TW202223274A - 夾具總成 - Google Patents

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強納森 魯伯特 馬翁
菲利普 諾斯
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英商愛德華有限公司
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Abstract

本發明提供一種用於在一真空系統中將具有一第一凸緣之一第一管連接至具有一第二凸緣之一第二管的夾具總成。一夾具總成包括：一彈性環，其經組態以在使用期間圍繞該第一管；及 複數個夾緊元件，其等與該彈性環耦合。該等夾緊元件各自可操作以在使用期間經由各自旋轉軸線相對於該彈性環旋轉，以使該等夾緊元件從其中該等夾緊元件未與該第一凸緣接觸之一打開位置移動至其中在使用中，當該第一管被連接至該第二管時，該等夾緊元件經配置以將該第一凸緣夾緊至該第二凸緣以在該第一管與該第二管之間形成一接頭的一夾緊位置中。

Description

夾具總成
本發明係關於用於在一真空系統中將具有一第一凸緣之一第一管夾緊至具有一第二凸緣之一第二管的設備及方法。
真空系統可包括在一或多個管元件之間之接頭，該等接頭需要牢固地緊固或夾緊在一起以確保在系統中維持一有效真空。
此等接頭通常包含管之兩個部分，該等部分各自具有一凸缘部分以促進管之連結。通常，一O形環及/或墊圈定位於兩個凸緣表面之間，該兩個凸緣表面經夾緊在一起以形成一有效密封。夾緊構件可包括延伸穿過兩個凸緣以將其等固定在一起之螺栓或如圖1中繪示之一鉸接式夾具。
圖1a展示在安裝於一管接頭12之凸緣上之前處於一打開位置的一先前技術夾具10。圖1a之夾具具有一夾具軸線14，夾具軸線14在夾緊期間與管接頭12之軸線16對準。夾具10包括兩個夾緊元件18，夾緊元件18在各自第一端處經由一鉸鏈或樞軸20彼此附接，且在各自第二端處經由一固定構件22彼此可釋放地附接。為了安裝夾具10，使夾緊元件18之第二端彼此分開且使擴張夾具10在一大致徑向方向24上移動至接頭12上，使得夾具軸線14從與管接頭12之軸線16徑向偏移變成與軸線16同軸，且接著藉由固定構件22固定，如圖1b中展示。當處於一夾緊位置時，固定構件22大體上定位於與鉸鏈20徑向相對之接頭12之側上。
圖1之夾具10一般需要雙手安裝，因為在固定夾具10時，需要將夾具10固持在接頭12上。此外，在管接頭周圍存在有限接取之情況下出現問題，諸如圖1b之配置，其中多個接頭12配置成緊靠在一起。此等配置不便於在沒有相當大的難度之情況下安裝及固定此等夾具。
根據本發明，提供一種用於在一真空系統中將一第一管連接至一第二管之夾具總成。該第一管具有一第一凸緣且該第二管具有一第二凸緣，其中該第一凸緣經配置以在該第一管被連接至該第二管時與該第二凸緣形成一接頭。該夾具總成包括一彈性環，該彈性環經組態以在使用期間圍繞該第一管之一非凸緣部分。該總成進一步包括複數個夾緊元件，該等夾緊元件與該彈性環耦合，且各自可操作以在使用期間經由各自旋轉軸線相對於該彈性環旋轉，以使該等夾緊元件從其中該等夾緊元件未與該第一凸緣接觸之一打開位置移動至其中在使用中該第一管被連接至該第二管時之一夾緊位置中。如此一來，該等夾緊元件經配置以將該第一凸緣夾緊至該第二凸緣，以在該第一管與該第二管之間形成一接頭。
在此一配置中，彈性環容許夾具總成在夾緊之前與第一管耦合。此促進夾緊程序，此係因為在將元件固定至一夾緊位置中時，不需要將總成固持至接頭上。彈性環可將一徑向力施加至夾緊元件上以抵靠第一管固持該等夾緊元件，且防止其等在夾緊之前沿管自然下滑。當期望將兩個管連結在一起時，則使用者可使夾具總成沿著第一管朝向第二管滑動(其中夾緊元件處於其等打開位置)，且接著將夾緊元件帶入其等夾緊位置中，以將將第一及第二管在其等凸緣處夾緊在一起。
本發明之夾具總成促進維持真空系統中所需之低壓。例如，夾具總成能夠產生足夠之夾緊力用於密封第一管與第二管之間的接頭，使得可維持低於10毫巴或甚至低於10毫巴至2毫巴之管內的一壓力。
在一些實施例中，夾具總成可經組態用於夾緊一半導體製造系統中之管，且可由適於在此等惡劣環境中使用之材料製成。此外，在一半導體系統中之泵排氣管中，總成亦可需要經組態以耐受例如系統之一故障狀況期間之較大壓力。在實施例中，夾具總成可經組態以在管內之壓力達到高達10巴時維持夾緊。
在實施例中，彈性環係一斜向彈簧(canted spring)。換言之，彈性環包括一螺旋彈簧，其中螺旋之兩端彼此連結以形成一環圈，該環圈具有圍繞環圈延伸之彈簧材料之一螺旋。斜向彈簧可為一金屬彈簧，例如由彈簧鋼形成。
一彈簧之使用容許容易將能量長時段保持在環中而無明顯劣化或潛變，尤其在許多真空系統之惡劣環境中。在替代實施例中，彈性環可包括一彈性體或其他彈性材料，其可為或可能並非呈螺旋形式。在實施例中，彈性環可包括相鄰夾緊元件之間之彈性連接，使得該等夾緊元件亦形成彈性環之部分。最一般而言，彈性環經組態使得其可將夾緊元件偏壓抵靠該彈性環圍繞其安裝之管，但仍容許夾緊元件朝向其等之一夾緊位置移動。
彈性環可具有在0.005 N/m與0.05 N/m之間，例如在0.008 N/m與0.02 N/m之間的一彈簧勁度。已發現此一勁度尤其有利，因為其提供足夠力以在將夾緊元件安裝於第一管上期間將夾緊元件固持至第一管上，但非太大力以至於首先難以安裝夾緊配置。在實施例中，彈性環可具有一勁度及長度，使得當被組裝於管上時，環在夾緊元件上施加0.05 N與5 N之間的力。在特定實施例中，力可在0.05 N與2 N之間，諸如為1 N。
彈性環可包括一閂鎖機構，該閂鎖機構用於將夾具總成安裝至第一管及在使用之後移除夾具總成。例如，彈性環可包括一段彈性材料，該段彈性材料之各端在閂鎖機構處經由閂鎖機構附接至另一端，以形成用於在使用中圍繞第一管之彈性材料之一環圈。閂鎖機構可包括在各端處具有與彈性材料接合之一螺紋的一無頭螺絲。例如，無頭螺絲螺紋可與彈性材料之一彈簧之螺旋結構接合。額外地或替代地，閂鎖機構可包括定位於彈性材料之一第一端處之一鉤及在材料之第二端處之一環圈，以用於與環圈可釋放地接合。
夾緊元件之各者之旋轉軸線可組態為在使用中大體上垂直於第一及第二凸緣之軸線。此不同於其中夾緊元件大體上繞大體平行於凸緣軸線之一或多個軸線鉸接的傳統夾緊機構。平行軸線通常導致夾具總成必須從接頭之側面相對於凸緣沿一徑向方向安裝，使得夾具之固定需要在接頭之另一側進行以起作用，或否則需要在安裝期間謹慎地操縱夾具，此可在諸如圖1b中展示之具有有限接取之管配置中造成相當大的困難。藉由使軸線大體垂直，夾緊元件可從上方或下方安裝至凸緣上，使得夾具總成在夾緊之前及期間與第一管或凸緣同軸。夾具總成可擴張以配合於管或凸緣上方及/或在夾緊之前在相當長的時間內經由一閂鎖機構附接。第一管可具備準備好在真空系統之一稍後組裝階段夾緊之一打開夾具總成。
在實施例中，夾緊元件圍繞彈性環定位於不同周向位置處，使得各夾緊元件之旋轉軸線從其他夾緊元件之各者之旋轉軸線偏移。因而，各夾緊元件具有其自身之旋轉軸線，且獨立於其他夾緊元件之各者操作。
彈性環可經定大小使得當夾具總成被連接至一第一管且所有夾緊元件處於其等打開位置時，夾具總成能夠沿著第一管軸向滑動。
夾具總成可包括兩個或更多個夾緊元件。發明人已發現，歸因於接觸點之數目增加，使用更多夾緊元件可提供總成之一經改良夾緊功能。例如，夾具總成可包括4個或更多個夾緊元件，或在4個與10個夾緊元件之間。具有10個或更少元件可降低總成之複雜度，且使其更容易製造及在夾緊期間操縱。實施例包括3個、4個、5個、6個、7個及8個夾緊元件。
例如，夾緊元件可由一金屬材料形成。金屬夾緊元件可尤其適於在諸如半導體製造之惡劣環境中使用。在實施例中，夾緊元件可由一塑膠、陶瓷或複合材料形成。
夾具總成可經組態以在其中所有夾緊元件處於其等各自打開位置之一打開位置與其中所有夾緊元件處於其等各自夾緊位置之一夾緊位置之間移動。打開位置係其中夾緊元件與第一管接觸且夾具總成可操作以沿著第一管朝向第二管軸向滑動(藉由一使用者提供一力)之該總成的一位置。夾緊位置係其中夾緊元件與第一及第二凸緣接觸以連接第一及第二管之總成的一位置。使夾具總成在打開位置與夾緊位置之間移動可包括：使夾緊元件繞一樞軸旋轉。
夾具總成可進一步包括一固定環，該固定環經組態以與夾緊元件之一外表面接合以便將夾具總成固定於夾緊位置中。在實施例中，固定環可經組態以使夾緊元件旋轉至夾緊位置中。更特定言之，固定環在夾緊元件上方之軸向移動可在其上施加一徑向力而引起其等樞轉至一夾緊位置中。
在此例項中，夾緊元件之外表面指代在使用中，元件相對於管及彈性環之徑向外表面。在實施例中，固定環環繞及接合所有夾緊元件之徑向外表面。固定環較佳地具有一可調整直徑或內部尺寸，使得固定環可圍繞夾緊元件收緊以增加夾具總成之夾緊力。更明確言之，在固定環定位於夾緊元件上方且與夾緊元件接合時，減小固定環之直徑或內部尺寸增加夾緊元件上朝向第一及第二凸緣之一徑向向內壓力。在實施例中，夾緊元件之幾何結構係使得夾緊元件上之徑向壓力之增加至少部分轉移至第一及第二凸緣上之軸向壓力之增加。固定環可包括一或多個緊固件，該一或多個緊固件經組態以減小固定環之內徑，以將夾緊元件與第一及第二凸緣夾緊接合。
在實施例中，夾緊元件包括經組態以在使用中與固定環接合之一面向外側，及經組態以在使用中與第一及第二管接合之一面向內側。面向內側包括經組態以在夾具總成處於打開位置時與第一管接合之一靠抵表面，及經組態以在夾具總成處於夾緊位置時與第一及第二凸緣接合之夾緊表面。夾緊表面可為相對之夾緊表面，其等從面向內側之一外邊緣至一中間部分朝向彼此傾斜。面向內側可進一步包括定位於靠抵表面與夾緊表面之間的一樞軸。例如，最靠近彈性環之夾緊表面及靠抵表面可在形成樞軸之一成角度接面處彼此連結。樞軸可具有當在打開位置與夾緊位置之間移動時促進元件平滑移動之一半徑。
夾緊元件可藉由彈性環偏壓至打開位置中。例如，彈性環可定位成比距離夾緊表面更靠近靠抵表面。在實施例中，彈性環從樞軸朝向靠抵表面軸向偏移，從而將夾緊元件推入至打開位置中。
在實施例中，彈性環可延伸穿過形成於夾緊元件中之一孔隙或槽。更廣泛地，彈性環可包括相鄰夾緊元件之間之彈性連接，該等彈性連接可附接至或延伸穿過夾緊元件。彈性環可為彈性材料之一連續環，或可包括與夾緊元件一起形成一連續環之若干連接元件。
在實施例中，夾緊元件之一或多者之面向外側包括一肩部，以在使用中限制固定環之軸向移動。此一肩部可藉由在總成之夾緊期間為固定環提供一端止擋件而促進夾緊。肩部可進一步幫助在使用期間將固定環保持在適當位置中，從而防止固定環例如歸因於管之振動而相對於夾緊元件移動。面向外側可具有用於與固定環接合之一表面，當處於一夾緊位置時，該表面可相對於管之軸線成角度，使得當固定環被收緊時，其被推向該肩部。在實施例中，當處於一夾緊位置時，面向外側上之該表面與管之軸線成2度至6度之間的角度。
亦根據本發明，提供一種真空系統，其包括具有一第一凸緣之一第一管、具有一第二凸緣之一第二管，及根據上述實施例之任何者之在各自凸緣處將該第一管連接至該第二管的一夾具總成。
夾具總成之內徑可小於第一管之外徑，使得彈性環必須擴張以容許夾緊元件配合於第一管上方。因此，彈性環中之張力可對夾緊元件施加足夠徑向力以抵靠第一管將其等固持在適當位置中，且防止其等在夾緊之前沿管滑動。在實施例中，彈性環可具有一勁度及長度，使得當被組裝於管上時，彈性環在夾緊元件上施加0.05 N與5 N之間的力。在特定實施例中，力可在0.05 N與2 N之間，諸如為1 N。
在實施例中，真空系統經組態以維持低於10毫巴或甚至低於10 -2毫巴之第一及第二管內的一壓力。在此一真空系統中，第一及第二管可由一金屬(例如不鏽鋼密封件)製成。管可為大致圓柱形，且凸緣可從第一及第二管之一端徑向向外延伸，以形成用於抵靠第一及第二凸緣之另一者的一大致環形表面。
在實施例中，總成可進一步包括一或多個密封元件，諸如定位於第一凸緣與第二凸緣之間的一O形環或墊圈以促進其等之密封。第一及/或第二凸緣可包括用於接納此等密封元件之一或多個凹槽。
亦根據本發明，提供一種使用一夾具總成將一真空系統之一第一管之一第一凸緣夾緊至一第二管之一第二凸緣的方法。該夾具總成包括：一彈性環，其經組態以在使用期間圍繞該第一管(其之一非凸緣部分)；及複數個夾緊元件，其等與該彈性環耦合，且各自可操作以在使用期間經由各自旋轉軸線相對於該第一管旋轉，以使該等夾緊元件從其中該等夾緊元件未與該第一凸緣接觸之一打開位置移動至其中在使用中，當該第一管被連接至該第二管時，該等夾緊元件經配置以將該第一凸緣夾緊至該第二凸緣以在該第一管與該第二管之間形成一接頭的一夾緊位置中。該夾具總成可進一步包括上述實施例中描述之特徵之任何者。
方法可包括首先將夾具總成固定至第一管，且接著使夾緊元件從其中夾緊元件僅與第一管接觸之一打開位置移動至其中夾緊元件與第一及第二凸緣接觸以在其等之間形成一真空密封接合的一夾緊位置中。使夾緊元件移動可包括：使夾緊元件繞其等之一樞軸旋轉。
一固定環可用於使夾緊元件移動以與第一及第二凸緣接合。固定環可圍繞夾緊元件收緊，以推動夾緊元件以與第一及第二凸緣夾緊接合。
本發明提供一種用於在一真空系統中將兩個管連接在一起之經改良夾具總成。夾具總成經組態使得其可在夾緊之前將其自身固持至管之一者上，因此在管凸緣之夾緊之前及期間不需要手動固持在適當位置中。
圖2a展示一真空系統中之一管接頭12，該真空系統包含具有一第一凸緣28之一第一管26及具有一第二凸緣32之一第二管30。第一管26及第二管30組態為在由第一凸緣28及第二凸緣32形成之一接頭12處夾緊在一起。在此實施例中，呈一彈性墊圈或O形環之形式之一彈性密封元件34定位於第一凸緣與第二凸緣28、32之間，以在第一管與第二管26、30之間形成一密封，以防止氣體經由接頭12進入管。將瞭解，可使用諸如金屬密封元件之替代密封元件，或凸緣28、32可經組態使得不需要額外密封元件。儘管圖展示凸緣28、32在其等延伸遠離管26、28時具有一均勻徑向厚度，但將瞭解，厚度亦可按照真空系統領域中已知之標準管凸緣漸縮。
圖2a進一步展示根據本發明之一實施例之一夾具總成36。夾具總成36與各管26、30上之凸緣28、32接合，以在一軸向及徑向方向兩者上將管26、30相對於彼此固定，且向凸緣28、32提供一軸向負載以防止繞接頭軸線扭轉。軸向負載亦可藉由將凸緣28、32壓抵於墊圈34而在接頭12處產生一經改良密封。在本文中使用術語「軸向方向」來指代沿著大體上對應於凸緣及管之軸線38 (在筆直之情況下)之接頭12之軸線的一方向。在本文中使用術語「徑向方向」來指代垂直於軸線38之沿著接頭12之一半徑的一方向。
夾具總成36包括圍繞接頭12周向配置之四個夾緊元件40。夾緊元件40各自安裝於延伸穿過夾緊元件40之各者中之一孔隙44的一彈性環42上，且藉由環繞夾緊元件40之各者之一固定環46固定而與凸緣28、32密封接合。固定環46在圖2a中以虛線展示，但在圖2b中更清楚地展示。
儘管展示四個等間距之夾緊元件40，但將瞭解，夾緊元件40不需要以等間距配置，且可使用任何數目之夾緊元件40。較佳地，夾具總成36包含兩個或更多個此等夾緊元件40，例如，三個、四個、五個、六個、七個、八個或更多個夾緊元件40可圍繞接頭12配置。
圖3a至圖3c更詳細地展示圖2之夾緊元件40之一者。
夾緊元件具有經組態以在使用期間與管凸緣28、32接合之一面向內側48，及經組態以在使用期間與固定環46接合之一面向外側50。
在面向內側48上，夾緊元件40包括一靠抵表面52，靠抵表面52經組態以在處於如圖3b中所展示之一打開位置時與第一管26之非凸緣外表面接合。亦在面向內側48上，存在當處於如圖3c中所展示之一夾緊位置時，用於與第一及第二凸緣28、32接合的相對夾緊表面54。
夾緊元件34進一步包括延伸穿過其用於安裝至彈性環42上之一孔隙44，及夾緊元件40可繞其在打開位置與夾緊位置之間旋轉之一樞軸56，如上文描述。樞軸56定位於靠抵表面52與夾緊表面54之間，且在夾緊元件40之面向內側48上呈一彎曲突部之形式。
儘管實施例展示用於接納彈性環42之一孔隙44，但將瞭解，夾緊元件34可替代地包括用於接納彈性環42之一槽或其他此特徵部。
面向外側50包括用於與固定環56接合之一大致平坦表面58，及經組態以在總成處於夾緊位置時限制固定環56之軸向移動之一肩部60。在圖3c中以虛線展示一替代組態，其中當處於一夾緊位置時，表面58相對於管之軸線38成角度。此一組態將固定環56推向肩部60以防止其在使用期間滑脫。表面58可相對於管軸線38成2度至6度之間的一角度α。在一實施例中，角度α係3度。
如圖4a中所展示，彈性環42係由彈簧鋼形成之一斜向線圈彈簧的形式。彈性環42包括一螺旋彈簧，其中螺旋之兩端彼此連結以形成一環圈，該環圈具有圍繞環圈延伸之彈簧材料之一螺旋。
彈性環42進一步包括一閂鎖機構62，藉由閂鎖機構62，彈簧之端可彼此釋放，如圖4b中展示，以容許彈性環42安裝至第二管30或從第二管30移除。在此實例中，閂鎖機構62包括定位於彈性材料之一第一端處之一鉤64及在材料之第二端處之一環圈66，以用於與鉤64可釋放地接合。
在一替代實施例中，(未展示)閂鎖機構包括沿著其長度具有一螺紋之一無頭螺絲，該螺紋在各端處與彈性環42接合。在一特定實例中，彈性環42係由具有3.175 mm之一外徑及0.355 mm之一線厚度的一螺旋彈簧形成。接著，藉由使螺紋旋轉成與彈簧之螺旋形式接合而使用一M3無頭螺絲連接彈簧之兩端。此在彈簧之端之間形成具有用於夾具總成之足夠強度的一接頭，且亦提供一平滑外部輪廓或彈性環42。
圖5更詳細地展示固定環46。固定環46呈具有用於與夾緊元件40之面向外側50接合之一內表面64的一撓性帶之形式。固定環46具有緊固構件66，以用於減小固定環46之內徑以將其圍繞夾緊元件40收緊。在此實例中，緊固構件66包括具有相對孔隙70之相對徑向突部68，諸如一螺絲或螺栓之一緊固件72 (如圖2b中展示)可穿過相對孔隙70。緊固件72之收緊使徑向突部68更靠在一起，且藉此減小圍繞夾緊元件40之固定環46之直徑。
夾具總成36可進一步包括用於將固定環46附接至夾緊元件40及/或彈性環42之附接構件(未展示)，使得固定環46可相對於夾緊元件40移動，但不會沿管件下滑太遠而遠離接頭12。在實例中，附接構件包括延伸於固定環46與一或多個夾緊元件40及/或彈性環42之間之一繩。在其他實例中，附接構件包括一易碎連接件，其在夾緊之前相對於一或多個夾緊元件40及/或彈性環42固持固定環46，該易碎連接件經組態以斷裂而容許固定環46移動至夾緊元件40上方之適當位置中。
圖6a及圖6b分別展示處於一打開位置及一夾緊位置之夾具總成。在圖6a中，夾緊元件40安裝至第一管26上且經由彈性環42固持在適當位置中，使得使用者不必將夾緊元件40固持在適當位置中。夾具總成36之內徑小於第一管26之外徑，使得彈性環42必須擴張以容許夾緊元件42配合在第一管26上方。彈性環42中之張力對夾緊元件40施加足夠徑向力以將其等抵靠第一管26固持在適當位置中，且防止其等在夾緊之前沿第一管26下滑而遠離接頭26。
夾緊元件40之各者之靠抵表面52在打開位置中經固持抵靠第一管26。彈性環42相對於樞軸56之位置確保夾緊元件40在夾緊之前偏壓至打開位置中。更明確言之，彈性環42延伸穿過之孔隙44在比距離夾緊表面54更靠近靠抵表面52之樞軸56的側上。
為了使夾具總成36移動至夾緊位置中，夾緊元件40需要繞其等各自樞軸56旋轉，使得夾緊表面54與凸緣28、32接觸。此需要在樞軸56之更靠近夾緊表面54之側上的夾緊元件40上施加徑向向內之力。徑向向內之力必須大於彈性環42之偏壓力。
徑向向內之力係藉由固定環46提供，固定環46在夾緊元件40上方軸向移動至所需位置。肩部60限制固定環46之軸向移動，使得其保持在最佳夾緊所需之位置中。如上文描述，經由緊固構件72將固定環46保持在所需位置中。
上文描述之實施例係關於一種從第一及第二凸緣28、32下方安裝之總成。然而，將瞭解，本發明可應用於經組態用於從凸緣上方夾緊之一總成，例如藉由倒轉夾具總成36。
10:夾具 12:接頭 14:夾具軸線 16:接頭軸線 18:夾緊元件 20:樞軸/鉸鏈 22:固定構件 24:徑向方向 26:第一管 28:第一凸緣 30:第二管 32:第二凸緣 34:彈性密封元件/墊圈 36:夾具總成 38:接頭軸線 40:夾緊元件 42:彈性環 44:孔隙 46:固定環 48:面向內側 50:面向外側 52:靠抵表面 54:夾緊表面 56:樞軸 58:平坦表面 60:肩部 62:閂鎖機構 64:鉤(圖4b)/內表面(圖5) 66:環圈/緊固構件 68:徑向突部 70:孔隙 72:緊固件/緊固構件
圖1a展示先前技術之一夾具總成； 圖1b展示處於一夾緊位置之圖1a之夾具總成； 圖1c展示一管配置之一截面圖； 圖2a展示根據本發明之一實施例之與一夾具總成固定在一起的一第一及第二管之一側視圖； 圖2b展示圖2a之管及夾具總成之一俯視圖； 圖3a係根據一實施例之一夾緊元件之一透視圖， 圖3b展示處於一打開位置之圖3a之夾緊元件； 圖3c展示處於一閉合位置之圖3a之夾緊元件； 圖4a展示用於圖2a之夾具總成中之一彈性環； 圖4b展示處於一解鎖位置之圖4a之彈性環； 圖5展示用於圖2a之夾具總成中之一固定環； 圖6a展示根據一實施例之在夾緊之前處於一打開位置的一夾具總成；及 圖6b展示處於一夾緊位置之圖6a之夾具總成。
12:接頭
26:第一管
28:第一凸緣
30:第二管
32:第二凸緣
34:彈性密封元件/墊圈
36:夾具總成
40:夾緊元件
42:彈性環
44:孔隙
46:固定環

Claims (14)

  1. 一種用於在一真空系統中將一第一管連接至一第二管之夾具總成，該第一管具有一第一凸緣，且該第二管具有一第二凸緣，其中該第一凸緣經配置成以在該第一管被連接至該第二管時與該第二凸緣形成一接頭，該夾具總成包括： 一彈性環，其經組態以在使用期間圍繞該第一管；及 複數個夾緊元件，其等與該彈性環耦合，且各自可操作以在使用期間經由各自旋轉軸線相對於該彈性環旋轉，以使該等夾緊元件從其中該等夾緊元件未與該第一凸緣接觸之一打開位置移動至其中在使用中，當該第一管被連接至該第二管時，該等夾緊元件經配置以將該第一凸緣夾緊至該第二凸緣以在該第一管與該第二管之間形成一接頭的一夾緊位置中。
  2. 如前述請求項中任一項之夾具總成，其中該彈性環係一斜向彈簧。
  3. 如前述請求項中任一項之夾具總成，其中該彈性環包括用於將該夾具總成安裝至該第一或該第二管之一閂鎖機構。
  4. 如前述請求項中任一項之夾具總成，其中該等夾緊元件圍繞該彈性環定位於不同周向位置處，使得各夾緊元件之該旋轉軸線從該等其他夾緊元件之各者之該旋轉軸線偏移。
  5. 如前述請求項中任一項之夾具總成，其中在使用中，當該夾具總成被連接至一第一管時，當所有該等夾緊元件處於其等打開位置時，該夾具總成能夠沿著該第一管軸向滑動。
  6. 如前述請求項中任一項之夾具總成，其進一步包括一固定環，該固定環經組態以與該等夾緊元件之一外表面接合以便將該夾具總成固定於該夾緊位置中。
  7. 如請求項6之夾具總成，其中該等夾緊元件之各者包括： 一面向外側，其經組態以在使用中與該固定環接合；及 一面向內側，其經組態以在使用中與該等第一及第二管接合，該面向內側包括： 一靠抵表面，其經組態以在該夾具總成處於該打開位置時與該第一管接合， 夾緊表面，其等經組態以在該夾具總成處於該夾緊位置時與該等第一及第二凸緣接合，及 一樞軸，其定位於該靠抵表面與該夾緊表面之間。 其中該等夾緊元件經組態以繞該樞軸旋轉以在該打開位置與該夾緊位置之間移動。
  8. 如請求項6或7之夾具總成，其中該面向外側包括一肩部，以在使用中限制該固定環之軸向移動。
  9. 如前述請求項中任一項之夾具總成，其中該等夾緊元件藉由該彈性環偏壓至其等打開位置中。
  10. 如前述請求項中任一項之夾具總成，其中該複數個夾緊元件包括四個或更多個該等夾緊元件。
  11. 一種真空系統，其包括： 一第一管，其具有一第一凸緣； 一第二管，其具有一第二凸緣；及 如前述請求項中任一項之夾具總成，其在該等第一及第二凸緣處將該第一管連接至該第二管。
  12. 一種在一真空系統中將一第一管之一第一凸緣夾緊至一第二管之一第二凸緣的方法，其包括： 使用如請求項1至11中任一項之夾具總成將該第一凸緣固定至該第二凸緣。
  13. 如請求項12之方法，其中將該第一凸緣固定至該第二凸緣包括：使該複數個夾緊元件從其中該等夾緊元件與該第一管接觸之一打開位置移動至其中該等夾緊元件與該等第一及第二凸緣接觸之一夾緊位置中。
  14. 如請求項13之方法，其中使該複數個夾緊元件移動包括：使該等夾緊元件繞該第一管之該外表面樞轉。
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