測試設備具有模擬微電路端子陣列模式的測試接觸件陣列。測試接觸件陣列被支撐在一個結構中，該結構精確地保持接觸件相對於彼此的對齊。校準板或板或模板可用於將微電路本身與測試接觸件對齊。測試接觸件和校準板可以安裝在負載板上，該負載板上具有與測試接觸件電連接的導電墊體。負載板墊體連接到在測試設備電子設備和測試接觸件之間傳輸訊號和電源的電路路徑。

電連接到微電路訊號和電源（signal and power, S&P）端子的測試接觸件陣列中的每一個可以稱為接觸器組件，其包括一個外殼和一個由例如一對彈性體偏置的接觸件（也可以稱為銷）。在一個特定的應用中，當接觸件工作時，接觸件的接觸件尾部的平坦部分靠在負載板（印刷電路板“PCB”）上，而且外殼的尾部止動（例如，內端壁）可以將接觸件保持在適當的位置。

在 DUT 驅動期間，接觸件在 DUT 表面上橫穿以擦拭 DUT 和接觸件尖端的非導電氧化物和碎屑以改善電接觸是有益的。在 DUT 上建立標記的橫向移動可以稱為“擦洗（scrub）”或“擦拭（wipe）”。控制擦洗標記的大小可以允許在較小的墊體上進行接觸件使用。在一些應用中，接觸器組件的外殼可以具有上止動（up-stop），並且接觸器組件的接觸件可以具有上止動突起幾何結構。上止動突起幾何結構可以具有平坦表面，該平坦表面平行於外殼的上止動肩部，而接觸件處於未致動位置。在致動期間，DUT 可能會在接觸件旋轉時將接觸件從外殼向上推開，受外殼尾部的限制。DUT 上的擦洗長度可以是從 DUT 的位置到預載狀態下的接觸件尖端界面，到測試狀態（例如，致動狀態）中的界面位置。接觸件可具有自清潔擦拭動作，將污染物從 DUT 的引線上移開，因而改善接觸件和 DUT 引線之間的電連接。接觸件擦洗和接觸件DUT擦拭是可以在本文中互換使用的用語。

由於這種接觸件上止動突起通過平面接觸的設計在未致動位置處是平坦且水平的，所以接觸件突起幾何結構的製造變化可以改變接觸件突起在未致動位置處的水平度。接觸件製造變化會導致接觸件與外殼的界面顯著移動，具體取決於接觸件上止動突起是向上還是向下傾斜。為了準確定位接觸件，應滿足平面上止動條件，接觸件上止動和外殼上止動之間沒有角度差。上止動界面位置的變化可以將誤差乘以接觸件尖端到 DUT界面的高度和位置變化，這可能遠離接觸件的旋轉中心。

由於接觸件寬度與外殼接觸槽的配合，接觸件可能會移動到槽的一側，在這種情況下，接觸件止動突起邊緣可以與外殼止動的前邊緣接合。彎曲邊緣界面上的彎曲邊緣可以將 X、Y 或 Z 平面中的任何製造偏差轉化為接觸件位置和高度誤差。

這種水平上止動的另一個問題是外殼間隙對預載狀態下接觸件尖端位置的影響，這可能會設置 DUT 擦拭的起始位置。由於接觸器組件內的力，包括彈性體與負載板的干涉，以及接觸件預緊力，外殼間隙可以是外殼和負載板的幾乎垂直分離。外殼間隙的大小可能取決於一些輸入，包括但不限於接觸件數量、彈性體在槽中的配合、彈性體的硬度、外殼的彎曲模量、負載板的彎曲模量、緊固件之間的距離硬體、測試溫度、處理器硬體和/或彈性體組件變化。外殼間隙會導致外殼從接觸器中心的負載板大部分垂直移動，同時保持外殼與緊固件附近的負載板接觸。因此，外殼間隙可以使外殼，包括上止動特徵，垂直地遠離負載板。在預載過程中，接觸器組件安裝到負載板上時，接觸件可以從理想的標稱位置向上旋轉。隨著接觸件向上旋轉，接觸件起始位置可以向接觸件的尾部移動，這樣當 DUT 第一次接觸該接觸件時，與標稱值相比，該界面可能會移向 DUT 引線的外側邊緣。由於外殼間隙導致的擦拭開始位置變化可能會阻止接觸器組件在較短的墊體上使用，並且可能會干擾 DUT 墊體邊緣的毛刺（burr）。可以理解的是，當將 DUT 周邊鋸成最終尺寸時，可能會在 QFN 或 DFN DUT 上產生“毛刺”。例如，當切割工具通過墊體在 DUT 的邊緣往復運動時，可能會在墊體邊緣留下一個凸起的脊，將下層的銅和鎳拉到墊體金層之上。可能需要接觸件的尖端避免在毛刺上擦洗，因為它可能會將毛刺的鎳和銅污染物傳輸到 DUT 墊體的表面，因而導致下游潛在的 DUT 可焊性問題。

本發明公開的實施例提供了解決上述每個問題的解決方案。本發明公開的實施例可提供具有垂直逆止的接觸器組件。在這樣的實施例中，該接觸器組件的接觸件可以減少與電路徑相鄰的電短截線區域，這可以改善回波損耗及/或插入損耗。此外，與其他接觸件相鄰的接觸件可以減少投影重疊區域，因而提高串擾性能。此外，該接觸器組件的外殼的接觸件和接觸件槽可以按比例縮小以獲得更短的電氣長度，而無需移除（1）逆止部以更準確地設置 DUT 擦除的開始位置，（2）在接觸器組件處於自由狀態時將接觸件保持在適當的位置的接觸件定位。此外，逆止部的垂直方向和靠近接觸件的尖端可以最大限度地減少外殼間隙對 DUT 擦拭的開始位置的影響，以將 DUT 擦拭安裝在更小長度的 DUT 墊體上。

本發明公開了一種用於測試積體電路裝置的一測試系統的一接觸器組件。該接觸器組件包含一接觸件，該接觸件具有一尖端、一本體、一具有尾部半徑的尾部及一接觸逆止部。該接觸器組件還包含一外殼，該外殼具有一接觸槽。該接觸件可以容納在該接觸槽中。該接觸件配置為處於一自由狀態、一預載狀態以及一致動狀態。該接觸槽包括一個尾擋。該接觸件逆止部從該接觸件的本體突出。 當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸件逆止部沿著該外殼的一長度方向上延伸，該長度方向實質垂直於高度方向，並且偏置在一逆止部上。

本發明還公開了一種用於測試積體電路裝置的一測試系統。該測試系統包括一測試裝置、一負載板以及一接觸器組件，該測試裝置具有至少一端子，該負載板具有至少一端子。該接觸器組件包含一接觸件，該接觸件具有一尖端、一本體、一具有尾部半徑的尾部及一接觸逆止部。該接觸器組件還包含一外殼，該外殼具有一接觸槽。該接觸件可以容納在該接觸槽中。該接觸件配置為處於一自由狀態、一預載狀態以及一致動狀態。該接觸槽包括一個尾擋。該接觸件逆止部從該接觸件的本體突出。 當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸件逆止部沿著該外殼的一長度方向上延伸，該長度方向實質垂直於高度方向，並且偏置在一逆止部上。該測試裝置的至少一端子配置為在測試中與該接觸件的尖端接合。該負載板的至少一端子配置為在測試中與該接觸件的尾部接合。

本發明還公開了一種用於測試積體電路裝置的一測試系統中定位一接觸器組件的一接觸件的方法，在該接觸器組件的一外殼中，其中該接觸件具有一尖端、一本體、一具有尾部半徑的尾部及一接觸逆止部。該外殼具有一接觸槽。該接觸件可以容納在該接觸槽中。該接觸件配置為處於一自由狀態、一預載狀態以及一致動狀態。該接觸槽包括一個尾擋。該接觸件逆止部從該接觸件的本體突出。當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸件逆止部沿著該外殼的一長度方向上延伸，該長度方向實質垂直於高度方向，並且偏置在一逆止部上。該方法包括形成與接觸逆止部和該外殼的接觸；將該接觸件配置在該接觸槽中；將該接觸件的尾部的半徑與外殼的尾部接合和/或將該接觸件逆止部與該逆止器接合；當該接觸件處於該自由狀態、該預載狀態及/或該致動狀態時，將該接觸件保持在適當的位置。

本發明一般涉及測試微電路（例如，半導體裝置、積體電路等的晶片）的領域。更具體地，本發明涉及一種具有外殼的接觸器組件，該外殼具有用於在測試系統中保持接觸件的垂直逆止能力。該接觸器組件通常包括一外殼、可容納在外殼的接觸槽中的接觸件（或銷）以及用於偏置接觸件的一個或二個或更多個彈性體。 應當理解的是，彈性體（一個或多個）可以是任何合適的偏置元件。

應當理解的是，外殼間隙被稱為是由於彈性體和在一預載狀態（preload state）下的接觸件和負載板上的接觸力而導致的接觸器和負載板的分離。（接觸器的）外殼和負載板在接觸器周邊附近的連接器（例如緊固件等）附近接觸。外殼和負載板隨著（接觸器的）接觸件和彈性負載板界面的位置的增加而分離。在某些應用中，在該預載狀態下增加外殼間隙可能會對接觸件的位置產生不利的影響。例如，在該預載狀態期間，外殼間隙可能會垂直平移水平上止動件，這可能允許接觸件從標稱位置旋轉出來，在理想情況下該位置沒有外殼間隙。然後該接觸件可以完成驅動並且進入測試狀態（致動狀態）。

本發明公開的實施例提供了垂直逆止，使得外殼間隙對接觸件位置的影響最小。例如，在該預載狀態下，外殼間隙可以垂直平移垂直逆止部，其優點是減少了外殼到接觸逆止部突起底側的間隙，並且對接觸件旋轉和接觸件位置的影響最小。然後接觸件可以完成驅動並進入測試狀態（致動狀態）。

結合圖式對本發明的一些實施例進行詳細描述，以便本領域技術人員更容易理解本申請的優點和特徵。本發明中所描述的用語“前”、“後”、“頂”、“底”、“左”、“右”等是根據本領域技術人員的一般觀察角度來定義的，並且為了 描述的方便性。這些用語不限於特定方向。

本領域技術人員將理解的是，對於本文公開的這個和其他過程和方法，在過程和方法中執行的功能可以以不同的順序實現。此外，所概述的步驟和操作僅作為示例提供，並且一些步驟和操作可以是可選的，組合成更少的步驟和操作，或者擴展成額外的步驟和操作而不偏離所公開的實施例的本質。

在此結合圖式對本發明的具體實施方式進行描述；然而，應當理解的是，所公開的實施例僅僅是本發明的示例，其可以以各種形式實施。沒有詳細描述已知的功能或構造以避免不必要的細節混淆本發明。因此，本文公開的具體結構和功能細節不應被解釋為限制性的，但僅作為申請權利範圍的基礎和作為教導本領域技術人員以幾乎任何適當詳細結構不同地使用本發明的代表性基礎。在本說明書以及圖式中，類似參考的數字表示可以執行相同、相似或等效功能的元件。

另外，本發明可以在本文中根據功能塊組件和各種處理步驟來描述。應當理解的是，這樣的功能塊可以通過配置為執行指定功能的任意數量的組件來實現。例如，本發明可以採用各種處理元件、邏輯元件等，可以在一個或多個控制裝置的控制下執行各種功能。

本發明的範圍應由所附申請權利範圍及其法律等效物確定，而不是由本文給出的示例確定。例如，任何方法申請權利範圍中記載的步驟可以以任何順序執行並且不限於申請權利範圍中呈現的順序。此外，除非在本文中具體描述為“關鍵的”或“必要的”，否則沒有元件對於本發明的實踐是必不可少的。

在此公開的實施例可以提供一種垂直逆止接觸器，使得（1）接觸件可以具有更均勻的穿過電路徑的橫截面積，並且減少了與電氣路徑相鄰的電氣短截線區域，這可以改善回波損耗和插入損耗；（2）接觸件和外殼的接觸槽可以按比例縮小以獲得更短的電氣長度，而無需移除（i）更準確地設置測試裝置（device under test, DUT）擦除的開始位置的逆止功能，，以及（ii）當處於自由狀態時將接觸件保持在適當位置的接觸件定位特徵；（3）逆止的垂直方向和靠近接觸件的尖端可以最大程度地減少外殼間隙對 DUT擦拭的起始位置的影響，以將 DUT 擦拭在較小長度的 DUT 墊體上或避免在 DUT 墊體邊緣的毛刺上進行擦拭， 這會干擾下游工藝中 DUT 墊體的可焊性。

圖1A是根據實施例的用於測試積體電路裝置110的一測試系統100的一部分的立體圖。 圖1B是根據一個實施例的圖1A的側視圖。 圖1C是根據一個實施例的圖1A的分解圖。

該測試系統100包括DUT（例如，微電路等）110、一接觸器120和一負載板130。在一個實施例中，該測試系統100可以包含一對準板（未示出）。應當理解的是，該對準板可以是將DUT 110的周邊與接觸器120對準該接觸器120的特徵，因而將DUT引線定位到各個接觸件。該負載板130在其表面上承載通過訊號和電源（S&P）導體連接到測試器（未示出）的多個連接墊體135。測試儀包括執行 DUT 110 電氣測試的測試電子設備。在一個實施例中，測試電子設備可以與該負載板130整合。在另一個實施例中，測試電子設備可以在獨立於該負載板130的單獨底盤上。應當理解的是，該實施例是測試系統100的非限制性示例。該負載板 130 及其連接墊體 135 可以與所描述的不同，而不影響該接觸器 120 的功能。

該接觸器120具有一第一表面120A和一第二表面120B。DUT 110配置為放置在該第一表面120A上。該第二表面120B配置為放置在該負載板130上。該接觸器 120 包括許多單獨的測試接觸元件（接觸器組件，稍後將詳細描述），精確地反映DUT 110 表面上承載的端子。當DUT 110 放置在接觸器 120 上時，DUT 110 的端子與該接觸器 120 的接觸器組件精確對齊。每個接觸器組件通常包括一絕緣主體（或外殼），其可以由塑料或任何其他合適的材料製成。該接觸器120具有提接觸器與對應DUT 110精確對準的孔或邊緣圖案等對準特徵。

圖2是根據一個實施例的用於接收電測試的DUT 110的測試系統100的一部分的側視圖。圖3是根據一個實施例的圖2的測試系統100的側視圖，其中DUT 110電接合。應當理解的是，雖然圖2和圖3顯示球柵陣列（ball grid array, BGA），但是所公開的概念的期望用途是在平墊體裝置上。

如圖2所示，將DUT 110放置在測試組件140上，進行電氣測試，然後將DUT 110從該測試組件140中移除。任何電氣連接都是通過將組件壓入與其他組件的電氣接觸來實現的；在測試 DUT 110 的任何時候都沒有焊接或拆焊。整個電氣測試過程可能只持續大約幾分之一秒，因此DUT 100的快速、準確放置對於確保有效使用該測試系統100變得很重要。該測試組件 140 的高通過量通常需要機器人處理 DUT 110。在大多數情況下，自動化機械系統在測試之前將DUT 110放置在該測試組件140上，並在測試完成後移除DUT 110。處理和放置機構可以使用機械和光學傳感器來監控 DUT 110 的位置，以及平移和旋轉致動器的組合，以將DUT 110對齊和放置在該測試組件140上或該測試組件140中。可選地，DUT 110可以手動放置，或者通過手動和自動化設備的組合放置。

在一個實施例中，該測試組件140包含一接觸器120和一負載板130。應當理解的是，該測試組件140還可以包括一對準板（未示出）。

DUT 110通常包括連接到該接觸器120的多個訊號和電源端子112。該等端子可以在 DUT 100 的一側，或者可以在 DUT 110 的二側。為了在該測試組件 140 中使用，所有端子 112 都應該可以從 DUT 110 的一側存取資料，儘管可以理解，在 DUT 110 的另一側可能有一個或多個元件，或者在另一側可能有其他元件和/或端子可能無法透過對端子 112存取資料來進行測試。每個端子 112 形成為 DUT 110 按鈕側的小墊體，或者可能是從 DUT 110 主體突出的引線。在測試之前，墊體或引線112附接到內部連接到其他引線、其他電氣部件和/或DUT 110中的一個或多個晶片的電引線。可以非常精確地控制墊體或引線的體積和尺寸，並且通常不會因墊體到墊體或引線到引線的尺寸變化或放置變化而造成太大的困難。在測試期間，端子112保持實心，並且沒有任何焊料熔化或回流。

該等端子112可以以任何合適的圖案佈置在DUT 110的表面上。在一些情況下，該等端子112可以處於通常為正方形的網格中，這是描述DUT 110、QFN、DFN、MLF或QFP用於引線元件的表達式的起源。矩形網格也可能存在偏差，包括不規則的間距和幾何結構。在一個實施例中，DUT 110可以具有扁平無引線封裝，例如四扁平無引線（quad-flat no-leads, QFN）和雙扁平無引線（dual-flat no-leads, DFN）。Flat no-leads也稱為微型引線框架（MLF）和小外形無引線（SON），是一種表面貼裝技術，將DUT 110連接到例如無通孔的接觸器120的表面的幾種封裝技術之一。在一個實施例中，扁平無引線可以是由平面銅引線框架基板製成的接近晶片級的塑料封裝封裝。封裝底部上的周邊墊體（例如端子 112）提供到接觸器 120 的電連接。扁平無引線封裝可以包括暴露的導熱墊體，以改善從 DUT 110 傳出的熱量（例如，傳到 PCB 中）。QFN 封裝可以類似於四方扁平封裝（quad-flat package, QFP）和球柵陣列（ball grid array, BGA）。在其他實施例中，DUT 110較佳地是晶圓級晶片規模封裝（Wafer-level Chip Scale Package, WL-CSP）和/或引線（Leaded, TSOP, DO）封裝。

可以理解的是，端子的具體位置可以根據需要而變化，該負載板 130 上的墊體和接觸器 120 或外殼上的接觸件的相應位置被選擇為與端子 112 的位置相匹配。通常，相鄰端子112之間的間隙在0.25至1.5mm的範圍內，該間隙通常被稱為“間距（pitch）”。從側面看，如圖 2 所示，DUT 110顯示一排端子112，其能夠可選地包括間隙和不規則間距。這些端子112被製成通常是平面的，或者通過典型的製造工藝盡可能地平面。在許多情況下，如果DUT 110上有晶片或其他元件，晶片的突出量通常小於端子112遠離DUT 110的突出量。

該負載板130包括一負載板基板134和用於電測試DUT 110電路。這樣的電路可以包括能夠產生具有一種或多種特定頻率的一種或多種交流電壓的驅動電子設備，以及可以感測DUT 110對這種驅動電壓的響應的檢測電子設備。感測可以包括檢測一個或多個頻率的電流和/或電壓。通常，非常希望該負載板 130 上的特徵在安裝時與 DUT 110 上的相應特徵對齊。通常，DUT 110 和該負載板 130 都與該測試組件 140 上的一個或多個定位特徵機械對齊。該負載板130可以包括一個或多個機械定位特徵，例如基準點或精確定位的孔和/或邊緣，這確保該負載板130可以精確地安裝在該測試組件140上。這些定位特徵通常確保該負載板130的橫向對齊和/或縱向對齊。

通常，該負載板130可以是相對複雜和昂貴的元件。外殼/測試組件140執行許多功能，包括保護該負載板130的多個接觸墊體132免受磨損和損壞。這種附加元件可以是接觸器120。該接觸器120還通過合適的定位特徵（例如，定位銷等）與負載板130機械對齊，並位於該負載板130上方的測試組件140中，面向DUT 110。該接觸器 120 包括一系列導電接觸件（在接觸器組件中，每個接觸件包括一尖端122和一尾部123，稍後將詳細描述），它們在該接觸器120的任一側縱向向外延伸。每個接觸器組件（122、123）可以包括彈性元件，例如彈簧或彈性體材料。每個接觸器組件(122、123)可以是單個導電單元，或者可以替代地形成為導電元件的組合。通常，每個接觸器組件（122、123）將該負載板130上的一個接觸墊體132連接到DUT 110上的一個端子112，儘管可能存在多個接觸墊132連接到單個端子112的測試方案，或者多個端子112連接到單個接觸墊132。為簡單起見，我們在文字和圖式中假設單個接觸器組件 （122、123）將單個墊體132連接到單個端子 112，儘管應理解的是，本文公開的任何測試器元件可用於將多個接觸墊體132連接到單個端子112，或將多個端子112連接到單個接觸墊體132。

通常，該接觸器120將該負載板的墊體132與DUT 110的底部接觸表面電連接。儘管該接觸器120可以相對容易地拆卸和更換，但與該負載板130的拆卸和更換相比，我們認為該接觸器120是本文的測試組件140的一部分。在操作中，該測試組件140包括該負載板130、該接觸器120以及安裝它們並將它們保持在適當位置的機械結構（未示出）。每個 DUT 110 靠著該測試組件140放置，進行電氣測試，然後從該測試組件 140 中移除。單個接觸器 120 可以在其磨損之前測試許多 DUT 110，並且通常可以持續數千次或更多次測試，然後才需要替代品。通常，希望該接觸器120的更換相對快速和簡單，使得該測試組件140僅經歷少量的接觸器更換停機時間。在一些情況下，更換該接觸器120的速度甚至可能比每個接觸器120的實際成本更重要，測試儀正常運行時間的增加，導致操作期間適當的成本節約。

圖2顯示了該測試組件140和DUT 110之間的關係。在測試每個 DUT 110 時，將其放入具有足夠準確放置特性的合適機器人處理流程中，使得DUT 110上的特定端子112可以相對於該接觸器120上的對應接觸器組件（122、123）和該負載板130上的對應接觸墊體132準確且可靠地放置。機器處理器（未顯示）迫使每個 DUT 110 與該測試組件 140 接觸。力的大小取決於測試的精確配置，包括被測試的端子112的數量、用於每個端子的力、典型的製造和對準公差等等。通常，力由測試儀的機械處理器（未顯示）施加，作用在 DUT 110 上。通常，力通常是縱向的，並且通常垂直於該負載板130的表面法線。

圖3顯示了接觸的測試組件140和DUT 110，向DUT 110施加了足夠的力以接合接觸器組件（122、123），並且在該負載板130上的每個端子112與其對應的接觸墊體132之間形成一電連接124。如上所述，可替代地存在多個端子112連接到單個接觸墊體132，或多個接觸墊體132連接到單個端子112的測試方案，但是為了簡單起見，我們假設單個端子 112 唯一地連接到單個接觸墊體132。

圖4是根據實施例的圖1C的接觸器120的第一表面120A上的圓圈的部分A的放大圖。 圖5是根據一個實施例的圖4的B部分的放大圖。

該接觸器120的圓圈部分A包括與DUT 110的S&P端子對齊的多個S&P端子（接觸器組件，稍後將詳細描述）。圖4顯示了四組接觸器組件形成一個正方形。每組接觸器組件形成正方形的邊，並且包括多個接觸件300、外殼中的多個槽500（500也可以指代包括多個槽的整個外殼）（參見例如圖5、圖19等），每個構造成接容納接觸件300，以及由該組接觸器組件共用的一對彈性體400（稍後在圖9中描述）。

圖6是根據一個實施例的接觸器120的立體圖。圖6顯示了接觸器120的第二表面120B。該接觸器120包括多個孔125和多個對準結構126。應當理解的是，該等結構126可以是用作安裝表面和用作外殼的結構元件的材料的凸起肋。在負載板上，長矩形（136，見圖1C）表示較佳電鍍的區域。負載板上的電鍍墊體可提供平坦和共面的表面。較佳的電鍍表面可以確保外殼和接觸件盡可能接近平坦並且彼此共面，而它們中的任何一個都不會相對於另一個升高或降低。

返回參考圖1C，該負載板130包括多個孔137和多個對準結構136。對準結構126可以與對準結構136對準，而且連接器（例如，螺釘、銷等，未示出）可以插入該等孔125和孔137中，以將該接觸器120設置/安裝到該負載板130上。應當理解的是，除了連接器和孔之外的任何合適的安裝機構都可以用於將該接觸器120設置/安裝至該負載板130上。

圖7是根據實施例的圖6的接觸器120的第二表面120B上的圓圈部分C的放大圖。圖8是根據一個實施例的圖7的D部分的放大圖。圓圈部分C與圖1C的圓圈部分A相同，只是圓圈部分C位於該接觸器120的第二表面120B上，而圓圈部分A位於該接觸器120的第一表面120A上。

圖9是根據一個實施例的接觸器120的分解圖。圖9顯示了形成正方形的形狀的四組接觸器組件（300、400、500）。每組接觸器組件（300、400、500）形成方形的邊緣，並且包括多個接觸件300、多個槽500，每個槽500配置為容納多個接觸件300，以及由該組接觸器組件共用的一對彈性體400。每個接觸器組件包括多個槽500、一接觸件300和二個彈性體400（由一組接觸器組件共用）。還應當理解的是，為了簡化圖式和清楚地顯示特徵，對於說明的目的，在本文公開的一些實施例中，未顯示彈性體。

圖10是根據一個實施例的接觸器120的接觸器組件（300、400、500）的接觸器300的側視圖。圖11是根據實施例的圖10的接觸件300的立體圖。圖12是根據實施例以不同角度觀察的圖11的接觸件300。

該接觸件300包括一尖端310、一本體330和一尾部340。該尖端310包括一尖端半徑312。該尾部340包括一尾部半徑342。當該接觸件300處於一預載狀態（稍後描述）時，接觸逆止部320從該本體330突出並沿水平方向延伸。在一個實施例中，該接觸逆止部320設置為更靠近該尖端310而不是該尾部340。該接觸件可以是弓形、L形或J形，或者是任何合適的形狀。該接觸件300還包括一第一/前彈性體界面350、一第二/後彈性體界面370和一滾動半徑360。在一個實施例中，當該接觸件300安裝在該負載板130上時，該滾動半徑360可以配置為在該負載板130的表面上滾動。應當理解的式，為了電氣上的益處，通常較佳地最小化（接觸逆止部320的）突出長度，但是可以將突起的長度調整到預定長度，以獲得不同頻率下的最佳電氣性能。在機械上，由於材料坯料上的圖案化間距增加，在製造過程中，大的細突起增加了彎曲缺陷的機會並降低了產量。只要接觸逆止部撞擊外殼，並且其他接觸件特徵與外殼有間隙，則可以使用更短的突起。

在一個實施例中，該接觸件300可以由導電和/或導熱材料或鍍層或任何合適的導電材料製成，例如銅、銅合金、鎳合金、鋼、貴金屬等。如圖 11和圖12所示，在一些實施例中，該尖端 310 的厚度可以小於該接觸件 300 的其他部分的厚度，因而可以通過由尖端310的較小厚度產生的間隙去除由該尖端310磨損或DUT端子磨損引起的碎屑（debris）。較小的尖端允許可能的定位誤差容限。

圖13是根據一個實施例的接觸器120的立體圖，其中多個接觸件300和多個彈性體400沒有容納在槽500中。圖13顯示該接觸器120的第一表面120A。圖14是根據實施例的圖13的部分E的放大圖。

圖15是根據一個實施例的接觸器120的立體圖，其中多個接觸件300和多個彈性體400沒有容納在槽500中。圖15顯示該接觸器120的第二表面120B。圖16是根據實施例的圖15的部分F的放大圖。

圖17是根據一個實施例的多個接觸件300和多個彈性體400未容納在槽500中的接觸器120的立體剖視圖。圖17顯示該接觸器120的第一表面120A。圖18是根據一個實施例的圖17的部分G的放大圖。

圖19是根據一個實施例的接觸器120的接觸器組件（300、400、500）的槽500的截面圖。圖19顯示槽500的接觸槽510的中間平面橫截面。

該等槽500包括一頂面501、一底面502、一第一側面503、一第二側面504、一第一內表面505和一第二內表面(未示出)。從該頂面501到該底面502的方向可以稱為外殼的高度。從該第一側面503到該第二側面504的方向可以稱為外殼的長度。從該第一內表面505到第二內表面的方向可以稱為外殼的厚度。在一個實施例中，該等槽500可以由塑料或任何其他合適的材料製成。

該等槽500包括構造成容納該接觸件300的接觸槽510。該等槽500還包括構造成容納該接觸件300的接觸逆止部320的一逆止槽520。該逆止槽520是從該頂面501沿槽500的高度方向延伸的凹槽。如圖19所示，該逆止槽520包括沿豎直方向（槽500的高度方向）延伸的一外殼逆止部522。該逆止槽520包括在槽500的長度方向上延伸的一支撐件524，以防止該接觸件300的接觸逆止部320在該支撐件524下方移動（以在該接觸件300被DUT 110向下推時將該接觸件300保持在適當位置）。該逆止槽520包括在槽500的厚度方向上延伸的空腔，使得該逆止槽520的空腔可以被一組接觸組件共用。

槽500還包括構造成容納一第一彈性體400的一第一彈性體槽550和構造成接納一第二彈性體400的一第二彈性體槽560。該第一彈性體槽550和該第二彈性體槽560中的每一個包括在槽500的厚度方向上延伸的空腔，以供對應的彈性體（由一組接觸組件共用）穿過。

槽500還包括設置在該逆止槽520和該第二彈性體槽560之間並與該第二彈性體槽560相鄰的一彈性體釋放部540。該彈性體釋放部540配置為允許該第二彈性體400膨脹。

該彈性體釋放部540向該第二後彈性體槽560敞開，以允許該第二彈性體在機械或熱負荷下膨脹。在一個實施例中，該彈性體釋放部540可以是圓柱形空腔或任何合適的空腔形狀。該彈性體釋放部540可以在該接觸槽之間留下一些壁厚以定位該第二彈性體。可以理解的是，可能存在額外的處理步驟和增加的成本。

槽500還包括一尾擋570，其構造成與該接觸件300的尾部340的尾部半徑342接合，以將該接觸件300保持在適當位置。該槽 500 還包括該接觸槽中間清除部（或釋放部） 530，其在該預載狀態下幾乎平行於相應接觸件 300 的相鄰輪廓，為該接觸件 300 提供間隙，以最小化外殼材料的去除，並保持外殼強度。該接觸槽中間清除部530具有彎曲形狀並且從該逆止槽520的底部延伸到該彈性體釋放部540或到該第二彈性體槽560。在一個實施例中，該接觸槽中間清除部530可以是清除圓柱切割特徵。

槽500還包括在該外殼的高度方向上延伸的一接觸槽前部580。由於在該預載和負載狀態期間該第一彈性體400上的壓縮壓力，該接觸槽前部580為該第一彈性體400的膨脹留下間隙，然後膨脹的第一彈性體400與該負載板130對接。該第一和第二彈性體可以由橡膠或任何合適的非導電材料製成，包括任何合適的彈性橡膠狀材料，例如矽樹脂等。

圖20是根據一個實施例具有處於自由狀態的接觸組件的測試系統100的橫截面圖。圖21是根據實施例具有處於預載狀態的接觸組件的測試系統100的截面圖。圖22是根據一個實施例具有處於致動狀態的接觸組件的測試系統100的橫截面圖。圖20-圖22 顯示了接觸槽 510 的中間平面橫截面，其中接觸件 300 被容納在該接觸槽 510 中，而且該第一和第二彈性體400被容納在相應的第一和第二彈性體槽（550、560）中。可以理解的是，在圖20-圖22 中，僅出於說明目的，該第一和第二彈性體400顯示為在負載下沒有變形的自由狀態。

該接觸件300（或接觸器組件（300、400、500））的自由狀態可以稱為該接觸器120未附接到測試系統（例如，未附接到DUT 110和負載板130），而該接觸件300和該彈性體400被容納並保持在槽500中。如圖20所示，在自由狀態下，後/第二彈性體400（左彈性體）將接觸件300的尾部340的一部分推出接觸槽520。接觸件300被前/第一彈性體400（右彈性體）保持，將接觸逆止部320推靠在外殼逆止部522上，和/或將尾部半徑342推靠在尾擋570上。應當理解的是，接觸件300也可以由該支撐件524支持。

該接觸件300（或接觸組件（300、400、500））的預載狀態可以被稱為使用連接器（例如，緊固件和/或任何合適的硬體）將接觸器120安裝在該負載板130上。如圖21所示，在預載狀態下，後/第二彈性體400（左彈性體）被接觸件300壓縮，並且將該接觸件300偏置在該負載板130上。前/第一彈性體400（右彈性體）將該接觸逆止部320偏置在該外殼逆止部522上。在一個實施例中，前/第一彈性體400（右彈性體）還可以將該尾部半徑342偏置在該尾擋570上，以最小化該負載板130上的滑動並延長該負載板130的壽命。

DUT110垂直向下進入該接觸器120的致動，使該接觸件300在預載狀態下的第一次接觸，並設置DUT擦除的開始位置。該接觸件300（或接觸組件（300、400、500））的致動狀態可以稱為該接觸器120安裝在該負載板130上，該接觸件300通過DUT 110的致動進一步壓縮到該接觸器120的槽500中。如圖 22 所示，在致動狀態下，該接觸逆止部 320 與該外殼逆止部 522 失去接觸。前/第一彈性體400（右彈性體）將接觸件300向上偏置靠在DUT 110上，並且向後朝向該尾擋570（使得尾部半徑342偏置在尾擋570上）。槽 500 的硬擋 590 （參見圖 21）或任何其他合適的機器擋止可以停止DUT110向下進入該接觸器 120 的垂直運動。該致動狀態設置DUT擦除的結束位置。

圖23A是根據一個實施例沒有彈性體的接觸器120的一部分的立體圖。如圖23A所示，逆止槽520包括在槽500的厚度方向上延伸的空腔，使得逆止槽520的空腔與外殼逆止部522的壁為一組接觸組件所共用。圖23B是沒有後彈性體擴展槽特徵540的替代實施例。這樣的設計可以以較低的成本提供簡單的製造。

圖24A-27顯示根據一些實施例的逆止槽和外殼逆止部的各種實施例。圖24A是根據另一個實施例的沒有彈性體的接觸器120的一部分的立體圖。圖24B是根據一個實施例的圖24A的上視圖。

如圖24A和24B所示，逆止槽520A不被其他接觸組件共用。相反地，該逆止槽520A是接觸槽510的一部分。在這樣的實施例中，外殼逆止部522A是彎曲的，其中一個或多個曲線的中心軸大部分垂直定向。彎曲形狀可以是圓柱體，其軸線垂直於槽500的底部。取決於該外殼逆止部522A曲線輪廓中的不對稱量以及接觸件300邊緣半徑不對稱性，接觸逆止部320在單點或雙點（C1和/或C2）處與外殼逆止部522A相互作用。

在這樣的實施例中，接觸逆止部的尖端可以從接觸件的本體突出較少，但確保僅接觸逆止部的尖端與外殼逆止部接合。較短的逆止部的短截線長度可以減少由於沿電氣路徑長度的阻抗變化而導致的信號插入損耗。在這樣的實施例中，外殼逆止部可以在與接觸槽相同的製造操作中建立，這可以節省資金並減少逆止部特徵的位置誤差，並使接觸槽之間的全高壁體保持完整，因此，支持功能不會比當前技術更削弱外殼。在這樣的實施例中，接觸槽尖端的逆止部可以更容易小型化，因為它需要從外殼去除的附加材料最少。

圖25A是根據又一實施例的接觸器120的一部分的立體圖。 圖25B顯示根據實施例的圖25A的槽500。

如圖25A和圖25B所示，逆止槽520B不被其他接觸組件共享。相反地，該逆止槽520B是方形槽（並且是該接觸槽510的一部分），具有平坦的外殼逆止部522B的表面，並且不與相鄰的接觸組件共用。在接觸組件的接觸槽510（或逆止槽520B）之間保留完整高度和部分厚度的壁。應當理解的是，外殼逆止部522B的平坦表面可以比該接觸件300的厚度更寬。

圖26A是根據又一實施例的接觸器120的一部分的立體圖。圖26B顯示根據實施例的圖26A的槽500。

如圖26A和圖26B所示，逆止槽520C不被其他接觸組件共用。相反地，該逆止槽520C是方形槽（並且是接觸槽510的一部分），具有平坦的外殼逆止部522C表面，並帶有凹角，使得該逆止槽520C不與相鄰接觸組件共用。在接觸組件的接觸槽510（或逆止槽520C）之間保留完整高度和部分厚度的壁。

圖27是根據另一個實施例的測試系統100的一部分的截面圖。該測試系統包括一對準板150。在一個實施例中，該接觸器120具有對準特徵，例如位於該對準板150和該負載板130之間的區域中的孔或邊緣圖案，提供該接觸器120與該對準板150上的相應突出特徵的精確對準。

該對準板150可以較佳地配置為將DUT 110定位到接觸器120。此外，如圖 27 所示，逆止特徵 152 可以從該接觸器 120 的槽 500 移動到該對準板 150。該對準板150還能夠可選地具有接觸件300的保持特徵154，該接觸件300的保持特徵154在接觸逆止部320上方延伸，以防止當該對準板150較佳地附接到該接觸器120時，將該接觸件300從槽500的頂部拉出。這樣的特徵在自由狀態下可以具有到接觸件300的間隙156，但在拉向 DUT 110 時包含接觸件300。應當理解的是，對準板150可以是任何合適的特徵，例如接觸器120的特徵，其將DUT 110的周邊與接觸器120對齊，並因此將DUT引線定位到各個接觸件。

在這樣的實施例中，可以減少DUT邊緣和接觸尖端之間的尺寸疊加，以便更準確地將接觸尖端放置在DUT上。

圖28-30B顯示根據一些實施例的槽的各種實施例。

圖28是根據另一個實施例的槽500的立體圖。在圖 19、圖23A 和圖 23B 中，接觸槽前部 580 突出（在水平或長度方向上）經過第一/前彈性體（右彈性體）槽 550 朝向槽 500 的一側（或外殼的側壁），由於在預載和負載狀態期間，第一彈性體400上的壓縮壓力，這為第一彈性體400的膨脹留下了間隙，並且膨脹的第一彈性體400隨後與負載板130接合。如圖28所示，在第一/前彈性體400的前部（右）下方添加了擱板580A。該擱板580A包括在該第一彈性體400下方大部分水平的平面。該擱板580A部分地位於該第一彈性體400下方，以保持通過槽500的底部安裝該第一彈性體400的能力。

在這樣的實施例中，由於彈性體在接觸負載期間將外殼推到負載板上，並且外殼在預載期間將彈性體與負載板分開，可以減小外殼間隙。可以理解的是，製造成本可能更高，因為需要額外的加工來形成擱板，並且可能會減少彈性體膨脹的空間，因而增加非線性力，這使得由於彈性體的溫度和公差波動而導致力的尺寸變化更加敏感。

圖29顯示根據另一個實施例的槽500（容納接觸件300）的立體圖。

與圖 19、圖23A 和圖 23B 相比，在圖 29 中，前彈性體槽550A被修改為實心前彈性體槽，以通過將外殼材料留在第一彈性體400和接觸件300下方來減小外殼間隙。使用前彈性體槽 550A，彈性體力可以在預載和負載狀態期間將槽 500 向下推向負載板 130，則實心前彈性體槽550A可以減少外殼彎曲（即，槽 500 和負載板 130 的分離）。在一個實施例中，前彈性體槽550A可以在槽500的厚度方向上延伸並且與一組接觸器組件共用。

在這樣的實施例中，可以減小外殼間隙並且易於製造。

圖30A和圖30B是根據一些其他實施例的槽500的截面圖。

與圖 19、圖23A 和圖 23B 相比，在圖 30A和圖30B 中，接觸槽中間清除部 (530A、530B) 的清除幾何形狀不限於與接觸件 300 平行，只要在預載狀態下與接觸件300之間存在間隙，則接觸槽中間清除部（530A、530B）的橫截面的半徑或形狀也不重要，而且槽500可以承受重複的DUT 110插入循環。

圖31是根據一個實施例的測試系統100的橫截面圖，其顯示水平反作用力（參見箭頭方塊）。

如圖 31 所示，該接觸件 300 上的反作用力的水平分量（槽 500 和第一/前/右彈性體 400），顯示第一/前/右彈性體400如何提供力以將接觸件300定位在外殼尾擋570和外殼逆止部522上。應當理解的是，為了定位該接觸件300，彈性體水平力可以在接觸逆止部320界面下方和接觸件的尾部半徑342界面上方。

如圖 31 所示，該接觸逆止部320從該接觸件300的本體330突出，以確保該接觸件300的本體330與外殼特徵之間具有間隙，該間隙可以沿接觸槽510的長度設置該接觸件300的位置。該接觸逆止部320與外殼逆止部522對接，以設置接觸尖端310在DUT 110墊體上的位置。逆止部界面（在接觸件逆止部320和外殼逆止部522之間）的垂直位置在該接觸件300上的彈性體水平力中心的垂直上方，與接觸件的尾部340界面上方的水平力中心相結合，確保該接觸件300在預載狀態下與外殼逆止部522形成界面。該接觸件逆止部320的突出確保該接觸件300在第一/前/右彈性體400界面上方比下方寬，因此，當該接觸件300被拉下時，該接觸件300對第一/前/右彈性體400的作用力增加，因而防止該接觸件300在處於自由狀態時從該接觸器120中脫落。

在這樣的實施例中，接觸逆止部突起的尺寸可以更長，以允許與逆止部下方的外殼的間隙。

在其他實施例中，可能存在接觸半徑變化。較小的半徑可以通過允許較小的電接頭離開該接觸件300的主要導電體來改善電氣性能。

在又一些實施例中，可能存在接觸件形狀變化。接觸逆止部擋320不限於圓柱形，任何合適的形狀都可以與將界面限制為單線或單點的最佳形狀一起工作，以最佳地控制該接觸件300的垂直位置。

在又一些實施例中，槽500上可以有突起，而且接觸件300上可以是平坦的。可以在該接觸件300上放置一個幾乎垂直的平面，在槽500上放置一個逆止部突起。

圖32是根據另一個實施例的具有細的尖端逆止部320A的觸頭300的立體圖。圖33是根據實施例的容納在槽500中的圖32的接觸件300的上視圖。

細的尖端逆止部320A（其厚度小於接觸逆止部320的其餘部分的厚度）可以與外殼逆止部（參見圖24B的522A）結合，逆止部522A位於接觸槽510末端，以比全厚度接觸逆止部更淺的角度裝配在接觸槽510中。這樣的實施例可以比全厚度接觸逆止部磨損更慢，並且具有更好的定位，其中通過二個點界面C3的切平面之間的角度增加。由於接觸逆止部 320A 以較低的切角與外殼接觸槽 510 的圓形端相接，那麼接觸件300寬度配合在接觸槽510中，而且接觸寬度誤差減小了對接觸尖端310在DUT 110墊體上的位置在滾動方向上的影響。應當理解的是，逆止部短截線320A是電短截線，通過控制電氣短截線的音量，可以提高某些頻率上的電氣性能。

本文公開的實施例提供了一種逆止部，可以是幾乎垂直於接觸寬度中間平面的大部分垂直且平坦的面（參見例如圖23A和圖23B）。當接觸件安裝到負載板上，而且接觸件處於預載狀態時，逆止部可以作為設置接觸件位置的止動件。接觸件可以同時受到負載板（通常是尾擋）和預載在接觸件上的彈性體、外殼彈性體槽以及可選的負載板的限制。接觸逆止部（參見例如圖23A和23B）可以設計成從接觸件伸出並留有間隙，以確保只有逆止部尖端與逆止部相互作用。此外，接觸逆止部到外殼逆止部的界面主要是線性的。

本文公開的實施例可以提供改進的接觸尖端相對於DUT邊緣的定位能力。例如，由於彈性體在接觸件上的預載力以及外殼材料和負載板的柔韌性，外殼和負載板幾乎分開，導致逆止部大部分垂直平移遠離負載板。由於外殼逆止部面是垂直的，因此接觸槽區域中外殼的垂直平移對逆止部在水平方向上相對於 DUT 的位置的影響最小。隨著外殼彎曲，外殼尾擋也可以幾乎垂直平移，由於外殼尾擋面的角度分量，接觸尾部界面的水平位置誤差的大小可以是尾擋角度的函數。對於垂直逆止部，尾部可能是水平接觸尖端定位變化的較大誤差分量。在此公開的實施例還可以通過相鄰接觸件之間的共用逆止槽確保製造簡單。例如，尾擋的背面是關鍵表面，需要最嚴格的位置控制來設置接觸件位置，槽的寬度或槽前部的位置提供了工具間隙，在接觸槽到垂直逆止槽的過渡中去除材料，以確保接觸槽在整個接觸界面上是全寬的。

本文公開的實施例可以提供突出超過前彈性體槽的接觸槽前部，由於在預載和負載狀態下彈性體上的接觸壓力，這為彈性體的膨脹留下了間隙。然後膨脹的彈性體與負載板形成界面。

圖34A是根據另一個實施例的具有階梯尾部厚度的接觸件300的立體圖。該接觸件300的尾部340包括尾部尖端344。該尾部尖端344具有階梯式尾部厚度。即，尾部尖端344的厚度不同於、較佳地小於尾部尖端340的其餘部分的厚度。應當理解的是，這種實施例使用較少的不在導電路徑中的材料，這可能有利於電流和/或阻抗控制。在一個實施例中，該接觸件300的尖端310可以包括尖端末端311。末端311具有階梯式端部厚度。也就是說，末端311的厚度小於接觸末端310的其餘部分的厚度。該不同厚度的區域從接觸件的遠端延伸到朝向接觸件改變方向的區域（曲率區域）的點。

圖34B是根據又一實施例的具有尾部的接觸件300的立體圖，尾部具有錐形厚度而不是階梯厚度。該接觸件300的尾部340包括尾部尖端346。該尾部尖端346具有錐形尾端厚度。即，該尾部尖端346朝向遠離尾部340其餘部分的一端減小或減小了厚度。不同厚度的區域從接觸件的遠端延伸到朝向接觸件改變方向的區域（曲率區域）的點。

應當理解的是，這樣的實施例使用了較少的不在導電路徑中的材料，這可能有利於電流和/或阻抗控制。

圖35A-圖35 Q是根據一些實施例的具有處於預載狀態的接觸組件的測試系統100的截面圖。應當理解的是，圖35A-圖35Q顯示接觸槽（參見例如圖19-圖22的510）的中間平面橫截面，其中接觸件（參見例如圖10-圖12的300）被容納在接觸槽中，該第一和第二彈性體400分別容納在相應的第一和第二彈性體槽中（參見例如圖19-圖22的550和560)。應當理解的是，在圖35A-圖35Q中，僅出於說明目的，第一彈性體400和第二彈性體400顯示為處於標稱自由狀態，在負載下沒有變形。

應當理解的是，在一個實施例中，當接觸器（參見例如圖1B的120）附接到測試系統（例如圖1B的DUT 110和負載板130）時，DUT可以放置或設置在接觸件300的尖端310側，而負載板可以放置或設置在與接觸件300的尖端310側相對的一側（例如，尾部340側）。在另一個實施例中，負載板可以放置或設置在接觸件300的尖端310側，而DUT可以放置或設置在與接觸件300的尖端310側相對的一側（例如，尾部340側）。即DUT的位置和測試系統的負載板的位置是可以互換的。

如圖35A所示，接觸件300包括尾部340。尾部340可以具有尾部半徑（曲率）342A。在一個實施例中，該尾部半徑342A可以是恆定半徑。該尾部半徑342A可以被配置為與（外殼500的）尾擋570接合以將接觸件300保持在適當位置。

如圖35B所示，尾部340可以具有一尾部半徑342B。在一個實施例中，該尾部半徑342B可以是可變半徑或沿其表面具有不同半徑的曲率。例如，該尾部半徑342B可以具有緊的半徑，然後是較大的半徑。它可以是半徑的連續變化，也可以是幾個不同半徑的不連續變化。該尾部半徑342B可以配置為與尾擋570接合以將接觸件300保持在適當位置。

如圖35C所示，該尾部340可以具有一尾部末端342C。 在一個實施例中，該尾部末端342C可以是平的。該尾部末端342C可配置為與尾擋570接合，以將接觸件300保持在適當位置。

如圖35D所示，該尾部340可以包括具有突起或隆起342D和隆起或隆起342E的端部。也可能有不同半徑的突起。 在一個實施例中，突起342D可以配置為與尾擋570接合，以將該接觸件300保持在適當位置。該突起342D可以配置為與尾擋570間隔開。該突起342D可以延伸超過該突起342E，使得該突起342D接合至壁570，並且該突起342E稍後接合（或從不接合）或僅接合該彈性體400，因而提供增加的接觸滑動或橫向平移阻力。

如圖 35E 所示，代替具有垂直或實質垂直的外殼逆止部（參見例如圖 20-22），外殼500可以具有形成角度的外殼逆止部522D。這有效地提供了第二個或替代的逆止部，該逆止部可以傾斜以實現某些性能目標。即，外殼逆止部522D從頂面501延伸，該外殼逆止部522D與頂面501形成銳角。該接觸件300可以通過前/第一彈性體400（右彈性體）將接觸逆止部320推靠在該外殼逆止部522D上，和/或將該尾部340推靠在尾擋570上來保持。前/第一彈性體400（右彈性體）可以將接觸逆止部320偏置在外殼逆止部522D上。應當理解的是，隨著外殼間隙的增加，擦拭可以開始向後移動，這可能導致更長的擦拭。可以執行最佳化以減少相對於水平停止的整體位置誤差。

如圖35F所示，外殼500可具有向外傾斜的（即，相對於圖35E相反的角度傾斜）外殼逆止部522E，而不是具有垂直或實質垂直的外殼逆止部（參見例如圖20-22）。即，外殼逆止部522E從頂面501延伸，外殼逆止部522E與頂面501形成鈍角。接觸件300可以通過前/第一彈性體400（右彈性體）將該接觸逆止部320推靠在該外殼逆止部522E上，和/或將該尾部340推靠在該尾擋570上來保持。前/第一彈性體400（右彈性體）可以將接觸逆止部320偏置在該外殼逆止部522E上。應當理解的是，隨著外殼間隙的增加，擦拭可以開始向前移動，這可能導致更短的擦拭。

如圖 35G 所示，代替具有垂直或實質垂直的外殼逆止部（參見例如圖 20-22），外殼500可以具有從頂面501延伸的彎曲/弓形的外殼逆止部522F。接觸件300可以通過前/第一彈性體400（右彈性體）將接觸逆止部320推靠在外殼逆止部522F上，和/或將尾部340推靠在尾擋570上來保持。前/第一彈性體400（右彈性體）可以將接觸逆止部320偏置在外殼逆止部522F上。該外殼逆止部522F的曲率提供了突起320沿其的平滑平移。該外殼逆止部522F的曲率可以是單一半徑或變化半徑的弧（未示出）。應當理解的是，無論外殼間隙或接觸逆止部320公差誤差如何，界面位置（在接觸逆止部320和外殼逆止部522F之間）的高度誤差都可以使擦拭更短。也就是說，對於基本平坦的垂直外殼逆止部，無論接觸件300在實質平坦的垂直該外殼逆止部上的較高或較低位置，位置可能不會改變（即高度誤差可能不會影響擦拭）。對於彎曲或凹形外殼逆止部 522F，如果有任何高度誤差，界面位置（接觸逆止部 320 和外殼逆止部 522F 之間）的高度誤差可以使擦拭更短。

如圖35H所示，代替具有在單個點處與外殼逆止部522相互作用的具有彎曲端部和/或半徑的接觸逆止部（參見例如圖20-圖22），接觸件300可以具有包括二個或更多個突起或隆起的接觸逆止部320B。該接觸逆止部 320B 可以在雙（或更多）點與外殼逆止部 522 相互作用，即，具有接觸逆止部 522 的多個間隔開的突起。應當理解的是，接觸逆止部 320B可以改變接觸元件上的線和/或點接觸，可以在一個位置局部磨損並將磨損轉移到另一個位置，和/或圖紙公差可能允許任一凸起接觸並在出現外殼間隙時需要更多垂直空間。

如圖35I所示，代替具有在單個點處與外殼逆止部522相互作用的具有彎曲端部和/或半徑的接觸逆止部（參見例如圖20-圖22），該接觸件300可以具有觸頭止擋320C，其具有平的/鈍的，較佳地具有圓角和/或直端。該接觸止逆止部320C可以在平坦端與外殼逆止部522相互作用。應當理解的是，接觸逆止部320C可以改變接觸元件上的線接觸和/或點接觸，可以在一個位置局部磨損並將磨損轉移到另一個位置，和/或當出現外殼間隙時，圖式公差可能需要更多的垂直空間。

如圖35J所示，接觸件300可以具有具有可變半徑的接觸逆止部320D，而不是具有與外殼逆止部522相互作用的具有恆定半徑的接觸逆止部（參見例如圖20-22）。接觸逆止部320D可以與外殼逆止部522相互作用。彎曲突出部320D較佳地朝向其頂端接合凹槽逆止部522，即，在中心線上方，以允許向下偏轉的空間。

如圖35K所示，代替具有從外殼500的頂面延伸到底表面的接觸槽前部(參見圖19-22中的580)，該外殼500包括一支撐件580B。參見圖 28 中的580A。該支撐件580B可以配置為支撐前彈性體400的前（右）部分。在一個實施例中，該支撐件580B可以包括與前彈性體400的前部大致水平的平面（延伸到接觸槽前部580）。支撐件580B還可以包括彎曲的和/或半徑的中間部分，該中間部分從平面延伸和/或基本上匹配前彈性體400的形狀以支撐前彈性體400。該支撐件580B還可包括從彎曲的中間部分延伸到外殼500的底表面的傾斜下部。在這樣的實施例中，該外殼500可以提供用於偏置元件（前彈性體）的前半徑槽（壓縮中的前彈性體），偏置元件（前彈性體）可以被支撐在槽中和/或由隔板支撐。

如圖35L所示，代替具有圖35K的支撐件580B，在前彈性體400下方可以沒有支撐件或沒有外殼材料。在這樣的實施例中，外殼500可以為偏置元件（前彈性體）提供前半徑槽（剪切的前彈性體），該偏置元件可以由接觸件300之間的外殼500的壁和/或隔板支撐。

如圖35M所示，代替具有垂直或實質垂直的外殼逆止部（參見例如圖19-圖22中的522）和一個突出的（實質上在長度方向上並且在高度方向上略微，參見例如圖20-22中的320）接觸逆止部，外殼500可具有外殼逆止部522G，而且接觸件300可在接觸件300的本體330上具有平坦表面320E。該外殼逆止部522G可以配置為朝向接觸槽前部580突出。在一個實施例中，該外殼逆止部522G的突起可以是彎曲的和/或具有半徑，並且可以在高度上與頂面501間隔開/垂直方向。平坦的（或其他公開的形狀的）垂直該表面320E可以用作接觸逆止部。前/第一彈性體400（右彈性體）可以將接觸逆止部320E偏壓在外殼逆止部522G上，並且接觸逆止部320E可以在接觸點或部分與外殼逆止部522G相互作用。要注意的是，這種突起反轉可以應用於圖35A-圖35L中的其他實施例。

如圖35N所示，代替具有從頂面501延伸的垂直或實質垂直的外殼逆止部（參見例如圖19-圖22中的522），外殼500可以具有與頂面501間隔開的垂直或基本垂直的外殼逆止部522H。即，該外殼逆止部522H的缺口位於外殼高度的中間或附近，或接近外殼高度的中間，這樣可以使外殼在上表面處保持完整，從而可以使彎曲應力等更強。 在這樣的實施例中，接觸件300的接觸逆止部320F可以設置在或圍繞或靠近本體330的高度的中間，而不是設置在或圍繞或靠近接觸件300的尖端（參見例如圖3的320）。

如圖 35O 所示，代替具有硬外殼尾擋（參見例如圖 20-圖22 的 570）和一尾部，該尾部配置為與外殼尾擋接合以將接觸件300保持在適當位置，該接觸件300可以具有一尾部340B。該尾部340B可以配置為與後/後/第二彈性體400（左彈性體）接合以將該接觸件300保持在適當位置。即，後彈性體400用作尾擋。

如圖 35P 所示，代替具有硬的垂直或實質垂直的外殼逆止部（參見例如圖 19-22 中的 522）和突出的（從接觸體330，參見例如圖20-圖22中的320）接觸逆止部，接觸件300可以具有接觸逆止部320G。該接觸逆止部320G可以從接觸尾部340（例如，在其中間處或附近）突出（例如，在高度方向上朝頂面501向上和/或然後在長度方向上水平地遠離觸頭槽前部580)。在一個實施例中，接觸逆止部320G可以具有平坦的垂直表面。在另一個實施例中，接觸逆止部320G可以具有彎曲或半徑端。後彈性體400用作與接觸逆止部320G相互作用的逆止部。該突起 320G 被示為從接觸件 300 的水平/橫向部分垂直延伸，並位於與彈性體 400 接觸的位置，因而彈性體400包含在外殼壁（未編號）和突起320G之間。

如圖 35Q 所示，代替具有從頂面501延伸的垂直或實質垂直的外殼逆止部（參見例如圖19-22中的522）和突出的（從接觸體330，參見例如圖20-22中的320）接觸逆止部，外殼500可以具有外殼逆止部522I。該接觸件300可以具有接觸逆止部320H。該接觸逆止部320H可以從接觸尾部340（例如，在靠近接觸體330的位置處或附近）突出（例如，在高度方向上朝頂面501向上和/或然後在長度方向上水平地遠離觸頭槽前部580）。在一個實施例中，接觸逆止部320H可以具有彎曲或半徑端（參見例如圖20-圖22的320）。還較佳地從突起的垂直部分橫向/正交地突出。逆止部522I較佳地與彈性體400間隔開，除非彈性體被壓縮。在其他實施例中，接觸逆止部320H可以具有具有任何其他合適形狀/結構的端部（例如，參見本文所述的接觸逆止器的變型）。外殼逆止部522I可以在高度方向上朝底表面突出（例如，從外殼中部或周圍的槽的分隔物）。外殼逆止部522I的底端設置在接觸尾部340上方。外殼逆止部522I可以具有面向接觸逆止部320H的平坦垂直表面，或任何其他合適的形狀/結構（例如，參見本文所述的其他外殼逆止部）。外殼逆止部522I可以與接觸逆止部320H相互作用。

圖36A是根據一個實施例的沒有彈性體被容納在槽中的接觸器120的一部分的立體下視圖。圖36B是根據一個實施例的接觸器120的一部分的立體下視圖，其中彈性體400A被容納在槽中。

如圖 36A 和 圖36B 所示，不是由一組接觸器組件共用二個彈性體（參見例如圖 9 的 400），接觸器120可以包括設置在各個單獨槽（分段槽）中的單獨偏置元件（彈性體400A、400B）。在一個實施例中，單獨的槽可以被例如外殼500的隔板506分開。也就是說，每個槽配置為容納一對個體化的彈性體（400A、400B）和相應的接觸件300。一個槽中的一對個體化彈性體（400A、400B）通過該隔板506與相鄰槽中的一對個體化彈性體（400A、400B）隔開。這樣的實施例可以減少個體化彈性體（400A、400B）與相鄰槽中的彈性體的串擾。

應當理解的是，在一些示例中，外殼500或外殼槽500可以設計為多個元件（包括例如插入件等）。在其他示例中，外殼500或外殼槽500可以設計為一個元件（例如，整體外殼500等）。即，外殼可以是一體的單一元件，或者可以是包括單獨元件（例如，插入件等）的多元件組件。

應當理解的是，上述實施例僅是對裝置的技術概念和特徵的說明，並且這些實施例是為了讓本領域技術人員了解裝置的內容以便實施該裝置而不限制該裝置的保護範圍。一個實施例中描述的任何特徵可以與另一實施例組合或併入/使用到另一實施例中，反之亦然。根據設備實質進行的等效變更或修改，均應包含在設備的保護範圍內。

如本文所述的本發明及其應用的描述是說明性的，並重點不在限製本發明的範圍。在此公開的實施例的變化和修改是可能的，並且在研究了本發明文件後，本領域普通技術人員將理解實施例的各種元件的實際替代和等同物。在不脫離本發明的範圍和精神的情況下，可以對這裡公開的實施例進行這些和其他變化和修改。

多個態樣

要注意的是，以下任一態樣可以相互組合。

態樣1、一種用於測試積體電路裝置的一測試系統的一接觸器組件，該接觸器組件包括：

一接觸件，包含一尖端、一本體、一具有尾部半徑的尾部及一接觸逆止部；及

一外殼，包含一接觸槽；

其中該接觸件能夠容納在該接觸槽中；

該接觸件配置為處於一自由狀態、一預載狀態及一致動狀態；

該接觸槽包含一尾擋；

該接觸逆止部從該接觸本體突出；

當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸逆止部沿著實質垂直於高度方向的外殼的長度方向延伸並偏置在一逆止部上。

態樣2、根據態樣1的接觸器組件，其中，該外殼包含一第一彈性體槽和一第二彈性體槽；

該第一彈性體槽和該第二彈性體槽沿著該外殼的厚度方向延伸。

態樣3、根據態樣2的接觸器組件，另包含：

一第一彈性體，該第一彈性體沿著厚度方向延伸穿過該第一彈性體槽；及

一第二彈性體，該第二彈性體沿著厚度方向延伸穿過該第二彈性體槽。

態樣4、根據態樣3的接觸器組件，其中該第一彈性體和該第二彈性體實質上為圓柱形。

態樣5、根據態樣3或4的接觸器組件，其中該第一彈性體和該第二彈性體中的至少一個配置為偏置該接觸件。

態樣6、根據態樣3-5的接觸器組件，其中該接觸槽還包括設置在該第二彈性體槽與該接觸槽的一逆止槽之間的一彈性體釋放部，該彈性體釋放部與該第二彈性體槽相鄰。

態樣7、根據態樣3-6的接觸器組件，其中該接觸槽還包括設置在該第二彈性體槽和該接觸槽的一逆止槽之間的一中間釋放部，該中間釋放部從該逆止槽向該第二彈性體槽延伸。

態樣8、根據態樣3-7的接觸器組件，其中該接觸槽還包括與該第一彈性體槽相鄰的一接觸槽前部。

態樣9、根據態樣1-8的接觸器組件，其中當該接觸件處於預載狀態時，該接觸件的尾部半徑偏置在該外殼的尾擋上。

態樣10、根據態樣1-9的接觸器組件，其中該接觸件是導電的。

態樣11、根據態樣1-10的接觸器組件，其中該接觸槽在上視圖中具有長圓形的形狀。

態樣12、根據態樣1-11的接觸器組件，其中該接觸件的尖端包括一尖端半徑，而且該接觸件的尖端的厚度小於該接觸件的其他部分。

態樣13、一種用於測試積體電路裝置的一測試系統，該測試系統包括：

一測試裝置，包含至少一端子；

一負載板，包含至少一端子；及

一接觸器組件；

其中該接觸器組件包括：

一接觸件，包含一尖端、一本體、一具有尾部半徑的尾部及一接觸逆止部；及

一外殼，包含一接觸槽；

其中該接觸件能夠容納在該接觸槽中；

該接觸件配置為處於一自由狀態、一預載狀態及一致動狀態；

該接觸槽包含一尾擋；

該接觸逆止部從該接觸本體突出；

當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸逆止部沿著實質垂直於高度方向的外殼的長度方向延伸並偏置在一逆止部上；

其中，該測試裝置的至少一個端子配置為在測試中與該接觸件的尖端接合；

該負載板的至少一個端子用於在測試中與該接觸件的尾部接合。

態樣14、根據態樣13的測試系統，其中當該接觸件處於該自由狀態時，該接觸件的尾部偏置出該接觸槽，該接觸件不與該測試裝置或負載板接合。

態樣15、根據態樣14的測試系統，其中當該接觸件處於該自由狀態時，該接觸件的尾部半徑偏置在該外殼的尾擋上和/或接觸逆止部偏置在該逆止部上。

態樣16、根據態樣13-15的測試系統，其中當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸器組件安裝在負載板上。

態樣17、根據態樣16的測試系統，其中當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸件的尾部半徑偏置在該外殼的尾擋上。

態樣18、根據態樣13-17的測試系統，其中當該接觸件處於該致動狀態時，該接觸器組件安裝在負載板上，該接觸件被該測試裝置壓緊，該接觸逆止部不與逆止部接合。

態樣19、根據態樣18的測試系統，其中當該接觸件處於該致動狀態時，該接觸件的尾部半徑偏置在該外殼的尾擋上。

態樣20、一種將用於測試積體電路裝置的一測試系統中的一接觸器組件的接觸件保持在該接觸器組件的外殼中的方法，該接觸件包含一尖端、一本體、一具有尾部半徑的尾部及一接觸逆止部；該外殼包含一接觸槽；其中該接觸件能夠容納在該接觸槽中；該接觸件配置為處於一自由狀態、一預載狀態及一致動狀態；該接觸槽包含一尾擋；該接觸逆止部從該接觸本體突出；當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸逆止部沿著實質垂直於高度方向的外殼的長度方向延伸並偏置在一逆止部上，該方法包括：

形成具有該接觸逆止部和該外殼的接觸件；

將該接觸件配置為容納在該接觸槽中；

將該接觸件的尾部半徑與該外殼的尾端接合和/或將該接觸逆止部與該逆止器接合；及

當該接觸件處於該自由狀態、該預載狀態和/或該致動狀態時，將該接觸件保持在適當位置。

態樣21、一種用於將測試積體電路的引線電連接到測試現場的負載板的相應端子的設備，包括：

一外殼，具有多個相對表面；

測試積體電路可接近的一第一表面和靠近該負載板的一第二表面；

一槽，從該等相對表面中的第一個延伸穿過該外殼至該等相對表面中的第二個，該外殼還包括一上止動槽；

在該槽中可容納一接觸件；

該接觸件包含一本體，該本體具有

可與引線接合的一第一端和與端子接合的一第二端，以及在該第一端和該第二端之間從該本體實質橫向延伸並且配置為可移動地容納在該外殼中的上止動槽內的上止動控制突起；

該接觸件的第一端可滑過端子在以下元件之間

由積體電路的引線未接合的一第一方向和該接觸件的第一端與該積體電路的引線接合而被推入該槽的一第二方向，以及將所述接觸件推向該第一方向的偏置元件；

其中，當該接觸件在第一和第二方向之間滾動時，實質消除該接觸件的第二端在端子上的滑動運動。

態樣22、根據態樣21的設備，其中該外殼具有一彈性偏置元件空間，以接收一彈性偏置元件，以及

該外殼包括鄰近該偏置元件的一釋放空間，用於接收該偏置元件的一部分。

態樣23、一種用於積體電路測試外殼內的接觸件，用於透過外殼將測試積體電路裝置（DUT）連接到負載板來測試DUT，該外殼具有用於接觸件在其中滑動的槽和向上止動槽，該接觸件包括：

一本體，具有

一第一端，可接合DUT；

一第二端，與該負載板接合；及

一上止動突起，在該第一端和第二端之間實質橫向遠離該本體主體延伸，而且配置為為可移動地容納在該外殼中的上止動槽內，因而限制該接觸件的第一端的向上運動，同時在接合DUT時不阻礙該接觸件的向下運動。

態樣24、根據態樣23的接觸件，其中該接觸件包含：

一圓角尖端，位於該第一端；

一圓角尾部，位於該第二端；

該突起徑向遠離該本體延伸，而且具有一圓角遠端；

該本體鄰近該第一端，且具有用於接合一前彈性體的槽；

該本體鄰近該第二端，且具有圓角曲率，以允許該接觸件在該負載板上搖擺。

態樣25、一種用於積體電路測試外殼內的接觸件，用於透過過外殼將測試積體電路裝置（DUT）連接到一負載板來測試DUT，該接觸件包括：

一本體，該本體具有

一第一端，可接合DUT；

一第二端，與該負載板接合；及

一上止動突起，實質橫向遠離鄰近該第一端的本體延伸，而且配置為可移動地容納在該上止動槽內，並接合該外殼中的上止動接觸表面，因而在與DUT接合之前限制該接觸件的第一端的向上移動，同時在接合DUT時不阻礙該接觸件的向下運動。

態樣26、一種控制可移動地位於具有接觸槽的外殼中的接觸件的移動的方法，該外殼具有接合一測試裝置（device under test, DUT）的一上表面以及接合一負載板的一下表面，該外殼具有用於該接觸件的槽，而且該槽包括與該槽相鄰並與之連通的橫向槽，該方法包括：

形成一接觸件，該接觸件具有一本體、一上端以及一下端，該上端配置為至少部分地延伸出該外殼以接合DUT，該下端配置為接合該負載板；

形成一橫向突起，在遠離該上端和該下端的接觸件上；

在與DUT接合之前處於一第一位置時，配置該突起以接合該外殼的橫向槽，該槽和突起之間的接合形成用於該接觸件的上止動； 當該接觸銷接合DUT時，配置該突起以脫離該橫向槽的至少一部分。

在本申請中公開的示例在所有方面都被認為是說明性的而不是限制性的。本發明的範圍由請求項而不是由前述描述指示；並且在請求項的等同含義和範圍內的所有變化都包含在其中。

本說明書中使用的用語主要在描述特定實施例而不是限制性的。除非另有明確說明，否則用語“一”、“一個”和“該”也包括複數形式。當在本說明書中使用時，用語“包括”和/或“包含”指定了所述特徵、整數、步驟、操作、元件和/或組件的存在，但不排除存在或添加一個或 更多其他特徵、整數、步驟、操作、元素和/或組件。

關於前面的描述，應當理解的是，在不脫離本發明的範圍的情況下，可以進行詳細的改變，尤其是在所採用的材料以及元件的形狀、尺寸和佈置方面。本說明書和所描述的實施例僅是示例性的，本發明的真實範圍和精神由所附請求項指示。

100:測試系統 110:積體電路裝置 112:端子 120:接觸器 120A:第一表面 120B:第二表面 122:尖端 123:尾部 124:電連接 125:孔 126:結構 130:負載板 132:接觸墊體 134:負載板基板 135:連接墊體 136:結構 137:孔 140:測試組件 150:對準板 152:逆止特徵 153:保持特徵 156:間隙 300:接觸件 310:尖端 311:尖端末端 312:尖端半徑 320:接觸逆止部 320A:尖端逆止部 320B:接觸逆止部 320C:接觸逆止部 320D:接觸逆止部 320E:接觸逆止部 320F:接觸逆止部 320G:接觸逆止部 320H:接觸逆止部 330:本體 340:尾部 342:尾部半徑 342A:尾部半徑 342B:尾部半徑 342C:尾部末端 342D、342E:突起或隆起 344:尾部尖端 346:尾部尖端 350:界面 360:滾動半徑 370:界面 400:彈性體 400A:彈性體 400B:彈性體 500:槽 501:頂面 502:底面 503:第一側面 504:第二側面 505:第一內表面 506:隔板 510:接觸槽 520:逆止槽 520A:逆止槽 520B:逆止槽 520C:逆止槽 522:外殼逆止部 522A:外殼逆止部 522B:外殼逆止部 522C:外殼逆止部 522D:外殼逆止部 522F:外殼逆止部 522G:外殼逆止部 522H:外殼逆止部 522I:外殼逆止部 524:支撐件 530:接觸槽中間清除部 530A:接觸槽中間清除部 530B:接觸槽中間清除部 540:彈性體釋放部 550:第一彈性體槽 550A:前彈性體槽 560:第二彈性體槽 570:尾擋 580:接觸槽前部 580A:擱板 580B:支撐件 590:硬擋 C1、C2:點 C3:界面 A、B、C、D、E、F、G:部分

參考圖式，這些圖式形成了本發明的一部分，而且表示其中可以實施本說明書中描述的系統和方法的實施例。

圖式說明了系統、方法的各種實施例以及本發明公開的各種其他方面的實施例。本領域的任何普通技術人員將理解，圖式中所示的元件邊界（例如，框、框組或其他形狀）代表邊界的一個示例。在一些示例中，一個元件可以設計為多個元件，或者多個元件可以設計為一個元件。在一些示例中，顯示為一個元元的內部組件的元件可以實現為另一個元件的外部組件，反之亦然。此外，元件可能未按比例繪製。參考以下圖式描述了非限制性和非詳盡的描述。圖中的組件不一定按比例繪製，而是強調說明原理。 圖1A是根據一個實施例的用於測試積體電路裝置的一測試系統的一部分的立體圖。圖1B是根據一個實施例的圖1A的側視圖。圖1C是根據一個實施例的圖1A的分解圖。 圖2是根據一個實施例的用於接收用於電測試的DUT的測試系統的一部分的側視圖。 圖3是根據一個實施例的圖2的測試系統的側視圖，其中DUT電接合。 圖4是根據實施例的圖1C的接觸器的第一表面上的圓圈部分A的放大圖。 圖5是根據一個實施例的圖4的B部分的放大圖。 圖6是根據一個實施例的接觸器的立體圖。 圖7是根據實施例的圖6的接觸器的第二表面上的圓圈部分C的放大圖。 圖8是根據一個實施例的圖7的D部分的放大圖。 圖9是根據一個實施例的接觸器的分解圖。 圖10是根據一個實施例的接觸器的接觸器組件的接觸件的側視圖。 圖11是根據實施例的圖10的接觸件的立體圖。 圖12是根據實施例以不同角度觀察的圖11的接觸件。 圖13是根據一個實施例的沒有接觸件和彈性體被容納在槽中的接觸器的立體圖。 圖14是根據一個實施例的圖13的E部分的放大圖。 圖15是根據另一個實施例的沒有接觸件和彈性體被容納在槽中的接觸器的立體圖。 圖16是根據一個實施例的圖15的F部分的放大圖。 圖17是根據一個實施例的沒有接觸件和彈性體被容納在槽中的接觸器的立體剖視圖。 圖18是根據一個實施例的圖17的部分G的放大圖。 圖19是根據一個實施例的接觸器的接觸器組件的槽的剖視圖。 圖20是根據一個實施例的具有處於自由狀態的接觸組件的測試系統的截面圖。 圖21是根據一個實施例的具有處於預載狀態的接觸組件的測試系統的截面圖。 圖22是根據一個實施例的具有處於致動狀態的接觸組件的測試系統的橫截面圖。 圖23A是根據一個實施例的沒有彈性體的接觸器的一部分的透視圖。 圖23B是省略了可選的後彈性體擴展槽的接觸器的一部分的立體圖。 圖24A-27顯示了根據一些實施例的逆止槽和外殼逆止部的各種實施例。 圖28-30B顯示了根據一些實施例的槽的各種實施例。 圖31是根據一個實施例的顯示水平反作用力的測試系統的橫截面圖。 圖32是根據另一個實施例的與細尖端逆止部的接觸的立體圖。 圖33是根據一個實施例的容納在槽中的圖32的接觸件的上視圖。 圖34A是根據另一個實施例的具有階梯尾部厚度的接觸件的立體圖。 圖34B是根據又一實施例的具有錐形尾部厚度的接觸件的立體圖。 圖35A-35Q是根據一些實施例的具有處於預載狀態的接觸組件的測試系統的截面圖。 圖36A是根據一個實施例的沒有彈性體被接收在槽中的接觸器的一部分的立體下視圖。 圖36B是根據一個實施例的接觸器的一部分的立體下視圖，其中彈性體被接收在槽中。 相同的參考數字始終代表相同的部分。

100:測試系統

110:積體電路裝置

120:接觸器

120A:第一表面

130:負載板

135:連接墊體

Claims (20)

1. 一種用於測試積體電路裝置的一測試系統的一接觸器組件，該接觸器組件包括： 一接觸件；及 一外殼，包含一接觸槽； 其中該接觸件能夠容納在該接觸槽中； 該接觸件包含一尖端、一本體及一尾部，而且該接觸件配置為處於一自由狀態、一預載狀態及一致動狀態； 該外殼包含一外殼逆止部； 當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸件的一接觸逆止部偏置於該外殼逆止部上。
2. 如請求項1所述之接觸器組件，其中該外殼逆止部沿著一實質垂直方向延伸； 當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸逆止部沿著一實質水平方向延伸。
3. 如請求項1所述之接觸器組件，其中該外殼逆止部沿著一實質水平方向延伸； 當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸逆止部沿著一實質垂直方向延伸。
4. 如請求項1所述之接觸器組件，其中該外殼還包括一第一偏置元件槽及一第二偏置元件槽； 該第一偏置元件槽及該第二偏置元件槽沿著該外殼的一厚度方向延伸。
5. 如請求項4所述之接觸器組件，其中該接觸器組件還包含： 一第一偏置元件，沿著該厚度方向延伸穿過該第一偏置元件槽；及 一第二偏壓元件，沿著該厚度方向延伸穿過該第二偏置元件槽。
6. 如請求項5所述之接觸器組件，其中該第一偏置元件及該第二偏置元件基本上為圓柱形。
7. 如請求項5所述之接觸器組件，其中該第一偏置元件及該第二偏置元件中的至少一個被配置為將該接觸件偏置於該外殼逆止部上。
8. 如請求項5所述之接觸器組件，其中該接觸槽還包含一偏置元件釋放部，該偏置元件釋放部設置在該第二偏置元件槽及該接觸槽的一逆止槽之間，而且該偏置元件釋放部與該第二偏置元件槽相鄰。
9. 如請求項5所述之接觸器組件，其中該接觸槽還包括一中間釋放部，該中間釋放部設置在該第二偏置元件槽及該接觸槽的逆止槽之間，所述中間釋放部從該逆止槽朝向該第二偏置元件槽延伸。
10. 如請求項1所述之接觸器組件，其中當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸件的尾部偏置在一尾擋上。
11. 一種用於測試積體電路裝置的一測試系統，該測試系統包括： 一測試裝置，包含至少一端子； 一負載板，包含至少一端子；及 一接觸器組件； 其中該接觸器組件包括： 一接觸件；及 一外殼，包含一接觸槽； 其中該接觸件能夠容納在該接觸槽中； 該接觸件包含一尖端、一本體及一尾部，而且該接觸件配置為處於一自由狀態、一預載狀態及一致動狀態； 該外殼包含一外殼逆止部； 當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸件的一接觸逆止部偏置於該外殼逆止部上； 其中該測試裝置的至少一個端子被配置為在測試中與該接觸件的一第一端接合； 該負載板的至少一個端子被配置為在測試中與該接觸件的第一二端接合，該第二端與該第一端相對。
12. 如請求項11所述之測試系統，其中該外殼逆止部沿著一實質垂直方向延伸； 當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸逆止部沿著一實質水平方向延伸。
13. 如請求項11所述之測試系統，其中該外殼逆止部沿著一實質水平方向延伸； 當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸逆止部沿著一實質垂直方向延伸。
14. 如請求項11所述之測試系統，其中該外殼還包括一第一偏置元件槽及一第二偏置元件槽； 該第一偏置元件槽及該第二偏置元件槽沿著該外殼的一厚度方向延伸。
15. 如請求項14所述之測試系統，其中該測試系統還包含： 一第一偏置元件，沿著該厚度方向延伸穿過該第一偏置元件槽；及 一第二偏壓元件，沿著該厚度方向延伸穿過該第二偏置元件槽。
16. 如請求項15所述之測試系統，其中該第一偏置元件及該第二偏置元件中的至少一個被配置為將該接觸件偏置於該外殼逆止部上。
17. 如請求項11所述之測試系統，其中當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸器組件安裝在該負載板上。
18. 如請求項11所述之測試系統，其中當該接觸件處於該預載狀態時，該接觸件的尾部偏置在一尾擋上。
19. 如請求項11所述之測試系統，其中當該接觸件處於該致動狀態時，該接觸件的尾部偏置在一個尾擋上。
20. 如請求項11所述之測試系統，其中當該接觸件處於該致動狀態時，該接觸器組件安裝在該負載板上，該接觸件被該測試裝置壓緊，該接觸逆止部不與該外殼逆止部接合。

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