TW202241007A - 電力供給裝置、系統、曝光裝置及物品製造方法 - Google Patents

電力供給裝置、系統、曝光裝置及物品製造方法 Download PDF

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Abstract

電力供給裝置具有：用於對複數個單元供給電力之複數個電力供給端子。各單元包含：從前述複數個電力供給端子的任意一個來接受電力的供給之電力接收部、以及把包含不用讓前述電力接收部接受電力的供給且與該單元的消耗電力有關的資訊之控制資訊提供到前述電力供給裝置之裝置。前述電力供給裝置，具備：複數個電源；以及控制部，其係在尚未通過前述複數個電力供給端子供給電力到前述複數個單元之狀態下從前述複數個單元之各個前述裝置取得前述控制資訊，根據前述控制資訊，從前述複數個電源選擇，用於對前述複數個單元中至少其中1個通過前述複數個電力供給端子的任意一個供給電力之電源。

Description

電力供給裝置、系統、曝光裝置及物品製造方法
本發明有關電力供給裝置、系統、曝光裝置及物品製造方法。
在產業機器方面，是有具備滿足基本規格之標準單元群、以及提供顧客可以選擇的功能擴張之選項單元群。而且，在產業機器方面，除了以上，也具備有照顧客之個別的要求開發出的單元。更進一步，也在供應商把產業機器交給顧客後，提供對基本規格升級的硬體及/或是軟體。另一方面，要個別準備可以與可以採用種種的組合之單元構成的全部相對應之電源是為困難。
首先，難以正確掌握產業機器所包含的複數個單元的整體的消耗電力。例如，在半導體曝光裝置或FPD曝光裝置般的超高精密的產業機器的情況下，即便是相同的單元構成，根據設置端，因為設置環境(周圍溫度、溼度、高度)或設備(冷卻水溫度、電源電壓輸入)等的影響而使用在環境控制的消耗電力變化。而且，因應產業機器的設置場所的地板強度而為了制振控制所使用的消耗電力也有變化。
而且，不僅是設置環境的不同所致之影響，在從曝光序列中的工件的搬入開始，反覆進行對準計測、掃描曝光，一直到工件的搬出為止的過程中，各單元的任務有所不同。因此，根據曝光序列，消耗的電力的尖峰的時序有所不同。例如，對準示波器及偏軸指示器般的計測系統係在計測時多有消耗電力，但是，在曝光時幾乎沒有消耗。有關驅動原版的原版驅動機構及驅動基板的基板驅動機構，係與其相反，在計測時電力幾乎沒有消耗，但是，在曝光時消耗有大電力。在掌握了這樣的各單元的特徵之下，是希望可以有負載均一的電源供給。
依循上述的情事，只要是僅標準構成的單元，是可以以考慮了各單元的消耗電力規範與控制產業機器的軟體所執行的序列控制之設計資料為基底，來準備適用其之電力供給。可是，在以使用全部的選項之前提下構築產業機器的電源系統的話，在沒有選項構成的產業機器的情況下，電源的剩餘電力多。剩餘電力多的構成係電源效率低落的緣故，以節能的觀點看不被期望。而且，再有選項構成的情況與沒有的情況下標準單元的動作也不同的緣故，標準單元本身的消耗電力也會變動。
如上述般，產業機器係即便知曉特性的標準單元及選項單元的組合多，也難以正確掌握消耗電力。再加上，在與顧客的商談之下規範所確定的客製單元被追加連接到電源系統，或是在顧客收到了產業機器後對性能或是功能進行升級，因此，也有消耗電力增加的情況。針對這樣的情況，用預先準備好的產業機器的電源系統來對應是極為困難。最壞的情況下，也有超過電源系統的容量，產業機器停機的可能性。
在此，在有單元的追加或者是功能的追加的情況下，是要必要因應這樣的情況而增設電源，或是，修改規模進行大幅度的配線施工。其結果，構築了沒效率的電源系統，經此，產生了增加電力損失，或是過度增加設置面積之問題。而且，配線施工是要斷開了主斷路器才能進行的緣故，產業機器的停工時間變長。
在專利文獻1，記載有電源分配控制電路及伺服器分配控制電路。電源分配控制電路，係從伺服器裝置取得電力預測值的話，對消耗電力較少的伺服器裝置，送出使內建電源外部輸出之切換指示，對消耗電力較多的伺服器裝置，送出接收外部輸出的內建電源之切換指示。伺服器分配控制電路，係產生表示分配多少的剩餘電力到哪個伺服器之分配資訊，並送到伺服器電源分配電路。但是，伺服器裝置係只要是被供給電力且作為伺服器裝置而動作的狀態的話，就一定可以把電力預測值送到電源分配控制電路。    [先前技術文獻]  [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2010-170369號專利公報
[發明欲解決之課題]
本發明係為了容易再構成對複數個單元供給電力之電力供給裝置，提供一種有利的技術。    [解決課題之手段]
本發明的1個面向係有關一種電力供給裝置，具有：用於對複數個單元供給電力之複數個電力供給端子；其特徵為：各單元包含：從前述複數個電力供給端子的任意一個來接受電力的供給之電力接收部、以及把包含不用讓前述電力接收部接受電力的供給且與該單元的消耗電力有關的資訊之控制資訊提供到前述電力供給裝置之裝置；前述電力供給裝置，具備：複數個電源；以及控制部，其係在尚未通過前述複數個電力供給端子供給電力到前述複數個單元之狀態下從前述複數個單元之各個前述裝置取得前述控制資訊，根據前述控制資訊，從前述複數個電源選擇，用於對前述複數個單元中至少其中1個通過前述複數個電力供給端子的任意一個供給電力之電源。    [發明效果]
根據本發明，為了容易再構成對複數個單元供給電力之電力供給裝置，可以提供一種有利的技術。
以下，參閱附圖詳細說明實施方式。另外，以下的實施方式並不限定有關申請專利範圍的發明。在實施方式中記載有多個特徵，但這些特徵並非全部都是發明的必要技術特徵，另外多個特徵也可以任意組合。更進一步，在附圖中，對相同或者是同樣的構成賦予相同的參考編號，省略重複的說明。
於圖1，揭示一實施方式的產業機器IE中的電力供給裝置1的構成。產業機器IE乃是包含有電力供給裝置1之系統的其中一例。產業機器IE具備：複數個單元200、201、202、203。複數個單元200、201、202、203分別包含：電力接收部230、231、232、233。複數個單元200、201、202、203分別包含：IoT裝置210、211、212、213。電力供給裝置1具備：用於對複數個單元200、201、202、203的電力接收部230、231、232、233供給電力之複數個電力供給端子110、111、112、113、114。而且，電力供給裝置1具備：複數個內建電源(電源)100、101、102、103。
從外部電源供給電力PWR到複數個內建電源100、101、102、103。於其中一例，複數個內建電源100、101、102、103中的內建電源103為預備的內建電源，複數個電力供給端子110~114中的電力供給端子114為預備的電力供給端子。電力供給裝置1具備：電力供給控制部130。電力供給控制部130係被構成為：從複數個內建電源100~103中選擇出用於對複數個單元200~203的至少其中1個通過複數個電力供給端子110~114中任意一個來供給電力之內建電源。而且，電力供給裝置1具備：PoE集線器131。PoE集線器131乃是具有供給電力到與複數個單元200~203中的複數個電力供給端子110~114相連接的單元的IoT裝置之功能之通訊介面的其中一例。電力供給裝置1更具備：決定複數個內建電源100~103中至少其中1個與複數個電力供給端子110~114中至少其中1個的連接之切換電路132。尚且，在圖1的例子中，切換電路132被配置成：決定複數個內建電源100~103中至少其中1個與電力供給端子113、114中至少其中1個的連接。所謂的連接的決定，包含：進行連接、以及解除其連接。
複數個IC記憶體(記憶體元件)120、121、122、123、124分別被分配到複數個電力供給端子110、111、112、113、114。於複數個IC記憶體120、121、122、123、124的各個，儲存複數個電力供給端子110、111、112、113、114中對應的電力供給端子的位置資訊(識別資訊)。電力供給控制部130具備：管理複數個內建電源100~103之功能、控制切換電路132之功能、以及透過產業機器控制部150與PoE集線器131來通訊之功能。
電力供給控制部130係藉由對複數個內建電源100~103的各個發送控制訊號，可以把複數個內建電源100~103設成動作狀態(ON)、或是停止狀態(OFF)。而且，電力供給控制部130係從複數個內建電源100~103，以任意或是規定的時序取得例如這些規範(例如，額定輸出電力、輸出電壓)及/或是狀態(例如，錯誤狀態)等的資訊。從外部電源供給電力PWR到電力供給控制部130。電力供給控制部130係經由從外部電源供給電力PWR到電力供給控制部130的方式，或是，經由操作未圖示的切換器的方式，或是，經由輸入啟動指令等的啟動訊號的方式，而可以被啟動。複數個內建電源100~103係藉由來自電力供給控制部130的控制訊號或者是啟動訊號，而可以被啟動。複數個內建電源100~103係藉由被啟動的方式，根據電力PWR，輸出與各自的規範相應之電壓。
電力供給控制部130係根據複數個內建電源100~103之各個的規範(例如，額定輸出電力、輸出電壓)、以及複數個單元200~203的規範(例如，消耗電力、輸入電壓)及連接端(電力供給端子)，來控制切換電路132。此乃是意思為，從複數個內建電源100~103選擇對複數個單元200~203的各個供給電力之內建電源。電力供給控制部130係可以從分別設置在複數個單元200~203之IoT裝置210~213，取得與複數個單元200~203的規範(例如，消耗電力、輸入電壓)及連接端(電力供給端子)有關的資訊。電力供給控制部130也可以具備：輸出部，其係輸出表示複數個內建電源100~103的規範及狀態、以及複數個單元200~203的消耗電力中至少其中1個之資訊。該輸出部包含有：例如顯示部及通訊部中至少其中1個。
於圖2A、2B，示意性表示在設在單元的IoT裝置的非揮發性記憶體(後述的快閃ROM306)所儲存的單元電力資訊的例子。在該例子中，單元200為標準單元(以標準裝入到產業機器IE之單元)，單元203為選項單元(根據使用者的選擇以標準裝入到產業機器IE之單元)。於圖2A，示意性表示被儲存到標準單元之單元200的IoT裝置210之單元電力資訊的例子。於圖2B，示意性表示被儲存到選項單元之單元203的IoT裝置213之單元電力資訊的例子。
在第1行，包含有：單元名稱、被連接的電力供給端子、被連接的內建電源、輸入電壓的資訊。在單元為標準單元的情況下，乃是確定了連接計畫之負載的緣故，所以全部的資訊從設置的當初就存在。另一方面，在單元乃是選項單元等的連接未確定的單元之情況下，與被連接的電力供給端子及被連接的內建電源相關的資訊係設置的當初就不存在。在圖2B的例子中，連接端為未確定的電力供給端子係以X表示，連接端為未確定的內建電源係以Y表示。關於X，係從包含有電力供給端子的位置資訊之IC記憶體取得，有關於此，參閱圖3說明之。關於Y，係藉由執行中之用於電力供給控制部130動態分配電力資源(內建電源100~103)之分配序列而被決定，有關於此，參閱圖4說明之。
在第2行，儲存或者是記錄與產業機器IE的動作狀態相應之複數個消耗電力資訊。在圖2A、2B的例子，乃是產業機器IE為半導體曝光裝置或是FPD曝光裝置等的曝光裝置的情況的例子。在曝光裝置中，在初始化時、閒置時、計測時、曝光時顯著表現出各單元的消耗電力的變動的緣故，所以在圖2A、2B的例子中，表示出這些4個例子。動作狀態的種類係配合產業機器IE的特性來定義，而且，其數目有所增減。更細部分類動作狀態的話，電力供給控制部130可以更正確推定整體的負載(消耗電力)。例如，初始化的序列可以包含有產業機器控制部150管理並計畫性執行之複數個動作，對這些複數個動作之每一個取得消耗電力資訊，也可以作為單元電力資訊的一部分儲存到IoT裝置。電力供給裝置1的電力供給控制部130係可以透過PoE集線器131，取得儲存在單元的IoT集線器的非揮發性記憶體之單元電力資訊。
於圖3，詳細例示圖1所示的產業機器IE的一部分。在圖3中，揭示出複數個單元200~203中的單元200，但是，其他的單元也包含同樣的構成。IoT裝置210係例如包含：LAN通訊部300、電力接收介面301、輸電介面302、通訊裝置303、處理器304、記憶體305、快閃ROM306、介面307及匯流排308。單元200係除了單元控制部220之外，還可以具備未圖示之複數個構成要件，該複數個構成要件係藉由單元控制部220而被控制。單元控制部220係可以透過介面307來與IoT裝置210通訊。被分配到與單元200連接的電力供給端子110之IC記憶體120係包含：電力接收電路310、快閃ROM311及通訊裝置312。其他的IC記憶體121~124也包含同樣的構成。
單元200具備從電力供給裝置1的複數個電力供給端子110~114的任意一個接收電力的供給之電力接收部231，使用電力接收部231所接受的電力來動作。電力接收部231從電力供給裝置1的複數個電力供給端子110~114的任意一個所接受到的電力，係除了單元控制部220之外，也被供給到前述的未圖示的複數個構成要件。
另一方面，IoT裝置210係從電力供給裝置1的PoE集線器131接受電力的供給而動作。IoT裝置210係在單元200的電力接收部231從電力供給裝置1的複數個電力供給端子110~114的任意一個都尚未被供給有電力的狀態下，從電力供給裝置1的PoE集線器131接受電力的供給而動作。電力接收介面301係根據從PoE集線器131所供給的電力，供給電力到輸電介面302。電力接收介面301供給到輸電介面302的電壓，係可以與從PoE集線器131供給到電力接收介面301的電壓相同，也可以不同。輸電介面302係供給電力到被分配到與單元200連接的電力供給端子110之IC記憶體120的電力接收電路310。電力接收電路310係從輸電介面302被供給有電力的話，根據該電力來把電力供給到快閃ROM311及通訊裝置312。於快閃ROM311，IC記憶體120儲存被分配好的電力供給端子110的位置資訊(識別資訊)，該位置資訊透過通訊裝置312被發送到IoT裝置210的通訊裝置303。位置資訊係作為單元電力資訊的一部分被儲存或者是記錄到快閃ROM306。電力供給裝置1的電力供給控制部130係可以透過PoE集線器131及LAN通訊部300，取得儲存在快閃記憶體306之單元電力資訊。
從PoE集線器131供給電力到IoT裝置210之構成係可以在從電力供給端子110(或者是，111~114)供給電力到單元200之前，供給電力到IoT裝置210。換言之，從PoE集線器131供給電力到IoT裝置210之構成係在尚未從電力供給端子110(或者是，111~114)供給電力到單元200的狀態下，可以供給電力到IoT裝置210。取代PoE集線器131，也可以採用從電力供給裝置1直接(亦即，不透過電力供給端子110~114)供給電力到IoT裝置210之構成。或者是也可以採用，對IoT裝置210(IoT裝置210內，或是，單元200內的)，從電池來供給電力之構成。這樣的構成下，PoE集線器131為非必要，也可以使用沒有電力供給功能之集線器。
或者是，是有電力供給裝置1與單元200~204的距離不遠，可以無線通訊的情況。該情況下也可以是，把IoT裝置210~214作為無線型式的IC標籤，作為電力供給控制部130與IC標籤之通訊手段，取代PoE HUB 131而使用RFID讀寫器。
於其中一例，通訊裝置312及通訊裝置303係夠成為：把通訊裝置312作為從節點，把通訊裝置303作為主節點，進行串列通訊。藉由從通訊裝置312傳送到通訊裝置303之電力供給端子的位置資訊被儲存或者是記錄到快閃ROM306的方式，確定參閱圖2A、2B並說明的X的資訊。IoT裝置210係確認到位置資訊已被儲存到快閃ROM306的話，就讓輸電介面302予以OFF。接著，IoT裝置210係被構成為：接下來從PoE集線器131供給電力到電力接收介面301為止，都不與IC記憶體120進行通訊。
與產業機器的動作狀態相應之複數個消耗電力資訊(例如，初始化時、閒置時、計測時、曝光時的消耗電力資訊)係從單元控制部220經過IoT裝置210的介面307，被儲存到快閃ROM306。作為消耗電力資訊的初始值係例如可以使用，於單元200的出貨時的檢查等，在規定的序列條件下所測定出的資訊。
如以上般，各單元係包含：把包含不用讓電力接收部231接受電力的供給且與該單元的消耗電力有關的資訊之控制資訊(單元控制資訊)提供到電力供給裝置1之裝置(IoT裝置)。電力供給裝置1係在尚未通過複數個電力供給端子110~114供給電力到複數個單元200~204的狀態下，從複數個單元200~204之各個裝置(IoT裝置)取得該控制資訊(單元控制資訊)。電力供給裝置1係根據該控制資訊，從複數個內建電源100~103，選擇用於通過複數個電力供給端子110~114的任意一個對複數個單元200~204中至少其中1個供給電力之內建電源。
於圖4例示出，電力供給裝置1的電力供給控制部130動態分配產業機器IE中的電力資源(內建電源100~103)到單元之分配序列。在此，單元203為選項單元，在單元203的IoT裝置213所儲存的控制資訊，存在有Y。而且，內建電源103是預備的內建電源。在步驟S401中，電力供給控制部(以下，控制部)130係確認複數個內建電源100~103全部是否為OFF，複數個內建電源100~103全部都是OFF的話，就前進到步驟S402。在步驟S402中，控制部130禁止藉由電源開關的操作或者是啟動指令使內建電源100~103為ON。接著，在步驟S403中，控制部130經由透過了PoE集線器131的LAN通訊，取得單元200~204的IoT裝置210~214的控制資訊(單元控制資訊)。
接著，在步驟S404中，控制部130根據內建電源100~103的輸出電壓及輸出電力上限、在步驟S403取得的控制資訊中的連接端資訊、以及消耗電力資訊，計算內建電源100~103之各個剩餘電力。尚且，控制部130預先取得表示內建電源100~103的輸出電壓及輸出電力上限之資訊。於圖5，示意性表示內建電源100~103的剩餘電力。「INIT.」表示初始時的消耗電力，「IDOL」表示閒置時的消耗電力，「計測」表示計測時的消耗電力，「曝光」表示曝光時的消耗電力。而且，塗有交叉影線的部分係表示已經分配了該內建電源的單元的消耗電力。在單元200已經分配了內建電源100，在單元201已經分配了內建電源101，在單元202已經分配了內建電源102。塗有交叉影線的部分的上端與輸出電力上限之差值為剩餘電力。
在步驟S405中，控制部130係根據在步驟S403取得的控制資訊中的連接端資訊，判斷是否存在尚未決定連接端的內建電源的IoT裝置(換言之，與其IoT裝置對應的單元)。尚未決定連接端的內建電源之IoT裝置(在此為IoT裝置213)，乃是於控制資訊在圖2A、2B已說明之存在有Y的IoT裝置。在存在有尚未決定連接端的內建電源之IoT裝置的情況下，控制部130係前進到步驟S406，在不存在有這樣的IoT裝置的情況下，前進到步驟S410。
在步驟S410中，控制部130，控制部130，允許藉由電源開關的操作或者是啟動指令使內建電源100~103為ON，經此，分配序列結束。
以下，說明在尚未決定連接端的內建電源的IoT裝置的情況下的動作。在步驟S406中，控制部130係比較：從在IoT裝置213所儲存的控制資訊得到的單元203的消耗電力、以及在步驟S404計算出的內建電源100~103的剩餘電力。在圖5的例子，內建電源100具有用於供給電力到單元203的剩餘電力，內建電源101不具有用於供給電力到單元203的剩餘電力，預備的內建電源103具有用於供給電力到單元203的剩餘電力。尚且，內建電源102係其輸出電壓為48V，不適合於輸入電壓為24V之單元203。
在步驟S407中，控制部130係判斷在複數個內建電源100~103中，是否有輸出電壓適合單元203，而且，是否具有用於對單元203供給電力的剩餘電力。接著，在不存在這樣的內建電源的情況下，控制部130係於步驟S411進行錯誤通知。該情況是有必要進行排除錯誤的原因之作業。例如，在經由修正產業機器控制部150的運作計畫來降低了單元200~202的消耗電力後，必須要提出對單元側的IoT裝置200a~202a改寫消耗電力資訊等的對策。作為更具體的例子，在經由修正產業機器控制部150的運作計畫來降低了單元200~202的消耗電力後，採取改寫單元200~202的IoT裝置210~212的消耗電力資訊之類的對策。
另一方面，在複數個內建電源100~103中具有輸出電壓適合單元203而且具有用於對單元203供給電力的剩餘電力的情況下，於步驟S408，控制部130係決定分配到單元203的內建電源。在此，控制部130係可以把已經被分配到任意一個的單元的內建電源亦即內建電源100作為比預備的內建電源103其優先順序更高的分配候補。在具有剩餘電力的內建電源僅為預備的內建電源103的情況下，控制部130係把預備的內建電源103分配到單元203。控制部130係藉由控制切換電路132來對單元203分配內建電源100。換言之，控制部130係藉由控制切換電路132來對單元203決定分配的內建電源100。
在步驟S409中，控制部130係在單元203的IoT裝置213，儲存表示已被連接的內建電源為內建電源100之連接端資訊。經由執行步驟S409，控制部130係為了可以把已被追加的單元203管理作為固定的負載，接著在執行分配序列之際，縮短該執行所需要的時間。在步驟S409之後，處理係回到步驟S404。
在上述的案例中，複數個單元包含：已決定是否從複數個內建電源的任意一個供給電力之至少1個第1單元、以及尚未決定從複數個內建電源的任意一個供給電力之至少1個第2單元。控制部130係根據供給電力到複數個內建電源中的第1單元之電源的剩餘電力、以及第2單元的控制資訊，從前述複數個電源選擇對複數個內建電源中的第2單元供給電力的內建電源。
期望為了使用包含上述的電力供給裝置1的系統來有效使用剩餘電力，而正確掌握各單元的實際消耗電力。即便以產業機器IE的設置端的環境條件等做相同動作序列的情況，產業機器IE的消耗電力也會有不同。因此，在管理單元200~203的IoT裝置210~213儲存的消耗電流值係理想上，不一直維持在出貨時等設定好的初始值，而是隨時更新。例如，在產業機器IE的設置後，在定期或是任意的時序，測定單元200~203的消耗電流，更新儲存在IoT裝置210~213的消耗電流值者為佳。
於圖6，表示在產業機器IE中，連接到電力供給裝置1的單元200的構成例。其他的單元201~203也具有同樣的構成。單元200係與上述同樣，具備：儲存電力資訊之IoT裝置210、單元控制部220、及從電力供給裝置1接受所供給的電力之電力接收部230。而且，單元200具備：用於測定從電力供給裝置1所供給的電流之電流感測器261、記憶體260、電力接收電路262、電源電路263、計測部264、驅動部265。
電力接收電路262及電源電路263係透過電力接收部230及電流感測器261接受從電力供給裝置1所供給的電力，對單元控制部220、計測部264、驅動部265，分別產生並供給所要求的電壓。單元控制部220係根據電流感測器261的輸出，檢測單元200的消耗電流。
單元控制部220係接受來自管理初始化、閒置、計測、曝光之各個控制之產業機器控制部150的指令，控制計測部264及驅動部265。此時，單元控制部220係從電流感測器261，對初始化、閒置、計測、曝光之各個序列的每一個，定期收集單元200的消耗電流值並保存到記憶體260。單元控制部220係在記憶體260儲存了確定數目的消耗電流值之後，根據該消耗電流值來決定單元200的實際消耗電力，覆寫IoT裝置210的消耗電力資訊。如此，在單元單位設置後也管理消耗電力並更新消耗電力資訊，經此，電力供給控制部130可以經常性正確掌握各內建電源的剩餘電力。
而且，單元控制部220也可以搭載處理大數據的處理能力高的CPU。這樣的情況下，單元控制部220係可以並非僅以來自電流感測器261的測定電流值的資訊來決定實際消耗電力，而是僅把計測部264、驅動部265的狀態等的資料作為從屬變數以相關聯的機械學習來決定預測出的消耗電力之值。在使用了動態捕捉到的環境的變化或單元的計時變化等所致之消耗電力變動之預測值方面，電力供給控制部130可以更即時掌握各內建電源的剩餘電力。經此，電力供給控制部130可以動態且適切地對各單元的內建電源的分配。
電力供給控制部130具有對產業機器控制部150輸出(或者是傳送)電力資訊的功能。該功能的目的主要是2個，一個是產業機器控制部150掌握各單元的消耗電力的計時變化，另一個是產業機器控制部150掌握各內建電源的消耗電力的明細與剩餘電力。
前者，亦即就有關表示單元的消耗電力的計時變化之資訊，產業機器控制部150係可以使用作為單元的預知保全、異常檢測等的狀態管理的資料。而且，不僅是故障預知，也可以作為用於性能維持的資料來活用。例如，如曝光裝置般的高精密產業機器係少許的溫度變化就直接對性能有不良影響，但是，以從消耗電力的變化來預測熱量的變化並變更單元的調溫的控制參數的方式，是可以把曝光裝置內的調溫性能惡化的影響抑制在最小限。
後者，亦即就有關各內建電源的消耗電力的明細與剩餘電力的資訊，經由產業機器控制部150掌握這些東西，以性能提升或節能的觀點可以靈活修正初始化時、閒置時、計測時、曝光時的運作計畫。
而且，各內建電源的消耗電力的明細與剩餘電力的資訊係也可以被使用在，在產業機器交給顧客後，提供對基本規格升級的硬體、軟體。這樣的資訊也可以利用線上來提供給產業機器。
圖7為用於統一管理產業機器的電力供給裝置的線上系統的方塊圖。於顧客工廠600設置複數臺產業機器601。複數臺產業機器601係透過乙太網路切換器602定期把資料輸出到伺服器603。伺服器603的資料係透過用防火牆守護的網路雲端，藉由產業機器製造商辦事處的伺服器611而共有，經由管理者保存資料到資料伺服器612，在終端613可以閱覽資料。於該資料包含在圖1~圖5說明過的各內建電源的剩餘電力資訊，經此，可以正確掌握設置在顧客工廠600之各產業機器601內的電源的剩餘電力。
產業機器製造商係根據這樣的資訊，就有關設置後的產業機器601在接受了依追加個別要求的特別訂單的情況下，具有考慮到了剩餘電力而可以開發，且不用去搭載多餘的電源之優點。而且，萬一，在設置後提供對基本規格升級性能的硬體、軟體之下，即便是掌握了沒有剩餘電力的情況下，也可以確定電力不足的電源。為此，具有對必要容量的電源進行交換等之必要最小限的修改就可以解決之優點。這些優點係關係到設置面積的縮小或交期縮短或修改時的停工時間縮短，關係到提供顧客滿意度高的服務。
如以上說明般，根據本實施方式，於產業機器中，也在設置後掌握正確的電力，而且，對連接端負載的動作不會有限制，而且，也對單元增設可以靈活對應。當然，本發明適用在產業機器以外的系統。
作為構成了上述的產業機器作為曝光裝置之情況下的應用例，說明物品製造方法。該物品製造方法包含：使用該曝光裝置來讓基板曝光之曝光工序、對做過前述曝光工序的前述基板進行顯影之顯影工序、以及處理做過前述顯影工序的前述基板來得到物品之處理工序。於被提供到曝光裝置的基板，塗布感光材(光阻蝕材料)。藉由曝光工序，原版的圖案作為潛像圖案被轉寫到感光材。於顯影工序，該潛像圖案變換成物理性的裝置圖案。處理工序例如包含：使用裝置圖案對該基底的層進行圖案成形之工序。處理工序還可以包含：切割基板之工序。
本發明也可以實現把實現上述的實施方式之1個以上的功能之程式，透過網路或是記憶媒體供給到系統或是裝置，該系統或是裝置的電腦中的1個以上的處理器讀出並執行程式之處理。而且，也可以藉由實現1個以上的功能之電路(例如，ASIC)來實現。
本發明並不限於上述實施方式，在不脫離發明之精神及範圍下，是可以做各種的改變及變化。因此，為了公開發明的範圍而附上請求項。
1:電力供給裝置 200~203:單元 111~114:電力供給端子 210~213:IoT裝置 100~103:內建電源(電源) 130:電力供給控制部(控制部)
[圖1]例示產業機器中的電力供給裝置的構成之圖。  　　[圖2A]例示儲存到IoT裝置的非揮發性記憶體之單元電力資訊之圖。  　　[圖2B]例示儲存到IoT裝置的非揮發性記憶體之單元電力資訊之圖。  　　[圖3]詳細例示產業機器的一部分之圖。  　　[圖4]例示電力供給控制部動態分配產業機器中的電力資源之分配序列之圖。  　　[圖5]例示分配內建電源到追加的單元之圖。  　　[圖6]例示裝入到產業機器的單元的構成之圖。  　　[圖7]例示使用了產業機器中的電力供給裝置之線上系統的構成之圖。
1:電力供給裝置
100~103:內建電源(電源)
110~114:電力供給端子
120~124:IC記憶體
130:電力供給控制部(控制部)
131:PoE集線器
132:切換電路
150:產業機器控制部
200~203:單元
210~213:IoT裝置
230~233:電力接收部
IE:產業機器
PWR:電力

Claims (12)

  1. 一種電力供給裝置，具有：用於對複數個單元供給電力之複數個電力供給端子；其特徵為：  　　各單元包含：從前述複數個電力供給端子的任意一個來接受電力的供給之電力接收部、以及把包含不用讓前述電力接收部接受電力的供給且與該單元的消耗電力有關的資訊之控制資訊提供到前述電力供給裝置之裝置；  　　前述電力供給裝置，具備：  　　複數個電源；以及  　　控制部，其係在尚未通過前述複數個電力供給端子供給電力到前述複數個單元之狀態下從前述複數個單元之各個前述裝置取得前述控制資訊，根據前述控制資訊，從前述複數個電源選擇，用於對前述複數個單元中至少其中1個通過前述複數個電力供給端子的任意一個供給電力之電源。
  2. 如請求項1的電力供給裝置，其中，  　　在前述複數個單元包含已決定是否從前述複數個電源的任意一個供給電力之至少1個第1單元、以及尚未決定是否從前述複數個電源的任意一個供給電力之至少1個第2單元之狀態下，  　　前述控制部係根據供給電力到前述複數個電源中的前述第1單元之電源的剩餘電力、以及前述第2單元的前述控制資訊，從前述複數個電源選擇用於對前述複數個電源中的前述第2單元供給電力之電源。
  3. 如請求項1的電力供給裝置，其中，更具備：  　　為了讓1個記憶體對應到1個電力供給端子而分別對應到前述複數個電力供給端子之複數個記憶體元件；  　　前述複數個單元之各個，係在被連接到前述複數個電力供給端子中的1個電力供給端子時，被連接到與前述複數個記憶體元件中的前述1個電力供給端子對應之記憶體元件；  　　前述複數個記憶體元件之各個係包含：識別前述複數個電力供給端子中對應的電力供給端子之識別資訊。
  4. 如請求項3的電力供給裝置，其中，  　　前述複數個記憶體之各個，係從被連接到前述複數個電力供給端子中對應的前述電力供給端子之單元的前述裝置接受電力的供給而動作，並把前述識別資訊供給到前述裝置。
  5. 如請求項1的電力供給裝置，其中，更具備：  　　通訊介面，其係具有：把電力供給到前述複數個單元中連接到前述複數個電力供給端子的單元的前述裝置之功能。
  6. 如請求項1的電力供給裝置，其中，  　　前述裝置包含：儲存前述控制資訊之非揮發性記憶體；  　　前述控制部係取得在前述非揮發性記憶體所儲存的前述控制資訊。
  7. 如請求項6的電力供給裝置，其中，  　　在前述非揮發性記憶體所儲存的前述控制資訊，係以任意或是規定的時序被更新；  　　前述控制部係取得被更新過的前述控制資訊。
  8. 如請求項1乃至7中任1項的電力供給裝置，其中，更具備：  　　輸出部，其係輸出表示前述複數個電源的規範及狀態、及前述複數個單元的消耗電力中至少其中1個之資訊。
  9. 一種單元，係被連接到具有用於對複數個單元供給電力的複數個電力供給端子之電力供給裝置的前述複數個電力供給端子的任意一個，藉由來自前述電力供給裝置的電力而動作；其特徵為：  　　具備：從前述複數個電力供給端子的任意一個接受電力的供給之電力接收部、以及把包含不用讓前述電力接收部接受電力的供給且與該單元的消耗電力有關的資訊之控制資訊供給到前述電力供給裝置之通訊部。
  10. 一種系統，具備複數個單元以及電力供給裝置；該電力供給裝置具有：用於對前述複數個單元供給電力之複數個電力供給端子；其特徵為：  　　各單元包含：從前述複數個電力供給端子的任意一個來接受電力的供給之電力接收部、以及把包含不用讓對前述電力接收部接受電力的供給且與該單元的消耗電力有關的資訊之控制資訊提供到前述電力供給裝置之裝置；  　　前述電力供給裝置，具備：  　　複數個電源；以及  　　控制部，其係在尚未通過前述複數個電力供給端子供給電力到前述複數個單元之狀態下從前述複數個單元之各個前述裝置取得前述控制資訊，根據前述控制資訊，從前述複數個電源選擇，用於對前述複數個單元中至少其中1個通過前述複數個電力供給端子的任意一個供給電力之電源。
  11. 一種曝光裝置，具備複數個單元以及電力供給裝置；該電力供給裝置，具有：用於對前述複數個單元供給電力之複數個電力供給端子；其特徵為：  　　各單元包含：從前述複數個電力供給端子的任意一個來接受電力的供給之電力接收部、以及把包含不用讓對前述電力接收部接受電力的供給且與該單元的消耗電力有關的資訊之控制資訊提供到前述電力供給裝置之裝置；  　　前述電力供給裝置，具備：  　　複數個電源；以及  　　控制部，其係在尚未通過前述複數個電力供給端子供給電力到前述複數個單元之狀態下從前述複數個單元之各個前述裝置取得前述控制資訊，根據前述控制資訊，從前述複數個電源選擇，用於對前述複數個單元中至少其中1個通過前述複數個電力供給端子的任意一個供給電力之電源。
  12. 一種物品製造方法，包含：  　　使用請求項11記載的曝光裝置來對基板進行曝光之曝光工序；  　　對做過前述曝光工序的前述基板進行顯影之顯影工序；以及  　　處理做過前述顯影工序之前述基板而得到物品之處理工序。
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