TW202235747A - 低溫泵效能監控 - Google Patents
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Abstract
本發明揭示一種監控一低溫泵之效能之方法，以及監控該效能與該低溫泵之電路系統。該方法包括：在一再生循環完成之後，控制該低溫泵以執行一預定測試例行程序以用於測試在預定狀況下該低溫泵之一效能；在該預定測試例行程序期間監控該低溫泵以收集指示該低溫泵之該效能之資料；儲存在該監控期間收集之資料。
Description
本發明之領域係關於低溫泵及用於監控一低溫泵之效能之一方法及電路系統。
低溫泵按照冷凝或捕集待泵抽之氣體之原理工作。此意謂低溫泵需要週期性地再生以移除經捕集氣體。再生涉及將泵與真空系統隔離且加熱泵，同時引入沖洗氣體以稀釋因加熱而解吸或汽化之經捕集氣體。
若一低溫泵/系統之表現未達其設計規格且緩慢降級但不影響其客戶程序則其可能意外故障。此對於低溫泵之使用者而言可能造成非常昂貴的財務損失，尤其若低溫泵用於諸如積體電路製造商之一程序。
期望提供能夠監控一低溫泵之當前健康或效能且判定泵降級且因此預測未來較差效能或故障之一方法及/或診斷系統。預測效能降級之一能力容許一維修工程師在降級過度影響經泵抽之程序之前進行干預。
一第一態樣提供一種監控一低溫泵之效能之方法，該方法包括：在一再生循環完成之後，控制該低溫泵以執行一預定測試例行程序以用於測試在預定狀況下該低溫泵之一效能；在該預定測試例行程序期間監控該低溫泵以收集指示該低溫泵之該效能之資料；儲存指示在該監控期間收集之該泵之該資料。
低溫泵經週期性地再生以移除經積聚之冷凝氣體。此係在泵不用於泵抽一真空室時完成，使得在再生期間泵通常在與泵相關聯之控制電路系統的控制下，而非主動用於在真空室中低溫泵抽程序氣體。此外，關閉真空室之閘閥。
此外，一旦再生循環已完成，泵之狀態係已知的且由泵抽空之真空室之閘閥關閉。因此，此提供對一測試例行程序之執行理想之一時間段，因為由泵抽空之真空系統將不受影響且泵之狀況係已知的。因此，在此時執行之一測試例行程序期間之泵之行為將指示泵之當前效能且與其抽空之真空系統及任何收集之冷凝材料無關。此意謂一當前測試與已在幾乎相同狀況下執行之先前測試之任何比較將不僅提供泵之當前健康狀況之一準確概觀，而且提供此健康狀況或效能如何隨時間變化之一指示。此外，由於再生週期性地發生，故此提供定期執行此等測試之機會且因此可定期監控泵之任何降級。
在一些實施例中，該方法控制該低溫泵以在該等再生循環之至少一子集之後週期性地執行該預定測試例行程序。
為監控泵之降級且能夠在降級發生之前預測泵故障，較佳的是定期執行任何泵測試例行程序。由於再生循環週期性地執行，因此測試例行程序可在此等再生循環之一特定比例之後執行，可能在各再生循環之後或可能在交替再生循環之後。
在一些實施例中，方法包括自該所收集資料判定該泵之該效能之一進一步的步驟。
所收集之資料係指示泵之當前效能，且方法可分析資料以判定效能。
在一些實施例中，判定該泵之該效能之該步驟包括比較自一當前測試例行程序獲得之資料與自先前測試例行程序獲得之資料。
自一測試例行程序獲得之資料之絕對值係指示泵之當前效能，且比較資料與其他早期測試結果之資料提供泵之效能之任何變化且甚至泵之效能之比率變化之一有效指示，且因此可有助於提供一泵何時可能發生故障之一預測。
在一些實施例中，該方法包括輸出指示該泵效能之資料之一進一步的步驟。
所收集之資料可經輸出。其可作為原始資料或作為經處理資料輸出，在一些實施例中作為指示泵之效能之一指示項。該指示項可供泵操作員存取。該指示項可呈一數字效能指示或一色彩編碼指示之形式。在效能經判定為低之情況下，指示項可指示一維修工程師之輸入係可取的。可回應於所收集資料值及/或所收集資料值在相較於在先前測試期間收集之資料值時之變化而產生泵效能指示項。所收集值之變化指示泵之效能之一退化且提供用於預測泵之一未來效能之一基礎，從而容許在泵發生故障或其效能過度降級之前將其更換。
在一些實施例中，輸出該資料之該步驟包括接收針對該資料之一請求且回應於該請求輸出該資料。
請求可來自泵現場之一維修工程師且資料可經由泵上之一埠輸出，或其可為來自一遠端伺服器之一請求且資料可跨一網路輸出至該遠端伺服器。
在一些實施例中，該預定測試例行程序包括判定由該低溫泵以一預定馬達速度提供之一冷卻位準。
預定測試例行程序係其中泵以一預定方式操作且量測泵之效能之一例行程序。在一些情況中，測試例行程序可包括低溫泵以一恆定預定馬達速度操作且可量測由低溫泵以此馬達速度提供之冷卻位準。在此方面，低溫泵可具有一變速馬達，該變速馬達在冷凍系統周圍泵抽冷凍劑(諸如氦氣)。馬達之速度影響在系統周圍泵抽冷凍劑之速度且因此影響系統可提供之冷卻能力。當馬達速度經設定為一恆定值時，此速度下之冷卻能力係指示低溫泵之當前效能及有效性。因此，以一預定速度運行馬達且判定低溫泵接著提供多少冷卻係泵之效能之一指示項。
在一些實施例中，控制該低溫泵以執行一預定測試例行程序之該步驟包括：控制用於控制通過該低溫泵之一冷凍系統之冷凍劑之一流量之一變速馬達以依一預定速度操作；設定針對一冷凍機之一第一級之一第一預定溫度及針對該冷凍機之一第二級之一第二預定溫度；及控制與該冷凍機之該等第一及第二級相關聯之加熱器使得能維持該等第一及第二預定溫度；且判定該低溫泵之效能之該步驟包括判定施加至該等加熱器以維持該等第一及第二預定溫度之功率。
判定由低溫泵提供之冷卻位準之一種方式可為藉由設定針對冷凍機之第一級及第二級之一預定溫度，在一些情況中此等預定溫度可經選擇為低溫泵之正常操作溫度，及判定由與冷凍機之此等級相關聯之加熱器為了維持此等溫度而消耗之功率。由低溫泵提供之冷卻位準係施加至加熱器之功率之一函數。在此方面，隨著低溫泵之效能隨時間退化，則由泵提供之冷卻減少且施加至加熱器以維持溫度之功率之量亦將減少從而指示此效能之退化。
在一些實施例中，方法包括接收指示該等預定溫度及該預定馬達速度之至少一者之一輸入之一進一步的步驟，該方法經組態以使用該等預定溫度及馬達速度之該經接收之至少一者來執行後續測試例行程序。
在一些實施例中，一維修工程師可能能夠更新測試之預定溫度及/或馬達速度，其中可能需要改變測試狀況或許來反映低溫泵之當前或未來使用狀況。
一第二態樣提供一種包括電腦可讀指令之電腦程式，該等電腦可讀指令在藉由一處理器執行時控制該處理器以執行根據一第一態樣之一方法中之步驟。
一第三態樣提供用於一低溫泵之控制及診斷電路系統，該控制電路系統經組態以判定一再生循環何時完成且在該再生循環完成之後控制該低溫泵以執行一預定測試例行程序以用於測試在預定狀況下該低溫泵之一效能；且該診斷電路系統經組態以：在該預定測試例行程序期間監控該低溫泵之該效能；及儲存指示自該監控獲得之該效能之資料。
在一些實施例中，該控制電路系統經組態以控制該低溫泵以在該等再生循環之至少一子集之後週期性地執行該預定測試例行程序。
在一些實施例中，該診斷電路系統經組態以自該所收集資料判定該泵之一效能。
在一些實施例中，該診斷電路系統經組態以藉由比較自一當前測試例行程序獲得之資料與自先前測試例行程序獲得之資料來判定該泵之該效能。
在一些實施例中，該診斷電路系統經組態以輸出指示該泵之一效能之一資料。
在一些實施例中，該診斷電路系統經組態以回應於接收針對該資料之一請求而輸出該資料。
在一些實施例中，該預定測試例行程序包括判定由該低溫泵以一預定馬達速度提供之一冷卻位準。
在一些實施例中，該控制電路系統經組態以控制該低溫泵以藉由以下操作來執行該預定測試例行程序：控制用於控制通過該低溫泵之一冷凍系統之冷凍劑之一流量之一變速馬達以依一預定速度操作；設定針對一冷凍機之一第一級之一第一預定溫度及針對該冷凍機之一第二級之一第二預定溫度；及控制與該冷凍機之該等第一及第二級相關聯之加熱器使得能維持該等第一及第二預定溫度；且該診斷電路系統經組態以判定施加至該等加熱器以維持該等第一及第二預定溫度之一功率。
一第四態樣提供一種低溫泵，其包括：一冷凍機單元；一變速馬達，其用於控制通過該低溫泵之一冷卻系統之冷凍劑之一流量；及根據一第三態樣之控制及診斷電路系統。
在一些實施例中，該冷凍機單元包括一兩級冷凍機，且該低溫泵進一步包括：用於監控該冷凍機之該第一級之一溫度之一溫度感測器及用於監控該冷凍機之該第二級之一溫度之一溫度感測器；及用於向該冷凍機之該第一級供應熱量之一加熱器及用於向該冷凍機之該第二級供應熱量之一加熱器。
在一些實施例中，控制電路系統進一步經組態以控制泵之再生。
由泵執行之再生循環將在與泵相關聯之控制電路系統的控制下且此同一控制電路系統可用於控制測試例行程序之執行。
在隨附獨立及附屬技術方案中闡述進一步特定及較佳態樣。附屬技術方案之特徵可適當地與獨立技術方案之特徵組合，且呈除技術方案中明確闡述之彼等以外之組合。
在一設備特徵被描述為可操作以提供一功能之情況下，應瞭解，此包含提供該功能或經調適或經組態以提供該功能之一設備特徵。
在更詳細地論述實施例之前，首先將提供概述。
實施例提供一基於軟體之功能，其能夠幫助判定一泵在一客戶之操作環境中執行之能力。該基於軟體之功能控制泵以在一再生循環之後執行一診斷測試且在週期性診斷測試期間收集之資訊可供維修工程師所用以幫助判定泵之當前冷凍能力。
在一些實施例中，低溫泵包括一變速馬達且經組態以在包含72 rpm之若干操作RPM及包含65K、13.5K之若干操作第一及第二級溫度下操作。在測試例行程序期間，泵可經控制以在此固定操作狀態下操作通常為65K、13.5K之第一及第二級溫度以及馬達72 RPM，且將存在施加至加熱器之所得加熱器功率量(其可經量測為一最大量或實際瓦數之一 %數值)。此等功率量測值係可用冷凍能力且因此低溫泵之效能之指示項。
在一些實施例中，將用測試例行程序來測試一新泵且將結果與在客戶之工具上之每次再生之後執行之後續測試例行程序之結果進行比較。來自生產測試及第一再生之結果將用作在每次冷卻之後監控泵之效能之一基線以取得效能之一運行趨勢線。
低溫泵將以通常方式再生且接著在設定例行程序之「冷卻」階段內，其可藉由執行測試例行程序進行「健康檢查」。
此程序可藉由模組施加之以瓦特計算之一熱負載來執行以在馬達/再生器之一設定rpm下維持預定溫度(諸如65K第一級及13.5K第二級)。
在一些實施例中，控制電路系統亦將提供一選項以容許一維修工程師藉由向模組發送一特殊命令而用其等選擇之參數運行一診斷健康檢查。
再生係用定位於第一級及第二級上之電加熱器加熱低溫板表面之一程序。利用N
2氣體來稀釋在植入泵上泵抽至第二級之木炭中之H
2氣體。接著使用一粗略/沖洗程序以在一增加之溫度(諸如310K且在一些情況中最高330K)下清潔低溫泵級以將經捕集氣體從釋壓閥釋放至一氣體洗滌器。
接著將低溫泵冷卻至一設定溫度(在一項實例中為290K)且抽空至一設定真空(例如，~50微米)，接著為檢查抽空之有效性，進行一上升速率測試ROR直至其通過(例如)每分鐘10微米之一預定值。
在通過ROR之後，啟動馬達且低溫泵冷卻至基礎溫度(在諸如植入泵之一些實例中為65K/13.5K)且在執行健康檢查之後，其準備就緒以供使用者利用且其「再生完成」。
低溫泵使用一變速(在一些實施例中，在30 rpm與144 rpm之間的任何速度)馬達以驅動氣缸內之再生器以利用氦膨脹來冷卻冷凍機之雙「級」。
再生器之每分鐘轉數對冷凍機可在一設定溫度下維持之冷卻功率或瓦數之量具有直接影響。
一再生被描述為泵通過一設定例行程序來加熱、沖洗然後抽空泵以便其可冷卻至操作溫度，再生完成信號發信號通知其準備用於之客戶。
此測試例行程序將在再生之後且每當一維修工程師存取低溫泵模組且命令測試例行程序時運行。將比較效能能力與先前測試以在維修工程師的幫助下預測低溫泵/系統之效能。
效能、可靠性及安全性對泵之使用者至關重要，因此能夠預測意外事件係最重要的。
健康檢查例行程序經設計以查看泵隨時間之效能且幫助維修工程師識別此效能之可能降級。
此讓維修工程師能訪問客戶以診斷系統之可能問題以緩解問題。此可涉及在中斷客戶程序之前對系統之維護或對泵/壓縮機或配件之拆卸/維修，且藉此減少系統停機時間。
在測試例行程序期間收集之資料係儲存於與泵相關聯之一資料儲存器中且可由一維修工程師自該資料儲存器提取或回應於自分析資料之一遠端伺服器接收之請求資料之一信號而傳輸至該遠端伺服器。可分析資料以判定泵之當前效能及泵之效能隨時間之變化兩者。
圖1展示根據一實施例之一低溫泵5。低溫泵5由冷凍單元16冷卻，冷凍單元16係由控制及診斷電路系統14加以控制。冷凍單元16包括延伸至低溫泵容器中之一冷指(cold finger)且包括冷卻容器及跨入口7配置之一正面陣列(未展示)之內表面之一第一級及將低溫板10冷卻至比該第一級之溫度更冷之一溫度之一第二級。冷凍機包括在冷凍系統周圍驅動冷凍劑(在此例中為氦氣)之一變速馬達17。
存在分別與冷凍機之第一及第二級相關聯之加熱器18a及18b且此等可用於在低溫泵之再生及測試期間提供熱量。
低溫泵5係用於將一真空室抽空至一高真空。該真空室可用於(例如)半導體處理(諸如晶片製造)中。低溫泵係一捕集泵，藉此進入低溫泵之氣體分子係藉由將其等冷凝或吸附於低溫泵之冷卻表面上而被捕集。此意謂將需要週期性地再生低溫泵以移除經捕集之冷凝氣體。
控制電路系統14控制低溫泵之操作且在低溫泵之再生期間將控制再生循環。在再生循環期間，低溫泵係通常藉由一閘閥與真空室隔離，且加熱器18a、18b係用於增加低溫泵之溫度，同時輸入沖洗氣體以移除任何經蒸發分子。當一泵中之冷凝物質上升至使泵停止有效操作之一值時，週期性地實行此再生。
除了控制再生循環之外，控制及診斷電路系統14可經組態以在低溫泵之狀態已知時在再生循環完成時執行一測試例行程序。此測試例行程序係用於判定泵之健康狀況或效能且容許監控泵之效能之降級且在泵之故障發生之前預測故障。一泵之意外故障可能非常昂貴，特別是在泵用於晶片製造之情況下，且因此，提前預測一故障且容許在泵發生故障之前更換泵具有許多優點。
當冷凍單元16內之一馬達以一恆定速度操作時，測試例行程序係用於判定低溫泵5之當前冷卻能力。冷凍單元16內之馬達在冷凍系統周圍發送冷凍劑(在此情況中為氦氣)且通常係容許改變泵之能力及冷卻功率之一變速馬達。在測試例行程序期間，泵之速度經設定為一預定值且溫度感測器12a及12b係用於判定第一及第二級冷凍機之溫度且將信號傳輸至電路系統14。電路系統14控制與第一及第二級冷凍機相關聯之加熱器18a及18b使得第一及第二級冷凍機之溫度維持於特定預定值。可選擇此等值作為低溫泵之正常操作溫度。加熱器維持此溫度所需之功率量係指示低溫泵5之冷卻功率且可儲存於一資料儲存器13中。一維修工程師接著可存取此資料儲存器且判定當前效能及任何效能變化以及低溫泵之效能隨時間之一變化率。
在一些實施例中，亦提供可用於將低溫泵之當前效能輸出給一操作員之一輸入/輸出埠19。此可作為可由泵之操作員存取之一指示項輸出。此指示項可為指示泵之當前效能之一數值，其可與最佳效能之一百分比有關或其僅可為指示效能當前是否良好或不太好之一色彩。在一些情況中，其可含有應聯繫一維修工程師之一指示。在其他情況中，資料可經由一傳輸器輸出至經組態之一遠端伺服器。此可回應於自該遠端伺服器接收針對資料之一請求而發生。遠端伺服器可為經組態以分析自多個泵接收之資料且自此資料監控其等之效能及任何效能變化之一伺服器。
在一些實施例中，輸入/輸出埠19亦可用於接收由一維修工程師輸入之指示待在測試例行程序中使用之馬達速度及/或第一及第二級溫度之值。此容許視需要更新此等值。在此方面，取決於泵之操作狀況，不同溫度及/或馬達速度可能更適於泵之測試。
圖2展示繪示在根據一實施例之監控泵之效能或健康狀況之一方法中之步驟的一流程圖。最初在步驟D5，判定一再生循環是否已完成。
當經判定其已完成時，在步驟S10起始一測試例行程序。在此方面，在一些實施例中，代替在各再生循環之後執行S10，可僅在完成特定數目個再生循環之後起始S10。在此情況下，可存在判定一計數器是否已計數至此特定數目之一中間步驟，該計數器在各再生循環完成之後遞增。
一旦起始測試例行程序，接著在步驟S20，將馬達之速度設定為一預定值且低溫泵的冷卻開始。在步驟S30將第一及第二級之溫度設定為一預定值。預定溫度及馬達之速度可為控制/診斷電路系統中之已設定值，及/或其等可為可回應於一維修工程師之一輸入而更新之值。在步驟S40，控制加熱器以將第一及第二級冷凍機之溫度維持於所要預定溫度。由加熱器為維持溫度而消耗之功率係指示低溫泵之當前效能且因此，在步驟S50，判定施加至加熱器且由加熱器消耗之功率且在步驟S60將此值儲存為泵之效能之一指示。此值可與再生循環(在該再生循環之後執行自其導出值之測試例行程序)之一指示一起儲存。
在S70，可比較當前功率與先前值以判定泵之效能之一變化及/或一變化率。此與實際判定之功率值一起可用於判定當前泵效能。在一些實施例中，在步驟S80可輸出當前效能之一指示項。再生循環及泵之測試現已完成且恢復正常操作。診斷電路系統接著繼續進行以在步驟D15判定下一再生循環何時已開始且當其已開始時其可在S10再次起始測試例行程序之前等待直至循環完成。
儘管本文中已參考附圖詳細揭示本發明之闡釋性實施例，但應理解，本發明並不限於精確實施例，且熟習此項技術者可在不脫離如由隨附發明申請專利範圍及其等效物定義之本發明之範疇的情況下在其中實現各種改變及修改。
5:低溫泵
7:入口
10:低溫板
12a,12b:溫度感測器
13:資料儲存器
14:控制及診斷電路系統
16:冷凍機單元
17:變速馬達
18a,18b:加熱器
19:輸入/輸出埠
D5:步驟
S10:步驟
D15:步驟
S20:步驟
S30:步驟
S40:步驟
S50:步驟
S60:步驟
S70:步驟
S80:步驟
現將參考附圖進一步描述本發明之實施例，其中：
圖1展示根據一實施例之一低溫泵以及控制及診斷電路系統；及
圖2展示繪示在根據一實施例之一方法中之步驟之一流程圖。
5:低溫泵
7:入口
10:低溫板
12a,12b:溫度感測器
13:資料儲存器
14:控制及診斷電路系統
16:冷凍機單元
17:變速馬達
18a,18b:加熱器
19:輸入/輸出埠
Claims (19)
- 一種監控一低溫泵之效能之方法，該方法包括： 在一再生循環完成之後，控制該低溫泵以執行一預定測試例行程序以用於測試在預定狀況下該低溫泵之一效能； 在該預定測試例行程序期間監控該低溫泵以收集指示該低溫泵之該效能之資料； 儲存指示在該監控期間收集之該效能之該資料。
- 如請求項1之方法，該方法控制該低溫泵以在該等再生循環之至少一子集之後週期性地執行該預定測試例行程序。
- 如請求項1或2之方法，其包括自該所收集資料判定該泵之該效能之一進一步的步驟。
- 如請求項3之方法，其中判定該泵之該效能之該步驟包括比較自一當前測試例行程序獲得之資料與自先前測試例行程序獲得之資料。
- 如前述請求項中任一項之方法，該方法包括輸出指示該泵效能之資料之一進一步的步驟。
- 如請求項5之方法，其中輸出該資料之該步驟包括接收針對該資料之一請求且回應於該請求輸出該資料。
- 如前述請求項中任一項之方法，其中該預定測試例行程序包括判定由該低溫泵以一預定馬達速度提供之一冷卻位準。
- 如前述請求項中任一項之方法，其中控制該低溫泵以執行一預定測試例行程序之該步驟包括： 控制用於控制通過該低溫泵之一冷凍系統之冷凍劑之一流量之一變速馬達以依一預定速度操作； 設定針對一冷凍機之一第一級之一第一預定溫度及針對該冷凍機之一第二級之一第二預定溫度；及 控制與該冷凍機之該等第一及第二級相關聯之加熱器使得能維持該等第一及第二預定溫度；且 判定該低溫泵之該效能之該步驟包括判定施加至該等加熱器以維持該等第一及第二預定溫度之功率。
- 一種包括電腦可讀指令之電腦程式，該等電腦可讀指令在藉由一處理器執行時控制該處理器以執行在如前述請求項中任一項之一方法中之步驟。
- 一種用於一低溫泵之控制及診斷電路系統， 該控制電路系統經組態以判定一再生循環何時完成且在該再生循環完成之後控制該低溫泵以執行一預定測試例行程序以用於測試在預定狀況下該低溫泵之一效能；且 該診斷電路系統經組態以： 在該預定測試例行程序期間監控該低溫泵之該效能；及 儲存指示自該監控獲得之該效能之資料。
- 如請求項10之控制及診斷電路系統，該控制電路系統經組態以控制該低溫泵以在該等再生循環之至少一子集之後週期性地執行該預定測試例行程序。
- 如請求項10或11之控制及診斷電路系統，該診斷電路系統經組態以自該所收集資料判定該泵之一效能。
- 如請求項12之控制及診斷電路系統，其中該診斷電路系統經組態以藉由比較自一當前測試例行程序獲得之資料與自先前測試例行程序獲得之資料來判定該泵之該效能。
- 如請求項10至13中任一項之控制及診斷電路系統，該診斷電路系統經組態以輸出指示該泵效能之資料。
- 如請求項14之控制及診斷電路系統，該診斷電路系統經組態以回應於接收針對該資料之一請求而輸出該資料。
- 如請求項10至15中任一項之控制及診斷電路系統，其中該預定測試例行程序包括判定由該低溫泵以一預定馬達速度提供之一冷卻位準。
- 如請求項10至16中任一項之控制及診斷電路系統，其中該控制電路系統經組態以控制該低溫泵以藉由以下操作來執行該預定測試例行程序： 控制用於控制通過該低溫泵之一冷凍系統之冷凍劑之一流量之一變速馬達以依一預定速度操作； 設定針對一冷凍機之一第一級之一第一預定溫度及針對該冷凍機之一第二級之一第二預定溫度；及 控制與該等冷凍機之該等第一及第二級相關聯之加熱器使得能維持該等第一及第二預定溫度；且 該診斷電路系統經組態以判定施加至該等加熱器以維持該等第一及第二預定溫度之一功率。
- 一種低溫泵，其包括： 一冷凍機單元； 一變速馬達，其用於控制通過該低溫泵之一冷卻系統之冷凍劑之一流量；及 如請求項10至17中任一項之控制及診斷電路系統。
- 如請求項18之低溫泵， 其中該冷凍機單元包括一兩級冷凍機；且該低溫泵進一步包括： 用於監控該冷凍機之一第一級之一溫度之一溫度感測器及用於監控該冷凍機之一第二級之一溫度之一溫度感測器；及 用於向該第一級供應熱量之一加熱器及用於向該第二級冷凍機供應熱量之一加熱器。
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